【課題】検出用走査を行うことなく、ワンショット撮影により、高さ方向のダイナミックレンジの大きい、被検面の１ライン上の微細な凹凸形状情報を容易に取得し得る、形状測定装置および形状測定方法を提供する。
【解決手段】 空間的にインコヒーレントで広帯域スペクトルを有する光を射出する面状の光源１０からの照明光を、対物レンズ１３Ａ、Ｂを介して参照面１４および被検面２０に照射し、得られた参照光と測定光を干渉させ、その干渉光をスリット１６Ａにより線状に整形し、分光器１６により分光し、２次元撮像手段１７により得られたスペクトル干渉情報に基づき被検面２０の形状を解析する。光源１０、被検面２０、スリット１６Ａ、および光源１０、参照面１４、スリット１６Ａは各々互いに共役である。被検面２０を介する系路の光路長と、参照面１４を介する経路の光路長との間にオフセットが設けられる。 （もっと読む）

【課題】試料の表面形状を測定する際に、干渉波形の包絡線と位相との両方に基き試料の表面形状を算出できるようにした走査型白色干渉計による試料の表面形状の測定方法を提供する。
【解決手段】撮影した動画ファイルデータに基づき、試料の表面上の位置に対応する各画素において、ヒルベルト変換を用いて干渉波形の包絡線と位相を算出し、包絡線がピークになる走査位置と、位相が０になる走査位置を算出し、両位置の差から、試料表面の反射光の位相変化による位置ずれの値を検出し、その値の大きさから、その画素の試料表面が他の画素の試料表面と同種であるか異種であるかを判定し、同種のもの同士で干渉波形の位相が０になる走査位置のずれの平均値を算出しておき、各画素で、位相が０になる位置から対応する試料の表面上の物質での位相が０になる走査位置のずれの平均値を引くことで、反射光の位相変化の影響が消されて試料の表面形状が測定される。 （もっと読む）

【課題】走査型白色干渉計を用いて試料の表面形状を測定する際に、少ないデータ数で精度よく試料の表面形状を測定できるようにするデータ処理方法を提供する。
【解決手段】走査型白色干渉計のデータ処理方法は、干渉計で得た動画ファイルデータを読み出し、それぞれの画素において時間軸方向のデータに基き、ヒルベルト変換を用いて、時間軸上での位置で、干渉計の光路差が０になる走査距離に対応した干渉波形の最大のピークの位置を求め、それを全画素で表わす。 （もっと読む）

【課題】ロボットの座標系に依存しない、三次元計測システムを提供する。
【解決手段】計測対象の三次元形状を計測する三次元計測器２０と、この三次元計測器２０を移動させるロボット１０と、ロボット１０を駆動制御するロボット制御装置３０と、を備えた三次元計測システム１であって、ロボットのアーム先端に固定され三次元計測器を支持したベースプレート６０と、ベースプレートに固定された三次元計測器２０の傾きを計測するロボット計測装置４０と、ワーク計測箇所の座標及びワークの形状寸法を算出するデータ処理装置５０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 渦巻きばねの撮影画像から芯線を正確に抽出する。
【解決手段】 画像処理装置は、渦巻きばねを撮影した撮影画像を入力する画像入力手段と、入力された撮影画像から渦巻きばねの輪郭線を抽出する輪郭線抽出手段と、抽出された輪郭線を極座標変換する座標変換手段と、極座標変換された輪郭線に対して、その輪郭線上を一方向に移動しながら一巡したときの「輪郭線の角座標値列（θ_１，θ_２，・・，θ_ｎ）」を取得する角座標値列取得手段と、取得された「輪郭線の角座標値列」を用いて、内フック領域及び外フック領域を特定するフック領域特定手段を有している。 （もっと読む）

