塗布装置
【課題】接続される配管からの外力による塗布ずれを防止する塗布装置を提供する。
【解決手段】ノズルは、その先端部から塗布液を吐出する。ステージは、基板をその上面に載置する。ノズル移動機構は、ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向にノズルを往復移動させる。第１ガイド部材は、ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向に延設される。スライド支持部材は、ノズルを支持し、第１ガイド部材に沿って横断する方向に移動可能である。駆動機構は、スライド支持部材を第１ガイド部材に沿って往復移動させる。可撓性の配管または配線は、スライド支持部材の往復移動方向に沿って張設され、スライド支持部材の往復移動に伴って当該スライド支持部材と共に当該往復移動方向に移動する。
【解決手段】ノズルは、その先端部から塗布液を吐出する。ステージは、基板をその上面に載置する。ノズル移動機構は、ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向にノズルを往復移動させる。第１ガイド部材は、ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向に延設される。スライド支持部材は、ノズルを支持し、第１ガイド部材に沿って横断する方向に移動可能である。駆動機構は、スライド支持部材を第１ガイド部材に沿って往復移動させる。可撓性の配管または配線は、スライド支持部材の往復移動方向に沿って張設され、スライド支持部材の往復移動に伴って当該スライド支持部材と共に当該往復移動方向に移動する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布装置に関し、より特定的には、基板にノズルから有機ＥＬ材料等の塗布液を吐出して塗布する塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板等の被処理体に塗布液を塗布する塗布装置が各種開発されている。例えば、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示装置を製造する装置では、ステージ上に載置されたガラス基板等の基板の主面に所定のパターン形状で正孔輸送材料や有機ＥＬ材料をノズル塗布する塗布装置が用いられる。この塗布装置では、ノズルから塗布液（有機ＥＬ材料や正孔輸送材料）が所定の圧力で吐出される。具体的には、塗布装置に備えられたタンク等の供給源に塗布液が貯留され、供給源から供給される塗布液をポンプで増圧し、配管内に設けられたフィルタで異物を除去した後、ノズルから吐出される。例えば、ノズルから塗布液を吐出しつつ、連続して一筆書きのようにウェハに塗布液を塗布する塗布装置が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１で開示された塗布装置では、ステージ上面に基板を載置する。そして、当該塗布装置は、上記基板上の空間において塗布液を吐出する複数のノズルを上記ステージ面を横断する方向に往復移動させることによって、基板に塗布液を塗布する。具体的には、当該塗布装置は、ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向にガイド部材が延設されており、上記ノズルを支持するスライド支持部材が当該ガイド部材に沿ってスライド移動する。
【０００４】
ここで、上記特許文献１で開示された塗布装置では、基板上でのノズルの高速移動を可能にするために、例えば、スライド支持部材とガイド部材との間に静圧軸受（例えば、空気静圧軸受）が構成される。したがって、スライド支持部材には、外部からエアーを供給することが必要となる。また、スライド支持部材が支持している複数のノズルに対して、それぞれ塗布液を供給することも必要となる。
【０００５】
図１６Ａは、上記塗布装置においてエアーおよび塗布液を供給する構造例を示す概略側面図である。図１６Ｂは、上記塗布装置においてエアーおよび塗布液を供給する構造例を示す概略正面図である。図１６Ａおよび図１６Ｂに示すように、上記塗布装置は、ガイド部材１０１、スライド支持部材１０２、ノズルホルダ１０３、複数のノズル１０４、ウェイト１０５、塗布液配管１０６、およびエアー配管１０７を備えている。
【０００６】
ノズル１０４は、例えば１６本で構成され（図１６においては、その代表として３本のノズル１０４が図示されている）、それぞれノズルホルダ１０３を介してスライド支持部材１０２に支持される。そして、各ノズル１０４には、１６本の塗布液配管１０６を介して塗布液が供給される。塗布液は、ポンプ（図示せず）で増圧されて塗布装置の外面に設けられた塗布液供給口（図示Ｇ点）へ供給されており、塗布液配管１０６が当該塗布液供給口とノズルホルダ１０３との間に渡設される。なお、塗布液配管１０６は、スライド支持部材１０２がガイド部材１０１の両端に配置されたとき（図１６Ｂの状態）であっても、塗布液供給口とノズルホルダ１０３との間の距離以上となる長さになるように調整される。
【０００７】
また、スライド支持部材１０２は、ステージ（図示せず）上に架設されたガイド部材１０１に沿ってスライド移動可能に構成されており、スライド支持部材１０２とガイド部材１０１との間に空気静圧軸受が構成される。そして、当該空気静圧軸受に用いられるエアーが、エアー配管１０７を介して供給される。上記エアーは、ポンプ（図示せず）で増圧されて塗布装置の外面に設けられたエアー供給口（図示Ｇ点）へ供給されており、エアー配管１０７が当該エアー供給口とスライド支持部材１０２との間に渡設される。なお、エアー配管１０７も、スライド支持部材１０２がガイド部材１０１の両端に配置されたときであっても、エアー供給口とスライド支持部材１０２との間の距離以上となる長さになるように調整される。また、スライド支持部材１０２には、一方側に付設されたノズルホルダ１０３およびノズル１０４との重量バランスをとるために、他方側にウェイト１０５が付設されている。
【特許文献１】特開２００７−１４４３１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記特許文献１で開示された塗布装置では、塗布液配管１０６および／またはエアー配管１０７から受ける外力がスライド支持部材１０２に作用して、スライド支持部材１０２の駆動に影響を与えることがある。例えば、図１７Ａおよび図１７Ｂに示すように、スライド支持部材１０２がガイド部材１０１の中央付近に配置された場合、ガイド部材１０１の両端と比較するとスライド支持部材１０２が図示Ｇ点に接近するため、塗布液配管１０６および／またはエアー配管１０７に余剰が生じる。そして、塗布液配管１０６および／またはエアー配管１０７にたわみや振動等が生じて、それらの復元力や振動等がスライド支持部材１０２に加わる。一方、スライド支持部材１０２とガイド部材１０１との間には、上記空気静圧軸受を構成するためのエアーギャップが形成されている。したがって、スライド支持部材１０２は、塗布液配管１０６および／またはエアー配管１０７から受ける力によって、上記エアーギャップが一方に片寄る方向にずれることがある。このスライド支持部材１０２の位置ずれによって、スライド支持部材１０２に支持されているノズル１０４の位置もずれるため、ノズル１０４から吐出する塗布液の塗布位置もずれてしまう。このように、上記塗布装置では、塗布液配管１０６および／またはエアー配管１０７の挙動を原因とする塗布液の塗布ずれが問題となることがある。
【０００９】
それ故に、本発明の目的は、接続される配管からの外力による塗布ずれを防止する塗布装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明は、以下に述べるような特徴を有している。
第１の発明は、基板上に塗布液を塗布する塗布装置である。塗布装置は、ノズル、ステージ、およびノズル移動機構を備える。ノズルは、その先端部から塗布液を吐出する。ステージは、基板をその上面に載置する。ノズル移動機構は、ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向にノズルを往復移動させる。ノズル移動機構は、第１ガイド部材と、スライド支持部材と、駆動機構と、可撓性の配管または配線とを含む。第１ガイド部材は、ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向に延設される。スライド支持部材は、ノズルを支持し、第１ガイド部材に沿って横断する方向に移動可能である。駆動機構は、スライド支持部材を第１ガイド部材に沿って往復移動させる。可撓性の配管または配線は、スライド支持部材の往復移動方向に沿って張設され、スライド支持部材の往復移動に伴って当該スライド支持部材と共に当該往復移動方向に移動する。
【００１１】
第２の発明は、上記第１の発明において、配管または配線は、ノズルへ塗布液を供給する塗布液配管を少なくとも含む。
【００１２】
第３の発明は、上記第１または第２の発明において、スライド支持部材と第１ガイド部材との間には、静圧軸受が構成される。配管または配線は、静圧軸受で用いられる気体をスライド支持部材に供給する気体配管を少なくとも含む。
【００１３】
第４の発明は、上記第１または第２の発明において、スライド支持部材と第１ガイド部材との間には、磁気軸受が構成される。配管または配線は、磁気軸受で用いられる電力をスライド支持部材に供給する配線を少なくとも含む。
【００１４】
第５の発明は、上記第１または第２の発明において、ノズル移動機構は、第２ガイド部材、スライド部材、および駆動ベルトとを含む。第２ガイド部材は、ステージ上の空間において、第１ガイド部材と平行に当該ステージ面を横断する方向に延設される。スライド部材は、第２ガイド部材との間に静圧軸受を構成し、第２ガイド部材に沿って移動可能である。駆動ベルトは、一対のプーリに掛け渡されて対称となる位置にスライド支持部材およびスライド部材をそれぞれ連結し、所定の駆動源からの駆動力を伝動することによって、スライド支持部材を第１ガイド部材に沿って往復移動させ、スライド支持部材が移動する方向とは相反する方向にスライド部材を第２ガイド部材に沿って往復移動させる。駆動機構は、プーリを回転させることによって駆動ベルトを駆動させる。
【００１５】
第６の発明は、上記第５の発明において、ノズル移動機構は、定滑車を、さらに含む。定滑車は、第１ガイド部材および第２ガイド部材が延設されている空間の外側に設けられ、所定の回転軸を中心に回転自在である。配管または配線は、定滑車を介してスライド支持部材とスライド部材との間に張設される。
【００１６】
第７の発明は、上記第６の発明において、スライド支持部材と第１ガイド部材との間には、静圧軸受が構成される。配管または配線は、塗布装置の塗布液および気体供給口からスライド部材まで渡設された後、定滑車を介してスライド支持部材まで張設される。塗布液および気体供給口からスライド部材まで渡設される配管または配線は、ノズルへ塗布液を供給する塗布液配管と、スライド支持部材の静圧軸受で用いられる気体を供給する気体配管と、スライド部材の静圧軸受で用いられる気体を供給する気体配管とを含む。スライド支持部材とスライド部材との間に張設される配管または配線は、塗布液配管と、スライド支持部材の静圧軸受で用いられる気体を供給する気体配管とを含む。
【００１７】
第８の発明は、上記第６の発明において、定滑車は、鉛直方向の回転軸を中心に水平方向に回転自在である。
【００１８】
第９の発明は、上記第６の発明において、ノズル移動機構は、一対のガイドローラを、さらに含む。一対のガイドローラは、第１ガイド部材および第２ガイド部材が延設されている空間と定滑車との間に設けられる。配管または配線は、スライド部材から、一方のガイドローラ、定滑車、および他方のガイドローラの順に掛け渡されて、スライド支持部材まで張設される。定滑車は、配管または配線と接触する円周面の直径が、一対のガイドローラの間隔より大きい。
【００１９】
第１０の発明は、上記第２の発明において、スライド支持部材と第１ガイド部材との間には、静圧軸受が構成される。配管または配線は、塗布液配管と、静圧軸受で用いられる気体をスライド支持部材に供給する気体配管とを、一体的に束ねた配管群で構成される。
【００２０】
第１１の発明は、上記第１または第２の発明において、ノズル移動機構は、定滑車および張力調整機構を、さらに含む。定滑車は、第１ガイド部材が延設されている空間の外側に設けられ、所定の回転軸を中心に回転自在である。張力調整機構は、定滑車を介して、配管または配線に加わるスライド支持部材の往復移動方向の張力を一定に調整する。配管または配線は、定滑車を介してスライド支持部材から張力調整機構まで張設される。
【００２１】
第１２の発明は、上記第１または第２の発明において、ノズル移動機構は、動滑車および動滑車移動機構を、さらに含む。動滑車は、第１ガイド部材が延設されている空間の外側に設けられ、所定の回転軸を中心に回転自在である。動滑車移動機構は、スライド支持部材の往復移動方向に対して垂直な方向に動滑車の回転軸を移動させる。配管または配線は、動滑車を介してスライド支持部材の往復移動方向に沿って張設される。動滑車移動機構は、スライド支持部材が往復移動する速度の半分の速度で動滑車の回転軸を移動する。
【発明の効果】
【００２２】
上記第１の発明によれば、スライド支持部材が往復移動する際、スライド支持部材に接続される配管または配線がその移動方向に沿って張設された状態を常に保つため、配管または配線のたわみや振動等による影響がスライド支持部材に生じない。つまり、スライド支持部材に支持されるノズルの位置が安定するため、配管または配線の挙動を原因とする塗布液の塗布ずれを防止することができ、高精度な塗布作業が可能となる。
【００２３】
上記第２の発明によれば、ノズルに塗布液を供給する塗布液配管の挙動を原因とする塗布液の塗布ずれを防止することができ、高精度な塗布作業が可能となる。例えば、複数のノズルが塗布装置に設けられている場合、それら塗布液配管のたわみや振動等による影響が大きくなって塗布不良が生じやすくなるが、このような塗布不良も防止することができる。
【００２４】
上記第３の発明によれば、静圧軸受に空気や窒素ガス等の気体を供給する気体配管の挙動を原因とする塗布液の塗布ずれを防止することができ、高精度な塗布作業が可能となる。
【００２５】
上記第４の発明によれば、リニアモータ等の磁気軸受に電力を供給する配線の挙動を原因とする塗布液の塗布ずれを防止することができ、高精度な塗布作業が可能となる。
【００２６】
上記第５の発明によれば、スライド支持部材の移動方向と相反する方向に同期して移動するスライド部材を設けることによって、スライド支持部材の移動位置を安定するため、塗布液の塗布ずれを防止することができる。
【００２７】
上記第６の発明によれば、スライド支持部材の移動方向と相反する方向に同期して移動するスライド部材を利用して、スライド支持部材に接続される配管または配線を移動方向に沿って容易に一定の張力で張設することができる。
【００２８】
上記第７の発明によれば、ノズルへ塗布液を供給する塗布液配管、スライド支持部材の静圧軸受に気体を供給する気体配管、およびスライド部材の静圧軸受に気体を供給する気体配管に挙動を原因とする塗布液の塗布ずれを防止することができ、高精度な塗布作業が可能となる。
【００２９】
上記第８の発明によれば、配管内を伝搬される塗布液や気体等の内部搬送物質の状態を安定させることができる。
【００３０】
上記第９の発明によれば、スライド部材とスライド支持部材との間に張設される際の配管の曲率半径を大きくすることができ、配管が滑車と接面する際に曲がることによる塗布液や気体等の内部搬送物質への影響を軽減することができる。
【００３１】
上記第１０の発明によれば、塗布液配管の変形が抑制されるため、均一な塗布液塗布が可能になる。
【００３２】
上記第１１の発明によれば、一般的なエアシリンダー、油圧シリンダー、バネ等に代表される張力調整機構を用いて、スライド支持部材に接続される配管または配線を移動方向に沿って容易に張設することができる。
【００３３】
