【課題】塗液のせん断速度が低い領域で粘度が高い液であっても塗布量分布を抑え、塗液の物性を管理することの可能なグラビアコーターを用いた塗工方法を提供する。
【解決手段】液受けパン１１を二重円弧構造に形成する。二重円弧状の液受けパン１１の長手方向の２つの縁部のうち、基材１への塗工を行なったグラビアロール１２の部分が塗液に接触する方向に向う側に位置する縁部１１ｕの、液受けパン１１を構成する内側部材２１に、液受けパン１１の貯液部１１ａに塗液を注液するための注液口３１を設け、さらに液受けパン１１を構成する外側部材２２の底部に外側に突出した緩衝ゾーン３２を設ける。送液ポンプ１７により緩衝ゾーン３２に塗液を供給することにより、塗液を、内側部材２１及び外側部材２２間に形成された連通路２４を介して注液口３１に送液し、注液口３１から液受けパン１１の貯液部１１ａに注液する。 （もっと読む）

【課題】成膜装置の構成を複雑化させることなく、モフォロジーの良好な膜を形成可能で、かつ成膜装置の稼働効率を向上可能な成膜方法及び成膜装置を提供する。
【解決手段】成膜原料堆積チャンバー１７内において、半導体基板２８の表面に、成膜原料を溶媒中に溶解させることで形成される液状の成膜原料液を供給し、成膜原料液に含まれる溶媒を液体から気体に相変化させることにより、溶媒中に溶解している成膜原料を半導体基板２８の表面に堆積させ、その後、成膜原料堆積チャンバー１７とは異なる反応チャンバー１８内において、加熱或いは反応試薬の添加により、半導体基板２８の表面に形成された成膜原料を反応させることで、半導体基板２８の表面に膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】ワークの姿勢を良好にアライメントできるアライメント装置、基板処理装置、およびアライメント方法を提供する。
【解決手段】注目マーク９４ａが初期位置Ｐ０から第１計測位置Ｐ１へ第１距離Ｄ１だけ移動した後、位置演算部は、対応撮像部にて撮像された第１撮像画像に基づいて、第１撮像画像の座標系における注目マーク９４ａの第１計測位置Ｐ１を演算する。また、位置演算部は、注目マーク９４ａが第１計測位置Ｐ１から第２計測位置Ｐ２に移動した後、対応撮像部により撮像された第２撮像画像に基づいて、第２撮像画像の座標系における第２計測位置Ｐ２を演算する。続いて、演算された第１および第２計測位置Ｐ１、Ｐ２と、第１角度θ１と、に基づいて、回転軸３５ａから見た注目マーク９４ａのマーク位置を演算する。そして、求められた各アライメントマークのマーク位置を通る直線を求めることによって、主走査方向に対する基板の傾きを求める。 （もっと読む）

【課題】塗布された塗布液の膜厚の不均一性を改善し得る技術を提供する。
【解決手段】塗布装置は、塗布液を吐出するノズルと、基板に対して、ノズルを移動させるノズル移動機構と、ノズルに塗布液を供給する塗布液供給部と、塗布液をノズルに供給するためにノズルに接続され、ノズル移動機構によるノズルの移動に追従して変形する接続チューブと、塗布液供給部からノズルに向けて供給される塗布液の流量を測定する流量測定部と、塗布液供給部からノズルに通じる塗布液流路の開度を調節する開度調節部と、流量測定部の測定結果に基づいて、開度調節部を制御する開度調節制御部とを備える。開度調節制御部は、ノズルが移動して、基板の表面に塗布液を吐出する際、開度調節部を、ノズルの停止中に調節した開度を維持するように制御する。 （もっと読む）

【課題】基板表面に対して相対移動するノズルからパターン形成材料を含む塗布液を塗布して、基板上に所定のパターンを形成するパターン形成技術において、パターン幅および端部位置の安定したパターンを形成する。
【解決手段】基板上に塗布液を塗布してライン状パターンを形成するのに際して、本来の始端位置Ｘ1よりも内側の位置Ｘ0から、しかもノズルと基板とのギャップ量をパターン高さよりも小さな値Ｇ0にして塗布液の吐出を開始する。その後、ノズルを基板から離間させながら基板外側に向けて移動させ、パターン始端位置Ｘ1で移動方向を反転させる。終端近傍においても、塗布液の吐出量を低下させながらノズルを基板に近接させてゆき、パターン終端位置Ｘ3においてノズルを離間させるとともに移動方向を反転させる。 （もっと読む）

