ガラス基板装填治具及びガラス基板の製造方法
【課題】ガラス基板を二重に挿入防止することでガラス基板の外周端部にキズや欠けなどの欠陥を生じさせないガラス基板装填治具及びガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板装填治具１０は、収納容器本体２０の上端に装着され、二重挿入防止機構３０を有する。二重挿入防止機構３０は、ガラス基板が挿入部より一の収納部４０に挿入される過程でガラス基板の外周縁部に接触すると共に、当該挿入部５０の一部を塞ぐ位置に変位する複数の変位部材９０を有する。変位部材９０は、下端側の第１の端部９２が第２のガイド溝７２より中心側に突出し、上端側の第２の端部９４が第２のガイド溝７２の外側に退避した待機位置にある。また、ガラス基板Ｗが挿入部５０を通過する過程で下端側の第１の端部９２がガラス基板Ｗの外周縁部に押圧されて回動することで、上端側の第２の端部９４が第２のガイド溝７２より中心側に突出する挿入防止位置に変位する。
【解決手段】ガラス基板装填治具１０は、収納容器本体２０の上端に装着され、二重挿入防止機構３０を有する。二重挿入防止機構３０は、ガラス基板が挿入部より一の収納部４０に挿入される過程でガラス基板の外周縁部に接触すると共に、当該挿入部５０の一部を塞ぐ位置に変位する複数の変位部材９０を有する。変位部材９０は、下端側の第１の端部９２が第２のガイド溝７２より中心側に突出し、上端側の第２の端部９４が第２のガイド溝７２の外側に退避した待機位置にある。また、ガラス基板Ｗが挿入部５０を通過する過程で下端側の第１の端部９２がガラス基板Ｗの外周縁部に押圧されて回動することで、上端側の第２の端部９４が第２のガイド溝７２より中心側に突出する挿入防止位置に変位する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はガラス基板をガラス収納容器の複数の収納部の夫々に挿入するガラス基板装填治具及びガラス基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、磁気記録媒体用として使用されるガラス基板の製造ラインは、少なくとも以下の工程１〜工程７を含む。
（工程１）フロート法、フュージョン法、またはプレス成形法により成形されたガラス素基板を、中央部に円形孔を有する円盤形状に加工した後、内周側面と外周側面を面取り加工する（形状付与工程）。
（工程２）ガラス基板の内周または外周の少なくとも一方の側面部と面取り部に端面研磨する（研磨工程）。
（工程３）ガラス基板の上下主平面を研磨加工する（研磨工程）。
（工程４）ガラス基板を精密洗浄する（洗浄工程）。
（工程５）洗浄されたガラス基板を乾燥させる（乾燥工程）。
（工程６）乾燥したガラス基板の欠陥を目視又は光学方式表面観察機により検査する（検査工程）。
（工程７）検査したガラス基板をガラス基板収納容器に収納して包装する（出荷工程）。
【０００３】
少なくとも上記工程１〜工程７を含むガラス基板の製造ラインにより製造されたガラス基板は製品として出荷される。
【０００４】
このようなガラス基板の製造ライン各工程間においては、ガラス基板を搬送する手段として、複数のガラス基板を垂直状態の収納するガラス基板収納容器を用いている。
【０００５】
このガラス基板収納容器は、各ガラス基板同士が接触しないように所定間隔毎に整列された状態に収納するように構成されているため、収納容器本体の上部開口にガラス基板の
挿入をガイドする挿入ガイド治具を装着して収納容器本体の内壁に形成された溝からなる各収納部にガラス基板を一枚ずつ容易に挿入できる（例えば、特許文献１〜３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−９５２００号公報
【特許文献２】特開２００９−７６８３０号公報
【特許文献３】特開２００７−２６１５９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のように収納容器本体の上部開口に挿入ガイド治具を装着した場合、各工程の作業が終了したガラス基板を一枚ずつ収納容器本体内の各収納部に挿入する際に挿入ガイド治具によってガラス基板の挿入位置がガイドされて挿入作業が容易に行えるが、同じ収納部に二枚目のガラス基板を誤って挿入して一枚目のガラス基板の外周端部に二枚目のガラス基板を接触させて、ガラス基板の外周端部にキズや欠けなどの欠陥を生じさせるという問題があった。
【０００８】
そこで、本発明は上記事情に鑑み、二枚目のガラス基板の挿入を防止することでガラス基板の外周端部にキズや欠けなどの欠陥を生じさせる課題を解決したガラス基板装填治具及びガラス基板の製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明は以下のような手段を有する。
（１）本発明は、複数のガラス基板が整列された状態で一枚ずつ収納される複数の収納部を有する収納容器本体の上部開口に装着されるガラス基板装填治具であって、
前記複数の収納部に対向する位置に配され、前記ガラス基板が挿入される複数の挿入部と、
前記複数の挿入部の夫々に設けられ、前記ガラス基板が前記挿入部より前記収納部に挿入される過程で前記ガラス基板の外周縁部に接触すると共に、当該挿入部の一部を塞ぐ二重挿入防止機構と、
を備えたことを特徴とする。
（２）本発明の前記二重挿入防止機構は、
前記複数の挿入部の夫々に設けられ、前記各挿入部の前記ガラス基板の外周縁部が通過する位置に設けられた複数の変位部材を有する。
（３）本発明の前記変位部材は、
前記ガラス基板が前記挿入部を通過する際に当該ガラス基板の外周縁部に接触する第１の端部と、
前記ガラス基板の外周縁部が前記第１の端部に接触した後、前記挿入部の一部を塞ぐ位置に変位する第２の端部と、
を有する。
（４）本発明の前記変位部材は、
前記挿入部の内部に回動可能に支持され、
前記第１の端部が当該挿入部を通過する前記ガラス基板の外周縁部に接触すると共に、前記第２の端部が前記挿入部の一部を塞ぐ位置に変位するように設けられる。
（５）本発明の前記変位部材は、前記挿入部の一部を塞ぐ位置に変位したことを視覚的に表示する表示部を有する。
（６）本発明の前記二重挿入防止機構は、
前記複数の挿入部の夫々に設けられ、前記各挿入部の前記ガラス基板の外周縁部が通過する位置に設けられた複数のスライド部材と、
前記複数のスライド部材の夫々を前記挿入部の一部を塞ぐ位置に付勢する複数の付勢部材と、
前記複数のスライド部材の夫々を前記挿入部から退避した位置に掛止する複数の掛止部材と、
を有する。
（７）本発明の前記掛止部材は、前記挿入部の内部に回動可能に支持され、
前記ガラス基板が前記挿入部に挿入される過程で前記ガラス基板の外周縁部に接触する被接触部と、
前記スライド部材を前記挿入部から退避した位置に掛止する掛止部と、を有し、
前記被接触部は、前記挿入部に挿入される前記ガラス基板の外周縁部に接触して下方に押圧されると共に、前記掛止部は前記スライド部材に対する掛止を解除する。
（８）本発明の前記スライド部材は、前記挿入部の一部を塞ぐ位置に変位したことを視覚的に表示する表示部を有する。
（９）本発明は、板形状を有するガラス基板の形状付与工程と、前記ガラス基板の研磨工程と、前記ガラス基板の洗浄工程と、前記ガラス基板の乾燥工程と、前記ガラス基板の検査工程とを少なくとも有するガラス基板の製造方法において、
複数のガラス基板が整列された状態に収納される複数の収納部、及び当該複数の収納部に連通された上部開口を有する収納容器本体と、
前記収納容器本体の前記上部開口に装着される請求項１〜７の何れかに記載のガラス基板装填治具と、
前記ガラス基板装填治具の挿入部に設けられ、前記ガラス基板が前記挿入部より前記一の収納部に挿入される過程で前記ガラス基板の外周縁部に接触すると共に、前記挿入部の一部を塞ぐ位置に変位する二重挿入防止機構と、を用いる。
（１０）本発明の前記ガラス基板は、磁気記録媒体用ガラス基板であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ガラス基板が挿入部より収納部に挿入される過程でガラス基板の外周縁部に接触すると共に、当該挿入部の一部を塞ぐ二重挿入防止機構を備えたため、既にガラス基板が挿入された収納部に別のガラス基板を挿入しようとしても当該挿入部からの２枚目のガラス基板の挿入が阻止されて収納部に挿入された１枚目のガラス基板に接触することを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明によるガラス基板装填治具の実施例１の装着状態を示す斜視図である。
【図２Ａ】ガラス基板装填治具の装着前の状態を示す斜視図である。
【図２Ｂ】ガラス基板装填治具の側面図である。
【図２Ｃ】二重挿入防止機構の変位部材を拡大して示す斜視図である。
【図３Ａ】二重挿入防止機構の変位部材の変位を示す側面図である。
【図３Ｂ】ガラス基板が挿入された際の変位部材の状態を示す斜視図である。
【図４Ａ】ガラス基板挿入前の二重挿入防止機構を示す側面図である。
【図４Ｂ】ガラス基板挿入時の二重挿入防止機構を示す側面図である。
