【課題】外套管内に長尺状のランプを挿入した光源エレメントを有する紫外線照射装置において、光照射領域の照度均一度を改善すること。
【解決手段】光源部１０の光源エレメント２０は、光透過性を有する長尺状の外套管２４内に、長尺状のランプ２５を挿入したものであり平行に等間隔で並列配置される。冷却ファン４２によって作られた冷却風は、第１の導風路４３Ａを介して一端側から、光源エレメント２０の冷却風流通路２４Ａに導入され、ランプ２５を冷却しながら右から左に流れて他端側から排出される。排出された冷却風は、第２の導風路４３Ｂから熱交換器４３に導かれて冷却される。光源部１０とワークステージ６０の間には内面に反射面を有する筒型ライトガイド５１が配置され、筒型ライトガイド５１の冷却風の排出される側に設けた反射面の一部に反射する光の量を低下させる反射光量低下手段５５が設けられる。 （もっと読む）

【課題】酸化劣化を起こさずにゲッターをガス放電ランプに挿入する方法を提供する。
【解決手段】ガス放電ランプ、それを使う光イオン化センサ及びその製造方法。ランプは、ハウジング、その長手方向第一端部を通す紫外線透過窓、ハウジング内において長手方向に延びるゲッターストリップを有し、ハウジング内に処理ガスが密閉される。製造方法は、（i）ガラス管を得る段階（ii）長手方向端部の中間のガラス管を収縮し、孔を第一及び第二チャンバーに分割し、収縮部による通路を介してチャンバーが流体連通する段階（iii）第一チャンバーの開放端部を覆って紫外線透過窓をガラス管に取付る段階（iv）ゲッターストリップを収縮部の通路を介して第一チャンバーに挿入する段階（v）第一チャンバーを希ガスでパージする段階（vi）収縮部でガラス管を熱し、第二チャンバーから第一チャンバーを分離して第一チャンバーの収縮端部を密閉する段階を有する。 （もっと読む）

【課題】石英ガラスよりなる発光管における非発光部内にゲッター材料が配置された希ガス放電ランプにおいて、非発光部の軸方向の長さを小さくすることができる希ガス放電ランプを提供する。
【解決手段】放電空間を包囲する発光部および当該発光部の一端に連続する非発光部を有する、石英ガラスよりなる長尺な発光管と、発光管における発光部の外面において互いに対向して配置された、発光管の長手方向に伸びる一対の電極とを備え、非発光部は、その管壁が変形されることによって形成された係合部を有し、非発光部内には、係合部より放電空間側に位置するよう配置されたゲッター材料および係合部に係合する被係合部材を有してなるゲッター構造体が配置されており、ゲッター構造体は、前記被係合部材が前記係合部に係合することにより、前記放電空間に接近する方向への移動が制限されている。 （もっと読む）

【課題】紫外線発光光源を希ガス放電灯とし、その内側および外側にらせん状流路を形成することで、紫外線による浄化処理能力を向上可能とする。
【解決手段】光源設置部に直管状の紫外線放射部を備えた複数の希ガス放電灯を紫外線放射部が平行になるように配置する。内周側らせん状流路および外周側らせん状流路を前記光源設置部の近傍に設ける。内周側らせん状流路および外周側らせん状流路は、紫外線透過材料により形成する。前記希ガス放電灯は、希ガスが密閉封入されたガラス管と、前記紫外線放射部のガラス管外周面に対向して設けた一対の帯状の外部電極とを有する紫外線発光の希ガス放電灯であり、非外部電極被覆面が前記内周側らせん状流路および外周側らせん状流路と対向する。 （もっと読む）

【課題】放電容器の外表面に一対のメッシュ状の光透過性外部電極が設けられ、前記放電容器の内表面には反射膜が形成されるとともに、該反射膜には光モニター用の採光口が形成されてなるエキシマランプにおいて、前記採光口の輪郭線を形成する反射膜のエッジ部での放電の集中を防止して、放電容器内の放電が安定になり、紫外光のモニターが正確に行われるようにした構造を提供することである。
【解決手段】前記採光口の輪郭線が、前記メッシュ状の光透過性外部電極の素線と直線的に重なることのないように形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】改善された高輝度光源を提供する。
【解決手段】光源１００は、チャンバ１２８と、前記チャンバ内のガスをイオン化するための点火源１４０と、前記チャンバ内の前記イオン化ガスにエネルギーを供給して高輝度光１３６を生成するための連続波レーザ１０４と、を備える。光源１００は、イオン化ガスに供給される連続波レーザエネルギーの特性を変更するため、レンズ、ミラー等の光学要素を備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、上記の問題点に鑑み、蛍光体や反射膜を内部に備えたエキシマランプにおいて、エキシマランプが冷却される状態においてもゲッターの吸着性能を高めることのできる光照射装置を提供すること。
【解決手段】 内面に蛍光物質が設けられた放電容器の外面に一対の電極を配置した長尺状のエキシマランプと、該エキシマランプを内部に挿通した状態で設けられた光透過性材料よりなる外管と、該エキシマランプの一方の端部から他方の端部に向けて冷却風を送風させる冷却装置と、よりなる光照射装置において、該エキシマランプは、放電容器の内部であって他方の端部にゲッターが設けられたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】内部電極を改善した同軸二重管構造の誘電体バリア放電ランプを提供する。
【解決手段】外管および内管を有する放電容器と、内管の内部に配置された第１電極と、少なくとも１つの他の電極とを備え、内管が外管の内部に同軸的に配置され、内管と外管とが互いに気密に結合され、内管と外管との間に、放電媒体を封入された放電空間が形成されている誘電体バリア放電ランプにおいて、第１電極）が管として形成され、該管に、２つ以上の軸線方向スリットが設けられている。 （もっと読む）

【課題】 殺菌や滅菌、空気清浄などを紫外線光源を用いて行なわれている。この光源として水銀を含まない希ガス放電灯を提供し、紫外線放射量の減衰および外部電極の固定の問題を解決する。
【解決手段】 希ガスが密閉封入されたガラス管（１１）と、前記ガラス管（１１）外周面の一部に設けた一対の帯状の外部電極（１４，１５）とを有する希ガス放電灯（１０，２０，３０）であって、外部電極の外周には、開口（１９）を設けた紫外線透過性の熱収縮膜（１７，２７，３７）で被覆する。開口（１９）部分はガラス管（１１）が露出し、開口を設けない部分は熱収縮膜（１７，２７，３７）にて被覆される。これにより、希ガス放電灯から照射される紫外線の減衰を抑制することができるとともに外部電極（１４，１５）の固定が確実に実施できる。 （もっと読む）

【課題】
照射される紫外線を有効に利用して、光触媒の処理効率を向上させることができるだけでなく、放電ガスとしてキセノンガスを用いた場合でも点灯性の良好なエキシマランプを提供する。
【解決手段】
放電ガスが気密に封入される放電管（２）に形成された放電空間（３）の少なくとも一部が円筒空間に形成されると共に、その中心側に配される中心電極（４Ａ）と外周側に配される周面電極（４Ｂ）とを備え、周面電極（４Ｂ）は、多数の微細透孔（１３）が形成された導電性メッシュ（１４）に光触媒となるアナターゼ型酸化チタン（１６）を担持させた多孔質光触媒シート（１１）を巻回して、放電管（２）の外表面に設けた。
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