プラズマディスプレイパネル及びその製造方法、並びに、プラズマディスプレイ装置及びその製造方法
【課題】プラズマディスプレイパネル及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係るプラズマディスプレイパネルは、基板と、前記基板上に形成された透明電極と、前記透明電極上に形成されブラック物質を含むバス電極とを有する前面パネルと、前記前面パネルと所定間隔で離隔されて合着された後面パネルとを含む。
【解決手段】本発明に係るプラズマディスプレイパネルは、基板と、前記基板上に形成された透明電極と、前記透明電極上に形成されブラック物質を含むバス電極とを有する前面パネルと、前記前面パネルと所定間隔で離隔されて合着された後面パネルとを含む。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスプレイ装置に関し、さらに詳細には、プラズマディスプレイパネル及びその製造方法に関する。また、本発明は、プラズマディスプレイ装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネルは、前面パネルと後面パネルとの間の放電空間に、ネオン（Ｎｅ）、ヘリウム（Ｈｅ）またはネオンとヘリウムとの混合気体（Ｎｅ＋Ｈｅ）のような、主放電気体と少量のキセノンを含有する不活性ガスとが充填されている。このようなプラズマディスプレイパネルは、高周波電圧により放電する時、放電空間内部の不活性ガスは、真空紫外線（Vacuum Ultraviolet Rays）を発生し、このような真空紫外線は、蛍光体を発光させて画像を具現する。
【０００３】
図１は、通常のプラズマディスプレイパネルの構造を示した図である。
【０００４】
図１に示しているように、プラズマディスプレイパネルは、スキャン電極１０２とサステイン電極１０３とが対をなして形成された複数の維持電極対が配列された前面パネル１００と、複数の維持電極対と交差するように、複数のアドレス電極１１３が配列された後面パネル１１０とが一定距離を置いて平行に結合される。
【０００５】
前面パネル１００は、前面ガラス基板１０１と、前面ガラス基板１０１上に形成された複数の維持電極対と、を備えている。維持電極対は、スキャン電極１０２及びサステイン電極１０３から構成される。スキャン電極及びサステイン電極は、それぞれ、透明な物質で形成された透明電極１０２ａ、１０３ａと、銀（Ａｇ）のような金属材質で形成されたバス電極１０２ｂ、１０３ｂとからなる。透明電極１０２ａ、１０３ａは、前面ガラス基板１０１上に形成されている。バス電極１０２ａ、１０３ａは、それぞれ、透明電極１０２ａ、１０３ａ上に形成されている。バス電極をなす銀（Ａｇ）のような金属材質は、放電による光は透過できず、外部光を反射する性質を有し、このような性質によりコントラストを悪くするという問題がある。このような問題を解決するために、透明電極１０２ａとバス電極１０３ａとの間、及び、透明電極１０３ａとバス電極１０２ｂとの間に、コントラストを向上させるためのブラック層１０４が形成される。
前面パネル１００は、更に、スキャン電極１０２及びサステイン電極１０３を覆う上部誘電体層１０５と、上部誘電体層１０５を覆う保護層１０６と、を備えている。上部誘電体層１０５は、維持電極対との間に形成される静電容量によって、放電時にその表面に壁電荷を形成してメモリ機能を派生する。また、上部誘電体層１０５は、その静電容量により放電電流を制限する。また、上部誘電体層１０５は、電極間を絶縁させる機能を有する。保護層１０６は、上部誘電体層１０５をプラズマによるスパッタリングから保護すると共に、二次電子放出効率を向上させて放電開始電圧を下げることで放電条件を容易にする。保護層１０６は、例えば、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を蒸着して形成される。
【０００６】
後面パネル１１０は、後面ガラス基板１１１と、後面ガラス基板１１１上に形成された複数のアドレス電極１１３と、アドレス電極１１３を覆う下部誘電体層１１５と、下部誘電体層１１５上にアドレス電極１１３に沿って形成された複数の隔壁１１２と、隔壁１１２側面から隔壁１１２の間に露出する下部誘電体層１１５上に亘って形成された蛍光体１１４と、を備えている。アドレス電極１１３は、スキャン電極１０２との間で書き込み放電を発生させることでデータを書き込む。下部誘電体層１１５は、アドレス電極１１３をプラズマによるスパッタリングから保護すると共に、放電電流を制限する。隔壁１１２は、アドレス電極１１３に沿って延在するストライプタイプの隔壁である。隔壁１１２は、アドレス電極１１３に沿って後面パネル１１０を複数の領域に分割し、前面パネル１００の維持電極対と共に複数個の放電セルを形成させる。蛍光体１１４は、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色の蛍光体からなり、放電の際に画像を表示するための可視光線を放出する。
【０００７】
このような構造を有するプラズマディスプレイパネルの前面パネル製造方法を説明すれば、以下の図２の通りである。
【０００８】
図２は、従来のプラズマディスプレイパネルの前面パネル製造工程を順次に示した図である。
【０００９】
図２に示しているように、まず、（ａ）ステップでは、前面ガラス基板１０１の上面に酸化インジウムと酸化スズとからなるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）物質の透明電極１０２ａを形成する。
【００１０】
その後、（ｂ）ステップにおいて、透明電極が形成された前面ガラス基板１０１の上部に、ブラック層１０４を形成するためのブラックペーストを印刷した後、乾燥する。次に、（ｃ）ステップにおいて、乾燥されたブラックペーストの上面に、所定のパターンが形成されたフォトマスクＭを載置して、紫外線を照射して乾燥する。
【００１１】
露光工程を経たブラック層１０４の上面に、（ｄ）ステップにおいて、バス電極１０２ｂを形成するために、銀（Ａｇ）ペーストを塗布して印刷した後、乾燥する。
【００１２】
その後、（ｅ）ステップにおいて、所定のパターンが形成されたフォトマスクＭを、塗布された銀（Ａｇ）ペーストの上部に載置して露光する。露光工程を経た後、（ｆ）ステップにおいて、硬化していない部分を現像した後、焼成炉（図示せず）で焼成することで、バス電極１０２ｂが形成される。本工程により、透明電極１０２ａと、透明電極１０２ａ上に形成されたブラック層１０４及びバス電極１０２ｂとから成る電極パターンが複数形成される。各電極パターンは、スキャン電極又はサステイン電極の何れかである。
【００１３】
次に、（ｇ）ステップにおいて、スキャン電極及びサステイン電極が形成された前面ガラス基板の上面に、スキャン電極及びサステイン電極を覆う様に、上部誘電体層１０５を形成する。
【００１４】
最後に、（ｈ）ステップにおいて、上部誘電体層１０５の表面上に酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる保護層１０６を形成して、プラズマディスプレイパネルの前面パネル１００を完成させる。
【００１５】
このようなプラズマディスプレイパネルの前面パネル製造工程は、印刷、乾燥及び露光工程を繰り返すことによって、工程時間が増加する問題がある。
また、透明電極上に、ブラック層及びバス電極を形成する為に、ペーストを印刷、乾燥及び露光する工程を繰り返すので、生産歩留まりの低下を招く問題がある。
更に、工程時間が増加することにより、製造費用が上昇するという問題がある。
また、透明電極の上面に形成されるブラック層１０４とバス電極層１０２ｂとの間のアラインメント（Align）誤差が発生するという問題がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
そこで、本発明は、上記従来の技術の問題を解決するためになされたものである。
【００１７】
本発明の目的は、製造費用の低減が可能なプラズマディスプレイパネルを提供することにある。
【００１８】
また、本発明の他の目的は、プラズマディスプレイパネルの製造工程の際に、工程数を低減して生産歩留まりを向上させ得るプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明の一側面に係るプラズマディスプレイパネルは、基板と、基板上に形成された透明電極と、前記透明電極上に形成されブラック物質を含むバス電極とを有する前面パネルと、前記前面パネルと所定間隔で離隔されて合着された後面パネルと、を含む。
このプラズマディスプレイパネルの構造によれば、従来バス電極と別に形成していたブラック層を省略できるので、印刷、乾燥及び露光の工程数を低減することができる。この結果、工程時間を短縮することができる。また、製造工程が簡略化されること、特に、別途ブラック層を形成した場合に問題となるブラック層とバス電極とのアライメント誤差を防止できることにより、歩留まりを向上させることができる。更に、工程時間の短縮、及び、歩留まりの向上によって、製造コストを低減することができる。
【００２０】
本発明の他の一側面に係るプラズマディスプレイパネルは、基板と、前記基板上に形成されブラック物質を含むバス電極とを有する前面パネルと、前記前面パネルと所定間隔で離隔されて合着された後面パネルと、を含む。
このプラズマディスプレイパネルの構造では、透明電極を省略して、ブラック物質を含むバス電極のみを形成することが可能である。この構造によれば、上述の作用効果に加え、更に、工程数を低減することができる。この結果、工程時間を更に短縮することができる。また、製造工程が更に簡略化されることにより、歩留まりを更に向上させることができる。工程時間を更に短縮できること、及び、歩留まりを更に向上できることによって、製造コストを更に低減することができる。
【００２１】
