【課題】簡単な構成で、流路内の流体の流量を連続的に測定可能にするとともに、廉価で簡単な構成で、流路内に設置する際の工事費用も低く抑え、定期的な検証や校正も容易にする。
【解決手段】上流側のダクト１１０内に注入管１を配設する。下流側のダクト１２０内に流体圧力検知装置２を配設する。ＣＯ₂ ガスを注入管１からダクト１１０内に注入するとともに、ＣＯ₂ ガスの注入量を確認する。流体圧力検知装置２の上流側の流体圧力検知体２１をサンプリング管として流用してＣＯ₂ ガスのサンプリングを行う。サンプリングしたＣＯ₂ ガスの濃度から流量を求める。上流側の流体圧力検知体２１と下流側の流体圧力検知体２２との流体の差圧を差圧指示計３で検出する。ガストレーサー法で求めた流量と差圧との関係を調査する。その後、流体圧力検知装置２で検出した差圧と上記関係から流量を求める。 （もっと読む）

本発明は、変動する圧力降下を有し連続的に作動するフローセンサ、好ましくはマスフローセンサによって、動的なフルード消費量、特に燃料消費量を連続的に計測するための方法であって、圧力がフローセンサの後方で検出され、フルード搬送の調整のために援用される方法に関する。可能な限り簡易な構造で、連続的で正確かつ高い時間解像度の消費量計測とハイダイナミックな流量値の特定を可能とするために、少なくとも一時点において、フローセンサの直前の圧力、両圧力値の差、およびこの差からフルードの流量のための値が検出される。
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主流気体モニタリングシステム30、並びに、主流気道アダプタ32、及びそのアダプタ中の気体流動の検体を測定するために主流気道アダプタに結合される気体センシングアセンブリ34を使用することを含む方法が開示される。気体センシング部36は、主流気道アダプタ中の気体流動中の検体を示す信号を出力する。処理部38は、気体センシング部から信号を受け取って、気体センシング部からの信号に基づいて気体流動中の検体の量を決定する。処理部はまた、そのようなシステム及び方法を用いて行われる測定の精度を最大化するために、吸息の間の気体流動と呼息の間の気体流動との間の体積測定差を補償する。
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【課題】 圧力変動を吸収することができて流量の制御性が高い流量制御装置を提供する。
【解決手段】 流体を流す流路６に、流量を検出して流量信号を出力する流量検出手段８と、バルブ駆動信号により弁開度を変えることによって流量を制御する流量制御弁機構１０とを設ける。そして、外部から入力される流量設定信号Ｓ０と流量信号Ｓ１とに基づいて流量制御弁機構を制御する制御手段４４を設けてなる流量制御装置において、流路に流体の圧力を検出して圧力検出信号を出力する圧力検出手段４２を設ける。前記制御手段は流量検出手段から得られる流量信号に基づいて、圧力検出信号を用いることなく流量信号と流量設定信号とに基づいて流量制御を行う第１制御モードがある。そして、圧力検出信号と流量設定信号とに基づいて流量制御を行う第２制御モードとを選択的に切り替える。 （もっと読む）

プラズマ処理システムの反応室における実ガス流量を決定する方法が提供される。方法は、質量流量コントローラ（ＭＦＣ）で制御されるガス流量供給システムによってガスを反応室の上流に位置するオリフィスに供給することを含む。また、方法は、ガスを加圧してオリフィス内にチョーク流れ状態を作り出すことを含む。さらに、方法は、一組のガスの上流圧力値を一組の圧力センサによって測定することを含む。さらに、方法は、一組の較正係数の較正係数を適用して実流量を決定することを含む。較正係数は一組の上流圧力値の平均値と一組の最良上流圧力値の平均値との比であり、一組の最良上流圧力値の平均値はＭＦＣの指示流量に関連している。 （もっと読む）

【課題】種々の条件下(例えば、粘性が比較的高い気体で、一次圧が低く、しかも差圧が小さいような圧力条件下）でも、精度よく流量を算出でき、ＦＦ制御等の利点である速応性を活かすことのできる流量算出方法等を提供する。
【解決手段】バルブの開度に応じて予め定められているＣｖ値と、バルブの前後圧や差圧等を含んだ圧力式と、に基づいて当該バルブを流れるガスの流量を算出する流量算出方法において、前記圧力式を、式の形は同一でありながら圧力値を除く設定係数の一部又は全部がバルブの開度に応じて変わるものとした。
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【課題】同時に大量の流体を消費をした場合にも、マスフロー値を算出するための検知部での損出水頭が小さく、かつ流量の増減に対し長期に渡り常に正確なマスフロー値が算出でき、しかも緊急遮断が機能を備えているにもかかわらず設置コストの低減が図れるマスフローメータを提供すること。
【解決手段】緊急閉鎖可能な常時全開状態の回転型閉止弁１４が配置された流体管路１０内を流れる流体の流速よりマスフロー値を算出するフローメータにおいて、回転型閉止弁１４の全開時における該弁の上流側先端部に受ける流体圧に基づいて得られる信号をコントローラ２０に入力し、該コントローラ２０の演算部により、管１０内に流れた流体の平均速度を連続的に演算してマスフロー値の累積蓄算量を算出する。 （もっと読む）

ダイヤル式流量制限計を、流体フィルター（自動車用の空気フィルターや燃料フィルターなど）の流量制限状況を示すために用いる。従前のこの種のフィルターは、複雑であり、製造に望ましくないほどの費用が嵩んでしまっていた。よって本発明者は特に、製造が低廉で済みしかも広汎な温度範囲にわたって信頼性と一貫性を以って動作する例示的なダイヤル式流量制限計を発明した。或る例示的な計器には、圧力差に応じて制限目盛に合わせて回転する外部ダイヤルが含まれる。計器の外部にこうしたダイヤルを置くことで、透明材料を使う必要がなく、しかも制限目盛を計器の外表面に埋めこむことが可能となる。
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【課題】予め複数の処理プログラムを備えることなく、検出対象に応じた処理を行うことが可能な物理量検出装置等を提供する。
【解決手段】流体が流れる流路の状態検知に先立って行われるティーチングモード時に、流体の圧力及び流量をサンプリングするとともに、流路の状態を検知する検出モード時にも流体の圧力及び流量をサンプリングし、検出モード時に得られる圧力におけるティーチングモード時の流量と検出モード時の流量との差が所定値以上である場合には、流路に目詰まりが生じていると判断する。 （もっと読む）

【課題】より安価な燃費計測装置および燃費計測方法を得る。
【解決手段】燃料タンク２の内外を所定径のオリフィス１０で連通し、このオリフィス１０をチェックバルブ１１によって燃料タンク２内の負圧状態で連通させるとともに、燃料タンク２内の圧力を圧力センサ１２で計測し、計測した燃料タンク２内の負圧値Ｐｔに基づいてオリフィス１０から燃料タンク２内に流入する空気流量Ａを算出し、その流入空気流量Ａから燃料Ｆの消費量Ｒを算出するようにした。 （もっと読む）