【課題】メモリセル領域に埋め込みゲート電極を有し、周辺回路領域にプレーナ型ゲート電極と貫通電極を有する半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の半導体装置の製造方法は、半導体基板５０のメモリセル領域の溝部内に第一のゲート絶縁膜を介して、ワード線を埋め込み形成する工程と、周辺回路領域の前記半導体基板５０上に、第二のゲート絶縁膜を介して周辺ゲート電極を形成する工程と、前記半導体基板５０の主面上に層間絶縁膜と金属膜とを形成したのちに、前記金属膜をパターニングして、前記メモリセル領域の容量コンタクトパッドと前記周辺回路領域の局所配線１２７とを同時に形成する工程と、前記局所配線１２７の下面１２７ａ側を露出する開口１５１を形成したのちに導電体を充填することにより貫通プラグを形成する工程と、を採用する。 （もっと読む）

【課題】センシング部を複数の基板で封止した半導体装置において、基板の平面方向に配線を設けたとしても、配線のレイアウトを簡略化することができる構造、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】キャップ部３００は、センサ部１００に設けられた第１固定部と第２固定部とを電気的に接続したクロス配線部３２３を備え、クロス配線部３２３はキャップ部３００の一面３０１に配置されたクロス配線３２２を備えている。また、キャップ部３００は、キャップ部３００を貫通し、一端がクロス配線３２２に電気的に接続され、他端がキャップ部３００の他面３０２に配置された貫通電極３４４を備えている。これにより、貫通電極３４４を介してクロス配線３２２の電位、すなわち、センサ部１００の第１固定部および第２固定部の電位をキャップ部３００の他面３０２に取り出すことができる。 （もっと読む）

【課題】隣接カップリング容量を抑制した固体撮像装置及びこの固体撮像装置を備えたカメラ等の電子機器を提供する。
【解決手段】半導体チップ部が貼り合わされ、第１の半導体チップ部に画素アレイと第１多層配線層が形成され、第２の半導体チップ部にロジック回路と第２多層配線層が形成された積層半導体チップを有する。半導体チップ間を接続する複数の接続配線６７と、一方向に隣り合う接続配線６７間をシールドする第１シールド配線１１３とを有する。各接続配線６７は、第１多層配線層内の所要の第１配線に繋がる第１の接続パッドに接続された接続導体６８と、第１の半導体チップ部を貫通して第２多層配線層内の所要の第２配線に繋がる第２の接続パッドに接続された貫通接続導体６９を有する。接続配線６７は、接続導体６８と貫通接続導体とを連結する連結導体とを有して形成される。固体撮像装置は、裏面照射型の固体撮像装置として構成される。 （もっと読む）

【課題】回路を形成した半導体ウェハをダイシングするときに発生するクラックの伝搬を抑制する。
【解決手段】ウェハ１上のチップ領域２にＭＯＳトランジスタＴ１及び配線３１，４８,５４，６４，６４を形成すると共に、チップ領域２内でＭＯＳトランジスタＴ１及び配線３１，４８,５４，６４，６４を囲むガードリング７６を形成する。また、ウェハ１上のスクライブライン領域３には、チップ領域２に第１層の配線３１を形成するときに、第１の応力吸収パターン３３を同時に形成する。さらに、最上層の配線７４を形成するときに、第２の応力吸収パターン７７を同時に形成する。各応力吸収パターン３３，７７は、チップ領域２を囲むように連続して形成され、スクライブライン領域３の中心線ＳＣを跨ぐベタパターンである。ダイシング時には、第１及び第２の応力吸収パターン３３，７７の一部が残るようにウェハ１を切断する。 （もっと読む）

【課題】熱ＣＶＤ法によって、Ｍ（ＢＨ_４）_４（Ｍは、Ｚｒ又はＨｆを意味する）を原料としてＭ／Ｚｒ比が適正範囲内で良質なＭＢ_ｘ膜（Ｍは前記と同じ意味を有し、ｘは１．８〜２．５の数を意味する）を成膜する。
【解決手段】ガス供給源１９から、ガス供給配管１５ａを介してＨ_２ガスを原料容器２１内に供給する。原料容器２１内では、導入されたＨ_２ガスとの接触によって、固体原料のＺｒ（ＢＨ_４）_４が気化する。そして、成膜ガスとしてのＨ_２ガスとＺｒ（ＢＨ_４）_４ガスの混合ガスが、ガス供給配管１５ｃ，１５ｃ１、シャワーヘッド１１のガス拡散空間１２及びガス吐出孔１３を介して処理容器１内に導入され、ウエハＷ上の絶縁膜の表面を覆うように、ＺｒＢ_ｘ膜の薄膜が形成される。 （もっと読む）

