【課題】ホール素子に発生するオフセット電圧値を周囲温度に従って除去し、微小角度の測定精度を向上させる。
【解決手段】ホール素子から成る角度検出用センサ１５は磁束密度検出面であるチップ面Ｔが、磁束方向と平行になる場合をθ＝０となるように配置されている。センサ１５の出力Ｖには、定電流Ｉを供給することで、角度変位θと無関係で内部抵抗に起因するオフセット電圧値Ｏ１が発生し、出力Ｖに重畳している。
オフセット電圧値Ｏ１を得るためには、オフラインにおいてセンサ１５に無磁界状態で定電流Ｉを供給しながら温度Δｔを変化させて、出力Ｖのデータを求める。データから温度Δｔに対するオフセット電圧値Ｏ１のテーブルを作成する。
角度測定中では、周囲温度を測定し、オフセット電圧値Ｏ１を記憶したテーブルから求め出力Ｖから差し引けば、オフセット電圧値Ｏ１が除去される。 （もっと読む）

【課題】部品点数の増加を抑え、小型軽量化可能な、エンコーダを備えた３相ブラシレスモータを提供することである。
【解決手段】本発明は、電機子コアおよび電機子コイルを有するステータと前記ステータの内径側に空隙を介して設けた永久磁石を有するロータとからなるモータと、前記ロータの回転位置を検出するエンコーダと、を備えた３相ブラシレスモータにおいて、前記ロータの永久磁石は回転軸と直角方向に着磁された複数の磁極をもつ磁石であり、前記ロータの磁界を検出する複数の磁気センサを有し、前記複数の磁気センサのうちの少なくとも２つを並列配置して該２つの磁気センサの出力を合成し、前記エンコーダは前記磁気センサによる合成した出力に基づいて前記ロータの回転位置を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】自動車のステアリングの回転角度検出等に用いられる回転角度検出装置に関し、検出する回転角度の誤差が少なく確実な角度検出が可能なものを提供することを目的とする。
【解決手段】磁石１５Ａ、１５Ｂや磁石１６Ａ、１６Ｂを第一及び第二の検出体１２、１３の回転中心Ｃ１、Ｃ２から所定間隔離れて対面配置すると共に、第一及び第二の検出体１２、１３の回転中心Ｃ１、Ｃ２上に磁気検出素子７、８を対向配置することによって、磁石１５Ａ、１５Ｂや磁石１６Ａ、１６Ｂの間に発生する直線状の磁力線の範囲が拡がるため、磁気検出素子７、８の位置ズレが多少生じても、検出信号の誤差が小さく、検出される回転角度の誤差を少なくすることができる。 （もっと読む）

【課題】自動車のステアリングの回転角度検出等に用いられる回転角度検出装置に関し、部品点数が少なく安価なものを提供することを目的とする。
【解決手段】カバー２０に外方開口の略箱状で、側壁部２０Ｂに端子２１が内外方に貫通したコネクタ部２０Ａを一体に形成すると共に、内方の端子２１の接続部２１Ａに配線基板１７を接続することによって、カバー２０にコネクタ部２０Ａが一体に形成されているため、部品点数が少なく安価な回転角度検出装置にすることができる。 （もっと読む）

【課題】 簡易でかつ安定した目盛担持体の組立てを可能にする、角度測定装置のための組立体を提供することである。
【解決手段】−前記目盛担持体（１）に位置決め部材（３）が第一の材料一体的結合部を用いて固定されていること、
−目盛担持体（１）を担持している位置決め部材（３）が、支持体（２）の凹部（２１）内に配置されており、位置決め部材（３）が半径方向で遊びがなく位置決めされるように凹部（２１）が採寸されていること、そして
−目盛担持体（１）と支持体（２）の間に第二の材料一体的結合部が設けられていることにより解決される。 （もっと読む）

