塗布針洗浄方法、塗布針洗浄装置およびこれを備えたパターン修正装置
【課題】洗浄時間を短縮することができ、十分な洗浄を行なうことのできる塗布針洗浄方法、塗布針洗浄装置およびこれを備えたパターン修正装置を提供する。
【解決手段】塗布針洗浄装置２１は、インクが付着した塗布針を洗浄する塗布針洗浄装置であって、塗布針１３を浸漬するための洗浄液３１と、洗浄液３１中に配置可能なブラシ３２と、洗浄液３１中でブラシ３２を振動させるモータ３３とを備えている。
【解決手段】塗布針洗浄装置２１は、インクが付着した塗布針を洗浄する塗布針洗浄装置であって、塗布針１３を浸漬するための洗浄液３１と、洗浄液３１中に配置可能なブラシ３２と、洗浄液３１中でブラシ３２を振動させるモータ３３とを備えている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は塗布針洗浄方法、塗布針洗浄装置およびこれを備えたパターン修正装置に関し、より特定的には、カラーフィルタのパターンに発生する欠陥の修正に用いられる塗布針の洗浄技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）の大型化、高精細化に伴い画素数も増大し、ＬＣＤを無欠陥で製造することは困難となり、欠陥の発生確率も増加してきている。このような状況下において歩留まり向上のために、ＬＣＤのカラーフィルタの製造工程において発生する欠陥を修正する欠陥修正装置が生産ラインに不可欠となってきている。
【０００３】
また最近では、ＬＣＤでも３７〜４５インチ程度のものが市販されており、１画素のサイズも小型パネルの６０μｍ×２００μｍ程度から２００μｍ×６００μｍ程度と大きくなってきている。画素サイズが大きくなるに伴い、欠陥サイズも大きくなり、修正サイズも大きくなってきている。このような状況において、従来の小さな修正サイズでは問題とされなかった修正品位でも、大きな修正サイズでは目視で見える領域となるため問題になる場合がでてきている。
【０００４】
図９（ａ）〜（ｃ）は、ＬＣＤのカラーフィルタの製造工程において発生する欠陥を示す図である。図９（ａ）〜（ｃ）において、カラーフィルタは、透明基板と、その表面に形成されたブラックマトリクス１００と呼ばれる格子状のパターンと、複数組のＲ（赤色）画素１０１、Ｇ（緑色）画素１０２、およびＢ（青色）画素１０３とを含む。カラーフィルタの製造工程においては、図９（ａ）に示すように画素やブラックマトリクス１００の色が抜けてしまった白欠陥１０４や、図９（ｂ）に示すように隣の画素と色が混色した部分や、ブラックマトリクス１００が画素にはみ出した部分である黒欠陥１０５や、図９（ｃ）に示すように画素に異物が付着した異物欠陥１０６などが発生する。
【０００５】
白欠陥１０４を修正する方法としては、白欠陥１０４が存在する画素と同色のインクを塗布針の先端部に付着させ、針先端の円形平坦面のインク層を白欠陥１０４に転写し、円形のインク層で白欠陥１０４を覆う方法がある。また、黒欠陥１０５や異物欠陥１０６を修正する方法としては、欠陥部分をレーザカットして矩形の白欠陥１０４を形成し、矩形の先端平坦面を有する塗布針を用いて矩形の白欠陥１０４内に矩形のインク層を転写する方法がある。
【０００６】
ところで、ブラックマトリクス１００、Ｒ画素１０１、Ｇ画素１０２、およびＢ画素１０３のうち複数の領域に欠陥が発生した場合、１つの領域（色）の欠陥を修正した後で、塗布針を洗浄して異なる色のインクを塗布針に付着させる必要がある。塗布針の洗浄方法としては、さまざまなものが提案されており、たとえば、洗浄液に針を浸漬した状態で洗浄液に超音波エネルギを与えて洗浄する方法（以下、第１の方法と記す）がある。また、洗浄液に針を浸漬した状態で洗浄液を攪拌して洗浄し、洗浄後塗布針に空気を吹き付ける方法（以下、第２の方法と記す）がある。また、スポンジに針を刺して針の汚れをスポンジに擦りつけて移す方法（以下、第３の方法と記す）がある。第３の方法は第１の方法や第２の方法とともに使用されることもある。
【０００７】
なお、特開平９−２３６９３３号公報（特許文献１）には上記第２の方法が開示されている。また、特開２００４−２０５９１２号公報（特許文献２）には洗浄液中に針を浸漬した後で針をエアブローする洗浄方法が開示されている。
【特許文献１】特開平９−２３６９３３号公報
【特許文献２】特開２００４−２０５９１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来の洗浄方法にはそれぞれ以下のような問題があった、第１の方法および第２の方法では洗浄効率が悪く、塗布するインクの粘度が高い場合などは洗浄時間が長くなるという問題があった。第３の方法では針の根元にインクやゴミが溜まりやすく、洗浄が不十分であるという問題があった。
【０００９】
したがって、本発明の目的は、洗浄時間を短縮することができ、十分な洗浄を行なうことのできる塗布針洗浄方法、塗布針洗浄装置およびこれを備えたパターン修正装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の塗布針洗浄方法は、付着物が付着した塗布針を洗浄する塗布針洗浄方法であって、塗布針を洗浄液に浸漬する工程と、洗浄液中において櫛状部材を振動させる振動工程とを備えている。
【００１１】
本発明の塗布針洗浄装置は、付着物が付着した塗布針を洗浄する塗布針洗浄装置であって、塗布針を浸漬するための洗浄液と、洗浄液中に配置可能な櫛状部材と、洗浄液中で櫛状部材を振動させる駆動部材とを備えている。
【００１２】
本発明の塗布針洗浄方法および塗布針洗浄装置によれば、櫛状部材を振動させることによって洗浄液中にランダムな方向の水流が発生し、この水流によって塗布針が洗浄される。これにより、洗浄効率が向上し、洗浄時間を短縮することができる。また、塗布針の根元に付着物が溜まることがなく、十分な洗浄を行なうことができる。
【００１３】
本発明の塗布針洗浄方法において好ましくは、櫛状部材を１００Ｈｚ以上１００ｋＨｚ未満の周波数で振動させる。これにより、洗浄液に超音波エネルギを与えて洗浄する場合に比べて低い周波数で洗浄が行なわれるので、洗浄液の発熱を抑えることができる。また、超音波を発生させるための圧電素子などを用いずに洗浄を行なうことができる。
【００１４】
本発明の塗布針洗浄方法において好ましくは、塗布針の長手方向に対して垂直な方向に櫛状部材を振動させる。これにより、洗浄効率を一層向上することができる。
【００１５】
