ナノチューブの熱インターフェース構造
半導体構造の一方の面に配置された電気的及び熱的伝導性層を有する半導体構造と、電気的及び熱的ヒートシンクと、電気的及び熱的キャリヤー層と、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分は電気的及び熱的キャリヤー層の第１表面に配置された近位端を有し、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分は電気的及び熱的キャリヤー層の反対の表面に配置された近位端を有する、複数の電気的及び熱的ナノチューブと、複数の電気的及び熱的ナノチューブの遠位端に配置された複数の電気的及び熱的伝導性チップであって、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分上の複数の電気的及び熱的伝導性チップは電気的及び熱的伝導性層に取り付けられ、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分上の複数の電気的及び熱的伝導性チップは電気的及び熱的ヒートシンクに取り付けられる、複数の電気的及び熱的伝導性チップとを備える構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、概ね、熱インターフェース構造に関し、より具体的には、ナノチューブの熱インターフェース構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
当該技術分野において知られているように、多くのアプリケーションで、例えば、半導体集積回路チップなどのマイクロエレクトロニクスコンポーネントから熱を除去する必要がある。ある熱除去、より一般的には、熱管理技術は、集積回路チップとヒートシンクとの間に配置された熱インターフェース構造の使用を含む。
【０００３】
当該技術分野において知られているように、マイクロエレクトロニクスコンポーネントの増加する電力密度の傾向は、改善された熱管理技術の必要性を促進する。次世代のシリコンとワイドバンドギャップ半導体エレクトロニクスに期待されている０．１−３ｋＷ／ｃｍ２の範囲にある熱流速に関して、インターフェース間での熱抵抗の低減は、デバイス動作温度を低減し、信頼性を確保する上で極めて重要となっている。この研究課題は、熱放散の要件を効果的に管理するために、高度な熱スプレッダー（例えば、ダイヤモンド、ＡＩＮなど）と共に新しい熱インターフェース材料の開発につながった。現時点では、商業的に使用される最高のパフォーマンスを発揮する熱インターフェース材料は、ハンダダイアタッチフィルムの形態である。これらのフィルムは、２０−８６Ｗ／ｍＫの範囲にある熱伝導率を有する。しかしながら、それらは、熱疲労及び老化への影響を受けやすく、常に容易に再生できず、ダイシンニングコンセプトを制限するダイに大きな応力を移動する。
【０００４】
複数のアプローチ及び様々な技術は、過去の研究活動のインターフェース間で熱移動を強化するために評価されている。大規模な実験的な作業は、様々なエポキシ充填材料（すなわち、銀、ダイヤモンド、カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）、カーボンファイバー、２００８年１月８日付で発行された米国特許第７３１６６６１号を参照）で実施されているが、フィラーの大きさ、形状及び体積濃度と共に、充填されたエポキシ樹脂への代替的なアプローチの創造に向かってほんの少しの努力がなされている。ほとんどの先行実験研究は、バルクの熱伝導性の向上に焦点を当て、パーコレーション理論によって導かれた。業界全体の現在の推力は、界面接合部の抵抗、およびこれらのインターフェースが有するパフォーマンスの劇的な減少の理由を理解することである。近年のナノメートルスケールでの熱エネルギー伝達の理解の向上は、技術の進歩の広い範囲を有効にしている。
【０００５】
より具体的には、大規模な実験的なワークは、材料（例えば、銀、ダイヤモンド、ＣＮＴ及び炭素繊維）を充填した粒子、低温はんだ合金及び垂直配向ナノ構造で行われる。ほとんどの先行実験的なワークは、バルクの熱伝導率の改善（E.E. Marotta and L.S. Fletcher, “選択された高分子材料の熱接触コンダクタンス,”J. Thermophys. Hear Transf., vol. 10, no.2 pp.334-342, 1996 参照）に焦点され、パーコレーション理論又はデバイスの基板上にＣＮＴｓ／カーボンナノファイバー（ＣＮＦ）の関係の直接成長によって牽引された。業界全体の現在の推力は、ジョイントで界面抵抗及びこれらのインターフェースが有するパフォーマンスの劇的な減少の理由を理解することである（E.E. Marotta and L.S. Fletcher, “選択された高分子材料の熱接触コンダクタンス,”J. Thermophys. Hear Transf., vol. 10, no.2 pp.334-342, 1996 参照）。
【０００６】
垂直配向ＣＮＴが非常に優れた軸上の熱伝導率を提供するものとしてよく記載されており（D.E. Angelescu, M.C. Cross, and M. L. Roukes, “メゾスコピック系の熱伝達,”Superlatices and Microstructures, vol. 23, P.673, 1998 参照）、しかしながら、多層（ＭＷ）及び単層（ＳＷ）の双方のＣＮＴは、インターフェースのアプリケーションでその可能性に到達する。より理論的な導電性を持ちながら、単層カーボンナノチューブは、その直径（１−２ｎｍ）が最も成長した基板（〜５ｎｍ）の支配的なフォノンの波長よりも小さい（M.S.Dresselhaus, G.Dresselhaus, and P.C.Eklund, フラーレンやカーボンナノチューブの科学, SanDiego,CA: Academic Press, 1996 参照）として垂直配向の配列インターフェースのアプリケーションで問題があり（J. M. Ziman, Electrones and phonons: 固体における伝達現象の理論, Oxford: Clarendon Press, 1962 参照）、界面抵抗を増大させるスケールの不一致誘導反射を生じる。ＭＷＣＮＴアプローチは、機械的安定性と密着性を提供するために、ポリマー（R. Prasher, “Thermal interface materials: Histrical perspective, status, and future directions,”Proceedings of the Ieee, vol.94, pp.1571-1586, August 2006 参照）又は金属フィラー（Chuang, H.F.et al., “Improvement of Thermal Contact Resistance by Carbon Nanotubes and Nanofibers,” Journal of Nanoscience and Nanotechnology, Vol 4, no. 8, pp.964-967, 2004 参照）を利用した。実際の基板に存在するミクロスケールの表面粗さへのフォノンの分散やコンプライアンスの欠如による弾性体の干渉は、これらのアプローチの有効性を制限している。最近、パーデュー大学で合成された両面ＣＮＴ−フォイルガスケットは、適度な圧力の下で〜１０ｍｍ２Ｋ／Ｗの抵抗を示す（B.A. Cola, X.Xu, T.S. Fisher, Applied Physics Leteers 2007, 90, 093513 参照）マイクロ粗面用のインターフェース材料として示された。
