感光性積層体の貼り付け位置検査装置
【課題】簡単な構成で、基板に対する感光材料層の貼り付け状態を容易且つ高精度に検出することを可能にする。
【解決手段】貼り付け位置検査装置94は、ゴムローラ80a、80bの下流側に配置される検出部96a〜96fを備える。検出部96aは、貼り付け基板24aの下方側から照明光Lを照射するLED照明98と、前記貼り付け基板24aの上方側に配置されるCCDカメラ100と、前記貼り付け基板24aに近接し且つ少なくとも感光性ウエブ22aから外部に露出するガラス基板24の一端部を覆って配置されるNDフィルタ102とを備える。
【解決手段】貼り付け位置検査装置94は、ゴムローラ80a、80bの下流側に配置される検出部96a〜96fを備える。検出部96aは、貼り付け基板24aの下方側から照明光Lを照射するLED照明98と、前記貼り付け基板24aの上方側に配置されるCCDカメラ100と、前記貼り付け基板24aに近接し且つ少なくとも感光性ウエブ22aから外部に露出するガラス基板24の一端部を覆って配置されるNDフィルタ102とを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、基板と長尺状感光性ウエブとを一対の圧着ローラ間で圧着処理することにより、感光性積層体を製造する製造システムにおいて、前記長尺状感光性ウエブの感光材料層の貼り付け位置を測定するための感光性積層体の貼り付け位置検査装置に関する。
【背景技術】
【0002】
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、PDPパネル用基板では、感光性樹脂層(感光材料層)を有する感光性シート体(感光性ウエブ)を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、通常、可撓性プラスチック支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが順に積層されている。
【0003】
この種の感光性シート体の貼り付けに使用される製造システムは、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を、所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光性樹脂層の範囲に対応して、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離する方式が採用されている。
【0004】
例えば、特許文献1に開示されている製造システムでは、図13に示すように、フイルムロール1から繰り出される積層体フイルム(感光性シート体)1aは、ガイドローラ2a、2bに巻き付けられて水平のフイルム搬送面に沿って延在している。このガイドローラ2bには、積層体フイルム1aの送り量に応じた数のパルス信号を出力するロータリエンコーダ3が取り付けられている。
【0005】
水平のフイルム搬送面に沿って延在する積層体フイルム1aは、サクションローラ4に巻き掛けられるとともに、前記ガイドローラ2bと前記サクションローラ4との間には、ハーフカッタ5とカバーフイルム剥離装置6とが設けられている。
【0006】
ハーフカッタ5は、積層体フイルム1aの搬送方向に所定間隔離間する一対のディスクカッタ5a、5bを備えている。ディスクカッタ5a、5bは、積層体フイルム1aのフイルム幅方向に沿って移動することにより、前記積層体フイルム1aのカバーフイルム(図示せず)における剥離部分と残存部分との2個所の境界部分をその裏側の感光性樹脂層(図示せず)と一体に切断してハーフカット部位を形成している。
【0007】
カバーフイルム剥離装置6は、粘着テープロール7から繰り出される粘着テープ7aを押圧ローラ8a、8b間でカバーフイルムの剥離部分に強く圧着させた後、巻き取りロール9によって巻き取っている。これにより、カバーフイルムの剥離部分は、感光性樹脂層から剥離されて粘着テープ7aと共に巻き取りロール9に巻き取られている。
【0008】
サクションローラ4の下流には、基板搬送装置10によって所定の間隔で搬送される複数の基板11の上面に、カバーフイルムの剥離された積層体フイルム1aの剥離部分を重ねて圧着する一対のラミネーションローラ12a、12bが配設されている。このラミネーションローラ12a、12bの下流側には、支持フイルム巻き取りロール13が配置されている。基板11に貼り付けられている透光性支持フイルム(図示せず)は、基板11に感光性樹脂層を残存させた状態で、カバーフイルムの残存部分と共に支持フイルム巻き取りロール13に巻き取られている。
【0009】
【特許文献1】特開平11−34280号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0010】
ところで、カバーフイルムが剥離された積層体フイルム1aの剥離部分を、基板11の所望の範囲に正確に貼り付けるためには、前記カバーフイルムの剥離部分と残存部分との境界部分であるハーフカット部位を基準として、前記積層体フイルム1aをラミネーションローラ12a、12b間に高精度に送り出す必要がある。
【0011】
しかしながら、積層体フイルム1aは、可撓性の透光性支持フイルム上に感光性樹脂層を形成したものであり、テンションを付与した状態で搬送されるため、搬送中に発生した延びの影響により、ハーフカット部位の位置がずれてしまうおそれがある。また、ラミネーションローラ12a、12bは、積層体フイルム1aと基板11とを加熱した状態で貼り付けるため、特に、前記ラミネーションローラ12a、12bの近傍での積層体フイルム1aの延びが大きくなってしまう。
【0012】
この場合、ラミネーションローラ12a、12b間において、積層体フイルム1aのハーフカット部位の位置を検出することができれば、その位置を調整して高精度な貼り付け処理を行うことが可能である。しかしながら、積層体フイルム1a及び基板11をラミネーションローラ12a、12bで挟持したまま、ハーフカット部位の位置を検出することは、前記ラミネーションローラ12a、12bが検出を阻害するため、現実的には不可能である。
【0013】
そこで、例えば、ラミネーションローラ12a、12bの下流側に、基板11に貼り付けられた積層体フイルム1aのハーフカット部位を検出する貼り付け位置検査装置を設けることが考えられる。
【0014】
この貼り付け位置検査装置は、図14に示すように、積層体フイルム1aが貼り付けられた基板11の下方に配置される照明部14と、前記基板11の上方に配置される撮像カメラ15とを備えている。照明部14には、積層体フイルム1aの端部から外部に露出する基板端部11aに対応して、減光フィルタ16(以下、NDフィルタ16という)が配置されている。基板端部11aは、照明光が照射される際にハレーションが惹起され易く、この基板端部11aに照射される照明光を減光させるためである。
【0015】
そこで、照明部14からの照明光が、基板11及び積層体フイルム1aに照射されると、これらを透過した照明光が撮像カメラ15によって受光される。これにより、基板端部11aからハーフカット部位HCの画像情報が検出される。
【0016】
この場合、ハーフカット部位HCは、比較的薄肉状の積層体フイルム1aの所定の厚さまでしか形成されていない。従って、撮像カメラ15によりハーフカット部位HCを撮影するためには、照明部14から相当に強い照明光を照射する必要がある。しかしながら、照明部14から強い照明光を照射すると、NDフィルタ16で遮光した部分以外からの照明によっても、基板端部11aにハレーションが惹起されてしまう(図15参照)。これにより、基板端部11aのエッジ画像が白い太線となり、この基板端部11aの位置を正確に検出することができないという問題がある。
【0017】
本発明は、この種の問題を解決するものであり、簡単な構成で、基板に対する感光材料層の貼り付け状態を容易且つ高精度に検出することが可能な感光性積層体の貼り付け位置検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0018】
本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層された長尺状感光性ウエブを送り出し、少なくとも前記保護フイルムに剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を形成して前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離した後、所定の間隔で供給される基板と共に加熱された一対の圧着ローラ間で圧着処理することにより、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置し且つ露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けて感光性積層体を製造する製造システムにおいて、前記感光材料層の貼り付け位置を測定するための貼り付け位置検査装置に関するものである。
【0019】
基板の流れ方向に交差する幅方向の少なくとも一端部は、前記基板に貼り付けられた長尺状感光性ウエブの端部から外部に露出している。
【0020】
貼り付け位置検査装置は、圧着ローラの下流側に配置され、基板の一端部から前記基板に貼り付けられた長尺状感光性ウエブの加工部位を検出する検出部を備えている。そして、検出部は、基板の一方の側から照明光を照射する照明手段と、前記基板の他方の側に配置される撮像手段と、前記基板に近接し且つ少なくとも長尺状感光性ウエブから外部に露出する前記基板の一端部を覆って配置される減光フィルタとを備えている。
【0021】
また、減光フィルタは、基板の他方の側に配置されることが好ましく、さらに、照明手段は、LED照明であることが好ましい。
【0022】
さらにまた、撮像手段は、CCDカメラを備えるとともに、前記CCDカメラによる撮影領域内に複数の画像検査領域を設定することが好ましい。
【0023】
また、検出部は、下流側の基板の後端縁部に位置する加工部位と、上流側の基板の先端縁部に位置する加工部位とに沿って、2列に且つ複数ずつ配設されることが好ましい。
【0024】
さらに、基板には、複数枚の長尺状感光性ウエブの各感光材料層が並列に貼り付けられることが好ましい。
【発明の効果】
【0025】
本発明では、減光フィルタが基板に近接して配置されるため、基板エッジに発生し易いハレーションによる影響を確実に阻止することができる。これにより、簡単な構成で、基板に対する感光材料層の貼り付け状態を容易且つ高精度に検出することが可能になる。従って、設備稼動率の低下を阻止して作業効率の向上を図るとともに、稼動安定化によるコストダウンが遂行される。
【発明を実施するための最良の形態】
【0026】
図1は、本発明の第1の実施形態に係る感光性積層体の貼り付け位置検査装置を組み込む製造システム20の概略構成図であり、この製造システム20は、液晶又は有機EL用カラーフィルタ等の製作工程で、長尺状感光性ウエブ22a、22bの各感光性樹脂層(感光材料層)28(後述する)を並列してガラス基板24に熱転写する作業を行う。感光性ウエブ22a、22bは、それぞれ所定の幅寸法に設定されており、例えば、前記感光性ウエブ22aが前記感光性ウエブ22bよりも幅広に構成されている。
【0027】
図2は、製造システム20に使用される感光性ウエブ22a、22bの断面図である。この感光性ウエブ22a、22bは、可撓性ベースフイルム(支持体)26と、感光性樹脂層28と、保護フイルム30とを積層して構成される。
【0028】
図1に示すように、製造システム20は、感光性ウエブ22a、22bをロール状に巻回した2本(2本以上であればよい)の感光性ウエブロール23a、23bを収容し、各感光性ウエブロール23a、23bから前記感光性ウエブ22a、22bを同期して送り出し可能な第1及び第2ウエブ送り出し機構32a、32bと、送り出された各感光性ウエブ22a、22bの保護フイルム30に幅方向に切断可能な境界位置であるハーフカット部位(加工部位)34を形成する第1及び第2加工機構36a、36bと、一部に非接着部38aを有する接着ラベル38(図3参照)を各保護フイルム30に接着させる第1及び第2ラベル接着機構40a、40bとを備える。
【0029】