上記第１２の発明によれば、動滑車をスライド支持部材の移動速度の１／２で移動させることによって、配管または配線に加わるスライド支持部材の往復移動方向の張力を一定に調整することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態に係る塗布装置について説明する。説明を具体的にするために、当該塗布装置が有機ＥＬ材料や正孔輸送材料等を塗布液として用いる有機ＥＬ表示装置を製造する塗布装置に適用された例を用いて、以下の説明を行う。当該塗布装置は、ステージ上に載置されたガラス基板上に有機ＥＬ材料や正孔輸送材料等を所定のパターン形状に塗布して有機ＥＬ表示装置を製造するものである。図１は、塗布装置１の要部概略構成を示す平面図および正面図である。なお、塗布装置１は、上述したように有機ＥＬ材料や正孔輸送材料等の複数の塗布液を用いるが、それらの代表として有機ＥＬ材料を塗布液として説明を行う。
【００３５】
図１において、塗布装置１は、大略的に、基板載置装置２および有機ＥＬ塗布機構５を備えている。有機ＥＬ塗布機構５は、ノズル移動機構部５１と、ノズルユニット５０と、液受部５３Ｌおよび５３Ｒとを有している。ノズルユニット５０は、赤、緑、および青色の何れか１色の有機ＥＬ材料を吐出する複数のノズル５２を並設した状態で保持する。例えば、ノズルユニット５０は、１６本のノズル５２で構成され、図１では３本のノズル５２ａ、５２ｂ、および５２ｃがその代表として示されている。各ノズル５２ａ〜５２ｃへは、それぞれ供給部（図２参照）から赤、緑、および青色の何れか１色の有機ＥＬ材料が供給される。このように、複数のノズル５２から同じ色の有機ＥＬ材料が吐出されるが、説明を具体的にするために赤色の有機ＥＬ材料が３本のノズル５２ａ〜５２ｃから吐出される例を用いる。なお、ノズル５２ａ〜５２ｃはそれぞれ同一の構造であるため、総称して説明する場合は参照符号「５２」を付して説明を行う。
【００３６】
ノズル移動機構部５１は、その両端にプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒを有しており、当該プーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒの間に１つの凹状ガイド部材５１１および２つの丸棒ガイド部材５１２が水平方向（図示Ｘ軸方向）に延設されている。そして、ノズルユニット５０を支持するスライド支持部材５１０が凹状ガイド部材５１１に沿って図示Ｘ軸方向に往復移動し、カウンタ５１３が丸棒ガイド部材５１２に沿って図示Ｘ軸方向に往復移動する。なお、後述する説明においては、スライド支持部材５１０が往復する水平方向をＸ軸方向とし、プーリカバー５１４Ｌからプーリカバー５１４Ｒへ向かう方向（図示右方向）をＸ軸正方向とする。
【００３７】
基板載置装置２は、ステージ２１、旋回部２２、平行移動テーブル２３、ガイド受け部２４、およびガイド部材２５を有している。ステージ２１は、被塗布体となるガラス基板等の基板Ｐをそのステージ上面に載置する。ステージ２１の下部は、旋回部２２によって支持されており、旋回部２２の回動動作によって図示θ方向にステージ２１が回動可能に構成されている。また、ステージ２１の内部には、有機ＥＬ材料が塗布された基板Ｐをステージ面上で予備加熱処理するための加熱機構や基板Ｐの吸着機構や受け渡しピン機構等が設けられている。
【００３８】
ノズル移動機構部５１の下方を通るように、ガイド部材２５が上記Ｘ軸方向と垂直の図示Ｙ軸方向に延設されて固定される。平行移動テーブル２３の下面にはガイド部材２５と当接してガイド部材２５上を滑動するガイド受け部２４が固設されている。また、平行移動テーブル２３の上面には、旋回部２２が固設される。これによって、平行移動テーブル２３が、例えばリニアモータ（図示せず）からの駆動力を受けてガイド部材２５に沿った図示Ｙ軸方向に移動可能になり、旋回部２２に支持されたステージ２１の移動も可能になる。
【００３９】
受け渡しピン機構を介してステージ２１上に基板Ｐを載置し、当該基板Ｐを吸着固定して、平行移動テーブル２３がノズル移動機構部５１の下方まで移動したとき、当該基板Ｐが赤色の有機ＥＬ材料の塗布をノズル５２ａ〜５２ｃから受ける位置となる。そして、制御部（図２参照）がノズルユニット５０をＸ軸方向に往復移動させるようにノズル移動機構部５１を制御し、ステージ２１をＹ軸方向へ当該直線移動毎に所定ピッチだけ移動させるように平行移動テーブル２３を制御し、ノズル５２ａ〜５２ｃから所定流量の有機ＥＬ材料を吐出する。また、ノズル５２ａ〜５２ｃのＸ軸方向吐出位置において、ステージ２１に載置された基板Ｐから逸脱する両サイド空間には、基板Ｐから外れて吐出された有機ＥＬ材料を受ける液受部５３Ｌおよび５３Ｒがそれぞれ固設されている。ノズル移動機構部５１は、基板Ｐの一方サイド外側に配設されている液受部５３の上部空間から、基板Ｐを横断して基板Ｐの他方サイド外側に配設されている液受部５３の上部空間まで、ノズルユニット５０を往復移動させる。また、平行移動テーブル２３は、ノズルユニット５０が液受部５３の上部空間に配置されている際、ノズル往復移動方向とは垂直の所定方向（図示Ｙ軸方向）に所定ピッチだけステージ２１を移動させる。このようなノズル移動機構部５１および平行移動テーブル２３の動作と同時にノズル５２ａ〜５２ｃから有機ＥＬ材料を液柱状態で吐出することによって、赤色の有機ＥＬ材料が基板Ｐに形成されたストライプ状の溝毎に配列された、いわゆる、ストライプ配列が基板Ｐ上に形成される。
【００４０】
次に、図２を参照して、塗布装置１における制御機能、塗布液供給部、およびエアー供給部の概略構成について説明する。なお、図２は、塗布装置１の制御機能、塗布液供給部、およびエアー供給部を示すブロック図である。
【００４１】
図２において、塗布装置１は、上述した構成部の他に、制御部３、塗布液供給部５４、エアー供給部５５、エアー配管５２２２、および塗布液配管５２２３を備えている。塗布液供給部５４は、塗布液配管５２２３を介して、赤色の有機ＥＬ材料をそれぞれ複数のノズル５２に供給する。また、エアー供給部５５は、エアー配管５２２２を介して、カウンタ５１３およびスライド支持部材５１０にエアーを供給する。そして、制御部３は、塗布液供給部５４、エアー供給部５５、旋回部２２、平行移動テーブル２３、およびノズル移動機構部５１のそれぞれの動作を制御する。
【００４２】
塗布液供給部５４は、有機ＥＬ材料の供給源５４１と、供給源５４１から有機ＥＬ材料を取り出すためのポンプ５４２と、ノズル５２に供給する有機ＥＬ材料の流量を検出する流量計５４３とを備えている。なお、塗布液供給部５４は、ノズル５２毎に、それぞれ供給源５４１、ポンプ５４２、および流量計５４３を別に設けてもかまわない。
【００４３】
エアー供給部５５は、エアーを増圧するポンプ５５１と、ポンプ５５１が増圧してカウンタ５１３およびスライド支持部材５１０に供給するエアー圧力を検出する圧力計５５２とを備えている。
【００４４】
複数のノズル５２は、それぞれ塗布液供給部５４から供給された有機ＥＬ材料中の異物を除去するためのフィルタ５２１を有している。
【００４５】
ここで、赤色の有機ＥＬ材料の塗布を受ける基板Ｐの表面には、有機ＥＬ材料を塗布すべき所定のパターン形状に応じたストライプ状の溝が複数本並設されるように形成されている。有機ＥＬ材料としては、例えば、基板Ｐ上の溝内に拡がるように流動する程度の粘性を有する有機性のＥＬ材料が用いられ、具体的には各色毎の高分子タイプの有機ＥＬ材料が用いられる。ノズルユニット５０は、所定の支持軸周りに回動自在に支持されており、制御部３の制御によって当該支持軸周りに回動させることで、保持する複数のノズル５２の並設方向を変化させることができるので、複数のノズル５２による塗布ピッチ間隔を調整することができる。
【００４６】
制御部３は、ステージ２１に載置された基板Ｐの位置や方向に基づいて、基板Ｐに形成された溝の方向が上記Ｘ軸方向になるように旋回部２２の角度を調整し、塗布のスタートポイント、すなわち、基板Ｐに形成された溝の一方の端部側で塗布を開始する塗布開始位置を算出する。なお、上記塗布開始位置は、一方の液受部５３の上部空間となる。そして、制御部３は、上述したように平行移動テーブル２３およびノズル移動機構部５１を駆動させる。
【００４７】
上記塗布開始位置において、制御部３は、各ノズル５２から有機ＥＬ材料の吐出開始をポンプ５４２に指示する。このとき、制御部３は、ストライプ状の溝の各ポイントにおける有機ＥＬ材料の塗布量が均一となり、液柱状態で有機ＥＬ材料が吐出されるように、ノズル５２の移動速度に応じてその塗布量を制御しており、流量計５４３からの流量情報をフィードバックして制御する。そして、制御部３は、基板Ｐ上の溝内への有機ＥＬ材料の流し込むために、有機ＥＬ材料を基板Ｐ上の溝に沿わせながらこの溝内に流し込むようにノズルユニット５０を凹状ガイド部材５１１に沿わせて移動させるように制御する。この動作によって、液柱状態で各ノズル５２から吐出される赤色の有機ＥＬ材料が同時にそれぞれの溝に流し込まれていく。
【００４８】
制御部３は、基板Ｐ上をノズルユニット５０が横断して溝の他方端部の外側に固設されている他方の液受部５３上に位置すると、複数のノズル５２からの有機ＥＬ材料の吐出を継続したまま、ノズル移動機構部５１によるノズルユニット５０の移動を停止する。この１回の移動によって、ノズル５２の本数分の溝への有機ＥＬ材料の塗布が完了する。具体的には、同色の有機ＥＬ材料を各ノズル５２から吐出しているので、３列毎に１列の溝を塗布対象とした合計ノズル本数分の溝に有機ＥＬ材料が塗布される。
【００４９】
次に、制御部３は、平行移動テーブル２３をＹ軸方向に所定距離（例えば、溝４８列分）だけピッチ送りして、次に塗布対象となる溝への有機ＥＬ材料の塗布を行えるようにする。そして、制御部３は、他方の液受部５３の上部空間からノズルユニット５０を逆の方向へ基板Ｐ上を横断させて一方の液受部５３上に位置すると、ノズル５２からの有機ＥＬ材料の吐出を継続したまま、ノズル移動機構部５１によるノズルユニット５０の移動を停止する。この２回目の移動によって、次のノズル本数分の溝への有機ＥＬ材料の塗布が完了する。このような動作を繰り返すことによって、赤色の有機ＥＬ材料が赤色を塗布対象とした溝に流し込まれる。なお、制御部３は、ノズルユニット５０を凹状ガイド部材５１１に沿わせて移動させるように制御する際、ノズル移動機構部５１が備える駆動プーリ５１７を駆動する駆動源の回転動作を制御する。
【００５０】
以下、図３〜図９を参照して、ノズル移動機構部５１の構造について説明する。なお、図３は、ノズル移動機構部５１の概略構成を示す斜視図である。図４は、図１の断面ＡＡをＢ方向から見たノズル移動機構部５１の断面図である。図５は、図１の断面ＣＣをＤ方向から見たノズル移動機構部５１の断面図である。図６は、ノズル移動機構部５１の動作を模式的に示したノズル移動機構部５１の正面概要図である。図７〜図９は、ノズル移動機構部５１の動作を模式的に示したノズル移動機構部５１の上面概要図である。
【００５１】
図３において、ノズル移動機構部５１は、スライド支持部材５１０と、凹状ガイド部材５１１と、２つの丸棒ガイド部材５１２と、カウンタ５１３と、プーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒと、駆動ベルト５１５と、配管群５２２と、滑車５２３とを備えている。プーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒは、ノズル移動機構部５１の固定部材上の両端に固設されており、それぞれの内部に駆動プーリ５１７および従動プーリ５１８（図６参照）が設けられている。
【００５２】
凹状ガイド部材５１１は、プーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒの間に図示Ｘ軸方向へ延設される。２つの丸棒ガイド部材５１２は、プーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒの間に図示Ｘ軸方向へ凹状ガイド部材５１１の上方に並設して延設される。駆動ベルト５１５は、一対の駆動プーリ５１７および従動プーリ５１８の間に図示Ｘ軸方向に掛け渡される。具体的には、駆動プーリ５１７および従動プーリ５１８の回転軸が図示Ｙ軸方向に設けられるため、当該回転軸に対する下側部分の駆動ベルト５１５は、当該回転軸に対する上側部分の直下となる位置（つまり、駆動ベルト５１５全体が図示ＸＺ平面に平行）になるように掛け渡される。以下、一対の駆動プーリ５１７および従動プーリ５１８を上下（図示Ｚ軸方向）位置で掛け渡される駆動ベルト５１５において、上記回転軸の下側で掛け渡される駆動ベルト５１５の部分を下側の駆動ベルト５１５と記載する。また、上記回転軸の上側で掛け渡される駆動ベルト５１５の部分を上側の駆動ベルト５１５と記載する。なお、後述により明らかとなるが、スライド支持部材５１０が図示Ｘ軸正方向に移動する場合、下側の駆動ベルト５１５がベルトの張り側を意味し、上側の駆動ベルト５１５がベルトのゆるみ側を意味する。また、駆動ベルト５１５は、本発明の帯状部材に相当し、例えば回動方向に対して垂直に複数の山が形成されたタイミングベルト（歯付きベルト）で構成される。
【００５３】
スライド支持部材５１０は、ノズルユニット５０（ノズル５２ａ〜５２ｃ）を支持する。また、スライド支持部材５１０は、下側の駆動ベルト５１５の一部に接続され、凹状ガイド部材５１１に沿って移動可能に構成されている。つまり、駆動プーリ５１７が回転することに応じて駆動ベルト５１５が回動すると、当該駆動ベルト５１５の移動に応じてスライド支持部材５１０も凹状ガイド部材５１１に沿って図示Ｘ軸方向へ往復移動する。スライド支持部材５１０が凹状ガイド部材５１１に沿って往復移動する際、配管群５２２に含まれる塗布液配管５２２３を介して各ノズル５２へ塗布液が供給される。なお、配管群５２２の構成や接続方法については、後述する。
【００５４】
カウンタ５１３は、駆動ベルト５１５においてスライド支持部材５１０が接続される位置の対称位置に接続され、２つの丸棒ガイド部材５１２に貫装される。つまり、カウンタ５１３は、上側の駆動ベルト５１５の一部と接続される。したがって、駆動プーリ５１７が回転することに応じて駆動ベルト５１５が回動すると、当該駆動ベルト５１５の移動に応じてカウンタ５１３も２つの丸棒ガイド部材５１２に沿ってスライド支持部材５１０とは逆方向の図示Ｘ軸方向へ往復移動する。
【００５５】
図４において、凹状ガイド部材５１１は、その長軸方向に上面を開口した条溝Ｇが形成されており、その断面が上面を開口とした略コの字形状（Π（パイ）型形状）となる。スライド支持部材５１０は、凹状ガイド部材５１１の条溝Ｇを除いた外側面と所定の隙間を有した状態で覆うように嵌合して配置される。そして、スライド支持部材５１０の一方の外側面は、ノズルユニット５０を支持する。また、スライド支持部材５１０の他方の外側面は、凹状ガイド部材５１１を基準とした図示Ｙ軸方向に対して、ノズルユニット５０との重量バランスをとるためのウェイト５２５が付設される。
【００５６】
凹状ガイド部材５１１と対向するスライド支持部材５１０の内側面には、複数箇所（例えば、６箇所）にエアー供給口Ａｈが設けられる。スライド支持部材５１０が凹状ガイド部材５１１に沿って往復移動する際、配管群５２２に含まれるエアー配管５２２２を介してスライド支持部材５１０へエアーが供給される。そして、エアー供給口Ａｈから上記隙間に当該エアーを供給することによって、スライド支持部材５１０と凹状ガイド部材５１１との間に空気静圧軸受が構成される。
【００５７】
下側の駆動ベルト５１５は、凹状ガイド部材５１１に形成された条溝Ｇ内の空間に配設される。そして、下側の駆動ベルト５１５とスライド支持部材５１０とは、連結部材５１９を介して接続される。これらの構成によって、駆動ベルト５１５が回動すると連結部材５１９を介してスライド支持部材５１０が凹状ガイド部材５１１に沿って移動し、当該スライド支持部材５１０で支持されたノズルユニット５０が移動する。
【００５８】