関連ワークでは、ＣＮＴの自由端の接触抵抗は、Ｃｕ−ＣＮＴ−Ｓｉインターフェースで全体の抵抗の〜９０％を構成することが示された（J. Xu and T.S. Fisher, “Enhancement of thermal interface materials with carbon nanotube arrays,”International Journal of Heat and Mass Transfer, vol.49, pp.1658-1666, May 2006 参照）。インジウムはんだ合金を使用するＣＮＴ自由端の金属結合（”Indium Assisted Multiwalled Carbon Nanotube Array Thermal Interface Materials”2006 IEEE proceedings 参照）は、乾燥したインターフェース対大きさのオーダーで熱抵抗を軽減することが示された。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
現在採用される熱エポキシに対する効果的な代替となるために、ハイパワー電子デバイスのための代替的な熱インターフェース材料（ＴＩＭ）ソルーションは、デバイスまたはヒートシンクに変更する必要がなく、金属被覆法（metalization）スキームと互換性があり、工場出荷時のリワークを可能にし、ヒートシンクの粗さの程度を許容し、ストレスを生成しないようにデバイスとヒートシンクの間の熱膨張係数（ＣＴＥ）のミスマッチを吸収する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示に従って、半導体構造の一方の面に配置された電気的及び熱的伝導性層を有する半導体構造と、電気的及び熱的キャリヤー層と、電気的及び熱的キャリヤー層に配置された近位端を有する複数の電気的及び熱的ナノチューブと、複数の電気的及び熱的ナノチューブの遠位端に配置され電気的及び熱的伝導性層に取り付けられた複数の電気的及び熱的伝導性チップとを備える構造が提供される。
【０００９】
一実施形態では、複数の電気的及び熱的伝導性の熱伝導性チップは、電気的及び熱的伝導性層に結合される。
【００１０】
一実施形態では、複数の電気的及び熱的伝導性の熱伝導性チップは、電気的及び熱的伝導性層に熱圧着結合される。
【００１１】
一実施形態では、複数の電気的及び熱的伝導性の熱伝導性チップは、金属コーティングを有する。
【００１２】
一実施形態では、複数の電気的及び熱的ナノチューブは、中空である。
【００１３】
一実施形態では、電気的及び熱的キャリヤー層は、グラフェンである。
【００１４】
一実施形態では、電気的及び熱的キャリヤー層は、金属である。
【００１５】
一実施形態では、半導体構造の一方の面に配置された電気的及び熱的伝導性層を有する半導体構造と、電気的及び熱的ヒートシンクと、電気的及び熱的キャリヤー層と、複数の電気的及び熱的ナノチューブであって、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分は電気的及び熱的キャリヤー層の第１表面に配置された近位端を有し、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分は電気的及び熱的キャリヤー層の反対の表面に配置された近位端を有する、複数の電気的及び熱的ナノチューブと、複数の電気的及び熱的ナノチューブの遠位端に配置された複数の電気的及び熱的伝導性チップであって、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分上の複数の電気的及び熱的伝導性チップは電気的及び熱的伝導性層に結合され、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分上の複数の電気的及び熱的伝導性チップは電気的及び熱的ヒートシンクに結合される、複数の電気的及び熱的伝導性チップとを備える構造が提供される。
【００１６】
一実施形態では、方法は、構造を形成するためである。その方法は、半導体構造の一方の面に配置された電気的及び熱的伝導性層を有する半導体構造を提供することと、電気的及び熱的ヒートシンクを提供することと、電気的及び熱的キャリヤー層と、複数の電気的及び熱的ナノチューブであって、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分は電気的及び熱的キャリヤー層の第１表面に配置された近位端を有し、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分は電気的及び熱的キャリヤー層の反対の表面に配置された近位端を有する、複数の電気的及び熱的ナノチューブと、複数の電気的及び熱的ナノチューブの遠位端に配置された複数の熱伝導性チップとを有するユニットを提供することとを備える。その方法は、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分上の複数の熱伝導性チップが電気的及び熱的伝導性層と接触し、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分上の複数の熱伝導性チップが電気的及び熱的ヒートシンクと接触した状態で、提供された電気的及び熱的ヒートシンクと、提供された半導体構造との間に配置された提供されたユニットを有するサンドイッチ構造を提供する。その方法は、（１）複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分上の複数の熱伝導性チップ及び（２）複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分上の複数の熱伝導性チップを、同時に結合するために熱及び圧力をサンドイッチ構造に加える。
【００１７】
プロセスフローは、次の３つの主要なステップである熱伝導性のキャリヤー層（フォイル）上でのＣＮＴの成長、ＣＮＴ端部金属被覆法（metalization）及び低温金属接合に分けることができる。フォイルキャリヤー層は、高い横方向の拡散を提供し、平面の導電性の不十分及びＣＮＴがその完全な可能性を達成するのを事前に防止するＣＮＴ自由端のユーティリゼーションを克服する。個々のＣＮＴを調整するために薄い金属被覆（metalization）を適用することによって、我々は、強固で再加工可能なアッセンブリの金属結合の実証済みの利点を活用する。さらに、界面抵抗の低減のための革新的な技術を開発し、活用することで、我々は境界を越えて熱損失を制限する。
【００１８】
このような構造及び方法を使用して、以下のことが達成される。
【００１９】
１．低温層金属結合材料は、安定性、強度、低接合熱抵抗のために使用される。
【００２０】
