【課題】ＣＡＰコーターを用いて基板表面にレジスト膜を形成する場合、基板面内の塗布膜厚の均一性が良好なマスクブランクの製造方法、及び基板面内の塗布膜厚の均一性を向上させることができる塗布装置を提供する。
【解決手段】転写パターンを形成するための薄膜を有する基板の被塗布面に、液状のレジスト剤２１を収容した液槽２０からノズル２２を通過してノズル先端開口部に到達したレジスト剤を接液させ、基板とノズルとを相対的に移動させることによって、被塗布面にレジスト剤を塗布してレジスト膜を形成する工程を含むマスクブランクの製造方法である。このレジスト膜形成工程において、前記液槽２０と連通し、レジスト剤を収容する緩衝槽６０を配置することにより、被塗布面へのレジスト剤の塗布中は、液槽内のレジスト剤の液面高さの変動を抑制する。 （もっと読む）

【課題】ＣＡＰコーターを用いて基板表面にレジスト膜を形成する場合、塗布ムラを低減し、塗布膜厚の均一性が良好なマスクブランクの製造方法、及び基板面内の塗布膜厚の均一性を向上させることができる塗布装置を提供する。
【解決手段】転写パターンを形成するための薄膜を有する基板の被塗布面に、液状のレジスト剤を収容した液槽からノズル２２を通過してノズル先端開口部に到達したレジスト剤を接液させ、基板とノズルとを相対的に移動させることによって、被塗布面にレジスト剤を塗布してレジスト膜を形成する工程を含むマスクブランクの製造方法である。このレジスト膜形成工程において、被塗布面へのレジスト剤の塗布中は、液槽内に浸漬させたノズル２２の隙間２３を気泡が塞がないように、隙間２３近傍からノズル外側に連通する通路孔３０ａ，３０ｂを経て、気泡を隙間２３以外の部位へ誘導させる。 （もっと読む）

【課題】基板の処理時間を短縮しつつ、基板載置装置の維持コストなどを抑える。
【解決手段】リフトピン３３、ベース部材６０、排気機構６５、気体供給機構６６などを備える基板載置装置３において、ベース部材６０の上面に凹部６１を設け、その凹部６１内に板状部材７０を設置する。また、板状部材７０の上面には、上側突起７１を設け、下面には、下側突起７２を設ける。これにより、基板載置装置３のメンテナンスが容易となり、また維持コストなどを削減できる。また、基板９０の載置の際に起こる基板９０の滑りを抑制できる。さらに、凹部６１内の空気の循環が良くなり、基板９０の処理時間を短縮できる。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタパネル製造装置の占有面積を減らす。
【解決手段】基板上に複数のカラーレジストを有するカラーフィルタパネルの製造方法であって、基板上に一色のカラーレジストを塗布するレジスト塗布工程と、前記レジスト塗布工程により塗布されたカラーレジストを露光装置６により所定のパターンに露光する露光工程と、を有し、前記レジスト塗布工程で塗布されるカラーレジストの色を切り替え、前記レジスト塗布工程により塗布されたカラーレジストを有する基板を露光装置６に供給し、露光工程により露光されたカラーレジストを有する基板をレジスト塗布工程に再度供給することで、二つの工程を組にして循環させるカラーフィルタパネルの製造方法。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタの作製のためにガラス基板上にスリット塗布速度を２００ｍｍ／ｓｅｃ以上と高速に設定した場合でも、塗布欠陥がなく、得られたカラーフィルタが高色純度でかつ高コントラストという良好な色特性とすることができる着色パターン形成用組成物および着色パターン形成方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）顔料、（Ｂ）エチレン性不飽和基を有する化合物、（Ｃ）光重合開始剤、及び、（Ｄ）分散樹脂を含有する着色パターン形成用組成物であって、
２３℃における該着色パターン形成用組成物の粘度をη（ｍＰａ・ｓ）、該着色パターン形成用組成物のガラス基板に対する前進接触角をθａ（°）としたとき、下記式（１）を満たすことを特徴とするカラーフィルタ用着色パターン形成用組成物。
３０≦η×θａ≦４０ ，２≦η≦３ 式（１） （もっと読む）

