【課題】歩留まり低下を防ぐことが可能な塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】気中パーティクル量測定器によって基板が移動する経路に直接的又は間接的に影響を及ぼす所定部分の気中パーティクル量を測定することとしたので、基板を浮上させる前に気中パーティクル量を確認することができる。基板を浮上させる前に気中パーティクル量を確認することにより、測定された気中パーティクル量に基づいて基板に当該パーティクルが付着する可能性を判断することができる。これにより、歩留まり低下を防ぐことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】基板に塗布された塗布溶液の膜厚に応じて塗布条件を動的に変更して、設定された膜厚の溶液を迅速かつ確実に塗布することができるスリットコート式塗布装置及びその制御方法を提供する。
【解決手段】
基板１と塗布ヘッド３０とを所定の相対速度で移動させる移動手段１１０と、基板と塗布ヘッドとの基板・塗布ヘッド間距離を調整する距離調整手段１２０と、基板の表面に塗布された液体（塗布溶液２）の膜厚を測定する膜厚測定手段１３０と、液体を所定の膜厚で塗布するための相対速度及び基板・塗布ヘッド間距離を含む塗布条件データ１４１が所定の膜厚ごとに格納されている塗布条件データベース１４０と、膜厚測定手段により測定される液体の膜厚に基づいて、液体の膜厚が設定された膜厚になるような塗布条件データを塗布条件データベースから抽出すると共に、その抽出された塗布条件データに基づいて、ヘッド移動手段とヘッド距離調整手段とを制御する制御部１５０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】処理タクトの短縮化が可能な塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る塗布装置は、基板を浮上させて搬送する基板搬送部と、当該基板搬送部によって搬送させつつ前記基板に液状体を塗布するノズルを有する塗布部とを備えた塗布装置であって、前記塗布部に、前記ノズルに対して前記液状体をそれぞれ圧送する複数のポンプが設けられていることを特徴とする。本発明によれば、塗布部のノズルに対して液状体をそれぞれ圧送する複数のポンプが設けられていることとしたので、複数のポンプのうち１つのポンプによって液状体を充填している間であっても、時間を空けることなく、他のポンプによって液状体を供給することができる。 （もっと読む）

【課題】基板に塗布される液状体の厚さの分布を均一にすることができる塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る塗布装置は、基板を浮上させて搬送する基板搬送部と、当該基板搬送部によって搬送させつつ前記基板に液状体を塗布する塗布部と、を備える塗布装置であって、前記基板の浮上高さを測定する非接触センサが設けられていることを特徴とする。基板を搬送させつつ当該基板に液状体を塗布する塗布装置において基板の浮上高さを測定する非接触センサが設けられていることとしたので、実際の基板の浮上量を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】ＣＡＰコーターを用いて基板表面にレジスト膜を形成する場合、塗布ムラを解消し、基板面内の塗布膜厚の均一性が良好なマスクブランクの製造方法を提供する。
【解決手段】転写パターンを形成するための薄膜を有する基板１０の被塗布面に、液状のレジスト剤を収容した液槽からノズル２２を通過してノズル先端開口部に到達したレジスト剤を接液させ、基板とノズルとを相対的に移動させることによって、被塗布面にレジスト剤を塗布してレジスト膜を形成する工程を含むマスクブランクの製造方法である。このレジスト膜形成工程において、上記相対移動の際、ノズルが、基板端部近傍の接液位置から基板上の所定位置に至るまでの所定領域においては、ノズルと基板との間隔を接液時の接液ギャップのままで塗布し、その後、ノズルと基板との間隔を所定の塗布ギャップに変更して塗布する。 （もっと読む）

【課題】予備吐出動作時にプライミングローラを用いない予備吐出装置において高い洗浄性が得られる、洗浄装置、洗浄方法、予備吐出装置、及び塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布装置における予備吐出動作に用いられる予備吐出装置の予備吐出面８１を洗浄する装置１００である。液状体が塗布された予備吐出面８１上を摺動するスキージ１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃと、スキージ１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃの摺動方向側の面に洗浄液を供給する洗浄液供給部とを有する。 （もっと読む）

【課題】予備吐出面を洗浄する洗浄液の使用量を抑えることが可能な塗布装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る塗布装置は、基板を浮上させて搬送する基板搬送部と、前記基板搬送部により搬送中の前記基板に対して液状体を塗布する塗布部と、前記塗布部の予備吐出動作に際して前記塗布部から前記液状体を塗布される略平面の予備吐出面を備えた予備吐出部と、を有することを特徴とする。基板を浮上させて搬送する基板搬送部と、基板搬送部により搬送中の基板に対して液状体を塗布する塗布部と、塗布部の予備吐出動作に際して塗布部から液状体を塗布される略平面の予備吐出面を備えた予備吐出部とを有することとしたので、洗浄液を大量に配置させること無く、予備吐出を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】水系現像が可能で、解像度、難燃性、密着性、耐湿性、電気信頼性に優れると共に、層間接着性に優れた多層からなる感光性ドライフィルムレジストを、異物の混入を排除して、時間及びコスト面で有利に製造することができる製造方法を実現する。
る。
【解決手段】特定の成分を含む第一感光層樹脂組成物の溶液と、特定の成分を含む第二感光層形成用の第二感光層樹脂組成物の溶液とを含む複数の樹脂組成物の溶液を、連続的に走行する支持体の走行方向に沿って配置された少なくとも１つの押出ダイから押出し、該支持体上に少なくとも第一感光層及び第二感光層を含む多層構造の感光性ドライフィルムレジストを形成する。 （もっと読む）

【課題】ＣＡＰコーターを用いて基板表面にレジスト膜を形成する場合、基板面内の塗布膜厚の均一性が良好なマスクブランクの製造方法、及び基板面内の塗布膜厚の均一性を向上させることができる塗布装置を提供する。
【解決手段】転写パターンを形成するための薄膜を有する基板の被塗布面に、液状のレジスト剤２１を収容した液槽２０からノズル２２を通過してノズル先端開口部に到達したレジスト剤を接液させ、基板とノズルとを相対的に移動させることによって、被塗布面にレジスト剤を塗布してレジスト膜を形成する工程を含むマスクブランクの製造方法である。このレジスト膜形成工程において、被塗布面へのレジスト剤２１の塗布中は、前記液槽２０内へレジスト剤を補給しながら液槽内のレジスト剤の液面高さが一定になるように制御する。 （もっと読む）

【課題】 配線パターンが高段差であっても、当該段差内に塗布されたレジストをベークしても気泡の発生がない塗膜形成方法を提供する。
【解決手段】 配線パターンが形成された基板表面に溶剤を塗布し、次いで基板表面に塗布液を塗布し、加熱して配線パターン間の段差に絶縁性塗膜を埋設する塗膜形成方法において、基板表面に塗布液を塗布した後で加熱前に減圧雰囲気とし、段差内に封じ込められたエア及び／または塗布液中に溶存しているガスを脱気する。 （もっと読む）