２．垂直方向に整合されたＣＮＴフォイルは、コンプライアンス及び横方向の拡散、デバイスのホットスポットの低減及び非接触ＣＮＴを達成するために使用される。
【００２１】
３．ＣＮＴフォイル構造は、半導体とヒートシンクとの間に挟まれ、アプリケーションの時間を最小限にし、再加工可能性を最大にする。
【００２２】
このような構成では、ナノサーマルインターフェースマテリアル（ｎＴＩＭ）は、高性能カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）フォイル（foil）キャリヤーをデバイス及びヒートシンクインターフェースに取り付けるために金属結合材を使用する。これは、薄い金属結合及びフォイル上で成長した多壁カーボンナノチューブ（ＮＷＣＮＴ）配列の最適化を通じて接合抵抗を最小限にし、半導体デバイス又はヒートシンクのどちらかへの変更を必要としない“ドロップイン（drop-in）”ＴＩＭのソリューションを提供する。ＣＮＴフォイル介在物（interposers）は、フォイル及びＣＮＴ変形の双方によって微小に粗いヒートシンク表面に応じる。これは、ＣＮＴアレイ上の制約を削除し、最大性能を得ることができる。界面抵抗は、さらに、結合されたＣＮＴ自由端部、及び、フォイルの横方向の拡散を通じて与えられた効率的な磁束分布の、最大活用によって最小化される。Ａｕなどの薄くて安定した金属結合材料は、安定性を最大化し、アプリケーションの温度及び圧力を最小にするために使用される。結合の厚みは、電子ビーム蒸着を介して接合する前に、ＣＮＴチップの金属被覆法（metalization）によって最小化される。本開示の他の特徴、目的、および利点は、説明及び図面からおよび特許請求の範囲から明らかであろう。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】図１は、熱源で発生した熱をヒートシンクに伝達するのに使用され及び熱源が開示に係る集積回路の場合に、必要に応じてヒートシンクに熱源間の電気的連続を提供するために使用される構造の概略図である。
【図２Ａ】図２Ａは、それの組み立ての第１段階における図１の構造の概略を示す。
【図２Ｂ】図２Ｂは、それの組み立ての後段階における図１の構造の概略を示す。
【図３Ａ】図３Ａは、図１の構造の様々に示された拡大上部部分及び下部部分の概略図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、図１の構造の様々に示された拡大上部部分及び下部部分の概略図である。
【図３Ｃ】図３Ｃは、図１の構造の様々に示された拡大上部部分及び下部部分の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
図１を参照すると、構造１０は、チップ１２の底面に、例えばＴｉ／Ａｕ又はＷ／Ａｕなどの熱的及び電気的伝導性材料である金属グランド平面導体層１３を有するモノリシックマイクロ波集積回路（ＭＭＩＣ）１２である熱源１２で発生した熱を、例えば、ヒートシンク１４の上面の、例えば層１３と同じ材料の導電層１５に伝達するのに使用される。構造１０は、（好ましくは、純粋なグラフェン膜、織り合わせたＣＮＴ膜及び剥離グラファイトペーパーなどのグラフェンやグラフェン系材料である銅又はアルミニウムなどの）高い横方向の熱拡散特性を有する電気的及び熱的伝導性キャリヤー層１６を含む。キャリヤー層１６は、その上面及び下面に直接的に成長した、マイクロ波プラズマ化学蒸着法または熱化学蒸着を使用して、複数の概ね垂直に延びる中空ナノチューブ１８を有する。
【００２５】
ナノチューブ１８及びキャリヤー層１６は、図２Ａにより明白に示された介在構造１９を提供する。ナノチューブ１８は、キャリヤー層１６上に配置された近位端に形成されると共に、図２Ｂにより明白に示されるように例えばナノチューブ１８の遠位端に配置された層状のＴｉ／Ａｕ又はＷ／Ａｕなどの電子ビーム蒸発材料の複数の熱伝導性チップ２０に形成される。ナノチューブ１８は、カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）である。ナノチューブとキャリヤー構造との間の異種のインターフェースは、ナノチューブの接触外形の操作及び／又はナノチューブ材料特性の変更によって境界を越えて熱抵抗を最小限に抑えるために設計されている。
【００２６】
フォイル１６上のＣＮＴ１８の統合体は、以下の重要な利点がある。ＣＮＴ１８は、介在キャリヤー１６（金属及びグラフェン系）ホイル上に直接的に成長されると共に、アッセンブリ１９は除去されて同じヒートシンクに再挿入されるため、本質的に再加工可能である。高いせん断強度、及び直接統合時に形成された化学結合によるＣＮＴフィルム／基板インターフェースでの熱伝導率。ホイル及びグラフェン介在材料は、デバイスから個々に作られ、低温及び圧力を使用してヒートシンクと半導体との間に組み立てられるので、非常に低いアプリケーション時間。
【００２７】
図２Ａに示されるように、介在キャリヤー１６上のＣＮＴ１８の製造に続いて、ＣＮＴ１８の端部は、上述のように電子ビーム蒸発を使用して例えば３０／１０００ｎｍのＴｉ／Ａｕ又はＷ／Ａｕのチップ２０（図２Ｂ）の非常に薄い層で金属化される。熱圧着が行われてこれらのチップがＩＩＩ−Ｖ半導体又はＣｕＭｏ合金などの基質（すなわち、熱源１２及びヒートシンク１４、図１）と反応することを許容し、それによって、ＣＮＴ基板界面で薄いが効果的な結合を形成する。
【００２８】
より具体的には、金属結合のアプローチは、従来のＣＮＴ／ＴＩＭアプローチ：アタッチメント表面での高い界面抵抗を悩ませている他の課題を解決する。ＣＮＴチップは、従来の半導体ダイ及びヒートスプレッダーの金属被覆（metalization）に安定した金属結合を形成することに使用される。
【００２９】
チップ２０に対して使用される金属の例は、ＣＮＴを金属化ＳｉＣ及びＣｕＭｏ合金表面に結合するためのＴｉ／Ａｕを含む。上述の材料システムは、１７０℃以下の温度で処理されることができ、界面抵抗の減少及び機械的及び熱特性の長期安定性を提供するために本質的に安定している。そのアプローチは、１）ＣＮＴ自由端の接触抵抗の低減による熱抵抗、２）独立しているＣＮＴフォイルの介在構造の低温熱圧縮による再加工及び加工温度、３）本質的に安定した均質な薄い金属結合層の使用による安定性及び温度サイクル、を扱う。
【００３０】
次に、図３Ａ及び３Ｂに示されるように、上記構造（すなわち、例えば、Ａｕ（図３Ａ及び３Ｂ）の結合層２２によって囲まれた例えばＷ又はＴｉの接着層２６を含むチップ２０（図２Ｂ）を有する介在物１９、図２Ａ）は、挟まれた構造で互いに保持され、コーティングされた上チップ２０は、コーティングされた下チップ２０が接着金属層１５ａ及び結合層１５ｂを有する層１５に結合されると同時に層１３に熱圧着される。熱圧着プロセスは、半導体デバイスを妨げないように低い処理温度と圧力（すなわち、摂氏１７０度未満及び２．１０９７６５５１６Ｋｇｆ／ｃｍ２（３０ｐｓｉ））を使用する。ここで、結合は、デバイス及びＷ又はＴｉなどの接着金属層１５ａ及びＡｕなどの結合層１５ｂから構成されたヒートシンクに同じ金属被覆（metalization）固有を有する。
【００３１】
