国際特許分類[C23C18/50]の内容
化学;冶金 (1,075,549) | 金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般 (47,648) | 金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般 (43,865) | 液状化合物または溶液のいずれかからなる被覆形成化合物の分解による化学的被覆であって表面材料の反応生成物を被覆層中に残さないもの;接触メッキ (2,675) | 還元または置換によるもの,例.無電解メッキ (2,437) | 合金による被覆 (71) | 鉄,コバルトまたはニッケルを基とする合金によるもの (43)
国際特許分類[C23C18/50]に分類される特許
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無電解ニッケルめっき方法
【課題】 十分な選択めっき性が得られるとともに、耐食性に優れる無電解ニッケル/金めっきを施すことが可能な無電解ニッケルめっき方法を提供すること。
【解決手段】 基板上に形成された金属導体配線上に第1の無電解ニッケルめっき皮膜を、当該第1無電解ニッケルめっき皮膜全量を基準としたリン含有量が6〜8質量%となるように形成する第1の無電解ニッケルめっき工程と、上記第1のニッケルめっき皮膜上に、上記第1のニッケルめっき皮膜よりもリン含有量が高い第2の無電解ニッケルめっき皮膜を形成する第2の無電解ニッケルめっき工程と、を有することを特徴とする無電解ニッケルめっき方法。
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他物体との接触摩擦により表面が摩耗することを考慮した物品
【課題】基材表面の凹凸及び膜が、外部物質に対する優れた防付着性、防汚性、撥油性等を発揮する物品を提供する。
【解決手段】ステンレス等の金属あるいはテフロン(登録商標)含有ニッケルめっき等のメッキを表面に施すことが可能な同等の物質からなる基材1の表面に、テフロン(登録商標)含有ニッケルめっきによってセラミック粒子3をできるだけ均一にあるいは所望の分布密度で固着させ、同時にテフロン(登録商標)含有ニッケル被膜3中のテフロン(登録商標)の粒子も固着させる。適度な密度でセラミック粒子2の頂部がテフロン(登録商標)含有ニッケル被膜3の表面上に突出し、適当な凹凸を形成することによって、耐磨耗性、離塑性(潤滑性)、通電性を同時に得られる。その結果、優れた防付着性、防汚性、撥油性等を発揮し得るものとなる。
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マイクロエレクトロニクス応用における無電解堆積の欠陥及びプロセス制御
マイクロエレクトロニクデバイスの製造においてコバルト,ニッケル,あるいはこれらの合金を基板上に無電解的に(electrolessly)堆積する(depositing)方法と組成体(composition)。無電解コバルト及びニッケル堆積溶液のためのグレインリファイナー(grain refiner), レベラー(leveler),酸素除去剤(oxygen scavenger) ,及び安定化剤(stabilizer)。 (もっと読む)
電気的接続構造、配線付き絶縁部材およびその製造方法、ならびに電子装置
【課題】高温に曝される状況下であっても、下地めっき層に含まれる成分(たとえばニッケル)が、表面めっき層に拡散するのを効果的に抑制し、表面めっき層と導電性接続材との接続安定性および信頼性を向上させ、またリペア性を向上させる
【解決手段】絶縁部材30に形成された配線層31,32の所定部分に、下地めっき層35,36および表面めっき層37,38が積層形成された配線付き絶縁部材3において、下地めっき層35,36における表面めっき層37,38と接する表層部の全体35B,36Bを、ニッケルと、コバルトおよび鉄のうちの少なくとも一方とを含んだ固溶体を有するものとした。
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半導体工業に使用するための三成分系材料を無電解メッキする組成物
本発明は、半導体工業における型NiM−R(但し、MはMo、W、Re、Crであり、RはB、Pであるものとする)の無電解メッキされた三成分系ニッケル含有金属合金の使用に関する。殊に、本発明は、半導体構造素子中での銅の拡散およびエレクトロマイグレーションを阻止するための、バリヤー材料としてかまたは選択的なケーシング材料としての前記のメッキされた三成分系のニッケル含有金属合金の使用に関する。 (もっと読む)
配線基板の製造方法とこれに用いる無電解ニッケルめっき液
【課題】 接続端子部分の銅回路上にニッケルめっき皮膜/置換型無電解金めっき皮膜/還元型無電解金めっき皮膜を形成した配線基板を用いて半導体チップとを半田接合した場合、その接合強度は、半田ボールを基板に搭載するときのリフロー等の加熱工程を繰り返すごとに大きく低下する。本発明はこうした問題点のない配線基板の製造方法とこれに用いる無電解ニッケルめっき液の提供を課題とする。
【解決手段】 接続端子部にニッケルめっき皮膜、金めっき皮膜を設けて半田接合用の配線基板を製造する方法において、マンガンのカルボン酸塩を添加した無電解ニッケルめっき液、好ましくは液中のマンガン濃度が液中のニッケル濃度の1〜10%である無電解ニッケル液を用いてニッケルめっき皮膜を設ける。
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リン酸塩被膜を有する無電解ニッケルめっき膜の形成方法およびその形成膜
【課題】初期摺動特性等の諸特性が改善された無電解ニッケルめっき膜を提供すること。
【解決手段】表面にリン酸塩被膜を有する無電解ニッケルめっき膜の形成方法。硫黄含有化合物を含む無電解ニッケルめっき浴に被めっき物を所定時間浸漬して無電解ニッケルめっき膜を形成し、次いで、前記無電解ニッケルめっき膜をリン酸塩溶液と接触させることにより前記無電解ニッケルめっき膜上にリン酸塩被膜を形成する。表面にリン酸塩被膜を有することを特徴とするニッケル合金めっき膜。
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金属−セラミックス接合基板の製造方法
【課題】パターンの直線性を改善し且つ不めっきの発生を防止することにより、めっきの外観不良を改善するとともに、めっきの密着性を確保することができる、金属−セラミックス接合基板の製造方法を提供する。
【解決手段】セラミックス基板10の少なくとも一方の面にAlまたはAl合金からなる金属板12を接合して回路パターンを形成した後、 金属板12の表面の所定の部分に無電解Ni合金めっき18を施す、金属−セラミックス接合基板の製造方法において、金属板の表面全体にめっきを施した後に、めっきが必要な部分にレジスト20を塗布し、酸性エッチング液によりレジスト20が付着していない部分のめっきを除去する。
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半導体装置の製造方法
【目的】 選択的に拡散防止膜を形成する場合でも、配線同士間でショートが生じてしまう原因となる導電性材料の研磨残りを生じさせないようにすることを目的とする。
【構成】 基体上の開口部に形成された導電性材料膜上に前記導電性材料膜に用いる導電性材料の拡散を防止する拡散防止膜を選択的に形成する拡散防止膜形成工程(S120〜S122)と、前記拡散防止膜が形成された後、前記基体上に絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程(S124〜S128)と、前記絶縁膜形成工程の後、前記絶縁膜表面を研磨する平坦化工程(S130)と、を備えたことを特徴とする。
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半導体装置及びその製造方法、並びに処理液
【課題】 例えば酸素や銅に対する拡散防止効果を有する必要最小限の膜厚の合金膜を、配線パターンへの依存性を軽減しつつ、基板の全域に亘ってより均一な膜厚で形成した合金膜で配線を保護する。
【解決手段】 基板上の絶縁体内に形成した配線用凹部内に配線材料を埋込んで形成した埋込み配線の周囲の少なくとも一部に、タングステンまたはモリブデンを1〜9atomic%、リンまたはボロンを3〜12atomic%含有する合金膜を無電解めっきで形成した。
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