【課題】気化ガス及び微粉末がワークの内壁に付着することを低減させることができる孔開け加工装置を提供することを課題とする。
【解決手段】ワーク１２に挿入される挿入部材３３の先端に一体的に形成されると共に空洞部１６に挿入され貫通孔１８を貫通したレーザ光４４を受ける芯体３５と、この芯体３５に設けられ貫通孔１８を形成する際に生じる気化ガスを導く連通孔４１と、この連通孔４１に導かれた気化ガスをワーク１２の基端側に吸引するに示す吸引手段と、を備える。
【効果】気化ガスや微粉末は連通孔を通って吸引手段により吸引される。従って、本発明によれば、気化ガス及び微粉末がワークの内壁に付着することを低減させることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、レーザーを用いたガラス基材の異形抜き加工において、採算ベースの加工速度を実現することのできる新規なレーザー加工方法およびレーザー加工装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ガラス基材を所定温度まで昇温した後、当該ガラス基材に対してＮｄ：ＹＡＧレーザーの３倍波を集光照射する。３００〜８００℃まで昇温されたガラス基材は、レーザースクライビングに最適なレーザー光吸収率（１０〜５０％）を示すため、採算の取れる加工速度での異形抜き加工が可能となる。 （もっと読む）

【課題】レーザ切断装置に対し紙製品を搬入出移送するのに用いるコンベヤベルトに関し、搬送面を有するコンベヤベルトを清掃するベルト清掃システムを提供する。
【解決手段】ベルト清掃システムはコンベヤベルト１６の下側に配置されたローラアセンブリ２０を備える。ローラアセンブリ２０は、多孔質セラミックで出来た筒状ローラを含む。ローラには、含水性清掃ファイバからなるロールが巻き付けてある。ローラの内部に供給された洗浄液体３０は、向けローラ壁の孔を通過して清掃ファイバのロールを湿らせる。ローラアセンブリ２０は軸受により回動可能に装着し、ロールの外面をコンベヤベルト面１８に対し当接回動させ、それによって湿潤洗浄ファイバがコンベヤベルト面１８から紙屑８を連続的に掻き落とす。 （もっと読む）

【課題】ノズルの先端が削られることなく、ノズルの先端の清掃を行うことができ、ノズルから落とされた付着物の除去が簡単なノズル清掃装置を提供する。
【解決手段】ノズル清掃装置１０は、レーザ加工時に、レーザを照射するノズル６に付着する付着物を除去する装置である。ノズル清掃装置１０は、表面に滑らかに高さが変化する凹凸が形成されている環状の金属製凹凸部１４を備えている。また、この凹凸部１４に沿って環状に樹脂ブラシ１２が設けられている樹脂ブラシ部１３を備えている。ノズル６の先端を凹凸部１４の表面に接触させるとともにノズル６の外周面を樹脂ブラシ１２に接触させた状態で、ノズル６を、凹凸部１４に対して相対的に、環状の凹凸部１４に沿って周回移動させることによりノズル６が清掃される。 （もっと読む）

【課題】ワークへの保護膜形成やワークからの保護膜除去の際に、当該処理に伴い発生する保護膜成分を含む液滴のワーク搬送機構等の可動部への飛散を抑え、可動部の固着を防止すること。
【解決手段】レーザー加工装置１は、上面に開口部２７を有する筐体２８と、ウェーハＷを保持すると共に筐体２８内部に収容可能な保護膜形成・除去用テーブル２６と、筐体２８内部に設けられたウェーハＷの被加工面を洗浄する洗浄用ノズル３２と、ウェーハＷの洗浄の際に開口部２７を覆うシャッター機構３０とを備える。シャッター機構３０は、開口部２７を被覆可能なシート部材３３と、シート部材３３が巻回される巻回ローラ３４と、シート部材３３の先端部を保持し、筐体２８上面に設けられた一対のガイドレール３５、３５上を、開口部２７を開放する開放位置と開口部２７を閉塞する閉塞位置との間でスライド可能なシート部材保持部３６と、を有する。 （もっと読む）

【課題】遮光板の使用限界を容易に判断できるようにする。
【解決手段】レーザ光を遮光する遮光板の破損を検知する遮光板破損検知方法であって、互いに間隔をおいて対向して配置した２枚の遮光板１，３間を密閉空間７とし、この密閉空間７内の圧力を圧力センサ１７によって検知する。この検知圧力の変化によって遮光板１，３の破損を検知し、溶接キャビンにおける遮光板１，３で構成される遮蔽窓ガラス９の使用限界を判断する。 （もっと読む）

【課題】貫通孔を精度よく形成でき且つ加工容易化が可能なレーザ加工方法を提供する。
【解決手段】酸化膜２２を加工対象物１の表面３及び裏面に生成した後、加工対象物１にレーザ光を集光させることにより貫通孔に対応する部分に沿って改質領域７を形成する。これと共に、酸化膜２２にレーザ光が集光させることにより、酸化膜２２における貫通孔に対応する部分に沿ってアブレーションするように加工し、かかる部分に欠陥領域（ダメージ領域）２２ｂを形成する。よって、その後のエッチング処理では、酸化膜２２の欠陥領域２２ｂから改質領域７へエッチング剤が侵入され、改質領域７に沿ってエッチングが選択的に進展される。 （もっと読む）

【課題】ファイバレーザモジュール毎に除湿できる機能を備えたファイバレーザ発振器を提供する。
【解決手段】本発明のファイバレーザ発振器は、それぞれ密閉された複数のファイバレーザモジュール２で構成されたレーザ光源３と、ファイバレーザモジュール２のそれぞれにドライエアーを供給して除湿する除湿装置４とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】加工ヘッドが障害物に当接したときに、小さな力で直ちに揺動傾斜することのできる加工ヘッド支持装置を提供する。
【解決手段】レーザ加工ヘッドなどの加工ヘッド１を支持する加工ヘッド支持装置であって、加工機における支持フレーム５に備えたヘッド支持部材７に、円形状の揺動支持部材１１をＸ軸方向へ揺動可能に支持して設けると共に、当該揺動支持部材１１を前記ヘッド支持部材７側へ付勢して設け、前記揺動支持部材１１にＹ軸方向へ揺動可能に支持されたＹ軸方向揺動支持部材１５を備え、このＹ軸方向揺動支持部材１５と前記ヘッド支持部材７との間に、前記Ｙ軸方向揺動支持部材１５を元の位置へ復帰するための復帰手段１７を備え、かつ前記Ｙ軸方向揺動支持部材１５に、加工ヘッド１を取付けるための加工ヘッド取付部を備えている。 （もっと読む）

【課題】加工痕の形成が抑制されるとともに、被加工物の分割がより確実に実現される分割起点の形成が可能となる、レーザー加工装置を提供する。
【解決手段】パルスレーザー光を発する光源と、被加工物が載置される載置部と、を備えるレーザー加工装置が、載置部に載置された被加工物に対して３点曲げにて力を加えることにより、被加工物の加工対象位置に対して引張応力を作用させる応力印加手段、をさらに備え、載置部に載置した被加工物に対し、応力印加手段によって加工対象位置に対して引張応力を作用させた状態で、パルスレーザー光の個々の単位パルス光ごとの被照射領域が被加工面において離散的に形成されるように載置部を移動させつつパルスレーザー光を被加工物に照射することによって、被照射領域同士の間で被加工物の劈開もしくは裂開を順次に生じさせることにより、被加工物に分割のための起点を形成する。 （もっと読む）