本発明の更に他の一側面に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法は、（ａ）ガラス基板上に透明電極を形成するステップと、（ｂ）前記透明電極上にブラック物質と銀（Ａｇ）粒子を含むバス電極ペーストを塗布するステップと、（ｃ）前記バス電極ペーストを露光及び現像することでパターニングし、バス電極を形成するステップと、を含む。
このプラズマディスプレイパネルの製造方法によれば、従来バス電極と別に形成していたブラック層を省略できるので、印刷、乾燥及び露光の工程数を低減することができる。この結果、工程時間を短縮することができる。また、製造工程が簡略化されること、特に、別途ブラック層を形成した場合に問題となるブラック層とバス電極とのアライメント誤差を防止できることにより、歩留まりを向上させることができる。更に、工程時間の短縮、及び、歩留まりの向上によって、製造コストを低減することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明は、プラズマディスプレイパネルの製造工数を低減して、生産歩留まりを高めると共に、製造費用の低減が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルは、透明電極と、透明電極の上面に形成されブラック物質を含むバス電極とを有する前面パネルと、該前面基板と所定間隔で離隔されて合着された後面パネルと、を含む。
【００２４】
バス電極は、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）及びクロム（Ｃｒ）のうち、いずれかを含むことを特徴とする。
【００２５】
バス電極は、銀粒子を更に含み、銀粒子に前記ブラック物質がコーティングされている。
【００２６】
ブラック物質は、導電性であることを特徴とする。
【００２７】
ブラック物質が導電性物質の場合、銀粒子を取り囲んでいるブラック物質の厚さは、０．１μｍ以上５μｍ以下であることを特徴とする。
【００２８】
ブラック物質は、非導電性であることを特徴とする。
【００２９】
ブラック物質が非導電性物質の場合、銀粒子を取り囲んでいるブラック物質の厚さは、０．１μｍ以上１μｍ以下であることを特徴とする。
【００３０】
以下では、本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルを、添付した図面を参照して説明する。
【００３１】
<第１実施形態>
【００３２】
（構造）
図３は、本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの構造を示した図である。
【００３３】
図３に示しているように、本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルは、前面パネル３００と、後面パネル３１０とを備えている。前面パネル３００は、前面ガラス基板３０１と、前面ガラス基板３０１上に互いに平行に配置された複数の維持電極対（３０２，３０３）と、維持電極対（３０２，３０３）を覆う上部誘電体層３０４と、上部誘電体層３０４を覆う保護層３０５と、を備えている。
【００３４】
各維持電極対（３０２，３０３）は、スキャン電極３０２とサステイン電極３０３とが対をなして形成されたものである。各維持電極対は、例えば、スキャン電極３０２及びサステイン電極３０３を１つずつ含む。スキャン電極３０２及びサステイン電極３０３は、後述するアドレス電極３１３と共に１つの放電セルを区画し、各放電セルにおいて相互放電させ、セルの発光を維持する。スキャン電極３０２及びサステイン電極３０３は、前面ガラス基板３０１上に形成されている。スキャン電極３０２とサステイン電極３０３は、それぞれ、透明な物質で形成された透明電極３０２ａ、３０３ａと、ブラック物質を含むバス電極３０２ｂ、３０３ｂとからなる。即ち、スキャン電極３０２は、透明な物質から成る透明電極３０２ａと、ブラック物質を含むバス電極３０２ｂと、を有する。サステイン電極３０３は、透明な物質から成る透明電極３０３ａと、ブラック物質３０３ｂを含むバス電極３０３ｂと、を有する。
【００３５】
透明電極３０２ａ、３０３ａは、酸化インジウムと酸化スズとからなるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）からなる。
バス電極３０２ｂ、３０３ｂは、主に、銀（Ａｇ）を含み、銅（Ｃｕ）あるいはクロム（Ｃｒ）のうち、いずれかを含むことができる。また、バス電極は、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）あるいはクロム（Ｃｒ）のうち、２つ以上を混合した混合材を含むことができる。本実施形態では、バス電極３０２ｂ、３０３ｂは、銀粒子を含む。バス電極３０２ｂ、３０３ｂは、銀粒子、銅粒子、クロム粒子の何れかを含むことが可能である。また、バス電極３０２ｂ、３０３ｂは、銀粒子、銅粒子及びクロム粒子のうち２つ以上を混合して含むことができる。更に、バス電極３０２ｂ、３０３ｂは、銀、銅及びクロムのうち２つ以上を混合した混合材からなる粒子を含むことが可能である。
上部誘電体層３０４は、スキャン電極３０２及びサステイン電極３０３を覆う様に、前面ガラス基板３０１上に形成されており、各電極間を絶縁する。上部誘電体層３０４は、維持電極対との間に形成される静電容量によって、放電時にその表面に壁電荷を形成してメモリ機能を派生する。また、上部誘電体層３０４は、その静電容量により放電電流を制限する。
保護層３０５は、上部誘電体層３０５をプラズマによるスパッタリングから保護すると共に、二次電子放出効率を向上させて放電開始電圧を下げることで放電条件を容易にする。保護層３０５は、例えば、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を蒸着して形成される。
【００３６】
後面パネル３１０は、後面ガラス基板３１１と、後面ガラス基板３１１の上面に互いに平行に配置された複数のアドレス電極３１３と、アドレス電極３１３を覆う下部誘電体層３１５と、下部誘電体層３１５の上面に形成された複数の隔壁３１２と、隔壁３１２の側面から隔壁３１２間に露出する下部誘電体層３１５上に亘って形成された蛍光体層３１４と、を備えている。
アドレス電極３１３は、スキャン電極３０２との間で書き込み放電を発生させて、点灯させる放電セルを選択するために、データを書き込むための電極である。
下部誘電体層３１５は、アドレス電極３１３をプラズマによるスパッタリングから保護すると共に、放電電流を制限する。
隔壁１１２は、アドレス電極１１３に沿って延在するストライプタイプの隔壁である。隔壁１１２は、アドレス電極１１３に沿って後面パネル１１０を複数の領域に分割し、前面パネル１００の維持電極対と共に複数個の放電セルを形成させる。隔壁３１２は、例えば、サンドブラスト法により形成される。サンドブラスト法では、例えば、下部誘電体層３１５上に隔壁材料となる低誘電ガラスペーストを塗膜して乾燥させた後、ドライフィルムをフォトリソグラフィにより加工して、低誘電ガラスペースト上にマスクパターンを形成し、研磨剤（アルミナ、ガラスビーズ、炭酸カルシウムなどの微小粒体）を吹き付けて、マスクパターンで保護されていない低誘電体ガラスペーストを切削することで、隔壁３１２を形成する。
蛍光体層３１４は、隔壁３１２及び下部誘電体層３１５によって形成される溝の内面に形成される。具体的には、蛍光体層３１４は、隔壁３１２の側面から、隔壁３１２の間に露出する下部誘電体層３１５表面に亘って形成される。蛍光体層３１４は、例えば、スクリーン印刷法、感光性ペースト法により形成される。蛍光体層３１４は、放電時に発生する紫外線によってＲ、Ｇ、Ｂの何れかの色の可視光線を放出し、これにより画像を表示する。
前面パネル３００と後面パネル３１０とは、隔壁３１２によって所定の間隔を持って合着される。このとき、隔壁３１２は、後面パネル３１０をアドレス電極３１３に沿った複数の領域に分割する。一方、維持電極対（３０２，３０３）は、前面パネル３００を維持電極対に沿った複数の領域に分割する。従って、前面パネル３００と後面パネル３１０とを密着させて形成したプラズマディスプレイパネルでは、１つの維持電極対と、隣接する１組の隔壁３１２とによって、１つの放電セルが区画される。更に詳細には、１対のスキャン電極３０２とサステイン電極３０３との間の領域を、隣接する１組の隔壁３１２によって分割した領域が、１つの放電セルを成す。
【００３７】
このような構造を有する本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルは、従来のコントラスト特性を向上させるためのブラック層を省略しても、バス電極の材質を変更することによってコントラスト特性を維持できる。これにより、プラズマディスプレイパネルの製造費用を低減することができる。本発明に係るバス電極構造をさらに詳細に説明すれば、図４の通りである。
【００３８】
図４は、本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルのバス電極の内部構造を示した図である。
【００３９】
図４に示すように、バス電極３０２ｂは、銀粒子（Ａ）と、ブラック物質（Ｂ）とを含む。銀粒子（Ａ）の表面は、ブラック物質（Ｂ）によって覆われている。言い換えれば、銀粒子（Ａ）の表面にはブラック物質（Ｂ）がコーティングされており、このブラック物質（Ｂ）がブラック層をなす。
ここで、バス電極の材質には銀粒子を使用したことを一例に挙げたが、バス電極の材料としては、上述したように、導電性の良好な銅やクロムを使用することができる。銀粒子の表面にコーティングされたブラック層（Ｂ）は、導電性物質であるか非導電性物質であり得る。
ブラック物質層は、例えば、Ｃｒ、Ｃｏ、Ｃｕ、Ｆｅ等からなる黒色顔料にガラスフリットを混合したペーストによって形成することができる。
【００４０】