本発明の塗布針洗浄方法において好ましくは、振動工程において櫛状部材を塗布針に接触させる。これにより、塗布針に付着した付着物を櫛状部材によって擦り落とすことができ、洗浄効率を一層向上することができる。
【００１６】
本発明の塗布針洗浄装置において好ましくは、櫛状部材はブラシである。これにより、洗浄効率を一層向上することができる。
【００１７】
本発明の塗布針洗浄装置において好ましくは、駆動部材はモータである。これにより、圧電素子などを用いずに櫛状部材を振動させることができるので、簡易な構成とすることができる。
【００１８】
本発明の塗布針洗浄装置において好ましくは、洗浄液中へ櫛状部材を移動させるための移動部材がさらに備えられている。これにより、櫛状部材を適切な位置に配置して洗浄を行なうことができるので、振動による洗浄液の飛散を抑制することができ、また洗浄効率を一層向上することができる。
【００１９】
本発明のパターン修正装置は、パターンの欠陥を修正するためのパターン修正装置であって、欠陥を修正するための修正液と、塗布針と、塗布針に修正液を付着させて欠陥に塗布するための塗布針駆動装置と、上記の塗布針洗浄装置とを備えている。
【００２０】
本発明のパターン修正装置によれば、洗浄時間を短縮することができ、十分な洗浄を行なうことができる。その結果、パターンの修正の精度および効率が向上する。
【００２１】
なお、本発明の櫛状部材としては、多数の棒状の部材が台に配置されたものであればよく、たとえば獣毛や繊維などを木や合成樹脂などの台に植えつけた形態のブラシでもよい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の塗布針洗浄方法、塗布針洗浄装置およびこれを備えたパターン修正装置によれば、洗浄時間を短縮することができ、十分な洗浄を行なうことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の一実施の形態について図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の一実施の形態におけるパターン修正装置の構成を示す斜視図である。図１を参照して、パターン修正装置１は、パターンの欠陥を修正するためのパターン修正装置であって、基板の表面を観察する観察光学系２と、観察された画像を映し出すモニタ３と、観察光学系２を介してレーザ光を照射し不要部をカットするカット用レーザ部４と、欠陥修正用のインクを欠陥に塗布するためのインク塗布機構５と、欠陥を加熱してインクを乾燥させるための基板加熱部６と、欠陥を認識する画像処理部７と、装置全体を制御するホストコンピュータ８と、装置機構部の動作を制御する制御用コンピュータ９とを備えている。さらにその他に、欠陥を持つ基板をＸＹ方向（水平方向）に移動させるＸＹステージ１０と、ＸＹステージ１０上で基板を保持するチャック部１１と、観察光学系２やインク塗布機構５をＺ方向（垂直方向）に移動させるＺステージ１２とを備えている。
【００２４】
図２は、本発明の一実施の形態におけるインク塗布機構の構成を示す一部省略した斜視図である。図２を参照して、インク塗布機構５は、インク塗布用の塗布針１３と、複数のインクタンク２０ａ〜２０ｄと、塗布針洗浄装置２１と、回転テーブル２２と、位置決め用アクチュエータ２５と、インデックス板２７と、インデックス用モータ２８と、センサ２９ａおよび２９ｂとを有している。位置決め用アクチュエータ２５は塗布針１３を垂直方向に駆動させる機構である。位置決め用アクチュエータ２５はインク塗布機構５の側部に設けられており、駆動軸２４および保持部材２３を有している。駆動軸２４は位置決め用アクチュエータ２５から下方に延在しており、保持部材２３は駆動軸２４の先端に設けられている。塗布針１３は駆動軸２４の先端部に配置されており、保持部材２３によって固定されている。
【００２５】
回転テーブル２２はインク塗布機構５の下部に設けられており、扇形を有している。回転テーブル２２上には、複数のインクタンク２０ａ〜２０ｄおよび塗布針洗浄装置２１が扇形の円周方向に沿って配置されている。複数のインクタンク２０ａ〜２０ｄの各々には、それぞれＲＧＢおよび黒の各色のインクやインクの固着を防ぐための溶剤が注入されている。なお、回転テーブル２２には、インク塗布時に塗布針１３を通過させるための切欠部２２ａが形成されている。
【００２６】
回転テーブル２２の中心には回転軸２６が立設されている。回転軸２６の上部には、回転テーブル２２の回転軸２６を回転させるためのインデックス用モータ２８と、回転軸２６とともに回転するインデックス板２７と、インデックス板２７を介して回転テーブル２２の回転位置を検出するためのインデックス用センサ２９ａと、インデックス板２７を介して回転テーブル２２の回転位置が原点に復帰したことを検出するための原点復帰用センサ２９ｂとが配置されている。
【００２７】
なお、複数のインクタンク２０ａ〜２０ｄにはインクが注入されており、これらのインクはパターンの欠陥を修正するための修正液として用いられる。回転テーブル２２、位置決め用アクチュエータ２５、回転軸２６、およびインデックス用モータ２８は、塗布針１３にインクを付着させて欠陥に塗布するための針駆動装置として機能する。
【００２８】
図３は、本発明の一実施の形態における塗布針洗浄装置の構成を示す断面図である。図３を参照して、塗布針洗浄装置２１は、付着物が付着した塗布針１３（図２）を洗浄するための洗浄装置であって、容器３０と、洗浄液３１と、櫛状部材としてのブラシ３２と、駆動部材としてのモータ３３と、移動部材としてのヒンジ３６とを備えている。容器３０は上部に開口を有しており、回転テーブル２２上に配置されている。容器３０内には洗浄液３１が貯留されている。ブラシ３２は容器３０上に配置されており、ヒンジ３６を軸として回転可能とされている。ブラシ３２にはモータ３３が機械的に接続されている。なお、塗布針洗浄装置２１は、容器３０の開口の上部に配置され、飛散した洗浄液３１を吸引するためのバキューム３５（図２）をさらに備えていてもよい。
【００２９】
続いて、本実施の形態におけるパターン修正装置の動作について説明する。図１〜図３を参照して、始めに、欠陥を持つカラーフィルタをＸＹステージ１０上に配置し、チャック部１１によって固定する。次に、Ｚステージ１２で観察光学系２の位置を微調節し、観察光学系２で撮影されたカラーフィルタの表面をモニタ３で観察する。そして、画像処理部７で処理された画像に欠陥が見つかったら、その欠陥が塗布針１３の真下に位置するようにＸＹステージ１０を移動する。
【００３０】
