摺動装置
【課題】保持器のずれを抑えることができる。
【解決手段】
固定部材に固定され長さ方向に延びるV溝路を有する一対の第1ガイドレールと、移動部材に該一対の第1ガイドレールとそれぞれ平行になるように取り付けられると共に第1ガイドレールのV溝路と対向する長さ方向に延びるV溝路を有する一対の第2ガイドレールと、第1ガイドレールのV溝路と第2ガイドレールのV溝路と間で保持器に保持されV溝路を転動する複数のローラ又は球を備えた摺動装置において、第1ガイドレール及び第2ガイドレールに挟まれることによってローラ又は球が受ける予圧が、保持器の中央部に配設されたローラ又は球の方が保持器の両端部に配設されたローラ又は球より大きくなるように構成した。
【解決手段】
固定部材に固定され長さ方向に延びるV溝路を有する一対の第1ガイドレールと、移動部材に該一対の第1ガイドレールとそれぞれ平行になるように取り付けられると共に第1ガイドレールのV溝路と対向する長さ方向に延びるV溝路を有する一対の第2ガイドレールと、第1ガイドレールのV溝路と第2ガイドレールのV溝路と間で保持器に保持されV溝路を転動する複数のローラ又は球を備えた摺動装置において、第1ガイドレール及び第2ガイドレールに挟まれることによってローラ又は球が受ける予圧が、保持器の中央部に配設されたローラ又は球の方が保持器の両端部に配設されたローラ又は球より大きくなるように構成した。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体リソグラフィ用露光装置や走査型露光装置等の超精密加工装置や、ウエハ欠陥検査装置等の超精密測定装置に用いられる摺動装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
従来、半導体リソグラフィ用露光装置や走査型露光装置等の超精密加工装置や、ウエハ欠陥検査装置や磁場測定装置等の超精密測定装置では、対象物を精度良く移動させるために摺動装置が用いられている。
【0003】
図9は摺動装置の構成を示す一概略例である。図10は摺動装置の一部のレール部を拡大した図である。
【0004】
図9中の摺動装置は、センターレール1がベース2側に固定され、他方のサイドレール3がテーブル4側に固定され、これらのセンターレール1とサイドレール3の間に多数のローラ5が保持器6により保持されて介在されている。そのローラ5の転動により両レール(1,3)を介してテーブル4をベース2に対して円滑に直動される。テーブル4側に固定されたサイドレール3の移動に伴い、保持器5は多数のローラ5と共に同方向に移動する。
【0005】
次に図10を用いて保持器とその周辺について更に詳細に説明する。図中のサイドレール3とセンターレール1はV溝状の軌道面を有しており、それぞれ軌道面を対向させるようにして平行に配置され、複数のローラ6は、それぞれ直径寸法と軸方向長さ寸法とが等しいものであり、45°の傾斜姿勢で対向する軌道面の間に転動自在に嵌置され、保持器5は、これらのローラ6を一列に整列した状態で交互に逆の傾斜姿勢に保持するものである。保持器5の移動距離は、テーブル4の移動ストロークの半分で、保持器5がレールから外れないように、保持器5の長さは、(サイドレール3の長さ)−(テーブル4の移動ストローク半分)に選ばれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】特開2002−349561号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
さて、上述したような摺動装置においては、テーブル4の往復運動を繰り返すと、保持器5のローラ6が微小な滑りを起こす。所謂、ミクロスリップ現象が生じる。このミクロスリップ現象を繰り返すと徐々に保持器5がずれてくるのである。
【0008】
本発明者は、この原因をつきとめるために実験を重ねた。その結果、ガイドレール(センターレール1とサイドレール3)の仕上がり具合で保持器5のずれが多かったり少なかったりすることをつきとめ、実験したガイドレールに数μmの形状変化が存在することが解った。
【0009】
