【課題】装置を大型化することなく、基板を短時間で所望の温度まで均一に加熱できるとともに、高品質な感光性積層体を製造することができる感光性積層体の製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板２４は、第１加熱機構１０４を構成するホットプレート１１０ａ、１１０ｂにより、第１加熱温度まで均一且つ迅速に加熱された後、基板供給機構１０８により第２加熱機構１０６ａ、１０６ｂに供給され、搬送部１３４ａ、１３４ｂにより搬送されながら、赤外線ヒータ１３６ａ〜１３６ｄにより第２加熱温度よりも低い第２加熱温度で加熱保持された後、貼り付け機構４６を構成するゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に長尺状感光性ウエブ２２とともに供給され、ガラス基板２４に感光性樹脂層２８が圧着されることで、感光性積層体２４ｂが製造される。 （もっと読む）

【課題】巻き取りロールから供給されたフィルム基材上に、顔料を分散した透明な着色感光性樹脂をドライフィルム化した着色感光性樹脂層を貼り合わせ、フィルム基材上でフォトリソ法によりパターニングしてカラーフィルターを製造する方法において、設備の増加を伴わず、かつ材料使用効率が高く、容易にフィルム基材上に形成したフレキシブルカラフィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】フィルム基材１０１上に１０３着色感光性樹脂層を貼り合せる際、形成するカラーフィルターの有効エリア１１２のサイズに着色感光性樹脂層を切り抜いた後、貼り合わせることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】膜厚を均一にした電着レジスト膜を高精度に形成できるスプレーレジスト法によるレジスト膜の塗布装置を提供する。
【解決手段】レジスト剤とキャリアガスと混合して霧状に前記レジスト剤を噴霧する二流体ノズル（８２）と、二流体ノズルを所定高さに設けこの二流体ノズルから噴霧されたレジスト粒子のうちの重量の大きいレジスト粒子を下部に落下させるレジスト容器（８０）と、二流体ノズルの高さ位置よりも上方に設けられレジスト粒子のうちの重量の小さいレジスト粒子をキャリアガスとともに排出する排出口（８１）と、二流体ノズルの高さ位置からレジスト容器の天井までの間の高さで排出口の高さを調整する調整部（８７−８９）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】液状体の高粘度化を抑え、塗布部の乾燥を抑えることが可能な塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】基板を浮上させて搬送する基板搬送部と、当該基板搬送部によって搬送させつつ前記基板に液状体を塗布する塗布部とを備えた塗布装置であって、前記塗布部に設けられ、前記液状体を吐出するノズルと、前記基板搬送部のうち前記ノズルに対応する領域に複数設けられ、前記基板を浮上させるための気体噴出を行う気体噴出孔とを備え、前記ノズルは、その先端に平面視で重なる前記気体噴出孔の数が最も少なくなるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】レジスト微粒子を小さくして膜厚を均一にした電着レジスト膜を高精度に形成でき、量産性に優れたスプレーレジスト法によるレジスト膜の塗布装置を提供する。
【解決手段】レジスト塗布装置（１００）は、レジスト剤とキャリアガスと混合して霧状にレジスト剤を噴霧する二流体ノズル（８２）と、レジスト容器（８０）と、レジスト粒子のうちの重量の小さいレジスト粒子をキャリアガスとともに排出する排出口（８１）と、排出口からキャリアガスにより送り込まれる重量の小さいレジスト粒子を吐出する吐出ノズル（７１）と、吐出ノズルに取り付けられ重量の小さいレジスト粒子を帯電させる電極針（７２）と、帯電したレジスト粒子を使って複数のウエハ（１０）にレジスト膜を形成するため、それぞれのウエハに対して接地領域を有するウエハ保持部（７６）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 感光性樹脂組成物を、シリコン系基板に塗布する際に、塗布による塗膜の均一性の低下と泡の巻き込み等の欠陥を低減することのできる半導体装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】 アルカリ可溶性樹脂（Ａ）１００重量部と、感光材（Ｂ）１〜１０