次いで、回転テーブル２２を回転させて、インクタンク２０ａ〜２０ｄのうち欠陥に塗布すべきインクが貯えられたインクタンクを塗布針１３の真下に位置させ、位置決め用アクチュエータ２５によって塗布針１３を下降および上昇させる。これよって塗布針１３の先端部にインクを付着させる。次に、回転テーブル２２を回転させて切欠部２２ａを塗布針１３の下方に位置させ、Ｚステージ１２および位置決め用アクチュエータ２５によって塗布針１３を下降させて塗布針１３の先端を欠陥に接触させる。これによってインクを欠陥に塗布する。その後、Ｚステージ１２および位置決め用アクチュエータ２５によって塗布針１３を元の位置まで上昇させ、基板加熱部６でカラーフィルタを加熱してインクを乾燥させる。
【００３１】
塗布終了後、回転テーブル２２を回転させて塗布針洗浄装置２１を塗布針１３の下方に位置させ、塗布針洗浄装置２１を用いて塗布針１３を洗浄する。図３を参照して、ヒンジ３６によってブラシ３２を回転させ、図４に示すように、ブラシ３２を洗浄液３１中に移動する。このとき、ブラシ３２を根元まで完全に洗浄液３１中に浸漬すると洗浄液が霧状に飛散したりする場合があるので、ブラシ３２の先端部分のみ洗浄液３１中に浸漬することが好ましい。また、ブラシ３２の振動の振動数や振幅を調節することにより洗浄液の飛散を抑制してもよい。
【００３２】
続いて、図１、図２および図５を参照して、位置決め用アクチュエータ２５によって塗布針１３を下降させ、塗布針１３の先端部を洗浄液３１に浸漬する。このとき、ＸＹステージ１０、位置決め用アクチュエータ２５およびヒンジ３６を用いて、塗布針１３とブラシ３２との距離と、塗布針１３に対するブラシ３２の角度とが調節される。ブラシ３２は図６に示すように塗布針１３と接触する位置に調節されるのが好ましいが、塗布針１３の剛性が非常に小さい場合には、塗布針１３と非接触の状態で近接する位置に調節されてもよい。塗布針１３とブラシ３２とを接触させる場合、ブラシ３２の根元付近に塗布針１３を配置すると塗布針１３に大きな力が加わるおそれがあるので、ブラシ３２の先端付近に塗布針１３を配置する。また、ブラシ３２は塗布針１３の長手方向から角度α（０°＜α＜９０°）だけ傾斜するように角度が調節される。
【００３３】
なお、ブラシ３２を洗浄液３１に浸漬した後で塗布針１３を洗浄液３１に浸漬する代わりに、塗布針１３を洗浄液３１に浸漬した後でブラシ３２を洗浄液３１に浸漬してもよい。
【００３４】
次に、図１、図２および図５を参照して、ブラシ３２を洗浄液３１中に配置した状態で、モータ３３により振動させる。これによって洗浄液３１にランダムな方向の水流が発生し、この水流で塗布針１３の先端に付着した余分なインク１３ａが除去される。また、ブラシ３２が塗布針１３に接触している場合には、塗布針１３の先端に付着した余分なインク１３ａがブラシ３２によって擦り落とされる。
【００３５】
ここで、ブラシ３２の振動方向は、たとえば塗布針１３の長手方向に対して垂直な方向（図５中紙面に垂直な方向、図６中矢印Ａ１で示される方向）とされる。ブラシ３２の振動周波数は、たとえば１００Ｈｚ以上１００ｋＨｚ未満とされる。また、ブラシ３２（直径、長さ、および材質）、塗布針１３とブラシ３２との位置関係、およびブラシ３２の振幅は、塗布針１３が変形しないように塗布針１３の剛性に合わせて選定される。また、ブラシ３２は耐溶剤性を有していることが好ましい。
【００３６】
洗浄終了後、位置決め用アクチュエータ２５によって塗布針１３を元の位置まで上昇させ、欠陥の修正を終了する。
【００３７】
本実施の形態における塗布針洗浄方法は、インクが付着した塗布針１３を洗浄する塗布針洗浄方法であって、塗布針１３を洗浄液３１に浸漬する工程と、洗浄液３１中においてブラシ３２を振動させる振動工程とを備えている。
【００３８】
本実施の形態における塗布針洗浄装置２１は、インクが付着した塗布針１３を洗浄する塗布針洗浄装置であって、塗布針１３を浸漬するための洗浄液３１と、洗浄液３１中に配置可能なブラシ３２と、洗浄液３１中でブラシ３２を振動させるモータ３３とを備えている。
【００３９】
本実施の形態における塗布針洗浄方法および塗布針洗浄装置２１によれば、ブラシ３２を振動させることによって洗浄液３１中にランダムな方向の水流が発生し、この水流によって塗布針１３が洗浄される。これにより、洗浄効率が向上し、洗浄時間を短縮することができる。また、塗布針１３の根元にインクが溜まることがなく、十分な洗浄を行なうことができる。
【００４０】
ここで特許文献１においては、洗浄液が回転ペラで円状に攪拌されているが、このように円状に攪拌された場合には、洗浄液の流れが一方向になる。これに対して本実施の形態では、ブラシ３２を振動させるので洗浄液３１中にランダムな方向の水流が発生するので、特許文献１の場合よりも効率よく塗布針を洗浄することができる。
【００４１】
また、ブラシ３２を１００Ｈｚ以上１００ｋＨｚ未満の周波数で振動させることにより、洗浄液３１に超音波エネルギを与えて洗浄する場合に比べて低い周波数で洗浄を行なうことができるので、洗浄液３１の発熱を抑えることができる。また、超音波を発生させるための圧電素子などを用いずに洗浄を行なうことができる。
【００４２】
また、塗布針１３の長手方向に対して垂直な方向に櫛状部材を振動させることにより、洗浄効率を一層向上することができる。
【００４３】
また、ブラシ３２の駆動部材としてモータ３３を用いることにより、圧電素子などを用いずに櫛状部材を振動させることができるので、簡易な装置構成とすることができる。
【００４４】
また、洗浄液３１中へブラシ３２を移動させるためのヒンジ３６がさらに備えられているので、ブラシ３２を適切な位置に配置して洗浄を行なうことができる。その結果、振動による洗浄液３１の飛散を抑制することができ、また洗浄効率を一層向上することができる。
【００４５】
本実施の形態におけるパターン修正装置１は、パターンの欠陥を修正するためのパターン修正装置であって、欠陥を修正するためのインク１３ａと、塗布針１３と、塗布針１３にインク１３ａを付着させて欠陥に塗布するための回転テーブル２２、位置決め用アクチュエータ２５、回転軸２６、およびインデックス用モータ２８と、塗布針洗浄装置２１とを備えている。これにより、洗浄時間を短縮することができ、十分な洗浄を行なうことができる。その結果、パターンの修正の精度および効率が向上する。
【００４６】
なお、本実施の形態では、塗布針１３の付着物がインクである場合について示したが、本発明は付着物がインク以外である場合にも適用可能である。また、ヒンジ３６を用いてブラシ３２を洗浄液３１中へ移動させる場合について示したが、洗浄液中へ櫛状部材を移動させるための移動部材であればヒンジ以外のものでもよい。