第1及び第2ラベル接着機構40a、40bの下流には、各感光性ウエブ22a、22bをタクト送りから連続送りに変更するための第1及び第2リザーバ機構42a、42bと、各感光性ウエブ22a、22bから保護フイルム30を所定の長さ間隔で剥離させる第1及び第2剥離機構44a、44bと、ガラス基板24を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する基板搬送機構45と、前記保護フイルム30の剥離により露出した感光性樹脂層28を前記ガラス基板24に一体的且つ並列に貼り付ける貼り付け機構46とが配設される。
【0030】
貼り付け機構46における貼り付け位置の上流近傍には、各感光性ウエブ22a、22bの境界位置であるそれぞれのハーフカット部位34を直接検出する第1及び第2検出機構47a、47bが配設される。
【0031】
第1及び第2ウエブ送り出し機構32a、32bの下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ22a、22bの後端と、新たに使用される感光性ウエブ22a、22bの先端とをそれぞれ貼り付けるための貼り付け台49が配設される。貼り付け台49の下流には、感光性ウエブロール23a、23bの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器51が配設される。
【0032】
第1及び第2加工機構36a、36bは、第1及び第2ウエブ送り出し機構32a、32bに収容巻回されている各感光性ウエブロール23a、23bのロール径を算出するためのローラ対50の下流に配置される。第1及び第2加工機構36a、36bは、それぞれ単一の丸刃52を備え、この丸刃52は、感光性ウエブ22a、22bの幅方向に走行して、保護フイルム30の残存部分30b(図2)を挟んだ所定の2個所の位置にハーフカット部位34を形成する。
【0033】
図2に示すように、ハーフカット部位34は、少なくとも保護フイルム30を切断する必要があり、実際上、この保護フイルム30を確実に切断するために感光性樹脂層28乃至ベースフイルム26まで切り込むように丸刃52の切り込み深さが設定される。丸刃52は、回転することなく固定された状態で、感光性ウエブ22a、22bの幅方向に移動してハーフカット部位34を形成する方式や、前記感光性ウエブ22a、22b上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位34を形成する方式が採用される。このハーフカット部位34は、丸刃52に代替して、例えば、レーザ光や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、押し切り刃(トムソン刃)等で形成する方式を採用してもよい。
【0034】
なお、第1及び第2加工機構36a、36bは、それぞれ感光性ウエブ22a、22bの搬送方向(矢印A方向)に残存部分30bの幅に対応した距離Sだけ離間して2台配設し、保護フイルム30の残存部分30b(図2)を挟んで2つのハーフカット部位34を同時に形成してもよい。
【0035】
ハーフカット部位34は、例えば、両側のガラス基板24にそれぞれ10mmずつ入り込んだ位置に設定される。ガラス基板24間のハーフカット部位34で挟まれた部分は、後述する貼り付け機構46において感光性樹脂層28を前記ガラス基板24に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
【0036】
第1及び第2ラベル接着機構40a、40bは、ガラス基板24間に対応して保護フイルム30の残存部分30bを残すため、剥離側前方の剥離部分30aaと剥離側後方の剥離部分30abとを連結する接着ラベル38を供給する。図2に示すように、保護フイルム30は、残存部分30bを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分30aaとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分30abとする。
【0037】
図3に示すように、接着ラベル38は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム30と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル38は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部(微粘着を含む)38aを有するとともに、この非接着部38aの両側、すなわち、前記接着ラベル38の長手方向両端部に、前方の剥離部分30aaに接着される第1接着部38bと、後方の剥離部分30abに接着される第2接着部38cとを有する。
【0038】
図1に示すように、第1及び第2ラベル接着機構40a、40bは、それぞれ最大7枚の接着ラベル38を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド54a〜54gを備えるとともに、前記吸着パッド54a〜54gによる前記接着ラベル38の貼り付け位置には、感光性ウエブ22a、22bを下方から保持するための受け台56が昇降自在に配置される。
【0039】
第1及び第2リザーバ機構42a、42bは、上流側の感光性ウエブ22a、22bのタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ22a、22bの連続搬送との速度差を吸収するために、矢印方向に揺動自在なダンサーローラ60を備える。第2リザーバ機構42bには、第1及び第2ウエブ送り出し機構32a、32bから送り出される各感光性ウエブ22a、22bが貼り付け機構46に至るまでの各搬送路長を同一に調整するためのダンサーローラ61が配設される。
【0040】
第1及び第2リザーバ機構42a、42bの下流に配置される第1及び第2剥離機構44a、44bは、それぞれ感光性ウエブ22a、22bの送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム62を備える。各サクションドラム62の近傍には、剥離ローラ63が配置されるとともに、この剥離ローラ63を介して感光性ウエブ22a、22bから鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム30は、残存部分30bを除いてそれぞれ保護フイルム巻き取り部64に巻き取られる。
【0041】
第1及び第2剥離機構44a、44bの下流側には、感光性ウエブ22a、22bにテンションを付与可能な第1及び第2テンション制御機構66a、66bが配設される。第1及び第2テンション制御機構66a、66bは、それぞれシリンダ68を備え、前記シリンダ68の駆動作用下に、それぞれテンションダンサー70が揺動変位することにより、各テンションダンサー70が摺接する感光性ウエブ22a、22bのテンションが調整可能である。なお、第1及び第2テンション制御機構66a、66bは、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。
【0042】
第1及び第2検出機構47a、47bは、感光性ウエブ22a、22bに形成されたハーフカット部位34を検出する、例えば、レーザ変位計やCCDカメラ72a、72bを有する。
【0043】
基板搬送機構45は、ガラス基板24を挟持するように配設される複数組の基板加熱部(例えば、ヒータ)74と、このガラス基板24を矢印C方向に搬送する搬送部76とを備える。基板加熱部74では、ガラス基板24の温度を常時監視し、異常時には、搬送部76の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板24を後工程でNG排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部76には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板24が浮上されて矢印C方向に搬送される。ガラス基板24の搬送は、ローラコンベアでも行える。
【0044】
ガラス基板24の温度測定は、基板加熱部74内又は貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式(例えば、熱電対)の他、非接触式であってもよい。
【0045】
基板加熱部74の上流には、複数のガラス基板24が収容される基板ストッカー71が設けられる。この基板ストッカー71に収容されている各ガラス基板24は、ロボット75のハンド部75aに設けられた吸着パッド79に吸着されて取り出され、基板加熱部74に挿入される。
【0046】
貼り付け機構46は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ(圧着ローラ)80a、80bを備える。ゴムローラ80a、80bには、バックアップローラ82a、82bが摺接する。一方のバックアップローラ82bは、ローラクランプ部83を構成する加圧シリンダ84a、84bによりゴムローラ80b側に押圧される。
【0047】
ゴムローラ80aの近傍には、感光性ウエブ22a、22bが前記ゴムローラ80aに接触することを防止するための接触防止ローラ86が移動可能に配設される。貼り付け機構46の上流近傍には、感光性ウエブ22a、22bを予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部87が配設される。この予備加熱部87は、例えば、赤外線バーヒータ等の加熱手段を備える。
【0048】
ガラス基板24は、貼り付け機構46から矢印C方向に延在する搬送路88を介して搬送される。この搬送路88には、フイルム搬送ローラ90a、90b及び基板搬送ローラ92が配設される。ゴムローラ80a、80bと基板搬送ローラ92との間隔は、ガラス基板24の一枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。
【0049】
基板搬送ローラ92の下流側近傍には、後述するように、感光性ウエブ22a、22bがラミネートされたガラス基板24(以下、貼り付け基板24aともいう)の感光性樹脂層28の貼り付け位置を測定するための貼り付け位置検査装置94が配設される。
【0050】
貼り付け位置検査装置94は、図4及び図5に示すように、下流側の貼り付け基板24aの後端縁部に位置するハーフカット部位34に沿って、矢印D方向に配列される検出部96a、96b及び96cと、上流側の貼り付け基板24aの先端縁部に位置するハーフカット部位34に沿って、矢印D方向に配列される検出部96d、96e及び96fとを備える。
【0051】
貼り付け基板24aは、図5に示すように、ガラス基板24の幅方向(矢印D方向)の面内に互いに平行して感光性ウエブ22a、22bが貼り付けられるとともに、前記ガラス基板24の一方の基板エッジ部GEaは、前記感光性ウエブ22aの端面から距離Saだけ外部に露出する。同様に、ガラス基板24の他方の基板エッジ部GEbは、感光性ウエブ22bの端面から距離Sbだけ外部に露出するとともに、前記感光性ウエブ22a、22b同士は、距離Scだけ離間する。
【0052】
検出部96aは、下流側の(先行する)貼り付け基板24aの後端縁部の一方の角部に対応して配置され、検出部96bは、前記後端縁部に感光性ウエブ22a、22bに跨って配置され、検出部96cは、前記後端縁部の他方の角部に対応して配置される。
【0053】
検出部96dは、上流側の(後続する)貼り付け基板24aの先端縁部の一方の角部に対応して配置され、検出部96eは、前記先端縁部に感光性ウエブ22a、22bに跨って配置され、検出部96fは、前記先端縁部の他方の角部に対応して配置される。
【0054】
図6に示すように、検出部96aは、貼り付け基板24aの下方(一方の側)から照明光Lを照射するLED照明(照明手段)98と、前記貼り付け基板24aの上方(他方の側)に配置されるCCDカメラ(撮像手段)100と、前記貼り付け基板24aの上方に配置され、該貼り付け基板24aに近接するとともに、感光性ウエブ22aから外方に露出するガラス基板24の一端部(基板エッジ部GEa)を覆うNDフィルタ(減光フィルタ)102と、測定の基準となる基準片103とを備える。
【0055】
