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国際特許分類[H01L21/208]の内容

国際特許分類[H01L21/208]に分類される特許

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【課題】カーボンナノチューブが分散媒体中に均一に分散されており、成膜性および成形性に優れ、かつ、簡便な方法で基板に塗工することができる組成物、ならびに該組成物から形成されたカーボンナノチューブ含有膜を提供する。
【解決手段】本発明に係る組成物は(A)カーボンナノチューブと、(B)金属塩およびオニウム塩から選ばれる少なくとも一種と、を含有する組成物であって、前記組成物中の前記(A)成分の濃度M(質量%)および前記(B)成分の濃度M(質量%)がM/M=2.0×10−4〜4.0×10−2である。 (もっと読む)


【課題】従来の気相成長法とは異なる、固液界面へのレーザー光照射による液相成長反応に基づく半導体薄膜パターンの製造方法、半導体薄膜パターンおよび結晶性半導体薄膜パターンを提供する。
【解決手段】レーザー光照射時において液体状の半導体原料を用い、連続発振(CW)レーザーあるいはパルス発振レーザーを光源として、レーザー光の波長の光に吸収を有する固体基板を用いる場合には、液体原料側から固体基板と液体状原料との固液界面にレーザー光を合焦し照射することにより、また、透明性の高い固体基板を用いる場合には、固体基板側から固液界面にレーザー光を合焦し照射することにより、半導体薄膜パターンの形成を行う。固体基板の種類、レーザー光照射条件の制御によって、結晶化を同時に行い、結晶性の半導体薄膜パターンの形成を行う。 (もっと読む)


【課題】主面の面積が大きな大口径のGaN結晶基板を効率よく生産するためのGaN結晶の成長方法を提供する。
【解決手段】GaN種結晶基板101の主面101s上に第1の気相法により第1のGaN結晶110を成長させ、GaN種結晶基板101および第1のGaN結晶110の少なくともいずれかを加工することによりGaN種結晶基板101の主面101sに比べて面積が小さな主面111sを有する少なくとも1つの第1のGaN結晶基板111を得て、この第1のGaN結晶基板111bを液相法により成長させることにより第1のGaN結晶基板111bの主面111bsに比べて面積が大きな主面112sを有する第2のGaN結晶基板112を得て、この第2のGaN結晶基板112の主面112s上に第2の気相法により第2のGaN結晶120の成長させる。 (もっと読む)


【課題】特性を向上できる赤外LED用のエピタキシャルウエハおよび赤外LEDを提供する。
【解決手段】赤外LED用のエピタキシャルウエハ1cは、主表面11aと、主表面11aと反対側の裏面11bとを有するAlxGa(1-x)As層(0≦x≦1)を含むAlyGa(1-y)As基板(0≦y≦1)と、AlxGa(1-x)As層の主表面11a上に形成され、かつ活性層を含むエピタキシャル層20とを備える。AlxGa(1-x)As層において、主表面11aのAlの組成比xは、裏面11bのAlの組成比xよりも低い。AlxGa(1-x)As層において、主表面11aの不純物濃度は、裏面11bの不純物濃度よりも高い。 (もっと読む)


【課題】太陽電池セルの逆方向漏れ電流を低減することができ、太陽電池セルおよび太陽電池モジュールの歩留まりを向上して、製造コストを低減することができるシリコンリボン、球状シリコン、およびこれらの製造方法、ならびにこれらを用いた太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを提供する。
【解決手段】融液から直接作製されるシリコンリボン、球状シリコンであって、シリコンリボン、球状シリコンの窒素濃度が5×1015atoms/cm3以上5×1017atoms/cm3以下であるシリコンリボン、球状シリコン、およびこれらの製造方法、ならびにこれらを用いた太陽電池セルおよび太陽電池モジュールである。 (もっと読む)


【課題】第13族金属窒化物結晶の生成速度を大幅に向上させることができ、かつ高品質な結晶を製造することができる第13族金属窒化物結晶の製造方法を提供する。
【解決手段】原料100を溶媒101に溶解して溶液を作成する工程と、溶液中で第13族金属窒化物の結晶を成長させる工程、とを備える第13族金属窒化物結晶の製造方法であって、溶液中に第17族元素を含み、かつ結晶成長工程において反応容器102内の圧力が1.0atm未満である。 (もっと読む)


【課題】高純度のGaAsのエピタキシャル成長層をGaAs基板上に得ること。
【解決手段】試料台上に、Ga及びGaAsを配置して、少なくとも水素を含むキャリアガスを流した雰囲気において、第1温度で加熱する高純度化工程を有する。高純度化工程の後に、冷却した後、反応管から試料台を取り出し、試料台にGaAs半導体基板を設置して、反応管に戻した後、キャリアガスを流した雰囲気において、エピタキシャル成長層の成長を開始させる成長開始温度以上の第2温度で加熱する前加熱工程を有する。雰囲気温度を第2温度から冷却させながら、雰囲気温度が成長開始温度に達した時に、Ga及びGaAsの溶液をGaAs半導体基板表面に接触させて、GaAsのエピタキシャル成長を開始させる成長工程を有する。高純度化工程における処理時間を、該処理時間とエピタキシャル成長層の移動度との関係において、最大移動度が得られる極限時間の0.96倍以上、極限時間以下の時間範囲の値とした。 (もっと読む)


【課題】炭化珪素基板中を貫通して流体が漏出することを防止することができる炭化珪素基板の製造方法を提供する。
【解決手段】炭化珪素から作られた第1および第2の被支持部11、12の各々と、炭化珪素から作られた支持部30とが互いに対向し、かつ第1および第2の被支持部11、12の間に隙間GPが設けられるように、第1および第2の被支持部11、12、および支持部30が配置される。支持部30の炭化珪素を昇華および再結晶させることで、第1および第2の単結晶基板11、12の各々に支持部30が接合される。この際、隙間GPにつながるように支持部30に貫通孔THが形成されることで、隙間GPおよび貫通孔THを通って流体が通過し得る経路PTが形成される。この経路PTを塞ぐことで、炭化珪素基板中を貫通して流体が漏出することを防ぐことが可能となる。 (もっと読む)


【課題】炭化珪素基板を用いた半導体装置の製造コストの低減を実現可能な炭化珪素基板の製造方法、半導体装置の製造方法、炭化珪素基板および半導体装置を提供する。
【解決手段】炭化珪素基板1の製造方法は、炭化珪素からなるベース基板10および単結晶炭化珪素からなるSiC基板20を準備する工程と、ベース基板10の主面10A上に接触するようにSiC基板20を載置して、積層基板を作製する工程と、積層基板を、SiC基板20よりもベース基板10の温度が高くなるように加熱することにより、ベース基板10とSiC基板20とを接合する工程と、SiC基板20が接合されたベース基板10の、SiC基板20とは反対側の主面10B上にエピタキシャル成長層30を形成する工程とを備えている。 (もっと読む)


【課題】種結晶上での結晶成長速度を大幅に向上させることができ、かつ長時間継続して結晶成長を行うことができる第13族金属窒化物結晶の製造方法を提供する。
【解決手段】原料101を溶媒102に溶解して溶液102または融液を作成する工程、溶液102または融液を攪拌する工程、及び溶液102または融液中で第13族金属窒化物結晶の成長を行なう工程、を備える第13族金属窒化物結晶の製造方法であって、溶液102または融液を攪拌する工程において、攪拌により溶液102または融液に投入される動力が0.02W/m以上である。 (もっと読む)


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