【課題】磁気センサの検出精度の向上を図る。
【解決手段】第１の実装面と、この第１の実装面に対して相対的に傾斜した第２の実装面とを含むように成形された基板本体１１に、複数の回路パターン１５が形成された回路基板１０を備えている。この回路基板には、第１の実装面において、第１の検出軸方向における磁気成分を電気的に測定する第１の磁気検出素子２０が回路パターン１５を介して実装され、また、第２の実装面において、第２の検出軸方向における磁気成分を電気的に測定する第２の磁気検出素子２０が回路パターン１５を介して実装されている。 （もっと読む）

【課題】信頼性に優れ、かつ小型化、ローコスト化も容易な磁気デバイスを提供する。
【解決手段】磁気デバイス１０は、弾性体からなる第一基材１１と、この第一基材１１を挟むように配される磁場検出手段１２および磁場印加手段１３とを備えている。第一基材１１は、圧力変化によって伸縮可能な弾性体によって構成され、例えば一面１１ａ側に磁場検出手段１２が、他面１１ｂ側に磁場印加手段１３が配される。磁場検出手段１２は、磁場の変動によって抵抗値などが変化する磁気素子であればよい。また、磁場印加手段１３は、第一基材１１を介して磁場検出手段１２に対して磁場を印加する。 （もっと読む）

本発明は、プレート状の第１の部分（３０）を含む集積回路に関する。この構成要素はまた、第１の部分（３０）とは別の、第１の部分（３０）に取り付けられ、変形可能な接続手段（２２）によって第１の部分（３０）に接続され、第１の部分（３０）との間で非ゼロの角度を形成する少なくとも１つのプレート状の第２の部分（３２）を含む。
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【課題】基板を保持するケース上における基板と、この基板上における素子との位置精度を確保して高い精度で検出対象となる情報を検出すること。
【解決手段】磁気抵抗効果素子（ＧＭＲ素子）を実装する際に利用される位置決め穴が形成された基板２と、この基板２を固定する際の基準となる突出部が形成されたケース１とを具備する磁気検出センサであって、基板２をケース１に固定する際、基板２に形成された位置決め穴に、ケース１に形成された突出部を挿入して基板２の位置決めを行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ベース基板両面のセンサ感度がともに高く、それぞれの感度特性が安定し、薄型の磁気センサの提供を図る。
【解決手段】磁気センサ３１は、磁電変換素子３と、磁電変換素子３を主面側に搭載するベース基板２と、磁性体部材１９と、磁電変換素子３を封止するモールド樹脂４と、を備える。磁性体部材１９は磁性体材料を含むベース基板２とともに集磁効果を高める。磁電変換素子３は、磁電変換素子基板３Ａと、磁電変換素子基板３Ａの一方の主面に形成した薄膜感磁部３Ｂと、を備える。磁電変換素子３のバンプ電極７は、ベース基板２の接続電極５にバンプ接合し、磁電変換素子３の薄膜感磁部３Ｂをベース基板２に対向させる。 （もっと読む）