【課題】ガントリが走行するレールを分割構造にした場合であっても、レールの分割部がガントリの定速走行性に与える影響を抑えるとともに、分割されたレールの組付け作業を容易にすることにより、組付け精度の向上を図ることができるとともに作業時間の短縮化を図ることができる塗布装置を提供する。
【解決手段】基板を保持するステージと、前記ステージに沿って特定方向に延びるとともに複数に分割されたレールと、基板上に塗布液を塗布する塗布ユニットと、を備えており、前記レールは、前記塗布ユニットが塗布液の吐出開始から吐出終了まで走行する塗布走行部と、この塗布走行部から特定方向に延長された延長部とを有しており、この延長部に、前記レールを分割する分割部を形成する。 （もっと読む）

【課題】搬送プログラムの作成を容易にしながら、スループットの向上を図ることができる技術を提供すること。
【解決手段】第１の処理ブロックと第２の処理ブロックとの間に受け渡しブロックを設け、キャリアブロックから第１の直通搬送手段により基板を受け渡しブロックに搬送し、ここから基板を第１の処理ブロックの塗布膜形成用の単位ブロックと第２の処理ブロックの塗布膜形成用の単位ブロックとに振り分けて受け渡す。次いで第１及び第２の処理ブロックにて夫々塗布膜が形成された基板を一旦受け渡しブロックに集め、ここから第２の直通搬送手段により基板をインターフェイスブロックに搬送する。処理ブロックが増加するので、スループットの向上を図ることができ、またキャリアブロックから第１の処理ブロックへの搬送経路と、第２の処理ブロックへの搬送経路とが同じになるので、搬送プログラムの作成が容易となる。 （もっと読む）

【課題】当該製造装置の製造状態を監視し、不具合が発生した際、その原因を容易に特定することができるとともに、無駄な作業を回避して、所望の感光性積層体を効率的に製造する。
【解決手段】長尺状感光性ウエブのテンション、搬送速度、温度、ガラス基板の搬送速度、温度、貼り付け機構における圧着圧力、感光性積層体の画像等の製造状態情報を取得して所定の判定値と比較し、その判定結果をモニタ１５８に表示させるとともに、他の処理装置に送信することにより、不具合の有無を事前に把握し、必要に応じて調整して処理を遂行する。 （もっと読む）

【課題】気泡が発生しにくく、感光層表面の平坦性が良好で、高精細なパターンを、短時間で形成可能であり、ランニングコストの低減を図ることができる永久パターン形成方法及び前記永久パターン形成方法により永久パターンが形成されるプリント基板の提供。
【解決手段】支持体２上に感光層３を有してなる感光性フィルム１の感光層３を、表面に凸部１０ａを有してなる基体１０上に積層する積層工程と、感光層３に対して露光を行なう露光工程とを少なくとも含み、前記積層工程が、ラミネータ５により、感光層３の底面を、凸部１０ａの高さに対して５〜９０％の位置まで仮積層する仮積層工程と、平坦プレス機２０により、感光層３の表面を平坦化すると共に、感光層３を基体１０に圧着する平坦圧着工程とからなる永久パターン形成方法等である。 （もっと読む）

【課題】高速塗布時においても、塗布欠陥がなく、膜厚のむらが少なく、得られたカラーフィルタの膜面状が良好で、高色純度でかつ高コントラストという良好な色特性とすることができる着色硬化性樹脂組成物、着色パターン形成方法、着色パターン、該着色硬化性樹脂組成物を用いてなるカラーフィルタ、その製造方法、及び該カラーフィルタを備えた液晶表示素子を提供することにある。
【解決手段】（ａ）色材、（ｂ）溶剤、（ｃ）重合性モノマー及びバインダー樹脂からなる群より選ばれる少なくとも１種、（ｄ）光重合開始剤、及び（ｅ）フルオロ脂肪族基を側鎖に有する高分子界面活性剤を含むことを特徴とする着色硬化性樹脂組成物。 （もっと読む）