【００４７】
また、本実施の形態ではブラシ３２が塗布針１３の長手方向から角度α（０°＜α＜９０°）だけ傾斜するように角度が調節される場合について示したが、たとえば図７に示すように、ブラシ３２と塗布針１３とを同軸で配置し（角度α＝１８０°）、たとえば塗布針１３の長手方向に対して垂直な方向（図中矢印Ａ２で示す方向）にブラシ３２を振動させても上記の構成と同様の効果を得ることができる。この場合には、ブラシ３２が洗浄液３１中に常に浸漬された構成となる。
【００４８】
さらに、本実施の形態では櫛状部材としてブラシ３２が用いられる場合について示したが、本発明ではブラシ３２に代わって、図８に示すように櫛３７が用いられてもよい。図８を参照して、櫛３７は、塗布針１３から距離ｄだけ離れた位置に配置された状態で、塗布針１３の長手方向に対して垂直な方向（図中矢印Ａ３で示す方向）に振動される。櫛３７はたとえば金属よりなっている。このような構成であっても上記の構成と同様の効果を得ることができる。
【実施例１】
【００４９】
図３に示す塗布針洗浄装置を用いて、塗布針の先端に付着したインク（ペースト）を洗浄した。塗布針１３としては、材質がタングステンであり、本体部の直径が０．７ｍｍであり、先端部のテーパ角度が１０度であり、先端部の直径５０μｍであるものを使用した。ブラシ３２としては、毛の材質がテフロン（登録商標）であり、１本の毛の直径が１００μｍであり、毛の長さが２０ｍｍであり、直径３ｍｍの植毛領域が３箇所あるものを使用した。ブラシ３２の振動の振幅を０．５ｍｍとし、周波数を約８０００Ｈｚとし、振動方向を塗布針１３の長手方向に対し垂直な方向とした。塗布針１３をブラシ３２の先端から約５ｍｍに配置してブラシ３２を振動させた。この条件により、塗布針１３の先端部から２ｍｍ程度の位置に付着している、約５０ｍＰａ・ｓの粘度のペーストを洗浄した。その結果、約１０秒間の洗浄でペーストが塗布針１３から完全に除去された。
【００５０】
以上に開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考慮されるべきである。本発明の範囲は、以上の実施の形態および実施例ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての修正や変形を含むものと意図される。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明は、カラーフィルタのパターンに発生する欠陥部の修正に用いられる塗布針の洗浄技術として適している。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の一実施の形態におけるパターン修正装置の構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施の形態におけるインク塗布機構の構成を示す一部省略した斜視図である。
【図３】本発明の一実施の形態における塗布針洗浄装置の構成を示す断面図である。
【図４】本発明の一実施の形態における塗布針洗浄装置において、ブラシを洗浄液中に移動した状態を示す断面図である。
【図５】本発明の一実施の形態における塗布針洗浄装置において、塗布針の先端部を洗浄液に浸漬した状態を示す断面図である。
【図６】ブラシが塗布針と接触する位置に調節された状態を示す平面拡大図である。
【図７】本発明の一実施の形態における塗布針洗浄装置の他の構成を示す断面図である。
【図８】本発明の一実施の形態における塗布針洗浄装置のさらに他の構成を示す平面拡大図である。
【図９】カラーフィルタに発生する欠陥を示す図である。（ａ）は白欠陥を示す図であり、（ｂ）は黒欠陥を示す図であり、（ｃ）は異物欠陥を示す図である。
【符号の説明】
【００５３】
１ パターン修正装置、２ 観察光学系、３ モニタ、４ カット用レーザ部、５ インク塗布機構、６ 基板加熱部、７ 画像処理部、８ ホストコンピュータ、９ 制御用コンピュータ、１０ ＸＹステージ、１１ チャック部、１２ Ｚステージ、１３ 塗布針、１３ａ インク、２０ａ〜２０ｄ インクタンク、２１ 塗布針洗浄装置、２２ 回転テーブル、２２ａ 切欠部、２３ 保持部材、２４ 駆動軸、２５ 位置決め用アクチュエータ、２６ 回転軸、２７ インデックス板、２８ インデックス用モータ、２９ａ インデックス用センサ、２９ｂ 原点復帰用センサ、３０ 容器、３１ 洗浄液、３２ ブラシ、３３ モータ、３５ バキューム、３６ ヒンジ、３７ 櫛、１０１ Ｒ画素、１０２ Ｇ画素、１０３ Ｂ画素、１０４ 白欠陥、１０５ 黒欠陥、１０６ 異物欠陥。
【技術分野】
【０００１】
本発明は塗布針洗浄方法、塗布針洗浄装置およびこれを備えたパターン修正装置に関し、より特定的には、カラーフィルタのパターンに発生する欠陥の修正に用いられる塗布針の洗浄技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）の大型化、高精細化に伴い画素数も増大し、ＬＣＤを無欠陥で製造することは困難となり、欠陥の発生確率も増加してきている。このような状況下において歩留まり向上のために、ＬＣＤのカラーフィルタの製造工程において発生する欠陥を修正する欠陥修正装置が生産ラインに不可欠となってきている。
【０００３】
また最近では、ＬＣＤでも３７〜４５インチ程度のものが市販されており、１画素のサイズも小型パネルの６０μｍ×２００μｍ程度から２００μｍ×６００μｍ程度と大きくなってきている。画素サイズが大きくなるに伴い、欠陥サイズも大きくなり、修正サイズも大きくなってきている。このような状況において、従来の小さな修正サイズでは問題とされなかった修正品位でも、大きな修正サイズでは目視で見える領域となるため問題になる場合がでてきている。
【０００４】
図９（ａ）〜（ｃ）は、ＬＣＤのカラーフィルタの製造工程において発生する欠陥を示す図である。図９（ａ）〜（ｃ）において、カラーフィルタは、透明基板と、その表面に形成されたブラックマトリクス１００と呼ばれる格子状のパターンと、複数組のＲ（赤色）画素１０１、Ｇ（緑色）画素１０２、およびＢ（青色）画素１０３とを含む。カラーフィルタの製造工程においては、図９（ａ）に示すように画素やブラックマトリクス１００の色が抜けてしまった白欠陥１０４や、図９（ｂ）に示すように隣の画素と色が混色した部分や、ブラックマトリクス１００が画素にはみ出した部分である黒欠陥１０５や、図９（ｃ）に示すように画素に異物が付着した異物欠陥１０６などが発生する。