０重量部と、を含む感光性樹脂組成物を、シリコン系基板（Ｃ）上に塗布する直前に、前記シリコン系基板（Ｃ）上を溶剤（Ｄ）で前処理することを特徴とする半導体装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】バックグラインド工程を経て極薄に研削されたウエハの研削面に、塗布剤を滴下し、平滑化させて所定の膜を形成する際、ウエハを破損しないようになされた塗布方法を提供する。
【解決手段】ウエハＷの片面に固定治具を密着固定した状態で搬送し、塗布装置で保持する。固定治具として、板状の治具本体と、当該治具本体の片面に設けられた、半導体ウエハを着脱自在に密着保持する密着層とから構成する。治具本体は、片面に前記密着層を支持する複数の支持突起を有すると共に、片面の外周部に前記支持突起と同等高さの側壁を有し、この側壁の端面に前記密着層が接着されて、前記密着層と前記治具本体との間に前記側壁で囲われた区画空間が画成され、前記治具本体に前記区画空間に連通する通気孔７が形成され、この通気孔を介して前記区画空間内の空気を吸引することにより、前記密着層が変形されるものを用いる。 （もっと読む）

【課題】歩留まり低下を防ぐことが可能な塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】気中パーティクル量測定器によって基板が移動する経路に直接的又は間接的に影響を及ぼす所定部分の気中パーティクル量を測定することとしたので、基板を浮上させる前に気中パーティクル量を確認することができる。基板を浮上させる前に気中パーティクル量を確認することにより、測定された気中パーティクル量に基づいて基板に当該パーティクルが付着する可能性を判断することができる。これにより、歩留まり低下を防ぐことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】基板上に、第１の塗膜とその第１の塗膜と高い密着性を有する第２の塗膜とを均一に形成することができるスリットコート式塗布方法を提供する。
【解決手段】基板１の塗布面に対して、第１の液体（第１の塗布液２ａ）を第１の塗布ヘッド３０ａに設けられたスリット状のノズル開口３１ａから突出させ、第１の液体が基板に接触した状態で基板と第１の塗布ヘッドとを面方向に相対的に移動させることで第１の液体を塗布して基板上に第１の塗膜６０を形成する第１の塗布工程と、第１の塗膜が乾燥する前に、基板の塗布面に対して、第２の液体（第２の塗布液２ｂ）を第２の塗布ヘッド３０ｂに設けられたスリット状のノズル開口３１ｂから吐出させ、第２の液体が第１の塗膜に接触した状態で基板と第２の塗布ヘッドとを面方向に相対的に移動させることで第２の液体を塗布して第１の塗膜上に第２の塗膜７０を形成する第２の塗布工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】角形基板でもその角部分の先端までほぼ均一な薬液層を形成する事の出来る薬液塗布装置を開発する事にある。
【解決手段】(1) 角形基板(1)が嵌め込まれる角形凹所(16)が形成され、該角形凹所(16)の外接円(G)外に面一にて平坦縁部(10b)が形成され、角形基板(1)が前記角形凹所(16)に面一に嵌め込まれた状態で回転する回転チャック(10)と、(2) 角形基板(1)上に薬液(2)を供給するための薬液供給部(11)と、(3) 回転チャック(10)に載置された角形基板(1)を覆うためのものであって、回転チャック(10)の直上に気体流入孔(12)が穿設されており、気体流入孔(12)から角形基板(1)側に導入された気体にて角形基板(1)の中心(P)側から周縁(S)方向に流れる気流(4)を作り出す円錐台状のフード(13)とを有する薬液塗布装置(A)であって、(a) フード(13)の気体流入孔(12)が角形基板(1)の内接円(N)に等しく、且つ、(b) フード(13)の裾縁(14a)が回転チャック(10)の外周縁(10c)に等しく形成されている事を特徴とする。 （もっと読む）