【課題】ＭＥＭＳの作製に好適な被膜形成方法を提供する。
【解決手段】第１の塗布工程ではホットプレート４によって塗布液を加熱してリフローする。この加熱処理によって、塗布液は下方に下がり、少なくとも凹部の底部から壁部の中間深さ位置に至るまで被膜７を形成することができる。そして、第２の塗布工程では、スプレーノズルから噴霧された塗布液９は、凹部の底部までは届きにくいため凹部の中間深さ位置から凸部３の上面に至るまでの領域に被膜１０が形成され、この被膜１０をベークする。この被膜１０と前記被膜７によって、凹部の全面に均一な厚さの被膜１１が形成される。 （もっと読む）

【課題】汚れ付着によるロール劣化が軽減され、従来以上の長期にわたって搬送、転写を安定的に行なえる搬送装置及び積層体の製造装置を提供する。
【解決手段】ゴム層６５ａを有する圧着ローラ６４ａ及びゴム層６５ｂを有する圧着ローラ６４ｂとゴム層６５ａにＵＶ−Ｂ光を照射するＵＶ−Ｂランプ８１とを備えており、ゴム層６５ａの表面に汚れが生じていると判定されたときに、ゴム層６５ａに積算照度が所定値に達するまでインラインでＵＶ−Ｂ光を照射して洗浄できるようになっている。 （もっと読む）

【課題】２４℃で２週間放置してもエッジフュージョンが発生せず、輸送時の移動や３０ｃｍの高さからの落下においても巻きズレが生じることなく、６０〜９０℃において気泡が入ることなく１μｍ〜４０μｍの段差の埋め込みができる感光性フィルム等の提供。
【解決手段】支持体と、該支持体上に感光層を少なくとも有し、感光層が、架橋性基を有するバインダーを少なくとも含有する感光性組成物からなり、バインダーに架橋性基を導入するための触媒の残存量が２００ｐｐｍ以下であり、２４℃における溶融粘度が１．０×１０^５Ｐａ・ｓ〜１．０×１０^７Ｐａ・ｓであり、かつ６０〜９０℃における溶融粘度が１．０×１０^２Ｐａ・ｓ〜５．０×１０^４Ｐａ・ｓであり、感光性フィルムをロール状に巻回してロール体とする際の巻き取りテンションが１．６ｋｇ／１０ｃｍ以上であり、前記ロール体の両端面に端面押さえを有する感光性フィルムである。 （もっと読む）

【課題】厚膜化することが可能であり、シャープなパターニング形状が得られ、かつ、光硬化後及びパターニング後もガラス基板等に対する密着性を失わない硬化膜を与える硬化性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）下記構造単位（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）を有するアルカリ可溶性を有する共重合体（ａ）カルボキシル基を有するラジカル重合性化合物に由来する構成単位、（ｂ）フェノール性水酸基を有するラジカル重合性化合物に由来する構成単位、（ｃ）他のラジカル重合性化合物に由来する構成単位、（Ｂ）２個以上の（メタ）アクリロイル基を有する化合物、（Ｃ）２個以上のエポキシ基を有し、２５℃における水１００ｇへの溶解度が２０ｇ以下である化合物、（Ｄ）数平均粒径が０．５μｍ以上のシリカ微粒子、及び（Ｅ）光ラジカル重合開始剤を含有する硬化性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】本発明は、インクジェット法を用いて基板上にレジスト薄膜を形成するフォトレジスト塗布装置及びフォトレジスト塗布方法並びにこれにより薄膜構造体を製造する方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は、溶液容器から供給したレジスト溶液を下方へ吐出するノズルを一定間隔で複数設けたインクジェット・ヘッドを２列互い違いに配置したインクジェット吐出機構と、前記インクジェット吐出機構の吐出対象であるウエハを載置した搬送テーブルを水平に移動させる基板搬送機構と、前記インクジェット吐出機構の吐出と前記基板搬送機構の移動を制御する制御機構とからなり、前記ウエハの特定の回路部分にのみ１回の塗布動作でレジスト薄膜を形成することを特徴とするフォトレジスト塗布装置の構成とした。 （もっと読む）