【課題】検知軸が多軸であって、かつ平面上にないような多軸ベクトルを検知可能な磁気抵抗効果素子、磁気抵抗効果素子の基板および磁気抵抗効果素子の製造方法を提供する。
【解決手段】外部からの磁界に応じて磁化が変動するソフト層と、磁性体層と反強磁性体層とを有し磁化が固定された磁化固定層とを備え、ソフト層の有する磁化方向と磁化固定層の有する磁化方向との相対角度によって、電気伝導が変化して磁気抵抗効果を生じさせる磁気抵抗効果素子の形成方法であって、磁化固定層を薄膜にて形成する薄膜形成工程と、磁化固定層の膜面方向以外の方向から膜面方向へと磁界を着磁して、磁化方向を形成する着磁工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】異方性磁気抵抗素子をＩＣ基板上に薄膜形成した磁気センサにおいて、垂直方向と水平方向の印加磁界を検出でき、磁界の印加方向に対する検出感度の調整が可能であり、かつ、印加方向とは異なる他方向から磁界が印加された条件下での感磁界特性への影響を抑制できる１チップ構成の磁気センサ等を提供する。
【解決手段】
磁気センサは、基板上に磁気抵抗素子１１〜１４を薄膜形成し比較増幅機能を有する電気回路を備えた半導体基板６７と、半導体基板６７を実装するリードフレーム６０と、半導体基板６７と接続されるリードフレーム６１及び６２とをパッケージ６６内に収容する。リードフレーム６０は、屈曲加工により半導体取付面がパッケージ表面に対して傾斜のある構造を有し、半導体基板６７は該取付面に取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】コンパクトでありながら、検出対象電流による電流磁界を高精度に、かつ安定して検出可能な電流センサを提供する。
【解決手段】検出対象電流Ｉｍの供給により電流磁界ＨｍＡを発生する導体の直線部分２Ａと、直線部分２Ａに沿って配置されたＭＲ素子５１Ａと、直線部分２ＡとＭＲ素子５１Ａとの間に設けられた磁性基板とを備える。ＭＲ素子５１Ａは、電流磁界ＨｍＡに応じて変化する磁化方向Ｊ１３Ａを有する自由層と、一定方向に固着された磁化方向Ｊ１１Ａを有する固着層とを含む。磁化方向Ｊ１１Ａは、電流磁界ＨｍＡが零のときの自由層の磁化方向Ｊ１３Ａと直交する方向に固着されている。ここでは、磁性基板によって電流磁界ＨｍＡが零のときの自由層の磁化方向Ｊ１３Ａに沿ったバイアス磁界Ｈｂ１をＭＲ素子５１Ａに対して印加するようにしたので、形状異方性を利用しなくとも自由層の一軸異方性を強めることができる。 （もっと読む）

少なくとも１個の基板またはウエハ（１０）、とくに少なくとも１個のシリコンウエハと、ならびに少なくとも１個の感知素子（３０）、とくに少なくとも１個のＡＭＲ（異方性磁気抵抗）感知素子、および／または少なくとも１個のＧＭＲ（巨大磁気抵抗）感知素子、例えば少なくとも１個のマルチレイヤＧＭＲ（巨大磁気抵抗）感知素子、とを有し、感知素子（３０）を基板またはウエハ（１０）の上部および／または下部に配置するものとした磁気抵抗センサデバイス（１００；１００′；１００″）、さらにこのような磁気抵抗センサデバイス（１００；１００′；１００″）を製造するのに対応する製造方法であって、感知素子（３０）および／または磁気抵抗センサデバイス（１００；１００′；１００″）をプリセットするための外部または追加バイアス磁界を不要にすることができる該磁気抵抗センサデバイスおよび製造方法を改良するため、少なくとも１個の磁気層（２０ｔ，２０ｂ）を、基板またはウエハ（１０）の上面（２０ｔ）および／または下面（２０ｂ）に、また感知素子（３０）の上面の少なくとも一部（２０ｔ）および／または下面の少なくとも一部（２０ｂ）に、配置し、この磁気層（２０ｔ，２０ｂ）により少なくとも１個のバイアス磁界を生ずるようにすることを提案する。
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【課題】歯車などの回転角度検出に用いられる半導体磁気抵抗素子の出力振幅の位相ずれを低減し、かつ磁気センサモジュールのアセンブリを大幅に簡略化すること。
【解決手段】２個以上のＭＲセンサチップを実装した半導体磁気抵抗素子の外周部にアジマス位置合わせ用溝２７を形成することで、外部ケースとのアセンブリ精度を向上させる。さらに封止樹脂２５で樹脂成形する際に裏面側に実装する磁石を挿入する磁石挿入用穴も一体化で成形する。さらに長く伸ばされたリードフレームの足２３を折り曲げることで、半導体磁気抵抗素子の端子を一旦プリント基板に実装した後に端子ピンと接続させるような複雑な工程も無くすことが可能となる。 （もっと読む）