熱圧着は、炉内のサンドイッチ構造を加熱し、万力又はクランプなどで圧力をＭＭＩＣ１２及びヒートシンク１４にかけることによって、あるいは、結合界面への熱の伝導に依存しながらＭＭＩＣ１２の上部及びヒートシンク１４の底部に熱を加えることによって行われる。結局、チップ２０の上部分と層１３との間に及びチップ２０の低部分と層１５との間に物理的結合がある。
【００３２】
図１に示された結果として得られる構造は、図３Ａに矢印によって示されたヒートシンク１４まで移動するためにＭＭＩＣ１２で発生された熱のための熱通路を提供し、また、グランド平面層１３と導電性ヒートシンク１４との間に電気的な通路を提供する。従って、ヒートシンク１４を接地することで、ＭＭＩＣ１２のグランド平面層１３も接地されることになる。
【００３３】
本開示の多くの実施形態が記載された。それにもかかわらず、様々な変形が、開示の精神及び範囲から逸脱しないでなされることを理解されるであろう。従って、他の実施形態は、以下の特許請求の範囲内にある。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、概ね、熱インターフェース構造に関し、より具体的には、ナノチューブの熱インターフェース構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
当該技術分野において知られているように、多くのアプリケーションで、例えば、半導体集積回路チップなどのマイクロエレクトロニクスコンポーネントから熱を除去する必要がある。ある熱除去、より一般的には、熱管理技術は、集積回路チップとヒートシンクとの間に配置された熱インターフェース構造の使用を含む。
【０００３】
当該技術分野において知られているように、マイクロエレクトロニクスコンポーネントの増加する電力密度の傾向は、改善された熱管理技術の必要性を促進する。次世代のシリコンとワイドバンドギャップ半導体エレクトロニクスに期待されている０．１−３ｋＷ／ｃｍ２の範囲にある熱流速に関して、インターフェース間での熱抵抗の低減は、デバイス動作温度を低減し、信頼性を確保する上で極めて重要となっている。この研究課題は、熱放散の要件を効果的に管理するために、高度な熱スプレッダー（例えば、ダイヤモンド、ＡＩＮなど）と共に新しい熱インターフェース材料の開発につながった。現時点では、商業的に使用される最高のパフォーマンスを発揮する熱インターフェース材料は、ハンダダイアタッチフィルムの形態である。これらのフィルムは、２０−８６Ｗ／ｍＫの範囲にある熱伝導率を有する。しかしながら、それらは、熱疲労及び老化への影響を受けやすく、常に容易に再生できず、ダイシンニングコンセプトを制限するダイに大きな応力を移動する。
【０００４】
複数のアプローチ及び様々な技術は、過去の研究活動のインターフェース間で熱移動を強化するために評価されている。大規模な実験的な作業は、様々なエポキシ充填材料（すなわち、銀、ダイヤモンド、カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）、カーボンファイバー、２００８年１月８日付で発行された米国特許第７３１６６６１号を参照）で実施されているが、フィラーの大きさ、形状及び体積濃度と共に、充填されたエポキシ樹脂への代替的なアプローチの創造に向かってほんの少しの努力がなされている。ほとんどの先行実験研究は、バルクの熱伝導性の向上に焦点を当て、パーコレーション理論によって導かれた。業界全体の現在の推力は、界面接合部の抵抗、およびこれらのインターフェースが有するパフォーマンスの劇的な減少の理由を理解することである。近年のナノメートルスケールでの熱エネルギー伝達の理解の向上は、技術の進歩の広い範囲を有効にしている。
【０００５】
より具体的には、大規模な実験的なワークは、材料（例えば、銀、ダイヤモンド、ＣＮＴ及び炭素繊維）を充填した粒子、低温はんだ合金及び垂直配向ナノ構造で行われる。ほとんどの先行実験的なワークは、バルクの熱伝導率の改善（E.E. Marotta and L.S. Fletcher, “選択された高分子材料の熱接触コンダクタンス,”J. Thermophys. Hear Transf., vol. 10, no.2 pp.334-342, 1996 参照）に焦点され、パーコレーション理論又はデバイスの基板上にＣＮＴｓ／カーボンナノファイバー（ＣＮＦ）の関係の直接成長によって牽引された。業界全体の現在の推力は、ジョイントで界面抵抗及びこれらのインターフェースが有するパフォーマンスの劇的な減少の理由を理解することである（E.E. Marotta and L.S. Fletcher, “選択された高分子材料の熱接触コンダクタンス,”J. Thermophys. Hear Transf., vol. 10, no.2 pp.334-342, 1996 参照）。
【０００６】
垂直配向ＣＮＴが非常に優れた軸上の熱伝導率を提供するものとしてよく記載されており（D.E. Angelescu, M.C. Cross, and M. L. Roukes, “メゾスコピック系の熱伝達,”Superlatices and Microstructures, vol. 23, P.673, 1998 参照）、しかしながら、多層（ＭＷ）及び単層（ＳＷ）の双方のＣＮＴは、インターフェースのアプリケーションでその可能性に到達する。より理論的な導電性を持ちながら、単層カーボンナノチューブは、その直径（１−２ｎｍ）が最も成長した基板（〜５ｎｍ）の支配的なフォノンの波長よりも小さい（M.S.Dresselhaus, G.Dresselhaus, and P.C.Eklund, フラーレンやカーボンナノチューブの科学, SanDiego,CA: Academic Press, 1996 参照）として垂直配向の配列インターフェースのアプリケーションで問題があり（J. M. Ziman, Electrones and phonons: 固体における伝達現象の理論, Oxford: Clarendon Press, 1962 参照）、界面抵抗を増大させるスケールの不一致誘導反射を生じる。ＭＷＣＮＴアプローチは、機械的安定性と密着性を提供するために、ポリマー（R. Prasher, “Thermal interface materials: Histrical perspective, status, and future directions,”Proceedings of the Ieee, vol.94, pp.1571-1586, August 2006 参照）又は金属フィラー（Chuang, H.F.et al., “Improvement of Thermal Contact Resistance by Carbon Nanotubes and Nanofibers,” Journal of Nanoscience and Nanotechnology, Vol 4, no. 8, pp.964-967, 2004 参照）を利用した。実際の基板に存在するミクロスケールの表面粗さへのフォノンの分散やコンプライアンスの欠如による弾性体の干渉は、これらのアプローチの有効性を制限している。最近、パーデュー大学で合成された両面ＣＮＴ−フォイルガスケットは、適度な圧力の下で〜１０ｍｍ２Ｋ／Ｗの抵抗を示す（B.A. Cola, X.Xu, T.S. Fisher, Applied Physics Leteers 2007, 90, 093513 参照）マイクロ粗面用のインターフェース材料として示された。