ブラック物質層（Ｂ）の厚さは、ブラック物質層（Ｂ）が導電性の場合、非導電性のブラック層（Ｂ）の厚さ以上、即ちブラック層（Ｂ）の厚さと同一であるか、相対的にさらに厚くすることができる。すなわち、ブラック物質（Ｂ）が導電性の場合、ブラック物質層（Ｂ）の厚さは、０．１μｍ以上５μｍ以下であることが好ましい。これは、ブラック物質層の厚さが０．１μｍより薄くなれば、外部への光の反射を遮断するのが難しくなって、プラズマディスプレイパネルの駆動の際に、コントラスト特性を低下させることができるためである。また、ブラック物質層（Ｂ）の厚さが５μｍ以上に厚くなれば、電気伝導性が低下して駆動効率を減少させる虞があるためである。
【００４１】
ブラック物質（Ｂ）が非導電性物質の場合、ブラック物質層（Ｂ）の厚さは、０．１μｍ以上１μｍ以下であることが好ましい。この理由は、ブラック物質層（Ｂ）の厚さが０．１μｍより薄ければ、上述したように、外部への光の反射を遮断するのが難しく、プラズマディスプレイパネルの駆動の際に、コントラスト特性を低下させるためである。また、ブラック物質層の厚さが１μｍ以上に厚くなれば、非導電性のブラック物質による電気伝導性の減少を招いて、駆動効率を減少させる虞があるためである。
【００４２】
一方、上述した銀（Ａｇ）粒子の表面にブラック物質を覆うと、相対的に電気伝導度の低いブラック物質によって、ブラック物質を含むバス電極の電気伝導度が従来の銀材質からなるバス電極より低くなる虞がある。しかし、表面にブラック物質で覆われた銀（Ａｇ）粒子を加熱すれば、銀（Ａｇ）元素又は原子が上述したブラック物質内に拡散することによって、ブラックバス電極全体の電気伝導度が上昇する。
【００４３】
このような点を考慮すれば、焼成工程が必須であるプラズマディスプレイパネルの製造工程の中で、銀元素又は原子を拡散させる所定温度の熱が、表面にブラック物質が覆われた銀（Ａｇ）粒子に加えられるため、ブラック物質が非導電性物質であっても、バス電極は、電気伝導度を維持できるようになる。
【００４４】
（製造方法）
図５は、本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製作工程の内、前面パネルの製造方法を順次に示した図である。
【００４５】
図５に示すように、まず、（ａ）ステップでは、前面ガラス基板３０１の上面に、酸化インジウムと酸化スズとからなるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）により透明電極３０２ａを形成する。
【００４６】
このような透明電極３０２ａは、前面ガラス基板３０１上にスパッタ法によりＩＴＯからなる透明電極膜を形成した後、透明電極膜の上面にドライフィルムフォトレジスト（Dry Film Photo Resist；以下、「ＤＦＲ」と記す）をラミネートする。所定のパターンが形成されたフォトマスクのパターンを用いて、ＤＦＲを露光した後、現像することにより、所定のパターンが転写されたＤＦＲを形成する。その後、ＤＦＲをマスクとして、透明電極膜を所定のパターンにエッチングする。このような工程を経て、透明電極３０２ａが形成される。
【００４７】
その後、（ｂ）ステップにおいて、透明電極３０２ａが形成された前面ガラス基板３０１の上面に、ブラック物質を含むブラックバス電極ペースト３０２ｂを例えばスクリーン印刷法にて印刷した後、乾燥する。ブラックバス電極ペースト３０２ｂは、銀等の導電性を持つ粒子の表面がブラック物質で覆われた導電性物質である。これに対しては、本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの構造で既に詳述したので、重複する説明は省略するものとする。
【００４８】
次に、（ｃ）ステップにおいて、乾燥されたブラックバス電極ペースト３０２ｂの上面に、所定のパターン（バス電極の形状）が形成されたフォトマスクＭを載置し、フォトマスクＭを介してブラックバス電極ペースト３０４ｂに紫外線を照射して乾燥する。このような工程を、露光工程（Photolithography）という。
【００４９】
露光工程を経た後、（ｄ）ステップにおいて、ブラックバス電極ペースト３０２ｂの硬化していない部分（図５では、露光されなかった部分）を現像により除去する。
その後、焼成炉（図示せず）で焼成することで、ブラックバス電極層３０２ｂが形成される。この焼成は、例えば、５５０℃以上の焼成温度で約３時間行うことが好ましい。このような焼成ステップにおいて、導電性物質、例えば銀（Ａｇ）粒子の表面を覆うブラック物質内に、銀粒子に含まれる銀（Ａｇ）原子の一部が拡散されて、ブラック物質が非導電性物質であっても導電性を有するようになる。これにより、ブラックバス電極全体の電気伝導度が充分に維持される。
【００５０】
その後、（ｅ）ステップにおいて、ブラックバス電極層が形成された前面ガラス基板３０１の上面に誘電体層３０４を形成する。誘電体層３０４は、誘電体ガラスペーストを塗布して乾燥した後、約５００℃以上６００℃以下の温度で焼成を行うことによって、上部誘電体層３０４を形成する。
【００５１】
最後に、（ｆ）ステップにおいて、誘電体層３０４の表面上にＣＶＤ法、イオンプレーティング法や真空蒸着法などを利用して、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる保護層３０５が形成されて、プラズマディスプレイパネルの前面パネル３００が完成する。
【００５２】
このように、バス電極をなす銀（Ａｇ）のような導電性物質の表面をブラック物質で覆ってブラックバス電極を形成することによって、従来のブラック層とバス電極層との間に発生したアラインメント誤差発生を未然に防止できるようになる。
【００５３】
また、前面パネルの製造工程の中で、従来プラズマディスプレイパネルのブラック層形成ステップを省略しながらも、コントラスト特性を維持する。ブラック層形成ステップを省略することで、露光、現像の工程数を低減することができる。結果、プラズマディスプレイパネルの製造時間を減少させると共に、生産歩留まりを向上させ、結果的に製造単価を低くすることができる。
以上説明した様に、本発明によれば、従来バス電極と別に形成していたブラック層を省略できるので、印刷、乾燥及び露光の工程数を低減することができる。この結果、工程時間を短縮することができる。
また、製造工程が簡略化されること、特に、別途ブラック層を形成した場合に問題となるブラック層とバス電極とのアライメント誤差を防止できることにより、歩留まりを向上させることができる。更に、工程時間の短縮、及び、歩留まりの向上によって、製造コストを低減することができる。
また、上記製造工程で得られるプラズマディスプレイパネルを、図示しない駆動装置に接続して、プラズマディスプレイパネル及び駆動装置を備えたプラズマディスプレイ装置を製造することができる。駆動装置は、プラズマディスプレイパネルのスキャン電極、サステイン電極、及びアドレス電極と電気的に接続される。駆動装置は、プラズマディスプレイパネルのスキャン電極、サステイン電極及びアドレス電極にそれぞれ駆動信号を供給し、プラズマディスプレイパネルの表示面に画像を表示させる。駆動装置は、例えば、スキャン電極を駆動する走査駆動部、サステイン電極を駆動する維持駆動部、及びアドレス電極を駆動するデータ駆動部を備えることが可能である。
【００５４】
＜第２実施形態＞
本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルは、前面ガラス基板３０１と、前面ガラス基板３０１上に形成されブラック物質を含むバス電極とを有する前面パネル３０１と、該前面パネル３０１と所定間隔で離隔されて合着された後面パネルとを含む。
【００５５】
バス電極は、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）及びクロム（Ｃｒ）のうち、少なくとも１つを含むことを特徴とする。
【００５６】
バス電極は、銀粒子を更に含み、ブラック物質は、銀粒子をコーティングする。
【００５７】
ブラック物質は、導電性であることを特徴とする。
【００５８】
ブラック物質の厚さは、０．１μｍ以上５μｍ以下であることを特徴とする。
【００５９】
ブラック物質は、非導電性であることを特徴とする。
【００６０】
ブラック物質の厚さは、０．１μｍ以上１μｍ以下であることを特徴とする。
【００６１】
図６は、本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの構造を示した図である。
【００６２】
図６に示すように、本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルは、本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの構造とほぼ同一である。したがって、第１実施形態と同じ構造に対する説明は、省略するものとする。但し、本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルは、スキャン電極４０２とサステイン電極４０３とは、透明電極を含まず、バス電極４０２ｂ、４０３ｂのみからなる。
【００６３】
このような構造を有する本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルは、第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルが有している効果だけでなく、透明電極を削除することによって製造費用をさらに低減できるという効果がある。
【００６４】
図７は、本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製作工程の中で、前面パネル４０１の製造方法を順次に示した図である。
【００６５】
図７に示しているように、本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの前面パネル４００の製造方法も、本発明の第１実施形態に係る前面パネルの製造方法とほぼ同一である。但し、前面パネル４００の製造の際に、第１実施形態とは異なり、透明電極の形成工程が省略されており、ガラスのような材質の前面基板４０１上に直接ブラックバス電極４０２を形成する。