ガイドレールの形状変化によって保持器5がずれてくるメカニズムについて説明する。通常、テーブル4の移動と共に保持器5はテーブルの移動ストロークの半分の距離を移動するが、この場合、保持器がレールから外れるとはない。例えば、図11に示すように片方端部で幅が広く形成されたセンターレール1´を使用すると、レールとレールに挟まれたローラが受ける予圧がレールの全長に渡って均一ではない。即ち、この場合、センターレール1´とサイドレール3との間隔が狭いところや広いところがあり、保持器5に配設されたそれぞれのローラ6が受ける予圧が異なる。
【0010】
それぞれローラの受ける予圧が異なることで、図中のA部分のローラには矢印の方向、即ちレール間の間隔が狭い方から広い方向へとずれようとするミクロスリップ現象を起こす力が働き。そして、B部分のローラにはレール間の間隔が適当なので留まろうとする力が働く。このような状態になると、保持器5の中央部に徐々に応力が溜まり弾性変形が生じる。この保持器5の弾性変形が復元力に変わると、即ち復元力がローラ6の転動面と各々のレール(1´,3)の転動面との摩擦抵抗力より大きな力となる。すると、前記保持器5の変形が一気に開放され、図12に示すように前記保持器5が一方向に大きくずれ、前記保持器5がレール(1´,3)から外れたり、又はレール(1´,3)の両端部に設置されたストッパー(図示せず)に当たったりして、動作が不能となる。
【0011】
また、図13に示すように一対のサイドレール3´の一端部が幅広に形成された場合においても上述と同様に保持器3がレール(1,3´)から外れる等の問題が生じる。
【0012】
本発明は、このような問題を解決するためになされたもので、新規な摺動装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0013】
上記の課題を解決するため、本発明の摺動装置は、固定部材に固定され長さ方向に延びるV溝路を有する一対の第1ガイドレールと、移動部材に該一対の第1ガイドレールとそれぞれ平行になるように取り付けられると共に前記第1ガイドレールのV溝路と対向する長さ方向に延びるV溝路を有する一対の第2ガイドレールと、第1ガイドレールのV溝路と第2ガイドレールのV溝路との間で保持器に保持されV溝路を転動する複数のローラ又は球を備えた摺動装置において、第1ガイドレール及び第2ガイドレールに挟まれることによってローラ又は球が受ける予圧が、前記保持器の中央部に配設されたローラ又は球の方が前記保持器の両端部に配設されたローラ又は球より大きくなるように構成した。
【発明の効果】
【0014】
本発明によれば、中央部の形状を変えたレール、中央部を撓ませたレール、径を変えたローラ等を用いることにより、保持器に配設された中央部付近のローラには、保持器の両端部に配設されたローラが受ける予圧より大きな予圧が係るようになったので、保持器5がレールから飛び出すような大きなずれを抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【図1】本願発明の実施の形態1における摺動装置のレールのV溝部を水平に切り出し上方から見た断面図である。
【図2】本願発明の実施の形態2における摺動装置のレールのV溝部を水平に切り出し上方から見た断面図である。
【図3】本願発明の実施の形態3における摺動装置のレールのV溝部を水平に切り出し上方から見た断面図である。
【図4】本願発明の実施の形態4における摺動装置のレールのV溝部を水平に切り出し上方から見た断面図である。
【図5】本願発明の実施の形態5における摺動装置のレールのV溝部を水平に切り出し上方から見た断面図である。
【図6】本願発明の実施の形態6における摺動装置のレールのV溝部を水平に切り出し上方から見た断面図である。
【図7】本願発明の実施の形態6を説明するセンターレールのV溝部の断面図である。
【図8】本願発明の実施の形態6を説明する図6中A−A線断面で示した側面図である。
【図9】従来例の摺動装置の一例を示した斜視図である。
【図10】従来例の摺動装置の一部を拡大した斜視図である。
【図11】本願発明の課題を説明する図である。
【図12】本願発明の課題を説明する図である。
【図13】本願発明の課題を説明する図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【0016】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
(第1の実施形態)
本実施の形態1に係る発明は、固定側のセンターレールの中央部を幅広の形状にすることで、保持器の中央部に配設されたローラが受ける予圧を大きくさせるようにしたものである。
