【課題】被覆層の形成を好適に行うことが可能となるようにすること。
【解決手段】被覆層形成システム１０は、形成対象部品に被覆層を自動的に形成するための被覆層形成装置１１を備えている。被覆層形成装置１１における土台ユニット１２の上面には、複数の形成対象部品を並べた状態で支持するための支持台１３が設けられている。また、土台ユニット１２には支持枠ユニット１４が設けられている。支持枠ユニット１４において横方向に延びるガイドベース１６には、液剤を収容した貯留タンク１７と、当該貯留タンク１７に収容された液剤を形成対象部品に付与して被覆層を形成するための付与装置１８と、が一体化された搬送装置１９が取り付けられている。各形成対象部品に対する付与装置１８の相対位置は自動的に変更されるとともに、付与装置１８からの液剤の付与も自動的に行われる。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式の技術を用いた傾斜機能材料の製造方法、装置を提供する。
【解決手段】 Ｃｕナノ粒子を含むＣｕインクをインクジェットヘッド５０Ｃｕから吐出されるＣｕナノ粒子インクの量と、インクジェットヘッド５０Ａｕから吐出されるＡｕナノ粒子を含むＡｕインクの量との比率を決定し、決定された比率にしたがってヘッド５０Ｃｕ、ヘッド５０Ａｕからインクを吐出させて１つの層を形成し、基材上に複数の層を積層して積層体を得る積層させ、最下層から最上層へ向かってＣｕインクの吐出量比率が減少するとともにＡｕインクの吐出量比率が増加し、かつ、Ａｕインクに対するＣｕインクの相対的な吐出量比率が小さくなり、Ｃｕインクに対するＡｕインクの相対的な吐出量比率が大きくなるように、Ｃｕインクにおける各層間の吐出量、Ａｕインクにおける各層間の吐出量、ＣｕインクとＡｕインクとの各層間の相対的な吐出量比率を決定する。 （もっと読む）

【課題】塗布液例えばレジスト液の供給量が少ない場合でも、基板の表面に均一に塗布膜を形成することができる技術を提供する。
【解決手段】塗布方法は、基板（Ｗ）の中心にプリウエット液を供給するとともに基板を回転させてプリウエット液を第１の基板の表面全体に拡散させるプリウエット工程と、プリウエット液が供給された基板に塗布液（例えばレジスト液）を供給し、これを乾燥させることにより前記第１の基板の表面に塗布膜を形成する塗布膜形成工程とを備える。プリウエット液として、塗布膜成分（例えばレジスト成分）を溶解しうる溶剤と、この溶剤よりも表面張力が高い高表面張力液体とを混合することにより得た塗布液よりも表面張力が高い混合液体を用いる。溶剤と高表面張力液体とを別個に用意し、プリウエット液を供給する際に溶剤と高表面張力液体とを混合する。 （もっと読む）

【課題】塗布膜厚分布の高さ検出を所定精度でいつでも検出を可能にし、膜厚分布測定ができない時は、塗布を停止して不良製品流出を回避する。常に検出器の較正を行い膜厚分布の測定を可能とし、生産性・稼働率で高品質製品の生産を可能とする塗布方法および塗布装置を提供する。更にこの方法および装置を用い高品質で高生産性を維持したプラズマディスプレイ用部材の製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】塗布前に被塗布部材９の表面高さを検知するステップと、被塗布部材に塗布膜を形成するステップと、塗布後に被塗布部材の表面高さ９ａを検知するステップと、塗布前後の被塗布部材の高さより塗布膜の厚さを演算して求めるステップと、を有する塗布方法で、塗布前後の表面高さを検知するステップの前、中または後に連続して、異なる高さの２以上の基準面を持つ基準器６を用い基準器高さを測定する塗布方法。 （もっと読む）

