【課題】ホットウォールチャンバからの熱によってシール部材が加熱されても，高い真空度を保持したいチャンバ内への大気の侵入を防止し，そのチャンバ内の真空圧力を保持できるようにする。
【解決手段】ホットウォールチャンバであるプロセスチャンバ２００Ｂと，それより高い真空度を保持することが要求されるトランスファチャンバ３００との間のゲートバルブ装置は，トランスファチャンバの側壁と筐体の側壁との間は，そのトランスファチャンバとの基板搬出入口を第１シール部材３３０Ａとその外側の第２シール部材３３０Ｂにより囲んで２重シール構造とし，これらシール部材間の隙間を筐体の内部空間に連通する少なくとも１つの連通孔４０８を筐体の側壁に設け，トランスファチャンバとの基板搬出入口を，筐体内を昇降自在な弁体４１０によって開閉するようにした。 （もっと読む）

【課題】 ラインの増設・変更に容易に対応できる集積化流体制御装置およびこのような流体制御装置を備えたガス処理装置を提供する。
【解決手段】 流体制御装置は、各ラインA1,A2,A3,A4,A5,B1,B2,B3が複数のブラケット8,9,18,19,20を介して基板1に着脱可能に取り付けられ、通路接続手段47,48が上方に取り外し可能とされている。複数の継手部材11,12,13,14,15,16,17として、複数の管状継手部材13,15,17と複数のブロック状継手部材11,12,14,16とが使用されている。 （もっと読む）

【課題】 部材の構造が簡素化されており、かつ、取付け作業を容易に行うことができるボルトの緩み防止装置を提供する。
【解決手段】 複数本のボルト5の各頭部にそれぞれ相対回転不可能に嵌め合わせられる複数個の嵌合部材2,3と、複数個の嵌合部材2,3にまたがって嵌め合わせられる係合部材4とを有している。各嵌合部材2,3の外周面2b,3bが非円形とされ、係合部材4に、複数個の嵌合部材2,3の各非円形外周面2b,3bに対応する複数の係合孔（非円形係合部）8a,8bが設けられている。 （もっと読む）

【課題】水栓本体を外ハウジングと内ハウジングとの２重構造となして、外ハウジング側の湯流入用開口と、内ハウジング側の湯流入用開口とを接続部材で接続するに際し、十分な湯の流入量を確保することのできる混合水栓を提供することを目的とする。
【解決手段】外ハウジング３０に筒壁を貫通する湯流入用開口５２を設け、また内ハウジング３２には筒壁を貫通する湯流入用開口５０を設けるとともに、これを取り囲む連結口部８２を設けて、筒状の接続部材５４の一端側を湯流入用開口５２に水密結合する一方、他端側をスペーサ部材８４及び連結口部８２を介して湯流入用開口５０に水密結合する。 （もっと読む）

【課題】 外ハウジング側の混合水の流出用開口と内ハウジング側の流出用開口とを接続部材で接続するに際し、接続部材が水栓の外観上継目を生じて外観を損ねる問題を生じない、外観に優れた混合水栓を提供することを目的とする。
【解決手段】外ハウジング３０に筒壁を内外方向に貫通する流出用開口６４と、これにより外部に突出する筒形の吐水口部２６０を設ける。一方内ハウジング３２には流出用開口６０を設けて、それら流出用開口６４，６０を接続部材２６２にて水密接続する。またその接続構造を、接続部材２６２を外ハウジング３０の内側に内蔵させ、外ハウジング３０の内側で接続部材２６２を固定クリップ２６４にて軸方向に固定する構造となす。 （もっと読む）

【課題】従来のアルミダイキャスト製の制御弁用弁本体のように、複雑な構成の流路、シール溝部、継手部、弁室、弁座などを切削加工する必要がなく、また、表面加工処理、封孔処理などが不要で、気密性に優れ、しかも、経年変化による劣化がなく、耐熱性、腐食性にも優れ、簡単な工程で、加工時間、コストが低減可能な制御弁用弁ハウジングを提供する。
【解決手段】制御弁用弁ハウジング１０が、流路を構成する配管部材１８、２６と、弁ケーシング３２とを、相互に接合することによって形成した弁ケーシングユニット３８と、弁ケーシングユニットの周囲を、モールド材で一体成形することにより形成したモールド本体部４０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 入口と出口の寸法を短くできる短面間スチームトラップを得ること。
【解決手段】 接続部１とスチームトラップ２とで短面間スチームトラップを構成する。接続部１を、同軸上に形成した入口３と出口４と、入口３とスチームトラップ２内の弁室と連通する入口通路５と、出口４と連通する連通路６とで構成する。入口３の外周につば状のウェハー型フランジレス７を形成し、同様に、出口４の外周につば状のウェハー型フランジレス８を形成する。スチームトラップ２には内部の弁室に弁部材を配置して、入口３から流入してくる復水と蒸気の混合流体から復水だけを出口４へ排出し、蒸気は排出することがないようにする。
接続部１の入口３と出口４の間をウエハー型フランジレスとしたことにより、入口３と出口４の寸法を短くでき短面間スチームトラップとすることができる。 （もっと読む）

【課題】 入口と出口の寸法を短くできる短面間減圧弁を得ること。
【解決手段】 接続部１と減圧弁２とで短面間減圧弁を構成する。接続部１を、同軸上に形成した入口３と出口４と、入口３と減圧弁２内の減圧弁室と連通する入口通路５と、出口４と連通する連通路６とで構成する。入口３の外周につば状のウェハー型フランジレス７を形成し、同様に、出口４の外周につば状のウェハー型フランジレス８を形成する。減圧弁２には内部の減圧弁室に弁部材を配置して、入口３から流入してくる蒸気を所定の設定圧力に減圧して出口４へ流下させる。
接続部１の入口３と出口４の間をウエハー型フランジレスとしたことにより、入口３と出口４の寸法を短くでき短面間減圧弁とすることができる。 （もっと読む）

【課題】操作性が容易で、外部突起物が少なく防錆効果の高い医療用ボールバルブを提供する。
【解決手段】ハウジング材質を弾性を有するシリコーンゴムなどの材質で瓢箪形状に形成した弾性殻１を有し、内部には、外形に沿う瓢箪形状の３個の内室（閉鎖室３、開放室２、吸引室４）を有し、閉鎖室３と開放室２との室内に弾性殻１を手動で変形させることで移動可能な球形のガラス球形弁８を配置し、球形弁８の移動により流入口６と排出口７との連通を遮断・開放する防錆性を考慮した弾性殻バルブ。 （もっと読む）

【課題】浄化時間を短くして、効率よく必要な薬液を供給すること。
【解決手段】第１入力ポート２８を有し第１薬液を供給する樹脂製の第１薬液弁２０と、第２入力ポート３８を有し第２薬液を供給する樹脂製の第２薬液弁３０と、出力ポート１５が設けられた流路ブロック１１とを有する薬液供給ユニット１０において、（ａ）第１薬液弁２０と第２薬液弁３０が、流路ブロック１１に、対向して固設されていること、（ｂ）流路ブロック１１の、出力ポート１５が設けられた面と直交して対向する二面に、第１入力ポート２８と第２入力ポート３８が設けられていること、（ｃ）第１入力ポート２８の中心線が、第１薬液弁２０の弁体２３の外周面２３１より外側に位置していること、（ｄ）第２入力ポート３８の中心線が、第２薬液弁３０の弁体３３の外周面より外側に位置している薬液供給ユニット１０を提供する。 （もっと読む）