【課題】液浸露光プロセスに必要なレジスト保護膜形成用組成物の消費量を削減することができるレジスト保護膜用プリウェット剤及びそのプリウェット剤を用いたレジスト保護膜形成方法を提供する。
【解決手段】レジスト膜上にレジスト保護膜形成用組成物を塗布し、レジスト保護膜を形成する前に、前記レジスト膜上に塗布又は散布される溶剤であるプリウェット剤として、アルコール系溶剤及び／又はエーテル系溶剤を用いる。アルコール系溶剤としては４−メチル−２−ペンタノールが特に好ましく、エーテル系溶剤としてはジブチルエーテル、ジイソアミルエーテル、１，８−シネオールが特に好ましい。 （もっと読む）

【課題】非常に微細な段差を有する下地においても、アライメントのずれが起こらず、かつ、確実に既存パターンの間にパターニングすることが可能なようにレジストを塗布できるレジスト塗布装置を提供する。
【解決手段】レジスト塗布装置は、レジストに溶剤を供給する手段を備えて、レジストの粘度を変化させることができる。このレジスト塗布装置を半導体装置の製造方法に用いることにより、段差のある下地に塗布するレジストの膜厚を幅広く制御することができる。 （もっと読む）

【課題】処理タクトを短縮することができ、流路抵抗を低く抑えることが可能な塗布装置を提供すること。
【解決手段】ポンプに供給される前の液状体に含まれる気体を除去するエアベントタンクが液状体をノズルに供給するポンプに近接して設けられているので、エアベントタンクからポンプまで液状体をより早く供給することができ、処理タクトを短縮することができる。また、エアベントタンクをポンプに近接させることによって、当該エアベントタンクからポンプまでの液状体の流通経路長を短くすることができるため、流路抵抗を低く抑えることができる。加えて、エアベントタンクからポンプまでの液状体の流通経路長を短くすることにより、当該流通経路でのマイクロバブルの発生を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】特に不都合な空気封じ込めおよび不都合な表面残留物に関する性能が向上した、ドライフィルムフォトレジストのためのウェットラミネーションシステムを提供する。
【解決手段】本発明は、回路基板パネルまたは他の基板上に光重合性フィルムをウェットラミネートするためのプロセスに有用なラミネーション液を対象とする。このラミネーションシステムは、１）ドライフィルムフォトレジスト、２）ｉ）銅、ｉｉ）ステンレス鋼、ｉｉｉ）非金属の表面、を含む積層品、３）ラミネーション液、および４）積層品上に液を適用する装置を含む。このラミネーション液は、水および界面エネルギー改変剤を含む。この界面エネルギー改変剤は、０．０００１と３．０モル／リットルとの間の範囲で存在し、液のｐＨは、３と１１との間である。 （もっと読む）

【課題】段差シリコン基板等に設けられた微細な有底の孔部や溝部における内壁面及び底面に対して、均一な被膜を高精度且つ容易に形成することができる被膜形成方法及びそれに用いるポジ型感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】本被膜形成方法は、［１］（ａ）開口部の面積が２５〜１００００μｍ^２であり且つ深さが１０〜２００μｍである孔部１１及び（ｂ）開口部の線幅が５〜２００μｍであり且つ深さが１０〜２００μｍである溝部１２のうちの少なくとも一方を有する段差基板１に、溶剤１３を塗布する溶剤塗布工程と、［２］ポジ型感光性樹脂組成物を、孔部１１及び溝部１２内の溶剤１３と接触するように、段差基板１に塗布する樹脂組成物塗布工程と、［３］塗膜１４を乾燥する乾燥工程と、を備えており、且つ、孔部１１並びに溝部１２における内壁面及び底面に樹脂成分を含む被膜１６を形成する。 （もっと読む）

【課題】工程が簡便で、歩留まりが高く、高精度なアスペクト比の高い微細な構造体の形成を可能にする感光性樹脂製の転写層並びに高アスペクト比の構造体を有する成形体を簡便に作成する方法を確立する。
【解決手段】表面に凹凸の設けられた基板と表面に感光性樹脂層が形成された基材とを該凹凸と感光性樹脂層が内側になるように対向させ、次いで、前記基板と感光性樹脂層を圧着させた後、基材を感光性樹脂層から剥離することにより凹凸の設けられた基板上に感光性樹脂製の転写層を形成する方法において、前記感光性樹脂層が多官能エポキシ樹脂及び光カチオン重合開始剤を含有することを特徴とする前記転写層の形成方法、及びこのようにして得られた転写層にフォトリソグラフィーによるパターニングを施すことにより得られる高アスペクト比の構造体を有する成形体。 （もっと読む）

【課題】スリットノズルを用い真空吸着されたガラス基板上に着色フォトレジストを塗布しても、開口部での吸引に起因した塗布膜の膜厚差が生じず、外観（濃度）ムラが観視されない着色フォトレジストの塗布方法、塗布装置を提供する。
【解決手段】スリットノズル２３がバキュームテーブル３１の開口部３４上方に達する直前に開口部からの吸引を中断し開口部での真空吸着を解除し、開口部上方を通過した後に開口部からの吸引を再開して開口部での真空吸着を継続する。スリットノズルがバキュームテーブルの開口部上方に達する直前に開口部からの吸引を中断し、開口部上方を通過した後に開口部からの吸引を再開する機能を具備する。 （もっと読む）

【課題】塗布に起因する面状を良化し、欠陥の少ない着色硬化性組成物を提供し、塗布性の良好なカラーフィルタ、液晶表示装置を提供する。
【解決手段】（ａ）色材、（ｂ）溶剤、（ｃ）重合性モノマー及びバインダー樹脂からなる群より選ばれる少なくとも１種、（ｄ）光重合開始剤、及び、（ｆ）下記一般式（１）で表されるフルオロ脂肪族基含有ポリマーから選ばれた少なくとも一種を含有する着色硬化性組成物。
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【課題】微細化された顔料を含有しても、顔料の分散性、分散安定性に優れ、スリット塗布によっても異物などの生成が抑制され、均一の着色膜を形成することができ、該乾燥着色膜の洗浄性に優れた着色硬化性組成物、それを用いた、均一な色相を達成しうる着色パターン、及び、該着色パターンを備えてなるコントラストに優れたカラーフィルタを提供する。
【解決手段】（Ａ）塩化ナトリウム（ＮａＣｌ）の存在下で微粒子化された顔料、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｃ）重合性化合物、（Ｄ）光重合開始剤、及び（Ｅ）溶剤を含有する着色硬化性組成物であって、前記顔料が前記着色硬化性組成物の全固形分に対し、４０質量％〜７０質量％含み、かつ該着色硬化性組成物を基板に塗布し、乾燥して得られた塗膜に対する水の接触角が６０°以上である着色硬化性組成物である。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化することなく、基板を短時間で所望の温度まで均一に加熱できるとともに、高品質な感光性積層体を製造することができる感光性積層体の製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板２４は、第１加熱機構１０４を構成するホットプレート１１０ａ、１１０ｂにより、第１加熱温度まで均一且つ迅速に加熱された後、基板供給機構１０８により第２加熱機構１０６ａ、１０６ｂに供給され、搬送部１３４ａ、１３４ｂにより搬送されながら、赤外線ヒータ１３６ａ〜１３６ｄにより第２加熱温度よりも低い第２加熱温度で加熱保持された後、貼り付け機構４６を構成するゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に長尺状感光性ウエブ２２とともに供給され、ガラス基板２４に感光性樹脂層２８が圧着されることで、感光性積層体２４ｂが製造される。 （もっと読む）