【０００５】
白欠陥１０４を修正する方法としては、白欠陥１０４が存在する画素と同色のインクを塗布針の先端部に付着させ、針先端の円形平坦面のインク層を白欠陥１０４に転写し、円形のインク層で白欠陥１０４を覆う方法がある。また、黒欠陥１０５や異物欠陥１０６を修正する方法としては、欠陥部分をレーザカットして矩形の白欠陥１０４を形成し、矩形の先端平坦面を有する塗布針を用いて矩形の白欠陥１０４内に矩形のインク層を転写する方法がある。
【０００６】
ところで、ブラックマトリクス１００、Ｒ画素１０１、Ｇ画素１０２、およびＢ画素１０３のうち複数の領域に欠陥が発生した場合、１つの領域（色）の欠陥を修正した後で、塗布針を洗浄して異なる色のインクを塗布針に付着させる必要がある。塗布針の洗浄方法としては、さまざまなものが提案されており、たとえば、洗浄液に針を浸漬した状態で洗浄液に超音波エネルギを与えて洗浄する方法（以下、第１の方法と記す）がある。また、洗浄液に針を浸漬した状態で洗浄液を攪拌して洗浄し、洗浄後塗布針に空気を吹き付ける方法（以下、第２の方法と記す）がある。また、スポンジに針を刺して針の汚れをスポンジに擦りつけて移す方法（以下、第３の方法と記す）がある。第３の方法は第１の方法や第２の方法とともに使用されることもある。
【０００７】
なお、特開平９−２３６９３３号公報（特許文献１）には上記第２の方法が開示されている。また、特開２００４−２０５９１２号公報（特許文献２）には洗浄液中に針を浸漬した後で針をエアブローする洗浄方法が開示されている。
【特許文献１】特開平９−２３６９３３号公報
【特許文献２】特開２００４−２０５９１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来の洗浄方法にはそれぞれ以下のような問題があった、第１の方法および第２の方法では洗浄効率が悪く、塗布するインクの粘度が高い場合などは洗浄時間が長くなるという問題があった。第３の方法では針の根元にインクやゴミが溜まりやすく、洗浄が不十分であるという問題があった。
【０００９】
したがって、本発明の目的は、洗浄時間を短縮することができ、十分な洗浄を行なうことのできる塗布針洗浄方法、塗布針洗浄装置およびこれを備えたパターン修正装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の塗布針洗浄方法は、付着物が付着した塗布針を洗浄する塗布針洗浄方法であって、塗布針を洗浄液に浸漬する工程と、洗浄液中において櫛状部材を振動させる振動工程とを備えている。
【００１１】
本発明の塗布針洗浄装置は、付着物が付着した塗布針を洗浄する塗布針洗浄装置であって、塗布針を浸漬するための洗浄液と、洗浄液中に配置可能な櫛状部材と、洗浄液中で櫛状部材を振動させる駆動部材とを備えている。
【００１２】
本発明の塗布針洗浄方法および塗布針洗浄装置によれば、櫛状部材を振動させることによって洗浄液中にランダムな方向の水流が発生し、この水流によって塗布針が洗浄される。これにより、洗浄効率が向上し、洗浄時間を短縮することができる。また、塗布針の根元に付着物が溜まることがなく、十分な洗浄を行なうことができる。
【００１３】
本発明の塗布針洗浄方法において好ましくは、櫛状部材を１００Ｈｚ以上１００ｋＨｚ未満の周波数で振動させる。これにより、洗浄液に超音波エネルギを与えて洗浄する場合に比べて低い周波数で洗浄が行なわれるので、洗浄液の発熱を抑えることができる。また、超音波を発生させるための圧電素子などを用いずに洗浄を行なうことができる。
【００１４】
本発明の塗布針洗浄方法において好ましくは、塗布針の長手方向に対して垂直な方向に櫛状部材を振動させる。これにより、洗浄効率を一層向上することができる。
【００１５】
本発明の塗布針洗浄方法において好ましくは、振動工程において櫛状部材を塗布針に接触させる。これにより、塗布針に付着した付着物を櫛状部材によって擦り落とすことができ、洗浄効率を一層向上することができる。
【００１６】
本発明の塗布針洗浄装置において好ましくは、櫛状部材はブラシである。これにより、洗浄効率を一層向上することができる。
【００１７】
本発明の塗布針洗浄装置において好ましくは、駆動部材はモータである。これにより、圧電素子などを用いずに櫛状部材を振動させることができるので、簡易な構成とすることができる。
【００１８】
本発明の塗布針洗浄装置において好ましくは、洗浄液中へ櫛状部材を移動させるための移動部材がさらに備えられている。これにより、櫛状部材を適切な位置に配置して洗浄を行なうことができるので、振動による洗浄液の飛散を抑制することができ、また洗浄効率を一層向上することができる。
【００１９】
本発明のパターン修正装置は、パターンの欠陥を修正するためのパターン修正装置であって、欠陥を修正するための修正液と、塗布針と、塗布針に修正液を付着させて欠陥に塗布するための塗布針駆動装置と、上記の塗布針洗浄装置とを備えている。
【００２０】
本発明のパターン修正装置によれば、洗浄時間を短縮することができ、十分な洗浄を行なうことができる。その結果、パターンの修正の精度および効率が向上する。
【００２１】
なお、本発明の櫛状部材としては、多数の棒状の部材が台に配置されたものであればよく、たとえば獣毛や繊維などを木や合成樹脂などの台に植えつけた形態のブラシでもよい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の塗布針洗浄方法、塗布針洗浄装置およびこれを備えたパターン修正装置によれば、洗浄時間を短縮することができ、十分な洗浄を行なうことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の一実施の形態について図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の一実施の形態におけるパターン修正装置の構成を示す斜視図である。図１を参照して、パターン修正装置１は、パターンの欠陥を修正するためのパターン修正装置であって、基板の表面を観察する観察光学系２と、観察された画像を映し出すモニタ３と、観察光学系２を介してレーザ光を照射し不要部をカットするカット用レーザ部４と、欠陥修正用のインクを欠陥に塗布するためのインク塗布機構５と、欠陥を加熱してインクを乾燥させるための基板加熱部６と、欠陥を認識する画像処理部７と、装置全体を制御するホストコンピュータ８と、装置機構部の動作を制御する制御用コンピュータ９とを備えている。さらにその他に、欠陥を持つ基板をＸＹ方向（水平方向）に移動させるＸＹステージ１０と、ＸＹステージ１０上で基板を保持するチャック部１１と、観察光学系２やインク塗布機構５をＺ方向（垂直方向）に移動させるＺステージ１２とを備えている。
