【課題】布材に設けられる導電線材と導電性を備える接続体とを互いの接続抵抗が小さくなるように電気的につなげられるようにする。
【解決手段】通電により発熱可能な導電線材１１を備える布材１０である。導電線材１１は、その長さ方向の一部に布材１０から外部に露出した露出部１１Ａを有する。導電線材の露出部１１Ａに対し、導電性を備える面状の接続体が露出部１１Ａを間に挟み込む状態に折り込まれて露出部１１Ａと一体的に面接着されて電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】布材に導電性粉末分散液を含浸させて各導電線材を布材の表面に設けられる電極（導電性を備える接続体）と電気的に接続させられるようにしても、導電性粉末分散液の含浸に伴う布材の硬化の影響を小さく抑えられるようにする。
【解決手段】通電により発熱可能な導電線材１１を備える布材１０である。導電線材１１は、布材１０のシート前後方向ＦＲに複数並んで設けられている。布材１０には、布材１０への導電性粉末を混ぜた導電性粉末分散液の含浸により、各導電線材１１を布材１０の表面と電気的に導通させる含浸部１０Ａが形成されている。含浸部１０Ａは、各導電線材１１の配置間に隙間１０Ｂが形成されるように各導電線材１１の並ぶ方向に断続的に複数並んで形成されて、各導電線材１１を布材１０の表面に接着される導電性を備える接続体１２Ａと電気的に接続させる構成となっている。 （もっと読む）

【課題】ＺｎＴｅ等の化合物半導体単結晶の製造において、歩留まりの向上及びウェハとしたときの面内均一性の向上を図ることができるヒータ、結晶成長装置及び化合物半導体単結晶の製造方法を提供する。
【解決手段】抵抗加熱により発熱する円筒状の発熱部１０１と、この発熱部１０１の外周面下部の対向する２箇所から突出形成された脚部１０２とを備えたヒータ１０において、電極棒が接続される端子部１０２ａと、この端子部１０２ａと発熱部を接続する接続部１０２ｂとで脚部１０２を構成し、接続部１０２ｂの厚さを１０ｍｍ以下、幅を２０ｍｍ以下とする。 （もっと読む）

【課題】 対象物を載置する表面内の温度ばらつきを低減することができる加熱用部材を提供する。
【解決手段】 上面に対象物が載置される第１基板１０と、該第１基板１０の下面に対向するように設けられた第２基板１２と、第１基板１０と第２基板１２との間に設けられた配線１６とを有し、第１基板１０の下面および該下面に対向する第２基板１２の上面の少なくとも一方は凹部２２を有し、配線１６は、少なくとも一部が凹部２２内に位置するように第１基板１０の下面に接合され、配線１６と第２基板１２の上面との間に空間２６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 温度変更時の均熱性を向上させると共に、温度変更後の温度分布を安定させるまでの時間を短縮できるヒータユニットを提供する。
【解決手段】 本発明のヒータユニットは、被処理物を載置する載置面を有する載置台と、該載置台の前記載置面とは反対側の面もしくは載置台の内部に少なくとも１層以上の発熱体層を有するヒータユニットであって、前記発熱体層に電力を供給するための配線が接続されており、該配線は前記接続箇所以外の箇所で前記発熱体層もしくは載置台と接触していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】熱膨張差による破壊等を防止しながら、セラミック製のハニカム構造体に電極を接続することができる電極接続構造を提供する。
【解決手段】セラミックハニカム構造部１１に配設された電極接続用突起部５と、弾性力により電極接続用突起部５に固定されることによって電極接続用突起部５に取り付けられた接続具１とを有する電極接続構造１００。好ましくは、電極接続用突起部５がテーパー部５ｃを有し、接続具１が、胴部２及び一対の脚部３，３を有する接続部材６と、バネ部材４とを備え、一対の脚部３，３の対向する面３ａ，３ｂが、電極接続用突起部５のテーパー部５ｃの表面形状に対して相補的なテーパー形状を有し、接続部材６が、バネ部材４が押し縮められた状態で電極接続用突起部５に被せられるとともに、一対の脚部３，３が電極接続用突起部５のテーパー部５ｃに係合するようにして、接続具１が電極接続用突起部５に固定された電極接続構造１００。 （もっと読む）

【課題】高温酸素雰囲気下において使用しても、熱膨張率差による隙間を生じず、電極や電極板の破損が抑制され、長期間使用可能なヒータユニットを提供する。
【解決手段】炭化珪素からなるヒータ３と、ヒータ３に通電して昇温させると共に炭化珪素からなる電極５と、電源に接続され、耐酸化材料からなる電極板７と、炭化珪素からなるボルト９及びナット１１と、耐酸化材料からなり、電極５及び前記電極板７を挟む一対のワッシャ１３とを備え、ボルト９とナット１１とを用いて、ワッシャ１３、電極５及び電極板７を貫通して挟持することにより、電極５と電極板７とを結合し、電極板７及びワッシャ１３は、熱膨張率が炭化珪素よりも大きく、貫通方向ｘにおけるワッシャ１３の厚みＴ３は、使用電極長さΔＴからボルト膨張長さΔＬを引いた値が、０ｍｍ以上０．０３ｍｍ以下となる厚みである。 （もっと読む）

【課題】材質としてホウ素を用いず、構成部材同士の熱膨張差が小さいヒータユニットを提供する。
【解決手段】本発明によるヒータユニット１は、通電によって加熱するヒータ３と、該ヒータ３に結合されると共に、ヒータ３に通電して昇温させる電極５と、前記ヒータ３および電極５を結合させる締結手段と、を備えている。前記ヒータ３および電極５は、各々炭化ケイ素からなり、少なくともヒータ３および電極５における締結手段を用いて結合した結合部の周囲を、化学気相成長で形成させた炭化ケイ素の薄膜３５で被覆している。 （もっと読む）

【課題】 発熱時の軟化によっても基本形状を維持でき、しかも取付の容易な電気ヒーター及び電気ヒーターの製造方法並びに電気ヒーターを備えた炉を提供すること。
【解決手段】 スリットを形成することにより電流路を形成した板状の発熱体１０と、この発熱体１０を支持する絶縁体２０とを備える。この発熱体１０のうちスリットに沿う幅方向Ｘに位置する一対の幅方向端部１３，１３で絶縁体２０に支持される。発熱体１０は一対の幅方向端部１３，１３の間で下側へ凸となる円弧状を呈する。幅方向端部１３を略鉛直方向Ｚに向かって絶縁体２０に形成した溝２３に挿入し、溝２３内で幅方向端部１３を絶縁体２０に係止してある。 （もっと読む）

【課題】特にシースケーブルと延長ケーブルを接続する金属スリーブ内の絶縁構造につき、充填圧を高めたり充填後の外形絞り等を多量に行うことなく絶縁材の充填時に容易に隙間が埋まり、また、金属スリーブ等が熱で膨張、収縮したり、使用時の衝撃等があってもクラックや隙間が発生せず、スパークの発生や湿気等の侵入も防ぐことができるシースケーブル接続構造を提供せんとする。
【解決手段】シース型ヒータ１の発熱部１０の発熱線１４と非発熱部１１の非発熱線１５同士を電気的に接続した接続部６を形成し、金属シース１２の端部外周側から対面する金属シース１３の端部外周側まで前記接続部６を覆うように軸方向に延びる連結用の中継スリーブ３を設け、その中継スリーブ３内の隙間に、球状の無機絶縁粉末粒子よりなる絶縁材５を充填した。 （もっと読む）