【図４Ｃ】ガラス基板挿入後の二重挿入防止機構を示す側面図である。
【図５】本発明によるガラス基板装填治具の実施例２の装着状態を示す側断面図である。
【図６】実施例２の二重挿入防止機構を示す平面図である。
【図７Ａ】実施例２の二重挿入防止機構を示す正面図である。
【図７Ｂ】実施例２の二重挿入防止機構を示す背面図である。
【図８Ａ】実施例２のガラス基板挿入時の二重挿入防止機構を示す側面図である。
【図８Ｂ】実施例２のガラス基板挿入後の二重挿入防止機構を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明を実施するための形態について説明する。
【実施例１】
【００１３】
図１は本発明によるガラス基板装填治具の実施例１の装着状態を示す斜視図である。図１に示されるように、ガラス基板装填治具１０は、各工程での処理が終了したガラス基板が挿入される収納容器本体２０の上端に装着される。
【００１４】
収納容器本体２０は、上部開口２２及び側面開口２４を有する。尚、側面開口２４は、収納容器本体２０の種類によって設けられていない場合がある。また、収納容器本体２０は、内部に上部開口２２を通してガラス基板が一枚ずつ収納される複数の収納部４０が形成されており、複数の収納部４０に所定枚数のガラス基板が挿入されると、ガラス基板装填治具１０が外される。その後、ガラス基板が挿入された収納容器本体２０は、次工程に搬送され、又は蓋部材（図示は省略）によって上部開口２２及び側面開口２４が閉塞される。尚、複数の収納部４０は、収納容器本体２０の内壁から突出する仕切り壁によって仕切られており、夫々の上部が上部開口２２に連通され、仕切り壁の無い中央部分が側面開口２４に連通されている。
【００１５】
本実施例のガラス基板としては、磁気記録媒体用のガラス基板が適用される。
【００１６】
ガラス基板装填治具１０は、長方形の枠体からなり、中央部分には上下方向に貫通する開口１２が形成されている。そして、ガラス基板装填治具１０が収納容器本体２０の上部に装着されると、上記開口１２が収納容器本体２０の上部開口２２と連通され、開口１２を通してガラス基板の挿入が行える。
【００１７】
さらに、ガラス基板装填治具１０は、開口１２の内部に上部開口２２を通して複数の収納部４０に連通される各挿入部５０が設けられており、各挿入部５０には二重挿入防止機構３０が設けられている。二重挿入防止機構３０は、ガラス基板を各収納部４０に１枚ずつ収納できるように構成されており、同じ収納部４０に２枚目のガラス基板が挿入されることを規制する。
【００１８】
そのため、収納容器本体２０の複数の収納部４０のうち二重挿入防止機構３０により塞がれていない挿入部５０を通して、一の収納部４０に各工程での作業が終了したガラス基板を一枚ずつ挿入できる。
【００１９】
尚、納容器本体２０の複数の収納部４０の数と、ガラス基板装填治具１０の挿入部５０数は、同一又は非同一のどちらでも良い。納容器本体２０の複数の収納部４０の数とガラス基板装填治具１０の挿入部５０数を非同一とする場合、挿入部５０のＸ方向のピッチは、収納部４０のＸ方向のピッチの整数倍とすることが好ましい。
〔ガラス基板装填治具１０の構成〕
図２Ａはガラス基板装填治具１０の装着前の状態を示す斜視図である。図２Ｂはガラス基板装填治具１０の側面図である。
【００２０】
図２Ａ及び図２Ｂに示されるように、ガラス基板装填治具１０は、収納容器本体２０の長手方向（Ｘ方向）に延在する背面側（Ｙｂ方向）の第１のガイド部６０と、第１のガイド部６０と対向するように平行に配された正面側（Ｙａ方向）の第２のガイド部７０と、第１のガイド部６０及び第２のガイド部７０の両端を連結する一対の連結部８０とを有する。
【００２１】
第１のガイド部６０は、収納容器本体２０の上端縁部に載置され、内側壁面にはガラス基板の挿入位置をガイドする複数の第１のガイド溝６２が上下方向に延在形成されている。また、各第１のガイド溝６２は、Ｘ方向のピッチ（間隔）が収納容器本体２０の複数の収納部４０と対向するように形成されている。
【００２２】
さらに、第１のガイド部６０の底部には、一対の位置決めピン６４（図４Ａ参照）と位置決め孔（図示は省略）が形成されている。この一対の位置決めピン６４と位置決め孔は、収納容器本体２０の上面に形成された位置決め孔２１と位置決めピン（図示は省略）に嵌合されて収納容器本体２０とガラス基板装填治具１０との相対位置を位置決めする。このように、ガラス基板装填治具１０の角部底面には、一対の位置決めピン６４及び一対の位置決め孔が設けられ、収納容器本体２０の上面にも位置決めピン６４と位置決め孔２１が設けられている。従って、ガラス基板装填治具１０の底面と収納容器本体２０の上面との相対位置が各位置決めピン６４と位置決め孔との嵌合位置によって適宜変更される。
【００２３】
第２のガイド部７０は、収納容器本体２０の上端縁部に載置され、内側壁面にはガラス基板の挿入位置をガイドする複数の第２のガイド溝７２と、各ガイド溝７２に設けられた複数の二重挿入防止機構３０とを有する。また、各第２のガイド溝７２は、上記各第１のガイド溝６２と対向し、且つＸ方向のピッチ（間隔）が収納容器本体２０の収納部４０と対向するように形成されている。
【００２４】
各挿入部５０は、上記第１のガイド部６０の各ガイド溝６２と第２のガイド部７０の各ガイド溝７２によって形成される。
【００２５】
また、一対の連結部８０は、夫々第１のガイド部６０及び第２のガイド部７０の長手方向（Ｘ方向）の端部にボルト８２により固定されている。
【００２６】
尚、ガラス基板装填治具１０の第１のガイド溝６２及び第２のガイド溝７２の数と、収納容器本体２０の収納部４０の数とは、一致していても良いし、あるいは収納部４０のピッチが小さい場合には、第１のガイド溝６２及び第２のガイド溝７２の数を収納部４０の数より少なくして（第１のガイド溝６２及び第２のガイド溝７２のピッチを広くして）、挿入操作が容易に行えるように適宜調整しても良い。
〔二重挿入防止機構３０の構成〕
図２Ｃは二重挿入防止機構３０の変位部材９０を拡大して示す斜視図である。図２Ｃに示されるように、二重挿入防止機構３０は、ガラス基板が挿入部より一の収納部４０に挿入される過程でガラス基板の外周縁部に接触すると共に、当該挿入部５０の一部を塞ぐ位置に変位する変位部材９０を有する。
【００２７】
各変位部材９０は、ガラス基板の外周縁部が通過する位置に設けられ、ガラス基板が挿入部５０を通過する際に当該ガラス基板の外周縁部に接触する下端側の第１の端部９２と、ガラス基板の外周縁部が第１の端部９２に接触した後、挿入部５０の一部を塞ぐ位置に変位する上端側の第２の端部９４とを有する。第２の端部９４は、先端部９４ａが挿入部５０の中心側に向けてＬ字状に曲げられ、且つガラス基板を傷つけないように曲面に形成されている。
【００２８】
また、変位部材９０は、収納容器本体２０の長手方向（Ｘ方向）に延在する軸１００に挿通される挿通孔９６を有しており、上下方向に回動可能に支持されている。尚、挿通孔９６の位置は、重量バランスによって回動しないような位置に設けられている。さらに、第２の端部９４の先端部９４ａは、周囲を囲む第２のガイド部７０とは異なる色に着色または異なる色のテープが貼着されており、挿入部５０の一部を塞ぐ位置に変位したことを視覚的に表示する表示部として機能する。
【００２９】
図３Ａは二重挿入防止機構３０の変位部材９０の変位を示す側面図である。図３Ａに示されるように、ガラス基板Ｗが挿入される前の変位部材９０は、下端側の第１の端部９２が第２のガイド溝７２より中心側に突出し、上端側の第２の端部９４が第２のガイド溝７２の外側に退避した待機位置（実線で示す）にある。そして、変位部材９０は、ガラス基板Ｗが挿入部５０を通過する過程で下端側の第１の端部９２がガラス基板Ｗの外周縁部に押圧されて回動することで、上端側の第２の端部９４が第２のガイド溝７２より中心側に突出する挿入防止位置（一点鎖線で示す）に変位する。
【００３０】
尚、第２のガイド溝７２の内部には、変位部材９０が待機位置のとき下端側の第１の端部９２を係止する第１のストッパ７４と、変位部材９０が挿入防止位置のとき第２の端部９４を係止する第２のストッパ７６とが設けられている。
【００３１】
図３Ｂはガラス基板Ｗが挿入される際の変位部材９０の状態を示す斜視図である。図３Ｂに示されるように、ガラス基板Ｗがガラス基板装填治具１０のガイド溝６２、７２にガイドされて挿入部５０に挿入されると、変位部材９０は下端側の第１の端部９２がガラス基板Ｗの外周縁部に押圧されて待機位置から挿入防止位置に回動するため、上端側の第２の端部９４の先端部９４ａが第２のガイド溝７２よりガラス基板挿入側（中心側）に突出し、当該第２のガイド溝７２の上部空間を閉塞する。
〔二重挿入防止機構３０の動作〕
図４Ａはガラス基板挿入前の二重挿入防止機構３０の変位部材９０を示す側面図である。図４Ａに示されるように、ガラス基板Ｗが挿入される前は、変位部材９０が待機位置にあるため、上端側の第２の端部９４が第２のガイド溝７２の外側（Ｙａ方向）に退避し、下端側の第１の端部９２が当該第２のガイド溝７２の中心側（Ｙｂ方向）に突出している。