図５において、カウンタ５１３は、例えば２つの部材によって構成される。以下、それらの部材をカウンタ５１３ａとカウンタ５１３ｂとして区別する。カウンタ５１３ａおよび５１３ｂは、それぞれ貫通穴が形成されている。そして、カウンタ５１３ａが一方の丸棒ガイド部材５１２に所定の隙間を有した状態で貫装され、カウンタ５１３ｂが他方の丸棒ガイド部材５１２に所定の隙間を有した状態で貫装される。カウンタ５１３ａおよび５１３ｂの貫通穴内周面には、エアー供給口Ａｈがそれぞれ設けられる。カウンタ５１３ａおよび５１３ｂが丸棒ガイド部材５１２に沿って往復移動する際、配管群５２２に含まれるエアー配管５２２２を介してカウンタ５１３ａおよび５１３ｂへエアーが供給される。そして、エアー供給口Ａｈから上記隙間にそれぞれ当該エアーを供給することによって、カウンタ５１３ａおよび５１３ｂと丸棒ガイド部材５１２との間に空気静圧軸受が構成される。
【００５９】
カウンタ５１３ａとカウンタ５１３ｂとは、連結部材５１６で接続される。また、上側の駆動ベルト５１５は、２つの丸棒ガイド部材５１２の間の空間に配設され、その一部が連結部材５１６と接続する。これらの構成によって、駆動ベルト５１５が回動すると連結部材５１６を介してカウンタ５１３ａおよび５１３ｂが丸棒ガイド部材５１２に沿って移動する。
【００６０】
図６において、プーリカバー５１４Ｒの内部には、図示Ｙ軸方向を回転軸とした駆動プーリ５１７が設けられる。また、プーリカバー５１４Ｌの内部には、図示Ｙ軸方向を回転軸とした従動プーリ５１８が設けられ、一対の駆動プーリ５１７と従動プーリ５１８との間に駆動ベルト５１５が掛け渡される。駆動プーリ５１７は、サーボモータ等の駆動源（図示せず）からの駆動力を受けて、上記回転軸を中心とした双方向（図示両矢印方向）へ回転する。ここで、駆動プーリ５１７の回転方向、回転速度、および回転角度の制御は、駆動源が駆動プーリ５１７を回転させる動作を制御部３が制御することによって行われる。なお、スライド支持部材５１０が最もプーリカバー５１４Ｌに接近する位置（つまり、上述した往復移動において図示Ｘ軸負方向側で引き返す点）は、一方の液受部５３Ｌ（図１参照）の上部空間となるように制御部３が制御する。また、スライド支持部材５１０が最もプーリカバー５１４Ｒに接近する位置（つまり、上述した往復移動において図示Ｘ軸正方向側で引き返す点）は、一方の液受部５３Ｒ（図１参照）の上部空間となるように制御部３が制御する。
【００６１】
スライド支持部材５１０およびカウンタ５１３は、駆動ベルト５１５において対称となる位置に接続されている。駆動プーリ５１７が図６の反時計方向に回転した場合、駆動ベルト５１５も同位相で反時計方向に回動する。そして、スライド支持部材５１０がＸ軸正方向へ凹状ガイド部材５１１に沿ってプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒ間を移動し、カウンタ５１３がＸ軸負方向へ丸棒ガイド部材５１２に沿ってプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒ間を移動する。一方、駆動プーリ５１７が図６の時計方向に回転した場合、駆動ベルト５１５も同位相で時計方向に回動する。そして、スライド支持部材５１０がＸ軸負方向へ凹状ガイド部材５１１に沿ってプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒ間を移動し、カウンタ５１３がＸ軸正方向へ丸棒ガイド部材５１２に沿ってプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒ間を移動する。このように、スライド支持部材５１０およびカウンタ５１３は、駆動ベルト５１５の駆動に応じて、対称となる位置を保った状態でＸ軸方向にスライド移動する。
【００６２】
図３および図６〜図９に示すように、配管群５２２は、塗布装置１の外面に設けられた塗布液／エアー供給口とカウンタ５１３との間に渡設されて、カウンタ５１３に固定して接続される。そして、カウンタ５１３は、接続された配管群５２２に含まれるエアー配管５２２２から供給されるエアーを用いて、丸棒ガイド部材５１２との間に空気静圧軸受を構成する。
【００６３】
プーリカバー５１４Ｌの左方外側には、水平方向に回転自在の滑車５２３が設けられている。そして、カウンタ５１３に接続された配管群５２２は、カウンタ５１３からＸ軸負方向（カウンタ５１３のスライド移動方向）に滑車５２３まで所定の張力を加えた状態で張設され、さらに滑車５２３からＸ軸正方向（スライド支持部材５１０のスライド移動方向）にスライド支持部材５１０まで所定の張力を加えた状態で張設されて、スライド支持部材５１０に固定して接続される。これによって、カウンタ５１３とスライド支持部材５１０との間には、滑車５２３を介して所定の張力で配管群５２２が張設される。そして、スライド支持部材５１０は、接続された配管群５２２に含まれるエアー配管５２２２から供給されるエアーを用いて、凹状ガイド部材５１１との間に空気静圧軸受を構成する。また、スライド支持部材５１０で支持される複数のノズル５２（図３および図６〜図９では、ノズル５２ａ〜５２ｃのみ図示）は、接続された配管群５２２に含まれる塗布液配管５２２３から供給される塗布液をそれぞれ用いて、塗布液を吐出する。
【００６４】
ここで、図７〜図９を参照して、スライド支持部材５１０およびカウンタ５１３がスライド移動した際の、配管群５２２の動きについて説明する。例えば、スライド支持部材５１０が凹状ガイド部材５１１上の最もＸ軸負方向側（プーリカバー５１４Ｌ側）に配置され、カウンタ５１３が丸棒ガイド部材５１２上の最もＸ軸正方向側（プーリカバー５１４Ｒ側）に配置されている状態を考える（図７の状態）。このとき、カウンタ５１３に接続された配管群５２２は、滑車５２３を介してカウンタ５１３とスライド支持部材５１０との間に所定の張力で張設されている。この状態においてカウンタ５１３とスライド支持部材５１０との間に張設された配管群５２２の長さを長さＬとする。
【００６５】
図７に示した状態から、スライド支持部材５１０がＸ軸正方向へ凹状ガイド部材５１１に沿って移動し、カウンタ５１３がＸ軸負方向へ丸棒ガイド部材５１２に沿って移動する。このとき、スライド支持部材５１０およびカウンタ５１３は、同じ駆動ベルト５１５に接続されて移動しているため、スライド支持部材５１０がＸ軸正方向へ移動する距離とカウンタ５１３がＸ軸負方向へ移動する距離とは同じである。また、カウンタ５１３の移動に応じて、カウンタ５１３に接続されている部位から滑車５２３に捲設されている部位までの配管群５２２は、カウンタ５１３と共にＸ軸負方向へ移動する。また、スライド支持部材５１０の移動に応じて、滑車５２３に捲設されている部位からスライド支持部材５１０に接続されている部位までの配管群５２２は、スライド支持部材５１０と共にＸ軸正方向へ移動する。一方、配管群５２２を張設している滑車５２３は、回転自在にその位置が固定されているため、配管群５２２の移動に応じて図示反時計方向に回転して、配管群５２２を順送りする。したがって、カウンタ５１３とスライド支持部材５１０との間の配管群５２２の長さを長さＬで保った状態で配管群５２２が移動することになる。つまり、配管群５２２は、滑車５２３を介してカウンタ５１３とスライド支持部材５１０との間に所定の張力で張設された状態を保ちながら移動することになる（図８の状態）。
【００６６】
図８に示した状態から、スライド支持部材５１０がＸ軸正方向へ凹状ガイド部材５１１に沿ってさらに移動し、カウンタ５１３がＸ軸負方向へ丸棒ガイド部材５１２に沿ってさらに移動する。そして、スライド支持部材５１０が凹状ガイド部材５１１上の最もＸ軸正方向側（プーリカバー５１４Ｒ側）に配置され、カウンタ５１３が丸棒ガイド部材５１２上の最もＸ軸負方向側（プーリカバー５１４Ｌ側）に配置される（図９の状態）。この配置状態までの移動に関しても、上述した動きと同様に、配管群５２２は、滑車５２３を介してカウンタ５１３とスライド支持部材５１０との間に所定の張力で張設された状態を保ちながら移動することになる。また、スライド支持部材５１０およびカウンタ５１３が逆方向へ移動する際も、配管群５２２は、滑車５２３を介してカウンタ５１３とスライド支持部材５１０との間に所定の張力で張設された状態を保ちながら移動することになることは言うまでもない。つまり、スライド支持部材５１０がスライド移動する際、配管群５２２は、スライド支持部材５１０に対してそのスライド移動方向に沿って張設された状態を常に保つことになる。
【００６７】
次に、図１０〜図１２を参照して、配管群５２２の構成例について説明する。なお、図１０は、配管群５２２の第１の構成例の断面を示す斜視図である。図１１は、配管群５２２の第２の構成例の断面を示す斜視図である。図１２は、配管群５２２の第３の構成例の断面を示す斜視図である。
【００６８】
図１０において、配管群５２２の第１の構成例は、外膜配管５２２１、エアー配管５２２２ａ、および塗布液配管５２２３を含んでいる。エアー配管５２２２ａは、可撓性を有する材質で構成された管材であり、例えば、ウレタン樹脂等で構成される。そして、エアー配管５２２２ａは、塗布装置１の外面に設けられたエアー供給口から供給されたエアーを、カウンタ５１３およびスライド支持部材５１０に供給する。塗布液配管５２２３は、可撓性を有する材質で構成された管材であり、例えば、ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＰＥ（ポリエチレン）、ＰＰ（ポリプロピレン）等の材料で構成される。塗布液配管５２２３は、塗布装置１に設置されているノズル５２の本数分設けられており、図１０の構成例では１６本の塗布液配管５２２３が設けられている。また、複数の塗布液配管５２２３は、エアー配管５２２２ａの管外周面に沿って等角度間隔で密に配設される。そして、塗布液配管５２２３は、塗布装置１の外面に設けられた塗布液供給口から供給された塗布液を、それぞれノズル５２に供給する。さらに、外膜配管５２２１は、エアー配管５２２２ａおよび塗布液配管５２２３で構成される管束を束ねて、その外周を覆うように設けられて、配管群５２２の第１の構成例が形成される。外膜配管５２２１は、可撓性を有する材質で構成された熱収縮チューブ等で構成される。
【００６９】
図１１において、配管群５２２の第２の構成例は、エアー配管５２２２ｂ、塗布液配管５２２３、および連結配管５２２４を含んでいる。エアー配管５２２２ｂは、エアー配管５２２２ａと同様に可撓性を有する材質で構成された管材であり、例えば、ウレタン樹脂等で構成される。そして、エアー配管５２２２ｂは、塗布装置１の外面に設けられたエアー供給口から供給されたエアーを、カウンタ５１３およびスライド支持部材５１０に供給する。そして、連結配管５２２４も、エアー配管５２２２ａと同形状および同材質で構成された管材であり、その内部に複数本の塗布液配管５２２３が束ねて挿入される。図１１の構成例では、連結配管５２２４の内部に４本の塗布液配管５２２３が挿入されるため、配管群５２２に１６本の塗布液配管５２２３を含めるために、連結配管５２２４に４本の塗布液配管５２２３が挿入された組が４組（連結配管５２２４ａ〜５２２４ｄ）設けられている。そして、連結配管５２２４ａ〜５２２４ｄおよびエアー配管５２２２ｂが平面状に並設されて互いに接着固定されて、配管群５２２の第２の構成例が形成される。
【００７０】
図１２において、配管群５２２の第３の構成例は、エアー配管５２２２ｃおよび５２２２ｄと、塗布液配管５２２３と、連結配管５２２４とを含んでいる。エアー配管５２２２ｃおよび５２２２ｄは、それぞれエアー配管５２２２ａと同様に可撓性を有する材質で構成された管材であり、例えば、ウレタン樹脂等で構成される。そして、エアー配管５２２２ｃは、塗布装置１の外面に設けられたエアー供給口から供給されたエアーを、カウンタ５１３に供給する。また、エアー配管５２２２ｄは、塗布装置１の外面に設けられたエアー供給口から供給されたエアーを、スライド支持部材５１０に供給する。そして、第３の構成例における連結配管５２２４も、エアー配管５２２２ｃおよび５２２２ｄと同形状および同材質で構成された管材であり、その内部に複数本の塗布液配管５２２３が束ねて挿入される。図１２の構成例では、連結配管５２２４の内部に４本の塗布液配管５２２３が挿入されるため、配管群５２２に１６本の塗布液配管５２２３を含めるために、連結配管５２２４に４本の塗布液配管５２２３が挿入された組が４組（連結配管５２２４ｅ〜５２２４ｈ）設けられている。そして、連結配管５２２４ｅ〜５２２４ｈと、エアー配管５２２２ｃおよび５２２２ｄとが、１段あたり３本を２段（３×２）に並設されて互いに接着固定されて、配管群５２２の第３の構成例が形成される。
【００７１】
このように、当該実施形態に係る塗布装置によれば、スライド支持部材５１０がスライド移動する際、スライド支持部材５１０に対してそのスライド移動方向に沿って張設された状態を配管群５２２が常に保つため、配管群５２２のたわみや振動等による影響がスライド支持部材５１０に生じない。つまり、配管群５２２の挙動を原因とする塗布液の塗布ずれを防止することができ、高精度な塗布作業が可能となる。また、塗布装置１の外面に設けられた塗布液／エアー供給口からノズル移動機構部５１へ渡設される配管数が１本の配管群５２２となるため、塗布装置１の組み立て作業が容易になると共に、配管の挙動を原因とする装置内部の粉塵の発生を低減したり、配管自体の耐久性向上やコストを低減したりする効果が期待できる。
【００７２】
なお、上述した説明では、カウンタ５１３とスライド支持部材５１０との間に、滑車５２３を介して配管群５２２を張設したが、他の要素をさらに間に介在させて配管群５２２を張設してもかまわない。例えば、図１３に示すように、１対のガイドローラ５２３１および滑車５２３を介して、カウンタ５１３とスライド支持部材５１０との間に配管群５２２を張設してもかまわない。
【００７３】
図１３において、プーリカバー５１４Ｌの左方外側と滑車５２３との間に、図示Ｚ軸方向をそれぞれ回転軸としてそれら円筒面（ローラ面）が回転自在な１対のガイドローラ５２３１が、所定間隔で対向して設けられる。具体的には、１対のガイドローラ５２３１の一方は、他方と対向する側の円筒面が、カウンタ５１３からＸ軸負方向に張設した配管群５２２と接する位置となるように配置される。また、１対のガイドローラ５２３１の他方は、一方と対向する側の円筒面が、スライド支持部材５１０からＸ軸負方向に張設した配管群５２２と接する位置となるように配置される。
【００７４】
配管群５２２は、塗布装置１の外面に設けられた塗布液／エアー供給口とカウンタ５１３との間に渡設されて、カウンタ５１３に固定して接続される。そして、カウンタ５１３に接続された配管群５２２は、カウンタ５１３からＸ軸負方向に一方のガイドローラ５２３１まで所定の張力を加えた状態で張設され、当該ガイドローラ５２３１の円筒面と接した後、滑車５２３まで張設される。さらに、配管群５２２は、滑車５２３から他方のガイドローラ５２３１の円筒面と接した後、Ｘ軸正方向にスライド支持部材５１０まで所定の張力を加えた状態で張設されて、スライド支持部材５１０に固定して接続される。これによって、カウンタ５１３とスライド支持部材５１０との間には、滑車５２３および一対のガイドローラ５２３１を介して所定の張力で配管群５２２が張設される。
【００７５】
このように、一対のガイドローラ５２３１を加えることによって、カウンタ５１３と配管群５２２との接続部位と、スライド支持部材５１０と配管群５２２との接続部位との間の図示Ｙ軸方向間隔よりも直径が大きい滑車５２３を用いることができる。したがって、配管群５２２は、カウンタ５１３とスライド支持部材５１０との間に張設される際の曲率半径を大きくすることができ、配管群５２２が滑車５２３と接面する際に曲がることによる内部搬送物質（塗布液やエアー）への影響を軽減することができる。
【００７６】
また、上述した説明では、配管群５２２をカウンタ５１３に接続した後、滑車５２３を介してスライド支持部材５１０に張設したが、スライド支持部材５１０に対してそのスライド移動方向に沿って張設された状態を配管群５２２が常に保つ状態であればカウンタ５１３に接続しなくてもかまわない。一例として、図１４に示すように、一般的なエアシリンダー、油圧シリンダー、バネ等に代表される張力調整機構５２４を用いて、配管群５２２が上記張設された状態を保つようにしてもかまわない。例えば、配管群５２２は、滑車５２３からＸ軸正方向にスライド支持部材５１０まで張設されて、スライド支持部材５１０に固定して接続されるが、その張力は、張力調整機構５２４によって一定に調整される。
【００７７】