【００２４】
図２は、本発明の一実施の形態におけるインク塗布機構の構成を示す一部省略した斜視図である。図２を参照して、インク塗布機構５は、インク塗布用の塗布針１３と、複数のインクタンク２０ａ〜２０ｄと、塗布針洗浄装置２１と、回転テーブル２２と、位置決め用アクチュエータ２５と、インデックス板２７と、インデックス用モータ２８と、センサ２９ａおよび２９ｂとを有している。位置決め用アクチュエータ２５は塗布針１３を垂直方向に駆動させる機構である。位置決め用アクチュエータ２５はインク塗布機構５の側部に設けられており、駆動軸２４および保持部材２３を有している。駆動軸２４は位置決め用アクチュエータ２５から下方に延在しており、保持部材２３は駆動軸２４の先端に設けられている。塗布針１３は駆動軸２４の先端部に配置されており、保持部材２３によって固定されている。
【００２５】
回転テーブル２２はインク塗布機構５の下部に設けられており、扇形を有している。回転テーブル２２上には、複数のインクタンク２０ａ〜２０ｄおよび塗布針洗浄装置２１が扇形の円周方向に沿って配置されている。複数のインクタンク２０ａ〜２０ｄの各々には、それぞれＲＧＢおよび黒の各色のインクやインクの固着を防ぐための溶剤が注入されている。なお、回転テーブル２２には、インク塗布時に塗布針１３を通過させるための切欠部２２ａが形成されている。
【００２６】
回転テーブル２２の中心には回転軸２６が立設されている。回転軸２６の上部には、回転テーブル２２の回転軸２６を回転させるためのインデックス用モータ２８と、回転軸２６とともに回転するインデックス板２７と、インデックス板２７を介して回転テーブル２２の回転位置を検出するためのインデックス用センサ２９ａと、インデックス板２７を介して回転テーブル２２の回転位置が原点に復帰したことを検出するための原点復帰用センサ２９ｂとが配置されている。
【００２７】
なお、複数のインクタンク２０ａ〜２０ｄにはインクが注入されており、これらのインクはパターンの欠陥を修正するための修正液として用いられる。回転テーブル２２、位置決め用アクチュエータ２５、回転軸２６、およびインデックス用モータ２８は、塗布針１３にインクを付着させて欠陥に塗布するための針駆動装置として機能する。
【００２８】
図３は、本発明の一実施の形態における塗布針洗浄装置の構成を示す断面図である。図３を参照して、塗布針洗浄装置２１は、付着物が付着した塗布針１３（図２）を洗浄するための洗浄装置であって、容器３０と、洗浄液３１と、櫛状部材としてのブラシ３２と、駆動部材としてのモータ３３と、移動部材としてのヒンジ３６とを備えている。容器３０は上部に開口を有しており、回転テーブル２２上に配置されている。容器３０内には洗浄液３１が貯留されている。ブラシ３２は容器３０上に配置されており、ヒンジ３６を軸として回転可能とされている。ブラシ３２にはモータ３３が機械的に接続されている。なお、塗布針洗浄装置２１は、容器３０の開口の上部に配置され、飛散した洗浄液３１を吸引するためのバキューム３５（図２）をさらに備えていてもよい。
【００２９】
続いて、本実施の形態におけるパターン修正装置の動作について説明する。図１〜図３を参照して、始めに、欠陥を持つカラーフィルタをＸＹステージ１０上に配置し、チャック部１１によって固定する。次に、Ｚステージ１２で観察光学系２の位置を微調節し、観察光学系２で撮影されたカラーフィルタの表面をモニタ３で観察する。そして、画像処理部７で処理された画像に欠陥が見つかったら、その欠陥が塗布針１３の真下に位置するようにＸＹステージ１０を移動する。
【００３０】
次いで、回転テーブル２２を回転させて、インクタンク２０ａ〜２０ｄのうち欠陥に塗布すべきインクが貯えられたインクタンクを塗布針１３の真下に位置させ、位置決め用アクチュエータ２５によって塗布針１３を下降および上昇させる。これよって塗布針１３の先端部にインクを付着させる。次に、回転テーブル２２を回転させて切欠部２２ａを塗布針１３の下方に位置させ、Ｚステージ１２および位置決め用アクチュエータ２５によって塗布針１３を下降させて塗布針１３の先端を欠陥に接触させる。これによってインクを欠陥に塗布する。その後、Ｚステージ１２および位置決め用アクチュエータ２５によって塗布針１３を元の位置まで上昇させ、基板加熱部６でカラーフィルタを加熱してインクを乾燥させる。
【００３１】
塗布終了後、回転テーブル２２を回転させて塗布針洗浄装置２１を塗布針１３の下方に位置させ、塗布針洗浄装置２１を用いて塗布針１３を洗浄する。図３を参照して、ヒンジ３６によってブラシ３２を回転させ、図４に示すように、ブラシ３２を洗浄液３１中に移動する。このとき、ブラシ３２を根元まで完全に洗浄液３１中に浸漬すると洗浄液が霧状に飛散したりする場合があるので、ブラシ３２の先端部分のみ洗浄液３１中に浸漬することが好ましい。また、ブラシ３２の振動の振動数や振幅を調節することにより洗浄液の飛散を抑制してもよい。
【００３２】
続いて、図１、図２および図５を参照して、位置決め用アクチュエータ２５によって塗布針１３を下降させ、塗布針１３の先端部を洗浄液３１に浸漬する。このとき、ＸＹステージ１０、位置決め用アクチュエータ２５およびヒンジ３６を用いて、塗布針１３とブラシ３２との距離と、塗布針１３に対するブラシ３２の角度とが調節される。ブラシ３２は図６に示すように塗布針１３と接触する位置に調節されるのが好ましいが、塗布針１３の剛性が非常に小さい場合には、塗布針１３と非接触の状態で近接する位置に調節されてもよい。塗布針１３とブラシ３２とを接触させる場合、ブラシ３２の根元付近に塗布針１３を配置すると塗布針１３に大きな力が加わるおそれがあるので、ブラシ３２の先端付近に塗布針１３を配置する。また、ブラシ３２は塗布針１３の長手方向から角度α（０°＜α＜９０°）だけ傾斜するように角度が調節される。
【００３３】
なお、ブラシ３２を洗浄液３１に浸漬した後で塗布針１３を洗浄液３１に浸漬する代わりに、塗布針１３を洗浄液３１に浸漬した後でブラシ３２を洗浄液３１に浸漬してもよい。
【００３４】
次に、図１、図２および図５を参照して、ブラシ３２を洗浄液３１中に配置した状態で、モータ３３により振動させる。これによって洗浄液３１にランダムな方向の水流が発生し、この水流で塗布針１３の先端に付着した余分なインク１３ａが除去される。また、ブラシ３２が塗布針１３に接触している場合には、塗布針１３の先端に付着した余分なインク１３ａがブラシ３２によって擦り落とされる。