図7に示すように、LED照明98の表面からガラス基板24の底面までの距離h1、前記LED照明98の表面からNDフィルタ102までの距離h2、前記LED照明98の表面からCCDカメラ100の先端までの距離h3が設定されるとともに、前記NDフィルタ102の貼り付け基板24aに対するオーバーラップ量tが設定される。具体的には、距離h1=210mm、距離h2=225mm、距離h3=300mm、t=20mmに設定される。
【0056】
CCDカメラ100は、図8に示すように、所定の撮影領域を有するとともに、前記撮影領域内には、複数の画像検査領域104が設定される。
【0057】
検出部96b〜96fは、上記の検出部96aと同様に構成されており、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【0058】
図1に示すように、貼り付け位置検査装置94の下流には、冷却機構110とベース自動剥離機構112とが設けられる。ベース自動剥離機構112は、所定間隔ずつ離間する各ガラス基板24に貼り付けられている長尺なベースフイルム26を連続して剥離するものであり、プレ剥離部114と、比較的小径な剥離ローラ116と、巻き取り軸118と、自動貼り付け機120とを備えている。プレ剥離部114は、ガラス基板24間で昇降可能な剥離バー122を備える。
【0059】
ベース自動剥離機構112の下流には、ガラス基板24に実際に貼り付けられた感光性樹脂層28のエリア位置を測定する測定器124が配設される。この測定器124は、例えば、感光性樹脂層28が貼り付けられたガラス基板24を撮影するCCD等のカメラ126を備える。
【0060】
ベース自動剥離機構112の下流には、測定器124によって感光性樹脂層28にエリア位置の測定された複数の感光性積層体128が収容される感光性積層体ストッカー132が設けられる。ベース自動剥離機構112でベースフイルム26及び残存部分30bが剥離された感光性積層体128は、ロボット134のハンド部134aに設けられた吸着パッド136に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー132に収容される。
【0061】
なお、以上のように構成される製造システム20では、第1及び第2ウエブ送り出し機構32a、32b、第1及び第2加工機構36a、36b、第1及び第2ラベル接着機構40a、40b、第1及び第2リザーバ機構42a、42b、第1及び第2剥離機構44a、44b、第1及び第2テンション制御機構66a、66b並びに第1及び第2検出機構47a、47bが、貼り付け機構46の上方に配置されているが、これとは逆に、前記第1及び第2ウエブ送り出し機構32a、32bから前記第1及び第2検出機構47a、47bまでを前記貼り付け機構46の下方に配置し、感光性ウエブ22a、22bの上下が逆になって感光性樹脂層28がガラス基板24の下側に貼り付けてもよく、また、前記製造システム20全体を直線状に構成してもよい。
【0062】
製造システム20は、ラミネート工程制御部140により全体が制御されており、この製造システム20の各機能部毎に、例えば、ラミネート制御部142、基板加熱制御部144及びハーフカット制御部146等が設けられ、これらが工程内ネットワークにより相互に接続されている。
【0063】
基板加熱制御部144は、上流工程からガラス基板24を受け入れ、このガラス基板24を所望の温度まで加熱して貼り付け機構46に供給する動作及び該ガラス基板24の情報のハンドリング等を制御する。
【0064】
ラミネート制御部142は、工程全体のマスターとして、各機能部の制御を行うものであり、第1及び第2検出機構47a、47bにより検出された感光性ウエブ22a、22bのハーフカット部位34の位置情報に基づいて、貼り付け位置における各境界位置とガラス基板24との相対位置及び各境界位置同士の相対位置を制御可能な制御機構を構成している。
【0065】
ハーフカット制御部146は、第1及び第2加工機構36a、36bを制御し、感光性ウエブ22a、22bの所定の位置にハーフカット部位34を形成する。
【0066】
製造システム20内は、仕切り壁150を介して第1クリーンルーム152aと第2クリーンルーム152bとに仕切られる。第1クリーンルーム152aには、第1及び第2ウエブ送り出し機構32a、32bから第1及び第2テンション制御機構66a、66bまでが収容されるとともに、第2クリーンルーム152bには、第1及び第2検出機構47a、47b以降が収容される。第1クリーンルーム152aと第2クリーンルーム152bとは、貫通部154を介して連通する。
【0067】
このように構成される製造システム20の動作について、第1の実施形態に係る貼り付け位置検査装置94との関連で、以下に説明する。
【0068】
先ず、第1及び第2ウエブ送り出し機構32a、32bに取り付けられている各感光性ウエブロール23a、23bから感光性ウエブ22a、22bが送り出される。感光性ウエブ22a、22bは、第1及び第2加工機構36a、36bに搬送される。
【0069】
第1及び第2加工機構36a、36bでは、丸刃52が感光性ウエブ22a、22bの幅方向に移動して、前記感光性ウエブ22a、22bを保護フイルム30から感光性樹脂層28乃至ベースフイルム26まで切り込んでハーフカット部位34を形成する(図2参照)。さらに、感光性ウエブ22a、22bは、保護フイルム30の残存部分30bの幅S(図2)に対応して矢印A方向に搬送された後に停止され、丸刃52の走行作用下にハーフカット部位34が形成される。これにより、感光性ウエブ22a、22bには、残存部分30bを挟んで前方の剥離部分30aaと後方の剥離部分30abとが設けられる。
【0070】
次いで、各感光性ウエブ22a、22bは、第1及び第2ラベル接着機構40a、40bに搬送されて、保護フイルム30の所定の貼り付け部位が受け台56上に配置される。第1及び第2ラベル接着機構40a、40bでは、所定枚数の接着ラベル38が吸着パッド54a〜54gにより吸着保持され、各接着ラベル38が保護フイルム30の残存部分30bを跨いで、前方の剥離部分30aaと後方の剥離部分30abとに一体的に接着される(図3参照)。
【0071】
例えば、7枚の接着ラベル38が接着された感光性ウエブ22a、22bは、図1に示すように、第1及び第2リザーバ機構42a、42bを介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、第1及び第2剥離機構44a、44bに連続的に搬送される。第1及び第2剥離機構44a、44bでは、感光性ウエブ22a、22bのベースフイルム26がサクションドラム62に吸着保持されるとともに、保護フイルム30が残存部分30bを残して前記感光性ウエブ22a、22bから剥離される。この保護フイルム30は、剥離ローラ63を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部64に巻き取られる。
【0072】
第1及び第2剥離機構44a、44bの作用下に、保護フイルム30が残存部分30bを残してベースフイルム26から剥離される。さらに、感光性ウエブ22a、22bは、第1及び第2テンション制御機構66a、66bによってテンション調整が行われた後、第1及び第2検出機構47a、47bのレーザ変位計やCCDカメラ72a、72bによりハーフカット部位34の検出が行われる。
【0073】
そこで、レーザ変位計やCCDカメラ72a、72bが後方の剥離部分30ab側のハーフカット部位34を検知した後、感光性ウエブ22a、22bを保護フイルム30の残存部分30bの幅に対応した距離Sだけ搬送して停止させる一方、ガラス基板24を、基板搬送機構45の作用下に、予め加熱された状態で貼り付け位置に搬送する。ガラス基板24は、並列されている感光性ウエブ22a、22bの感光性樹脂層28の貼り付け部分に対応してゴムローラ80a、80b間に一旦配置される。
【0074】
次いで、バックアップローラ82b及びゴムローラ80bを上昇させることにより、ゴムローラ80a、80b間にガラス基板24が所定のプレス圧力で挟み込まれる。ゴムローラ80aの回転作用下に、感光性ウエブ22a、22b及びガラス基板24を矢印C方向に搬送され、並列されている各感光性樹脂層28がガラス基板24に転写(ラミネート)される。
【0075】
なお、ラミネート条件としては、速度が1.0m/min〜10.0m/min、ゴムローラ80a、80bの温度が80℃〜150℃、前記ゴムローラ80a、80bのゴム硬度が40度〜90度、該ゴムローラ80a、80bのプレス圧(線圧)が50N/cm〜400N/cmである。
【0076】
ゴムローラ80a、80bを介してガラス基板24に感光性ウエブ22a、22bの一枚分のラミネートが終了すると、前記ゴムローラ80aの回転が停止される一方、貼り付け基板24aが基板搬送ローラ92によりクランプされる。その際、先行するガラス基板24の後端縁部からハーフカット部位34の位置が、検出部96a〜96cにより検出される一方、後続するガラス基板24の先端縁部からハーフカット部位34の位置が、検出部96d〜96fにより検出される。
【0077】
以下に、検出部96aの動作について説明すると、この検出部96aでは、図6及び図7に示すように、LED照明98からの照明光Lがガラス基板24及び感光性樹脂層28の後端部に照射される。貼り付け基板24aの後端縁部側の一方の角部近傍を透過した照明光Lは、CCDカメラ100によって受光され、画像情報が検出される。この検出された画像情報は、図8に示すように、複数の画像検査領域104により検査される。
【0078】
この場合、第1の実施形態では、貼り付け基板24aの上方側、すなわち、CCDカメラ100側に、この貼り付け基板24aに近接するとともに、感光性ウエブ22aから外部に露出するガラス基板24の一端部(基板エッジ部GEa)を覆って、NDフィルタ102が配置されている。
【0079】
このため、LED照明98からの照明光Lがガラス基板24の基板エッジ部GEaに照射される際、この基板エッジ部GEaでハレーションが惹起すると、このハレーションによる散乱光は、NDフィルタ102により減光される。一方、ガラス基板24及びハーフカット部位34を透過する照明光Lは、CCDカメラ100に受光される。従って、CCDカメラ100による撮影画像では、図8に示すように、ガラス基板24のエッジ部GEaが他の部分に比べて黒色に撮影され、前記エッジ部GEaの位置を正確且つ高精度に検出することができる。
【0080】
しかも、ガラス基板24のエッジ部GEaの撮影画像が黒色になるため、LED照明98の光量を、従来の照明部よりも増加させることが可能になる。このため、ハーフカット部位34の画像は、一層鮮明且つ明確に撮影される。
【0081】
これにより、簡単な構成で、ガラス基板24のエッジ部GEaの位置及びハーフカット部位34の位置を確実に検出することができ、前記ガラス基板24に対する感光性樹脂層28の貼り付け状態を容易且つ高精度に検出することが可能になる。従って、設備稼働率の低下を阻止して、作業効率の向上を図るとともに、稼動安定化によるコストダウンが遂行されるという効果がある。
【0082】
さらに、LED照明98からの照明光Lは、拡散光であるため、ハーフカット部位34の実際の幅よりも広幅の画像を得ることができ、前記ハーフカット部位34の検出が容易になる。その際、図7中、距離h1を大きく設定することにより、ハーフカット部位34を透過した拡散光は、CCDカメラ100に十分且つ確実に入射し、前記ハーフカット部位34の検出精度が向上するという利点がある。
【0083】
また、NDフィルタ102の位置、すなわち、図7中、距離h2を設定することにより、良好な撮影画像を得ることができる。具体的には、図9に示すように、NDフィルタ102の距離h2を種々変更した結果、このNDフィルタ102がCCDカメラ100に近接するに従って、撮影画像がぼけるという結果が得られた。従って、適切な距離h2を設定することにより、鮮明且つ良好な撮影画像を得ることが可能になる。
【0084】
さらにまた、第1の実施形態では、図8に示すように、CCDカメラ100による撮影領域内に、複数の画像検査領域104が設定されている。このため、ハーフカット部位34が点状に撮影されたり、薄い線で撮影されたりした場合にも、検出幅の狭いサーチエリアで検査を行うため、十分なコントラスト差を得ることが可能になる。従って、ハーフカット部位34の検出感度を良好に高めることができ、前記ハーフカット部位34を確実に検出することが可能になる。