関連ワークでは、ＣＮＴの自由端の接触抵抗は、Ｃｕ−ＣＮＴ−Ｓｉインターフェースで全体の抵抗の〜９０％を構成することが示された（J. Xu and T.S. Fisher, “Enhancement of thermal interface materials with carbon nanotube arrays,”International Journal of Heat and Mass Transfer, vol.49, pp.1658-1666, May 2006 参照）。インジウムはんだ合金を使用するＣＮＴ自由端の金属結合（”Indium Assisted Multiwalled Carbon Nanotube Array Thermal Interface Materials”2006 IEEE proceedings 参照）は、乾燥したインターフェース対大きさのオーダーで熱抵抗を軽減することが示された。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
現在採用される熱エポキシに対する効果的な代替となるために、ハイパワー電子デバイスのための代替的な熱インターフェース材料（ＴＩＭ）ソルーションは、デバイスまたはヒートシンクに変更する必要がなく、金属被覆法（metalization）スキームと互換性があり、工場出荷時のリワークを可能にし、ヒートシンクの粗さの程度を許容し、ストレスを生成しないようにデバイスとヒートシンクの間の熱膨張係数（ＣＴＥ）のミスマッチを吸収する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示に従って、半導体構造の一方の面に配置された電気的及び熱的伝導性層を有する半導体構造と、電気的及び熱的キャリヤー層と、電気的及び熱的キャリヤー層に配置された近位端を有する複数の電気的及び熱的ナノチューブと、複数の電気的及び熱的ナノチューブの遠位端に配置され電気的及び熱的伝導性層に取り付けられた複数の電気的及び熱的伝導性チップとを備える構造が提供される。
【０００９】
一実施形態では、複数の電気的及び熱的伝導性の熱伝導性チップは、電気的及び熱的伝導性層に結合される。
【００１０】
一実施形態では、複数の電気的及び熱的伝導性の熱伝導性チップは、電気的及び熱的伝導性層に熱圧着結合される。
【００１１】
一実施形態では、複数の電気的及び熱的伝導性の熱伝導性チップは、金属コーティングを有する。
【００１２】
一実施形態では、複数の電気的及び熱的ナノチューブは、中空である。
【００１３】
一実施形態では、電気的及び熱的キャリヤー層は、グラフェンである。
【００１４】
一実施形態では、電気的及び熱的キャリヤー層は、金属である。
【００１５】
一実施形態では、半導体構造の一方の面に配置された電気的及び熱的伝導性層を有する半導体構造と、電気的及び熱的ヒートシンクと、電気的及び熱的キャリヤー層と、複数の電気的及び熱的ナノチューブであって、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分は電気的及び熱的キャリヤー層の第１表面に配置された近位端を有し、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分は電気的及び熱的キャリヤー層の反対の表面に配置された近位端を有する、複数の電気的及び熱的ナノチューブと、複数の電気的及び熱的ナノチューブの遠位端に配置された複数の電気的及び熱的伝導性チップであって、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分上の複数の電気的及び熱的伝導性チップは電気的及び熱的伝導性層に結合され、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分上の複数の電気的及び熱的伝導性チップは電気的及び熱的ヒートシンクに結合される、複数の電気的及び熱的伝導性チップとを備える構造が提供される。
【００１６】
一実施形態では、方法は、構造を形成するためである。その方法は、半導体構造の一方の面に配置された電気的及び熱的伝導性層を有する半導体構造を提供することと、電気的及び熱的ヒートシンクを提供することと、電気的及び熱的キャリヤー層と、複数の電気的及び熱的ナノチューブであって、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分は電気的及び熱的キャリヤー層の第１表面に配置された近位端を有し、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分は電気的及び熱的キャリヤー層の反対の表面に配置された近位端を有する、複数の電気的及び熱的ナノチューブと、複数の電気的及び熱的ナノチューブの遠位端に配置された複数の熱伝導性チップとを有するユニットを提供することとを備える。その方法は、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分上の複数の熱伝導性チップが電気的及び熱的伝導性層と接触し、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分上の複数の熱伝導性チップが電気的及び熱的ヒートシンクと接触した状態で、提供された電気的及び熱的ヒートシンクと、提供された半導体構造との間に配置された提供されたユニットを有するサンドイッチ構造を提供する。その方法は、（１）複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分上の複数の熱伝導性チップ及び（２）複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分上の複数の熱伝導性チップを、同時に結合するために熱及び圧力をサンドイッチ構造に加える。
【００１７】
プロセスフローは、次の３つの主要なステップである熱伝導性のキャリヤー層（フォイル）上でのＣＮＴの成長、ＣＮＴ端部金属被覆法（metalization）及び低温金属接合に分けることができる。フォイルキャリヤー層は、高い横方向の拡散を提供し、平面の導電性の不十分及びＣＮＴがその完全な可能性を達成するのを事前に防止するＣＮＴ自由端のユーティリゼーションを克服する。個々のＣＮＴを調整するために薄い金属被覆（metalization）を適用することによって、我々は、強固で再加工可能なアッセンブリの金属結合の実証済みの利点を活用する。さらに、界面抵抗の低減のための革新的な技術を開発し、活用することで、我々は境界を越えて熱損失を制限する。
【００１８】
このような構造及び方法を使用して、以下のことが達成される。
【００１９】
１．低温層金属結合材料は、安定性、強度、低接合熱抵抗のために使用される。
【００２０】
２．垂直方向に整合されたＣＮＴフォイルは、コンプライアンス及び横方向の拡散、デバイスのホットスポットの低減及び非接触ＣＮＴを達成するために使用される。
【００２１】
３．ＣＮＴフォイル構造は、半導体とヒートシンクとの間に挟まれ、アプリケーションの時間を最小限にし、再加工可能性を最大にする。
