【課題】故障が抑制され、長寿命であり、かつ酸窒化処理工程の処理効率を維持しつつ、排ガスをモニターすることができるガス検出装置およびそれを備えた酸窒化処理設備を提供する。
【解決手段】半導体の製造に用いる酸窒化処理設備１のガス検出装置３０において、排ガスを希釈するための希釈用ガスを搬送する希釈用ガス流路３３、および処理炉１０から排出された排ガスと希釈用ガスとを混合して混合ガスを生成する混合ガス流路３５を設ける。これにより、希釈用ガスにより排ガスを希釈して、窒素酸化物を検出するセンサ部３６に一定時間に導入される窒素酸化物や硝酸ガスの量を低減し、ガス検出装置の故障を抑制し、長寿命化を図り、かつ酸窒化処理工程の処理効率を維持しつつ、排ガスのモニターを可能にする。 （もっと読む）

【課題】 スクラバ物質の状態やその適切な交換時期を正確かつ容易に把握することが
できるスクラバを提供すること。
【解決手段】 ケース１２内に不揮発性酸を含むスクラバ物質４０を設けてなるスクラ
バ８において、前記ケース１２の全部または一部を透明または半透明に形成するとともに
、腐食性成分と反応して有色の塩を形成する着色剤と、還元剤とをスクラバ物質４０に含
ませてある。 （もっと読む）

【課題】小型で測定誤差が小さく、安価に製造することが可能な粒子状物質検出装置を提供する。
【解決手段】一方の端部に少なくとも一の貫通孔２が形成された一方向に長い検出装置本体１と、貫通孔２の壁の内部に埋設され、誘電体で覆われた少なくとも一対の電極１１，１２と、貫通孔２の壁面に沿うようにして検出装置本体１の内部に配設された、貫通孔２を形成する壁の温調用の加熱部１３とを備え、加熱部１３が、純度が９５％以上のアルミナからなる保護層１５によって覆われており、貫通孔２内に流入する流体に含有される粒子状物質を、貫通孔２の壁面に電気的に吸着させることが可能であり、貫通孔２を形成する壁の電気的な特性の変化を測定することにより貫通孔２の壁面に吸着された粒子状物質を検出することが可能な粒子状物質検出装置１００。 （もっと読む）

本発明は、呼気水蒸気の露点以下の温度にされうる、呼気凝縮液を収集する基体（２０）と、基体を保持してバイオマーカー試薬（３５）を受ける収集器（３０）とを含む、少なくとも１つのバイオマーカーについて呼気凝縮液を検査する装置（１０）および方法を含む。本発明は、さらに、呼気水蒸気の露点以下の温度にある基体を備える収集器内に呼気を受けるステップと、基体上に呼気凝縮液を収集することと、バイオマーカー試薬を基体と接触させるステップとを含んでもよい。
（もっと読む）

【課題】高温高圧化学反応において使用できるベッセルを提供すること。
【解決手段】高温高圧化学のための圧力ベッセルアセンブリであって、１つの端部に開放口部を画定する円筒形のベッセルと、該ベッセルの該口部の周囲を該口部から横に延びている円周状のリップと、該口部において該ベッセルを係合および閉鎖するためのシールカバーと、該シールカバーの該傾斜面と該ベッセルリップの該傾斜面との接合部において、該シールカバーによって画定される、円周状の圧力解放チャネルと、該圧力解放チャネルと連絡する、該シールカバーにおける少なくとも１つの圧力解放開口部と、該ベッセルの該傾斜面と該シールカバーの該傾斜面とが会合する位置において該シールカバーを包囲する保持リングであって、該ベッセルリップに対して該シールカバーを半径方向に促す、保持リングとを含む、圧力ベッセルアセンブリ。 （もっと読む）

【課題】大掛かりな設備が不要で分離作業を簡単なものにする。ガスの分離性能を向上させる。
【解決手段】検出対象のガス絶縁電力機器から取り出した吸着剤４（ステップＳ１）を絶縁ガスの分解ガスが溶解する液体中に浸漬して分析用水溶液を作成し（ステップＳ２）、分析用水溶液の分析（ステップＳ３）による分解ガスの検出に基づいてガス絶縁電力機器内での異常を検出する（ステップＳ４〜Ｓ６）。 （もっと読む）

【課題】大気中における抗原濃度を測定または推測する際に、大気中に含まれる微小物質を効率よく捕集する。
【解決手段】測定器３の開口部に測定用チップ８を挿入すると、測定器３の制御部３１は、測定用チップ８に備えられた吸引ポンプに対向する押圧部を駆動部３４により駆動させる。これにより、吸引ポンプの容量が変動し、吸引口から吸着室へ向かう気流が発生する。この発生した気流に伴って、旋回翼が回転するので、吸着室の内部の気体は旋回する。そして、旋回した気体は吸着室の吸着面にあたった後、排出口から排出される。制御部３１は、吸引ポンプにこの動作を行わせ、所定時間が経過すると吸引ポンプを停止させる。これにより、吸着室の底に備えられた吸着面には、吸引した大気に含まれる粒子が吸着す
る。 （もっと読む）

【課題】サンプリングプローブからガス測定装置に至る間のガス道管の加熱を不要とし、結露温度を下げる除湿器を小容量化した排ガス分析用前処理装置を提供する。
【解決手段】第１、第２の熱交換器と除湿器とを備えて構成し、サンプリングプローブで採取した排ガスは第１の熱交換器、第２の熱交換器、除湿器、第２の熱交換器の順に通過させてガス道管に送出させる。第１の熱交換器ではサンプリングプローブから導入した排ガスを大気と熱交換させて降温させ、除湿器では排ガスを除湿、冷却させ、第２の熱交換器では除湿器を通過した排ガスを第１の熱交換器を通過した排ガスと熱交換させて昇温させる。 （もっと読む）

【課題】反応からの排ガス内の残存Ｈ２Ｓの濃度分析への硫黄元素蒸気による妨害を除く。
【解決手段】分析するガスのプロセスストリームを移送するための導管にプローブが直接取り付けられている。このプローブにより、サンプル内の不要な蒸気成分を熱交換器の導管との相互作用により凝結させ液体にし重力の下で落下させプロセスストリームの中へと戻すことによって、上述のガスサンプルが連続して分析するための適切な状態に調整されるようになっている。このプローブには、フローセルチャンバをガスが流れるようにするためのベンチュリデバイスが用いられている。フローセルチャンバでは、ガスは、戻し導管に通されプロセスストリームの中へと放出されて戻される前に、このチャンバを貫通して照射される光と相互作用するようになっている。 （もっと読む）

ネブライザガスおよび一次イオン発生用ガスを用いることなく、静電噴霧により、簡便かつ効率的に、試料気体中の化学物質を濃縮することを目的とする。
本発明の化学物質濃縮方法で使用する静電噴霧装置は、容器と、注入口と、冷却部と、霧化電極部と、対向電極部化学物質回収部とを備える。そして、本発明の化学物質濃縮方法は、前記試料気体を注入する工程と、前記試料気体を第１凝縮液にする工程と、前記第１凝縮液を第１帯電微粒子にする工程と、前記第１帯電微粒子と前記試料気体を混合して第２帯電微粒子にする工程と、前記第１帯電微粒子と前記第２帯電微粒子を回収する工程を包含する。以上の一連の操作により簡便かつ効率的に試料気体中の化学物質を濃縮できる。
（もっと読む）