【0085】
その際、複数の画像検査領域104でハーフカット部位34が検出された際には、測定の基準となる基準片103側(貼り付け領域側)からの距離が最も近い検出位置のハーフカット部位34の検出結果を採用する。ハーフカット部位34よりも基準片103側(貼り付け領域側)は、ラミネートされた部分であり、黒色レジストに亀裂が入り難く、ノイズの撮影が懸念され難い一方、前記ハーフカット部位34を境に基準片103から遠い側(基板間側)は、ラミネートされておらず、レジストに亀裂が生じ易く、ノイズを誤検出するおそれがあるからである。
【0086】
しかも、先行する貼り付け基板24aの後端側のハーフカット部位34と、後続する貼り付け基板24aの先端側のハーフカット部位34とは、同時に検査されている。このため、貼り付け精度検査処理は、迅速且つ効率的に遂行されるという利点がある。
【0087】
なお、他の検出部96b〜96fにおいても、上記の検出部96aと同様に、ガラス基板24に対する感光性樹脂層28の貼り付け状態を容易且つ高精度に検出することが可能になる。
【0088】
上記のように、貼り付け位置検査装置94による検査が行われた後、図1に示すように、ゴムローラ80bが、ゴムローラ80aから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ローラ92の回転が開始される。このため、貼り付け基板24aは、矢印C方向に保護フイルム30の残存部分30bの幅に対応する距離Sだけ搬送され、保護フイルム30の後方のハーフカット部位34がゴムローラ80aの下方付近の所定位置に移動する。
【0089】
一方、基板搬送機構45を介して次なるガラス基板24が貼り付け位置に向かって搬送される。以上の動作が繰り返されることにより、貼り付け基板24aが連続的に製造される。
【0090】
貼り付け機構46でラミネートされた貼り付け基板24aは、冷却機構110を通って冷却された後、プレ剥離部114に移送される。このプレ剥離部114では、剥離バー122がガラス基板24間に臨入して上昇し、これによって、ガラス基板24間の保護フイルム30が持ち上げられ、隣接するガラス基板24の後端及び先端から剥離する。
【0091】
次いで、ベース自動剥離機構112では、巻き取り軸118の回転作用下に、貼り付け基板24aからベースフイルム26が連続して巻き取られる。さらに、トラブル停止での切り離しや、不良品分離時の切断の後、新たにラミネート処理が開始された貼り付け基板24aのベースフイルム26の先端と、巻き取り軸118に巻き取られているベースフイルム26の後端とは、自動貼り付け機120を介して自動的に貼り付けられる。
【0092】
ベースフイルム26が剥離された貼り付け基板24aは、測定器124に対応する検査ステーションに配置される。この検査ステーションでは、ガラス基板24が位置決め固定された状態で、4台のカメラ126によりガラス基板24と感光性樹脂層28の画像を取り込む。そして、画像処理が施されることにより、貼り付け位置が演算される。
【0093】
感光性樹脂層28の貼り付け位置が確認された貼り付け基板24aは、ロボット134によって取り出され、感光性積層体128として感光性積層体ストッカー132に収容される。
【0094】
図10は、本発明の第2の実施形態に係る貼り付け位置検査装置180の平面説明図である。なお、第1の実施形態に係る貼り付け位置検査装置94と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。また、貼り付け位置検査装置180は、製造システム20に組み込まれる。
【0095】
貼り付け位置検査装置180は、検出部96a、96b及び96cを備える。貼り付け基板24aは、矢印C方向に間欠搬送される。そこで、下流側の貼り付け基板24aの後端縁部に位置するハーフカット部位34及び上流側の貼り付け基板24aの先端縁部に位置するハーフカット部位34が、それぞれ同一の位置に一旦停止する際に、各ハーフカット部位34を順次検出可能な位置に対応して、検出部96a、96b及び96cが矢印D方向に配列される。
【0096】
従って、第2の実施形態では、先ず、一枚分のラミネートが終了すると、下流側の貼り付け基板24aの後端縁部に位置するハーフカット部位34が、貼り付け位置検査装置180に対応して停止される。このため、ハーフカット部位34は、検出部96a、96b及び96cにより検出される。
【0097】
次いで、感光性ウエブ22a、22bが、保護フイルム30の残存部分30bの幅に対応した距離Sだけ搬送されて停止すると、上流側の貼り付け基板24aの先端縁部に位置するハーフカット部位34が、貼り付け位置検査装置180に対応して停止される。従って、ハーフカット部位34は、検出部96a、96b及び96cにより検出される。
【0098】
このように、第2の実施形態では、貼り付け位置検査装置180は、3つの検出部96a、96b及び96cを備えていればよく、一層経済的に構成されるという効果が得られる。
【0099】
図11は、本発明の第3の実施形態に係る製造システム200の概略構成図である。なお、第1の実施形態に係る製造システム20と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。また、第2の実施形態に係る貼り付け位置検査装置180を組み込んでもよい。以下の第4の実施形態でも、同様である。
【0100】
製造システム200は、貼り付け機構46の下流に配置され、各ガラス基板24間の感光性ウエブ22a、22bを一体的に切断可能な基板間ウエブ切断機構202を備える。
【0101】
このように構成される製造システム200では、上記の第1の実施形態と同様に、貼り付け機構46でラミネートされた貼り付け基板24aは、矢印C方向に搬送される。そして、貼り付け基板24a間が基板間ウエブ切断機構202に対応する位置に至ると、この基板間ウエブ切断機構202は、前記貼り付け基板24aと同一の搬送速度で矢印C方向に移動しながら、該貼り付け基板24a間で2本の感光性ウエブ22a、22bを一体的に切断する。
【0102】
この切断後に、基板間ウエブ切断機構48は、所定の待機位置に戻される一方、貼り付け基板24aでは、ベースフイルム26及び残存部分30bが順次剥離(枚葉剥離)されて感光性積層体128が製造される。
【0103】
図12は、本発明の第4の実施形態に係る貼り付け位置検査装置300の概略構成説明図である。なお、貼り付け位置検査装置94と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【0104】
貼り付け位置検査装置300を構成する検出部96aは、LED照明98が配置される側、すなわち、貼り付け基板24aの下方側に、前記貼り付け基板24aに近接してNDフィルタ102が配置される。このNDフィルタ102は、貼り付け基板24aの基板エッジ部GEaから内方に所定のオーバーラップ量tを有して配置されている。
【0105】
従って、LED照明98から照射される照明光Lは、ガラス基板24の基板エッジ部GEaに照射されることがなく、この基板エッジ部GEaでハレーションが惹起することを可及的に阻止することができる。これにより、CCDカメラ100により撮影される画像中には、基板エッジ部GEaがハレーションによって太く撮影されることがなく、前記基板エッジ部GEaを高精度且つ確実に検出することが可能になる等、上記の第1の実施形態と同様の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【0106】
【図1】本発明の第1の実施形態に係る感光性積層体の貼り付け位置検査装置を組み込む製造システムの概略構成図である。
【図2】前記製造システムに使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。
【図3】前記長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。
【図4】貼り付け機構及び前記貼り付け位置検査装置を構成する検出部の説明図である。
【図5】前記検出部の配置状態を示す平面説明図である。
【図6】前記検出部の概略斜視説明図である。
【図7】前記検出部の説明図である。
【図8】前記検出部を構成するCCDカメラによる検査画像の説明図である。
【図9】前記検出部を構成するNDフィルタの配置高さによる撮影状態の説明図である。
【図10】本発明の第2の実施形態に係る貼り付け位置検査装置の平面説明図である。
【図11】本発明の第3の実施形態に係る製造システムの概略構成図である。
【図12】本発明の第4の実施形態に係る貼り付け位置検査装置の概略構成図である。
【図13】特許文献1の製造システムの概略構成図である。
【図14】比較例としての貼り付け位置検査装置の概略斜視説明図である。
【図15】図14の前記貼り付け位置検査装置による撮影画像の説明図である。
【符号の説明】
【0107】
20、200…製造システム 22a、22b…感光性ウエブ
24…ガラス基板 26…ベースフイルム
28…感光性樹脂層 30…保護フイルム
34…ハーフカット部位 45…基板搬送機構
46…貼り付け機構 80a、80b…ゴムローラ
94、180、300…貼り付け位置検査装置
96a〜96f…検出部 98…LED照明
100…CCDカメラ 102…NDフィルタ
112…ベース自動剥離機構
【技術分野】
【0001】
本発明は、基板と長尺状感光性ウエブとを一対の圧着ローラ間で圧着処理することにより、感光性積層体を製造する製造システムにおいて、前記長尺状感光性ウエブの感光材料層の貼り付け位置を測定するための感光性積層体の貼り付け位置検査装置に関する。
【背景技術】
【0002】
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、PDPパネル用基板では、感光性樹脂層(感光材料層)を有する感光性シート体(感光性ウエブ)を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、通常、可撓性プラスチック支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが順に積層されている。
【0003】
この種の感光性シート体の貼り付けに使用される製造システムは、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を、所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光性樹脂層の範囲に対応して、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離する方式が採用されている。
【0004】
例えば、特許文献1に開示されている製造システムでは、図13に示すように、フイルムロール1から繰り出される積層体フイルム(感光性シート体)1aは、ガイドローラ2a、2bに巻き付けられて水平のフイルム搬送面に沿って延在している。このガイドローラ2bには、積層体フイルム1aの送り量に応じた数のパルス信号を出力するロータリエンコーダ3が取り付けられている。
【0005】
水平のフイルム搬送面に沿って延在する積層体フイルム1aは、サクションローラ4に巻き掛けられるとともに、前記ガイドローラ2bと前記サクションローラ4との間には、ハーフカッタ5とカバーフイルム剥離装置6とが設けられている。
【0006】
ハーフカッタ5は、積層体フイルム1aの搬送方向に所定間隔離間する一対のディスクカッタ5a、5bを備えている。ディスクカッタ5a、5bは、積層体フイルム1aのフイルム幅方向に沿って移動することにより、前記積層体フイルム1aのカバーフイルム(図示せず)における剥離部分と残存部分との2個所の境界部分をその裏側の感光性樹脂層(図示せず)と一体に切断してハーフカット部位を形成している。
【0007】
カバーフイルム剥離装置6は、粘着テープロール7から繰り出される粘着テープ7aを押圧ローラ8a、8b間でカバーフイルムの剥離部分に強く圧着させた後、巻き取りロール9によって巻き取っている。これにより、カバーフイルムの剥離部分は、感光性樹脂層から剥離されて粘着テープ7aと共に巻き取りロール9に巻き取られている。
