【課題】レーザ加工箇所へ搬入される基板の欠けや曲がり（反り）などの状態を検査し、それに応じてガラス基板の姿勢を調整して最適な状態でレーザ加工を行なう。
【解決手段】この発明は、基板をレーザ加工位置に搬入する際にエア浮上させているので、基板の曲がり（反り）が下に凸となるように基板の表裏反転を行なうようにしたものである。基板の曲がり（反り）を下に凸としてエア浮上を行なうことによって、基板が十分に浮上し、ステージに接触することがなくなる。レーザ加工前の成膜装置によって形成された膜面の外側方向に基板は曲がる傾向があるので、膜面側を下側となるようにしてもよいし、また、基板の四隅付近の画像を取得し、取得された四隅付近の画像に基づいて基板が上下いずれの方向に凸に曲がって（反って）いるかを検出し、その検出結果に応じて、基板の曲がり（反り）が下に凸となるようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】クランプ時に基板に無理な力が生じることにより発生する課題を解決する装置の提供。
【解決手段】大型ガラス基板等の基板０をその保持高さを精密に維持しつつ面内方向に自由に移動できるように案内する基板案内手段と、当該基板案内手段に保持された前記基板を面内の特定の方向に移動させるための基板駆動手段とを具備してなり、基板駆動手段が、大型ガラス基板等の基板を把持するための複数のクランプ部と、これらのクランプ部を同期させて駆動することにより、基板を基板案内手段に保持させつつ、特定方向に移動させ位置決めを行う基板駆動部とを具備してなる基板移送装置４において、クランプ部２１により基板０をクランプした際に、その基板０に無理な力が作用しないように、クランプ部２１を基板０の面外方向に逃がすための逃がし機構５９をさらに備える。 （もっと読む）

【課題】各加工ノズルをある程度独立に変位させることができるという自由度を確保しながら、ケーブルキャリアの設置数を減らすことにより容易に実装することができるレーザ加工機を提供する。
【解決手段】グループ化された複数本の加工ノズル４と、各加工ノズル４を個別に所定方向に移送して位置決めするためのノズル移送手段５と、各加工ノズル４やノズル移送手段５にエネルギまたは制御信号を伝送するケーブル群６と、前記グループ化された加工ノズル４及びそのノズル移送手段５に接続しているケーブル群６を一纏めにするフレキシブルなケーブル保持手段と、前記ケーブル保持手段を前記所定方向に移送して前記グループ化された加工ノズル４に追従させるためのキャリア移送手段８とを具備する。 （もっと読む）

【課題】トーチヘッドに接続されるケーブル類の処理を簡潔にし、トーチヘッドの移動があった場合のケーブル類の追従を容易にし、ケーブル類に伸びや捩れが発生しない様にし、溶接の安定化、溶接の高速化を可能とする装置の提供。
【解決手段】先端１７ａがケーブル支持アーム８に又、基端がケーブルダクトの基端にそれぞれ固定された屈曲自在な第１ケーブルサポート１７とを具備し、トーチヘッド１０、フィラーワイヤ供給装置１５に接続されたケーブル類は第１ケーブルガイド１７に掛回された後弛み２６を形成して第２ケーブルガイド２２に掛渡り、更にケーブル支持アーム１８に沿って第１ケーブルサポート１７迄配線され、更に該第１ケーブルサポート１７に沿って前記基端迄配線された。 （もっと読む）

【課題】金網の網目が細かくても、加工作業が簡単で、安定性・仕上がり性のすぐれた接合を行えること。
【解決手段】継ぎ合わせ部となる第１の金網端部１０Ｌと第２の金網端部１０Ｒとを突き合わせた後、その上に介在部材としてたとえばステンレス板１４を重ねる。次に、第１および第２の金網端部１０Ｌ，１０Ｒに対してその裏側（図の上方）からステンレス板１４にレーザビームＬＢを照射する。ステンレス板１４のレーザ被照射部分とその下の縦線材 および横線材とがレーザ溶接で接合される。このレーザ照射工程はシーム溶接の形態で実施され、第１の金網端部１０Ｌと第２の金網端部１０Ｒとがステンレス板１４を介して継ぎ合わされる。 （もっと読む）

