【課題】基板の液処理時に遮蔽扉に付着した処理液によって、基板の乾燥処理時にパーティクルが発生してしまうのを防止すること。
【解決手段】本発明では、基板処理装置（１）において、処理液で基板（６）の液処理を行う液処理槽（７）と、前記液処理槽（７）の上方に設けられ、前記基板（６）の乾燥処理を行う乾燥処理槽（２２）と、前記液処理槽（７）と乾燥処理槽（２２）との間に設けられ、前記液処理槽（７）と乾燥処理槽（２２）とを遮蔽可能な遮蔽扉（３３）と、前記液処理槽（７）と乾燥処理槽（２２）との間で前記基板（６）の搬送を行う基板搬送手段（５）と、前記遮蔽扉（３３）に洗浄液を供給する洗浄液供給手段（３６）とを設けることにした。 （もっと読む）

【課題】基板搬送システムの構造設計上の自由度を向上させる基板トレイ及び基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを内側に収容する収容孔１１を複数有し、複数の基板Ｗと共にロボットアーム２０により搬送される円形状の基板トレイ１０において、ロボットアーム２０の挿入方向Ｄと反対の方向側となる一方の半円の領域１０ｂで、他方の半円の領域１０ａより収容孔１１の数を少なくすることにより、一方の半円の領域１０ｂの重さを、他方の半円の領域１０ａの重さより重くし、これにより、基板トレイ１０及び複数の基板Ｗによる重心Ｇ２の位置を、基板トレイ１０の中心Ｃから、ロボットアーム２０の挿入方向Ｄと反対の方向に移動させた。 （もっと読む）

【課題】他の装置との非干渉領域を拡大して作業性と安全性を大幅に改善する板状被処理材の取扱装置を提供する。
【解決手段】水平走行本体ＨＳに旋回ポストＣＰを装着し、旋回ポストＣＰに水平旋回アームＣＡを装着し、その先端に旋回首振可能に横断面がコ字型の竪フレームＴＦを連結装着し、竪フレームＴＦの下端部に長尺ボックスＴＢを傾動可能に装着する回動駆動連結機構ＸＫを設け、長尺ボックスＴＢに板状被処理材Ｗの下端縁と上端縁を上下の挟持爪ＨＴで挟持支持・開放する挟持爪機構ＫＫを装着し、挟持爪機構ＫＫは、長尺ボックスＴＢ内に上下駆動機構を内装し、長尺ボックスＴＢの外側の縦長手方向に移動可能に左右一対の爪保持リングＴＲを設け、爪保持リングＴＲの前面に上下一対の挟持爪ＨＴを装着し、爪保持リングＴＲの後部を長尺ボックスＴＢの後側からボックスＴＢ内に挿入し挿入部をスクリューに連結してなる。 （もっと読む）

【課題】処理動作のタクトタイムを短縮することができ、且つ、ノズルのメンテナンス処理に起因する被処理基板の汚染を防止する。
【解決手段】被処理基板Ｇの幅方向に延びる吐出口を有し、前記処理ステージ上の前記基板の上方を基板搬送方向に沿って移動されると共に、前記吐出口から前記基板上に処理液を吐出するノズル３１と、前記ノズルを昇降移動可能であって、前記ノズルを基板搬送方向上流側または下流側に向けて移動可能なノズル移動手段３２と、基板搬送路４の下方に設けられ、前記ノズルの吐出口の状態を整えるノズルメンテナンス手段３５と、前記基板搬送路において前記処理ステージの上流側または下流側に所定長さの空き区間ｄを出没自在に形成可能な空き区間形成手段２１，２２，２３Ａ、２３Ｂ、３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】可撓性を有するワークを非接触で安定的にチャックすることができるチャック装置およびチャック方法を提供する。
【解決手段】可撓性を有するワークＷを保持するチャック装置であって、ワークＷの鉛直上方に位置して当該ワークＷを非接触状態で吸引するベルヌーイチャック機構４と、当該ベルヌーイチャック機構４を挟んで水平面上に対向配置され、当該ベルヌーイチャック機構４による吸引力で浮上するとともに自重で撓んだワークＷの側縁Ｗ_２を挟持し、当該側縁Ｗ_２よりも中央部Ｗ_１が鉛直上方に位置する湾曲姿勢にワークＷを保持する一対の保持手段１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】検査工程と整列工程を１台の設備で行うことによって工数削減と設備費のコストダウン及び設置スペースの縮小を図ることができるＬＥＤ素子のソーティング装置を提供すること。
【解決手段】半導体ウエハ２を裁断して得られる複数のＬＥＤ素子３の各特性をそれぞれ検査するとともに、各ＬＥＤ素子３の位置をそれぞれ検出し、各ＬＥＤ素子３をその特性データと位置データに基づいて各ランク毎に整列させてシート４上に貼付するＬＥＤ素子３のソーティング装置１を、放射状に延びる複数のアーム１１を備えた回転可能且つ上下動可能なインデックスユニット１０を設け、該インデックスユニット１０の前記各アーム１１を回転及び上下動させてその先端に前記ＬＥＤ素子３を吸着しつつ、該ＬＥＤ素子３の位置検出と特性の検査、各ランク毎の整列及びシートへの貼付を順次行うよう構成する。 （もっと読む）

