【課題】本発明は、製品水素の損失を低減するとともに、改質ガスから高い回収率で高純度水素を回収可能なＰＳＡ方式高純度水素製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】第１のＰＳＡ装置２と、第２のＰＳＡ装置３と、高純度水素（製品水素）Ｃを一時貯蔵するバッファタンク４と、第２のＰＳＡ装置３から排出されるオフガスＤ中の水素を吸蔵放出するための水素吸蔵合金が充填された水素貯蔵タンク５ａ、５ｂ、５ｃとを備え、ＣＯ吸着剤及びＨ_２Ｏ吸着剤の再生用洗浄ガス並びに第１のＰＳＡ装置２の各ＰＳＡ吸着塔２ａ、２ｂ、２ｃの昇圧用ガスとして、水素貯蔵タンク５ａ、５ｂ、５ｃ内の水素を用い、（ＣＯ及びＨ_２Ｏ）以外の不要ガス吸着剤の再生用洗浄ガス及び第２のＰＳＡ装置３の各ＰＳＡ吸着塔３ａ、３ｂ、３ｃの昇圧用ガスとして、バッファタンク４内の高純度水素（製品水素）Ｃと水素貯蔵タンク５ａ、５ｂ、５ｃ内の水素を用いる。 （もっと読む）

【課題】水素生成装置の小型化に資する水素生成・分離一体型機能性薄膜を提供する。
【解決手段】水素生成・分離一体型機能性薄膜１０は、原料ガスの分子を水素分子と副生成物の分子に分解すると共に、該分解後のガスから水素ガスを分離するための薄膜であって、水素分子を透過し、且つ前記副生成物の分子を透過しない水素透過膜１１と、前記水素透過膜の一方の表面に立設された二酸化チタンナノチューブの集合体である二酸化チタンナノチューブアレイ１２とを備えることを特徴とする。原料ガスの分子を水素分子と副生成物の分子に分解する二酸化チタンナノチューブアレイ１２と、該分解後のガスから水素ガスのみを分離する水素透過膜１１が一体で形成されているため、この水素生成・分離一体型機能性薄膜１０だけで水素ガスのみを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】炭化水素の水蒸気改質用メンブレンリアクターにも利用可能な、高温においても脆性を示さず耐久性があると共に優れた水素透過性能を有する水素分離膜を提供する。また、その水素分離膜の製造方法を提供すると共に、水素分離方法を提供する。
【解決手段】パラジウムと銅と銀とを主体とする合金薄膜からなる水素分離膜であって、５００℃以上での加熱処理後における前記合金薄膜の結晶構造が実質的に体心立方構造であることを特徴とする水素分離膜。 （もっと読む）

【課題】 パラジウム合金の薄膜を利用した水素精製において、薄膜の厚みを薄くしても機械的強度の低下が少ない合金細管の製造方法を提供する。
【解決手段】 パラジウム５０〜７０ｗｔ％と銅３０〜５０ｗｔ％からなる溶融合金、パラジウム６０〜９０ｗｔ％と銀１０〜４０ｗｔ％からなる溶融合金、または、パラジウム６０〜８０ｗｔ％と銀１０〜３７ｗｔ％と金３〜１０ｗｔ％からなる溶融合金を、押出しダイスの環状ノズルから押出し、管状のパラジウム合金膜に成型する。 （もっと読む）

【課題】太陽電池に用いられる薄膜シリコンを成膜するためのプラズマＣＶＤ装置から排出される排ガスを処理する装置を小型化する技術を提供する。
【解決手段】半導体製造装置２０から排出された混合ガスをポンプ１２を用いてフィルタ部３０に送出し、フィルタ部３０で高次シランを除去した後、深冷分離を利用した分離部４０を用いて混合ガスを水素とモノシランとに分離する。分離されたモノシランは、シランガス除害部５０により除害される。また、分離された水素は、水素ガス排気部６０により大気に放出される。 （もっと読む）

【課題】エネルギー効率に優れ、水素ガスを効率よく製造することができ、小型化された水素ガス製造装置に適用することができる水素ガスの製造方法、および当該方法に用いられる装置。
【解決手段】メタノールから水素ガスを製造するための水素ガスの製造方法であり、メタノールおよび水を気化させることによって原料ガスを製造する原料ガス製造工程、原料ガスと酸素含有ガスとを反応させることによって反応ガスを製造する反応ガス製造工程、反応ガスから当該反応ガスに含まれている水素ガスを分離する水素ガス分離工程、および水素ガスから水素ガスが分離された残存ガスを燃焼する残存ガス燃焼工程を有し、残存ガス燃焼工程で残存ガスを燃焼する際に発生する熱により、原料ガス製造工程でメタノールおよび水を気化させるとともに、反応ガス製造工程で原料ガスと酸素含有ガスとを反応させることを特徴とする水素ガスの製造方法、および当該方法に用いられる装置。 （もっと読む）

【課題】吸着塔内における吸着剤の動作寿命を検出する装置および方法を提供する。
【解決手段】本発明は、圧力スイング吸着処理による精製水素ガスの製造装置および方法であって、当該装置においては、未精製水素ガスに不活性ガスを添加するガス供給部３と、吸着塔１から排出される精製水素ガス中の不活性ガスを測定する検出器５を備える。不活性ガスはＡｒガスであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高純度水素ガスの連続的な製造を停止した後、次回再起動させた際にも製造された水素ガス中の不純物（特に、ＣＯ）を低減可能で、かつ、製品水素ガスのロスを少なくすることが可能な高純度水素ガス製造用ＰＳＡ装置の運転方法を目的とする。
【解決手段】各吸着塔１ａ、１ｂ、１ｃの全ての吸着塔内が大気圧以上の状態で、かつ、各吸着塔１ａ、１ｂ、１ｃの内の少なくとも１つの吸着塔１ｂが水素含有ガスから不要ガスの吸着圧力の状態で停止させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】緻密膜層が保護された多孔質材料を容易に製造することができる方法を提供する。
【解決手段】本発明の多孔質材料製造方法は、多孔質層と緻密膜層とを有する多孔質材料を製造する方法であって、セラミック材料からなる多孔質母材２５の内部において集光するようにレーザ光Ｂを該多孔質母材２５に対して照射して、多孔質母材２５の内部におけるレーザ光集光箇所を選択的に緻密化し、その緻密化した層を緻密膜層とし、その他の部分を多孔質層として、多孔質材料を製造する。 （もっと読む）

【課題】水素透過速度が大きく、耐水素脆性にも優れた水素分離膜を用いた水素分離方法及び装置を提供する。
【解決手段】Ｗ及びＭｏを含有するＶ合金よりなる水素分離膜を用いた水素分離方法及び装置。水素分離膜は、好ましくはＷ３０モル％以下、Ｍｏ３０モル％以下、残部Ｖよりなる。特に好ましくはＷ０．１〜３０モル％、Ｍｏ０．１〜３０モル％、残部Ｖよりなる。さらに好ましくはＷ０．１〜１５モル％、Ｍｏ０．１〜１５モル％、残部Ｖよりなる。この方法及び装置によれば、各種の水素含有ガスから、高効率にて水素を分離することが可能である。ガスから、高効率にて水素を分離することが可能である。 （もっと読む）