【課題】スケジュール運転中において実行できないスケジュールがあった場合に、当該スケジュールを後回しにして、それ以降の実行可能なスケジュールを実行した後で、再度当該スケジュールの実行を試みるレーザ加工機を提供する。
【解決手段】ワークＷを支持する複数のパレットＰを多段状に収納するストッカ１と、パレットＰを載置してワークＷにレーザ加工を施すためのパレット加工部４１を有する加工ステーション４とを備え、記憶装置に記憶されたスケジュールリストに従って、前記ストッカ１からパレットＰを一つずつ取り出し、前記加工ステーション４に搬送してレーザ加工を行うレーザ加工機であって、実行しようとするスケジュールで使用予定のパレットＰに対して加工を行うことができるか否かを確認するチェック手段と、できない場合に前記スケジュールリストの実行順番からそのスケジュールを後回しにするスワップ手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】レーザー光線を被加工物の所定位置に確実に照射することができるとともに、レーザー光線を照射することによって発生するデブリの影響を防止することができるレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段とを具備するレーザー加工装置であって、チャックテーブルに保持された被加工物を囲繞する環状の側壁と環状の側壁の上面を閉塞する透明部材によって形成された天壁とを有するとともに水供給孔と水排出孔を備えた水収容カバーと、水収容カバーをチャックテーブルから離隔した待機位置とチャックテーブルに保持された被加工物を包囲する作用位置に選択的に位置付ける水収容カバー位置付け手段と、水供給孔に接続された水供給手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】芯線が細く電極の面積が小さい場合であってもレーザ光照射により良好に電極と芯線とを互いに溶接することができるレーザ溶接方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るレーザ溶接方法は、レーザ光照射により基板２０上の電極２１と同軸ケーブル１０の芯線１１とを互いに溶接する方法であって、接続箇所において電極２１と芯線１１とを互いに接触させ、レーザ光Ｌ_１を透過させる透明材料からなる押圧部材３１を接続箇所周辺に押し当てて押圧部材３１と電極２１との間に芯線１１を挟み、押圧部材３１側からレーザ光Ｌ_１を照射して芯線１１の一部を溶融させ、電極２１と芯線１１とを互いに接続する。 （もっと読む）

【課題】 微細加工を高精度に実行することが可能なレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ−Ｙ−θテーブル１２により支持されたウエハ１の表面に純水を供給する純水供給ノズル１４と、ウエハ１の表面に供給された純水の表面に空気を供給する空気供給ノズル１５と、この空気供給ノズル１５の上方に配設された合成石英板１６と、水滴吸引ノズル１７と、ウエハ１に対してレーザービームＬを照射するレーザービーム照射機構２０とを備える。このとき、空気供給ノズル１５における純水流側のスリットから、純水流が流れる方向に空気流を噴出することにより、純水流の膜厚を極めて小さいものとすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】レーザビームによってスクライブラインを形成する装置において、冷却ノズルに供給される冷却媒体の漏れを抑える。
【解決手段】この装置は、冷却ノズル２０と、モータ３０と、筒状の回転部材３１と、４つの軸受３２〜３５と、配管５１〜５５と、軸受用配管継ぎ手４３〜４６と、を備えている。冷却ノズル２０はガラス基板に冷却媒体を吐出して冷却スポットを形成する。モータ３０は冷却ノズル２０を旋回軸の回りに旋回させる。筒状の回転部材３１は、先端に冷却ノズル２０が支持されるとともに、モータ３０によって回転駆動され、内部をレーザビームが通過する。各軸受３２〜３５は内輪が回転部材３１に固定されるとともに外輪が自由に回転し得る。配管５１〜５５は冷却媒体を冷却ノズル２０に導く。軸受用配管継ぎ手４３〜４６は、軸受３２〜３５の外輪に装着され、配管が連結される。 （もっと読む）