【００３５】
ここで、ブラシ３２の振動方向は、たとえば塗布針１３の長手方向に対して垂直な方向（図５中紙面に垂直な方向、図６中矢印Ａ１で示される方向）とされる。ブラシ３２の振動周波数は、たとえば１００Ｈｚ以上１００ｋＨｚ未満とされる。また、ブラシ３２（直径、長さ、および材質）、塗布針１３とブラシ３２との位置関係、およびブラシ３２の振幅は、塗布針１３が変形しないように塗布針１３の剛性に合わせて選定される。また、ブラシ３２は耐溶剤性を有していることが好ましい。
【００３６】
洗浄終了後、位置決め用アクチュエータ２５によって塗布針１３を元の位置まで上昇させ、欠陥の修正を終了する。
【００３７】
本実施の形態における塗布針洗浄方法は、インクが付着した塗布針１３を洗浄する塗布針洗浄方法であって、塗布針１３を洗浄液３１に浸漬する工程と、洗浄液３１中においてブラシ３２を振動させる振動工程とを備えている。
【００３８】
本実施の形態における塗布針洗浄装置２１は、インクが付着した塗布針１３を洗浄する塗布針洗浄装置であって、塗布針１３を浸漬するための洗浄液３１と、洗浄液３１中に配置可能なブラシ３２と、洗浄液３１中でブラシ３２を振動させるモータ３３とを備えている。
【００３９】
本実施の形態における塗布針洗浄方法および塗布針洗浄装置２１によれば、ブラシ３２を振動させることによって洗浄液３１中にランダムな方向の水流が発生し、この水流によって塗布針１３が洗浄される。これにより、洗浄効率が向上し、洗浄時間を短縮することができる。また、塗布針１３の根元にインクが溜まることがなく、十分な洗浄を行なうことができる。
【００４０】
ここで特許文献１においては、洗浄液が回転ペラで円状に攪拌されているが、このように円状に攪拌された場合には、洗浄液の流れが一方向になる。これに対して本実施の形態では、ブラシ３２を振動させるので洗浄液３１中にランダムな方向の水流が発生するので、特許文献１の場合よりも効率よく塗布針を洗浄することができる。
【００４１】
また、ブラシ３２を１００Ｈｚ以上１００ｋＨｚ未満の周波数で振動させることにより、洗浄液３１に超音波エネルギを与えて洗浄する場合に比べて低い周波数で洗浄を行なうことができるので、洗浄液３１の発熱を抑えることができる。また、超音波を発生させるための圧電素子などを用いずに洗浄を行なうことができる。
【００４２】
また、塗布針１３の長手方向に対して垂直な方向に櫛状部材を振動させることにより、洗浄効率を一層向上することができる。
【００４３】
また、ブラシ３２の駆動部材としてモータ３３を用いることにより、圧電素子などを用いずに櫛状部材を振動させることができるので、簡易な装置構成とすることができる。
【００４４】
また、洗浄液３１中へブラシ３２を移動させるためのヒンジ３６がさらに備えられているので、ブラシ３２を適切な位置に配置して洗浄を行なうことができる。その結果、振動による洗浄液３１の飛散を抑制することができ、また洗浄効率を一層向上することができる。
【００４５】
本実施の形態におけるパターン修正装置１は、パターンの欠陥を修正するためのパターン修正装置であって、欠陥を修正するためのインク１３ａと、塗布針１３と、塗布針１３にインク１３ａを付着させて欠陥に塗布するための回転テーブル２２、位置決め用アクチュエータ２５、回転軸２６、およびインデックス用モータ２８と、塗布針洗浄装置２１とを備えている。これにより、洗浄時間を短縮することができ、十分な洗浄を行なうことができる。その結果、パターンの修正の精度および効率が向上する。
【００４６】
なお、本実施の形態では、塗布針１３の付着物がインクである場合について示したが、本発明は付着物がインク以外である場合にも適用可能である。また、ヒンジ３６を用いてブラシ３２を洗浄液３１中へ移動させる場合について示したが、洗浄液中へ櫛状部材を移動させるための移動部材であればヒンジ以外のものでもよい。
【００４７】
また、本実施の形態ではブラシ３２が塗布針１３の長手方向から角度α（０°＜α＜９０°）だけ傾斜するように角度が調節される場合について示したが、たとえば図７に示すように、ブラシ３２と塗布針１３とを同軸で配置し（角度α＝１８０°）、たとえば塗布針１３の長手方向に対して垂直な方向（図中矢印Ａ２で示す方向）にブラシ３２を振動させても上記の構成と同様の効果を得ることができる。この場合には、ブラシ３２が洗浄液３１中に常に浸漬された構成となる。
【００４８】
さらに、本実施の形態では櫛状部材としてブラシ３２が用いられる場合について示したが、本発明ではブラシ３２に代わって、図８に示すように櫛３７が用いられてもよい。図８を参照して、櫛３７は、塗布針１３から距離ｄだけ離れた位置に配置された状態で、塗布針１３の長手方向に対して垂直な方向（図中矢印Ａ３で示す方向）に振動される。櫛３７はたとえば金属よりなっている。このような構成であっても上記の構成と同様の効果を得ることができる。
【実施例１】
【００４９】
図３に示す塗布針洗浄装置を用いて、塗布針の先端に付着したインク（ペースト）を洗浄した。塗布針１３としては、材質がタングステンであり、本体部の直径が０．７ｍｍであり、先端部のテーパ角度が１０度であり、先端部の直径５０μｍであるものを使用した。ブラシ３２としては、毛の材質がテフロン（登録商標）であり、１本の毛の直径が１００μｍであり、毛の長さが２０ｍｍであり、直径３ｍｍの植毛領域が３箇所あるものを使用した。ブラシ３２の振動の振幅を０．５ｍｍとし、周波数を約８０００Ｈｚとし、振動方向を塗布針１３の長手方向に対し垂直な方向とした。塗布針１３をブラシ３２の先端から約５ｍｍに配置してブラシ３２を振動させた。この条件により、塗布針１３の先端部から２ｍｍ程度の位置に付着している、約５０ｍＰａ・ｓの粘度のペーストを洗浄した。その結果、約１０秒間の洗浄でペーストが塗布針１３から完全に除去された。
【００５０】
以上に開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考慮されるべきである。本発明の範囲は、以上の実施の形態および実施例ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての修正や変形を含むものと意図される。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明は、カラーフィルタのパターンに発生する欠陥部の修正に用いられる塗布針の洗浄技術として適している。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の一実施の形態におけるパターン修正装置の構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施の形態におけるインク塗布機構の構成を示す一部省略した斜視図である。