【課題】試料の表面形状の測定精度を大幅に向上させることのできる、走査型白色干渉計による試料の表面形状の測定方法を提供する。
【解決手段】対物レンズの下にビームスプリッター及びミラーを配し、試料表面を含めて、マイケルソン型などの干渉計を構成し、試料までの距離又はミラーまでの距離をピエゾアクチュエーターで走査し、それによりできる干渉波形をCCDカメラで撮影して動画ファイルデータとして記録し、データ収集間隔をナイキスト間隔（干渉波形の周期の１／２）よりも広く取って試料の表面形状を測定する、走査型白色干渉計による試料の表面形状の測定方法において、得られた収集波形についてヒルベルト変換を行い、包絡線と位相を得、こうして得られた位相が０になる走査位置と試料の表面高さとの関係を用いて位相が0になる走査位置から試料表面の高さを算出する。 （もっと読む）

【課題】作業性に優れたかぶりコンクリートの剥落形状計測装置を実現し、実際のかぶりコンクリートの剥落部を現場で計測可能とする。
【解決手段】剥落形状計測装置２は、分解自在で可搬性のあるフレーム部４の天板部１０にリニアガイド１２を固定し、リニアガイド１２の下面に、案内方向と計測方向とが直交するようにして２次元走査可能なレーザ変位センサ５をスライド移動自在に支持する。把持部４を持って測定対象の剥落部３２を覆うようにして装置を固定する。その際、リニアガイド１２の案内方向が剥落部３２の鉄筋３０の方向に平行となるようにする。そして、鉄筋３０の長手方向に沿ってレーザ変位センサ５の計測位置を移動させては計測することを繰り返して、剥離部３２の３次元の形状を計測する。 （もっと読む）

【課題】内径の異なる種々の穴形状を精度良く測定できる測定装置を提供すること。
【解決手段】被測定領域の少なくとも一部の面の法線方向とは異なる方向から前記被測定領域に照明光を照射することで被測定領域に帯状の照明領域を形成する照明系と、前記照明系による照射方向と前記帯状の照明領域における長手方向等を含む面からはずれた位置から照明領域の散乱光を受光する受光系と、受光系の受光結果に基づいて被検面の形状を算出する演算部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】安価でかつ信頼性の高い幅測定機能を有し、被測定物体の幅を高精度に測定することができる幅測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物体１の上方より外側に配置され、その一方側にスリット状光を照射する光源２ａと、そのスリット状光を撮像する一方側２次元撮像部４ａと、被測定物体１の一端部２８ａの幅方向座標を演算する一端部幅方向座標演算部７ａと、一端部高さ方向座標演算部８ａと、一端部位置演算部９ａと、被測定物体１の上方より外側でかつ光源２ａと反対側に配置され、その他方側にスリット状光を照射する光源２ｂと、そのスリット状光を撮像する他方側２次元撮像部４ｂと、他端部２８ｂの幅方向座標を演算する他端部幅方向座標演算部７ｂと、他端部高さ方向座標演算部８ｂと、他端部位置演算部９ｂと、一端部２８ａおよび他端部２８ｂの空間位置に基づいて、被測定物体１の幅を演算する幅演算部１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】カメラ、レーザの相対位置を高精度で設置する必要がなく、また、測定レンジを複数種類を単一の測定プログラムにより変更する。
【解決手段】レーザ線条光照射部12と、既知形状の基準模様群を表示面に表示した座標変換テーブル作成用印刷表示板16と、照射部位の光切断面及びレーザ照射平面上に設置される表示板16を撮影するカメラ11と、表示板１６の基準模様群を撮影したカメラ上の座標データを抽出する基準座標抽出手段131とから基準模様群の座標データと基準座標抽出手段131で抽出されたカメラ上の座標データとの対応関係を示す座標変換テーブル133を作成する。形状測定時には、表示板16を外して同じ位置に被測定物を配置させ、レーザ線条光を照射して照射部位の光切断面を撮影した画像から、点群抽出手段134により光切断面の点群を抽出する。抽出した点群座標を近似処理手段135により座標変換テーブル上の値に近似する。 （もっと読む）