【００６６】
このような本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法は、プラズマディスプレイパネルの製造工数を低減でき、これに伴い、生産歩留まりを向上させることができる。
以上説明した本発明の第２実施形態によれば、透明電極を省略して、ブラック物質を含むバス電極のみを形成する。この構造によれば、上述の作用効果に加え、更に、工程数を低減することができる。この結果、工程時間を更に短縮することができる。また、製造工程が更に簡略化されることにより、歩留まりを更に向上させることができる。工程時間を更に短縮できること、及び、歩留まりを更に向上できることによって、製造コストを更に低減することができる。
また、上記製造工程で得られるプラズマディスプレイパネルを、図示しない駆動装置に接続して、プラズマディスプレイパネル及び駆動装置を備えたプラズマディスプレイ装置を製造することができる。駆動装置は、プラズマディスプレイパネルのスキャン電極、サステイン電極、及びアドレス電極と電気的に接続される。駆動装置は、プラズマディスプレイパネルのスキャン電極、サステイン電極及びアドレス電極にそれぞれ駆動信号を供給し、プラズマディスプレイパネルの表示面に画像を表示させる。駆動装置は、例えば、スキャン電極を駆動する走査駆動部、サステイン電極を駆動する維持駆動部、及びアドレス電極を駆動するデータ駆動部を備えることが可能である。
【００６７】
なお、本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではなく、本発明に係る技術的思想から逸脱しない範囲内で様々な変更が可能であり、それらも本発明の技術的範囲に属する。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】通常のプラズマディスプレイパネルの構造を示した図である。
【図２】従来のプラズマディスプレイパネルの前面パネル製造工程を順次に示した図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの構造を示した図である。
【図４】本発明に係るプラズマディスプレイパネルのバス電極構造を示した図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造工程を順次に示した図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの構造を示した図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製作工程の中で、前面パネルの製造方法を順次に示した図である。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスプレイ装置に関し、さらに詳細には、プラズマディスプレイパネル及びその製造方法に関する。また、本発明は、プラズマディスプレイ装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネルは、前面パネルと後面パネルとの間の放電空間に、ネオン（Ｎｅ）、ヘリウム（Ｈｅ）またはネオンとヘリウムとの混合気体（Ｎｅ＋Ｈｅ）のような、主放電気体と少量のキセノンを含有する不活性ガスとが充填されている。このようなプラズマディスプレイパネルは、高周波電圧により放電する時、放電空間内部の不活性ガスは、真空紫外線（Vacuum Ultraviolet Rays）を発生し、このような真空紫外線は、蛍光体を発光させて画像を具現する。
【０００３】
図１は、通常のプラズマディスプレイパネルの構造を示した図である。
【０００４】
図１に示しているように、プラズマディスプレイパネルは、スキャン電極１０２とサステイン電極１０３とが対をなして形成された複数の維持電極対が配列された前面パネル１００と、複数の維持電極対と交差するように、複数のアドレス電極１１３が配列された後面パネル１１０とが一定距離を置いて平行に結合される。
【０００５】
前面パネル１００は、前面ガラス基板１０１と、前面ガラス基板１０１上に形成された複数の維持電極対と、を備えている。維持電極対は、スキャン電極１０２及びサステイン電極１０３から構成される。スキャン電極及びサステイン電極は、それぞれ、透明な物質で形成された透明電極１０２ａ、１０３ａと、銀（Ａｇ）のような金属材質で形成されたバス電極１０２ｂ、１０３ｂとからなる。透明電極１０２ａ、１０３ａは、前面ガラス基板１０１上に形成されている。バス電極１０２ａ、１０３ａは、それぞれ、透明電極１０２ａ、１０３ａ上に形成されている。バス電極をなす銀（Ａｇ）のような金属材質は、放電による光は透過できず、外部光を反射する性質を有し、このような性質によりコントラストを悪くするという問題がある。このような問題を解決するために、透明電極１０２ａとバス電極１０３ａとの間、及び、透明電極１０３ａとバス電極１０２ｂとの間に、コントラストを向上させるためのブラック層１０４が形成される。
前面パネル１００は、更に、スキャン電極１０２及びサステイン電極１０３を覆う上部誘電体層１０５と、上部誘電体層１０５を覆う保護層１０６と、を備えている。上部誘電体層１０５は、維持電極対との間に形成される静電容量によって、放電時にその表面に壁電荷を形成してメモリ機能を派生する。また、上部誘電体層１０５は、その静電容量により放電電流を制限する。また、上部誘電体層１０５は、電極間を絶縁させる機能を有する。保護層１０６は、上部誘電体層１０５をプラズマによるスパッタリングから保護すると共に、二次電子放出効率を向上させて放電開始電圧を下げることで放電条件を容易にする。保護層１０６は、例えば、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を蒸着して形成される。
【０００６】
後面パネル１１０は、後面ガラス基板１１１と、後面ガラス基板１１１上に形成された複数のアドレス電極１１３と、アドレス電極１１３を覆う下部誘電体層１１５と、下部誘電体層１１５上にアドレス電極１１３に沿って形成された複数の隔壁１１２と、隔壁１１２側面から隔壁１１２の間に露出する下部誘電体層１１５上に亘って形成された蛍光体１１４と、を備えている。アドレス電極１１３は、スキャン電極１０２との間で書き込み放電を発生させることでデータを書き込む。下部誘電体層１１５は、アドレス電極１１３をプラズマによるスパッタリングから保護すると共に、放電電流を制限する。隔壁１１２は、アドレス電極１１３に沿って延在するストライプタイプの隔壁である。隔壁１１２は、アドレス電極１１３に沿って後面パネル１１０を複数の領域に分割し、前面パネル１００の維持電極対と共に複数個の放電セルを形成させる。蛍光体１１４は、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色の蛍光体からなり、放電の際に画像を表示するための可視光線を放出する。
【０００７】
このような構造を有するプラズマディスプレイパネルの前面パネル製造方法を説明すれば、以下の図２の通りである。
【０００８】
図２は、従来のプラズマディスプレイパネルの前面パネル製造工程を順次に示した図である。
【０００９】
図２に示しているように、まず、（ａ）ステップでは、前面ガラス基板１０１の上面に酸化インジウムと酸化スズとからなるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）物質の透明電極１０２ａを形成する。
【００１０】
その後、（ｂ）ステップにおいて、透明電極が形成された前面ガラス基板１０１の上部に、ブラック層１０４を形成するためのブラックペーストを印刷した後、乾燥する。次に、（ｃ）ステップにおいて、乾燥されたブラックペーストの上面に、所定のパターンが形成されたフォトマスクＭを載置して、紫外線を照射して乾燥する。
【００１１】
露光工程を経たブラック層１０４の上面に、（ｄ）ステップにおいて、バス電極１０２ｂを形成するために、銀（Ａｇ）ペーストを塗布して印刷した後、乾燥する。
【００１２】
その後、（ｅ）ステップにおいて、所定のパターンが形成されたフォトマスクＭを、塗布された銀（Ａｇ）ペーストの上部に載置して露光する。露光工程を経た後、（ｆ）ステップにおいて、硬化していない部分を現像した後、焼成炉（図示せず）で焼成することで、バス電極１０２ｂが形成される。本工程により、透明電極１０２ａと、透明電極１０２ａ上に形成されたブラック層１０４及びバス電極１０２ｂとから成る電極パターンが複数形成される。各電極パターンは、スキャン電極又はサステイン電極の何れかである。
【００１３】
次に、（ｇ）ステップにおいて、スキャン電極及びサステイン電極が形成された前面ガラス基板の上面に、スキャン電極及びサステイン電極を覆う様に、上部誘電体層１０５を形成する。
【００１４】
最後に、（ｈ）ステップにおいて、上部誘電体層１０５の表面上に酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる保護層１０６を形成して、プラズマディスプレイパネルの前面パネル１００を完成させる。
【００１５】
このようなプラズマディスプレイパネルの前面パネル製造工程は、印刷、乾燥及び露光工程を繰り返すことによって、工程時間が増加する問題がある。
また、透明電極上に、ブラック層及びバス電極を形成する為に、ペーストを印刷、乾燥及び露光する工程を繰り返すので、生産歩留まりの低下を招く問題がある。
更に、工程時間が増加することにより、製造費用が上昇するという問題がある。
また、透明電極の上面に形成されるブラック層１０４とバス電極層１０２ｂとの間のアラインメント（Align）誤差が発生するという問題がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
そこで、本発明は、上記従来の技術の問題を解決するためになされたものである。
【００１７】
本発明の目的は、製造費用の低減が可能なプラズマディスプレイパネルを提供することにある。