【００２２】
このような構成では、ナノサーマルインターフェースマテリアル（ｎＴＩＭ）は、高性能カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）フォイル（foil）キャリヤーをデバイス及びヒートシンクインターフェースに取り付けるために金属結合材を使用する。これは、薄い金属結合及びフォイル上で成長した多壁カーボンナノチューブ（ＮＷＣＮＴ）配列の最適化を通じて接合抵抗を最小限にし、半導体デバイス又はヒートシンクのどちらかへの変更を必要としない“ドロップイン（drop-in）”ＴＩＭのソリューションを提供する。ＣＮＴフォイル介在物（interposers）は、フォイル及びＣＮＴ変形の双方によって微小に粗いヒートシンク表面に応じる。これは、ＣＮＴアレイ上の制約を削除し、最大性能を得ることができる。界面抵抗は、さらに、結合されたＣＮＴ自由端部、及び、フォイルの横方向の拡散を通じて与えられた効率的な磁束分布の、最大活用によって最小化される。Ａｕなどの薄くて安定した金属結合材料は、安定性を最大化し、アプリケーションの温度及び圧力を最小にするために使用される。結合の厚みは、電子ビーム蒸着を介して接合する前に、ＣＮＴチップの金属被覆法（metalization）によって最小化される。本開示の他の特徴、目的、および利点は、説明及び図面からおよび特許請求の範囲から明らかであろう。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】図１は、熱源で発生した熱をヒートシンクに伝達するのに使用され及び熱源が開示に係る集積回路の場合に、必要に応じてヒートシンクに熱源間の電気的連続を提供するために使用される構造の概略図である。
【図２Ａ】図２Ａは、それの組み立ての第１段階における図１の構造の概略を示す。
【図２Ｂ】図２Ｂは、それの組み立ての後段階における図１の構造の概略を示す。
【図３Ａ】図３Ａは、図１の構造の様々に示された拡大上部部分及び下部部分の概略図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、図１の構造の様々に示された拡大上部部分及び下部部分の概略図である。
【図３Ｃ】図３Ｃは、図１の構造の様々に示された拡大上部部分及び下部部分の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
図１を参照すると、構造１０は、チップ１２の底面に、例えばＴｉ／Ａｕ又はＷ／Ａｕなどの熱的及び電気的伝導性材料である金属グランド平面導体層１３を有するモノリシックマイクロ波集積回路（ＭＭＩＣ）１２である熱源１２で発生した熱を、例えば、ヒートシンク１４の上面の、例えば層１３と同じ材料の導電層１５に伝達するのに使用される。構造１０は、（好ましくは、純粋なグラフェン膜、織り合わせたＣＮＴ膜及び剥離グラファイトペーパーなどのグラフェンやグラフェン系材料である銅又はアルミニウムなどの）高い横方向の熱拡散特性を有する電気的及び熱的伝導性キャリヤー層１６を含む。キャリヤー層１６は、その上面及び下面に直接的に成長した、マイクロ波プラズマ化学蒸着法または熱化学蒸着を使用して、複数の概ね垂直に延びる中空ナノチューブ１８を有する。
【００２５】
ナノチューブ１８及びキャリヤー層１６は、図２Ａにより明白に示された介在構造１９を提供する。ナノチューブ１８は、キャリヤー層１６上に配置された近位端に形成されると共に、図２Ｂにより明白に示されるように例えばナノチューブ１８の遠位端に配置された層状のＴｉ／Ａｕ又はＷ／Ａｕなどの電子ビーム蒸発材料の複数の熱伝導性チップ２０に形成される。ナノチューブ１８は、カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）である。ナノチューブとキャリヤー構造との間の異種のインターフェースは、ナノチューブの接触外形の操作及び／又はナノチューブ材料特性の変更によって境界を越えて熱抵抗を最小限に抑えるために設計されている。
【００２６】
フォイル１６上のＣＮＴ１８の統合体は、以下の重要な利点がある。ＣＮＴ１８は、介在キャリヤー１６（金属及びグラフェン系）ホイル上に直接的に成長されると共に、アッセンブリ１９は除去されて同じヒートシンクに再挿入されるため、本質的に再加工可能である。高いせん断強度、及び直接統合時に形成された化学結合によるＣＮＴフィルム／基板インターフェースでの熱伝導率。ホイル及びグラフェン介在材料は、デバイスから個々に作られ、低温及び圧力を使用してヒートシンクと半導体との間に組み立てられるので、非常に低いアプリケーション時間。
【００２７】
図２Ａに示されるように、介在キャリヤー１６上のＣＮＴ１８の製造に続いて、ＣＮＴ１８の端部は、上述のように電子ビーム蒸発を使用して例えば３０／１０００ｎｍのＴｉ／Ａｕ又はＷ／Ａｕのチップ２０（図２Ｂ）の非常に薄い層で金属化される。熱圧着が行われてこれらのチップがＩＩＩ−Ｖ半導体又はＣｕＭｏ合金などの基質（すなわち、熱源１２及びヒートシンク１４、図１）と反応することを許容し、それによって、ＣＮＴ基板界面で薄いが効果的な結合を形成する。
【００２８】
より具体的には、金属結合のアプローチは、従来のＣＮＴ／ＴＩＭアプローチ：アタッチメント表面での高い界面抵抗を悩ませている他の課題を解決する。ＣＮＴチップは、従来の半導体ダイ及びヒートスプレッダーの金属被覆（metalization）に安定した金属結合を形成することに使用される。
【００２９】
チップ２０に対して使用される金属の例は、ＣＮＴを金属化ＳｉＣ及びＣｕＭｏ合金表面に結合するためのＴｉ／Ａｕを含む。上述の材料システムは、１７０℃以下の温度で処理されることができ、界面抵抗の減少及び機械的及び熱特性の長期安定性を提供するために本質的に安定している。そのアプローチは、１）ＣＮＴ自由端の接触抵抗の低減による熱抵抗、２）独立しているＣＮＴフォイルの介在構造の低温熱圧縮による再加工及び加工温度、３）本質的に安定した均質な薄い金属結合層の使用による安定性及び温度サイクル、を扱う。
【００３０】
次に、図３Ａ及び３Ｂに示されるように、上記構造（すなわち、例えば、Ａｕ（図３Ａ及び３Ｂ）の結合層２２によって囲まれた例えばＷ又はＴｉの接着層２６を含むチップ２０（図２Ｂ）を有する介在物１９、図２Ａ）は、挟まれた構造で互いに保持され、コーティングされた上チップ２０は、コーティングされた下チップ２０が接着金属層１５ａ及び結合層１５ｂを有する層１５に結合されると同時に層１３に熱圧着される。熱圧着プロセスは、半導体デバイスを妨げないように低い処理温度と圧力（すなわち、摂氏１７０度未満及び２．１０９７６５５１６Ｋｇｆ／ｃｍ２（３０ｐｓｉ））を使用する。ここで、結合は、デバイス及びＷ又はＴｉなどの接着金属層１５ａ及びＡｕなどの結合層１５ｂから構成されたヒートシンクに同じ金属被覆（metalization）固有を有する。
【００３１】
熱圧着は、炉内のサンドイッチ構造を加熱し、万力又はクランプなどで圧力をＭＭＩＣ１２及びヒートシンク１４にかけることによって、あるいは、結合界面への熱の伝導に依存しながらＭＭＩＣ１２の上部及びヒートシンク１４の底部に熱を加えることによって行われる。結局、チップ２０の上部分と層１３との間に及びチップ２０の低部分と層１５との間に物理的結合がある。