【００３２】
図４Ｂはガラス基板挿入時の二重挿入防止機構３０の変位部材９０を示す側面図である。図４Ｂに示されるように、ガラス基板Ｗが垂直状態のまま挿入部５０に挿入されると、当該ガラス基板Ｗの外周縁部が第１の端部９２に当接する。そのため、変位部材９０は、下端側の第１の端部９２が当該第２のガイド溝７２の外側（Ｙａ方向）に変位すると共に、軸１００を中心に回動する。
【００３３】
図４Ｃはガラス基板挿入後の二重挿入防止機構３０の変位部材９０を示す側面図である。図４Ｃに示されるように、ガラス基板Ｗがガイド溝６２、７２にガイドされて収納容器本体２０の収納部４０に挿入されると、変位部材９０は、上端側の第２の端部９４の先端部９４ａが第２のガイド溝７２より中心側（Ｙｂ方向）に突出する挿入防止位置に回動する。このように、変位部材９０が時計方向に回動すると共に、第２の端部９４の先端部９４ａによってガラス基板装填治具１０の第２のガイド溝７２の上部空間が閉塞される。そのため、先端部９４ａと当該先端部９４ａに対向するガイド溝６２とＹ方向距離がガラス基板Ｗの直径よりも小さくなる。
【００３４】
そのため、既に一枚目のガラス基板Ｗが挿入された同じ収納部４０に二枚目のガラス基板Ｗを挿入しようとした場合、二枚目のガラス基板Ｗの外周縁部が第２の端部９４の先端部９４ａに当接して下方への挿入操作が阻止される。
【００３５】
これにより、既にガラス基板Ｗが挿入された収納部４０に別のガラス基板Ｗを挿入しようとしても、二枚目のガラス基板Ｗは第２の端部９４の先端部９４ａに当接して一枚目のガラス基板Ｗに接触することが防止される。よって、収納部４０に挿入された一枚目のガラス基板Ｗが後から誤って挿入されるガラス基板Ｗによって損傷するといった事故が防止される。
【００３６】
収納容器本体２０の各収納部４０の全てにガラス基板Ｗが一枚ずつ挿入され、収納容器本体２０に所定枚数のガラス基板Ｗが挿入完了すると、ガラス基板装填治具１０は、収納容器本体２０から分離される。そして、各変位部材９０は、上端側の第２の端部９４が外側（Ｙａ方向）に押し戻されて待機位置（図３Ａ中実線で示す）に復帰される。
【実施例２】
【００３７】
図５は本発明によるガラス基板装填治具の実施例２の装着状態を示す側断面図である。図６は実施例２の二重挿入防止機構を示す平面図である。図５及び図６に示されるように、実施例２のガラス基板装填治具２００は、収納容器本体２０の上部に装着される治具本体２１０と、収納容器本体２０の上部開口２２に連通する複数の挿入部２２０と、各挿入部２２０に設けられた二重挿入防止機構２３０とを有する。尚、各挿入部２２０はガラス基板Ｗの直径よりもＹ方向に長いスリットであり、Ｘ方向の横幅はガラス基板Ｗの厚さよりも大きい。また、各挿入部２２０は、ガラス基板Ｗが挿入される挿入ガイド孔２２２と、後述する付勢部材２５０が装架されるバネ用孔２２４とが交互に配されている。
【００３８】
各挿入ガイド孔２２２は、収納容器本体２０の各収納部４０と対向するように設けられている。
【００３９】
また、治具本体２１０は、底面に収納容器本体２０の上部に対する位置決めを行なう位置決めピン６４と複数の位置決め孔(図示せず)を有する。そして、収納容器本体２０の上面角部には、それぞれ複数の位置決め孔２１ａ、２１ｂと一対の位置決めピン６４が設けられている。このように、ガラス基板装填治具２００の角部底面には、一対の位置決めピン６４及び一対の位置決め孔が設けられ、収納容器本体２０の上面にも位置決めピン６４と位置決め孔２１が設けられているので、ガラス基板装填治具１０の底面と収納容器本体２０の上面との相対位置が各位置決めピン６４と位置決め孔との嵌合位置によって適宜変更される。
【００４０】
尚、ガラス基板装填治具２００の挿入部２２０の数と、収納容器本体２０の収納部４０の数とは、一致していても良いし、あるいは収納部４０のピッチが小さい場合には、挿入部２２０の数を収納部４０の数より少なくして（第１のガイド溝６２及び第２のガイド溝７２のピッチを広くして）、挿入操作が容易に行えるように適宜調整しても良い。
〔二重挿入防止機構２３０の構成〕
二重挿入防止機構２３０は、各挿入部２２０のガラス基板Ｗの外周縁部が通過する位置に設けられた複数のスライド部材２４０と、各スライド部材２４０を挿入防止位置（Ｙｂ方向）に付勢する複数の付勢部材２５０と、各スライド部材２４０を挿入部２２０から退避した位置に掛止する複数の掛止部材２６０とを有する。
【００４１】
各スライド部材２４０は、下側のスライド部２４２と、上側のシャッタ部２４４とをＬ字状に組み合わせた構成であり、下側のスライド部２４２が各挿入部２２０の内壁と掛止部材２６０との間でＹａ、Ｙｂ方向に摺動可能に支持されている。また、上側のシャッタ部２４４は、スライド部２４２がＹａ，Ｙｂ方向に摺動すると共に、挿入部２２０の上側を開または閉とするように平板状に形成されている。
【００４２】
スライド部材２４０のシャッタ部２４４は、周囲を囲む治具本体２１０とは異なる色に着色または異なる色のテープが貼着されており、挿入部２２０の一部を塞ぐ位置に変位したことを視覚的に表示する表示部として機能する。また、各スライド部材２４０は、シャッタ部２４４より上方に起立する復帰操作用レバー２４６が設けられている。
【００４３】
各付勢部材２５０は、例えば、コイルバネからなり、一端がスライド部材２４０に掛止され、他端が挿入部２２０の内壁に掛止されている。また、各付勢部材２５０は、各スライド部材２４０がＹａ方向の退避位置にあるとき、Ｙｂ方向に引張り力を発生するように配されている。
【００４４】
各掛止部材２６０は、スライド部材２４０のスライド部２４２と挿入部２２０の内壁との間に装架された軸２６１により上下方向に回動可能に支持された第１の端部２６２と、第１の端部２６２よりＹｂ方向に延在形成された延在部２６４と、延在部２６４の先端に設けられた第２の端部（被接触部）２６６と、第２の端部２６６に設けられスライド部材２４０を掛止する鉤部２６８を有する。また、第２の端部２６６は、ガラス基板Ｗの挿入時にガラス基板Ｗの外周縁部に接触するように傾斜した形状に形成されており、ガラス基板Ｗに損傷を与えない形状とされている。
【００４５】
また、各掛止部材２６０は、バネ部材２７０のバネ力により反時計方向に付勢されており、ガラス基板Ｗが挿入されるまで鉤部２６８がスライド部材２４０を退避位置に掛止する掛止状態に保持される。各スライド部材２４０は、後述するように、各掛止部材２６０の第２の端部２６６がガラス基板Ｗの外周縁部に当接して下方に押下されると共に、鉤部２６８がスライド部材２４０から離間して掛止解除すると、付勢部材２５０の付勢力によってＹｂ方向に移動し、挿入部２２０の中心側（Ｙｂ方向）を閉塞する。
【００４６】
そして、各収納部４０の挿入が完了してガラス基板装填治具２００が収納容器本体２０から分離されると、各スライド部材２４０の復帰操作用レバー２４６をＹａ方向にスライドさせる。各スライド部材２４０は、復帰操作用レバー２４６の復帰操作により退避位置に復帰すると共に、各掛止部材２６０の鉤部２６８がバネ部材２７０のバネ力によりスライド部材２４０を掛止する状態に保持される。
【００４７】
尚、図５に示すように、各挿入部２２０は、各掛止部材２６０を回動可能に支持する軸２６１と、スライド部２４２を支持する軸２６３とが横架されている。各スライド部材２４０のスライド部２４２は、一対の軸２６１、２６３が貫通する長孔２６９を有し、Ｙａ方向またはＹｂ方向にスライドする際に長孔２６９が軸２６１、２６３を摺動する。
【００４８】
図７Ａは実施例２の二重挿入防止機構を示す正面図である。図７Ｂは実施例２の二重挿入防止機構を示す背面図である。
【００４９】
図７Ａ及び図７Ｂに示されるように、各スライド部材２４０は、スライド部２４２が挿入部２２０の内壁及び各掛止部材２６０の側面によりＹａ、Ｙｂ方向への移動をガイドされる。また、各掛止部材２６０の上方に対向するようにＹ方向に延在形成されたシャッタ部２４４は、スライド部２４２のスライド動作と共に、挿入部２２０の挿入ガイド孔２２２の一部（Ｙａ側端部）を開または閉とする位置に移動する。
〔二重挿入防止機構２３０の動作〕
図８Ａは実施例２のガラス基板挿入時の二重挿入防止機構を示す側面図である。図８Ａに示されるように、ガラス基板Ｗが垂直状態のままガラス基板装填治具２００の挿入部２２０に挿入されると、当該挿入部２２０の下方に対向する収納容器本体２０の収納部４０が空の状態であるときは、二重挿入防止機構２３０のスライド部材２４０がＹａ方向に移動した退避位置に保持されている。そのため、ガラス基板Ｗは、垂直状態のまま挿入部２２０を通過して下方の収納部４０に挿入される。
【００５０】
この挿入過程において、ガラス基板Ｗの外周縁部が掛止部材２６０の第２の端部２６６に当接し、第２の端部２６６を押し下げて掛止部材２６０を反時計方向に回動させる。これにより、掛止部材２６０の鉤部２６８がスライド部材２４０の端部から下方に離間して当該スライド部材２４０に対する掛止を解除する。
【００５１】