また、他の例として、図１５Ａおよび図１５Ｂに示すように、Ｙ軸方向へ往復移動可能に構成された滑車５２３ｍを用いて、配管群５２２が上記張設された状態を保つようにしてもかまわない。例えば、滑車５２３ｍは、水平方向に回転自在に構成され、制御部３（図２参照）の制御に応じて図示Ｙ軸方向に往復移動可能に構成されている。また、ガイドローラ５２３２は、その円筒面が、スライド支持部材５１０からＸ軸負方向に張設した配管群５２２と接する位置となるように配置される。そして、配管群５２２は、塗布装置１の外面に設けられた塗布液／エアー供給口から滑車５２３ｍの円周面およびガイドローラ５２３２の円筒面と接した後、Ｘ軸正方向にスライド支持部材５１０まで張設されて、スライド支持部材５１０に固定して接続される。
【００７８】
このような配管群５２２の接続状態において、スライド支持部材５１０がＸ軸正方向に移動速度２Ｖでスライド移動することに応じて、滑車５２３ｍが図示Ｙ軸正方向（ガイドローラ５２３２に近づく方向）に移動速度Ｖで移動する（図１５Ａの状態から図１５Ｂの状態へ移動）。また、スライド支持部材５１０がＸ軸負方向に移動速度２Ｖでスライド移動することに応じて、滑車５２３ｍが図示Ｙ軸負方向（ガイドローラ５２３２から離れる方向）に移動速度Ｖで移動する（図１５Ｂの状態から図１５Ａの状態へ移動）。このように、スライド支持部材５１０のスライド移動速度の１／２の速度で滑車５２３ｍを移動させることによって、配管群５２２がスライド支持部材５１０に対してそのスライド移動方向に沿って張設された状態に保たれる。
【００７９】
また、上述した説明では、スライド支持部材５１０と凹状ガイド部材５１１との間に空気静圧軸受を構成して、スライド支持部材５１０を凹状ガイド部材５１１に沿ってスライド移動させているが、スライド支持部材とガイド部材との間に他の方式の軸受を構成してもかまわない。例えば、内部から磁束を発生するガイド部材（例えば、丸棒形状）を、凹状ガイド部材５１１と同様にプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒの間にＸ軸方向（図３参照）へ延設する。そして、上記ガイド部材に対してスライド支持部材を磁力で浮遊させて、上記ガイド部材に沿ってスライド移動させるリニアモータを用いて磁力軸受を構成してもかまわない。この場合、スライド支持部材は、内蔵されたコイルによって駆動するため、駆動ベルト５１５や駆動ベルト５１５を駆動するための機構が不要となる。また、カウンタ５１３も不要となり、スライド支持部材５１０やカウンタ５１３にエアーを供給するエアー配管５２２２も不要となる。しかしながら、図１４、図１５Ａ、および図１５Ｂに例示した配管群５２２の張設方式を用いることによって、リニアモータ等の他の軸受方式で構成されたスライド支持部材と上記ガイド部材とであっても、同様に本発明を適用することができる。なお、リニアモータを用いてスライド支持部材をスライド移動させる場合、スライド支持部材に接続される配管群５２２には複数の塗布液配管５２２３および／またはリニアモータを駆動制御するための電源／制御配線が含まれることになる。
【００８０】
また、上述した説明では、スライド支持部材５１０と凹状ガイド部材５１１との間およびカウンタ５１３と２つの丸棒ガイド部材５１２との間に空気静圧軸受を構成して、それぞれエアー（空気）を供給しているが、他の気体をスライド支持部材５１０およびカウンタ５１３に供給する静圧軸受を構成してもかまわない。例えば、窒素ガス等の他の気体をスライド支持部材５１０およびカウンタ５１３に供給して、それぞれ静圧軸受を構成してもかまわない。
【００８１】
また、上述した説明では、スライド支持部材５１０にエアー配管５２２２および塗布液配管５２２３を含んだ配管群５２２を接続したが、配管群５２２に含まれる配管種は他の構成でもかまわない。例えば、複数の塗布液配管５２２３のみを含んだ配管群５２２をスライド支持部材５１０に接続し、エアー配管５２２２を他の方式を用いてスライド支持部材５１０に接続してもかまわない。この場合、従来の接続方式と比較すると複数の塗布液配管５２２３から受けていた外力が低減されるため、塗布ずれに対する効果が期待できる。また、エアー配管５２２２のみをスライド支持部材５１０に接続し、複数の塗布液配管５２２３を他の方式を用いてスライド支持部材５１０に接続してもかまわない。この場合も、従来の接続方式と比較するとエアー配管５２２２から受けていた外力が低減されるため、塗布ずれに対する効果が期待できる。
【００８２】
また、上述した説明では、滑車５２３の回転軸を鉛直方向として、配管群５２２が水平に張設される例を説明したが、これによって配管群５２２内を伝搬される塗布液やエアーの状態を安定させることができる。しかしながら、このような効果を期待しない場合、滑車５２３の回転方向は、他の方向でもかまわない。例えば、スライド支持部材５１０およびカウンタ５１３にそれぞれ接続する配管群５２２の接続位置に応じて、滑車５２３の回転方向が鉛直方向（つまり、滑車５２３の回転軸が水平）でもいいし、滑車５２３の回転方向が水平方向と鉛直方向との間の斜め方向でもかまわない。スライド支持部材５１０がスライド移動方向に沿って配管群５２２が張設された状態を常に保つならば、滑車５２３の回転方向はどのような方向でもかまわない。
【００８３】
また、上述した説明では、駆動プーリ５１７および従動プーリ５１８を覆うようにプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒを設けたが、スライド支持部材５１０等が往復移動する空間や滑車５２３が設けられる空間にもカバーを設けてもかまわない。また、塗布装置１にプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒを設けなくてもかまわない。
【００８４】
また、上述した実施形態では、赤、緑、および青色のうち、赤色の有機ＥＬ材料を複数のノズル５２から基板Ｐの溝内に流し込んでいるが、この塗布工程は、有機ＥＬ表示装置を製造する途中工程である。例えば、有機ＥＬ表示装置を製造するときの処理手順は、正孔輸送材料（ＰＥＤＯＴ）塗布→乾燥→赤色の有機ＥＬ材料塗布→乾燥→緑色の有機ＥＬ材料塗布→乾燥→青色の有機ＥＬ材料塗布→乾燥という手順となる。この場合、本発明の塗布装置は、正孔輸送材料、赤色の有機ＥＬ材料、緑色の有機ＥＬ材料、および青色の有機ＥＬ材料をそれぞれ塗布する工程に用いることができる。
【００８５】
また、複数のノズル５２から赤、緑、および青色の有機ＥＬ材料をそれぞれ吐出してもかまわない。この場合、赤、緑、および青色の順に配列された、いわゆる、ストライプ配列が１つの塗布工程で形成される。
【００８６】
また、上述した説明では、基板Ｐの表面に、有機ＥＬ材料を塗布すべき所定のパターン形状に応じたストライプ状の溝が複数本並設されるように形成されている例を用いたが、ストライプ状の溝が形成されていない基板を被塗布体にしてもかまわない。
【００８７】
また、上述した実施形態では、塗布液として有機ＥＬ材料や正孔輸送材料を塗布液とした有機ＥＬ表示装置の製造装置を一例にして説明したが、本発明は他の塗布装置にも適用できる。例えば、レジスト液やＳＯＧ（Ｓｐｉｎ Ｏｎ Ｇｌａｓｓ）液やＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）を製造するのに使用される蛍光材料を塗布する装置にも適用することができる。また、液晶カラーディスプレイをカラー表示するために液晶セル内に構成されるカラーフィルタを製造するために使用される色材を塗布する装置にも適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００８８】
本発明に係る塗布装置は、ノズルを駆動する部材に接続される配管からの外力による塗布ずれを防止することができ、ノズルから塗布液を吐出して基板に塗布する装置等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】本発明の一実施形態に係る塗布装置１の要部概略構成を示す平面図および正面図
【図２】塗布装置１の制御機能、塗布液供給部、およびエアー供給部を示すブロック図
【図３】図１のノズル移動機構部５１の概略構成を示す斜視図
【図４】図１の断面ＡＡをＢ方向から見たノズル移動機構部５１の断面図
【図５】図１の断面ＣＣをＤ方向から見たノズル移動機構部５１の断面図
【図６】図１のノズル移動機構部５１の動作を模式的に示したノズル移動機構部５１の正面概要図
【図７】図１のノズル移動機構部５１の動作を模式的に示したノズル移動機構部５１の上面概要図
【図８】図１のノズル移動機構部５１の動作を模式的に示したノズル移動機構部５１の上面概要図
【図９】図１のノズル移動機構部５１の動作を模式的に示したノズル移動機構部５１の上面概要図
【図１０】図３の配管群５２２の第１の構成例の断面を示す斜視図
【図１１】図３の配管群５２２の第２の構成例の断面を示す斜視図
【図１２】図３の配管群５２２の第３の構成例の断面を示す斜視図
【図１３】１対のガイドローラ５２３１および滑車５２３を介して配管群５２２を張設した例を模式的に示したノズル移動機構部５１の上面概要図
【図１４】張力調整機構５２４を用いて配管群５２２を張設した例を模式的に示したノズル移動機構部５１の上面概要図
【図１５Ａ】滑車５２３ｍを用いて配管群５２２を張設した例を模式的に示したノズル移動機構部５１の上面概要図
【図１５Ｂ】滑車５２３ｍを用いて配管群５２２を張設した例を模式的に示したノズル移動機構部５１の上面概要図
【図１６Ａ】従来の塗布装置においてエアーおよび塗布液を供給する構造例を示す概略側面図
【図１６Ｂ】従来の塗布装置においてエアーおよび塗布液を供給する構造例を示す概略正面図
【図１７Ａ】従来の塗布装置においてスライド支持部材１０２がガイド部材１０１の中央付近に配置された場合の構造例を示す概略側面図
【図１７Ｂ】従来の塗布装置においてスライド支持部材１０２がガイド部材１０１の中央付近に配置された場合の構造例を示す概略正面図
【符号の説明】
【００９０】
１…塗布装置
２…基板載置装置
２１…ステージ
２２…旋回部
２３…平行移動テーブル
２４…ガイド受け部
２５、５１１…ガイド部材
３…制御部
５…有機ＥＬ塗布機構
５０…ノズルユニット
５１…ノズル移動機構部
５１０…スライド支持部材
５１１…凹状ガイド部材
５１２…丸棒ガイド部材
５１３…カウンタ
５１４…プーリカバー
５１５…駆動ベルト
５１６、５１９…連結部材
５１７…駆動プーリ
５１８…従動プーリ
５２…ノズル
５２１…フィルタ
５２２…配管群
５２２１…外膜配管
５２２２…エアー配管
５２２３…塗布液配管
５２２４…連結配管
５２３…滑車
５２３１、５２３２…ガイドローラ
５２４…張力調整機構
５２５…ウェイト
５３…液受部
５４…塗布液供給部
５５…エアー供給部
５４１…供給源
５４２、５５１…ポンプ
５４３…流量計
５５２…圧力計
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布装置に関し、より特定的には、基板にノズルから有機ＥＬ材料等の塗布液を吐出して塗布する塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板等の被処理体に塗布液を塗布する塗布装置が各種開発されている。例えば、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示装置を製造する装置では、ステージ上に載置されたガラス基板等の基板の主面に所定のパターン形状で正孔輸送材料や有機ＥＬ材料をノズル塗布する塗布装置が用いられる。この塗布装置では、ノズルから塗布液（有機ＥＬ材料や正孔輸送材料）が所定の圧力で吐出される。具体的には、塗布装置に備えられたタンク等の供給源に塗布液が貯留され、供給源から供給される塗布液をポンプで増圧し、配管内に設けられたフィルタで異物を除去した後、ノズルから吐出される。例えば、ノズルから塗布液を吐出しつつ、連続して一筆書きのようにウェハに塗布液を塗布する塗布装置が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１で開示された塗布装置では、ステージ上面に基板を載置する。そして、当該塗布装置は、上記基板上の空間において塗布液を吐出する複数のノズルを上記ステージ面を横断する方向に往復移動させることによって、基板に塗布液を塗布する。具体的には、当該塗布装置は、ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向にガイド部材が延設されており、上記ノズルを支持するスライド支持部材が当該ガイド部材に沿ってスライド移動する。
【０００４】
ここで、上記特許文献１で開示された塗布装置では、基板上でのノズルの高速移動を可能にするために、例えば、スライド支持部材とガイド部材との間に静圧軸受（例えば、空気静圧軸受）が構成される。したがって、スライド支持部材には、外部からエアーを供給することが必要となる。また、スライド支持部材が支持している複数のノズルに対して、それぞれ塗布液を供給することも必要となる。
【０００５】
図１６Ａは、上記塗布装置においてエアーおよび塗布液を供給する構造例を示す概略側面図である。図１６Ｂは、上記塗布装置においてエアーおよび塗布液を供給する構造例を示す概略正面図である。図１６Ａおよび図１６Ｂに示すように、上記塗布装置は、ガイド部材１０１、スライド支持部材１０２、ノズルホルダ１０３、複数のノズル１０４、ウェイト１０５、塗布液配管１０６、およびエアー配管１０７を備えている。
【０００６】
ノズル１０４は、例えば１６本で構成され（図１６においては、その代表として３本のノズル１０４が図示されている）、それぞれノズルホルダ１０３を介してスライド支持部材１０２に支持される。そして、各ノズル１０４には、１６本の塗布液配管１０６を介して塗布液が供給される。塗布液は、ポンプ（図示せず）で増圧されて塗布装置の外面に設けられた塗布液供給口（図示Ｇ点）へ供給されており、塗布液配管１０６が当該塗布液供給口とノズルホルダ１０３との間に渡設される。なお、塗布液配管１０６は、スライド支持部材１０２がガイド部材１０１の両端に配置されたとき（図１６Ｂの状態）であっても、塗布液供給口とノズルホルダ１０３との間の距離以上となる長さになるように調整される。
【０００７】
また、スライド支持部材１０２は、ステージ（図示せず）上に架設されたガイド部材１０１に沿ってスライド移動可能に構成されており、スライド支持部材１０２とガイド部材１０１との間に空気静圧軸受が構成される。そして、当該空気静圧軸受に用いられるエアーが、エアー配管１０７を介して供給される。上記エアーは、ポンプ（図示せず）で増圧されて塗布装置の外面に設けられたエアー供給口（図示Ｇ点）へ供給されており、エアー配管１０７が当該エアー供給口とスライド支持部材１０２との間に渡設される。なお、エアー配管１０７も、スライド支持部材１０２がガイド部材１０１の両端に配置されたときであっても、エアー供給口とスライド支持部材１０２との間の距離以上となる長さになるように調整される。また、スライド支持部材１０２には、一方側に付設されたノズルホルダ１０３およびノズル１０４との重量バランスをとるために、他方側にウェイト１０５が付設されている。
【特許文献１】特開２００７−１４４３１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記特許文献１で開示された塗布装置では、塗布液配管１０６および／またはエアー配管１０７から受ける外力がスライド支持部材１０２に作用して、スライド支持部材１０２の駆動に影響を与えることがある。例えば、図１７Ａおよび図１７Ｂに示すように、スライド支持部材１０２がガイド部材１０１の中央付近に配置された場合、ガイド部材１０１の両端と比較するとスライド支持部材１０２が図示Ｇ点に接近するため、塗布液配管１０６および／またはエアー配管１０７に余剰が生じる。そして、塗布液配管１０６および／またはエアー配管１０７にたわみや振動等が生じて、それらの復元力や振動等がスライド支持部材１０２に加わる。一方、スライド支持部材１０２とガイド部材１０１との間には、上記空気静圧軸受を構成するためのエアーギャップが形成されている。したがって、スライド支持部材１０２は、塗布液配管１０６および／またはエアー配管１０７から受ける力によって、上記エアーギャップが一方に片寄る方向にずれることがある。このスライド支持部材１０２の位置ずれによって、スライド支持部材１０２に支持されているノズル１０４の位置もずれるため、ノズル１０４から吐出する塗布液の塗布位置もずれてしまう。このように、上記塗布装置では、塗布液配管１０６および／またはエアー配管１０７の挙動を原因とする塗布液の塗布ずれが問題となることがある。
