【課題】 種々の金属および金属酸化物等がドープされた均質なシリカガラスおよびこのようなドープシリカガラスの製造方法を提供する。
【解決手段】 ＶＡＤ法によりシリカ微粒子を堆積させて得たシリカ多孔質体に、金属および金属酸化物から選ばれた少なくとも１種からなるドーパントを含有する溶液を含浸させ、真空凍結乾燥後、加熱溶融してガラス化させることにより、シリカガラス中にドーパントが均一な濃度分布で含まれたドープシリカガラスを得る。 （もっと読む）

【課題】 所望の形状や組成分布を有し、製造過程における結合を強くしてひび割れの防止を図るとともに大型化の可能な石英系ガラス体の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明の石英系ガラス体の製造方法は、二酸化珪素に炭化珪素をコーティングした粉体と、二酸化ゲルマニウムに炭化珪素をコーティングした粉体を用意し（ステップＳ１０，Ｓ１１）、それぞれ純水と混合してコア用とクラッド用の粘土状炭化物を作り（ステップＳ１１〜Ｓ１４）、これらを一体的に組み合わせて整形する（ステップＳ１５）。そして、粘土状炭化物を乾燥させ（ステップＳ１６）、酸素雰囲気中で加熱すると多孔質状ガラス体が形成される（ステップＳ１７）。さらに、塩素雰囲気で多孔質状ガラス体を加熱して脱水し（ステップＳ１８）、その後多孔質状ガラス体を加熱して焼結し、透明化する（ステップＳ１９）。 （もっと読む）

【課題】 実質的に金属不純物を含まず、透明石英ガラスと同等の曲げ強度、熱膨張率、放射率等を有する遮光性黒色石英ガラスを提供し、このガラスは、光学部品、半導体製造装置用遮光性部材や赤外線熱遮蔽／放射部材として有用である。
【解決手段】 平均粒径が０．０５〜１μｍの結晶質炭素微粒子が０．０５〜２重量％分散されてなる密度が２．１５〜２．２１ｇ／ｃｍ^３のシリカガラスであって、厚さ１ｍｍにおいて２００〜１００００ｎｍの波長域の透過率が１％以下である黒色石英ガラスであり、このガラスは、平均粒径が０．１〜１μｍで５０ｐｐｍ以上の水酸基を含有する非晶質シリカ粉末と平均粒径０．０５〜１μｍの結晶質炭素微粒子とを、炭素微粒子添加量がシリカ粉末重量に対して０．０５〜２重量％となるように混合・成形後、１１００℃〜１５００℃で焼結することにより得られる。 （もっと読む）

いわゆる＜＜煤法＞＞による石英ガラス製の中空シリンダーの調製のための既知の方法の際、中央内孔を有する有孔煤管が、その縦軸の周りを回転している支持体の外表面上でのＳｉＯ_２粒子の沈着を通じて生産され、該煤管が、炉中において熱せられ、焼結され、この際、保持装置により保たれ、これは、該内孔中に突出する引き延ばされた形の要素を含み、この上で、該煤管が落ち込み、本中空シリンダーを形成していく。本発明の狙いは、該プロセスを発展させ、狭い内径を有する石英ガラス中空シリンダーを得るのに使用され得る経済的な方法を提供することである。これを達成させるために、該焼結の際、少なくとも一時的に圧の差が発生され、該煤管内孔中において優勢なより低い内圧と、該内孔外側に存在しているより高い外圧との間に維持される。本発明は、本方法を実施するに適している装置にも関する。
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【課題】 シリコン単結晶中の酸素濃度を低減するために、石英ルツボとシリコン融液との反応を抑制する。かつシリコン単結晶歩留まりを良好にする。
【解決手段】 石英ルツボの内表面から３０〜１５０マイクロンメーターの厚さの層にバリウムの他に結晶化抑制物質を含有してなることで、石英ルツボの内表面に結晶層を形成し、石英ルツボとシリコン融液との溶解量を減少させることにより、シリコン単結晶中に混入する酸素量を低く制御できる。かつシリコン単結晶歩留まりを向上させる。 （もっと読む）