【課題】液状体の種類の変更にかかる時間を短縮する。
【解決手段】第２タンク１１７内の機能液５３を吐出ヘッド３３に導く第２供給管１１９と、第２供給管１１９の途中に設けられたフィルター１２４と、第２タンク１１７とフィルター１２４との間に設けられ、第２供給管１１９を開閉する第１バルブ１２７と、第２タンク１１７と第１バルブ１２７との間において第２供給管１１９から分岐し、フィルター１２４を迂回してからフィルター１２４と吐出ヘッド３３との間において第２供給管１１９に合流する迂回管１２０と、迂回管１２０を開閉する第２バルブ１２９と、第１バルブ１２７とフィルター１２４との間において第２供給管１１９から分岐し、機能液５３を第２供給管１１９外に排出する第１排出管１２１と、第１排出管１２１を開閉する第３バルブ１３１と、を有する、ことを特徴とする液滴吐出装置。 （もっと読む）

【課題】塗工欠陥の発生を抑制することが可能な塗工液循環装置及び塗工液循環方法を提供する。
【解決手段】長手方向に搬送されてくる帯状の基材に塗布する塗工液２を、塗工液パン４内に供給し、且つ塗工液パン４から排出・回収する塗工液循環装置１であって、塗工液パン４の底部に形成され、且つ塗工液パン４内から塗工液２を排出させる複数の塗工液排出口８と、塗工液排出口を開閉するための塗工液排出制御板１２と、塗工液排出制御板１２の開閉動作を塗工液２の量を検知する荷重センサ２２と、荷重センサ２２からの電気信号に応じて塗工液排出制御板の動作を自動制御する塗工液排出制御板駆動装置１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】塗液パン内での塗液の滞留を低減するとともに、塗液に含まれる微粒子や顔料の沈降及び凝集をなくし、さらに塗液に含まれる樹脂や溶媒なども分散させることができ、また塗液パン内及び転写用ロール、塗液循環系の洗浄を容易にする塗布装置を提供する
【解決手段】連続走行している帯状の基材に塗液を塗布する装置であって、塗液を貯留する塗液パンと、前記塗液を基材に転写する転写用ロールと、電気振動信号を発生する超音波発振器と、前記塗液パンの側壁及び底壁の外側壁に設置され電気振動信号を機械振動に変換する超音波振動子と、前記塗液パン底面に設けた塗液供給配管と、前記液パン側面に設けた塗液排出配管と、前記塗液パン内の塗液を前記塗液排出配管から前記塗液パン外に排出して、前記塗液供給配管から供給することで塗液を循環させる塗液循環部と、を備えたことを特徴とする塗布装置。 （もっと読む）

【課題】吐出部及びその周囲近傍部分の熱可塑性接着剤の堆積を抑える。
【解決手段】熱可塑性接着剤を吐出する吐出部を有し、所定の走行経路を走行する吸収性物品に係る連続シートの片面に、吐出部から熱可塑性接着剤を吐出して塗布する接着剤塗布装置である。前記連続シートと吐出部とを接離方向に相対移動する接離機構と、吐出部からの熱可塑性接着剤の吐出動作を行う吐出機構と、接離機構及び吐出機構を制御するコントローラと、を有する。前記連続シートの走行速度が所定の閾値よりも大きい場合には、吐出部を前記連続シートの前記片面に接触させつつ吐出部から熱可塑性接着剤を吐出するようにコントローラは接離機構及び吐出機構を制御する。前記走行速度が前記閾値以下になった場合には、吐出部からの熱可塑性接着剤の吐出を停止するとともに、当該吐出の停止以降に前記連続シートと吐出部とが離間状態になるように、コントローラは接離機構及び吐出機構を制御する。 （もっと読む）

【課題】基板上に機能膜を形成することにより製造される素子の製造において、機能性インクを基板上に吐出配置し、減圧乾燥を施して機能性インクから機能膜を形成する際に、機能膜の膜厚形状を均一にすることのできる機能膜形成方法を提供する。
【解決手段】有機ＥＬ素子１０の製造において、有機発光層形成用インクから有機発光層２２を形成する際に、減圧乾燥機内において一度に減圧乾燥を施す基板１２上に吐出配置する有機発光層形成用インクに含有される溶媒の量と当該基板１２上に吐出配置する塗工液に含有される溶媒の量とを合計した総溶媒量が所定量になるように、基板１２上に吐出配置する塗工液の量を設定する。 （もっと読む）