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国際特許分類[G01B11/24]の内容

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【課題】鏡面性を持つ試料の各位置の高さを正確に求めることができる技術を提供する。
【解決手段】撮像部2は、例えば所定のフレームレートで、試料Sの画像である試料画像を撮像する。輝線抽出部は、撮像部2により順次に撮像された試料画像から輝線を抽出し、所定の基準高さ及び基準傾きを示す基準輝線に対する各輝線のずれw(x)を求める。高さ算出部は、w(x)=2L・(d/dx)・d(x)+2sinθ・d(x)に、輝線抽出部により抽出された輝線のずれw(x)を代入することで、基準高さからの試料Sの高さd(x)を順次に算出する。 (もっと読む)


【課題】さらに付加的な情報の取得が可能で、かつ堅牢な装置構造と高度な測定精度とを有する光干渉測定技術の提供。
【解決手段】光干渉測定装置は、光源1からの出発ビーム2を測定ビーム3と第1の参照ビーム4aとに分割するビームスプリッタ5aと、光の重ね合わせ手段と、第1の検出器8aとを備える。重ね合わせ手段と第1の検出器8aとは互いに連携する。物体7によって反射された測定ビームと第1の参照ビームとが第1の検出器の検出面で重ね合わされる。ビームスプリッタ5aは、出発ビーム2を測定ビーム3と、第1の参照ビーム4aと、少なくとも第2の参照ビーム4bとに分割する。重ね合わせ手段と互いに連係する第2の検出器8bが備えられ、物体7によって散乱させられた第1の受信ビーム4b’としての測定ビームと第2の参照ビーム4bとが第2の検出器8bの検出面で重ね合わされる。 (もっと読む)


【課題】被写体までの距離とともに、被写体の肌領域を精度良く算出する。
【解決手段】第1のLEDは、被写体に対して、第1の波長の光を照射し、第2のLEDは、被写体に対して、第1の波長とは異なる第2の波長の光を照射し、距離画像センサは、被写体からの反射光を受光する。そして、肌検出部は、被写体からの反射光として第1の波長の光が受光されることにより得られる第1の画像と、被写体からの反射光として第2の波長の光が受光されることにより得られる第2の画像に基づいて、被写体の肌を表す肌領域を検出し、距離画像センサは、第1の波長の光が被写体に照射されたときから、被写体からの反射光として受光されるまでの第1の往復時間を算出し、算出した第1の往復時間に基づいて、被写体までの距離を算出する。本開示は、例えば、被写体の撮像により、距離画像を生成する撮像装置等に適用できる。 (もっと読む)


【課題】撮像素子の受光面とその前方に配置されたカバーガラス等の透明体の前面及び背面のうちのいずれかの表面に存在する異物の位置、大きさ、形状を特定することができる撮像素子の異物検出方法及びその装置を提供する
【解決手段】本発明に係る異物検出装置は、撮像素子パッケージ2を装着部50に装着し、光源部60から照明光を照射して、撮像素子10の受光面の像を撮像する。光源部60から受光面10Aに照射する照明光は、例えば、平行光と、点光源からの拡散光とで切り替えられ、各々の照明光により照明している状態で撮像した撮影画像を制御・検査部80に取り込み、それらの画像を比較することによって、異物の3次元的な位置、大きさ、形状を特定する。 (もっと読む)


【課題】 被検面が傾いていても測定精度を悪化させることのない多波長干渉計を提供する。
【解決手段】 波長が互いに異なる少なくとも2つの光束を参照光と被検光とに分割し、分割された参照光の周波数と被検光の周波数とを異ならせ、被検光と参照光とを干渉させる干渉計において、干渉光を複数の光束に分割する分割部を有し、分割された複数の光束を各波長について検出する。 (もっと読む)


