国際特許分類[C23C16/448]の内容
化学;冶金 (1,075,549) | 金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般 (47,648) | 金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般 (43,865) | ガス状化合物の分解による化学的被覆であって,表面材料の反応生成物を被覆層中に残さないもの,すなわち化学蒸着 (14,497) | 被覆の方法に特徴のあるもの (8,485) | 反応性ガス流を発生させるために用いる方法に特徴があるもの,例.先行する材料の蒸発または昇華によるもの (453)
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基板処理装置
【課題】液体原料の気化効率を向上させ、パーティクルの付着を防止する。
【解決手段】ウェハを収容して処理する処理室と、液体原料をキャリアガスによるバブリングにより気化させるバブラ220aと、バブラ220aにて液体原料を気化させることで生成された原料ガスを処理室内に供給する原料ガス供給管213aとを有し、バブラ220aは液体原料を収容する容器と、容器内に収容された液体原料内にその先端部分が浸され、液体原料内にキャリアガスを供給するキャリアガス供給管237aとを有する基板処理装置において、キャリアガス供給管237aから液体原料内に供給されたキャリアガスを水平方向に拡散させる拡散板238をバブラ220a内の底部に敷設し、拡散板238は多孔質材により構成される。
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化学気相堆積のための装置及び方法
【課題】液体前駆体物質を気化形成するための方法及び装置の提供。
【解決手段】この方法又は装置は、例えば、基板上に膜を形成するための化学気相堆積装置又はシステムの部分として使用することができる。この方法及び装置は、液体前駆体211及び拡散素子232を含むための容器218を準備することを含み、その拡散素子は、その容器の内側断面寸法に実質的に等しい外側断面寸法を有している。
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原料気化供給装置
【課題】 固体原料或いは液体原料を加熱して生成した原料蒸気を圧力式流量制御装置を用いて流量制御しつつプロセスチャンバへ安定して供給できるようにすることにより、原料の気化供給装置の小型化と、半導体製品の品質向上を図ると共に、原料の残量管理を容易に出来るようにする。
【課題解決手段】 原料を貯留したソースタンクと,ソースタンクの内部空間部から原料蒸気をプロセスチャンバへ供給する原料蒸気供給路と,当該原料蒸気供給路に介設されプロセスチャンバへ供給する原料蒸気流量を制御する圧力式流量制御装置と,前記ソースタンクと供給路と圧力式流量制御装置とを設定温度に加熱する恒温加熱部とから成り、ソースタンクの内部空間部に生成した原料蒸気を圧力式流量制御装置により流量制御しつつプロセスチャンバへ供給する。
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加圧ガス供給システム、MOCVD装置、および、加圧ガス供給方法
【課題】簡易な構成で、有機金属原料の液化や固化によって加圧効率の低下を招くことなく、有機金属ガスを安定的に加圧して反応室に供給する。
【解決手段】加圧ガス供給システム200は、原料ガスXを生成するバブリングユニット212と、原料ガスが導入されるとともに、加圧ガスPが導入されることにより、反応室112よりも高圧の混合ガスMを生成する加圧タンク214と、加圧タンクと反応室との差圧によって混合ガスを反応室に供給する混合ガス供給部216と、加圧タンクで生成された混合ガスが導入されるとともに、混合ガスに含まれる原料ガスを凝縮させて液体の原料Lに戻すガス回収部220と、ガス回収部において凝縮された液体の原料をバブリングユニットに導入する原料導入部222と、を備える。
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固体材料ガスの供給装置および供給方法
【課題】 簡便な手法・構成で、固体材料ガスを安定した濃度で供給することができるとともに、かさ密度の高い固体材料によって内容積あたりの充填量を多くし、不純物が少ない高純度の固体材料からなる固体材料ガスを供給すること。