【図３】本発明の一実施の形態における塗布針洗浄装置の構成を示す断面図である。
【図４】本発明の一実施の形態における塗布針洗浄装置において、ブラシを洗浄液中に移動した状態を示す断面図である。
【図５】本発明の一実施の形態における塗布針洗浄装置において、塗布針の先端部を洗浄液に浸漬した状態を示す断面図である。
【図６】ブラシが塗布針と接触する位置に調節された状態を示す平面拡大図である。
【図７】本発明の一実施の形態における塗布針洗浄装置の他の構成を示す断面図である。
【図８】本発明の一実施の形態における塗布針洗浄装置のさらに他の構成を示す平面拡大図である。
【図９】カラーフィルタに発生する欠陥を示す図である。（ａ）は白欠陥を示す図であり、（ｂ）は黒欠陥を示す図であり、（ｃ）は異物欠陥を示す図である。
【符号の説明】
【００５３】
１ パターン修正装置、２ 観察光学系、３ モニタ、４ カット用レーザ部、５ インク塗布機構、６ 基板加熱部、７ 画像処理部、８ ホストコンピュータ、９ 制御用コンピュータ、１０ ＸＹステージ、１１ チャック部、１２ Ｚステージ、１３ 塗布針、１３ａ インク、２０ａ〜２０ｄ インクタンク、２１ 塗布針洗浄装置、２２ 回転テーブル、２２ａ 切欠部、２３ 保持部材、２４ 駆動軸、２５ 位置決め用アクチュエータ、２６ 回転軸、２７ インデックス板、２８ インデックス用モータ、２９ａ インデックス用センサ、２９ｂ 原点復帰用センサ、３０ 容器、３１ 洗浄液、３２ ブラシ、３３ モータ、３５ バキューム、３６ ヒンジ、３７ 櫛、１０１ Ｒ画素、１０２ Ｇ画素、１０３ Ｂ画素、１０４ 白欠陥、１０５ 黒欠陥、１０６ 異物欠陥。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
付着物が付着した塗布針を洗浄する塗布針洗浄方法であって、
前記塗布針を洗浄液に浸漬する工程と、
前記洗浄液中において櫛状部材を振動させる振動工程とを備える、塗布針洗浄方法。
【請求項２】
前記櫛状部材を１００Ｈｚ以上１００ｋＨｚ未満の周波数で振動させることを特徴とする、請求項１に記載の塗布針洗浄方法。
【請求項３】
前記塗布針の長手方向に対して垂直な方向に前記櫛状部材を振動させることを特徴とする請求項１または２に記載の塗布針洗浄方法。
【請求項４】
前記振動工程において前記櫛状部材を前記塗布針に接触させることを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載の塗布針洗浄方法。
【請求項５】
付着物が付着した塗布針を洗浄する塗布針洗浄装置であって、
前記塗布針を浸漬するための洗浄液と、
前記洗浄液中に配置可能な櫛状部材と、
前記洗浄液中で前記櫛状部材を振動させる駆動部材とを備える、塗布針洗浄装置。
【請求項６】
前記櫛状部材はブラシであることを特徴とする、請求項５に記載の塗布針洗浄装置。
【請求項７】
前記駆動部材はモータであることを特徴とする、請求項５または６に記載の塗布針洗浄装置。
【請求項８】
前記洗浄液中へ前記櫛状部材を移動させるための移動部材をさらに備える、請求項５〜７のいずれかに記載の塗布針洗浄装置。
【請求項９】
パターンの欠陥を修正するためのパターン修正装置であって、
前記欠陥を修正するための修正液と、
前記塗布針と、
前記塗布針に前記修正液を付着させて前記欠陥に塗布するための塗布針駆動装置と、
請求項５〜８のいずれかに記載の塗布針洗浄装置とを備える、パターン修正装置。
【請求項１】
付着物が付着した塗布針を洗浄する塗布針洗浄方法であって、
前記塗布針を洗浄液に浸漬する工程と、
前記洗浄液中において櫛状部材を振動させる振動工程とを備える、塗布針洗浄方法。
【請求項２】
前記櫛状部材を１００Ｈｚ以上１００ｋＨｚ未満の周波数で振動させることを特徴とする、請求項１に記載の塗布針洗浄方法。
【請求項３】
前記塗布針の長手方向に対して垂直な方向に前記櫛状部材を振動させることを特徴とする請求項１または２に記載の塗布針洗浄方法。
【請求項４】
前記振動工程において前記櫛状部材を前記塗布針に接触させることを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載の塗布針洗浄方法。
【請求項５】
付着物が付着した塗布針を洗浄する塗布針洗浄装置であって、
前記塗布針を浸漬するための洗浄液と、
前記洗浄液中に配置可能な櫛状部材と、
前記洗浄液中で前記櫛状部材を振動させる駆動部材とを備える、塗布針洗浄装置。
【請求項６】
前記櫛状部材はブラシであることを特徴とする、請求項５に記載の塗布針洗浄装置。
【請求項７】
前記駆動部材はモータであることを特徴とする、請求項５または６に記載の塗布針洗浄装置。
【請求項８】
前記洗浄液中へ前記櫛状部材を移動させるための移動部材をさらに備える、請求項５〜７のいずれかに記載の塗布針洗浄装置。
【請求項９】
パターンの欠陥を修正するためのパターン修正装置であって、
前記欠陥を修正するための修正液と、
前記塗布針と、
前記塗布針に前記修正液を付着させて前記欠陥に塗布するための塗布針駆動装置と、
請求項５〜８のいずれかに記載の塗布針洗浄装置とを備える、パターン修正装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２００８−７３６３８（Ｐ２００８−７３６３８Ａ）
【公開日】平成２０年４月３日（２００８．４．３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−２５７３４８（Ｐ２００６−２５７３４８）
【出願日】平成１８年９月２２日（２００６．９．２２）
【出願人】（０００１０２６９２）ＮＴＮ株式会社 (9,006)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年４月３日（２００８．４．３）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年９月２２日（２００６．９．２２）
【出願人】（０００１０２６９２）ＮＴＮ株式会社 (9,006)
【Ｆターム（参考）】
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