【課題】 石英ガラスの加熱加圧成形時に、石英ガラスに歪や割れが生じにくく、モールドの製造が容易な石英ガラスの成形装置および成形方法を提供する。
【解決手段】 石英ガラスを収容可能な中空部２１を有し、石英ガラスより膨張係数の大きい材料からなるモールド１５と、加圧部２３及び加熱手段１３とを備え、中空部２１内の石英ガラスを加熱手段１３で加熱しつつ加圧部２３により加圧して所定形状に成形する装置。モールド１５は、互いに当接した状態で組合されて側面周囲を形成する複数の側板１９、嵌合手段１６ａ、２４、スペーサ３０とを有し、中空部２１は、側板１９及びスペーサ３０の内側に形成され、成形時には嵌合状態が維持され、成形後の冷却時には、モールド１５と石英ガラスとの膨張係数の相違に基づいてスペーサ３０及び側板１９に負荷される外方向の力により嵌合状態が解除されて側板１９及びスペーサ３０が離間するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 不純物混入の防止、堆積膜厚精度の向上、ガス種ごとにバッファーを設けること及び各ガスを独立で放出することが可能なラインバーナーを提供する。
【解決手段】 石英ガラスからなり、１列に複数のガス放出口３が配置されたラインバーナー１において、ガスＡ〜Ｃをそれぞれ単独で放出するガス流路溝、ガス放出口３同士を仕切る炎ガイドが形成された板状の流路溝形成部材と、流路溝が形成された面に接合され、流路溝に蓋をすると共に、流路溝に連通し、同種類のガスごとに１列に形成された接続孔を有する板状の流路溝バッファー間遮断部材と、この部材の上に接合され、接続孔を列ごとに覆い囲み、ガスＡ〜Ｃをそれぞれ単独で溜めるガスバッファーを有すると共に、ガスバッファーの天井部分に貫通する接続孔を有するガスバッファー形成部材と、接続孔に連通する接続孔を有するガス用流路管２ａ〜２ｃとを有するラインバーナー１である。 （もっと読む）

本発明は、シリコン結晶化用坩堝に関し、更に、坩堝内の溶融材料が凝固した後にインゴットとして取り出す際の取り扱いに用いる坩堝用の離型コーティングの作製および塗布に関し、更に詳しくは、多結晶シリコンの凝固に用いる坩堝用の離型コーティングに関する。本発明の目的は、エンドユーザーの設備で非常に厚いコーティングを形成する必要がなく、形成が迅速かつ安価であり、壁面との密着性が高い強力なコーティングを備えた坩堝を提供することである。この課題は、ａ）基体２の底面２１および側壁２２が内部空間を規定しており、ｂ）中間層３が５０〜１００wt％のシリカを含み、内部空間に対面する側壁２２の表面に存在し、ｃ）表面層４が５０〜１００wt％の窒化シリコン、５０wt％以下の二酸化シリコンおよび２０wt％以下のシリコンを含み、中間層の上に存在しているシリコン結晶化用坩堝によって解決される。
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ＳｉＯ_２含有粒によりＵＶ放射源のための石英ガラス要素をつくる既知の方法から出発して、高耐放射線特性により特徴付けられる石英ガラス要素を得る廉価な方法として本発明が提案していることは、合成的に製造した石英ガラスを溶融してＳｉＨ基の数よりも大きい数の水酸基を含む石英ガラスから成るプリプロダクトをつくることと、そのＳｉＨ基を除去するためそのプリプロダクトを少なくとも８５０℃の温度でアニール処理し、それにより石英ガラス要素を得ることである。本発明の石英ガラス要素において石英ガラスは合成的につくった水晶を溶融して得ており、それのＳｉＨ基の含有量は５×１０^１７分子／ｃｍ^３より少ない。 （もっと読む）

本発明は、固化材料を案内又は搬送するための、シリカガラスの主成分を含む耐熱性物品、特にローラ又は案内要素と、当該技術の物品で普通に観測されるピックアップの問題を示さない前記物品の製造方法に関する。本発明の耐熱性物品は、ガラス質の主成分と、これに均一に分布している炭素質材料を含む。 （もっと読む）

紫外波長領域における、特に約２５０ｎｍ未満の波長における紫外線による光学的損傷に対して高い耐性を有し、低いレーザー誘起波面歪を示す合成シリカガラス光学材料、詳しくは、約１９３ｎｍにおいてかつ約７０μＪ／ｃｍ^２のフルエンスで動作するレーザーの百億パルスに曝された場合に、６３３ｎｍで測定されたレーザー誘起波面歪が約−１．０と１．０ｎｍ／ｃｍの間である合成シリカガラス光学材料が開示されている。本発明の合成シリカガラス光学材料は、約６００ｐｐｍ未満の、好ましくは２００ｐｐｍ未満のＯＨ濃度レベルと、約５．０×１０^１７分子／ｃｍ^３未満の、好ましくは約２．０×１０^１７分子／ｃｍ^３未満のＨ_２濃度とを有している。合成シリカガラス光学材料の製造方法の請求項も含んでいる。
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外側層と、（ａ）石英の融解温度又はその近傍で酸素及び窒素と反応するとともに（ｂ）１４００℃超の温度で熱的に安定でＳｉＯ_２環境中で化学的に安定な化合物を形成する元素及び化合物でドープされた内側層とを備える、気泡含量の低減又は制御された石英ルツボが開示される。融解プロセスにおいて気泡中の残留ガス、例えば窒素及び酸素と反応し、したがって気泡中のガスを消費し、気泡を空にする材料でドープされた内側層を有するルツボを形成する工程を含む、気泡含量の制御されたルツボの製造方法も開示される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、レーザー活性石英ガラスから作成されるコンポーネントのための任意の形状および大きさの素材の、経済的な生産方法に関する。
【解決手段】方法は次の工程を含む：
ａ）少なくとも４０重量％の固形分を有し、ＳｉＯ_２ナノパウダーおよびドーパントを含み、液体中に希土類金属および遷移金属の陽イオンを含む、分散物を供給する工程、
ｂ）３５重量％未満の含水量および少なくとも０.９５ｇ／ｃｍ^３の密度を有する球状多孔性粒状粒子であるドープされたＳｉＯ_２粒状体が形成されるまで、水分を除去しながら分散物を運動させることによる造粒工程、
ｃ）ＳｉＯ_２粒状体を少なくとも温度１０００℃に加熱することにより乾燥させ精製して、１０ｐｐｍ未満のＯＨ含量を有するドープされた多孔性ＳｉＯ_２小粒を形成する工程、および
ｄ）ドープされたＳｉＯ_２小粒を還元雰囲気中で焼結または溶融させて、ドープされた石英ガラスの素材を得る工程。 （もっと読む）

無定形多孔質の連続気泡ＳｉＯ_２成形体であって、該成形体が２層からなり、該層が同一の構造および組成を有することを特徴とする、無定形多孔質の連続気泡ＳｉＯ_２成形体。
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アモルファスの連続気泡ＳｉＯ_２未焼結成形体の表面上に、Ｓｉ_３Ｎ_４焼結層を形成するために適切な前駆物質を施与し、かつ引き続きレーザービーム中現場で該先駆物質をＳｉ_３Ｎ_４焼結層へ変換することを特徴とする、ＳｉＯ_２未焼結成形体からなるＳｉ_３Ｎ_４被覆されたＳｉＯ_２成形体の製造方法。 （もっと読む）