【0008】
サクションローラ4の下流には、基板搬送装置10によって所定の間隔で搬送される複数の基板11の上面に、カバーフイルムの剥離された積層体フイルム1aの剥離部分を重ねて圧着する一対のラミネーションローラ12a、12bが配設されている。このラミネーションローラ12a、12bの下流側には、支持フイルム巻き取りロール13が配置されている。基板11に貼り付けられている透光性支持フイルム(図示せず)は、基板11に感光性樹脂層を残存させた状態で、カバーフイルムの残存部分と共に支持フイルム巻き取りロール13に巻き取られている。
【0009】
【特許文献1】特開平11−34280号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0010】
ところで、カバーフイルムが剥離された積層体フイルム1aの剥離部分を、基板11の所望の範囲に正確に貼り付けるためには、前記カバーフイルムの剥離部分と残存部分との境界部分であるハーフカット部位を基準として、前記積層体フイルム1aをラミネーションローラ12a、12b間に高精度に送り出す必要がある。
【0011】
しかしながら、積層体フイルム1aは、可撓性の透光性支持フイルム上に感光性樹脂層を形成したものであり、テンションを付与した状態で搬送されるため、搬送中に発生した延びの影響により、ハーフカット部位の位置がずれてしまうおそれがある。また、ラミネーションローラ12a、12bは、積層体フイルム1aと基板11とを加熱した状態で貼り付けるため、特に、前記ラミネーションローラ12a、12bの近傍での積層体フイルム1aの延びが大きくなってしまう。
【0012】
この場合、ラミネーションローラ12a、12b間において、積層体フイルム1aのハーフカット部位の位置を検出することができれば、その位置を調整して高精度な貼り付け処理を行うことが可能である。しかしながら、積層体フイルム1a及び基板11をラミネーションローラ12a、12bで挟持したまま、ハーフカット部位の位置を検出することは、前記ラミネーションローラ12a、12bが検出を阻害するため、現実的には不可能である。
【0013】
そこで、例えば、ラミネーションローラ12a、12bの下流側に、基板11に貼り付けられた積層体フイルム1aのハーフカット部位を検出する貼り付け位置検査装置を設けることが考えられる。
【0014】
この貼り付け位置検査装置は、図14に示すように、積層体フイルム1aが貼り付けられた基板11の下方に配置される照明部14と、前記基板11の上方に配置される撮像カメラ15とを備えている。照明部14には、積層体フイルム1aの端部から外部に露出する基板端部11aに対応して、減光フィルタ16(以下、NDフィルタ16という)が配置されている。基板端部11aは、照明光が照射される際にハレーションが惹起され易く、この基板端部11aに照射される照明光を減光させるためである。
【0015】
そこで、照明部14からの照明光が、基板11及び積層体フイルム1aに照射されると、これらを透過した照明光が撮像カメラ15によって受光される。これにより、基板端部11aからハーフカット部位HCの画像情報が検出される。
【0016】
この場合、ハーフカット部位HCは、比較的薄肉状の積層体フイルム1aの所定の厚さまでしか形成されていない。従って、撮像カメラ15によりハーフカット部位HCを撮影するためには、照明部14から相当に強い照明光を照射する必要がある。しかしながら、照明部14から強い照明光を照射すると、NDフィルタ16で遮光した部分以外からの照明によっても、基板端部11aにハレーションが惹起されてしまう(図15参照)。これにより、基板端部11aのエッジ画像が白い太線となり、この基板端部11aの位置を正確に検出することができないという問題がある。
【0017】
本発明は、この種の問題を解決するものであり、簡単な構成で、基板に対する感光材料層の貼り付け状態を容易且つ高精度に検出することが可能な感光性積層体の貼り付け位置検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0018】
本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層された長尺状感光性ウエブを送り出し、少なくとも前記保護フイルムに剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を形成して前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離した後、所定の間隔で供給される基板と共に加熱された一対の圧着ローラ間で圧着処理することにより、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置し且つ露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けて感光性積層体を製造する製造システムにおいて、前記感光材料層の貼り付け位置を測定するための貼り付け位置検査装置に関するものである。
【0019】
基板の流れ方向に交差する幅方向の少なくとも一端部は、前記基板に貼り付けられた長尺状感光性ウエブの端部から外部に露出している。
【0020】
貼り付け位置検査装置は、圧着ローラの下流側に配置され、基板の一端部から前記基板に貼り付けられた長尺状感光性ウエブの加工部位を検出する検出部を備えている。そして、検出部は、基板の一方の側から照明光を照射する照明手段と、前記基板の他方の側に配置される撮像手段と、前記基板に近接し且つ少なくとも長尺状感光性ウエブから外部に露出する前記基板の一端部を覆って配置される減光フィルタとを備えている。
【0021】
また、減光フィルタは、基板の他方の側に配置されることが好ましく、さらに、照明手段は、LED照明であることが好ましい。
【0022】
さらにまた、撮像手段は、CCDカメラを備えるとともに、前記CCDカメラによる撮影領域内に複数の画像検査領域を設定することが好ましい。
【0023】
また、検出部は、下流側の基板の後端縁部に位置する加工部位と、上流側の基板の先端縁部に位置する加工部位とに沿って、2列に且つ複数ずつ配設されることが好ましい。
【0024】
さらに、基板には、複数枚の長尺状感光性ウエブの各感光材料層が並列に貼り付けられることが好ましい。
【発明の効果】
【0025】
本発明では、減光フィルタが基板に近接して配置されるため、基板エッジに発生し易いハレーションによる影響を確実に阻止することができる。これにより、簡単な構成で、基板に対する感光材料層の貼り付け状態を容易且つ高精度に検出することが可能になる。従って、設備稼動率の低下を阻止して作業効率の向上を図るとともに、稼動安定化によるコストダウンが遂行される。
【発明を実施するための最良の形態】
【0026】
図1は、本発明の第1の実施形態に係る感光性積層体の貼り付け位置検査装置を組み込む製造システム20の概略構成図であり、この製造システム20は、液晶又は有機EL用カラーフィルタ等の製作工程で、長尺状感光性ウエブ22a、22bの各感光性樹脂層(感光材料層)28(後述する)を並列してガラス基板24に熱転写する作業を行う。感光性ウエブ22a、22bは、それぞれ所定の幅寸法に設定されており、例えば、前記感光性ウエブ22aが前記感光性ウエブ22bよりも幅広に構成されている。
【0027】
図2は、製造システム20に使用される感光性ウエブ22a、22bの断面図である。この感光性ウエブ22a、22bは、可撓性ベースフイルム(支持体)26と、感光性樹脂層28と、保護フイルム30とを積層して構成される。
【0028】
図1に示すように、製造システム20は、感光性ウエブ22a、22bをロール状に巻回した2本(2本以上であればよい)の感光性ウエブロール23a、23bを収容し、各感光性ウエブロール23a、23bから前記感光性ウエブ22a、22bを同期して送り出し可能な第1及び第2ウエブ送り出し機構32a、32bと、送り出された各感光性ウエブ22a、22bの保護フイルム30に幅方向に切断可能な境界位置であるハーフカット部位(加工部位)34を形成する第1及び第2加工機構36a、36bと、一部に非接着部38aを有する接着ラベル38(図3参照)を各保護フイルム30に接着させる第1及び第2ラベル接着機構40a、40bとを備える。
【0029】
第1及び第2ラベル接着機構40a、40bの下流には、各感光性ウエブ22a、22bをタクト送りから連続送りに変更するための第1及び第2リザーバ機構42a、42bと、各感光性ウエブ22a、22bから保護フイルム30を所定の長さ間隔で剥離させる第1及び第2剥離機構44a、44bと、ガラス基板24を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する基板搬送機構45と、前記保護フイルム30の剥離により露出した感光性樹脂層28を前記ガラス基板24に一体的且つ並列に貼り付ける貼り付け機構46とが配設される。
【0030】
貼り付け機構46における貼り付け位置の上流近傍には、各感光性ウエブ22a、22bの境界位置であるそれぞれのハーフカット部位34を直接検出する第1及び第2検出機構47a、47bが配設される。
【0031】
第1及び第2ウエブ送り出し機構32a、32bの下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ22a、22bの後端と、新たに使用される感光性ウエブ22a、22bの先端とをそれぞれ貼り付けるための貼り付け台49が配設される。貼り付け台49の下流には、感光性ウエブロール23a、23bの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器51が配設される。
【0032】
第1及び第2加工機構36a、36bは、第1及び第2ウエブ送り出し機構32a、32bに収容巻回されている各感光性ウエブロール23a、23bのロール径を算出するためのローラ対50の下流に配置される。第1及び第2加工機構36a、36bは、それぞれ単一の丸刃52を備え、この丸刃52は、感光性ウエブ22a、22bの幅方向に走行して、保護フイルム30の残存部分30b(図2)を挟んだ所定の2個所の位置にハーフカット部位34を形成する。
【0033】
図2に示すように、ハーフカット部位34は、少なくとも保護フイルム30を切断する必要があり、実際上、この保護フイルム30を確実に切断するために感光性樹脂層28乃至ベースフイルム26まで切り込むように丸刃52の切り込み深さが設定される。丸刃52は、回転することなく固定された状態で、感光性ウエブ22a、22bの幅方向に移動してハーフカット部位34を形成する方式や、前記感光性ウエブ22a、22b上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位34を形成する方式が採用される。このハーフカット部位34は、丸刃52に代替して、例えば、レーザ光や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、押し切り刃(トムソン刃)等で形成する方式を採用してもよい。
【0034】
なお、第1及び第2加工機構36a、36bは、それぞれ感光性ウエブ22a、22bの搬送方向(矢印A方向)に残存部分30bの幅に対応した距離Sだけ離間して2台配設し、保護フイルム30の残存部分30b(図2)を挟んで2つのハーフカット部位34を同時に形成してもよい。
【0035】
ハーフカット部位34は、例えば、両側のガラス基板24にそれぞれ10mmずつ入り込んだ位置に設定される。ガラス基板24間のハーフカット部位34で挟まれた部分は、後述する貼り付け機構46において感光性樹脂層28を前記ガラス基板24に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
【0036】
第1及び第2ラベル接着機構40a、40bは、ガラス基板24間に対応して保護フイルム30の残存部分30bを残すため、剥離側前方の剥離部分30aaと剥離側後方の剥離部分30abとを連結する接着ラベル38を供給する。図2に示すように、保護フイルム30は、残存部分30bを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分30aaとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分30abとする。