【０００９】
それ故に、本発明の目的は、接続される配管からの外力による塗布ずれを防止する塗布装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明は、以下に述べるような特徴を有している。
第１の発明は、基板上に塗布液を塗布する塗布装置である。塗布装置は、ノズル、ステージ、およびノズル移動機構を備える。ノズルは、その先端部から塗布液を吐出する。ステージは、基板をその上面に載置する。ノズル移動機構は、ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向にノズルを往復移動させる。ノズル移動機構は、第１ガイド部材と、スライド支持部材と、駆動機構と、可撓性の配管または配線とを含む。第１ガイド部材は、ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向に延設される。スライド支持部材は、ノズルを支持し、第１ガイド部材に沿って横断する方向に移動可能である。駆動機構は、スライド支持部材を第１ガイド部材に沿って往復移動させる。可撓性の配管または配線は、スライド支持部材の往復移動方向に沿って張設され、スライド支持部材の往復移動に伴って当該スライド支持部材と共に当該往復移動方向に移動する。
【００１１】
第２の発明は、上記第１の発明において、配管または配線は、ノズルへ塗布液を供給する塗布液配管を少なくとも含む。
【００１２】
第３の発明は、上記第１または第２の発明において、スライド支持部材と第１ガイド部材との間には、静圧軸受が構成される。配管または配線は、静圧軸受で用いられる気体をスライド支持部材に供給する気体配管を少なくとも含む。
【００１３】
第４の発明は、上記第１または第２の発明において、スライド支持部材と第１ガイド部材との間には、磁気軸受が構成される。配管または配線は、磁気軸受で用いられる電力をスライド支持部材に供給する配線を少なくとも含む。
【００１４】
第５の発明は、上記第１または第２の発明において、ノズル移動機構は、第２ガイド部材、スライド部材、および駆動ベルトとを含む。第２ガイド部材は、ステージ上の空間において、第１ガイド部材と平行に当該ステージ面を横断する方向に延設される。スライド部材は、第２ガイド部材との間に静圧軸受を構成し、第２ガイド部材に沿って移動可能である。駆動ベルトは、一対のプーリに掛け渡されて対称となる位置にスライド支持部材およびスライド部材をそれぞれ連結し、所定の駆動源からの駆動力を伝動することによって、スライド支持部材を第１ガイド部材に沿って往復移動させ、スライド支持部材が移動する方向とは相反する方向にスライド部材を第２ガイド部材に沿って往復移動させる。駆動機構は、プーリを回転させることによって駆動ベルトを駆動させる。
【００１５】
第６の発明は、上記第５の発明において、ノズル移動機構は、定滑車を、さらに含む。定滑車は、第１ガイド部材および第２ガイド部材が延設されている空間の外側に設けられ、所定の回転軸を中心に回転自在である。配管または配線は、定滑車を介してスライド支持部材とスライド部材との間に張設される。
【００１６】
第７の発明は、上記第６の発明において、スライド支持部材と第１ガイド部材との間には、静圧軸受が構成される。配管または配線は、塗布装置の塗布液および気体供給口からスライド部材まで渡設された後、定滑車を介してスライド支持部材まで張設される。塗布液および気体供給口からスライド部材まで渡設される配管または配線は、ノズルへ塗布液を供給する塗布液配管と、スライド支持部材の静圧軸受で用いられる気体を供給する気体配管と、スライド部材の静圧軸受で用いられる気体を供給する気体配管とを含む。スライド支持部材とスライド部材との間に張設される配管または配線は、塗布液配管と、スライド支持部材の静圧軸受で用いられる気体を供給する気体配管とを含む。
【００１７】
第８の発明は、上記第６の発明において、定滑車は、鉛直方向の回転軸を中心に水平方向に回転自在である。
【００１８】
第９の発明は、上記第６の発明において、ノズル移動機構は、一対のガイドローラを、さらに含む。一対のガイドローラは、第１ガイド部材および第２ガイド部材が延設されている空間と定滑車との間に設けられる。配管または配線は、スライド部材から、一方のガイドローラ、定滑車、および他方のガイドローラの順に掛け渡されて、スライド支持部材まで張設される。定滑車は、配管または配線と接触する円周面の直径が、一対のガイドローラの間隔より大きい。
【００１９】
第１０の発明は、上記第２の発明において、スライド支持部材と第１ガイド部材との間には、静圧軸受が構成される。配管または配線は、塗布液配管と、静圧軸受で用いられる気体をスライド支持部材に供給する気体配管とを、一体的に束ねた配管群で構成される。
【００２０】
第１１の発明は、上記第１または第２の発明において、ノズル移動機構は、定滑車および張力調整機構を、さらに含む。定滑車は、第１ガイド部材が延設されている空間の外側に設けられ、所定の回転軸を中心に回転自在である。張力調整機構は、定滑車を介して、配管または配線に加わるスライド支持部材の往復移動方向の張力を一定に調整する。配管または配線は、定滑車を介してスライド支持部材から張力調整機構まで張設される。
【００２１】
第１２の発明は、上記第１または第２の発明において、ノズル移動機構は、動滑車および動滑車移動機構を、さらに含む。動滑車は、第１ガイド部材が延設されている空間の外側に設けられ、所定の回転軸を中心に回転自在である。動滑車移動機構は、スライド支持部材の往復移動方向に対して垂直な方向に動滑車の回転軸を移動させる。配管または配線は、動滑車を介してスライド支持部材の往復移動方向に沿って張設される。動滑車移動機構は、スライド支持部材が往復移動する速度の半分の速度で動滑車の回転軸を移動する。
【発明の効果】
【００２２】
上記第１の発明によれば、スライド支持部材が往復移動する際、スライド支持部材に接続される配管または配線がその移動方向に沿って張設された状態を常に保つため、配管または配線のたわみや振動等による影響がスライド支持部材に生じない。つまり、スライド支持部材に支持されるノズルの位置が安定するため、配管または配線の挙動を原因とする塗布液の塗布ずれを防止することができ、高精度な塗布作業が可能となる。
【００２３】
上記第２の発明によれば、ノズルに塗布液を供給する塗布液配管の挙動を原因とする塗布液の塗布ずれを防止することができ、高精度な塗布作業が可能となる。例えば、複数のノズルが塗布装置に設けられている場合、それら塗布液配管のたわみや振動等による影響が大きくなって塗布不良が生じやすくなるが、このような塗布不良も防止することができる。
【００２４】
上記第３の発明によれば、静圧軸受に空気や窒素ガス等の気体を供給する気体配管の挙動を原因とする塗布液の塗布ずれを防止することができ、高精度な塗布作業が可能となる。
【００２５】
上記第４の発明によれば、リニアモータ等の磁気軸受に電力を供給する配線の挙動を原因とする塗布液の塗布ずれを防止することができ、高精度な塗布作業が可能となる。
【００２６】
上記第５の発明によれば、スライド支持部材の移動方向と相反する方向に同期して移動するスライド部材を設けることによって、スライド支持部材の移動位置を安定するため、塗布液の塗布ずれを防止することができる。
【００２７】
上記第６の発明によれば、スライド支持部材の移動方向と相反する方向に同期して移動するスライド部材を利用して、スライド支持部材に接続される配管または配線を移動方向に沿って容易に一定の張力で張設することができる。
【００２８】
上記第７の発明によれば、ノズルへ塗布液を供給する塗布液配管、スライド支持部材の静圧軸受に気体を供給する気体配管、およびスライド部材の静圧軸受に気体を供給する気体配管に挙動を原因とする塗布液の塗布ずれを防止することができ、高精度な塗布作業が可能となる。
【００２９】
上記第８の発明によれば、配管内を伝搬される塗布液や気体等の内部搬送物質の状態を安定させることができる。
【００３０】
上記第９の発明によれば、スライド部材とスライド支持部材との間に張設される際の配管の曲率半径を大きくすることができ、配管が滑車と接面する際に曲がることによる塗布液や気体等の内部搬送物質への影響を軽減することができる。
【００３１】
上記第１０の発明によれば、塗布液配管の変形が抑制されるため、均一な塗布液塗布が可能になる。
【００３２】
上記第１１の発明によれば、一般的なエアシリンダー、油圧シリンダー、バネ等に代表される張力調整機構を用いて、スライド支持部材に接続される配管または配線を移動方向に沿って容易に張設することができる。
【００３３】
上記第１２の発明によれば、動滑車をスライド支持部材の移動速度の１／２で移動させることによって、配管または配線に加わるスライド支持部材の往復移動方向の張力を一定に調整することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態に係る塗布装置について説明する。説明を具体的にするために、当該塗布装置が有機ＥＬ材料や正孔輸送材料等を塗布液として用いる有機ＥＬ表示装置を製造する塗布装置に適用された例を用いて、以下の説明を行う。当該塗布装置は、ステージ上に載置されたガラス基板上に有機ＥＬ材料や正孔輸送材料等を所定のパターン形状に塗布して有機ＥＬ表示装置を製造するものである。図１は、塗布装置１の要部概略構成を示す平面図および正面図である。なお、塗布装置１は、上述したように有機ＥＬ材料や正孔輸送材料等の複数の塗布液を用いるが、それらの代表として有機ＥＬ材料を塗布液として説明を行う。
【００３５】
図１において、塗布装置１は、大略的に、基板載置装置２および有機ＥＬ塗布機構５を備えている。有機ＥＬ塗布機構５は、ノズル移動機構部５１と、ノズルユニット５０と、液受部５３Ｌおよび５３Ｒとを有している。ノズルユニット５０は、赤、緑、および青色の何れか１色の有機ＥＬ材料を吐出する複数のノズル５２を並設した状態で保持する。例えば、ノズルユニット５０は、１６本のノズル５２で構成され、図１では３本のノズル５２ａ、５２ｂ、および５２ｃがその代表として示されている。各ノズル５２ａ〜５２ｃへは、それぞれ供給部（図２参照）から赤、緑、および青色の何れか１色の有機ＥＬ材料が供給される。このように、複数のノズル５２から同じ色の有機ＥＬ材料が吐出されるが、説明を具体的にするために赤色の有機ＥＬ材料が３本のノズル５２ａ〜５２ｃから吐出される例を用いる。なお、ノズル５２ａ〜５２ｃはそれぞれ同一の構造であるため、総称して説明する場合は参照符号「５２」を付して説明を行う。
【００３６】
ノズル移動機構部５１は、その両端にプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒを有しており、当該プーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒの間に１つの凹状ガイド部材５１１および２つの丸棒ガイド部材５１２が水平方向（図示Ｘ軸方向）に延設されている。そして、ノズルユニット５０を支持するスライド支持部材５１０が凹状ガイド部材５１１に沿って図示Ｘ軸方向に往復移動し、カウンタ５１３が丸棒ガイド部材５１２に沿って図示Ｘ軸方向に往復移動する。なお、後述する説明においては、スライド支持部材５１０が往復する水平方向をＸ軸方向とし、プーリカバー５１４Ｌからプーリカバー５１４Ｒへ向かう方向（図示右方向）をＸ軸正方向とする。
【００３７】
基板載置装置２は、ステージ２１、旋回部２２、平行移動テーブル２３、ガイド受け部２４、およびガイド部材２５を有している。ステージ２１は、被塗布体となるガラス基板等の基板Ｐをそのステージ上面に載置する。ステージ２１の下部は、旋回部２２によって支持されており、旋回部２２の回動動作によって図示θ方向にステージ２１が回動可能に構成されている。また、ステージ２１の内部には、有機ＥＬ材料が塗布された基板Ｐをステージ面上で予備加熱処理するための加熱機構や基板Ｐの吸着機構や受け渡しピン機構等が設けられている。
【００３８】
ノズル移動機構部５１の下方を通るように、ガイド部材２５が上記Ｘ軸方向と垂直の図示Ｙ軸方向に延設されて固定される。平行移動テーブル２３の下面にはガイド部材２５と当接してガイド部材２５上を滑動するガイド受け部２４が固設されている。また、平行移動テーブル２３の上面には、旋回部２２が固設される。これによって、平行移動テーブル２３が、例えばリニアモータ（図示せず）からの駆動力を受けてガイド部材２５に沿った図示Ｙ軸方向に移動可能になり、旋回部２２に支持されたステージ２１の移動も可能になる。
【００３９】
受け渡しピン機構を介してステージ２１上に基板Ｐを載置し、当該基板Ｐを吸着固定して、平行移動テーブル２３がノズル移動機構部５１の下方まで移動したとき、当該基板Ｐが赤色の有機ＥＬ材料の塗布をノズル５２ａ〜５２ｃから受ける位置となる。そして、制御部（図２参照）がノズルユニット５０をＸ軸方向に往復移動させるようにノズル移動機構部５１を制御し、ステージ２１をＹ軸方向へ当該直線移動毎に所定ピッチだけ移動させるように平行移動テーブル２３を制御し、ノズル５２ａ〜５２ｃから所定流量の有機ＥＬ材料を吐出する。また、ノズル５２ａ〜５２ｃのＸ軸方向吐出位置において、ステージ２１に載置された基板Ｐから逸脱する両サイド空間には、基板Ｐから外れて吐出された有機ＥＬ材料を受ける液受部５３Ｌおよび５３Ｒがそれぞれ固設されている。ノズル移動機構部５１は、基板Ｐの一方サイド外側に配設されている液受部５３の上部空間から、基板Ｐを横断して基板Ｐの他方サイド外側に配設されている液受部５３の上部空間まで、ノズルユニット５０を往復移動させる。また、平行移動テーブル２３は、ノズルユニット５０が液受部５３の上部空間に配置されている際、ノズル往復移動方向とは垂直の所定方向（図示Ｙ軸方向）に所定ピッチだけステージ２１を移動させる。このようなノズル移動機構部５１および平行移動テーブル２３の動作と同時にノズル５２ａ〜５２ｃから有機ＥＬ材料を液柱状態で吐出することによって、赤色の有機ＥＬ材料が基板Ｐに形成されたストライプ状の溝毎に配列された、いわゆる、ストライプ配列が基板Ｐ上に形成される。
【００４０】
次に、図２を参照して、塗布装置１における制御機能、塗布液供給部、およびエアー供給部の概略構成について説明する。なお、図２は、塗布装置１の制御機能、塗布液供給部、およびエアー供給部を示すブロック図である。
【００４１】
図２において、塗布装置１は、上述した構成部の他に、制御部３、塗布液供給部５４、エアー供給部５５、エアー配管５２２２、および塗布液配管５２２３を備えている。塗布液供給部５４は、塗布液配管５２２３を介して、赤色の有機ＥＬ材料をそれぞれ複数のノズル５２に供給する。また、エアー供給部５５は、エアー配管５２２２を介して、カウンタ５１３およびスライド支持部材５１０にエアーを供給する。そして、制御部３は、塗布液供給部５４、エアー供給部５５、旋回部２２、平行移動テーブル２３、およびノズル移動機構部５１のそれぞれの動作を制御する。
【００４２】
塗布液供給部５４は、有機ＥＬ材料の供給源５４１と、供給源５４１から有機ＥＬ材料を取り出すためのポンプ５４２と、ノズル５２に供給する有機ＥＬ材料の流量を検出する流量計５４３とを備えている。なお、塗布液供給部５４は、ノズル５２毎に、それぞれ供給源５４１、ポンプ５４２、および流量計５４３を別に設けてもかまわない。
【００４３】
エアー供給部５５は、エアーを増圧するポンプ５５１と、ポンプ５５１が増圧してカウンタ５１３およびスライド支持部材５１０に供給するエアー圧力を検出する圧力計５５２とを備えている。
【００４４】
複数のノズル５２は、それぞれ塗布液供給部５４から供給された有機ＥＬ材料中の異物を除去するためのフィルタ５２１を有している。
【００４５】