【００３２】
図１に示された結果として得られる構造は、図３Ａに矢印によって示されたヒートシンク１４まで移動するためにＭＭＩＣ１２で発生された熱のための熱通路を提供し、また、グランド平面層１３と導電性ヒートシンク１４との間に電気的な通路を提供する。従って、ヒートシンク１４を接地することで、ＭＭＩＣ１２のグランド平面層１３も接地されることになる。
【００３３】
本開示の多くの実施形態が記載された。それにもかかわらず、様々な変形が、開示の精神及び範囲から逸脱しないでなされることを理解されるであろう。従って、他の実施形態は、以下の特許請求の範囲内にある。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
構造であって、
半導体構造の一方の面に配置された電気的及び熱的伝導性層を有する半導体構造と、
電気的及び熱的キャリヤー層と、
キャリヤー層に配置された近位端部を有する複数の電気的及び熱的伝導性の熱伝導性チップとを備え、
複数の電気的及び熱的伝導性の熱伝導性チップは、電気的及び熱的伝導性層に取り付けられる構造。
【請求項２】
請求項１記載の構造において、
複数の電気的及び熱的伝導性の熱伝導性チップは、電気的及び熱的伝導性層に結合される構造。
【請求項３】
請求項１記載の構造において、
複数の電気的及び熱的伝導性の熱伝導性チップは、電気的及び熱的伝導性層に熱圧着結合される構造。
【請求項４】
請求項１記載の構造において、
電気的及び熱的キャリヤー層は、グラフェンである構造。
【請求項５】
請求項１記載の構造において、
電気的及び熱的キャリヤー層は、金属である構造。
【請求項６】
請求項２記載の構造において、
複数の電気的及び熱的伝導性の熱伝導性チップは、金属コーティングを有する構造。
【請求項７】
構造であって、
半導体構造の一方の面に配置された電気的及び熱的伝導性層を有する半導体構造と、
電気的及び熱的ヒートシンクと、
電気的及び熱的キャリヤー層と、
複数の電気的及び熱的ナノチューブであって、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分は電気的及び熱的キャリヤー層の第１表面に配置された近位端を有し、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分は電気的及び熱的キャリヤー層の反対の表面に配置された近位端を有する、複数の電気的及び熱的ナノチューブと、
複数の電気的及び熱的ナノチューブの遠位端に配置された複数の電気的及び熱的伝導性チップであって、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分上の複数の電気的及び熱的伝導性チップは電気的及び熱的伝導性層に取り付けられ、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分上の複数の電気的及び熱的伝導性チップは電気的及び熱的ヒートシンクに取り付けられる、複数の電気的及び熱的伝導性チップとを備える構造。
【請求項８】
請求項７記載の構造において、
複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分上の複数の電気的及び熱的伝導性チップは電気的及び熱的伝導性層に結合され、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分上の複数の電気的及び熱的伝導性チップは電気的及び熱的ヒートシンクに結合される構造。
【請求項９】
請求項７記載の構造において、
複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分上の複数の電気的及び熱的伝導性チップは電気的及び熱的伝導性層に熱圧着結合され、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分上の複数の電気的及び熱的伝導性チップは電気的及び熱的ヒートシンクに熱圧着結合される構造。
【請求項１０】
請求項７記載の構造において、
電気的及び熱的キャリヤー層は、グラフェンである構造。
【請求項１１】
請求項７記載の構造において、
電気的及び熱的キャリヤー層は、金属である構造。
【請求項１２】
構造を形成する方法であって、
半導体構造の一方の面に配置された電気的及び熱的伝導性層を有する半導体構造を提供することと、
電気的及び熱的ヒートシンクを提供することと、
電気的及び熱的キャリヤー層と、複数の電気的及び熱的ナノチューブであって、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分は電気的及び熱的キャリヤー層の第１表面に配置された近位端を有し、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分は電気的及び熱的キャリヤー層の反対の表面に配置された近位端を有する、複数の電気的及び熱的ナノチューブと、複数の電気的及び熱的ナノチューブの遠位端に配置された複数の熱伝導性チップとを有するユニットを提供することと、
複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分上の複数の熱伝導性チップが電気的及び熱的伝導性層と接触し、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分上の複数の熱伝導性チップが電気的及び熱的ヒートシンクと接触した状態で、提供された電気的及び熱的ヒートシンクと、提供された半導体構造との間に配置された提供されたユニットを有するサンドイッチ構造を提供することと、
（１）複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分上の複数の熱伝導性チップ及び（２）複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分上の複数の熱伝導性チップを、同時に結合するために熱をサンドイッチ構造に加えることと、を備える方法。
【請求項１３】
請求項１２記載の方法において、
結合する前に金属コーティングを有する複数の熱伝導性チップを提供することを含む方法。
【請求項１４】
請求項１２記載の方法において、
（１）複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分上の複数の熱伝導性チップ及び（２）複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分上の複数の熱伝導性チップを、同時に結合するために、熱及び圧力熱をサンドイッチ構造に提供することを含む方法。
【請求項１５】
請求項１４記載の方法において、
結合する前に金属コーティングを有する複数の熱伝導性チップを提供することを含む方法。
【請求項１】
構造であって、
半導体構造の一方の面に配置された電気的及び熱的伝導性層を有する半導体構造と、
電気的及び熱的キャリヤー層と、
キャリヤー層に配置された近位端部を有する複数の電気的及び熱的伝導性の熱伝導性チップとを備え、
複数の電気的及び熱的伝導性の熱伝導性チップは、電気的及び熱的伝導性層に取り付けられる構造。
【請求項２】
請求項１記載の構造において、