【0037】
図3に示すように、接着ラベル38は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム30と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル38は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部(微粘着を含む)38aを有するとともに、この非接着部38aの両側、すなわち、前記接着ラベル38の長手方向両端部に、前方の剥離部分30aaに接着される第1接着部38bと、後方の剥離部分30abに接着される第2接着部38cとを有する。
【0038】
図1に示すように、第1及び第2ラベル接着機構40a、40bは、それぞれ最大7枚の接着ラベル38を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド54a〜54gを備えるとともに、前記吸着パッド54a〜54gによる前記接着ラベル38の貼り付け位置には、感光性ウエブ22a、22bを下方から保持するための受け台56が昇降自在に配置される。
【0039】
第1及び第2リザーバ機構42a、42bは、上流側の感光性ウエブ22a、22bのタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ22a、22bの連続搬送との速度差を吸収するために、矢印方向に揺動自在なダンサーローラ60を備える。第2リザーバ機構42bには、第1及び第2ウエブ送り出し機構32a、32bから送り出される各感光性ウエブ22a、22bが貼り付け機構46に至るまでの各搬送路長を同一に調整するためのダンサーローラ61が配設される。
【0040】
第1及び第2リザーバ機構42a、42bの下流に配置される第1及び第2剥離機構44a、44bは、それぞれ感光性ウエブ22a、22bの送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム62を備える。各サクションドラム62の近傍には、剥離ローラ63が配置されるとともに、この剥離ローラ63を介して感光性ウエブ22a、22bから鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム30は、残存部分30bを除いてそれぞれ保護フイルム巻き取り部64に巻き取られる。
【0041】
第1及び第2剥離機構44a、44bの下流側には、感光性ウエブ22a、22bにテンションを付与可能な第1及び第2テンション制御機構66a、66bが配設される。第1及び第2テンション制御機構66a、66bは、それぞれシリンダ68を備え、前記シリンダ68の駆動作用下に、それぞれテンションダンサー70が揺動変位することにより、各テンションダンサー70が摺接する感光性ウエブ22a、22bのテンションが調整可能である。なお、第1及び第2テンション制御機構66a、66bは、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。
【0042】
第1及び第2検出機構47a、47bは、感光性ウエブ22a、22bに形成されたハーフカット部位34を検出する、例えば、レーザ変位計やCCDカメラ72a、72bを有する。
【0043】
基板搬送機構45は、ガラス基板24を挟持するように配設される複数組の基板加熱部(例えば、ヒータ)74と、このガラス基板24を矢印C方向に搬送する搬送部76とを備える。基板加熱部74では、ガラス基板24の温度を常時監視し、異常時には、搬送部76の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板24を後工程でNG排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部76には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板24が浮上されて矢印C方向に搬送される。ガラス基板24の搬送は、ローラコンベアでも行える。
【0044】
ガラス基板24の温度測定は、基板加熱部74内又は貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式(例えば、熱電対)の他、非接触式であってもよい。
【0045】
基板加熱部74の上流には、複数のガラス基板24が収容される基板ストッカー71が設けられる。この基板ストッカー71に収容されている各ガラス基板24は、ロボット75のハンド部75aに設けられた吸着パッド79に吸着されて取り出され、基板加熱部74に挿入される。
【0046】
貼り付け機構46は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ(圧着ローラ)80a、80bを備える。ゴムローラ80a、80bには、バックアップローラ82a、82bが摺接する。一方のバックアップローラ82bは、ローラクランプ部83を構成する加圧シリンダ84a、84bによりゴムローラ80b側に押圧される。
【0047】
ゴムローラ80aの近傍には、感光性ウエブ22a、22bが前記ゴムローラ80aに接触することを防止するための接触防止ローラ86が移動可能に配設される。貼り付け機構46の上流近傍には、感光性ウエブ22a、22bを予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部87が配設される。この予備加熱部87は、例えば、赤外線バーヒータ等の加熱手段を備える。
【0048】
ガラス基板24は、貼り付け機構46から矢印C方向に延在する搬送路88を介して搬送される。この搬送路88には、フイルム搬送ローラ90a、90b及び基板搬送ローラ92が配設される。ゴムローラ80a、80bと基板搬送ローラ92との間隔は、ガラス基板24の一枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。
【0049】
基板搬送ローラ92の下流側近傍には、後述するように、感光性ウエブ22a、22bがラミネートされたガラス基板24(以下、貼り付け基板24aともいう)の感光性樹脂層28の貼り付け位置を測定するための貼り付け位置検査装置94が配設される。
【0050】
貼り付け位置検査装置94は、図4及び図5に示すように、下流側の貼り付け基板24aの後端縁部に位置するハーフカット部位34に沿って、矢印D方向に配列される検出部96a、96b及び96cと、上流側の貼り付け基板24aの先端縁部に位置するハーフカット部位34に沿って、矢印D方向に配列される検出部96d、96e及び96fとを備える。
【0051】
貼り付け基板24aは、図5に示すように、ガラス基板24の幅方向(矢印D方向)の面内に互いに平行して感光性ウエブ22a、22bが貼り付けられるとともに、前記ガラス基板24の一方の基板エッジ部GEaは、前記感光性ウエブ22aの端面から距離Saだけ外部に露出する。同様に、ガラス基板24の他方の基板エッジ部GEbは、感光性ウエブ22bの端面から距離Sbだけ外部に露出するとともに、前記感光性ウエブ22a、22b同士は、距離Scだけ離間する。
【0052】
検出部96aは、下流側の(先行する)貼り付け基板24aの後端縁部の一方の角部に対応して配置され、検出部96bは、前記後端縁部に感光性ウエブ22a、22bに跨って配置され、検出部96cは、前記後端縁部の他方の角部に対応して配置される。
【0053】
検出部96dは、上流側の(後続する)貼り付け基板24aの先端縁部の一方の角部に対応して配置され、検出部96eは、前記先端縁部に感光性ウエブ22a、22bに跨って配置され、検出部96fは、前記先端縁部の他方の角部に対応して配置される。
【0054】
図6に示すように、検出部96aは、貼り付け基板24aの下方(一方の側)から照明光Lを照射するLED照明(照明手段)98と、前記貼り付け基板24aの上方(他方の側)に配置されるCCDカメラ(撮像手段)100と、前記貼り付け基板24aの上方に配置され、該貼り付け基板24aに近接するとともに、感光性ウエブ22aから外方に露出するガラス基板24の一端部(基板エッジ部GEa)を覆うNDフィルタ(減光フィルタ)102と、測定の基準となる基準片103とを備える。
【0055】
図7に示すように、LED照明98の表面からガラス基板24の底面までの距離h1、前記LED照明98の表面からNDフィルタ102までの距離h2、前記LED照明98の表面からCCDカメラ100の先端までの距離h3が設定されるとともに、前記NDフィルタ102の貼り付け基板24aに対するオーバーラップ量tが設定される。具体的には、距離h1=210mm、距離h2=225mm、距離h3=300mm、t=20mmに設定される。
【0056】
CCDカメラ100は、図8に示すように、所定の撮影領域を有するとともに、前記撮影領域内には、複数の画像検査領域104が設定される。
【0057】
検出部96b〜96fは、上記の検出部96aと同様に構成されており、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【0058】
図1に示すように、貼り付け位置検査装置94の下流には、冷却機構110とベース自動剥離機構112とが設けられる。ベース自動剥離機構112は、所定間隔ずつ離間する各ガラス基板24に貼り付けられている長尺なベースフイルム26を連続して剥離するものであり、プレ剥離部114と、比較的小径な剥離ローラ116と、巻き取り軸118と、自動貼り付け機120とを備えている。プレ剥離部114は、ガラス基板24間で昇降可能な剥離バー122を備える。
【0059】
ベース自動剥離機構112の下流には、ガラス基板24に実際に貼り付けられた感光性樹脂層28のエリア位置を測定する測定器124が配設される。この測定器124は、例えば、感光性樹脂層28が貼り付けられたガラス基板24を撮影するCCD等のカメラ126を備える。
【0060】
ベース自動剥離機構112の下流には、測定器124によって感光性樹脂層28にエリア位置の測定された複数の感光性積層体128が収容される感光性積層体ストッカー132が設けられる。ベース自動剥離機構112でベースフイルム26及び残存部分30bが剥離された感光性積層体128は、ロボット134のハンド部134aに設けられた吸着パッド136に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー132に収容される。
【0061】
なお、以上のように構成される製造システム20では、第1及び第2ウエブ送り出し機構32a、32b、第1及び第2加工機構36a、36b、第1及び第2ラベル接着機構40a、40b、第1及び第2リザーバ機構42a、42b、第1及び第2剥離機構44a、44b、第1及び第2テンション制御機構66a、66b並びに第1及び第2検出機構47a、47bが、貼り付け機構46の上方に配置されているが、これとは逆に、前記第1及び第2ウエブ送り出し機構32a、32bから前記第1及び第2検出機構47a、47bまでを前記貼り付け機構46の下方に配置し、感光性ウエブ22a、22bの上下が逆になって感光性樹脂層28がガラス基板24の下側に貼り付けてもよく、また、前記製造システム20全体を直線状に構成してもよい。
【0062】
製造システム20は、ラミネート工程制御部140により全体が制御されており、この製造システム20の各機能部毎に、例えば、ラミネート制御部142、基板加熱制御部144及びハーフカット制御部146等が設けられ、これらが工程内ネットワークにより相互に接続されている。
【0063】
基板加熱制御部144は、上流工程からガラス基板24を受け入れ、このガラス基板24を所望の温度まで加熱して貼り付け機構46に供給する動作及び該ガラス基板24の情報のハンドリング等を制御する。
【0064】
ラミネート制御部142は、工程全体のマスターとして、各機能部の制御を行うものであり、第1及び第2検出機構47a、47bにより検出された感光性ウエブ22a、22bのハーフカット部位34の位置情報に基づいて、貼り付け位置における各境界位置とガラス基板24との相対位置及び各境界位置同士の相対位置を制御可能な制御機構を構成している。
【0065】
