【課題】有害有毒なガスを使用せず、大気圧下で効率よく高濃度の不純物を含む膜を成膜する成膜方法等を提供する。
【解決手段】ボロン又は五酸化リンなどの固体ソースＳを噴射孔１１３を有する容器内１１０に配置し加熱し蒸発させてガスを発生させキャリアガスを導入し、得られたガスをキャリアガスとともに噴射孔１１３から噴射し、予熱された基板Ｗの表面に噴射して不純物を含有する膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】耐圧特性の低下やゲートリーク電流の増加を生じることなく、低抵抗で高速動作可能なヘテロ接合電界効果型トランジスタおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】ヘテロ接合ＦＥＴの製造方法に関し、（ａ）チャネル層３及びチャネル層３上に形成されたバリア層４を窒化物半導体層として準備する工程と、（ｂ）窒化物半導体層上に不純物拡散源としてＺｎＯ膜９を形成する工程と、（ｃ）ＺｎＯ膜９上のドレイン電極６及びソース電極５を形成すべき領域以外に酸化膜１０を形成する工程と、（ｄ）窒化物半導体層に対して熱処理を行い、酸化膜１０が形成されていない領域の下部のチャネル層３及びバリア層４に選択的に、ＺｎＯ膜９からＺｎ及びＯを拡散させる工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板の反りの発生を抑制しながら、ｐ型拡散層を形成することが可能なｐ型拡散層形成組成物、ｐ型拡散層の製造方法、及び太陽電池素子の製造方法を提供する。
【解決手段】ｐ型拡散層形成組成物を、窒化ホウ素及び窒化ホウ素に由来する酸化物を含み、酸素含有率が１５質量％以下である窒化ホウ素粒子と、分散媒とを含有して構成する。このｐ型拡散層形成組成物をシリコン基板上に塗布し熱拡散処理を施すことで、ｐ型拡散層、及びｐ型拡散層を有する太陽電池素子が製造される。 （もっと読む）

【課題】ドーパント濃度が異なる領域を有するシリコン基板を簡便で効率的に製造可能とする。
【解決手段】単位面積あたりのホウ素原子拡散量が選択領域で多くなるよう、窒化ホウ素及び分散媒を含有する拡散剤を下記（１）〜（３）の少なくとも一つの方法によりシリコン基板上に塗布する塗布工程と、前記塗布工程の後、前記シリコン基板を加熱する熱拡散処理工程と、を有するｐ型拡散層を有するシリコン基板の製造方法。（１）前記拡散剤として、窒化ホウ素の濃度が異なる少なくとも二種の拡散剤を用い、窒化ホウ素の濃度の高い前記拡散剤を前記選択領域に塗布する。（２）前記選択領域では、前記拡散剤の塗布を繰り返して重ね塗りを行う。（３）拡散能の高い窒化ホウ素を含有する前記拡散剤を前記選択領域に塗布する。 （もっと読む）

【課題】熱拡散時におけるシリコン基板の反りの発生を抑制しながら、ｐ型拡散層形成組成物と基板との反応を抑制し、低抵抗なｐ型拡散層を形成することが可能なｐ型拡散層形成組成物、これを用いたｐ型拡散層の製造方法及び太陽電池素子の製造方法、並びに太陽電池の提供する。
【解決手段】ｐ型拡散層形成組成物を窒化ホウ素及び炭化ホウ素から選ばれる少なくとも１種のホウ素化合物と、分散媒と、を含有して構成する。このｐ型拡散層形成組成物をシリコン基板上に塗布し熱拡散処理を施すことで、ｐ型拡散層、及びｐ型拡散層を有する太陽電池素子が製造される。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板の反りの発生を抑制しながら、ｐ型拡散層を形成することが可能なｐ型拡散層形成組成物、ｐ型拡散層の製造方法、及び太陽電池素子の製造方法を提供する。
【解決手段】ｐ型拡散層形成組成物を、結晶形が六方晶である窒化ホウ素と、分散媒と、を含有して構成する。このｐ型拡散層形成組成物をシリコン基板上に塗布し熱拡散処理を施すことで、ｐ型拡散層、及びｐ型拡散層を有する太陽電池素子が製造される。 （もっと読む）

【課題】 レーザを照射することによって形成されるリッジに伴う太陽電池の性能の低下を軽減させるレーザドーピング方法を提供する。
【解決手段】 半導体基板の表面にドーパントを接触させる接触工程と、半導体基板の表面の第１照射領域にレーザ光を照射する第１照射工程と、第１照射領域に形成されたリッジを含んだ第２照射領域を定め、当該第２照射領域にレーザ光を照射する第２照射工程とを有する、レーザ光を照射してドーパントをドープするレーザドーピング方法により解決する。 （もっと読む）

【課題】 安定性に優れ、例えば、長時間の連続印刷時でも良好な印刷性が得られるスクリーン印刷用不純物拡散用塗布液を提供すること。
【解決手段】 下記一般式（１）で表される１，２−ジオール構造単位を有するポリビニルアルコール系樹脂（Ａ）、１５族元素化合物（Ｂ）、および水（Ｃ）を含有する。


〔式中、Ｒ^１ 、Ｒ^２及びＲ^３ はそれぞれ独立して水素原子または有機基を示し、Ｘは単結合または結合鎖を示し、Ｒ^４ 、Ｒ^５及びＲ^６ はそれぞれ独立して水素原子または有機基を示す。〕 （もっと読む）

【課題】 安定性に優れ、例えば、長時間の連続印刷時でも良好な印刷性が得られるスクリーン印刷用不純物拡散用塗布液を提供すること。
【解決手段】 下記一般式（１）で表される１，２−ジオール構造単位を有するポリビニルアルコール系樹脂（Ａ）、１３族元素化合物（Ｂ）、および水（Ｃ）を含有する。


〔式中、Ｒ^１ 、Ｒ^２及びＲ^３ はそれぞれ独立して水素原子または有機基を示し、Ｘは単結合または結合鎖を示し、Ｒ^４ 、Ｒ^５及びＲ^６ はそれぞれ独立して水素原子または有機基を示す。〕 （もっと読む）

【課題】不純物拡散成分を含む塗布型拡散剤組成物について、半導体基板に塗布したときに十分な膜厚を得ることができ、かつ段差を有する基板に塗布した後、焼成、拡散を行った場合にクラックが生じにくくさせる。
【解決手段】本発明のある態様の拡散剤組成物は、下記一般式（１）で表されるアルコキシシランを出発原料とする縮合生成物（Ａ）と、不純物拡散成分（Ｃ）と、有機溶剤（Ｄ）とを含有する。
【化１】


（１）式中、Ｒ^１、Ｒ^２は有機基であり、複数個のＲ^１、Ｒ^２は、同一でも異なっていてもよい。ｍは０、１、もしくは２である。ただし、ｍ＝０の場合、縮合化合物（Ａ）は複数の（１）から形成されていて、ｍ＝１もしくは２のアルコキシシランを必ず含む。 （もっと読む）