図８Ｂは実施例２のガラス基板挿入後の二重挿入防止機構を示す側面図である。図８Ｂに示されるように、ガラス基板Ｗが挿入部５０を通過して収納容器本体２０の収納部４０に挿入されると、上記スライド部材２４０が付勢部材２５０の付勢力によってＹｂ方向にスライドするため、スライド部材２４０のシャッタ部２４４が挿入部２２０のＹａ方向側を閉塞する。
【００５２】
このように、既にガラス基板Ｗが挿入された収納部４０の上方に対向する挿入部２２０では、スライド部材２４０のシャッタ部２４４がＹｂ方向にスライドして閉塞位置に移動する。これにより、当該挿入部２２０は、Ｙａ方向側がシャッタ部２４４により閉塞されることで、ガラス基板Ｗの直径よりも横幅が狭くなる。
【００５３】
そのため、既にガラス基板Ｗが挿入された収納部４０に別のガラス基板Ｗを挿入しようとした場合、二枚目のガラス基板Ｗはスライド部材２４０のシャッタ部２４４に当接して一枚目のガラス基板Ｗに接触することが防止される。よって、収納部４０に挿入されたガラス基板Ｗが後から誤って挿入されるガラス基板Ｗによって損傷するといった事故が防止される。
【００５４】
そして、ガラス基板装填治具２００の各挿入部２２０を通して収納容器本体２０の各収納部４０にガラス基板Ｗが一枚ずつ挿入されると、収納容器本体２０の全ての各収納部４０にガラス基板Ｗが正確に挿入完了する。この後、ガラス基板装填治具２００は、当該収納容器本体２０から分離され、ガラス基板Ｗが未挿入の別の収納容器本体２０に装着される。また、ガラス基板装填治具２００の挿入部２２０の数が、収納容器本体２０の収納部４０の半分に設定されている場合は、各挿入部２２０が未挿入の各収納部４０と対向するように収納容器本体２０に対するガラス基板装填治具２００の相対位置を調整して未挿入の各収納部４０への挿入操作を行なう。その際は、各挿入部２２０の復帰操作用レバー２４６をＹａ方向にスライド操作して掛止部材２６０を挿入操作前の状態(図５を参照)に戻す。
〔磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法について〕
一般に、磁気記録媒体用ガラス基板及び磁気ディスクの製造工程は、以下の工程を含む。（工程１）フロート法、フュージョン法またはプレス成形法で成形されたガラス素基板を、中央部に円孔を有する円盤形状に加工した後、内周側面と外周側面を面取り加工する。
（工程２）ガラス基板の側面部と面取り部を端面研磨する。
（工程３）ガラス基板の主平面を研磨する。研磨工程は、１次研磨のみでもよく、１次研磨と２次研磨を行ってもよく、２次研磨の後に３次研磨を行ってもよい。
（工程４）ガラス基板の精密洗浄を行い、磁気ディスク用ガラス基板を得る。
（工程５）磁気記録媒体用ガラス基板の上に磁性層などの薄膜を形成し、磁気ディスクを製造する。
【００５５】
上記磁気記録媒体用ガラス基板及び磁気ディスクの製造工程において、（工程２）端面研磨工程の前後のうち少なくとも一方で主平面のラップ（例えば、遊離砥粒ラップ、固定砥粒ラップなど）を実施してもよく、各工程間にガラス基板の洗浄（工程間洗浄）やガラス基板表面のエッチング（工程間エッチング）を実施してもよい。なお、主平面のラップ（例えば、遊離砥粒ラップ、固定砥粒ラップなど）は広義の主平面の研磨である。
【００５６】
さらに、磁気ディスク用ガラス基板に高い機械的強度が求められる場合、ガラス基板の表層に強化層を形成する強化工程（例えば、化学強化工程）を研磨工程前、または研磨工程後、あるいは研磨工程間で実施してもよい。
【００５７】
本発明において、磁気記録媒体用ガラス基板は、アモルファスガラスでもよく、結晶化ガラスでもよく、ガラス基板の表層に強化層を有する強化ガラス（例えば、化学強化ガラス）でもよい。また、本発明のガラス基板のガラス素基板は、フロート法で造られたものでもよく、フュージョン法で造られたものでもよく、プレス成形法で造られたものでもよい。
【００５８】
本発明のガラス基板装填治具は、磁気記録媒体用ガラス基板の製造工程において、各工程で処理されたガラス基板を収納容器本体に収納して、搬送又は保管する際に適用されるものである。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
上記実施例では、磁気記録媒体用のガラス基板を製造する工程を例に挙げて説明したが、これに限らず、これ以外の用途で使用されるガラス基板を加工する各工程にも本発明を適用できるのは勿論である。
【００６０】
また、本発明が適用できるガラス基板としては、磁気記録媒体用、フォトマスク用、液晶や有機ＥＬ等のディスプレイ用、光ピックアップ素子や光学フィルタ等の光学部品用などのガラス基板が具体的なものとして挙げられる。
【符号の説明】
【００６１】
１０、２００ ガラス基板装填治具
１２ 開口
２０ 収納容器本体
２１、２１ａ、２１ｂ 位置決め孔
２２ 上部開口
２４ 側面開口
３０、２３０ 二重挿入防止機構
４０ 収納部
５０、２２０ 挿入部
６０ 第１のガイド部
６２ 第１のガイド溝
６４ 位置決めピン
７０ 第２のガイド部
７２ 第２のガイド溝
７４ 第１のストッパ
７６ 第２のストッパ
８０ 連結部
８２ ボルト
９０ 変位部材
９２ 第１の端部
９２ａ 先端部
９４ 第２の端部
９６ 挿通孔
１００ 軸
２１０ 治具本体
６４ 位置決めピン
２２０ 挿入部
２２２ 挿入ガイド孔
２２４ バネ用孔
２４０ スライド部材
２４２ スライド部
２４４ シャッタ部
２４６ 復帰操作用レバー
２５０ 付勢部材
２６０ 掛止部材
２６１、２６３ 軸
２６２ 第１の端部
２６４ 延在部
２６６ 第２の端部
２６８ 鉤部
２６９ 長孔
２７０ バネ部材
【技術分野】
【０００１】
本発明はガラス基板をガラス収納容器の複数の収納部の夫々に挿入するガラス基板装填治具及びガラス基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、磁気記録媒体用として使用されるガラス基板の製造ラインは、少なくとも以下の工程１〜工程７を含む。
（工程１）フロート法、フュージョン法、またはプレス成形法により成形されたガラス素基板を、中央部に円形孔を有する円盤形状に加工した後、内周側面と外周側面を面取り加工する（形状付与工程）。
（工程２）ガラス基板の内周または外周の少なくとも一方の側面部と面取り部に端面研磨する（研磨工程）。
（工程３）ガラス基板の上下主平面を研磨加工する（研磨工程）。
（工程４）ガラス基板を精密洗浄する（洗浄工程）。
（工程５）洗浄されたガラス基板を乾燥させる（乾燥工程）。
（工程６）乾燥したガラス基板の欠陥を目視又は光学方式表面観察機により検査する（検査工程）。
（工程７）検査したガラス基板をガラス基板収納容器に収納して包装する（出荷工程）。
【０００３】
少なくとも上記工程１〜工程７を含むガラス基板の製造ラインにより製造されたガラス基板は製品として出荷される。
【０００４】
このようなガラス基板の製造ライン各工程間においては、ガラス基板を搬送する手段として、複数のガラス基板を垂直状態の収納するガラス基板収納容器を用いている。
【０００５】
このガラス基板収納容器は、各ガラス基板同士が接触しないように所定間隔毎に整列された状態に収納するように構成されているため、収納容器本体の上部開口にガラス基板の
挿入をガイドする挿入ガイド治具を装着して収納容器本体の内壁に形成された溝からなる各収納部にガラス基板を一枚ずつ容易に挿入できる（例えば、特許文献１〜３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−９５２００号公報
【特許文献２】特開２００９−７６８３０号公報
【特許文献３】特開２００７−２６１５９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のように収納容器本体の上部開口に挿入ガイド治具を装着した場合、各工程の作業が終了したガラス基板を一枚ずつ収納容器本体内の各収納部に挿入する際に挿入ガイド治具によってガラス基板の挿入位置がガイドされて挿入作業が容易に行えるが、同じ収納部に二枚目のガラス基板を誤って挿入して一枚目のガラス基板の外周端部に二枚目のガラス基板を接触させて、ガラス基板の外周端部にキズや欠けなどの欠陥を生じさせるという問題があった。
【０００８】
そこで、本発明は上記事情に鑑み、二枚目のガラス基板の挿入を防止することでガラス基板の外周端部にキズや欠けなどの欠陥を生じさせる課題を解決したガラス基板装填治具及びガラス基板の製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明は以下のような手段を有する。
（１）本発明は、複数のガラス基板が整列された状態で一枚ずつ収納される複数の収納部を有する収納容器本体の上部開口に装着されるガラス基板装填治具であって、
前記複数の収納部に対向する位置に配され、前記ガラス基板が挿入される複数の挿入部と、
前記複数の挿入部の夫々に設けられ、前記ガラス基板が前記挿入部より前記収納部に挿入される過程で前記ガラス基板の外周縁部に接触すると共に、当該挿入部の一部を塞ぐ二重挿入防止機構と、
を備えたことを特徴とする。
（２）本発明の前記二重挿入防止機構は、