ハーフカット制御部146は、第1及び第2加工機構36a、36bを制御し、感光性ウエブ22a、22bの所定の位置にハーフカット部位34を形成する。
【0066】
製造システム20内は、仕切り壁150を介して第1クリーンルーム152aと第2クリーンルーム152bとに仕切られる。第1クリーンルーム152aには、第1及び第2ウエブ送り出し機構32a、32bから第1及び第2テンション制御機構66a、66bまでが収容されるとともに、第2クリーンルーム152bには、第1及び第2検出機構47a、47b以降が収容される。第1クリーンルーム152aと第2クリーンルーム152bとは、貫通部154を介して連通する。
【0067】
このように構成される製造システム20の動作について、第1の実施形態に係る貼り付け位置検査装置94との関連で、以下に説明する。
【0068】
先ず、第1及び第2ウエブ送り出し機構32a、32bに取り付けられている各感光性ウエブロール23a、23bから感光性ウエブ22a、22bが送り出される。感光性ウエブ22a、22bは、第1及び第2加工機構36a、36bに搬送される。
【0069】
第1及び第2加工機構36a、36bでは、丸刃52が感光性ウエブ22a、22bの幅方向に移動して、前記感光性ウエブ22a、22bを保護フイルム30から感光性樹脂層28乃至ベースフイルム26まで切り込んでハーフカット部位34を形成する(図2参照)。さらに、感光性ウエブ22a、22bは、保護フイルム30の残存部分30bの幅S(図2)に対応して矢印A方向に搬送された後に停止され、丸刃52の走行作用下にハーフカット部位34が形成される。これにより、感光性ウエブ22a、22bには、残存部分30bを挟んで前方の剥離部分30aaと後方の剥離部分30abとが設けられる。
【0070】
次いで、各感光性ウエブ22a、22bは、第1及び第2ラベル接着機構40a、40bに搬送されて、保護フイルム30の所定の貼り付け部位が受け台56上に配置される。第1及び第2ラベル接着機構40a、40bでは、所定枚数の接着ラベル38が吸着パッド54a〜54gにより吸着保持され、各接着ラベル38が保護フイルム30の残存部分30bを跨いで、前方の剥離部分30aaと後方の剥離部分30abとに一体的に接着される(図3参照)。
【0071】
例えば、7枚の接着ラベル38が接着された感光性ウエブ22a、22bは、図1に示すように、第1及び第2リザーバ機構42a、42bを介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、第1及び第2剥離機構44a、44bに連続的に搬送される。第1及び第2剥離機構44a、44bでは、感光性ウエブ22a、22bのベースフイルム26がサクションドラム62に吸着保持されるとともに、保護フイルム30が残存部分30bを残して前記感光性ウエブ22a、22bから剥離される。この保護フイルム30は、剥離ローラ63を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部64に巻き取られる。
【0072】
第1及び第2剥離機構44a、44bの作用下に、保護フイルム30が残存部分30bを残してベースフイルム26から剥離される。さらに、感光性ウエブ22a、22bは、第1及び第2テンション制御機構66a、66bによってテンション調整が行われた後、第1及び第2検出機構47a、47bのレーザ変位計やCCDカメラ72a、72bによりハーフカット部位34の検出が行われる。
【0073】
そこで、レーザ変位計やCCDカメラ72a、72bが後方の剥離部分30ab側のハーフカット部位34を検知した後、感光性ウエブ22a、22bを保護フイルム30の残存部分30bの幅に対応した距離Sだけ搬送して停止させる一方、ガラス基板24を、基板搬送機構45の作用下に、予め加熱された状態で貼り付け位置に搬送する。ガラス基板24は、並列されている感光性ウエブ22a、22bの感光性樹脂層28の貼り付け部分に対応してゴムローラ80a、80b間に一旦配置される。
【0074】
次いで、バックアップローラ82b及びゴムローラ80bを上昇させることにより、ゴムローラ80a、80b間にガラス基板24が所定のプレス圧力で挟み込まれる。ゴムローラ80aの回転作用下に、感光性ウエブ22a、22b及びガラス基板24を矢印C方向に搬送され、並列されている各感光性樹脂層28がガラス基板24に転写(ラミネート)される。
【0075】
なお、ラミネート条件としては、速度が1.0m/min〜10.0m/min、ゴムローラ80a、80bの温度が80℃〜150℃、前記ゴムローラ80a、80bのゴム硬度が40度〜90度、該ゴムローラ80a、80bのプレス圧(線圧)が50N/cm〜400N/cmである。
【0076】
ゴムローラ80a、80bを介してガラス基板24に感光性ウエブ22a、22bの一枚分のラミネートが終了すると、前記ゴムローラ80aの回転が停止される一方、貼り付け基板24aが基板搬送ローラ92によりクランプされる。その際、先行するガラス基板24の後端縁部からハーフカット部位34の位置が、検出部96a〜96cにより検出される一方、後続するガラス基板24の先端縁部からハーフカット部位34の位置が、検出部96d〜96fにより検出される。
【0077】
以下に、検出部96aの動作について説明すると、この検出部96aでは、図6及び図7に示すように、LED照明98からの照明光Lがガラス基板24及び感光性樹脂層28の後端部に照射される。貼り付け基板24aの後端縁部側の一方の角部近傍を透過した照明光Lは、CCDカメラ100によって受光され、画像情報が検出される。この検出された画像情報は、図8に示すように、複数の画像検査領域104により検査される。
【0078】
この場合、第1の実施形態では、貼り付け基板24aの上方側、すなわち、CCDカメラ100側に、この貼り付け基板24aに近接するとともに、感光性ウエブ22aから外部に露出するガラス基板24の一端部(基板エッジ部GEa)を覆って、NDフィルタ102が配置されている。
【0079】
このため、LED照明98からの照明光Lがガラス基板24の基板エッジ部GEaに照射される際、この基板エッジ部GEaでハレーションが惹起すると、このハレーションによる散乱光は、NDフィルタ102により減光される。一方、ガラス基板24及びハーフカット部位34を透過する照明光Lは、CCDカメラ100に受光される。従って、CCDカメラ100による撮影画像では、図8に示すように、ガラス基板24のエッジ部GEaが他の部分に比べて黒色に撮影され、前記エッジ部GEaの位置を正確且つ高精度に検出することができる。
【0080】
しかも、ガラス基板24のエッジ部GEaの撮影画像が黒色になるため、LED照明98の光量を、従来の照明部よりも増加させることが可能になる。このため、ハーフカット部位34の画像は、一層鮮明且つ明確に撮影される。
【0081】
これにより、簡単な構成で、ガラス基板24のエッジ部GEaの位置及びハーフカット部位34の位置を確実に検出することができ、前記ガラス基板24に対する感光性樹脂層28の貼り付け状態を容易且つ高精度に検出することが可能になる。従って、設備稼働率の低下を阻止して、作業効率の向上を図るとともに、稼動安定化によるコストダウンが遂行されるという効果がある。
【0082】
さらに、LED照明98からの照明光Lは、拡散光であるため、ハーフカット部位34の実際の幅よりも広幅の画像を得ることができ、前記ハーフカット部位34の検出が容易になる。その際、図7中、距離h1を大きく設定することにより、ハーフカット部位34を透過した拡散光は、CCDカメラ100に十分且つ確実に入射し、前記ハーフカット部位34の検出精度が向上するという利点がある。
【0083】
また、NDフィルタ102の位置、すなわち、図7中、距離h2を設定することにより、良好な撮影画像を得ることができる。具体的には、図9に示すように、NDフィルタ102の距離h2を種々変更した結果、このNDフィルタ102がCCDカメラ100に近接するに従って、撮影画像がぼけるという結果が得られた。従って、適切な距離h2を設定することにより、鮮明且つ良好な撮影画像を得ることが可能になる。
【0084】
さらにまた、第1の実施形態では、図8に示すように、CCDカメラ100による撮影領域内に、複数の画像検査領域104が設定されている。このため、ハーフカット部位34が点状に撮影されたり、薄い線で撮影されたりした場合にも、検出幅の狭いサーチエリアで検査を行うため、十分なコントラスト差を得ることが可能になる。従って、ハーフカット部位34の検出感度を良好に高めることができ、前記ハーフカット部位34を確実に検出することが可能になる。
【0085】
その際、複数の画像検査領域104でハーフカット部位34が検出された際には、測定の基準となる基準片103側(貼り付け領域側)からの距離が最も近い検出位置のハーフカット部位34の検出結果を採用する。ハーフカット部位34よりも基準片103側(貼り付け領域側)は、ラミネートされた部分であり、黒色レジストに亀裂が入り難く、ノイズの撮影が懸念され難い一方、前記ハーフカット部位34を境に基準片103から遠い側(基板間側)は、ラミネートされておらず、レジストに亀裂が生じ易く、ノイズを誤検出するおそれがあるからである。
【0086】
しかも、先行する貼り付け基板24aの後端側のハーフカット部位34と、後続する貼り付け基板24aの先端側のハーフカット部位34とは、同時に検査されている。このため、貼り付け精度検査処理は、迅速且つ効率的に遂行されるという利点がある。
【0087】
なお、他の検出部96b〜96fにおいても、上記の検出部96aと同様に、ガラス基板24に対する感光性樹脂層28の貼り付け状態を容易且つ高精度に検出することが可能になる。
【0088】
上記のように、貼り付け位置検査装置94による検査が行われた後、図1に示すように、ゴムローラ80bが、ゴムローラ80aから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ローラ92の回転が開始される。このため、貼り付け基板24aは、矢印C方向に保護フイルム30の残存部分30bの幅に対応する距離Sだけ搬送され、保護フイルム30の後方のハーフカット部位34がゴムローラ80aの下方付近の所定位置に移動する。
【0089】
一方、基板搬送機構45を介して次なるガラス基板24が貼り付け位置に向かって搬送される。以上の動作が繰り返されることにより、貼り付け基板24aが連続的に製造される。
【0090】
貼り付け機構46でラミネートされた貼り付け基板24aは、冷却機構110を通って冷却された後、プレ剥離部114に移送される。このプレ剥離部114では、剥離バー122がガラス基板24間に臨入して上昇し、これによって、ガラス基板24間の保護フイルム30が持ち上げられ、隣接するガラス基板24の後端及び先端から剥離する。
【0091】
次いで、ベース自動剥離機構112では、巻き取り軸118の回転作用下に、貼り付け基板24aからベースフイルム26が連続して巻き取られる。さらに、トラブル停止での切り離しや、不良品分離時の切断の後、新たにラミネート処理が開始された貼り付け基板24aのベースフイルム26の先端と、巻き取り軸118に巻き取られているベースフイルム26の後端とは、自動貼り付け機120を介して自動的に貼り付けられる。
【0092】
ベースフイルム26が剥離された貼り付け基板24aは、測定器124に対応する検査ステーションに配置される。この検査ステーションでは、ガラス基板24が位置決め固定された状態で、4台のカメラ126によりガラス基板24と感光性樹脂層28の画像を取り込む。そして、画像処理が施されることにより、貼り付け位置が演算される。
【0093】
感光性樹脂層28の貼り付け位置が確認された貼り付け基板24aは、ロボット134によって取り出され、感光性積層体128として感光性積層体ストッカー132に収容される。
【0094】
図10は、本発明の第2の実施形態に係る貼り付け位置検査装置180の平面説明図である。なお、第1の実施形態に係る貼り付け位置検査装置94と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。また、貼り付け位置検査装置180は、製造システム20に組み込まれる。
【0095】
