【課題】洗浄等による液体の置換を容易かつ完全に実施できるダメージ軽減対策を施した圧力センサを提供する。
【解決手段】流体主流路１１を流れる液体の圧力を検出する圧力センサ１０において、流体主流路１１の直管部から分岐した位置に圧力計測空間部１２を設けて圧力計測部４を設置し、さらに、流体主流路１１と圧力計測空間部１２との間については、流体主流路１１より管径の細い導入管１３及び流出管１４を介して接続されている。 （もっと読む）

【課題】炉心流量を正確に計測することができる原子炉および炉心流量評価装置を提供する。
【解決手段】炉心冷却材流量計測装置３０において、炉心冷却材が通流するように炉心支持板１７に設けられている貫通孔における流路中間と下流側との差圧を検出する第１検出器３３と、この第１検出器３３からの差圧信号に基づき前記貫通孔における前記炉心冷却材の通過流量を求める第１演算器４２と、前記貫通孔における流路中間と上流側との差圧を検出する第２検出器４３と、この第２検出器４３からの差圧信号に基づきクラッド影響係数を求める第２演算器５１と、前記通過流量及び前記クラッド影響係数に基づき炉心流量を求める第３演算器５５と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】供給ノズルから大流量及び小流量で供給する処理液の流量を精度よく制御でき、小流量で処理液を供給するときの流量変動を防止できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板に処理液を供給するノズル部４５と、ノズル部４５に処理液を供給する供給系７０とノズル部４５とを接続する供給流路６８ａを絞る絞り部１３２ａと、絞り部１３２ａの両側の供給流路６８ａ内の圧力を計測する圧力計測部１３２ｂと、供給流路６８ａ上に設けられた流量制御弁１３３と、流量制御弁１３３を制御する流量制御部１３４とを有する。流量制御部１３４は、第１の流量Ｆ１で処理液を供給するときは、絞り部１３２ａの両側の圧力差に基づいて流量制御弁１３３を制御し、第１の流量Ｆ１よりも小さい第２の流量Ｆ２で処理液を供給するときは、絞り部１３２ａの片側の圧力に基づいて流量制御弁１３３を制御する。 （もっと読む）

本発明は、チップ支持体とその上に配置されたセンサチップとを含むセンサモジュールに関する。本発明のセンサモジュールは、チップ支持体の第２の側に、凹部を有する少なくとも１つの部分的なカバーを備えており、チップ支持体および／またはセンサチップの熱を凹部の箇所で放出できる。本発明はまた、凹部を有するカバーを備えたセンサモジュールの製造方法に関する。
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【課題】低コストで流量測定可能な液体供給装置を提供する。
【解決手段】液体を蓄える容器と、容器内を加圧して容器より液体を排出するための加圧手段と、容器に接続された液体が通過する液体流路と、液体流路を経た液体を注出するための注出手段と、液体流路に設けられた圧力計と、圧力計により測定された、液体流路を介して液体が供給されていない状態の圧力値と、液体流路を介して液体が供給されている状態の圧力値との差に基づき液体の流量を算出する流量算出手段とを有することを特徴とする液体供給装置を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】計測流量値の信頼性を高める。
【解決手段】メモリ２−２に、基準差圧における弁体１−２の弁開度θと流量係数Ｃｖとの関係を示す基準の特性テーブルＴＢと、基準差圧よりも低い差圧における弁体１−２の弁開度θと流量係数Ｃｖとの関係を示す低差圧時の特性テーブルＴＬと、基準差圧よりも高い差圧における弁体１−２の予め定められた低開度閾値θｔｈ以下の開度θと流量係数Ｃｖとの関係を示す高差圧低開度時の特性テーブルＴＨとを格納する。この特性テーブルＴＬ，ＴＢ，ＴＨから現在の差圧ΔＰおよび弁開度θに応ずる流量係数Ｃｖを求め、この流量係数Ｃｖと現在の差圧ΔＰとから管路１−１を流れる流体の流量Ｑを算出する。 （もっと読む）

【課題】安価に多層流路部ようなガス流路であっても流動状態も判別することができる流動状態判別方法を提供する。
【解決手段】ガス流路内にガス流れ方向に互いに離間した一対の圧力センサを配置する。ガス流路に流れるガス流量を段階的に変化させたときの各ガス流量Ｑに対する一対の圧力センサが計測した圧力の差圧Δｐをプロットする。ガス流量Ｑと差圧Δｐとの関係を示すプロット点が傾き１の第１直線Ｌ１上にある領域を層流域Ａ₁₁と判別し、プロット点が傾き１．７５の第２直線Ｌ２上にある領域を乱流域Ａ₁₃と判別し、プロット点が第１直線Ｌ１及び第２直線Ｌ２の両方から逸れる領域を層流から乱流に変化する遷移域Ａ₁₂と判別する。 （もっと読む）

【課題】管内を流れる各種の流体の流量を、管に外部から力がかかっても、正確に質量流量を測定することができる、小型軽量な質量流量計とする。
【解決手段】内部に流体が流通する硬質性曲がり管と、硬質性曲がり管を収納し且つ硬質性曲がり管の収納状態で、外部から力がかかっても硬質性曲がり管の変形を阻止する剛性外骨格と、剛性外骨格の曲がり部外周部分に形成した貫通穴によって形成される硬質性曲がり管の開放面に貼付した曲管外側ストレインゲージと、剛性外骨格の直管部分に形成した貫通穴によって形成される弾性管の開放面に貼付した直管ストレインゲージとを備え、これらのストレインゲージの信号をブリッジ回路に導き、質量流量を計測する。 （もっと読む）

流体流量を測定するように構成されている流量計の流量計パラメータの異常を検出するための方法が提供されている。この方法は、流量計の少なくとも１部の両端の差圧を測定することを含んでいる。また、この方法は、差圧測定値を差圧予測値と比較することをさらに含んでいる。この差圧予測値は測定された流量に基づくものである。また、この方法は、差圧測定値と差圧予測値との間の差がしきい値範囲を超えている場合に、流量計のパラメータに異常を検出したものとすることをさらに含んでいる。 （もっと読む）

【課題】エネルギー効率の面での問題の有無を定量的に判断させたり、省エネルギーへの取り組みを活発化させたりする。
【解決手段】実流量計測部２５Ｂによって管路１３を流れる流体の実流量ＱＲを計測する。超過流量積算部２５Ｄによって、流体の実流量ＱＲが設計流量ＱＤを超えている超過期間毎の設計流量ＱＤからの実流量ＱＲの超過分ΔＱを積算する。この超過流量の積算値ΣΔＱを超過流量積算値記憶部２１に記憶するとともに表示部１７に表示する。この超過流量の積算値ΣΔＱを参照することにより、システムがどの程度設計どおり運用されているのか、どの程度設計から外れて運用されているのかなどを定量的に知ることができる。また、超過流量の積算値ΣΔＱを解析することで、システムがどの程度エネルギーを無駄にしているのか、異常が起きていないかどうかなどを検証することができる。 （もっと読む）