【課題】熱分布の視認が可能な温度範囲が広く、広範な温度範囲に亘る熱分布の計測に用いられる熱分布表示体を提供する。
【解決手段】支持体上に、１９０℃以上の温度域で分解して色相が変化する電子供与性染料前駆体を含む、発色色調が互いに異なる少なくとも２種の電子供与性染料前駆体と、該電子供与性染料前駆体を発色させる電子受容性化合物と、バインダーとを含有し、地肌部の濃度より濃度が０．２高くなる温度Ｔ_０．２が式（１）を満たす熱分布表示層を有している。


Ｔ_０．２：地肌部の濃度より０．２高くなる温度［℃］、Ｔ_ｍｉｎ：発色開始温度［℃］ （もっと読む）

【課題】測定精度を向上させた光ファイバセンサおよび光ファイバセンシング方法を提供すること。
【解決手段】パルス状のポンプ光を出力する光源と、前記ポンプ光が入力され、該ポンプ光によってブリユアン散乱光を発生するセンサ用光ファイバと、前記センサ用光ファイバから出力された前記ブリユアン散乱光を受光する受光器と、を備え、入力される前記ポンプ光のパルスの長さの１／２をΔｚ(ｍ)、ピーク光強度をＩ_ｐ(ｍＷ)とすると、前記センサ用光ファイバは、長さをｚ（ｍ）、伝送損失をａ（ｄＢ／ｋｍ）、ブリユアン利得係数ｇ_Ｂと有効コア断面積Ａ_ｅｆｆとの比をｇ_Ｂ／Ａ_ｅｆｆ（ｍ^−１Ｗ^−１）とした場合に、所定の式を満たすように長さｚが設定されている。 （もっと読む）

【課題】必要な時に光ファイバーの補修、交換が可能な高炉の炉底耐火物の温度測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】炉底耐火物１２中に直線状の耐熱金属製の保護管１３を、保護管１３の両端が炉底耐火物１２及び鉄皮２０から突出する状態で複数本配置すること、保護管１３内には耐熱金属製のチューブ１４に収納された光ファイバー１５が挿通していること、鉄皮２０から突出した各保護管１３は鉄皮２０から突出する案内管２１、２４を通じて耐圧構造の中継箱２５内に導かれること、保護管１３に挿入された各光ファイバー１５が中継箱２５内で直列接続されていること、各光ファイバー１５は融着接合されていること、及び直列に接続された光ファイバー１５の端部には光制御部が接続されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ネジやボルトなどの締結具が緩んだ場合に温度変化を生じるような機械部品を非接触にて温度計測するための技術を提供する。
【解決手段】 締結具の外形寸法よりも一回り大きい直径をなすリング状をなし、そのリングの最外周（樹脂リング11）を樹脂製として樹脂リング(11)を形成し、 その樹脂リング(11)には感温染料(12)を含有させた感温ワッシャとする。または、締結具の外形寸法よりも一回り大きい直径をなすリング状をなし、そのリング状の少なくとも一面に樹脂製の樹脂リング(11)を形成し、その樹脂リング(11)には感温染料(12)を含有させた感温ワッシャとする。 （もっと読む）

【課題】光干渉を利用して温度を適切に測定することができる温度計測システム、基板処理装置及び温度計測方法を提供する。
【解決手段】温度計測システム１は、光源１０、分光器１４、光伝達機構１１，１２、光路長算出部１６及び温度算出部２０を備える。光源１０は、測定光を発生させる。光伝達機構１１，１２は、測定対象物１３の表面１３ａ及び裏面１３ｂからの反射光を分光器１４へ出射する。分光器１４は、反射光の強度分布である干渉強度分布を測定する。光路長算出部１６は、フーリエ変換し光路長を算出する。温度算出部２０は、光路長と温度との関係に基づいて測定対象物１３の温度を算出する。光源１０は、分光器１４の波長スパンΔｗに基づいた条件を満たす半値半幅Δλの光源スペクトルを有する。分光器１４は、波長スパンΔｗと計測最大厚さｄとに基づいた条件を満たすサンプリング数Ｎ_ｃで強度分布を測定する。 （もっと読む）

【課題】光干渉を利用して測定対象物の温度を適切に計測することができる温度計測装置、基板処理装置、及び温度計測方法を提供する。
【解決手段】温度計測装置１は、データ入力部１６と、ピーク間隔算出部１７と、光路長算出部２０と、温度算出部２１とを備える。データ入力部１６は、測定対象物１３の表面１３ａへ測定光が照射され、表面１３ａにおいて反射された測定光と裏面１３ｂにおいて反射された測定光とが干渉して得られる干渉光のスペクトルを入力する。ピーク間隔算出部１７は、入力されたスペクトルのピーク間隔を算出する。光路長算出部２０は、ピーク間隔に基づいて光路長を算出する。温度算出部２１は、光路長に基づいて、測定対象物１３の温度を算出する。 （もっと読む）

【課題】メモリサイズを増やすことなく、より遠方の温度測定を可能とする光ファイバ温度測定装置を実現する。
【解決手段】被測定対象に沿って所定長に敷設された光ファイバに、タイミング信号に同期して光パルスを入射させて得られる後方散乱光の２成分の夫々を受光した電気信号をＡ／Ｄ変換し、平均処理を実行する信号処理部を介してデータ記憶メモリに保持させ、このデータ記憶メモリから読み出される２成分のデータを演算して温度信号に変換する光ファイバ温度測定装置において、
前記タイミング信号の発生より所定の遅延時間経過まで、前記信号処理部の処理を停止させる遅延時間発生回路を備える。 （もっと読む）

【課題】容易かつ迅速に光ファイバを再敷設することを可能とする光ファイバの収納方法を提供する。
【解決手段】光ファイバ３０を支持している光ファイバ支持具３６に固定具４６を嵌合させるステップと、光ファイバ支持具が取り付けられている面２８にシート状部材５４を対向させ、固定具をシート状部材に固定するステップと、光ファイバ支持具が取り付けられている面から光ファイバ支持具を取り外すステップと、シート状部材を巻き付け部材５８に巻き付けるステップとを有している。 （もっと読む）

【課題】塗料の乾燥状態によって色素の分散状態が左右されない、また、塗装後の表面状態が滑らかとなるように揮発性の低い溶媒にも溶けやすい塗料の感圧・感温複合分子センサを提供する。
【解決手段】ポリマー連結型複合分子塗料は、感圧色素と感温色素をポリマーに結合することにより、塗布したときに感圧色素と感温色素及びポリマーの溶解度の差に基づく色素の分散状態の不均一を解決する。 （もっと読む）

【課題】ブリルアン散乱現象を利用した光センシング技術により、微細構造物である素子上又は素子中に存在する対象物の物理量を測定する測定方法及び制御方法を提供する。
【解決手段】素子上又は素子中に存在する対象物の物理量を測定する方法であって、光入射端と光出射端を有するとともに該光入射端から該光出射端まで連続した形状を有する光導波路であって、少なくとも一部が対象物に近接するよう素子上又は素子中に配置された光導波路を用意し、光入射端から光導波路内に光を照射するとともに、導波路内を伝搬した後に光出射端から出射された光を検出し、そして、光導波路中で発生するブリルアン散乱に起因した、検出光の特性変化に基づいて、対象物の物理量を間接的に測定する。 （もっと読む）