【００１８】
また、本発明の他の目的は、プラズマディスプレイパネルの製造工程の際に、工程数を低減して生産歩留まりを向上させ得るプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明の一側面に係るプラズマディスプレイパネルは、基板と、基板上に形成された透明電極と、前記透明電極上に形成されブラック物質を含むバス電極とを有する前面パネルと、前記前面パネルと所定間隔で離隔されて合着された後面パネルと、を含む。
このプラズマディスプレイパネルの構造によれば、従来バス電極と別に形成していたブラック層を省略できるので、印刷、乾燥及び露光の工程数を低減することができる。この結果、工程時間を短縮することができる。また、製造工程が簡略化されること、特に、別途ブラック層を形成した場合に問題となるブラック層とバス電極とのアライメント誤差を防止できることにより、歩留まりを向上させることができる。更に、工程時間の短縮、及び、歩留まりの向上によって、製造コストを低減することができる。
【００２０】
本発明の他の一側面に係るプラズマディスプレイパネルは、基板と、前記基板上に形成されブラック物質を含むバス電極とを有する前面パネルと、前記前面パネルと所定間隔で離隔されて合着された後面パネルと、を含む。
このプラズマディスプレイパネルの構造では、透明電極を省略して、ブラック物質を含むバス電極のみを形成することが可能である。この構造によれば、上述の作用効果に加え、更に、工程数を低減することができる。この結果、工程時間を更に短縮することができる。また、製造工程が更に簡略化されることにより、歩留まりを更に向上させることができる。工程時間を更に短縮できること、及び、歩留まりを更に向上できることによって、製造コストを更に低減することができる。
【００２１】
本発明の更に他の一側面に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法は、（ａ）ガラス基板上に透明電極を形成するステップと、（ｂ）前記透明電極上にブラック物質と銀（Ａｇ）粒子を含むバス電極ペーストを塗布するステップと、（ｃ）前記バス電極ペーストを露光及び現像することでパターニングし、バス電極を形成するステップと、を含む。
このプラズマディスプレイパネルの製造方法によれば、従来バス電極と別に形成していたブラック層を省略できるので、印刷、乾燥及び露光の工程数を低減することができる。この結果、工程時間を短縮することができる。また、製造工程が簡略化されること、特に、別途ブラック層を形成した場合に問題となるブラック層とバス電極とのアライメント誤差を防止できることにより、歩留まりを向上させることができる。更に、工程時間の短縮、及び、歩留まりの向上によって、製造コストを低減することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明は、プラズマディスプレイパネルの製造工数を低減して、生産歩留まりを高めると共に、製造費用の低減が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルは、透明電極と、透明電極の上面に形成されブラック物質を含むバス電極とを有する前面パネルと、該前面基板と所定間隔で離隔されて合着された後面パネルと、を含む。
【００２４】
バス電極は、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）及びクロム（Ｃｒ）のうち、いずれかを含むことを特徴とする。
【００２５】
バス電極は、銀粒子を更に含み、銀粒子に前記ブラック物質がコーティングされている。
【００２６】
ブラック物質は、導電性であることを特徴とする。
【００２７】
ブラック物質が導電性物質の場合、銀粒子を取り囲んでいるブラック物質の厚さは、０．１μｍ以上５μｍ以下であることを特徴とする。
【００２８】
ブラック物質は、非導電性であることを特徴とする。
【００２９】
ブラック物質が非導電性物質の場合、銀粒子を取り囲んでいるブラック物質の厚さは、０．１μｍ以上１μｍ以下であることを特徴とする。
【００３０】
以下では、本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルを、添付した図面を参照して説明する。
【００３１】
<第１実施形態>
【００３２】
（構造）
図３は、本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの構造を示した図である。
【００３３】
図３に示しているように、本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルは、前面パネル３００と、後面パネル３１０とを備えている。前面パネル３００は、前面ガラス基板３０１と、前面ガラス基板３０１上に互いに平行に配置された複数の維持電極対（３０２，３０３）と、維持電極対（３０２，３０３）を覆う上部誘電体層３０４と、上部誘電体層３０４を覆う保護層３０５と、を備えている。
【００３４】
各維持電極対（３０２，３０３）は、スキャン電極３０２とサステイン電極３０３とが対をなして形成されたものである。各維持電極対は、例えば、スキャン電極３０２及びサステイン電極３０３を１つずつ含む。スキャン電極３０２及びサステイン電極３０３は、後述するアドレス電極３１３と共に１つの放電セルを区画し、各放電セルにおいて相互放電させ、セルの発光を維持する。スキャン電極３０２及びサステイン電極３０３は、前面ガラス基板３０１上に形成されている。スキャン電極３０２とサステイン電極３０３は、それぞれ、透明な物質で形成された透明電極３０２ａ、３０３ａと、ブラック物質を含むバス電極３０２ｂ、３０３ｂとからなる。即ち、スキャン電極３０２は、透明な物質から成る透明電極３０２ａと、ブラック物質を含むバス電極３０２ｂと、を有する。サステイン電極３０３は、透明な物質から成る透明電極３０３ａと、ブラック物質３０３ｂを含むバス電極３０３ｂと、を有する。
【００３５】
透明電極３０２ａ、３０３ａは、酸化インジウムと酸化スズとからなるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）からなる。
バス電極３０２ｂ、３０３ｂは、主に、銀（Ａｇ）を含み、銅（Ｃｕ）あるいはクロム（Ｃｒ）のうち、いずれかを含むことができる。また、バス電極は、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）あるいはクロム（Ｃｒ）のうち、２つ以上を混合した混合材を含むことができる。本実施形態では、バス電極３０２ｂ、３０３ｂは、銀粒子を含む。バス電極３０２ｂ、３０３ｂは、銀粒子、銅粒子、クロム粒子の何れかを含むことが可能である。また、バス電極３０２ｂ、３０３ｂは、銀粒子、銅粒子及びクロム粒子のうち２つ以上を混合して含むことができる。更に、バス電極３０２ｂ、３０３ｂは、銀、銅及びクロムのうち２つ以上を混合した混合材からなる粒子を含むことが可能である。
上部誘電体層３０４は、スキャン電極３０２及びサステイン電極３０３を覆う様に、前面ガラス基板３０１上に形成されており、各電極間を絶縁する。上部誘電体層３０４は、維持電極対との間に形成される静電容量によって、放電時にその表面に壁電荷を形成してメモリ機能を派生する。また、上部誘電体層３０４は、その静電容量により放電電流を制限する。
保護層３０５は、上部誘電体層３０５をプラズマによるスパッタリングから保護すると共に、二次電子放出効率を向上させて放電開始電圧を下げることで放電条件を容易にする。保護層３０５は、例えば、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を蒸着して形成される。
【００３６】
後面パネル３１０は、後面ガラス基板３１１と、後面ガラス基板３１１の上面に互いに平行に配置された複数のアドレス電極３１３と、アドレス電極３１３を覆う下部誘電体層３１５と、下部誘電体層３１５の上面に形成された複数の隔壁３１２と、隔壁３１２の側面から隔壁３１２間に露出する下部誘電体層３１５上に亘って形成された蛍光体層３１４と、を備えている。
アドレス電極３１３は、スキャン電極３０２との間で書き込み放電を発生させて、点灯させる放電セルを選択するために、データを書き込むための電極である。
下部誘電体層３１５は、アドレス電極３１３をプラズマによるスパッタリングから保護すると共に、放電電流を制限する。
隔壁１１２は、アドレス電極１１３に沿って延在するストライプタイプの隔壁である。隔壁１１２は、アドレス電極１１３に沿って後面パネル１１０を複数の領域に分割し、前面パネル１００の維持電極対と共に複数個の放電セルを形成させる。隔壁３１２は、例えば、サンドブラスト法により形成される。サンドブラスト法では、例えば、下部誘電体層３１５上に隔壁材料となる低誘電ガラスペーストを塗膜して乾燥させた後、ドライフィルムをフォトリソグラフィにより加工して、低誘電ガラスペースト上にマスクパターンを形成し、研磨剤（アルミナ、ガラスビーズ、炭酸カルシウムなどの微小粒体）を吹き付けて、マスクパターンで保護されていない低誘電体ガラスペーストを切削することで、隔壁３１２を形成する。
蛍光体層３１４は、隔壁３１２及び下部誘電体層３１５によって形成される溝の内面に形成される。具体的には、蛍光体層３１４は、隔壁３１２の側面から、隔壁３１２の間に露出する下部誘電体層３１５表面に亘って形成される。蛍光体層３１４は、例えば、スクリーン印刷法、感光性ペースト法により形成される。蛍光体層３１４は、放電時に発生する紫外線によってＲ、Ｇ、Ｂの何れかの色の可視光線を放出し、これにより画像を表示する。
前面パネル３００と後面パネル３１０とは、隔壁３１２によって所定の間隔を持って合着される。このとき、隔壁３１２は、後面パネル３１０をアドレス電極３１３に沿った複数の領域に分割する。一方、維持電極対（３０２，３０３）は、前面パネル３００を維持電極対に沿った複数の領域に分割する。従って、前面パネル３００と後面パネル３１０とを密着させて形成したプラズマディスプレイパネルでは、１つの維持電極対と、隣接する１組の隔壁３１２とによって、１つの放電セルが区画される。更に詳細には、１対のスキャン電極３０２とサステイン電極３０３との間の領域を、隣接する１組の隔壁３１２によって分割した領域が、１つの放電セルを成す。