ここで、赤色の有機ＥＬ材料の塗布を受ける基板Ｐの表面には、有機ＥＬ材料を塗布すべき所定のパターン形状に応じたストライプ状の溝が複数本並設されるように形成されている。有機ＥＬ材料としては、例えば、基板Ｐ上の溝内に拡がるように流動する程度の粘性を有する有機性のＥＬ材料が用いられ、具体的には各色毎の高分子タイプの有機ＥＬ材料が用いられる。ノズルユニット５０は、所定の支持軸周りに回動自在に支持されており、制御部３の制御によって当該支持軸周りに回動させることで、保持する複数のノズル５２の並設方向を変化させることができるので、複数のノズル５２による塗布ピッチ間隔を調整することができる。
【００４６】
制御部３は、ステージ２１に載置された基板Ｐの位置や方向に基づいて、基板Ｐに形成された溝の方向が上記Ｘ軸方向になるように旋回部２２の角度を調整し、塗布のスタートポイント、すなわち、基板Ｐに形成された溝の一方の端部側で塗布を開始する塗布開始位置を算出する。なお、上記塗布開始位置は、一方の液受部５３の上部空間となる。そして、制御部３は、上述したように平行移動テーブル２３およびノズル移動機構部５１を駆動させる。
【００４７】
上記塗布開始位置において、制御部３は、各ノズル５２から有機ＥＬ材料の吐出開始をポンプ５４２に指示する。このとき、制御部３は、ストライプ状の溝の各ポイントにおける有機ＥＬ材料の塗布量が均一となり、液柱状態で有機ＥＬ材料が吐出されるように、ノズル５２の移動速度に応じてその塗布量を制御しており、流量計５４３からの流量情報をフィードバックして制御する。そして、制御部３は、基板Ｐ上の溝内への有機ＥＬ材料の流し込むために、有機ＥＬ材料を基板Ｐ上の溝に沿わせながらこの溝内に流し込むようにノズルユニット５０を凹状ガイド部材５１１に沿わせて移動させるように制御する。この動作によって、液柱状態で各ノズル５２から吐出される赤色の有機ＥＬ材料が同時にそれぞれの溝に流し込まれていく。
【００４８】
制御部３は、基板Ｐ上をノズルユニット５０が横断して溝の他方端部の外側に固設されている他方の液受部５３上に位置すると、複数のノズル５２からの有機ＥＬ材料の吐出を継続したまま、ノズル移動機構部５１によるノズルユニット５０の移動を停止する。この１回の移動によって、ノズル５２の本数分の溝への有機ＥＬ材料の塗布が完了する。具体的には、同色の有機ＥＬ材料を各ノズル５２から吐出しているので、３列毎に１列の溝を塗布対象とした合計ノズル本数分の溝に有機ＥＬ材料が塗布される。
【００４９】
次に、制御部３は、平行移動テーブル２３をＹ軸方向に所定距離（例えば、溝４８列分）だけピッチ送りして、次に塗布対象となる溝への有機ＥＬ材料の塗布を行えるようにする。そして、制御部３は、他方の液受部５３の上部空間からノズルユニット５０を逆の方向へ基板Ｐ上を横断させて一方の液受部５３上に位置すると、ノズル５２からの有機ＥＬ材料の吐出を継続したまま、ノズル移動機構部５１によるノズルユニット５０の移動を停止する。この２回目の移動によって、次のノズル本数分の溝への有機ＥＬ材料の塗布が完了する。このような動作を繰り返すことによって、赤色の有機ＥＬ材料が赤色を塗布対象とした溝に流し込まれる。なお、制御部３は、ノズルユニット５０を凹状ガイド部材５１１に沿わせて移動させるように制御する際、ノズル移動機構部５１が備える駆動プーリ５１７を駆動する駆動源の回転動作を制御する。
【００５０】
以下、図３〜図９を参照して、ノズル移動機構部５１の構造について説明する。なお、図３は、ノズル移動機構部５１の概略構成を示す斜視図である。図４は、図１の断面ＡＡをＢ方向から見たノズル移動機構部５１の断面図である。図５は、図１の断面ＣＣをＤ方向から見たノズル移動機構部５１の断面図である。図６は、ノズル移動機構部５１の動作を模式的に示したノズル移動機構部５１の正面概要図である。図７〜図９は、ノズル移動機構部５１の動作を模式的に示したノズル移動機構部５１の上面概要図である。
【００５１】
図３において、ノズル移動機構部５１は、スライド支持部材５１０と、凹状ガイド部材５１１と、２つの丸棒ガイド部材５１２と、カウンタ５１３と、プーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒと、駆動ベルト５１５と、配管群５２２と、滑車５２３とを備えている。プーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒは、ノズル移動機構部５１の固定部材上の両端に固設されており、それぞれの内部に駆動プーリ５１７および従動プーリ５１８（図６参照）が設けられている。
【００５２】
凹状ガイド部材５１１は、プーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒの間に図示Ｘ軸方向へ延設される。２つの丸棒ガイド部材５１２は、プーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒの間に図示Ｘ軸方向へ凹状ガイド部材５１１の上方に並設して延設される。駆動ベルト５１５は、一対の駆動プーリ５１７および従動プーリ５１８の間に図示Ｘ軸方向に掛け渡される。具体的には、駆動プーリ５１７および従動プーリ５１８の回転軸が図示Ｙ軸方向に設けられるため、当該回転軸に対する下側部分の駆動ベルト５１５は、当該回転軸に対する上側部分の直下となる位置（つまり、駆動ベルト５１５全体が図示ＸＺ平面に平行）になるように掛け渡される。以下、一対の駆動プーリ５１７および従動プーリ５１８を上下（図示Ｚ軸方向）位置で掛け渡される駆動ベルト５１５において、上記回転軸の下側で掛け渡される駆動ベルト５１５の部分を下側の駆動ベルト５１５と記載する。また、上記回転軸の上側で掛け渡される駆動ベルト５１５の部分を上側の駆動ベルト５１５と記載する。なお、後述により明らかとなるが、スライド支持部材５１０が図示Ｘ軸正方向に移動する場合、下側の駆動ベルト５１５がベルトの張り側を意味し、上側の駆動ベルト５１５がベルトのゆるみ側を意味する。また、駆動ベルト５１５は、本発明の帯状部材に相当し、例えば回動方向に対して垂直に複数の山が形成されたタイミングベルト（歯付きベルト）で構成される。
【００５３】
スライド支持部材５１０は、ノズルユニット５０（ノズル５２ａ〜５２ｃ）を支持する。また、スライド支持部材５１０は、下側の駆動ベルト５１５の一部に接続され、凹状ガイド部材５１１に沿って移動可能に構成されている。つまり、駆動プーリ５１７が回転することに応じて駆動ベルト５１５が回動すると、当該駆動ベルト５１５の移動に応じてスライド支持部材５１０も凹状ガイド部材５１１に沿って図示Ｘ軸方向へ往復移動する。スライド支持部材５１０が凹状ガイド部材５１１に沿って往復移動する際、配管群５２２に含まれる塗布液配管５２２３を介して各ノズル５２へ塗布液が供給される。なお、配管群５２２の構成や接続方法については、後述する。
【００５４】
カウンタ５１３は、駆動ベルト５１５においてスライド支持部材５１０が接続される位置の対称位置に接続され、２つの丸棒ガイド部材５１２に貫装される。つまり、カウンタ５１３は、上側の駆動ベルト５１５の一部と接続される。したがって、駆動プーリ５１７が回転することに応じて駆動ベルト５１５が回動すると、当該駆動ベルト５１５の移動に応じてカウンタ５１３も２つの丸棒ガイド部材５１２に沿ってスライド支持部材５１０とは逆方向の図示Ｘ軸方向へ往復移動する。
【００５５】
図４において、凹状ガイド部材５１１は、その長軸方向に上面を開口した条溝Ｇが形成されており、その断面が上面を開口とした略コの字形状（Π（パイ）型形状）となる。スライド支持部材５１０は、凹状ガイド部材５１１の条溝Ｇを除いた外側面と所定の隙間を有した状態で覆うように嵌合して配置される。そして、スライド支持部材５１０の一方の外側面は、ノズルユニット５０を支持する。また、スライド支持部材５１０の他方の外側面は、凹状ガイド部材５１１を基準とした図示Ｙ軸方向に対して、ノズルユニット５０との重量バランスをとるためのウェイト５２５が付設される。
【００５６】
凹状ガイド部材５１１と対向するスライド支持部材５１０の内側面には、複数箇所（例えば、６箇所）にエアー供給口Ａｈが設けられる。スライド支持部材５１０が凹状ガイド部材５１１に沿って往復移動する際、配管群５２２に含まれるエアー配管５２２２を介してスライド支持部材５１０へエアーが供給される。そして、エアー供給口Ａｈから上記隙間に当該エアーを供給することによって、スライド支持部材５１０と凹状ガイド部材５１１との間に空気静圧軸受が構成される。
【００５７】
下側の駆動ベルト５１５は、凹状ガイド部材５１１に形成された条溝Ｇ内の空間に配設される。そして、下側の駆動ベルト５１５とスライド支持部材５１０とは、連結部材５１９を介して接続される。これらの構成によって、駆動ベルト５１５が回動すると連結部材５１９を介してスライド支持部材５１０が凹状ガイド部材５１１に沿って移動し、当該スライド支持部材５１０で支持されたノズルユニット５０が移動する。
【００５８】
図５において、カウンタ５１３は、例えば２つの部材によって構成される。以下、それらの部材をカウンタ５１３ａとカウンタ５１３ｂとして区別する。カウンタ５１３ａおよび５１３ｂは、それぞれ貫通穴が形成されている。そして、カウンタ５１３ａが一方の丸棒ガイド部材５１２に所定の隙間を有した状態で貫装され、カウンタ５１３ｂが他方の丸棒ガイド部材５１２に所定の隙間を有した状態で貫装される。カウンタ５１３ａおよび５１３ｂの貫通穴内周面には、エアー供給口Ａｈがそれぞれ設けられる。カウンタ５１３ａおよび５１３ｂが丸棒ガイド部材５１２に沿って往復移動する際、配管群５２２に含まれるエアー配管５２２２を介してカウンタ５１３ａおよび５１３ｂへエアーが供給される。そして、エアー供給口Ａｈから上記隙間にそれぞれ当該エアーを供給することによって、カウンタ５１３ａおよび５１３ｂと丸棒ガイド部材５１２との間に空気静圧軸受が構成される。
【００５９】
カウンタ５１３ａとカウンタ５１３ｂとは、連結部材５１６で接続される。また、上側の駆動ベルト５１５は、２つの丸棒ガイド部材５１２の間の空間に配設され、その一部が連結部材５１６と接続する。これらの構成によって、駆動ベルト５１５が回動すると連結部材５１６を介してカウンタ５１３ａおよび５１３ｂが丸棒ガイド部材５１２に沿って移動する。
【００６０】
図６において、プーリカバー５１４Ｒの内部には、図示Ｙ軸方向を回転軸とした駆動プーリ５１７が設けられる。また、プーリカバー５１４Ｌの内部には、図示Ｙ軸方向を回転軸とした従動プーリ５１８が設けられ、一対の駆動プーリ５１７と従動プーリ５１８との間に駆動ベルト５１５が掛け渡される。駆動プーリ５１７は、サーボモータ等の駆動源（図示せず）からの駆動力を受けて、上記回転軸を中心とした双方向（図示両矢印方向）へ回転する。ここで、駆動プーリ５１７の回転方向、回転速度、および回転角度の制御は、駆動源が駆動プーリ５１７を回転させる動作を制御部３が制御することによって行われる。なお、スライド支持部材５１０が最もプーリカバー５１４Ｌに接近する位置（つまり、上述した往復移動において図示Ｘ軸負方向側で引き返す点）は、一方の液受部５３Ｌ（図１参照）の上部空間となるように制御部３が制御する。また、スライド支持部材５１０が最もプーリカバー５１４Ｒに接近する位置（つまり、上述した往復移動において図示Ｘ軸正方向側で引き返す点）は、一方の液受部５３Ｒ（図１参照）の上部空間となるように制御部３が制御する。
【００６１】
スライド支持部材５１０およびカウンタ５１３は、駆動ベルト５１５において対称となる位置に接続されている。駆動プーリ５１７が図６の反時計方向に回転した場合、駆動ベルト５１５も同位相で反時計方向に回動する。そして、スライド支持部材５１０がＸ軸正方向へ凹状ガイド部材５１１に沿ってプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒ間を移動し、カウンタ５１３がＸ軸負方向へ丸棒ガイド部材５１２に沿ってプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒ間を移動する。一方、駆動プーリ５１７が図６の時計方向に回転した場合、駆動ベルト５１５も同位相で時計方向に回動する。そして、スライド支持部材５１０がＸ軸負方向へ凹状ガイド部材５１１に沿ってプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒ間を移動し、カウンタ５１３がＸ軸正方向へ丸棒ガイド部材５１２に沿ってプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒ間を移動する。このように、スライド支持部材５１０およびカウンタ５１３は、駆動ベルト５１５の駆動に応じて、対称となる位置を保った状態でＸ軸方向にスライド移動する。
【００６２】
図３および図６〜図９に示すように、配管群５２２は、塗布装置１の外面に設けられた塗布液／エアー供給口とカウンタ５１３との間に渡設されて、カウンタ５１３に固定して接続される。そして、カウンタ５１３は、接続された配管群５２２に含まれるエアー配管５２２２から供給されるエアーを用いて、丸棒ガイド部材５１２との間に空気静圧軸受を構成する。
【００６３】
プーリカバー５１４Ｌの左方外側には、水平方向に回転自在の滑車５２３が設けられている。そして、カウンタ５１３に接続された配管群５２２は、カウンタ５１３からＸ軸負方向（カウンタ５１３のスライド移動方向）に滑車５２３まで所定の張力を加えた状態で張設され、さらに滑車５２３からＸ軸正方向（スライド支持部材５１０のスライド移動方向）にスライド支持部材５１０まで所定の張力を加えた状態で張設されて、スライド支持部材５１０に固定して接続される。これによって、カウンタ５１３とスライド支持部材５１０との間には、滑車５２３を介して所定の張力で配管群５２２が張設される。そして、スライド支持部材５１０は、接続された配管群５２２に含まれるエアー配管５２２２から供給されるエアーを用いて、凹状ガイド部材５１１との間に空気静圧軸受を構成する。また、スライド支持部材５１０で支持される複数のノズル５２（図３および図６〜図９では、ノズル５２ａ〜５２ｃのみ図示）は、接続された配管群５２２に含まれる塗布液配管５２２３から供給される塗布液をそれぞれ用いて、塗布液を吐出する。
【００６４】
ここで、図７〜図９を参照して、スライド支持部材５１０およびカウンタ５１３がスライド移動した際の、配管群５２２の動きについて説明する。例えば、スライド支持部材５１０が凹状ガイド部材５１１上の最もＸ軸負方向側（プーリカバー５１４Ｌ側）に配置され、カウンタ５１３が丸棒ガイド部材５１２上の最もＸ軸正方向側（プーリカバー５１４Ｒ側）に配置されている状態を考える（図７の状態）。このとき、カウンタ５１３に接続された配管群５２２は、滑車５２３を介してカウンタ５１３とスライド支持部材５１０との間に所定の張力で張設されている。この状態においてカウンタ５１３とスライド支持部材５１０との間に張設された配管群５２２の長さを長さＬとする。
【００６５】
図７に示した状態から、スライド支持部材５１０がＸ軸正方向へ凹状ガイド部材５１１に沿って移動し、カウンタ５１３がＸ軸負方向へ丸棒ガイド部材５１２に沿って移動する。このとき、スライド支持部材５１０およびカウンタ５１３は、同じ駆動ベルト５１５に接続されて移動しているため、スライド支持部材５１０がＸ軸正方向へ移動する距離とカウンタ５１３がＸ軸負方向へ移動する距離とは同じである。また、カウンタ５１３の移動に応じて、カウンタ５１３に接続されている部位から滑車５２３に捲設されている部位までの配管群５２２は、カウンタ５１３と共にＸ軸負方向へ移動する。また、スライド支持部材５１０の移動に応じて、滑車５２３に捲設されている部位からスライド支持部材５１０に接続されている部位までの配管群５２２は、スライド支持部材５１０と共にＸ軸正方向へ移動する。一方、配管群５２２を張設している滑車５２３は、回転自在にその位置が固定されているため、配管群５２２の移動に応じて図示反時計方向に回転して、配管群５２２を順送りする。したがって、カウンタ５１３とスライド支持部材５１０との間の配管群５２２の長さを長さＬで保った状態で配管群５２２が移動することになる。つまり、配管群５２２は、滑車５２３を介してカウンタ５１３とスライド支持部材５１０との間に所定の張力で張設された状態を保ちながら移動することになる（図８の状態）。
【００６６】
