【課題】張力調整装置や複数のガイドローラを設置する必要がなく、ワイヤソーを簡単かつ小型にすることができ、ガイドローラによりワイヤに捩れが生じるのを抑制することができるとともに、ガイドローラによるイナーシャの問題をなくし、ワイヤの断線率を低減することができるワイヤソーを提供する。
【解決手段】ワイヤ１２を掛け渡す複数の加工ローラ１１Ａ，１１Ｂと、加工ローラ１１Ａ，１１Ｂ間にワイヤ１２を供給する供給側のボビン１３Ａ，１３Ｂと、使用済みワイヤ１２を巻き取る巻き取り側のボビン１３Ｂ，１３Ａとを備える。両ボビン１３Ａ，１３Ｂを軸線方向に沿ってトラバース動作させるトラバース機構１６と、加工ローラ１１Ａ，１１Ｂと両ボビン１３Ａ，１３Ｂとの間のワイヤ１２の張力を検出するセンサ１８と、そのセンサ１８の検出に基づいて、ワイヤ１２の張力を調整する方向に、ボビン１３Ａ，１３Ｂを移動させる張力調整機構１７とを設ける。 （もっと読む）

【課題】従来装置と比較してより高い張力で、ワイヤ断線なくワークの切断を素早く実現する。
【解決手段】各溝付ローラ２，３間に巻き付けられた切断用のワイヤ４の一方端が第１ダンサローラ１０を介して供給ボビン５に巻き付けられ、他方端が第２ダンサローラ１３を介して回収ボビン６に巻き付けられて、各溝付ローラ２，３間のワイヤ４の複数列でワーク７を切断するワイヤソー装置１において、各溝付ローラ２，３と第１ダンサローラ１０および第２ダンサローラ１３との間にそれぞれ、第１バッファボビン手段としての第１バッファボビン１４と第２バッファボビン手段としての第２バッファボビン１８がそれぞれ配設され、各溝付ローラ２，３と第１バッファボビン１４との間に第３ダンサローラ１７が配設されると共に、各溝付ローラ２、３と第２バッファボビン１８との間に第４ダンサローラ２１が配設されている。 （もっと読む）

【課題】従来装置と比較してより高い張力で、ワイヤ断線なくワークの切断を素早く実現する。
【解決手段】複数の溝付ローラ２，３間に巻き付けられた切断用のワイヤ４の一方端が第１ダンサローラ１０を介して供給ボビン５に巻き付けられ、その他方端が第２ダンサローラ１３を介して回収ボビン６に巻き付けられ、複数の溝付ローラ２，３間のワイヤ４の複数列でワーク７を切断するワイヤソー装置１Ａにおいて、供給ボビン５に対する第１トラバーサ２２Ａのワイヤ折り返し移動による張力変動および、回収ボビン６に対する第２トラバーサ２３Ａのワイヤ折り返し移動による張力変動を吸収する第１ワイヤ張力変動吸収手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 複数種類のドレスボードを同時に保持可能なドレステーブルを備えた切削装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、高速回転する切削ブレードで該チャックテーブルに保持された被加工物を切削加工する切削手段と、該切削ブレードをドレッシングするドレスボードを着脱自在に保持するドレステーブルとを備えた切削装置であって、該ドレステーブルは、同一方向に階段状に配設された高さの異なる複数の吸着面を有し、隣接する吸着面と吸着面の間には隣接する該吸着面の段差からなる第１ドレスボード突き当て壁が形成され、最上段の吸着面の端部には該吸着面から立ち上がった第２ドレスボード突き当て壁が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 円筒状インゴットの四側面剥ぎ切断加工を行って角柱状インゴットに形成する際の切断屑の発生量を低下させたい。
【解決手段】 切断装置１の薄い厚みの回転切断刃９１ａ，９１ｂを挟む外周刃横揺れ自己補償機構９６を新たに設けるとともに、インゴットの切断方法を予め回転切断刃９１ａ，９１ｂで１／２カットする溝切加工を行った後、インゴットを回転させて残りの１／２の溝を回転切断刃９１ａ，９１ｂで加工し、側面を切断するハーフカット方法に変更した。 （もっと読む）