前記複数の挿入部の夫々に設けられ、前記各挿入部の前記ガラス基板の外周縁部が通過する位置に設けられた複数の変位部材を有する。
（３）本発明の前記変位部材は、
前記ガラス基板が前記挿入部を通過する際に当該ガラス基板の外周縁部に接触する第１の端部と、
前記ガラス基板の外周縁部が前記第１の端部に接触した後、前記挿入部の一部を塞ぐ位置に変位する第２の端部と、
を有する。
（４）本発明の前記変位部材は、
前記挿入部の内部に回動可能に支持され、
前記第１の端部が当該挿入部を通過する前記ガラス基板の外周縁部に接触すると共に、前記第２の端部が前記挿入部の一部を塞ぐ位置に変位するように設けられる。
（５）本発明の前記変位部材は、前記挿入部の一部を塞ぐ位置に変位したことを視覚的に表示する表示部を有する。
（６）本発明の前記二重挿入防止機構は、
前記複数の挿入部の夫々に設けられ、前記各挿入部の前記ガラス基板の外周縁部が通過する位置に設けられた複数のスライド部材と、
前記複数のスライド部材の夫々を前記挿入部の一部を塞ぐ位置に付勢する複数の付勢部材と、
前記複数のスライド部材の夫々を前記挿入部から退避した位置に掛止する複数の掛止部材と、
を有する。
（７）本発明の前記掛止部材は、前記挿入部の内部に回動可能に支持され、
前記ガラス基板が前記挿入部に挿入される過程で前記ガラス基板の外周縁部に接触する被接触部と、
前記スライド部材を前記挿入部から退避した位置に掛止する掛止部と、を有し、
前記被接触部は、前記挿入部に挿入される前記ガラス基板の外周縁部に接触して下方に押圧されると共に、前記掛止部は前記スライド部材に対する掛止を解除する。
（８）本発明の前記スライド部材は、前記挿入部の一部を塞ぐ位置に変位したことを視覚的に表示する表示部を有する。
（９）本発明は、板形状を有するガラス基板の形状付与工程と、前記ガラス基板の研磨工程と、前記ガラス基板の洗浄工程と、前記ガラス基板の乾燥工程と、前記ガラス基板の検査工程とを少なくとも有するガラス基板の製造方法において、
複数のガラス基板が整列された状態に収納される複数の収納部、及び当該複数の収納部に連通された上部開口を有する収納容器本体と、
前記収納容器本体の前記上部開口に装着される請求項１〜７の何れかに記載のガラス基板装填治具と、
前記ガラス基板装填治具の挿入部に設けられ、前記ガラス基板が前記挿入部より前記一の収納部に挿入される過程で前記ガラス基板の外周縁部に接触すると共に、前記挿入部の一部を塞ぐ位置に変位する二重挿入防止機構と、を用いる。
（１０）本発明の前記ガラス基板は、磁気記録媒体用ガラス基板であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ガラス基板が挿入部より収納部に挿入される過程でガラス基板の外周縁部に接触すると共に、当該挿入部の一部を塞ぐ二重挿入防止機構を備えたため、既にガラス基板が挿入された収納部に別のガラス基板を挿入しようとしても当該挿入部からの２枚目のガラス基板の挿入が阻止されて収納部に挿入された１枚目のガラス基板に接触することを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明によるガラス基板装填治具の実施例１の装着状態を示す斜視図である。
【図２Ａ】ガラス基板装填治具の装着前の状態を示す斜視図である。
【図２Ｂ】ガラス基板装填治具の側面図である。
【図２Ｃ】二重挿入防止機構の変位部材を拡大して示す斜視図である。
【図３Ａ】二重挿入防止機構の変位部材の変位を示す側面図である。
【図３Ｂ】ガラス基板が挿入された際の変位部材の状態を示す斜視図である。
【図４Ａ】ガラス基板挿入前の二重挿入防止機構を示す側面図である。
【図４Ｂ】ガラス基板挿入時の二重挿入防止機構を示す側面図である。
【図４Ｃ】ガラス基板挿入後の二重挿入防止機構を示す側面図である。
【図５】本発明によるガラス基板装填治具の実施例２の装着状態を示す側断面図である。
【図６】実施例２の二重挿入防止機構を示す平面図である。
【図７Ａ】実施例２の二重挿入防止機構を示す正面図である。
【図７Ｂ】実施例２の二重挿入防止機構を示す背面図である。
【図８Ａ】実施例２のガラス基板挿入時の二重挿入防止機構を示す側面図である。
【図８Ｂ】実施例２のガラス基板挿入後の二重挿入防止機構を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明を実施するための形態について説明する。
【実施例１】
【００１３】
図１は本発明によるガラス基板装填治具の実施例１の装着状態を示す斜視図である。図１に示されるように、ガラス基板装填治具１０は、各工程での処理が終了したガラス基板が挿入される収納容器本体２０の上端に装着される。
【００１４】
収納容器本体２０は、上部開口２２及び側面開口２４を有する。尚、側面開口２４は、収納容器本体２０の種類によって設けられていない場合がある。また、収納容器本体２０は、内部に上部開口２２を通してガラス基板が一枚ずつ収納される複数の収納部４０が形成されており、複数の収納部４０に所定枚数のガラス基板が挿入されると、ガラス基板装填治具１０が外される。その後、ガラス基板が挿入された収納容器本体２０は、次工程に搬送され、又は蓋部材（図示は省略）によって上部開口２２及び側面開口２４が閉塞される。尚、複数の収納部４０は、収納容器本体２０の内壁から突出する仕切り壁によって仕切られており、夫々の上部が上部開口２２に連通され、仕切り壁の無い中央部分が側面開口２４に連通されている。
【００１５】
本実施例のガラス基板としては、磁気記録媒体用のガラス基板が適用される。
【００１６】
ガラス基板装填治具１０は、長方形の枠体からなり、中央部分には上下方向に貫通する開口１２が形成されている。そして、ガラス基板装填治具１０が収納容器本体２０の上部に装着されると、上記開口１２が収納容器本体２０の上部開口２２と連通され、開口１２を通してガラス基板の挿入が行える。
【００１７】
さらに、ガラス基板装填治具１０は、開口１２の内部に上部開口２２を通して複数の収納部４０に連通される各挿入部５０が設けられており、各挿入部５０には二重挿入防止機構３０が設けられている。二重挿入防止機構３０は、ガラス基板を各収納部４０に１枚ずつ収納できるように構成されており、同じ収納部４０に２枚目のガラス基板が挿入されることを規制する。
【００１８】
そのため、収納容器本体２０の複数の収納部４０のうち二重挿入防止機構３０により塞がれていない挿入部５０を通して、一の収納部４０に各工程での作業が終了したガラス基板を一枚ずつ挿入できる。
【００１９】
尚、納容器本体２０の複数の収納部４０の数と、ガラス基板装填治具１０の挿入部５０数は、同一又は非同一のどちらでも良い。納容器本体２０の複数の収納部４０の数とガラス基板装填治具１０の挿入部５０数を非同一とする場合、挿入部５０のＸ方向のピッチは、収納部４０のＸ方向のピッチの整数倍とすることが好ましい。
〔ガラス基板装填治具１０の構成〕
図２Ａはガラス基板装填治具１０の装着前の状態を示す斜視図である。図２Ｂはガラス基板装填治具１０の側面図である。
【００２０】
図２Ａ及び図２Ｂに示されるように、ガラス基板装填治具１０は、収納容器本体２０の長手方向（Ｘ方向）に延在する背面側（Ｙｂ方向）の第１のガイド部６０と、第１のガイド部６０と対向するように平行に配された正面側（Ｙａ方向）の第２のガイド部７０と、第１のガイド部６０及び第２のガイド部７０の両端を連結する一対の連結部８０とを有する。
【００２１】
第１のガイド部６０は、収納容器本体２０の上端縁部に載置され、内側壁面にはガラス基板の挿入位置をガイドする複数の第１のガイド溝６２が上下方向に延在形成されている。また、各第１のガイド溝６２は、Ｘ方向のピッチ（間隔）が収納容器本体２０の複数の収納部４０と対向するように形成されている。
【００２２】
さらに、第１のガイド部６０の底部には、一対の位置決めピン６４（図４Ａ参照）と位置決め孔（図示は省略）が形成されている。この一対の位置決めピン６４と位置決め孔は、収納容器本体２０の上面に形成された位置決め孔２１と位置決めピン（図示は省略）に嵌合されて収納容器本体２０とガラス基板装填治具１０との相対位置を位置決めする。このように、ガラス基板装填治具１０の角部底面には、一対の位置決めピン６４及び一対の位置決め孔が設けられ、収納容器本体２０の上面にも位置決めピン６４と位置決め孔２１が設けられている。従って、ガラス基板装填治具１０の底面と収納容器本体２０の上面との相対位置が各位置決めピン６４と位置決め孔との嵌合位置によって適宜変更される。
【００２３】
第２のガイド部７０は、収納容器本体２０の上端縁部に載置され、内側壁面にはガラス基板の挿入位置をガイドする複数の第２のガイド溝７２と、各ガイド溝７２に設けられた複数の二重挿入防止機構３０とを有する。また、各第２のガイド溝７２は、上記各第１のガイド溝６２と対向し、且つＸ方向のピッチ（間隔）が収納容器本体２０の収納部４０と対向するように形成されている。
【００２４】
各挿入部５０は、上記第１のガイド部６０の各ガイド溝６２と第２のガイド部７０の各ガイド溝７２によって形成される。
【００２５】