【００３７】
このような構造を有する本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルは、従来のコントラスト特性を向上させるためのブラック層を省略しても、バス電極の材質を変更することによってコントラスト特性を維持できる。これにより、プラズマディスプレイパネルの製造費用を低減することができる。本発明に係るバス電極構造をさらに詳細に説明すれば、図４の通りである。
【００３８】
図４は、本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルのバス電極の内部構造を示した図である。
【００３９】
図４に示すように、バス電極３０２ｂは、銀粒子（Ａ）と、ブラック物質（Ｂ）とを含む。銀粒子（Ａ）の表面は、ブラック物質（Ｂ）によって覆われている。言い換えれば、銀粒子（Ａ）の表面にはブラック物質（Ｂ）がコーティングされており、このブラック物質（Ｂ）がブラック層をなす。
ここで、バス電極の材質には銀粒子を使用したことを一例に挙げたが、バス電極の材料としては、上述したように、導電性の良好な銅やクロムを使用することができる。銀粒子の表面にコーティングされたブラック層（Ｂ）は、導電性物質であるか非導電性物質であり得る。
ブラック物質層は、例えば、Ｃｒ、Ｃｏ、Ｃｕ、Ｆｅ等からなる黒色顔料にガラスフリットを混合したペーストによって形成することができる。
【００４０】
ブラック物質層（Ｂ）の厚さは、ブラック物質層（Ｂ）が導電性の場合、非導電性のブラック層（Ｂ）の厚さ以上、即ちブラック層（Ｂ）の厚さと同一であるか、相対的にさらに厚くすることができる。すなわち、ブラック物質（Ｂ）が導電性の場合、ブラック物質層（Ｂ）の厚さは、０．１μｍ以上５μｍ以下であることが好ましい。これは、ブラック物質層の厚さが０．１μｍより薄くなれば、外部への光の反射を遮断するのが難しくなって、プラズマディスプレイパネルの駆動の際に、コントラスト特性を低下させることができるためである。また、ブラック物質層（Ｂ）の厚さが５μｍ以上に厚くなれば、電気伝導性が低下して駆動効率を減少させる虞があるためである。
【００４１】
ブラック物質（Ｂ）が非導電性物質の場合、ブラック物質層（Ｂ）の厚さは、０．１μｍ以上１μｍ以下であることが好ましい。この理由は、ブラック物質層（Ｂ）の厚さが０．１μｍより薄ければ、上述したように、外部への光の反射を遮断するのが難しく、プラズマディスプレイパネルの駆動の際に、コントラスト特性を低下させるためである。また、ブラック物質層の厚さが１μｍ以上に厚くなれば、非導電性のブラック物質による電気伝導性の減少を招いて、駆動効率を減少させる虞があるためである。
【００４２】
一方、上述した銀（Ａｇ）粒子の表面にブラック物質を覆うと、相対的に電気伝導度の低いブラック物質によって、ブラック物質を含むバス電極の電気伝導度が従来の銀材質からなるバス電極より低くなる虞がある。しかし、表面にブラック物質で覆われた銀（Ａｇ）粒子を加熱すれば、銀（Ａｇ）元素又は原子が上述したブラック物質内に拡散することによって、ブラックバス電極全体の電気伝導度が上昇する。
【００４３】
このような点を考慮すれば、焼成工程が必須であるプラズマディスプレイパネルの製造工程の中で、銀元素又は原子を拡散させる所定温度の熱が、表面にブラック物質が覆われた銀（Ａｇ）粒子に加えられるため、ブラック物質が非導電性物質であっても、バス電極は、電気伝導度を維持できるようになる。
【００４４】
（製造方法）
図５は、本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製作工程の内、前面パネルの製造方法を順次に示した図である。
【００４５】
図５に示すように、まず、（ａ）ステップでは、前面ガラス基板３０１の上面に、酸化インジウムと酸化スズとからなるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）により透明電極３０２ａを形成する。
【００４６】
このような透明電極３０２ａは、前面ガラス基板３０１上にスパッタ法によりＩＴＯからなる透明電極膜を形成した後、透明電極膜の上面にドライフィルムフォトレジスト（Dry Film Photo Resist；以下、「ＤＦＲ」と記す）をラミネートする。所定のパターンが形成されたフォトマスクのパターンを用いて、ＤＦＲを露光した後、現像することにより、所定のパターンが転写されたＤＦＲを形成する。その後、ＤＦＲをマスクとして、透明電極膜を所定のパターンにエッチングする。このような工程を経て、透明電極３０２ａが形成される。
【００４７】
その後、（ｂ）ステップにおいて、透明電極３０２ａが形成された前面ガラス基板３０１の上面に、ブラック物質を含むブラックバス電極ペースト３０２ｂを例えばスクリーン印刷法にて印刷した後、乾燥する。ブラックバス電極ペースト３０２ｂは、銀等の導電性を持つ粒子の表面がブラック物質で覆われた導電性物質である。これに対しては、本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの構造で既に詳述したので、重複する説明は省略するものとする。
【００４８】
次に、（ｃ）ステップにおいて、乾燥されたブラックバス電極ペースト３０２ｂの上面に、所定のパターン（バス電極の形状）が形成されたフォトマスクＭを載置し、フォトマスクＭを介してブラックバス電極ペースト３０４ｂに紫外線を照射して乾燥する。このような工程を、露光工程（Photolithography）という。
【００４９】
露光工程を経た後、（ｄ）ステップにおいて、ブラックバス電極ペースト３０２ｂの硬化していない部分（図５では、露光されなかった部分）を現像により除去する。
その後、焼成炉（図示せず）で焼成することで、ブラックバス電極層３０２ｂが形成される。この焼成は、例えば、５５０℃以上の焼成温度で約３時間行うことが好ましい。このような焼成ステップにおいて、導電性物質、例えば銀（Ａｇ）粒子の表面を覆うブラック物質内に、銀粒子に含まれる銀（Ａｇ）原子の一部が拡散されて、ブラック物質が非導電性物質であっても導電性を有するようになる。これにより、ブラックバス電極全体の電気伝導度が充分に維持される。
【００５０】
その後、（ｅ）ステップにおいて、ブラックバス電極層が形成された前面ガラス基板３０１の上面に誘電体層３０４を形成する。誘電体層３０４は、誘電体ガラスペーストを塗布して乾燥した後、約５００℃以上６００℃以下の温度で焼成を行うことによって、上部誘電体層３０４を形成する。
【００５１】
最後に、（ｆ）ステップにおいて、誘電体層３０４の表面上にＣＶＤ法、イオンプレーティング法や真空蒸着法などを利用して、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる保護層３０５が形成されて、プラズマディスプレイパネルの前面パネル３００が完成する。
【００５２】
このように、バス電極をなす銀（Ａｇ）のような導電性物質の表面をブラック物質で覆ってブラックバス電極を形成することによって、従来のブラック層とバス電極層との間に発生したアラインメント誤差発生を未然に防止できるようになる。
【００５３】
また、前面パネルの製造工程の中で、従来プラズマディスプレイパネルのブラック層形成ステップを省略しながらも、コントラスト特性を維持する。ブラック層形成ステップを省略することで、露光、現像の工程数を低減することができる。結果、プラズマディスプレイパネルの製造時間を減少させると共に、生産歩留まりを向上させ、結果的に製造単価を低くすることができる。
以上説明した様に、本発明によれば、従来バス電極と別に形成していたブラック層を省略できるので、印刷、乾燥及び露光の工程数を低減することができる。この結果、工程時間を短縮することができる。
また、製造工程が簡略化されること、特に、別途ブラック層を形成した場合に問題となるブラック層とバス電極とのアライメント誤差を防止できることにより、歩留まりを向上させることができる。更に、工程時間の短縮、及び、歩留まりの向上によって、製造コストを低減することができる。
また、上記製造工程で得られるプラズマディスプレイパネルを、図示しない駆動装置に接続して、プラズマディスプレイパネル及び駆動装置を備えたプラズマディスプレイ装置を製造することができる。駆動装置は、プラズマディスプレイパネルのスキャン電極、サステイン電極、及びアドレス電極と電気的に接続される。駆動装置は、プラズマディスプレイパネルのスキャン電極、サステイン電極及びアドレス電極にそれぞれ駆動信号を供給し、プラズマディスプレイパネルの表示面に画像を表示させる。駆動装置は、例えば、スキャン電極を駆動する走査駆動部、サステイン電極を駆動する維持駆動部、及びアドレス電極を駆動するデータ駆動部を備えることが可能である。
【００５４】
＜第２実施形態＞
本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルは、前面ガラス基板３０１と、前面ガラス基板３０１上に形成されブラック物質を含むバス電極とを有する前面パネル３０１と、該前面パネル３０１と所定間隔で離隔されて合着された後面パネルとを含む。
【００５５】
バス電極は、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）及びクロム（Ｃｒ）のうち、少なくとも１つを含むことを特徴とする。
【００５６】
バス電極は、銀粒子を更に含み、ブラック物質は、銀粒子をコーティングする。
【００５７】
ブラック物質は、導電性であることを特徴とする。
【００５８】
ブラック物質の厚さは、０．１μｍ以上５μｍ以下であることを特徴とする。
【００５９】
ブラック物質は、非導電性であることを特徴とする。
【００６０】
