【課題】
加工室を設けた特殊環境下で被加工物の加工・処理を行う電子ビーム照射装置や工作機械などの加工テーブル上に配置される複数の付属装置の軸駆動を好適に切り替えて行なえるようにする軸駆動機構を提供する。
【解決手段】
真空などの加工室に設けた駆動モータの軸１２をＹ軸に平行なスプライン軸５に伝え、第一のブラケットのベベルギアセット８ａ，８ｂを介してＸ軸に平行なスプライン軸８に伝える。さらにテーブル２上にX軸方向に移動位置決め設置可能な第二のブラケット９に設けたべべルギアセット８ｃ，８ｄにスプライン軸８を介して駆動力を伝達する。前記ギア８ｄと一体のドライブギアは、付属装置の各軸（Ｚ、Ａ、Ｂ、Ｃ及びθ）に取り替え自在に動力を伝える。 （もっと読む）

【課題】高速往復移動して加工する加工装置において、移動方向反転時に必要とする力を軽減できる加工装置を得る。
【解決手段】ベース１にガイド部材２を流体軸受する。ガイド部材２に工具１３を有するスライド部材３を流体軸受構造で支持する。スライド部材３にコイル７を配置し、ガイド部材２にスライド部材３の往復運動のストローク端に駆動用永久磁石６を配置し、その間を鉄心８とし、リニアモータを構成する。スライド部材３の両端に反転用永久磁石５を配置し、ガイド部材２における前記ストローク端に反転用永久磁石４を配置する。スライド部材３の移動方向反転時には反転用永久磁石４、５の反発力によりスライド部材は加速されるので、上述した構成の推力が小さいリニアモータでも、スライド部材を駆動し加工できる。発熱が少なく、推力リップルやコギングも発生せず高精度な直線溝加工ができる。 （もっと読む）

【課題】 ワークの質量変化（減少）に対応して、効率的な早送りを実現し、しかも従来技術のような積載質量センサーを不要とするようなワークの早送り制御機構の構成を提供すること。
【解決手段】 ワークの早送り制御機構において、駆動モータを加速段階に導通する早送りピーク電流の最大値ｉ_ｍａｘを予め設定したうえで、個別の早送り工程に際し、ワークの積載質量に対応している加速段階の早送りピーク電流ｉを測定し、当該ピーク電流ｉ及び前記測定時において、既に設定されているワークに対する許容加速度ａの値に基づいて、前記最大ピーク電流ｉ_ｍａｘが導通し得るような許容加速度ａ'をコンピュータによって設定し、駆動モータに対し当該許容加速度ａ'を出力するような指令信号を伝達することに基づくワークの早送り制御機構。 （もっと読む）

【課題】 可動部を互いに直角な２軸方向に微動させて可動部に取り付けられた工具等を微動位置調整可能とした構成が簡素で小型化可能な微動位置調整装置を提供する。
【解決手段】 外周枠３２と、この外周枠３２の対向する両縦辺部３２ａの両端部に縦方向に可撓可能に夫々連結された一対の中間部３５と、一対の中間部３５の両端部に横方向に可撓可能に連結された微動台３６とが、基台３０を垂直方向に表裏貫通するスリット３１により一体の基台３０から切出して形成され、中間部３５が縦微動装置３７により縦方向に微動され、微動台３６が横微動装置３８により横方向に微動される。 （もっと読む）

【課題】エンコーダスケール長に関係なくインチワーム式の移動ができる安価なアクチュエータの構成およびその駆動方法を提供することを目的とする。
【解決手段】送り用伸縮機構３２と、第１のロックアップ用伸縮機構３０と、第２のロックアップ用伸縮機構３１とを備えたアクチュエータ３において、第１と第２のロックアップ用伸縮機構３０、３１にエンコーダスケール７を架設し、その一端のみを第１または第２のロックアップ用伸縮機構のいずれかに固定し、エンコーダスケール７が固定されていない第１または第２のロックアップ用伸縮機構に固定されたエンコーダヘッド６で、そのスケールを読み取る構成とする。 （もっと読む）

【課題】 モータの最適回転制御することにより、長距離の移動でも従来よりもボールねじの径を細くし、また、モータの容量を少なくして高速位置決めを可能にした回転制御方法およびその装置並びにそれを用いた板材加工機の板材位置決め方法および装置を提供することにある。
【解決手段】 回転自在なボールねじ３１に移動部材を備えたナット部材３７を螺合せしめ、前記ボールねじ３１をサーボモータ３５により回転せしめてナット部材３７を介して移動部材を前記ボールねじ３１の軸方向へ移動せしめる際、前記ナット部材３７の位置を位置検出手段４１により検出して、この検出された検出値を制御装置６１へフィードバックし、このフィードバックされた検出値から許容回転数を演算し、演算された許容回転数を越えないようにサーボモータ３５へ回転数を指令することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】加工速度を向上させることができ、かつ加工精度に優れる穴明け加工機を提供すること。
【解決手段】振動抑制補償器２２０を設け、動作制御コントローラ５０から指令されるＺテーブル２０７に対する位置指令信号５２に、位置指令信号５２を微分したＺテーブル２０７の速度指令信号２３７と、速度指令信号２３７を微分したＺテーブル２０７の加速度信号２４０とを加え、得られた信号からノッチフィルタ２４２により予め定める周波数ω１を除去して、Ｚテーブル２０７の位置指令信号２２７とする。 （もっと読む）

【課題】 研削加工段階に応じて、姿勢制御装置上の載置物の姿勢を高精度に制御することのできる姿勢制御装置および精密加工装置を提供する。
【解決手段】 第一の面材２１と、第一の面材２１に間隔Ｌを置いて並列する第二の面材２２とからなる姿勢制御装置１であり、第一の面材２１と第二の面材２２の双方に穿設された凹部２１ａ，２２ａに球体３の一部が収容された姿勢で球体３が介装されており、さらに面材間にはＸ軸とＹ軸からなる平面に直交するＺ軸方向に伸張する第一のアクチュエータ４ａが介装されており、第二の面材２２には、Ｘ軸とＹ軸からなる平面内の適宜の方向に伸張する第二のアクチュエータ４ｂ、４ｂが接続されており、第二の面材２２は、載置物を載置した姿勢で第一の面材に対して相対的に移動可能に構成されている。球体３は、弾性変形が可能な接着剤６にて第一の面材２１および第二の面材２２に接着されている。 （もっと読む）

【課題】 高速直線運動機構について説明する。
【解決手段】 一実施形態では、本運動機構は、ベース部と、撓み部と、変換器とを含む。撓み部は、ベース部に接しており、ペイロードを支持するように構成されたペイロード支持部と、実質的に第１の方向に延びかつペイロード支持部に接する第１の複数の細長い部分とを含む。変換器は、作動した時にペイロード支持部に対して第１の方向と実質的に直交する第２の方向に力を与えるように構成される。運動機構のその他の実施形態も説明している。 （もっと読む）

【課題】 加速度センサの装着状態に起因する誤差を補正する。
【解決手段】 検出した位置／速度と、検出し補正した加速度に基づいて被駆動体の位置及び速度及び電流の少なくとも一つの指令値を補正する。２軸センサの場合、既知の加速度（ｘ，ｙ）を与えたときの加速度センサ５０の出力（ｘ′，ｙ′）から角度θを算出して記憶素子５２へ格納する。１軸の場合、加速度の大きさの比を格納する。 （もっと読む）