【課題】水平方向へのレイアウトの拡大を抑制できる基板の搬送システムを提供する。
【解決手段】搬送システム１は、ロボット７Ａにて搬入及び搬出される基板Ｓが置かれる搬入用スペース１２Ａ及び搬出用スペース１３Ａが上下方向に配置された受け渡しステーション９Ａと、ロボット７Ｂにて搬入及び搬出される基板Ｓが置かれる搬入用スペース１２Ｂ及び搬出用スペース１３Ｂが上下方向に配置された受け渡しステーション９Ｂと、露光前の基板Ｓを各搬入用スペースへ移送する移送ロボット１０Ａと、搬出用スペース１３Ｂの基板Ｓを下流側セクションＳＣ２へ移送する移送ロボット１０Ｂとを備え、移送ロボット１０Ａは搬出用スペース１３Ａの基板Ｓを第２受け渡しステーション９Ｂに配置された中継スペース１４へ移送し、移送ロボット１０Ｂは中継スペース１４の基板Ｓを下流側セクションＳＣ２に移送する。 （もっと読む）

【課題】基板のサイズに応じて載置搬送することが可能な基板搬送装置及び基板搬送装置に用いられる転動ユニットを提供する。
【解決手段】従動筒６１４が突起６１３のガイド溝６１９内の滑り移動と共に回転軸６１２に相対して基板３側に向かって滑り移動されると、第１のローラー６１５が基板３に向かって前進する。第１のローラー６１５の前進運動により第１のローラー６１５は基板３と接触して基板３が載置される。そして、従動筒６１４が突起６１３のガイド溝６１９内の滑り移動と共に回転軸６１２に相対して基板３が離脱するように滑り移動されると、第１のローラー６１５が基板３から遠ざかるように後退する。第１のローラー６１５の後退運動により第１のローラー６１５は基板３から離脱して遠ざかる。 （もっと読む）

【課題】複数の搬送機構を有する搬送ロボットにおいて、スループットを向上させるとともに、搬送ロボット及びこれを配置する真空装置の高さを低く抑える技術を提供する。
【解決手段】第１及び第２の駆動軸１１、１２に固定された第１及び第２の上側駆動アーム２１、２２によって構成される上側搬送機構１Ａと、第２及び第３の駆動軸１２、１３に固定された第１及び第２の下側駆動アーム５１、５２によって構成される下側搬送機構１Ｂとを有する。第１〜３の駆動軸１１〜１３は同心状に設けられている。上側搬送機構１Ａは、第１の上側平行クランク機構４と第２の上側平行クランク機構５とによって構成される。下側搬送機構１Ｂは、第１の下側平行クランク機構６と第２の下側平行クランク機構７とによって構成される。 （もっと読む）

【課題】複数の搬送機構を有する搬送ロボットにおいて、スループットを向上させるとともに、搬送ロボット及びこれを配置する真空装置の高さを低く抑える技術を提供する。
【解決手段】回転軸Ｏを中心として同心状に配置され水平面内でそれぞれ独立して回転可能に設けられた第１〜３の駆動軸１１〜１３と、第１の駆動軸１１によって駆動されて伸縮する上側搬送機構１Ａと、上側搬送機構１Ａに対して下方に配置されるとともに、第２の駆動軸１２によって駆動されて伸縮する左下側搬送機構２Ｌと、上側搬送機構１Ａに対して下方で左下側搬送機構２Ｌと同じ高さ位置に配置されるとともに、第３の駆動軸１３によって駆動されて伸縮する右下側搬送機構２Ｒとを備える。左下側搬送機構２Ｌと、右下側搬送機構２Ｒとが、第１〜第３の駆動軸１１〜１３を挟んで基板搬送方向Ｐの両側に配置されている。 （もっと読む）