【課題】 製造が容易でかつ絶縁性に優れ、平坦な上面（表面）を持つパッシベーション構造を備えた配線構造を、低コストかつ短リードタイムで形成する、半導体装置を提供する。また、配線抵抗が小さくボンディング耐性が高い配線構造を提供する。
【解決手段】 所望の素子領域の形成された基板表面に形成された配線層と、前記配線層表面を覆う層間絶縁膜と、前記層間絶縁膜表面全体を覆うように形成された窒化シリコン膜と、前記窒化シリコン膜の上層に形成された最上層メタルとしての金層からなるメタル配線層と、前記窒化シリコン膜と前記メタル配線層との間に形成されたバリア層と、前記メタル配線層上に形成されたポリイミドからなる平坦化絶縁膜とを含み、前記バリア層と前記配線層は、前記窒化シリコン膜と前記層間絶縁膜に形成されたスルーホールを通じて接続されており、前記平坦化絶縁膜が一部領域で除去せしめられ、前記メタル配線層にボンディングがなされていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】少ない工程でパッド電極に段差を設けた半導体素子を製造することができる半導体素子の製造方法及び半導体素子を提供する。
【解決手段】半導体基板１２上に中間絶縁膜１４、下層メタル配線１６、層間絶縁膜１８を形成し、層間絶縁膜１８上にパッド電極２０を形成し、パッド電極２０上に最終保護膜２２を形成し、最終保護膜２２上に、パッド電極２０の一部に対応した第１領域に開口部を備えるレジスト２２を形成し、最終保護膜２２をエッチングすると共に、パッド電極２０の一部の第１領域を予め定めた深さまでエッチングすることにより凹部２０Ａを形成し、パッド電極２０の第１領域を囲う第２領域上の最終保護膜２２をエッチングし、レジスト２２を除去することにより、半導体素子１０を製造する。 （もっと読む）

【課題】より視認が容易なアライメントマークを簡素な工程で形成することが可能な、半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板ＳＵＢの主表面上に、主表面に対して段差を有するパターンＭＫが形成される工程と、パターンＭＫ上に、半導体材料を含む第１の半導体層ＰＳ１が形成される工程と、第１の半導体層ＰＳ１上に、半導体材料を含む第２の半導体層ＰＳ２が形成される工程と、第２の半導体層ＰＳ２上にレジストパターンＲＳが形成される工程とを備えている。レジストパターンＲＳが形成される工程において、パターンＭＫが位置合わせマークとして用いられる。 （もっと読む）

【課題】テーパー部を有する溝を備えた半導体装置を容易に形成する。溝内に空洞が形成されるのを防止すると共に、製造歩留まりの低下を抑制する。
【解決手段】半導体装置は、第１の面を有する材料層と、材料層内に設けられ、第１の面に開口部を有する溝を備える。溝は、開口部に接し１以上のスキャロップ形成溝を有するテーパー部と、おおむね垂直な側壁を有する垂直部を有する。スキャロップ形成溝の幅は、垂直部の溝幅よりも大きくなっている。 （もっと読む）

【課題】超高周波帯におけるシリコン基板による損失を低減すると共に、貫通配線のインダクタンス成分の影響を小さくした半導体装置を実現できるようにする。
【解決手段】半導体装置は、回路素子１０５が形成された半導体基板１００と、半導体基板１００の主面の上に形成された第１の誘電体層１２１と、第１の誘電体層１２１の上に形成された第２の誘電体層１３１と、第１の誘電体層１２１を貫通し、回路素子１０５と接続された第１の貫通配線１２２と、第２の誘電体層１３１を貫通し、第１の貫通配線１２２と接続された第２の貫通配線１３２とを備えている。第２の貫通配線１３２は、第１の貫通配線１３２よりもインダクタンスが小さい。 （もっと読む）