また、一対の連結部８０は、夫々第１のガイド部６０及び第２のガイド部７０の長手方向（Ｘ方向）の端部にボルト８２により固定されている。
【００２６】
尚、ガラス基板装填治具１０の第１のガイド溝６２及び第２のガイド溝７２の数と、収納容器本体２０の収納部４０の数とは、一致していても良いし、あるいは収納部４０のピッチが小さい場合には、第１のガイド溝６２及び第２のガイド溝７２の数を収納部４０の数より少なくして（第１のガイド溝６２及び第２のガイド溝７２のピッチを広くして）、挿入操作が容易に行えるように適宜調整しても良い。
〔二重挿入防止機構３０の構成〕
図２Ｃは二重挿入防止機構３０の変位部材９０を拡大して示す斜視図である。図２Ｃに示されるように、二重挿入防止機構３０は、ガラス基板が挿入部より一の収納部４０に挿入される過程でガラス基板の外周縁部に接触すると共に、当該挿入部５０の一部を塞ぐ位置に変位する変位部材９０を有する。
【００２７】
各変位部材９０は、ガラス基板の外周縁部が通過する位置に設けられ、ガラス基板が挿入部５０を通過する際に当該ガラス基板の外周縁部に接触する下端側の第１の端部９２と、ガラス基板の外周縁部が第１の端部９２に接触した後、挿入部５０の一部を塞ぐ位置に変位する上端側の第２の端部９４とを有する。第２の端部９４は、先端部９４ａが挿入部５０の中心側に向けてＬ字状に曲げられ、且つガラス基板を傷つけないように曲面に形成されている。
【００２８】
また、変位部材９０は、収納容器本体２０の長手方向（Ｘ方向）に延在する軸１００に挿通される挿通孔９６を有しており、上下方向に回動可能に支持されている。尚、挿通孔９６の位置は、重量バランスによって回動しないような位置に設けられている。さらに、第２の端部９４の先端部９４ａは、周囲を囲む第２のガイド部７０とは異なる色に着色または異なる色のテープが貼着されており、挿入部５０の一部を塞ぐ位置に変位したことを視覚的に表示する表示部として機能する。
【００２９】
図３Ａは二重挿入防止機構３０の変位部材９０の変位を示す側面図である。図３Ａに示されるように、ガラス基板Ｗが挿入される前の変位部材９０は、下端側の第１の端部９２が第２のガイド溝７２より中心側に突出し、上端側の第２の端部９４が第２のガイド溝７２の外側に退避した待機位置（実線で示す）にある。そして、変位部材９０は、ガラス基板Ｗが挿入部５０を通過する過程で下端側の第１の端部９２がガラス基板Ｗの外周縁部に押圧されて回動することで、上端側の第２の端部９４が第２のガイド溝７２より中心側に突出する挿入防止位置（一点鎖線で示す）に変位する。
【００３０】
尚、第２のガイド溝７２の内部には、変位部材９０が待機位置のとき下端側の第１の端部９２を係止する第１のストッパ７４と、変位部材９０が挿入防止位置のとき第２の端部９４を係止する第２のストッパ７６とが設けられている。
【００３１】
図３Ｂはガラス基板Ｗが挿入される際の変位部材９０の状態を示す斜視図である。図３Ｂに示されるように、ガラス基板Ｗがガラス基板装填治具１０のガイド溝６２、７２にガイドされて挿入部５０に挿入されると、変位部材９０は下端側の第１の端部９２がガラス基板Ｗの外周縁部に押圧されて待機位置から挿入防止位置に回動するため、上端側の第２の端部９４の先端部９４ａが第２のガイド溝７２よりガラス基板挿入側（中心側）に突出し、当該第２のガイド溝７２の上部空間を閉塞する。
〔二重挿入防止機構３０の動作〕
図４Ａはガラス基板挿入前の二重挿入防止機構３０の変位部材９０を示す側面図である。図４Ａに示されるように、ガラス基板Ｗが挿入される前は、変位部材９０が待機位置にあるため、上端側の第２の端部９４が第２のガイド溝７２の外側（Ｙａ方向）に退避し、下端側の第１の端部９２が当該第２のガイド溝７２の中心側（Ｙｂ方向）に突出している。
【００３２】
図４Ｂはガラス基板挿入時の二重挿入防止機構３０の変位部材９０を示す側面図である。図４Ｂに示されるように、ガラス基板Ｗが垂直状態のまま挿入部５０に挿入されると、当該ガラス基板Ｗの外周縁部が第１の端部９２に当接する。そのため、変位部材９０は、下端側の第１の端部９２が当該第２のガイド溝７２の外側（Ｙａ方向）に変位すると共に、軸１００を中心に回動する。
【００３３】
図４Ｃはガラス基板挿入後の二重挿入防止機構３０の変位部材９０を示す側面図である。図４Ｃに示されるように、ガラス基板Ｗがガイド溝６２、７２にガイドされて収納容器本体２０の収納部４０に挿入されると、変位部材９０は、上端側の第２の端部９４の先端部９４ａが第２のガイド溝７２より中心側（Ｙｂ方向）に突出する挿入防止位置に回動する。このように、変位部材９０が時計方向に回動すると共に、第２の端部９４の先端部９４ａによってガラス基板装填治具１０の第２のガイド溝７２の上部空間が閉塞される。そのため、先端部９４ａと当該先端部９４ａに対向するガイド溝６２とＹ方向距離がガラス基板Ｗの直径よりも小さくなる。
【００３４】
そのため、既に一枚目のガラス基板Ｗが挿入された同じ収納部４０に二枚目のガラス基板Ｗを挿入しようとした場合、二枚目のガラス基板Ｗの外周縁部が第２の端部９４の先端部９４ａに当接して下方への挿入操作が阻止される。
【００３５】
これにより、既にガラス基板Ｗが挿入された収納部４０に別のガラス基板Ｗを挿入しようとしても、二枚目のガラス基板Ｗは第２の端部９４の先端部９４ａに当接して一枚目のガラス基板Ｗに接触することが防止される。よって、収納部４０に挿入された一枚目のガラス基板Ｗが後から誤って挿入されるガラス基板Ｗによって損傷するといった事故が防止される。
【００３６】
収納容器本体２０の各収納部４０の全てにガラス基板Ｗが一枚ずつ挿入され、収納容器本体２０に所定枚数のガラス基板Ｗが挿入完了すると、ガラス基板装填治具１０は、収納容器本体２０から分離される。そして、各変位部材９０は、上端側の第２の端部９４が外側（Ｙａ方向）に押し戻されて待機位置（図３Ａ中実線で示す）に復帰される。
【実施例２】
【００３７】
図５は本発明によるガラス基板装填治具の実施例２の装着状態を示す側断面図である。図６は実施例２の二重挿入防止機構を示す平面図である。図５及び図６に示されるように、実施例２のガラス基板装填治具２００は、収納容器本体２０の上部に装着される治具本体２１０と、収納容器本体２０の上部開口２２に連通する複数の挿入部２２０と、各挿入部２２０に設けられた二重挿入防止機構２３０とを有する。尚、各挿入部２２０はガラス基板Ｗの直径よりもＹ方向に長いスリットであり、Ｘ方向の横幅はガラス基板Ｗの厚さよりも大きい。また、各挿入部２２０は、ガラス基板Ｗが挿入される挿入ガイド孔２２２と、後述する付勢部材２５０が装架されるバネ用孔２２４とが交互に配されている。
【００３８】
各挿入ガイド孔２２２は、収納容器本体２０の各収納部４０と対向するように設けられている。
【００３９】
また、治具本体２１０は、底面に収納容器本体２０の上部に対する位置決めを行なう位置決めピン６４と複数の位置決め孔(図示せず)を有する。そして、収納容器本体２０の上面角部には、それぞれ複数の位置決め孔２１ａ、２１ｂと一対の位置決めピン６４が設けられている。このように、ガラス基板装填治具２００の角部底面には、一対の位置決めピン６４及び一対の位置決め孔が設けられ、収納容器本体２０の上面にも位置決めピン６４と位置決め孔２１が設けられているので、ガラス基板装填治具１０の底面と収納容器本体２０の上面との相対位置が各位置決めピン６４と位置決め孔との嵌合位置によって適宜変更される。
【００４０】
尚、ガラス基板装填治具２００の挿入部２２０の数と、収納容器本体２０の収納部４０の数とは、一致していても良いし、あるいは収納部４０のピッチが小さい場合には、挿入部２２０の数を収納部４０の数より少なくして（第１のガイド溝６２及び第２のガイド溝７２のピッチを広くして）、挿入操作が容易に行えるように適宜調整しても良い。
〔二重挿入防止機構２３０の構成〕
二重挿入防止機構２３０は、各挿入部２２０のガラス基板Ｗの外周縁部が通過する位置に設けられた複数のスライド部材２４０と、各スライド部材２４０を挿入防止位置（Ｙｂ方向）に付勢する複数の付勢部材２５０と、各スライド部材２４０を挿入部２２０から退避した位置に掛止する複数の掛止部材２６０とを有する。
【００４１】
各スライド部材２４０は、下側のスライド部２４２と、上側のシャッタ部２４４とをＬ字状に組み合わせた構成であり、下側のスライド部２４２が各挿入部２２０の内壁と掛止部材２６０との間でＹａ、Ｙｂ方向に摺動可能に支持されている。また、上側のシャッタ部２４４は、スライド部２４２がＹａ，Ｙｂ方向に摺動すると共に、挿入部２２０の上側を開または閉とするように平板状に形成されている。
【００４２】
スライド部材２４０のシャッタ部２４４は、周囲を囲む治具本体２１０とは異なる色に着色または異なる色のテープが貼着されており、挿入部２２０の一部を塞ぐ位置に変位したことを視覚的に表示する表示部として機能する。また、各スライド部材２４０は、シャッタ部２４４より上方に起立する復帰操作用レバー２４６が設けられている。
【００４３】
各付勢部材２５０は、例えば、コイルバネからなり、一端がスライド部材２４０に掛止され、他端が挿入部２２０の内壁に掛止されている。また、各付勢部材２５０は、各スライド部材２４０がＹａ方向の退避位置にあるとき、Ｙｂ方向に引張り力を発生するように配されている。