【課題】磁気センサの調整が煩雑となることが抑制された磁気センサ調整方法、及び、磁気センサ調整装置を提供する。
【解決手段】磁電変換素子（２０）、磁石（３０）、及び、磁電変換素子（２０）の出力信号を閾値電圧に基づいて二値化する信号処理部（４３）を有する磁気センサ（１０）の出力特性を調整する磁気センサ調整方法であって、磁性体（７０）と磁気センサ（１０）との距離が第１距離の時の磁電変換素子（２０）の第１出力信号の電圧値Ｖａ、及び、磁性体（７０）と磁気センサ（１０）との距離が第２距離の時に出力される磁電変換素子（２０）の第２出力信号の電圧値Ｖｂを計測し、磁電変換素子（２０）の出力特性に関わる係数をａ，ｂ、閾値電圧をＶｔｈとすると、Ｖｔｈ＝ａ×ｌｎ（Ｖｂ−Ｖａ）＋ｂ＋Ｖａが成立するように磁電変換素子（２０）の出力信号の電圧レベルを調整する。 （もっと読む）

【課題】振動や衝撃を受けたときのプリント板の振動を簡易な構成で抑制できる、信頼性の高いエンコーダを提供することを目的とする。
【解決手段】エンコーダ１０は、ハウジング１２と、ハウジング１２内に設けられかつ被測定体の回転部と同期回転するように構成された略円板状の回転コード板１４と、ハウジング１２に取り付けられかつコード板１４の上方に配置されたプリント板１６とを有し、さらに、エンコーダに加わった振動や衝撃等によって共振しているときのプリント板１６の変位が大きくなる箇所においてプリント板１６に当接するような形状を備えた補強部材２０を有する。 （もっと読む）

【課題】周囲の気体の屈折率変動の影響を低減させて、ステージの位置決め精度等を向上できる露光装置である。
【解決手段】投影光学系（ＰＬ）を介してウエハステージ（ＷＳＴ）上のウエハ（Ｗ）に露光用の照明光を照射して、ウエハ（Ｗ）に所定のパターンを形成する露光装置であって、ウエハステージ（ＷＳＴ）に設けられたスケールと、このスケールの位置情報を検出する複数のＸヘッド（６６）と、複数のＸヘッド（６６）を一体的に支持し、線膨張率がウエハステージ（ＷＳＴ）の本体部よりも小さい計測フレーム（２１）と、複数のＸヘッド（６４）の検出結果からウエハステージ（ＷＳＴ）の変位情報を求める制御装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】磁気スケールと磁気抵抗素子との径方向の位置を確実かつ容易に合わせることのできるロータリエンコーダを提供すること。
【解決手段】ロータリエンコーダ１では、センサユニット５のホルダ８は、センサユニット５の中心Ｏ5およびホルダ８の中心Ｏ8を円中心とする円周部分（内周部分８２ａおよび外周部分８１）を備え、磁気スケール２は、磁気トラック３１と同心状の円周部分（ヨーク板２０の内周部分２１および外周部分２２）を備えている。このため、磁気スケール２を回転体に取り付け、センサユニット５を固定体に取り付ける際、ホルダ８の円周部分と磁気スケール２の円周部分とを位置合わせすれば、ホルダ８およびセンサユニット５と磁気トラック３１とを同心状に配置することができる。 （もっと読む）

【課題】検出対象である磁石等の形状の制約および製造コストの増加を伴わずに、磁気の検出精度を維持または向上させることのできる、磁気を検出用の電子回路を提供する。
【解決手段】磁気検出装置１００は、磁気検出回路１１０と、処理回路１５０とを備える。磁気検出回路１１０は、各々が少なくとも１つの磁気検出素子を有する少なくとも３つの検出ブロックが配列され、検出すべき対象物に応じて少なくとも３つの検出ブロックのうちから第１および第２の検出ブロックを選択することによって、第１および第２の検出ブロック間の距離を検出すべき対象物に適した距離とすることができるように構成された磁気検出部１２０と、外部からの設定に基づいて第１の検出ブロックおよび第２の検出ブロックを選択するための制御部１４０と、制御部１４０により制御され、選択された検出ブロックを処理回路１５０に接続するための切換部１３０とを備える。 （もっと読む）