図８に示した状態から、スライド支持部材５１０がＸ軸正方向へ凹状ガイド部材５１１に沿ってさらに移動し、カウンタ５１３がＸ軸負方向へ丸棒ガイド部材５１２に沿ってさらに移動する。そして、スライド支持部材５１０が凹状ガイド部材５１１上の最もＸ軸正方向側（プーリカバー５１４Ｒ側）に配置され、カウンタ５１３が丸棒ガイド部材５１２上の最もＸ軸負方向側（プーリカバー５１４Ｌ側）に配置される（図９の状態）。この配置状態までの移動に関しても、上述した動きと同様に、配管群５２２は、滑車５２３を介してカウンタ５１３とスライド支持部材５１０との間に所定の張力で張設された状態を保ちながら移動することになる。また、スライド支持部材５１０およびカウンタ５１３が逆方向へ移動する際も、配管群５２２は、滑車５２３を介してカウンタ５１３とスライド支持部材５１０との間に所定の張力で張設された状態を保ちながら移動することになることは言うまでもない。つまり、スライド支持部材５１０がスライド移動する際、配管群５２２は、スライド支持部材５１０に対してそのスライド移動方向に沿って張設された状態を常に保つことになる。
【００６７】
次に、図１０〜図１２を参照して、配管群５２２の構成例について説明する。なお、図１０は、配管群５２２の第１の構成例の断面を示す斜視図である。図１１は、配管群５２２の第２の構成例の断面を示す斜視図である。図１２は、配管群５２２の第３の構成例の断面を示す斜視図である。
【００６８】
図１０において、配管群５２２の第１の構成例は、外膜配管５２２１、エアー配管５２２２ａ、および塗布液配管５２２３を含んでいる。エアー配管５２２２ａは、可撓性を有する材質で構成された管材であり、例えば、ウレタン樹脂等で構成される。そして、エアー配管５２２２ａは、塗布装置１の外面に設けられたエアー供給口から供給されたエアーを、カウンタ５１３およびスライド支持部材５１０に供給する。塗布液配管５２２３は、可撓性を有する材質で構成された管材であり、例えば、ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＰＥ（ポリエチレン）、ＰＰ（ポリプロピレン）等の材料で構成される。塗布液配管５２２３は、塗布装置１に設置されているノズル５２の本数分設けられており、図１０の構成例では１６本の塗布液配管５２２３が設けられている。また、複数の塗布液配管５２２３は、エアー配管５２２２ａの管外周面に沿って等角度間隔で密に配設される。そして、塗布液配管５２２３は、塗布装置１の外面に設けられた塗布液供給口から供給された塗布液を、それぞれノズル５２に供給する。さらに、外膜配管５２２１は、エアー配管５２２２ａおよび塗布液配管５２２３で構成される管束を束ねて、その外周を覆うように設けられて、配管群５２２の第１の構成例が形成される。外膜配管５２２１は、可撓性を有する材質で構成された熱収縮チューブ等で構成される。
【００６９】
図１１において、配管群５２２の第２の構成例は、エアー配管５２２２ｂ、塗布液配管５２２３、および連結配管５２２４を含んでいる。エアー配管５２２２ｂは、エアー配管５２２２ａと同様に可撓性を有する材質で構成された管材であり、例えば、ウレタン樹脂等で構成される。そして、エアー配管５２２２ｂは、塗布装置１の外面に設けられたエアー供給口から供給されたエアーを、カウンタ５１３およびスライド支持部材５１０に供給する。そして、連結配管５２２４も、エアー配管５２２２ａと同形状および同材質で構成された管材であり、その内部に複数本の塗布液配管５２２３が束ねて挿入される。図１１の構成例では、連結配管５２２４の内部に４本の塗布液配管５２２３が挿入されるため、配管群５２２に１６本の塗布液配管５２２３を含めるために、連結配管５２２４に４本の塗布液配管５２２３が挿入された組が４組（連結配管５２２４ａ〜５２２４ｄ）設けられている。そして、連結配管５２２４ａ〜５２２４ｄおよびエアー配管５２２２ｂが平面状に並設されて互いに接着固定されて、配管群５２２の第２の構成例が形成される。
【００７０】
図１２において、配管群５２２の第３の構成例は、エアー配管５２２２ｃおよび５２２２ｄと、塗布液配管５２２３と、連結配管５２２４とを含んでいる。エアー配管５２２２ｃおよび５２２２ｄは、それぞれエアー配管５２２２ａと同様に可撓性を有する材質で構成された管材であり、例えば、ウレタン樹脂等で構成される。そして、エアー配管５２２２ｃは、塗布装置１の外面に設けられたエアー供給口から供給されたエアーを、カウンタ５１３に供給する。また、エアー配管５２２２ｄは、塗布装置１の外面に設けられたエアー供給口から供給されたエアーを、スライド支持部材５１０に供給する。そして、第３の構成例における連結配管５２２４も、エアー配管５２２２ｃおよび５２２２ｄと同形状および同材質で構成された管材であり、その内部に複数本の塗布液配管５２２３が束ねて挿入される。図１２の構成例では、連結配管５２２４の内部に４本の塗布液配管５２２３が挿入されるため、配管群５２２に１６本の塗布液配管５２２３を含めるために、連結配管５２２４に４本の塗布液配管５２２３が挿入された組が４組（連結配管５２２４ｅ〜５２２４ｈ）設けられている。そして、連結配管５２２４ｅ〜５２２４ｈと、エアー配管５２２２ｃおよび５２２２ｄとが、１段あたり３本を２段（３×２）に並設されて互いに接着固定されて、配管群５２２の第３の構成例が形成される。
【００７１】
このように、当該実施形態に係る塗布装置によれば、スライド支持部材５１０がスライド移動する際、スライド支持部材５１０に対してそのスライド移動方向に沿って張設された状態を配管群５２２が常に保つため、配管群５２２のたわみや振動等による影響がスライド支持部材５１０に生じない。つまり、配管群５２２の挙動を原因とする塗布液の塗布ずれを防止することができ、高精度な塗布作業が可能となる。また、塗布装置１の外面に設けられた塗布液／エアー供給口からノズル移動機構部５１へ渡設される配管数が１本の配管群５２２となるため、塗布装置１の組み立て作業が容易になると共に、配管の挙動を原因とする装置内部の粉塵の発生を低減したり、配管自体の耐久性向上やコストを低減したりする効果が期待できる。
【００７２】
なお、上述した説明では、カウンタ５１３とスライド支持部材５１０との間に、滑車５２３を介して配管群５２２を張設したが、他の要素をさらに間に介在させて配管群５２２を張設してもかまわない。例えば、図１３に示すように、１対のガイドローラ５２３１および滑車５２３を介して、カウンタ５１３とスライド支持部材５１０との間に配管群５２２を張設してもかまわない。
【００７３】
図１３において、プーリカバー５１４Ｌの左方外側と滑車５２３との間に、図示Ｚ軸方向をそれぞれ回転軸としてそれら円筒面（ローラ面）が回転自在な１対のガイドローラ５２３１が、所定間隔で対向して設けられる。具体的には、１対のガイドローラ５２３１の一方は、他方と対向する側の円筒面が、カウンタ５１３からＸ軸負方向に張設した配管群５２２と接する位置となるように配置される。また、１対のガイドローラ５２３１の他方は、一方と対向する側の円筒面が、スライド支持部材５１０からＸ軸負方向に張設した配管群５２２と接する位置となるように配置される。
【００７４】
配管群５２２は、塗布装置１の外面に設けられた塗布液／エアー供給口とカウンタ５１３との間に渡設されて、カウンタ５１３に固定して接続される。そして、カウンタ５１３に接続された配管群５２２は、カウンタ５１３からＸ軸負方向に一方のガイドローラ５２３１まで所定の張力を加えた状態で張設され、当該ガイドローラ５２３１の円筒面と接した後、滑車５２３まで張設される。さらに、配管群５２２は、滑車５２３から他方のガイドローラ５２３１の円筒面と接した後、Ｘ軸正方向にスライド支持部材５１０まで所定の張力を加えた状態で張設されて、スライド支持部材５１０に固定して接続される。これによって、カウンタ５１３とスライド支持部材５１０との間には、滑車５２３および一対のガイドローラ５２３１を介して所定の張力で配管群５２２が張設される。
【００７５】
このように、一対のガイドローラ５２３１を加えることによって、カウンタ５１３と配管群５２２との接続部位と、スライド支持部材５１０と配管群５２２との接続部位との間の図示Ｙ軸方向間隔よりも直径が大きい滑車５２３を用いることができる。したがって、配管群５２２は、カウンタ５１３とスライド支持部材５１０との間に張設される際の曲率半径を大きくすることができ、配管群５２２が滑車５２３と接面する際に曲がることによる内部搬送物質（塗布液やエアー）への影響を軽減することができる。
【００７６】
また、上述した説明では、配管群５２２をカウンタ５１３に接続した後、滑車５２３を介してスライド支持部材５１０に張設したが、スライド支持部材５１０に対してそのスライド移動方向に沿って張設された状態を配管群５２２が常に保つ状態であればカウンタ５１３に接続しなくてもかまわない。一例として、図１４に示すように、一般的なエアシリンダー、油圧シリンダー、バネ等に代表される張力調整機構５２４を用いて、配管群５２２が上記張設された状態を保つようにしてもかまわない。例えば、配管群５２２は、滑車５２３からＸ軸正方向にスライド支持部材５１０まで張設されて、スライド支持部材５１０に固定して接続されるが、その張力は、張力調整機構５２４によって一定に調整される。
【００７７】
また、他の例として、図１５Ａおよび図１５Ｂに示すように、Ｙ軸方向へ往復移動可能に構成された滑車５２３ｍを用いて、配管群５２２が上記張設された状態を保つようにしてもかまわない。例えば、滑車５２３ｍは、水平方向に回転自在に構成され、制御部３（図２参照）の制御に応じて図示Ｙ軸方向に往復移動可能に構成されている。また、ガイドローラ５２３２は、その円筒面が、スライド支持部材５１０からＸ軸負方向に張設した配管群５２２と接する位置となるように配置される。そして、配管群５２２は、塗布装置１の外面に設けられた塗布液／エアー供給口から滑車５２３ｍの円周面およびガイドローラ５２３２の円筒面と接した後、Ｘ軸正方向にスライド支持部材５１０まで張設されて、スライド支持部材５１０に固定して接続される。
【００７８】
このような配管群５２２の接続状態において、スライド支持部材５１０がＸ軸正方向に移動速度２Ｖでスライド移動することに応じて、滑車５２３ｍが図示Ｙ軸正方向（ガイドローラ５２３２に近づく方向）に移動速度Ｖで移動する（図１５Ａの状態から図１５Ｂの状態へ移動）。また、スライド支持部材５１０がＸ軸負方向に移動速度２Ｖでスライド移動することに応じて、滑車５２３ｍが図示Ｙ軸負方向（ガイドローラ５２３２から離れる方向）に移動速度Ｖで移動する（図１５Ｂの状態から図１５Ａの状態へ移動）。このように、スライド支持部材５１０のスライド移動速度の１／２の速度で滑車５２３ｍを移動させることによって、配管群５２２がスライド支持部材５１０に対してそのスライド移動方向に沿って張設された状態に保たれる。
【００７９】
また、上述した説明では、スライド支持部材５１０と凹状ガイド部材５１１との間に空気静圧軸受を構成して、スライド支持部材５１０を凹状ガイド部材５１１に沿ってスライド移動させているが、スライド支持部材とガイド部材との間に他の方式の軸受を構成してもかまわない。例えば、内部から磁束を発生するガイド部材（例えば、丸棒形状）を、凹状ガイド部材５１１と同様にプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒの間にＸ軸方向（図３参照）へ延設する。そして、上記ガイド部材に対してスライド支持部材を磁力で浮遊させて、上記ガイド部材に沿ってスライド移動させるリニアモータを用いて磁力軸受を構成してもかまわない。この場合、スライド支持部材は、内蔵されたコイルによって駆動するため、駆動ベルト５１５や駆動ベルト５１５を駆動するための機構が不要となる。また、カウンタ５１３も不要となり、スライド支持部材５１０やカウンタ５１３にエアーを供給するエアー配管５２２２も不要となる。しかしながら、図１４、図１５Ａ、および図１５Ｂに例示した配管群５２２の張設方式を用いることによって、リニアモータ等の他の軸受方式で構成されたスライド支持部材と上記ガイド部材とであっても、同様に本発明を適用することができる。なお、リニアモータを用いてスライド支持部材をスライド移動させる場合、スライド支持部材に接続される配管群５２２には複数の塗布液配管５２２３および／またはリニアモータを駆動制御するための電源／制御配線が含まれることになる。
【００８０】
また、上述した説明では、スライド支持部材５１０と凹状ガイド部材５１１との間およびカウンタ５１３と２つの丸棒ガイド部材５１２との間に空気静圧軸受を構成して、それぞれエアー（空気）を供給しているが、他の気体をスライド支持部材５１０およびカウンタ５１３に供給する静圧軸受を構成してもかまわない。例えば、窒素ガス等の他の気体をスライド支持部材５１０およびカウンタ５１３に供給して、それぞれ静圧軸受を構成してもかまわない。
【００８１】
また、上述した説明では、スライド支持部材５１０にエアー配管５２２２および塗布液配管５２２３を含んだ配管群５２２を接続したが、配管群５２２に含まれる配管種は他の構成でもかまわない。例えば、複数の塗布液配管５２２３のみを含んだ配管群５２２をスライド支持部材５１０に接続し、エアー配管５２２２を他の方式を用いてスライド支持部材５１０に接続してもかまわない。この場合、従来の接続方式と比較すると複数の塗布液配管５２２３から受けていた外力が低減されるため、塗布ずれに対する効果が期待できる。また、エアー配管５２２２のみをスライド支持部材５１０に接続し、複数の塗布液配管５２２３を他の方式を用いてスライド支持部材５１０に接続してもかまわない。この場合も、従来の接続方式と比較するとエアー配管５２２２から受けていた外力が低減されるため、塗布ずれに対する効果が期待できる。
【００８２】
また、上述した説明では、滑車５２３の回転軸を鉛直方向として、配管群５２２が水平に張設される例を説明したが、これによって配管群５２２内を伝搬される塗布液やエアーの状態を安定させることができる。しかしながら、このような効果を期待しない場合、滑車５２３の回転方向は、他の方向でもかまわない。例えば、スライド支持部材５１０およびカウンタ５１３にそれぞれ接続する配管群５２２の接続位置に応じて、滑車５２３の回転方向が鉛直方向（つまり、滑車５２３の回転軸が水平）でもいいし、滑車５２３の回転方向が水平方向と鉛直方向との間の斜め方向でもかまわない。スライド支持部材５１０がスライド移動方向に沿って配管群５２２が張設された状態を常に保つならば、滑車５２３の回転方向はどのような方向でもかまわない。
【００８３】
また、上述した説明では、駆動プーリ５１７および従動プーリ５１８を覆うようにプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒを設けたが、スライド支持部材５１０等が往復移動する空間や滑車５２３が設けられる空間にもカバーを設けてもかまわない。また、塗布装置１にプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒを設けなくてもかまわない。
【００８４】
また、上述した実施形態では、赤、緑、および青色のうち、赤色の有機ＥＬ材料を複数のノズル５２から基板Ｐの溝内に流し込んでいるが、この塗布工程は、有機ＥＬ表示装置を製造する途中工程である。例えば、有機ＥＬ表示装置を製造するときの処理手順は、正孔輸送材料（ＰＥＤＯＴ）塗布→乾燥→赤色の有機ＥＬ材料塗布→乾燥→緑色の有機ＥＬ材料塗布→乾燥→青色の有機ＥＬ材料塗布→乾燥という手順となる。この場合、本発明の塗布装置は、正孔輸送材料、赤色の有機ＥＬ材料、緑色の有機ＥＬ材料、および青色の有機ＥＬ材料をそれぞれ塗布する工程に用いることができる。
【００８５】
また、複数のノズル５２から赤、緑、および青色の有機ＥＬ材料をそれぞれ吐出してもかまわない。この場合、赤、緑、および青色の順に配列された、いわゆる、ストライプ配列が１つの塗布工程で形成される。
【００８６】
また、上述した説明では、基板Ｐの表面に、有機ＥＬ材料を塗布すべき所定のパターン形状に応じたストライプ状の溝が複数本並設されるように形成されている例を用いたが、ストライプ状の溝が形成されていない基板を被塗布体にしてもかまわない。
【００８７】