【課題】アライメントマークを備える基板の位置決めにおいて、アライメントマークの正確な位置が未知である場合においても、正確に基板の位置合せを行なう。
【解決手段】基板２におけるアライメントマークの位置と同じ位置にアライメントマークを備える基準板を位置決めし、前記位置決めされた前記基準板におけるアライメントマークの位置を測定し、前記測定された前記アライメントマークの位置と同じ位置に前記基板のアライメントマークが位置するよう該基板を位置決めする。 （もっと読む）

【課題】微粒子を含有するスラリーを用いて得られる微粒子含有塗膜の乾燥工程における、膜厚を適切に算出することのできる微粒子含有塗膜の膜厚算出方法を提供すること。
【解決手段】微粒子および溶媒を含むスラリーを基材上に塗布して得られる微粒子含有塗膜の膜厚を算出する方法であって、微粒子含有塗膜の乾燥初期における、溶媒の気化による膜厚の減少量から求められる膜厚減少直線と、微粒子含有塗膜の完全乾燥時の膜厚である乾燥膜厚から求められる乾燥膜厚直線と、これらの交点である膜厚変化停止点とを求め、膜厚変化停止点までは膜厚減少直線を用いて、微粒子含有塗膜の膜厚を算出し、膜厚変化停止点からは乾燥膜厚直線を用いて、微粒子含有塗膜の膜厚を算出する微粒子含有塗膜の膜厚算出方法。 （もっと読む）

【課題】機能液を補充する頻度を少なくする描画方法を提供する。
【解決手段】基材２上に複数種類の機能液を液滴にして吐出する液滴吐出装置を用いてパターンを描画する描画方法にかかわる。パターンを描画するときに各種類の機能液を消費する量の比率である消費量比率を演算する消費量比率演算工程と、各種類の機能液の量の比率を消費量比率と同じ比率にして機能液を液滴吐出装置９に設置する機能液設置工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 壁や屋根等の下地に下塗り、中塗りおよび上塗りの３回の塗布工程が行われるべき場合に、上塗りが行われていないことを検出できる塗装検査方法およびその装置を提供する。
【解決手段】 塗装検査業者は、中塗り塗装を終えたとの報告を得た、家主あるいは建設会社から、検索依頼を受けると、中塗りを終えた対象塗装面に対して、蛍光塗料を塗布する。数日後、塗装業者から上塗りが終了した旨の報告を受けると、塗装検査業者は、例えば、夜間に対象塗装面にライトの光を当てて、上記蛍光塗料で描かれた文字が検出されるか（検出されるか）見えるか否かを判定し、見えれば不正（上塗りが行われいない）と報告する。 （もっと読む）

【課題】洗浄工程後のごみの付着を抑制するとともに、洗浄工程後に付着したごみを塗膜内に残留させない塗装方法を提供する。
【解決手段】板状の被塗布物１を洗浄する洗浄工程Ｓ２と、洗浄工程Ｓ２によって板状の被塗布物１に付着した水分を除去する乾燥工程Ｓ３と、板状の被塗布物１に対して塗膜形成に必要な量以上の塗料を掛け流す塗装工程Ｓ４と、板状の被塗布物１に塗布された塗料を硬化させる塗料硬化工程Ｓ５とを少なくとも備え、板状の被塗布物１を懸垂支持させた状態で上記各工程Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４、Ｓ５を行う。 （もっと読む）

【課題】液状体の塗布領域上部において均一性の高い蒸気濃度分布を実現する。
【解決手段】乾燥炉外形５の内のステージ４の上に設置された基板１の上には、機能膜の溶液を塗布する塗布領域２の外側に立て板３が設けられている。立て板３の材質はステンレス鋼などの金属が用いられ、基板１上に設置される。基板１端部は、塗布領域２内では蒸気が発生し続けるのに対し、塗布領域外には蒸気の発生源がなく、塗布領域２外への拡散が起こるために濃度差が発生する。立て板３を設けることにより、基板１と平行な方向への蒸気の拡散が抑制され、塗布領域２端部の蒸気濃度が基板１中央部の蒸気濃度に近づいていく。立て板３の高さの選択により拡散の抑制効果を得られ、塗布領域２上で均一性の高い蒸気濃度分布を実現できる。 （もっと読む）