【００４４】
各掛止部材２６０は、スライド部材２４０のスライド部２４２と挿入部２２０の内壁との間に装架された軸２６１により上下方向に回動可能に支持された第１の端部２６２と、第１の端部２６２よりＹｂ方向に延在形成された延在部２６４と、延在部２６４の先端に設けられた第２の端部（被接触部）２６６と、第２の端部２６６に設けられスライド部材２４０を掛止する鉤部２６８を有する。また、第２の端部２６６は、ガラス基板Ｗの挿入時にガラス基板Ｗの外周縁部に接触するように傾斜した形状に形成されており、ガラス基板Ｗに損傷を与えない形状とされている。
【００４５】
また、各掛止部材２６０は、バネ部材２７０のバネ力により反時計方向に付勢されており、ガラス基板Ｗが挿入されるまで鉤部２６８がスライド部材２４０を退避位置に掛止する掛止状態に保持される。各スライド部材２４０は、後述するように、各掛止部材２６０の第２の端部２６６がガラス基板Ｗの外周縁部に当接して下方に押下されると共に、鉤部２６８がスライド部材２４０から離間して掛止解除すると、付勢部材２５０の付勢力によってＹｂ方向に移動し、挿入部２２０の中心側（Ｙｂ方向）を閉塞する。
【００４６】
そして、各収納部４０の挿入が完了してガラス基板装填治具２００が収納容器本体２０から分離されると、各スライド部材２４０の復帰操作用レバー２４６をＹａ方向にスライドさせる。各スライド部材２４０は、復帰操作用レバー２４６の復帰操作により退避位置に復帰すると共に、各掛止部材２６０の鉤部２６８がバネ部材２７０のバネ力によりスライド部材２４０を掛止する状態に保持される。
【００４７】
尚、図５に示すように、各挿入部２２０は、各掛止部材２６０を回動可能に支持する軸２６１と、スライド部２４２を支持する軸２６３とが横架されている。各スライド部材２４０のスライド部２４２は、一対の軸２６１、２６３が貫通する長孔２６９を有し、Ｙａ方向またはＹｂ方向にスライドする際に長孔２６９が軸２６１、２６３を摺動する。
【００４８】
図７Ａは実施例２の二重挿入防止機構を示す正面図である。図７Ｂは実施例２の二重挿入防止機構を示す背面図である。
【００４９】
図７Ａ及び図７Ｂに示されるように、各スライド部材２４０は、スライド部２４２が挿入部２２０の内壁及び各掛止部材２６０の側面によりＹａ、Ｙｂ方向への移動をガイドされる。また、各掛止部材２６０の上方に対向するようにＹ方向に延在形成されたシャッタ部２４４は、スライド部２４２のスライド動作と共に、挿入部２２０の挿入ガイド孔２２２の一部（Ｙａ側端部）を開または閉とする位置に移動する。
〔二重挿入防止機構２３０の動作〕
図８Ａは実施例２のガラス基板挿入時の二重挿入防止機構を示す側面図である。図８Ａに示されるように、ガラス基板Ｗが垂直状態のままガラス基板装填治具２００の挿入部２２０に挿入されると、当該挿入部２２０の下方に対向する収納容器本体２０の収納部４０が空の状態であるときは、二重挿入防止機構２３０のスライド部材２４０がＹａ方向に移動した退避位置に保持されている。そのため、ガラス基板Ｗは、垂直状態のまま挿入部２２０を通過して下方の収納部４０に挿入される。
【００５０】
この挿入過程において、ガラス基板Ｗの外周縁部が掛止部材２６０の第２の端部２６６に当接し、第２の端部２６６を押し下げて掛止部材２６０を反時計方向に回動させる。これにより、掛止部材２６０の鉤部２６８がスライド部材２４０の端部から下方に離間して当該スライド部材２４０に対する掛止を解除する。
【００５１】
図８Ｂは実施例２のガラス基板挿入後の二重挿入防止機構を示す側面図である。図８Ｂに示されるように、ガラス基板Ｗが挿入部５０を通過して収納容器本体２０の収納部４０に挿入されると、上記スライド部材２４０が付勢部材２５０の付勢力によってＹｂ方向にスライドするため、スライド部材２４０のシャッタ部２４４が挿入部２２０のＹａ方向側を閉塞する。
【００５２】
このように、既にガラス基板Ｗが挿入された収納部４０の上方に対向する挿入部２２０では、スライド部材２４０のシャッタ部２４４がＹｂ方向にスライドして閉塞位置に移動する。これにより、当該挿入部２２０は、Ｙａ方向側がシャッタ部２４４により閉塞されることで、ガラス基板Ｗの直径よりも横幅が狭くなる。
【００５３】
そのため、既にガラス基板Ｗが挿入された収納部４０に別のガラス基板Ｗを挿入しようとした場合、二枚目のガラス基板Ｗはスライド部材２４０のシャッタ部２４４に当接して一枚目のガラス基板Ｗに接触することが防止される。よって、収納部４０に挿入されたガラス基板Ｗが後から誤って挿入されるガラス基板Ｗによって損傷するといった事故が防止される。
【００５４】
そして、ガラス基板装填治具２００の各挿入部２２０を通して収納容器本体２０の各収納部４０にガラス基板Ｗが一枚ずつ挿入されると、収納容器本体２０の全ての各収納部４０にガラス基板Ｗが正確に挿入完了する。この後、ガラス基板装填治具２００は、当該収納容器本体２０から分離され、ガラス基板Ｗが未挿入の別の収納容器本体２０に装着される。また、ガラス基板装填治具２００の挿入部２２０の数が、収納容器本体２０の収納部４０の半分に設定されている場合は、各挿入部２２０が未挿入の各収納部４０と対向するように収納容器本体２０に対するガラス基板装填治具２００の相対位置を調整して未挿入の各収納部４０への挿入操作を行なう。その際は、各挿入部２２０の復帰操作用レバー２４６をＹａ方向にスライド操作して掛止部材２６０を挿入操作前の状態(図５を参照)に戻す。
〔磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法について〕
一般に、磁気記録媒体用ガラス基板及び磁気ディスクの製造工程は、以下の工程を含む。（工程１）フロート法、フュージョン法またはプレス成形法で成形されたガラス素基板を、中央部に円孔を有する円盤形状に加工した後、内周側面と外周側面を面取り加工する。
（工程２）ガラス基板の側面部と面取り部を端面研磨する。
（工程３）ガラス基板の主平面を研磨する。研磨工程は、１次研磨のみでもよく、１次研磨と２次研磨を行ってもよく、２次研磨の後に３次研磨を行ってもよい。
（工程４）ガラス基板の精密洗浄を行い、磁気ディスク用ガラス基板を得る。
（工程５）磁気記録媒体用ガラス基板の上に磁性層などの薄膜を形成し、磁気ディスクを製造する。
【００５５】
上記磁気記録媒体用ガラス基板及び磁気ディスクの製造工程において、（工程２）端面研磨工程の前後のうち少なくとも一方で主平面のラップ（例えば、遊離砥粒ラップ、固定砥粒ラップなど）を実施してもよく、各工程間にガラス基板の洗浄（工程間洗浄）やガラス基板表面のエッチング（工程間エッチング）を実施してもよい。なお、主平面のラップ（例えば、遊離砥粒ラップ、固定砥粒ラップなど）は広義の主平面の研磨である。
【００５６】
さらに、磁気ディスク用ガラス基板に高い機械的強度が求められる場合、ガラス基板の表層に強化層を形成する強化工程（例えば、化学強化工程）を研磨工程前、または研磨工程後、あるいは研磨工程間で実施してもよい。
【００５７】
本発明において、磁気記録媒体用ガラス基板は、アモルファスガラスでもよく、結晶化ガラスでもよく、ガラス基板の表層に強化層を有する強化ガラス（例えば、化学強化ガラス）でもよい。また、本発明のガラス基板のガラス素基板は、フロート法で造られたものでもよく、フュージョン法で造られたものでもよく、プレス成形法で造られたものでもよい。
【００５８】
本発明のガラス基板装填治具は、磁気記録媒体用ガラス基板の製造工程において、各工程で処理されたガラス基板を収納容器本体に収納して、搬送又は保管する際に適用されるものである。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
上記実施例では、磁気記録媒体用のガラス基板を製造する工程を例に挙げて説明したが、これに限らず、これ以外の用途で使用されるガラス基板を加工する各工程にも本発明を適用できるのは勿論である。
【００６０】
また、本発明が適用できるガラス基板としては、磁気記録媒体用、フォトマスク用、液晶や有機ＥＬ等のディスプレイ用、光ピックアップ素子や光学フィルタ等の光学部品用などのガラス基板が具体的なものとして挙げられる。
【符号の説明】
【００６１】
１０、２００ ガラス基板装填治具
１２ 開口
２０ 収納容器本体
２１、２１ａ、２１ｂ 位置決め孔
２２ 上部開口
２４ 側面開口
３０、２３０ 二重挿入防止機構
４０ 収納部
５０、２２０ 挿入部
６０ 第１のガイド部
６２ 第１のガイド溝
６４ 位置決めピン
７０ 第２のガイド部
７２ 第２のガイド溝
７４ 第１のストッパ
７６ 第２のストッパ
８０ 連結部
８２ ボルト
９０ 変位部材
９２ 第１の端部
９２ａ 先端部
９４ 第２の端部
９６ 挿通孔
１００ 軸
２１０ 治具本体
６４ 位置決めピン
２２０ 挿入部
２２２ 挿入ガイド孔
２２４ バネ用孔
２４０ スライド部材
２４２ スライド部
２４４ シャッタ部
２４６ 復帰操作用レバー
２５０ 付勢部材
２６０ 掛止部材
２６１、２６３ 軸
２６２ 第１の端部
