【課題】
試料にダメージを与えることなく、非接触で試料に超音波を励起し、試料内部の欠陥からの超音波を、試料表面の影響を受けることなく非接触かつ高感度に検出する内部欠陥検査方法及びその装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明は、超音波送信部から試料に向けて超音波を出射させて、試料から反射した超音波を結像形共通光路干渉計により干渉信号として検出し、前記干渉信号から超音波信号を得て、該超音波信号から試料内部の欠陥を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】超音波検査システムにおいて、表板部材と裏板部材とこれらの間に配置される接合部とを含む複合部材について、表板部材側からのみしか超音波探触子を取り付けられなくても検査を行うことを可能とすることである。
【解決手段】超音波検査システム１０は、レーザ駆動装置１２、表板部材６２の表面にレーザ光を走査させるガルバノミラー１４、表板部材６２から見て裏板部材６４が露出している箇所に配置される超音波探触子１６，１８、制御装置３０等を含んで構成される。制御装置３０は、レーザ光走査タイミングと各超音波探触子１６，１８が受信した検出信号とを対応付け、被試験部材６０における超音波振動分布を２次元面に画像化する個別画像化処理部３６と、同一位置における複数の画像データを和演算または積演算してその位置の強調処理データとする強調画像化処理部３８を含む。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で超音波の走査を的確に行うことができる超音波顕微鏡を提供すること。
【解決手段】超音波顕微鏡１は、先端部に超音波伝達媒体Ｗ１が収容可能なスキャナ本体２を備える。スキャナ本体２の先端部には焦点型超音波振動子１２が配置され、その超音波振動子１２により、試料１８にて焦点を結ぶように超音波伝達媒体Ｗ１を介して超音波が照射されるとともに、試料１８からの反射波が受信されて電気信号に変換される。走査手段は、電気信号を歪みに変換する電歪アクチュエータ１３を含んで構成される。電歪アクチュエータ１３における先端側の領域と基端側の領域とを逆方向に屈曲させ、その時々の超音波の照射方向が平行となるよう超音波振動子１２の位置を移動させる。 （もっと読む）

【課題】超音波散乱法における被検査物の欠陥評価の感度を向上させた半導体単結晶中の欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】板状の半導体単結晶である被検査物に対して超音波を入射させ、被検査物内で散乱又は反射された超音波に基づいて、被検査物内の結晶欠陥の有無を測定する半導体単結晶中の欠陥検査方法において、被検査物に対して波長が６０μｍ以下、又は周波数が７８ＭＨｚ以上の超音波を、被検査物の表面に垂直な方向と超音波の入射方向のなす角が１０．０度以上１６．４度以下の範囲となるように入射させる方法である。 （もっと読む）

【課題】デジタル演算処理による超音波探傷データの処理方法を提供し、技術者の能力の差による欠陥の評価のバラツキを抑制する。
【解決手段】超音波探傷データ処理プログラムは、被検体に対して超音波探傷を行うことによって得られた探傷データをデジタル演算処理によって処理するためのプログラムであり、探傷データから得られる超音波画像から被検体の形状像を消去するための処理を、探傷データに対して行う形状識別処理ステップ（Ｓ０５）と、形状像が消去された前記超音波画像に現れている欠陥像を認識し、前記欠陥像のうちの一の欠陥像が他の欠陥像と同一の欠陥に起因するか否かを所定の基準によって判断して、前記欠陥像と前記被検体に存在する前記欠陥との対応付けを行う同一性判定ステップ（Ｓ０６）と、同一の欠陥に対応付けられた前記欠陥像から、前記同一の欠陥の寸法を同定する寸法同定ステップ（Ｓ０７）とを演算装置に実行させる。 （もっと読む）

【課題】 半導体単結晶ウェハのような被検査物の表面に変色などの欠陥を生じせしめることなく、有害な微細結晶欠陥を確実に観察・検査することが可能な、半導体単結晶中の欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】 単結晶の被検査物４を、炭化水素系液体、アルコール系液体、またはケトン系の検査用液体５に浸漬し、前記被検査物４に対して当該被検査物４内での波長が６０μｍ以下または周波数が７８ＭＨｚ以上の超音波６を入射させ、当該被検査物４内で反射された超音波６に基づいて当該被検査物４内の結晶欠陥７の有無を検査する。 （もっと読む）

【課題】生体組織の音響パラメータの測定を正確に行うことができる音響パラメータ測定装置用試料支持体を提供すること。
【解決手段】試料支持体９は、生体組織８の音響パラメータを求める超音波画像検査装置１に使用される。試料支持体９は、生体組織８を密着させて支持するための第１面９１を有し、その反対側に位置しかつ超音波伝達媒体Ｗ１を接触させるための第２面９２を有する。試料支持体９は、親水性材料であるポリビニルアルコールを用いて形成されており、１．７５×１０^６Ｎｓ／ｍ^３以上の音響インピーダンス値を有している。 （もっと読む）

【課題】 超音波顕微鏡において、音響レンズの収差を抑制しつつ高周波の超音波を用いてサブμｍオーダの空間分解能を実現する。
【解決手段】本発明の超音波顕微鏡１は、パルス光を照射するパルス光照射手段５から照射されたパルス光を吸収して熱弾性効果による超音波を発し超音波を試料に送出する超音波送波部４と、超音波送波部４から送出された超音波を試料に集約しつつ放射するレンズ面１０を備えた音響レンズ２と、を具備していて、超音波送波部４に送出されるパルス光の位相を変化させることで音響レンズ２の収差補正を行う収差補正部４０がパルス光照射手段５と超音波送波部４との間に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】試料に対して高周波数の超音波を送出でき、高空間分解能で試料の内部を観察することができる超音波顕微鏡を提供する。
【解決手段】パルス光を照射するパルス光照射手段５から照射されたパルス光を吸収して熱弾性効果による超音波を発し、当該超音波を試料に送出する超音波送波部４と、超音波送波部４から送出された超音波を収束させつつ試料に放射するレンズ面を備えた音響レンズ２と、を具備する超音波顕微鏡１において、音響レンズ２のレンズ面１０を、楕円体の表面の一部で構成する。当該楕円体を、楕円の長軸又は短軸を回転軸として得られる回転体とする。レンズ面１０を、当該回転軸が、超音波の音響レンズ内での伝播方向と平行になるように非球面の凹形状に形成する。 （もっと読む）

【課題】半導体チップに付された情報を確実に読み取ることのできる、半導体装置、半導体パッケージ、半導体装置の製造方法、及び半導体装置の情報読み取り方法を提供する。
【解決手段】集積回路が形成され、印字面を有するチップと、前記印字面の一部の領域に印字された印字部とを具備する。前記印字部は、超音波探傷を用いて前記印字面における他の領域と区別可能な材料により、形成されている。 （もっと読む）