【課題】ストリエーションを発生させずに基板上に塗布液を塗布できる塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布チャンバ１１と、塗布チャンバ１１内に設けられ、基板Ｓが載置される回転台１３と、前記回転台１３に載置される基板Ｓに塗布液を滴下するための塗布液用ノズル１４とを備え、前記塗布液用ノズル１４から、回転台１３により回転する基板Ｓの塗布面に塗布液を滴下して、遠心力により前記基板Ｓ上の前記塗布液を外周方向に伸展させて前記塗布面に塗布液を塗布する塗布装置１であって、前記塗布チャンバ１１には、塗布チャンバ１１内を、前記塗布液を構成する溶媒のうち少なくとも一つの溶媒の飽和蒸気で満たす雰囲気形成手段１７を備えたことを特徴とする塗布装置。 （もっと読む）

【課題】塗布に起因する面状劣化を抑制し、且つ、欠陥の少ない着色膜を形成し得る着色硬化性組成物を提供すること。また、該着色硬化性組成物を用いて形成される、良好な面状を有し、且つ、欠陥の少ない着色パターン、この着色パターンを有するカラーフィルタ、該カラーフィルタの製造方法、及びこのカラーフィルタを備える液晶表示素子を提供すること。
【解決手段】（Ａ）着色剤と、（Ｂ）光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ）ポリアルキレンオキサイド及び水酸基を有するジメチルポリシロキサンと、を含有する着色硬化性組成物。 （もっと読む）

【課題】塗布液の滴下量を削減しつつ、より広範囲に塗布膜を成膜することが可能な回転塗布方法を提供する。
【解決手段】回転塗布装置１００は、回転駆動源により基板を第１の回転数で基板の中央部を中心に基板を回転させながら、塗布液供給部により塗布液を第１の滴下量だけ基板の中央部に滴下し、塗布液を第１の滴下量だけ滴下した後、回転駆動源により第１の回転数よりも小さい第２の回転数で基板を回転させながら、塗布液供給部により塗布液を第２の滴下量だけ基板の中央部に滴下し、塗布液を第２の滴下量だけ滴下した後、回転駆動源により塗布液の膜厚を決定するための第３の回転数で基板を回転させる。第１の回転数は、空気抵抗により第１の滴下量の塗布液が基板に均一に広がらない回転数である。 （もっと読む）

【課題】装置の設備コスト及び設置スペースを削減し、スループットを向上させ、薬液の使用効率も向上させることが可能な薬液の塗布固化装置を提供する。
【解決手段】被処理体Ｗの表面に薬液を塗布して固化させる塗布固化装置２において、外部の搬送機構７０によって被処理体が搬出入される搬出入口１０を有する処理容器４と、処理容器内に設けられて被処理体を載置する載置台２４と、搬出入口を開閉する開閉シャッタ部１２と、搬出入口の外側に設けられて被処理体の表面に薬液を塗布する塗布機構４４と、処理容器に設けられて被処理体の表面に塗布された薬液を固化させて薄膜を形成する固化手段２６とを備える。これにより、薬液の塗布機能と塗布された薬液を固化する固化機能とを一体化した装置で行うようにし、この結果、装置の設備コスト及び設置スペースを削減する。 （もっと読む）

【課題】塗布に起因する面状劣化を抑制し、且つ、欠陥の少ない着色膜を形成し得る着色硬化性組成物を提供すること。また、該着色硬化性組成物を用いてなる、面状が良好で、且つ、欠陥の少ない着色パターン、この着色パターンを有するカラーフィルタ、該カラーフィルタの製造方法、及びこのカラーフィルタを備える液晶表示素子を提供すること。
【解決手段】（Ａ）着色剤、（Ｂ）光重合性化合物、（Ｃ）光重合開始剤、及び（Ｄ）下記一般式（１）で表される繰り返し単位を含む共重合体を含有する着色硬化性組成物（一般式（１）中、Ｒ^１は、水素原子、又はメチル基を表し、Ｘ^１は、酸素原子、硫黄原子、又は−Ｎ（Ｒ）−を表し、ｍ１は０〜１８の整数を表し、ｎ１は１〜１８の整数を表す。ここで、Ｒは、水素原子、又は置換基を有してもよい炭素数１〜８のアルキル基を表す。）。
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