【解決手段】 キャリアガスCにより所定量の蒸発または昇華・供給が可能な固体材料を、大気圧下または減圧下の融点以上沸点以下の温度条件において加熱し、溶融した状態で冷却・固化させて固体試料Sを作製する固体試料作製手段を有し、キャリアガスCが供給される供給部1と、供給されたキャリアガスCを分散させる分散部2と、固体試料Sが設置される試料設置部3と、該試料設置部3において作製された固体材料ガスGが供出される供出部4と、を有すること。
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気化器及び該気化器を備えた液体原料気化供給装置
【課題】気化効率に優れる気化器を提供する。
【解決手段】液体原料L或いは液体原料LとキャリアガスGとの混合ガスLGを加熱するためのヒーター50が埋め込まれた円形の気化室形成用孔38を有するアウターブロック14aと、液体原料L或いは液体原料LとキャリアガスGとの混合ガスLGを加熱するためのヒーター42が埋め込まれ、気化室形成用孔38よりもわずかに直径の小さい円筒形のインナーブロック40と、気化室形成用孔38とインナーブロック40とで構成される気化流路44に液体原料L或いは液体原料LとキャリアガスGとの混合ガスLGを導入する導入孔14cと、該気化流路44から気化された液体原料ガスV或いは気化された液体原料ガスVとキャリアガスGとの混合ガスVGを排出する導出孔14eがアウターブロック14aに形成されている。
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半導体製造装置の原料ガス供給装置
【課題】キャリアガスを用いることなしに液体原料ガスの蒸気である原料ガスのみを高精度で流量制御しつつプロセスチャンバへ安定供給可能な構造の簡素化及び小型化を図った原料ガス供給装置を提供する。
【解決手段】液体原料ガスを貯留するソースタンク5の温度を設定値に保持すると共に、ソースタンクの内部上方空間部から導出した液体原料ガスの蒸気である原料ガスG1のプロセスチャンバ11への供給圧力を自動圧力調整装置6によって制御し、自動圧力調整装置の二次側ガス流通路内の原料ガス圧を所望の設定圧に保持しつつ原料ガスG1を絞り部を介してプロセスチャンバへ供給する構成とする。
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固体材料ガスの供給装置および供給方法
【課題】 簡便な手法・構成で、固体材料ガスを安定した濃度で供給することができるとともに、固体材料の残量を簡便に精度よく検知することができること。
【解決手段】 キャリアガスCにより所定量の昇華・供給が可能な固体材料に溶剤を添加してペースト状に加工し、該溶剤を蒸発除去させて固体試料Sを作製する固体試料作製手段を有し、キャリアガスCが供給される供給部1と、供給されたキャリアガスCを分散させる分散部2と、固体試料Sが設置される試料設置部3と、試料設置部3から供出される固体材料ガスGが供出される供出部4と、を有すること。
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加圧ガス供給システム、MOCVD装置、および、加圧ガス供給方法
【課題】簡易な構成で、有機金属原料の液化や固化によって加圧効率の低下を招くことなく、有機金属ガスを安定的に加圧して反応室に供給する。
【解決手段】加圧ガス供給システム200は、液体である原料LにバブリングガスBを噴射して当該原料Lを気化させることにより原料ガスXを生成するバブリングユニット212と、バブリングユニット212で生成された原料ガスXが導入されるとともに、加圧ガスPが導入されることにより、反応室112より高圧の混合ガスMを生成する加圧タンク214と、加圧タンク214と反応室112との差圧によって混合ガスMを反応室112に供給する混合ガス供給部216とを備える。
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原料ガス発生装置
【課題】原料ガスの濃度の低下を抑制する。
【解決手段】原料ガス発生装置101は、容器111内の固体原料102を加熱し、CVD加工用の原料ガスを発生させる。通気管113を介して容器111内に導入されたキャリアガスは、ガス拡散部材115の拡散体131により拡散され、開口部115Aから鉛直下方向に噴出される。固体原料102から発生した原料ガスは、キャリアガスとともに固体原料102の上方から、通気管116を介して容器111の外に排出される。本発明は、例えば、CVD加工用の原料ガスを発生する原料ガス発生装置に適用できる。
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