２６４ 延在部
２６６ 第２の端部
２６８ 鉤部
２６９ 長孔
２７０ バネ部材
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のガラス基板が整列された状態で一枚ずつ収納される複数の収納部を有する収納容器本体の上部開口に装着されるガラス基板装填治具であって、
前記複数の収納部に対向する位置に配され、前記ガラス基板が挿入される複数の挿入部と、
前記複数の挿入部の夫々に設けられ、前記ガラス基板が前記挿入部より前記収納部に挿入される過程で前記ガラス基板の外周縁部に接触すると共に、当該挿入部の一部を塞ぐ二重挿入防止機構と、
を備えたことを特徴とするガラス基板装填治具。
【請求項２】
前記二重挿入防止機構は、
前記複数の挿入部の夫々に設けられ、前記各挿入部の前記ガラス基板の外周縁部が通過する位置に設けられた複数の変位部材を有する請求項１に記載のガラス基板装填治具。
【請求項３】
前記変位部材は、
前記ガラス基板が前記挿入部を通過する際に当該ガラス基板の外周縁部に接触する第１の端部と、
前記ガラス基板の外周縁部が前記第１の端部に接触した後、前記挿入部の一部を塞ぐ位置に変位する第２の端部と、
を有する請求項２に記載のガラス基板装填治具。
【請求項４】
前記変位部材は、
前記挿入部の内部に回動可能に支持され、
前記第１の端部が前記挿入部を通過する前記ガラス基板の外周縁部に接触すると共に、前記第２の端部が前記挿入部の一部を塞ぐ位置に変位するように設けられた請求項３に記載のガラス基板装填治具。
【請求項５】
前記変位部材は、前記挿入部の一部を塞ぐ位置に変位したことを視覚的に表示する表示部を有する請求項２〜４の何れかに記載のガラス基板装填治具。
【請求項６】
前記二重挿入防止機構は、
前記複数の挿入部の夫々に設けられ、前記各挿入部の前記ガラス基板の外周縁部が通過する位置に設けられた複数のスライド部材と、
前記複数のスライド部材の夫々を前記挿入部の一部を塞ぐ位置に付勢する複数の付勢部材と、
前記複数のスライド部材の夫々を前記挿入部から退避した位置に掛止する複数の掛止部材と、
を有する請求項１に記載のガラス基板装填治具。
【請求項７】
前記掛止部材は、前記挿入部の内部に回動可能に支持され、
前記ガラス基板が前記挿入部に挿入される過程で前記ガラス基板の外周縁部に接触する被接触部と、
前記スライド部材を前記挿入部から退避した位置に掛止する掛止部と、を有し、
前記被接触部は、前記挿入部に挿入される前記ガラス基板の外周縁部に接触して下方に押圧されると共に、前記掛止部は前記スライド部材に対する掛止を解除する請求項６に記載のガラス基板装填治具。
【請求項８】
前記スライド部材は、前記挿入部の一部を塞ぐ位置に変位したことを視覚的に表示する表示部を有する請求項６又は７の何れかに記載のガラス基板装填治具。
【請求項９】
板形状を有するガラス基板の形状付与工程と、前記ガラス基板の研磨工程と、前記ガラス基板の洗浄工程と、前記ガラス基板の乾燥工程と、前記ガラス基板の検査工程とを少なくとも有するガラス基板の製造方法において、
複数のガラス基板が整列された状態に収納される複数の収納部、及び当該複数の収納部に連通された上部開口を有する収納容器本体と、
前記収納容器本体の前記上部開口に装着される請求項１〜８の何れかに記載のガラス基板装填治具と、
前記ガラス基板装填治具の挿入部に設けられ、前記ガラス基板が前記挿入部より前記一の収納部に挿入される過程で前記ガラス基板の外周縁部に接触すると共に、前記挿入部の一部を塞ぐ位置に変位する二重挿入防止機構と、を用いることを特徴とするガラス基板の製造方法。
【請求項１０】
前記ガラス基板は、磁気記録媒体用ガラス基板である請求項１〜８の何れかに記載のガラス基板装填治具。
【請求項１１】
前記ガラス基板は、磁気記録媒体用ガラス基板である請求項９に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項１】
複数のガラス基板が整列された状態で一枚ずつ収納される複数の収納部を有する収納容器本体の上部開口に装着されるガラス基板装填治具であって、
前記複数の収納部に対向する位置に配され、前記ガラス基板が挿入される複数の挿入部と、
前記複数の挿入部の夫々に設けられ、前記ガラス基板が前記挿入部より前記収納部に挿入される過程で前記ガラス基板の外周縁部に接触すると共に、当該挿入部の一部を塞ぐ二重挿入防止機構と、
を備えたことを特徴とするガラス基板装填治具。
【請求項２】
前記二重挿入防止機構は、
前記複数の挿入部の夫々に設けられ、前記各挿入部の前記ガラス基板の外周縁部が通過する位置に設けられた複数の変位部材を有する請求項１に記載のガラス基板装填治具。
【請求項３】
前記変位部材は、
前記ガラス基板が前記挿入部を通過する際に当該ガラス基板の外周縁部に接触する第１の端部と、
前記ガラス基板の外周縁部が前記第１の端部に接触した後、前記挿入部の一部を塞ぐ位置に変位する第２の端部と、
を有する請求項２に記載のガラス基板装填治具。
【請求項４】
前記変位部材は、
前記挿入部の内部に回動可能に支持され、
前記第１の端部が前記挿入部を通過する前記ガラス基板の外周縁部に接触すると共に、前記第２の端部が前記挿入部の一部を塞ぐ位置に変位するように設けられた請求項３に記載のガラス基板装填治具。
【請求項５】
前記変位部材は、前記挿入部の一部を塞ぐ位置に変位したことを視覚的に表示する表示部を有する請求項２〜４の何れかに記載のガラス基板装填治具。
【請求項６】
前記二重挿入防止機構は、
前記複数の挿入部の夫々に設けられ、前記各挿入部の前記ガラス基板の外周縁部が通過する位置に設けられた複数のスライド部材と、
前記複数のスライド部材の夫々を前記挿入部の一部を塞ぐ位置に付勢する複数の付勢部材と、
前記複数のスライド部材の夫々を前記挿入部から退避した位置に掛止する複数の掛止部材と、
を有する請求項１に記載のガラス基板装填治具。
【請求項７】
前記掛止部材は、前記挿入部の内部に回動可能に支持され、
前記ガラス基板が前記挿入部に挿入される過程で前記ガラス基板の外周縁部に接触する被接触部と、
前記スライド部材を前記挿入部から退避した位置に掛止する掛止部と、を有し、
前記被接触部は、前記挿入部に挿入される前記ガラス基板の外周縁部に接触して下方に押圧されると共に、前記掛止部は前記スライド部材に対する掛止を解除する請求項６に記載のガラス基板装填治具。
【請求項８】
前記スライド部材は、前記挿入部の一部を塞ぐ位置に変位したことを視覚的に表示する表示部を有する請求項６又は７の何れかに記載のガラス基板装填治具。
【請求項９】
板形状を有するガラス基板の形状付与工程と、前記ガラス基板の研磨工程と、前記ガラス基板の洗浄工程と、前記ガラス基板の乾燥工程と、前記ガラス基板の検査工程とを少なくとも有するガラス基板の製造方法において、
複数のガラス基板が整列された状態に収納される複数の収納部、及び当該複数の収納部に連通された上部開口を有する収納容器本体と、
前記収納容器本体の前記上部開口に装着される請求項１〜８の何れかに記載のガラス基板装填治具と、
前記ガラス基板装填治具の挿入部に設けられ、前記ガラス基板が前記挿入部より前記一の収納部に挿入される過程で前記ガラス基板の外周縁部に接触すると共に、前記挿入部の一部を塞ぐ位置に変位する二重挿入防止機構と、を用いることを特徴とするガラス基板の製造方法。
【請求項１０】
前記ガラス基板は、磁気記録媒体用ガラス基板である請求項１〜８の何れかに記載のガラス基板装填治具。
【請求項１１】
前記ガラス基板は、磁気記録媒体用ガラス基板である請求項９に記載のガラス基板の製造方法。
【図１】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図２Ｃ】
【図３Ａ】
【図３Ｂ】
【図４Ａ】
【図４Ｂ】
【図４Ｃ】
【図５】
【図６】
【図７Ａ】
【図７Ｂ】
【図８Ａ】
【図８Ｂ】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図２Ｃ】
【図３Ａ】
【図３Ｂ】
【図４Ａ】
【図４Ｂ】
【図４Ｃ】
【図５】
【図６】
【図７Ａ】
【図７Ｂ】
【図８Ａ】
【図８Ｂ】
【公開番号】特開２０１２−１０１７９９（Ｐ２０１２−１０１７９９Ａ）
【公開日】平成２４年５月３１日（２０１２．５．３１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２４９１０６（Ｐ２０１０−２４９１０６）
【出願日】平成２２年１１月５日（２０１０．１１．５）
【出願人】（０００００００４４）旭硝子株式会社 (2,665)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年５月３１日（２０１２．５．３１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１１月５日（２０１０．１１．５）
【出願人】（０００００００４４）旭硝子株式会社 (2,665)
【Ｆターム（参考）】
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