ブラック物質の厚さは、０．１μｍ以上１μｍ以下であることを特徴とする。
【００６１】
図６は、本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの構造を示した図である。
【００６２】
図６に示すように、本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルは、本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの構造とほぼ同一である。したがって、第１実施形態と同じ構造に対する説明は、省略するものとする。但し、本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルは、スキャン電極４０２とサステイン電極４０３とは、透明電極を含まず、バス電極４０２ｂ、４０３ｂのみからなる。
【００６３】
このような構造を有する本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルは、第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルが有している効果だけでなく、透明電極を削除することによって製造費用をさらに低減できるという効果がある。
【００６４】
図７は、本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製作工程の中で、前面パネル４０１の製造方法を順次に示した図である。
【００６５】
図７に示しているように、本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの前面パネル４００の製造方法も、本発明の第１実施形態に係る前面パネルの製造方法とほぼ同一である。但し、前面パネル４００の製造の際に、第１実施形態とは異なり、透明電極の形成工程が省略されており、ガラスのような材質の前面基板４０１上に直接ブラックバス電極４０２を形成する。
【００６６】
このような本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法は、プラズマディスプレイパネルの製造工数を低減でき、これに伴い、生産歩留まりを向上させることができる。
以上説明した本発明の第２実施形態によれば、透明電極を省略して、ブラック物質を含むバス電極のみを形成する。この構造によれば、上述の作用効果に加え、更に、工程数を低減することができる。この結果、工程時間を更に短縮することができる。また、製造工程が更に簡略化されることにより、歩留まりを更に向上させることができる。工程時間を更に短縮できること、及び、歩留まりを更に向上できることによって、製造コストを更に低減することができる。
また、上記製造工程で得られるプラズマディスプレイパネルを、図示しない駆動装置に接続して、プラズマディスプレイパネル及び駆動装置を備えたプラズマディスプレイ装置を製造することができる。駆動装置は、プラズマディスプレイパネルのスキャン電極、サステイン電極、及びアドレス電極と電気的に接続される。駆動装置は、プラズマディスプレイパネルのスキャン電極、サステイン電極及びアドレス電極にそれぞれ駆動信号を供給し、プラズマディスプレイパネルの表示面に画像を表示させる。駆動装置は、例えば、スキャン電極を駆動する走査駆動部、サステイン電極を駆動する維持駆動部、及びアドレス電極を駆動するデータ駆動部を備えることが可能である。
【００６７】
なお、本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではなく、本発明に係る技術的思想から逸脱しない範囲内で様々な変更が可能であり、それらも本発明の技術的範囲に属する。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】通常のプラズマディスプレイパネルの構造を示した図である。
【図２】従来のプラズマディスプレイパネルの前面パネル製造工程を順次に示した図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの構造を示した図である。
【図４】本発明に係るプラズマディスプレイパネルのバス電極構造を示した図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造工程を順次に示した図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの構造を示した図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製作工程の中で、前面パネルの製造方法を順次に示した図である。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、前記基板上に形成された透明電極と、前記透明電極上に形成されブラック物質を含むバス電極とを有する前面パネルと、
前記前面パネルと所定間隔で離隔されて合着された後面パネルと、
を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前記バス電極は、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）及びクロム（Ｃｒ）のうち、いずれかを含むことを特徴とする、請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
前記バス電極は、銀粒子を更に含み、前記ブラック物質は、前記銀粒子をコーティングしていることを特徴とする、請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
前記ブラック物質は、導電性であることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項５】
前記ブラック物質は、導電性物質であることを特徴とする請求項３に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項６】
前記ブラック物質の厚さは、０．１μｍ以上５μｍ以下であることを特徴とする請求項５に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項７】
前記ブラック物質は、非導電性であることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項８】
前記ブラック物質は、非導電性であることを特徴とする請求項３に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項９】
前記ブラック物質の厚さは、０．１μｍ以上１μｍ以下であることを特徴とする請求項８に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１０】
前記銀粒子に含まれる銀原子の一部が熱処理により前記ブラック物質中に拡散されていることを特徴とする、請求項３に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１１】
前記ブラック物質は非導電性であり、前記ブラック物質中に拡散されている前記銀原子により前記バス電極が導電性を有することを特徴とする、
請求項１０に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１２】
基板と、前記基板上に形成されブラック物質を含むバス電極とを含む前面パネルと、
前記前面パネルと所定間隔で離隔されて合着された後面パネルと、
を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項１３】
前記バス電極は、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）及びクロム（Ｃｒ）のうち、いずれかを含むことを特徴とする、請求項１２に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１４】
前記バス電極は、銀粒子を更に含み、前記ブラック物質は、前記銀粒子をコーティングしていることを特徴とする、請求項１２に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１５】
前記ブラック物質は、導電性であることを特徴とする請求項１２に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１６】
前記ブラック物質は、導電性であることを特徴とする請求項１４に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１７】
前記ブラック物質の厚さは、０．１μｍ以上５μｍ以下であることを特徴とする請求項１６に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１８】
前記ブラック物質は、非導電性であることを特徴とする請求項１２に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１９】
前記ブラック物質は、非導電性であることを特徴とする請求項１４に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２０】
前記ブラック物質の厚さは、０．１μｍ以上１μｍ以下であることを特徴とする請求項１９に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２１】
前記銀粒子に含まれる銀原子の一部が熱処理により前記ブラック物質中に拡散されていることを特徴とする、請求項１４に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２２】
前記ブラック物質は非導電性であり、前記ブラック物質中に拡散されている前記銀原子により前記バス電極が導電性を有することを特徴とする、