【課題】 合成中に合成用バーナの周囲にシリカ微粒子が付着し難く、インゴットの品質を低下し難い合成用バーナを提供する。
【解決手段】 原料ガスを噴出可能な原料ガス管２１と、原料ガス管２１の周囲を囲むように配置され、可燃性ガス及び支燃性ガスを噴出可能な燃焼用ガス管２２〜２７、３１、３３と、燃焼用ガス管２２〜２７、３１、３３の周囲を囲むように配置され、原料ガス及び燃焼用ガスに対して活性の低いシール用ガスを噴出可能な外周リング状管４０とを備えた石英ガラス合成用バーナ１５であって、外周リング状管４０の先端に、シール用ガスの噴出口４０ｂが設けられ、外周リング状管４０が噴出口４０ｂに向かって拡開するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】 高温下での粘度が高く、かつ高純度の石英ガラスルツボとその製造方法を提供する。
【手段】 石英粉のガラス化の際に、高電圧を印加して金属不純物を除去する高純度石英ガラス材の製造方法において、アルミニウムとリチウムを含有した石英粉を用い、アルミニウムによってガラスの粘度を高める一方、リチウムによって電気抵抗を下げて精製効果を高めることを特徴とし、例えば、回転モールド法による石英ガラスルツボの製造方法において、少なくともルツボの外周部分にアルミニウム濃度５〜４５ppmおよびリチウム濃度がアルミニウム濃度の２％以上の石英粉を用いて製造されたルツボであって、１５００℃での粘度が９.６×１０⁹ポイズ以上であることを特徴とする石英ガラスルツボとその製造方法、およびこの石英ガラスルツボを用いたシリコン単結晶の引き上げ方法。 （もっと読む）

【課題】広い温度範囲において熱膨張係数がほぼゼロとなるＴｉＯ_２を含有するシリカガラスの提供。
【解決手段】ＴｉＯ_２濃度が３〜１０質量％、ＯＨ基濃度が６００質量ｐｐｍ以下、Ｔｉ^３＋濃度が７０質量ｐｐｍ以下、仮想温度が１２００℃以下、０〜１００℃での熱膨張係数が０±１５０ｐｐｂ／℃、４００〜７００ｎｍの波長域で厚さ１ｍｍあたりの内部透過率Ｔ_{４００〜７００}が８０％以上であることを特徴とするＴｉＯ_２を含有するシリカガラス。多孔質ガラス体形成工程、Ｆ含有工程、酸素処理工程、緻密化工程、とガラス化工程とを含むＴｉＯ_２を含有するシリカガラスの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 光ファイバ用多孔質母材の脱水および焼結を効率的に行うことができる加熱炉、およびこの加熱炉を用いた光ファイバ母材の製造方法を提供する。
【解決手段】 光ファイバ用多孔質母材１を収容する炉心管２１と、少なくとも炉心管２１の外周の一部を囲むように配され、炉心管２１内に収容された光ファイバ用多孔質母材１を加熱するヒータ２２とを備えた加熱炉２０において、炉心管２１とヒータ２２の間に遮熱壁２５を設ける。遮熱壁２５を、炉心管２１の長手方向に沿って移動可能とする。 （もっと読む）

【課題】紫外光の透過性に優れ、かつ紫外線照射によって蛍光を示さない、気泡が極めて少ない高純度石英ガラスの製造方法の提供。
【解決手段】
非晶質シリカ粉末を酸水素炎内で加熱溶融し、炉内に堆積させることを含む石英ガラスの製造方法。非晶質シリカ粉末は、Ｔｉ、Ｎａ、Ｋ、及びＬｉの含有量が各々独立して０．５ｐｐｍ以下であり、炉を構成し、堆積する石英ガラスと接触する耐火レンガは、Ｔｉ、Ｎａ、Ｋ、及びＬｉの含有量が各々独立して0.5ｗｔ％以下であり、石英ガラスは、Ｔｉ、Ｎａ、Ｋ、及びＬｉの含有量が各々独立して０．５ｐｐｍ以下である。 （もっと読む）