【課題】ワイヤの走行方向の反転時に、トラバーサに位置ずれが生じることを抑制すること。
【解決手段】ワーク加工用のワイヤ１１が架設状態で周回される複数の加工用ローラ１４Ａ，１４Ｂと、ボビン１２Ａ，１２Ｂの軸線方向に往復動されて、ワイヤ１１の巻き取り及び繰り出しを案内するトラバーサ１６Ａ，１６Ｂとを備える。加工用ローラ１４Ａ，１４Ｂ及びボビン１２Ａ，１２Ｂの往復回転にともなってワイヤ１１が往復走行されて、加工用ローラ１４Ａ，１４Ｂ間の位置においてワイヤ１１によりワークＷに切断加工を施すようにする。ワイヤ１１の走行方向反転時において、ボビン１２Ａ，１２Ｂの回転軸線に対するボビン１２Ａ，１２Ｂとトラバーサ１６Ａ，１６Ｂとの間におけるワイヤ１１の角度を検出する。その検出結果に応じてワイヤ１１の角度が９０度となるように、トラバーサ１６Ａ，１６Ｂを移動調整し、トラバーサ１６Ａ，１６Ｂの位置補正を行なう。 （もっと読む）

【課題】マルチ・ワイヤーソーにおいて、多溝ローラの長寿命化を図り、多溝ローラのＶ溝からワイヤーが脱線することを防止することを目的とする。
【解決手段】回転自在に設けられた複数の多溝ローラ１ａ，１ｂ間に巻き付けられたワイヤー２を備え、ワイヤー２を被加工物３に相対的に押し付けて被加工物３をスライスするワイヤーソーにおいて、多溝ローラ１ａ，１ｂからワイヤー２が離れる出口近傍とワイヤー２が多溝ローラ１ａ，１ｂに接触を始める入口近傍とに、ワイヤー２を多溝ローラ１ａ，１ｂに押し付ける回転自在な押さえローラ１１ａ，１１ｂを設け、多溝ローラ１の長寿命化を図り、ワイヤー２のＶ溝からの脱線を防止する。 （もっと読む）

【課題】ワイヤソーにおいて、加工液に混ざった切削屑を除去し、切削屑の除去された加工液を再度ワイヤソーに供給する。
【解決手段】走行するワイヤ４１にワーク４４を押し当てて切断するワイヤソー２と、ワイヤソー２に加工液８を供給する供給槽６と、加工液８の回収槽５とを備えたワイヤソー２の加工液循環装置１であって、回収槽５は、回収された加工液８が供給される加工液貯留部１２と、加工液貯留部１２の一端に設けられた傾斜部１３と、回収槽５の幅方向両端に沿って周回可能な無端チェーン１８と、加工液貯留部１２の底面３５に沈降した切削屑２８を傾斜部１３上方へ掻き上げる複数のスクレーパー２３と、切削屑２８の排出口１１と、加工液貯留部１２の加工液８をオーバーフローさせて供給槽６に供給する加工液流出部７とから構成し、供給槽６は、回収槽５からオーバーフローする加工液８を貯留するとともにワイヤソー１に供給するように構成する。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で製造コストを低減することができる加工液ノズルを提供する。
【解決手段】ワイヤソーの加工部の上方に加工液ノズル１４をワイヤの配列方向に沿って延長配置して、その加工液ノズル１４からワイヤ上に加工液を供給する。加工液ノズル１４には、加工液供給部に連結され、下部に自身の延長方向に沿って供給口２０ａを設けた供給管２０と、その供給管２０内を上部室２０Ａと下部室２０Ｂとに区画するように供給管２０内に設けられ、自身の延長方向に沿って複数の透孔２２ａを配列した区画板２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 シリコンを切出すときに生じる加工粉のうち不純物の少ないシリコン加工粉を回収できるシリコン加工粉回収方法及び装置を提供する
【解決手段】 ワイヤー４と、インゴットを接着剤２０で取り付けるビーム１７と、クーラント供給ノズル２ａと、使用後のクーラントを受けるクーラント受け槽１０，１１と、クーラント循環用循環槽１２，１３と、循環経路配管２ｂと循環槽とを切替える手段１６と、クーラント受け槽１０，１１を移動させる移動手段３３と、ワイヤーと接着層若しくはビームと接触したか否かを検出する手段５とを備え、検出した信号に応じて、使用する循環経路とクーラント受け槽を選択する。 （もっと読む）