請求項２１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２３】
請求項１乃至２２何れかに記載のプラズマディスプレイパネルと、
前記プラズマディスプレイパネルを駆動する駆動装置と、
を備えたことを特徴とするプラズマディスプレイ装置。
【請求項２４】
ガラス基板上に透明電極を形成するステップと、
前記透明電極の上に、ブラック物質と銀（Ａｇ）粒子とを含むバス電極ペーストを塗布するステップと、
前記バス電極ペーストを露光及び現像することでパターニングし、バス電極を形成するステップと、
を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２５】
前記ブラック物質は、前記銀（Ａｇ）粒子をコーティングしていることを特徴とする請求項２０に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２６】
前記銀粒子に含まれる銀原子の一部を熱処理により前記ブラック物質中に拡散させるステップを更に含むことを特徴とする、請求項２４に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２７】
前記ブラック物質は非導電性であり、前記銀原子を前記ブラック物質中に拡散させることにより前記バス電極に導電性を持たせることを特徴とする、
請求項２６に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２８】
請求項２４乃至２７の何れかに記載の製造方法によってプラズマディスプレイパネルを製造するステップと、
前記プラズマディスプレイパネルを駆動する駆動装置を前記プラズマディスプレイパネルに接続するステップと、
を含むことを特徴とするプラズマディスプレイ装置の製造方法。
【請求項１】
基板と、前記基板上に形成された透明電極と、前記透明電極上に形成されブラック物質を含むバス電極とを有する前面パネルと、
前記前面パネルと所定間隔で離隔されて合着された後面パネルと、
を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前記バス電極は、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）及びクロム（Ｃｒ）のうち、いずれかを含むことを特徴とする、請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
前記バス電極は、銀粒子を更に含み、前記ブラック物質は、前記銀粒子をコーティングしていることを特徴とする、請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
前記ブラック物質は、導電性であることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項５】
前記ブラック物質は、導電性物質であることを特徴とする請求項３に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項６】
前記ブラック物質の厚さは、０．１μｍ以上５μｍ以下であることを特徴とする請求項５に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項７】
前記ブラック物質は、非導電性であることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項８】
前記ブラック物質は、非導電性であることを特徴とする請求項３に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項９】
前記ブラック物質の厚さは、０．１μｍ以上１μｍ以下であることを特徴とする請求項８に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１０】
前記銀粒子に含まれる銀原子の一部が熱処理により前記ブラック物質中に拡散されていることを特徴とする、請求項３に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１１】
前記ブラック物質は非導電性であり、前記ブラック物質中に拡散されている前記銀原子により前記バス電極が導電性を有することを特徴とする、
請求項１０に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１２】
基板と、前記基板上に形成されブラック物質を含むバス電極とを含む前面パネルと、
前記前面パネルと所定間隔で離隔されて合着された後面パネルと、
を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項１３】
前記バス電極は、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）及びクロム（Ｃｒ）のうち、いずれかを含むことを特徴とする、請求項１２に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１４】
前記バス電極は、銀粒子を更に含み、前記ブラック物質は、前記銀粒子をコーティングしていることを特徴とする、請求項１２に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１５】
前記ブラック物質は、導電性であることを特徴とする請求項１２に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１６】
前記ブラック物質は、導電性であることを特徴とする請求項１４に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１７】
前記ブラック物質の厚さは、０．１μｍ以上５μｍ以下であることを特徴とする請求項１６に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１８】
前記ブラック物質は、非導電性であることを特徴とする請求項１２に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１９】
前記ブラック物質は、非導電性であることを特徴とする請求項１４に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２０】
前記ブラック物質の厚さは、０．１μｍ以上１μｍ以下であることを特徴とする請求項１９に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２１】
前記銀粒子に含まれる銀原子の一部が熱処理により前記ブラック物質中に拡散されていることを特徴とする、請求項１４に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２２】
前記ブラック物質は非導電性であり、前記ブラック物質中に拡散されている前記銀原子により前記バス電極が導電性を有することを特徴とする、
請求項２１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２３】
請求項１乃至２２何れかに記載のプラズマディスプレイパネルと、
前記プラズマディスプレイパネルを駆動する駆動装置と、
を備えたことを特徴とするプラズマディスプレイ装置。
【請求項２４】
ガラス基板上に透明電極を形成するステップと、
前記透明電極の上に、ブラック物質と銀（Ａｇ）粒子とを含むバス電極ペーストを塗布するステップと、
前記バス電極ペーストを露光及び現像することでパターニングし、バス電極を形成するステップと、
を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２５】
前記ブラック物質は、前記銀（Ａｇ）粒子をコーティングしていることを特徴とする請求項２０に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２６】
前記銀粒子に含まれる銀原子の一部を熱処理により前記ブラック物質中に拡散させるステップを更に含むことを特徴とする、請求項２４に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２７】
前記ブラック物質は非導電性であり、前記銀原子を前記ブラック物質中に拡散させることにより前記バス電極に導電性を持たせることを特徴とする、
請求項２６に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２８】
請求項２４乃至２７の何れかに記載の製造方法によってプラズマディスプレイパネルを製造するステップと、
前記プラズマディスプレイパネルを駆動する駆動装置を前記プラズマディスプレイパネルに接続するステップと、
を含むことを特徴とするプラズマディスプレイ装置の製造方法。
【図１】
【図３】
【図４】
【図６】
【図７】
【図２】
【図５】
【図３】
【図４】
【図６】
【図７】
【図２】
【図５】
【公開番号】特開２００６−２１６５５４（Ｐ２００６−２１６５５４Ａ）
【公開日】平成１８年８月１７日（２００６．８．１７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−２４８９６（Ｐ２００６−２４８９６）
【出願日】平成１８年２月１日（２００６．２．１）
【出願人】（５９０００１６６９）エルジー電子株式会社 (296)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年８月１７日（２００６．８．１７）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年２月１日（２００６．２．１）
【出願人】（５９０００１６６９）エルジー電子株式会社 (296)
【Ｆターム（参考）】
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