貼り付け位置検査装置180は、検出部96a、96b及び96cを備える。貼り付け基板24aは、矢印C方向に間欠搬送される。そこで、下流側の貼り付け基板24aの後端縁部に位置するハーフカット部位34及び上流側の貼り付け基板24aの先端縁部に位置するハーフカット部位34が、それぞれ同一の位置に一旦停止する際に、各ハーフカット部位34を順次検出可能な位置に対応して、検出部96a、96b及び96cが矢印D方向に配列される。
【0096】
従って、第2の実施形態では、先ず、一枚分のラミネートが終了すると、下流側の貼り付け基板24aの後端縁部に位置するハーフカット部位34が、貼り付け位置検査装置180に対応して停止される。このため、ハーフカット部位34は、検出部96a、96b及び96cにより検出される。
【0097】
次いで、感光性ウエブ22a、22bが、保護フイルム30の残存部分30bの幅に対応した距離Sだけ搬送されて停止すると、上流側の貼り付け基板24aの先端縁部に位置するハーフカット部位34が、貼り付け位置検査装置180に対応して停止される。従って、ハーフカット部位34は、検出部96a、96b及び96cにより検出される。
【0098】
このように、第2の実施形態では、貼り付け位置検査装置180は、3つの検出部96a、96b及び96cを備えていればよく、一層経済的に構成されるという効果が得られる。
【0099】
図11は、本発明の第3の実施形態に係る製造システム200の概略構成図である。なお、第1の実施形態に係る製造システム20と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。また、第2の実施形態に係る貼り付け位置検査装置180を組み込んでもよい。以下の第4の実施形態でも、同様である。
【0100】
製造システム200は、貼り付け機構46の下流に配置され、各ガラス基板24間の感光性ウエブ22a、22bを一体的に切断可能な基板間ウエブ切断機構202を備える。
【0101】
このように構成される製造システム200では、上記の第1の実施形態と同様に、貼り付け機構46でラミネートされた貼り付け基板24aは、矢印C方向に搬送される。そして、貼り付け基板24a間が基板間ウエブ切断機構202に対応する位置に至ると、この基板間ウエブ切断機構202は、前記貼り付け基板24aと同一の搬送速度で矢印C方向に移動しながら、該貼り付け基板24a間で2本の感光性ウエブ22a、22bを一体的に切断する。
【0102】
この切断後に、基板間ウエブ切断機構48は、所定の待機位置に戻される一方、貼り付け基板24aでは、ベースフイルム26及び残存部分30bが順次剥離(枚葉剥離)されて感光性積層体128が製造される。
【0103】
図12は、本発明の第4の実施形態に係る貼り付け位置検査装置300の概略構成説明図である。なお、貼り付け位置検査装置94と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【0104】
貼り付け位置検査装置300を構成する検出部96aは、LED照明98が配置される側、すなわち、貼り付け基板24aの下方側に、前記貼り付け基板24aに近接してNDフィルタ102が配置される。このNDフィルタ102は、貼り付け基板24aの基板エッジ部GEaから内方に所定のオーバーラップ量tを有して配置されている。
【0105】
従って、LED照明98から照射される照明光Lは、ガラス基板24の基板エッジ部GEaに照射されることがなく、この基板エッジ部GEaでハレーションが惹起することを可及的に阻止することができる。これにより、CCDカメラ100により撮影される画像中には、基板エッジ部GEaがハレーションによって太く撮影されることがなく、前記基板エッジ部GEaを高精度且つ確実に検出することが可能になる等、上記の第1の実施形態と同様の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【0106】
【図1】本発明の第1の実施形態に係る感光性積層体の貼り付け位置検査装置を組み込む製造システムの概略構成図である。
【図2】前記製造システムに使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。
【図3】前記長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。
【図4】貼り付け機構及び前記貼り付け位置検査装置を構成する検出部の説明図である。
【図5】前記検出部の配置状態を示す平面説明図である。
【図6】前記検出部の概略斜視説明図である。
【図7】前記検出部の説明図である。
【図8】前記検出部を構成するCCDカメラによる検査画像の説明図である。
【図9】前記検出部を構成するNDフィルタの配置高さによる撮影状態の説明図である。
【図10】本発明の第2の実施形態に係る貼り付け位置検査装置の平面説明図である。
【図11】本発明の第3の実施形態に係る製造システムの概略構成図である。
【図12】本発明の第4の実施形態に係る貼り付け位置検査装置の概略構成図である。
【図13】特許文献1の製造システムの概略構成図である。
【図14】比較例としての貼り付け位置検査装置の概略斜視説明図である。
【図15】図14の前記貼り付け位置検査装置による撮影画像の説明図である。
【符号の説明】
【0107】
20、200…製造システム 22a、22b…感光性ウエブ
24…ガラス基板 26…ベースフイルム
28…感光性樹脂層 30…保護フイルム
34…ハーフカット部位 45…基板搬送機構
46…貼り付け機構 80a、80b…ゴムローラ
94、180、300…貼り付け位置検査装置
96a〜96f…検出部 98…LED照明
100…CCDカメラ 102…NDフィルタ
112…ベース自動剥離機構
【特許請求の範囲】
【請求項1】
支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層された長尺状感光性ウエブを送り出し、少なくとも前記保護フイルムに剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を形成して前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離した後、所定の間隔で供給される基板と共に加熱された一対の圧着ローラ間で圧着処理することにより、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置し且つ露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けて感光性積層体を製造する製造システムにおいて、前記感光材料層の貼り付け位置を測定するための貼り付け位置検査装置であって、
前記基板の流れ方向に交差する幅方向の少なくとも一端部は、前記基板に貼り付けられた前記長尺状感光性ウエブの端部から外部に露出しており、
前記貼り付け位置検査装置は、前記圧着ローラの下流側に配置され、前記基板の前記一端部から前記基板に貼り付けられた前記長尺状感光性ウエブの前記加工部位を検出する検出部を備え、
前記検出部は、前記基板の一方の側から照明光を照射する照明手段と、
前記基板の他方の側に配置される撮像手段と、
前記基板に近接し且つ少なくとも前記長尺状感光性ウエブから外部に露出する前記基板の前記一端部を覆って配置される減光フィルタと、
を備えることを特徴とする感光性積層体の貼り付け位置検査装置。
【請求項2】
請求項1記載の貼り付け位置検査装置において、前記減光フィルタは、前記基板の前記他方の側に配置されることを特徴とする感光性積層体の貼り付け位置検査装置。
【請求項3】
請求項1又は2記載の貼り付け位置検査装置において、前記照明手段は、LED照明であることを特徴とする感光性積層体の貼り付け位置検査装置。
【請求項4】
請求項1〜3のいずれか1項に記載の貼り付け位置検査装置において、前記撮像手段は、CCDカメラを備えるとともに、
前記CCDカメラによる撮影領域内に複数の画像検査領域を設定することを特徴とする感光性積層体の貼り付け位置検査装置。
【請求項5】
請求項1〜4のいずれか1項に記載の貼り付け位置検査装置において、前記検出部は、下流側の前記基板の後端縁部に位置する前記加工部位と、上流側の前記基板の先端縁部に位置する前記加工部位とに沿って、2列に且つ複数ずつ配設されることを特徴とする感光性積層体の貼り付け位置検査装置。
【請求項6】
請求項1〜5のいずれか1項に記載の貼り付け位置検査装置において、前記基板には、複数枚の前記長尺状感光性ウエブの各感光材料層が並列に貼り付けられることを特徴とする感光性積層体の貼り付け位置検査装置。
【請求項1】
支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層された長尺状感光性ウエブを送り出し、少なくとも前記保護フイルムに剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を形成して前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離した後、所定の間隔で供給される基板と共に加熱された一対の圧着ローラ間で圧着処理することにより、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置し且つ露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けて感光性積層体を製造する製造システムにおいて、前記感光材料層の貼り付け位置を測定するための貼り付け位置検査装置であって、
前記基板の流れ方向に交差する幅方向の少なくとも一端部は、前記基板に貼り付けられた前記長尺状感光性ウエブの端部から外部に露出しており、
前記貼り付け位置検査装置は、前記圧着ローラの下流側に配置され、前記基板の前記一端部から前記基板に貼り付けられた前記長尺状感光性ウエブの前記加工部位を検出する検出部を備え、
前記検出部は、前記基板の一方の側から照明光を照射する照明手段と、
前記基板の他方の側に配置される撮像手段と、
前記基板に近接し且つ少なくとも前記長尺状感光性ウエブから外部に露出する前記基板の前記一端部を覆って配置される減光フィルタと、
を備えることを特徴とする感光性積層体の貼り付け位置検査装置。
【請求項2】
請求項1記載の貼り付け位置検査装置において、前記減光フィルタは、前記基板の前記他方の側に配置されることを特徴とする感光性積層体の貼り付け位置検査装置。
【請求項3】
請求項1又は2記載の貼り付け位置検査装置において、前記照明手段は、LED照明であることを特徴とする感光性積層体の貼り付け位置検査装置。
【請求項4】
請求項1〜3のいずれか1項に記載の貼り付け位置検査装置において、前記撮像手段は、CCDカメラを備えるとともに、
前記CCDカメラによる撮影領域内に複数の画像検査領域を設定することを特徴とする感光性積層体の貼り付け位置検査装置。
【請求項5】
請求項1〜4のいずれか1項に記載の貼り付け位置検査装置において、前記検出部は、下流側の前記基板の後端縁部に位置する前記加工部位と、上流側の前記基板の先端縁部に位置する前記加工部位とに沿って、2列に且つ複数ずつ配設されることを特徴とする感光性積層体の貼り付け位置検査装置。
【請求項6】
請求項1〜5のいずれか1項に記載の貼り付け位置検査装置において、前記基板には、複数枚の前記長尺状感光性ウエブの各感光材料層が並列に貼り付けられることを特徴とする感光性積層体の貼り付け位置検査装置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【公開番号】特開2009−229700(P2009−229700A)
【公開日】平成21年10月8日(2009.10.8)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2008−73658(P2008−73658)
【出願日】平成20年3月21日(2008.3.21)
【出願人】(306037311)富士フイルム株式会社 (25,513)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成21年10月8日(2009.10.8)
【国際特許分類】
【出願日】平成20年3月21日(2008.3.21)
【出願人】(306037311)富士フイルム株式会社 (25,513)
【Fターム(参考)】
[ Back to top ]