また、上述した実施形態では、塗布液として有機ＥＬ材料や正孔輸送材料を塗布液とした有機ＥＬ表示装置の製造装置を一例にして説明したが、本発明は他の塗布装置にも適用できる。例えば、レジスト液やＳＯＧ（Ｓｐｉｎ Ｏｎ Ｇｌａｓｓ）液やＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）を製造するのに使用される蛍光材料を塗布する装置にも適用することができる。また、液晶カラーディスプレイをカラー表示するために液晶セル内に構成されるカラーフィルタを製造するために使用される色材を塗布する装置にも適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００８８】
本発明に係る塗布装置は、ノズルを駆動する部材に接続される配管からの外力による塗布ずれを防止することができ、ノズルから塗布液を吐出して基板に塗布する装置等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】本発明の一実施形態に係る塗布装置１の要部概略構成を示す平面図および正面図
【図２】塗布装置１の制御機能、塗布液供給部、およびエアー供給部を示すブロック図
【図３】図１のノズル移動機構部５１の概略構成を示す斜視図
【図４】図１の断面ＡＡをＢ方向から見たノズル移動機構部５１の断面図
【図５】図１の断面ＣＣをＤ方向から見たノズル移動機構部５１の断面図
【図６】図１のノズル移動機構部５１の動作を模式的に示したノズル移動機構部５１の正面概要図
【図７】図１のノズル移動機構部５１の動作を模式的に示したノズル移動機構部５１の上面概要図
【図８】図１のノズル移動機構部５１の動作を模式的に示したノズル移動機構部５１の上面概要図
【図９】図１のノズル移動機構部５１の動作を模式的に示したノズル移動機構部５１の上面概要図
【図１０】図３の配管群５２２の第１の構成例の断面を示す斜視図
【図１１】図３の配管群５２２の第２の構成例の断面を示す斜視図
【図１２】図３の配管群５２２の第３の構成例の断面を示す斜視図
【図１３】１対のガイドローラ５２３１および滑車５２３を介して配管群５２２を張設した例を模式的に示したノズル移動機構部５１の上面概要図
【図１４】張力調整機構５２４を用いて配管群５２２を張設した例を模式的に示したノズル移動機構部５１の上面概要図
【図１５Ａ】滑車５２３ｍを用いて配管群５２２を張設した例を模式的に示したノズル移動機構部５１の上面概要図
【図１５Ｂ】滑車５２３ｍを用いて配管群５２２を張設した例を模式的に示したノズル移動機構部５１の上面概要図
【図１６Ａ】従来の塗布装置においてエアーおよび塗布液を供給する構造例を示す概略側面図
【図１６Ｂ】従来の塗布装置においてエアーおよび塗布液を供給する構造例を示す概略正面図
【図１７Ａ】従来の塗布装置においてスライド支持部材１０２がガイド部材１０１の中央付近に配置された場合の構造例を示す概略側面図
【図１７Ｂ】従来の塗布装置においてスライド支持部材１０２がガイド部材１０１の中央付近に配置された場合の構造例を示す概略正面図
【符号の説明】
【００９０】
１…塗布装置
２…基板載置装置
２１…ステージ
２２…旋回部
２３…平行移動テーブル
２４…ガイド受け部
２５、５１１…ガイド部材
３…制御部
５…有機ＥＬ塗布機構
５０…ノズルユニット
５１…ノズル移動機構部
５１０…スライド支持部材
５１１…凹状ガイド部材
５１２…丸棒ガイド部材
５１３…カウンタ
５１４…プーリカバー
５１５…駆動ベルト
５１６、５１９…連結部材
５１７…駆動プーリ
５１８…従動プーリ
５２…ノズル
５２１…フィルタ
５２２…配管群
５２２１…外膜配管
５２２２…エアー配管
５２２３…塗布液配管
５２２４…連結配管
５２３…滑車
５２３１、５２３２…ガイドローラ
５２４…張力調整機構
５２５…ウェイト
５３…液受部
５４…塗布液供給部
５５…エアー供給部
５４１…供給源
５４２、５５１…ポンプ
５４３…流量計
５５２…圧力計
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に塗布液を塗布する塗布装置であって、
その先端部から前記塗布液を吐出するノズルと、
前記基板をその上面に載置するステージと、
前記ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向に前記ノズルを往復移動させるノズル移動機構とを備え、
前記ノズル移動機構は、
前記ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向に延設された第１ガイド部材と、
前記ノズルを支持し、前記第１ガイド部材に沿って前記横断する方向に移動可能なスライド支持部材と、
前記スライド支持部材を前記第１ガイド部材に沿って往復移動させる駆動機構と、
前記スライド支持部材の往復移動方向に沿って張設され、前記スライド支持部材の往復移動に伴って当該スライド支持部材と共に当該往復移動方向に移動する可撓性の配管または配線とを含む、塗布装置。
【請求項２】
前記配管または配線は、前記ノズルへ前記塗布液を供給する塗布液配管を少なくとも含む、請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記スライド支持部材と前記第１ガイド部材との間には、静圧軸受が構成され、
前記配管または配線は、前記静圧軸受で用いられる気体を前記スライド支持部材に供給する気体配管を少なくとも含む、請求項１または２に記載の塗布装置。
【請求項４】
前記スライド支持部材と前記第１ガイド部材との間には、磁気軸受が構成され、
前記配管または配線は、前記磁気軸受で用いられる電力を前記スライド支持部材に供給する配線を少なくとも含む、請求項１または２に記載の塗布装置。
【請求項５】
前記ノズル移動機構は、
前記ステージ上の空間において、前記第１ガイド部材と平行に当該ステージ面を横断する方向に延設された第２ガイド部材と、
前記第２ガイド部材との間に静圧軸受を構成し、前記第２ガイド部材に沿って移動可能なスライド部材と、
一対のプーリに掛け渡されて対称となる位置に前記スライド支持部材および前記スライド部材をそれぞれ連結し、所定の駆動源からの駆動力を伝動することによって、前記スライド支持部材を前記第１ガイド部材に沿って往復移動させ、前記スライド支持部材が移動する方向とは相反する方向に前記スライド部材を前記第２ガイド部材に沿って往復移動させる駆動ベルトとを含み、
前記駆動機構は、前記プーリを回転させることによって前記駆動ベルトを駆動させる、請求項１または２に記載の塗布装置。
【請求項６】
前記ノズル移動機構は、前記第１ガイド部材および前記第２ガイド部材が延設されている空間の外側に設けられ、所定の回転軸を中心に回転自在の定滑車を、さらに含み、
前記配管または配線は、前記定滑車を介して前記スライド支持部材と前記スライド部材との間に張設される、請求項５に記載の塗布装置。
【請求項７】
前記スライド支持部材と前記第１ガイド部材との間には、静圧軸受が構成され、
前記配管または配線は、前記塗布装置の塗布液および気体供給口から前記スライド部材まで渡設された後、前記定滑車を介して前記スライド支持部材まで張設され、
前記塗布液および気体供給口から前記スライド部材まで渡設される前記配管または配線は、前記ノズルへ前記塗布液を供給する塗布液配管と、前記スライド支持部材の静圧軸受で用いられる気体を供給する気体配管と、前記スライド部材の静圧軸受で用いられる気体を供給する気体配管とを含み、
前記スライド支持部材と前記スライド部材との間に張設される前記配管または配線は、前記塗布液配管と、前記スライド支持部材の静圧軸受で用いられる気体を供給する気体配管とを含む、請求項６に記載の塗布装置。
【請求項８】
前記定滑車は、鉛直方向の回転軸を中心に水平方向に回転自在である、請求項６に記載の塗布装置。
【請求項９】
前記ノズル移動機構は、前記第１ガイド部材および前記第２ガイド部材が延設されている空間と前記定滑車との間に、一対のガイドローラを、さらに含み、
前記配管または配線は、前記スライド部材から、前記一方のガイドローラ、前記定滑車、および前記他方のガイドローラの順に掛け渡されて、前記スライド支持部材まで張設され、
前記定滑車は、前記配管または配線と接触する円周面の直径が、前記一対のガイドローラの間隔より大きい、請求項６に記載の塗布装置。
【請求項１０】
前記スライド支持部材と前記第１ガイド部材との間には、静圧軸受が構成され、
前記配管または配線は、前記塗布液配管と、前記静圧軸受で用いられる気体を前記スライド支持部材に供給する気体配管とを、一体的に束ねた配管群で構成される、請求項２に記載の塗布装置。
【請求項１１】
前記ノズル移動機構は、
前記第１ガイド部材が延設されている空間の外側に設けられ、所定の回転軸を中心に回転自在の定滑車と、
前記定滑車を介して、前記配管または配線に加わる前記スライド支持部材の往復移動方向の張力を一定に調整する張力調整機構とを、さらに含み、
前記配管または配線は、前記定滑車を介して前記スライド支持部材から前記張力調整機構まで張設される、請求項１または２に記載の塗布装置。
【請求項１２】
前記ノズル移動機構は、
前記第１ガイド部材が延設されている空間の外側に設けられ、所定の回転軸を中心に回転自在の動滑車と、
前記スライド支持部材の往復移動方向に対して垂直な方向に前記動滑車の回転軸を移動させる動滑車移動機構とを、さらに含み、
前記配管または配線は、前記動滑車を介して前記スライド支持部材の往復移動方向に沿って張設され、
前記動滑車移動機構は、前記スライド支持部材が往復移動する速度の半分の速度で前記動滑車の回転軸を移動する、請求項１または２に記載の塗布装置。
【請求項１】
基板上に塗布液を塗布する塗布装置であって、
その先端部から前記塗布液を吐出するノズルと、
前記基板をその上面に載置するステージと、
前記ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向に前記ノズルを往復移動させるノズル移動機構とを備え、
前記ノズル移動機構は、
前記ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向に延設された第１ガイド部材と、
前記ノズルを支持し、前記第１ガイド部材に沿って前記横断する方向に移動可能なスライド支持部材と、
前記スライド支持部材を前記第１ガイド部材に沿って往復移動させる駆動機構と、
前記スライド支持部材の往復移動方向に沿って張設され、前記スライド支持部材の往復移動に伴って当該スライド支持部材と共に当該往復移動方向に移動する可撓性の配管または配線とを含む、塗布装置。
【請求項２】
前記配管または配線は、前記ノズルへ前記塗布液を供給する塗布液配管を少なくとも含む、請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記スライド支持部材と前記第１ガイド部材との間には、静圧軸受が構成され、
前記配管または配線は、前記静圧軸受で用いられる気体を前記スライド支持部材に供給する気体配管を少なくとも含む、請求項１または２に記載の塗布装置。
【請求項４】
前記スライド支持部材と前記第１ガイド部材との間には、磁気軸受が構成され、
前記配管または配線は、前記磁気軸受で用いられる電力を前記スライド支持部材に供給する配線を少なくとも含む、請求項１または２に記載の塗布装置。
【請求項５】
前記ノズル移動機構は、
前記ステージ上の空間において、前記第１ガイド部材と平行に当該ステージ面を横断する方向に延設された第２ガイド部材と、
前記第２ガイド部材との間に静圧軸受を構成し、前記第２ガイド部材に沿って移動可能なスライド部材と、
一対のプーリに掛け渡されて対称となる位置に前記スライド支持部材および前記スライド部材をそれぞれ連結し、所定の駆動源からの駆動力を伝動することによって、前記スライド支持部材を前記第１ガイド部材に沿って往復移動させ、前記スライド支持部材が移動する方向とは相反する方向に前記スライド部材を前記第２ガイド部材に沿って往復移動させる駆動ベルトとを含み、
前記駆動機構は、前記プーリを回転させることによって前記駆動ベルトを駆動させる、請求項１または２に記載の塗布装置。
【請求項６】
前記ノズル移動機構は、前記第１ガイド部材および前記第２ガイド部材が延設されている空間の外側に設けられ、所定の回転軸を中心に回転自在の定滑車を、さらに含み、
前記配管または配線は、前記定滑車を介して前記スライド支持部材と前記スライド部材との間に張設される、請求項５に記載の塗布装置。
【請求項７】
前記スライド支持部材と前記第１ガイド部材との間には、静圧軸受が構成され、
前記配管または配線は、前記塗布装置の塗布液および気体供給口から前記スライド部材まで渡設された後、前記定滑車を介して前記スライド支持部材まで張設され、
前記塗布液および気体供給口から前記スライド部材まで渡設される前記配管または配線は、前記ノズルへ前記塗布液を供給する塗布液配管と、前記スライド支持部材の静圧軸受で用いられる気体を供給する気体配管と、前記スライド部材の静圧軸受で用いられる気体を供給する気体配管とを含み、
前記スライド支持部材と前記スライド部材との間に張設される前記配管または配線は、前記塗布液配管と、前記スライド支持部材の静圧軸受で用いられる気体を供給する気体配管とを含む、請求項６に記載の塗布装置。
【請求項８】
前記定滑車は、鉛直方向の回転軸を中心に水平方向に回転自在である、請求項６に記載の塗布装置。
【請求項９】
前記ノズル移動機構は、前記第１ガイド部材および前記第２ガイド部材が延設されている空間と前記定滑車との間に、一対のガイドローラを、さらに含み、
前記配管または配線は、前記スライド部材から、前記一方のガイドローラ、前記定滑車、および前記他方のガイドローラの順に掛け渡されて、前記スライド支持部材まで張設され、
前記定滑車は、前記配管または配線と接触する円周面の直径が、前記一対のガイドローラの間隔より大きい、請求項６に記載の塗布装置。
【請求項１０】
前記スライド支持部材と前記第１ガイド部材との間には、静圧軸受が構成され、
前記配管または配線は、前記塗布液配管と、前記静圧軸受で用いられる気体を前記スライド支持部材に供給する気体配管とを、一体的に束ねた配管群で構成される、請求項２に記載の塗布装置。
【請求項１１】
前記ノズル移動機構は、
前記第１ガイド部材が延設されている空間の外側に設けられ、所定の回転軸を中心に回転自在の定滑車と、
前記定滑車を介して、前記配管または配線に加わる前記スライド支持部材の往復移動方向の張力を一定に調整する張力調整機構とを、さらに含み、
前記配管または配線は、前記定滑車を介して前記スライド支持部材から前記張力調整機構まで張設される、請求項１または２に記載の塗布装置。
【請求項１２】
前記ノズル移動機構は、
前記第１ガイド部材が延設されている空間の外側に設けられ、所定の回転軸を中心に回転自在の動滑車と、
前記スライド支持部材の往復移動方向に対して垂直な方向に前記動滑車の回転軸を移動させる動滑車移動機構とを、さらに含み、
前記配管または配線は、前記動滑車を介して前記スライド支持部材の往復移動方向に沿って張設され、
前記動滑車移動機構は、前記スライド支持部材が往復移動する速度の半分の速度で前記動滑車の回転軸を移動する、請求項１または２に記載の塗布装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５Ａ】
【図１５Ｂ】
【図１６Ａ】
【図１６Ｂ】
【図１７Ａ】
【図１７Ｂ】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５Ａ】
【図１５Ｂ】
【図１６Ａ】
【図１６Ｂ】
【図１７Ａ】
【図１７Ｂ】
【公開番号】特開２００９−１９５８５１（Ｐ２００９−１９５８５１Ａ）
【公開日】平成２１年９月３日（２００９．９．３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−４１９０１（Ｐ２００８−４１９０１）
【出願日】平成２０年２月２２日（２００８．２．２２）
【出願人】（０００２０７５５１）大日本スクリーン製造株式会社 (2,640)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年９月３日（２００９．９．３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年２月２２日（２００８．２．２２）
【出願人】（０００２０７５５１）大日本スクリーン製造株式会社 (2,640)
【Ｆターム（参考）】
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