複数の電気的及び熱的伝導性の熱伝導性チップは、電気的及び熱的伝導性層に結合される構造。
【請求項３】
請求項１記載の構造において、
複数の電気的及び熱的伝導性の熱伝導性チップは、電気的及び熱的伝導性層に熱圧着結合される構造。
【請求項４】
請求項１記載の構造において、
電気的及び熱的キャリヤー層は、グラフェンである構造。
【請求項５】
請求項１記載の構造において、
電気的及び熱的キャリヤー層は、金属である構造。
【請求項６】
請求項２記載の構造において、
複数の電気的及び熱的伝導性の熱伝導性チップは、金属コーティングを有する構造。
【請求項７】
構造であって、
半導体構造の一方の面に配置された電気的及び熱的伝導性層を有する半導体構造と、
電気的及び熱的ヒートシンクと、
電気的及び熱的キャリヤー層と、
複数の電気的及び熱的ナノチューブであって、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分は電気的及び熱的キャリヤー層の第１表面に配置された近位端を有し、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分は電気的及び熱的キャリヤー層の反対の表面に配置された近位端を有する、複数の電気的及び熱的ナノチューブと、
複数の電気的及び熱的ナノチューブの遠位端に配置された複数の電気的及び熱的伝導性チップであって、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分上の複数の電気的及び熱的伝導性チップは電気的及び熱的伝導性層に取り付けられ、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分上の複数の電気的及び熱的伝導性チップは電気的及び熱的ヒートシンクに取り付けられる、複数の電気的及び熱的伝導性チップとを備える構造。
【請求項８】
請求項７記載の構造において、
複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分上の複数の電気的及び熱的伝導性チップは電気的及び熱的伝導性層に結合され、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分上の複数の電気的及び熱的伝導性チップは電気的及び熱的ヒートシンクに結合される構造。
【請求項９】
請求項７記載の構造において、
複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分上の複数の電気的及び熱的伝導性チップは電気的及び熱的伝導性層に熱圧着結合され、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分上の複数の電気的及び熱的伝導性チップは電気的及び熱的ヒートシンクに熱圧着結合される構造。
【請求項１０】
請求項７記載の構造において、
電気的及び熱的キャリヤー層は、グラフェンである構造。
【請求項１１】
請求項７記載の構造において、
電気的及び熱的キャリヤー層は、金属である構造。
【請求項１２】
構造を形成する方法であって、
半導体構造の一方の面に配置された電気的及び熱的伝導性層を有する半導体構造を提供することと、
電気的及び熱的ヒートシンクを提供することと、
電気的及び熱的キャリヤー層と、複数の電気的及び熱的ナノチューブであって、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分は電気的及び熱的キャリヤー層の第１表面に配置された近位端を有し、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分は電気的及び熱的キャリヤー層の反対の表面に配置された近位端を有する、複数の電気的及び熱的ナノチューブと、複数の電気的及び熱的ナノチューブの遠位端に配置された複数の熱伝導性チップとを有するユニットを提供することと、
複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分上の複数の熱伝導性チップが電気的及び熱的伝導性層と接触し、複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分上の複数の熱伝導性チップが電気的及び熱的ヒートシンクと接触した状態で、提供された電気的及び熱的ヒートシンクと、提供された半導体構造との間に配置された提供されたユニットを有するサンドイッチ構造を提供することと、
（１）複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分上の複数の熱伝導性チップ及び（２）複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分上の複数の熱伝導性チップを、同時に結合するために熱をサンドイッチ構造に加えることと、を備える方法。
【請求項１３】
請求項１２記載の方法において、
結合する前に金属コーティングを有する複数の熱伝導性チップを提供することを含む方法。
【請求項１４】
請求項１２記載の方法において、
（１）複数の電気的及び熱的ナノチューブの第１部分上の複数の熱伝導性チップ及び（２）複数の電気的及び熱的ナノチューブの第２部分上の複数の熱伝導性チップを、同時に結合するために、熱及び圧力熱をサンドイッチ構造に提供することを含む方法。
【請求項１５】
請求項１４記載の方法において、
結合する前に金属コーティングを有する複数の熱伝導性チップを提供することを含む方法。
【図１】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図３Ａ】
【図３Ｂ】
【図３Ｃ】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図３Ａ】
【図３Ｂ】
【図３Ｃ】
【公表番号】特表２０１３−５０１３７９（Ｐ２０１３−５０１３７９Ａ）
【公表日】平成２５年１月１０日（２０１３．１．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１２−５２３６４６（Ｐ２０１２−５２３６４６）
【出願日】平成２２年７月２８日（２０１０．７．２８）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＵＳ２０１０／０４３４５５
【国際公開番号】ＷＯ２０１１／０１７１３６
【国際公開日】平成２３年２月１０日（２０１１．２．１０）
【出願人】（５０３４５５３６３）レイセオン カンパニー (244)
【Ｆターム（参考）】
【公表日】平成２５年１月１０日（２０１３．１．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年７月２８日（２０１０．７．２８）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＵＳ２０１０／０４３４５５
【国際公開番号】ＷＯ２０１１／０１７１３６
【国際公開日】平成２３年２月１０日（２０１１．２．１０）
【出願人】（５０３４５５３６３）レイセオン カンパニー (244)
【Ｆターム（参考）】
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