【課題】簡単な構造で容易に対象エリア、又は測定対象の画像が取得できると共に対象エリアの測定が行える画像測定装置を提供する。
【解決手段】投光光軸26と照明光29を射出する光源27とを有し、前記投光光軸を経て前記照明光を投射する投光光学系5と、受光光軸15と撮像素子13とを有し、測定対象からの再帰反射光29′を前記受光光軸を経て撮像素子で受光する受光光学系6と、前記撮像素子で撮像されたデータを処理する制御演算装置7とを具備し、前記投光光学系は前記投光光軸を測定対象に向け前記照明光を投射する投光ユニット25と、該投光ユニットを高低方向、水平方向に回転し、前記照明光の投射角を変更する投射角変更手段23,33と、前記受光光軸に対する前記投光光軸の方向角を検出する方向検出手段24とを有する。 (もっと読む)


【課題】毛髪表面の断面形状(表面輪郭形状)、毛髪表面の段差を高精度に測定できる形状測定装置の実現。
【解決手段】測定すべき毛髪に向けて走査ビームを投射する対物レンズ13を含み、毛髪からの反射光を受光して毛髪表面の共焦点画像を撮像する共焦撮像装置と、複数の毛髪を、その長手軸線方向であるX軸方向に支持すると共にX軸と直交するY軸方向そって所定の間隔で整列支持する毛髪支持手段15と、X軸方向及びY軸方向に移動可能で、前記毛髪支持手段を支持するステージ14とその駆動手段と、対物レンズとステージとの間の相対距離を変化させる手段16と、共焦点撮像装置から出力される画像信号に基づき、毛髪表面の断面画像情報及び/又は毛髪表面に存在する段差の大きさを示す段差情報を出力する信号処理装置10とを有する。ステージは、測定される毛髪の本数及び測定点の座標情報に基づき、ジグザグ状に設定された移動経路に沿って移動する。 (もっと読む)


【課題】管の内面曲がりを定量的に測定できるとともに、様々な内径の鋼管に対応できる管の内面曲がり測定装置およびそれを用いた測定方法を提供する。
【解決手段】被測定材である管の長手方向に移動可能なヘッド21と、ヘッド21によって管10の周方向に揺動可能に支持され、管10の内面までの距離を測定する第1距離計22と、管10の長手方向におけるヘッド21の位置を測定する第2距離計(図示なし)と、ヘッド21の移動および第1距離計22の揺動を制御する制御手段とを備えることを特徴とする管の内面曲がり測定装置20である。本発明では、内面曲がり測定装置20が管10の長手方向に垂直な面におけるヘッド21の変位を測定する変位計を備え、ヘッド21を、管10を長手方向を水平にした状態で該管の内面上を走行する走行機構、および、第1距離計22の揺動軸を水平に維持する維持機構を有する走行装置に設けるのが好ましい。 (もっと読む)


【課題】画像処理の負担を軽減し、容易かつ正確に切断面を区別することのできる、新規の切断面の検出方法を提供する。
【解決手段】第1の偏光フィルタ2の偏光方向2aを所定の方向に向けて第1の偏光フィルタ2の偏光方向2aと第2の偏光フィルタ4の偏光方向4aを直交させ、照明光1を第1の偏光フィルタ2を透過させ試料3の切断面3b,3cで反射させてから第2の偏光フィルタ4を透過させデジタルカメラ5により撮影して第1の画像を取得し、第1の偏光フィルタ2の偏光方向2aを所定の方向から45度傾かせて第2の画像を取得し、第1の偏光フィルタ2の偏光方向2aと第2の偏光フィルタ4の偏光方向4aを平行にして第3の画像を取得し、第1、第2、第3の画像を加算する。 (もっと読む)


【課題】対象物の奥行方向に対する計測精度の低下を抑制し、計測空間全域において良好な計測精度を得る。
【解決手段】計測空間への投影動作を実行する投影部と、投影動作が実行された計測空間中の対象物を撮影する撮影部と、撮影された画像に基づいて対象物の三次元形状を計測する計測部と、を備え、計測空間は、撮影部の撮影光学系のフォーカス位置の基準となる計測基準面を含み、且つ投影部の投影範囲と撮影部の撮影範囲とに基づいて規定されており、フォーカス位置は、撮影部から観察した場合に計測基準面の位置よりも奥に設定されている。 (もっと読む)


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