【0017】
図1は本実施の形態1における摺動装置のレール部のV溝部を水平に切り出した上方から見た断面図である。図1中、図9及び図10にて使用した記号と同一記号は同一構成要素を示す。
【0018】
従来の形態と異なるところは、センターレール20の中央部の幅をレール両端部より幅広に形成し、該レールの側面をなだらかな曲面形状にして、ボルト(図示せず)でベース2上に固定した点である。
【0019】
このセンターレール20の側面側には長手方向に沿ってV溝路8が形成されている。そして、前記センターレール20を挟むように一対のサイドレール3がテーブル4の内側に配置され、ボルトでテーブル4に固定されている。そして、このセンターレール20に対向するこの一対のサイドレール3には長手方向に沿ってV溝路9が形成されている。
【0020】
なお、前記一対のサイドレール3は真っ直ぐなレール、前記センターレール20のV溝路8とサイドレール3のV溝路9とで挟まれた空間には、同一形状の複数のローラ6を一列に整列され、交互に逆の傾斜姿勢になるように保持する保持器5が配置されている。
【0021】
このような構成において、負荷Fを受けてテーブル4が往復運動すると、保持器5自体がテーブル4の移動と共に多少移動しながら、センターレール20と対向するサイドレール6との間隔はレールの両端部よりレールの中央部の方が狭い状態に保たれているので、保持器5の中央部に配設されたローラ6が受ける予圧は保持器5の両端部に配設されたローラが受ける予圧より大きくなる。
すると、保持器5の中央部に配設されたローラ6は、ローラ6の転がり抵抗が増加し、センターレール20のV溝路8の転動面とサイドレール3のV溝路9の転動面に対して滑ることなくテーブル4の動きに伴って転動し、保持器5の両端部に配設されたローラ6は、センターレール20のV溝路8の転動面とサイドレール3のV溝路9の転動面に対して滑りながら転動する。
【0022】
この際、保持器5には中央部に配設されたローラ6に留まろうとする強制力が生じるので、多少のずれは生じるが元の位置に戻る。このとき、従来のように保持器5自体を大きく弾性変形させるような力は生じない。
【0023】
このように本発明によれば、固定側のセンターレール20の中央部の幅をレール両端部よりの幅より幅広に形成したことで、保持器5の中央部に配設されたローラ6が受ける予圧を保持器5の両端部に配設されたローラが受ける予圧より大きくすることができるので、保持器5がレールから飛び出すような大きなずれを抑えることができる。
(実施の形態2)
本実施の形態2に係る発明は、固定側のセンターレールではなく、移動側の一対のサイドレールの中央部の幅を幅広の形状にすることで、保持器の中央部に配設されたローラが受ける予圧を大きくさせるようにしたものである。
【0024】
図2は、本実施の形態2における摺動装置のレール部のV溝部を水平に切り出した上方から見た断面図である。図2中、図9及び図10にて使用した記号と同一記号は同一構成要素を示す。
【0025】
実施の形態1と異なるのは、サイドレール60を中央部の幅を両端部より幅広に成形し、レール側面をゆるやかな曲面形状に形成し、対向するセンターレールを真っ直ぐなレールに変更した点である。
【0026】
このような構成において、負荷Fを受けてテーブル4が往復運動すると、テーブル4の移動に伴って保持器5自体も多少移動しながら、保持器5の中央部に配設されたローラ6が受ける予圧が保持器5の両端部に配設されたローラが受ける予圧より大きくなる状態を保つので、保持器5の中央部に配設されたローラ6には留まろうとする強制力が生じ、この強制力によって保持器5は多少のずれは生じるが元の位置に戻るのである。
【0027】
このように本発明によれば、移動側のサイドレールの中央部の幅を両端部よりの幅広に形成したことで、保持器5の中央部に配設されたローラ6が受ける予圧を保持器5の両端部に配設されたローラが受ける予圧より大きくすることができ、保持器5がレールから飛び出すような大きなずれを抑えることができる。
(実施の形態3)
本実施の形態3に係る発明は、移動側のテーブル4に固定されている一対のサイドレール3の中央部を撓ませ、保持器5の中央部に配設されたローラ6が受ける予圧を大きくさせるようにしたものである。
【0028】
図3は、本実施の形態3における摺動装置のレール部のV溝部を水平断面で示した平面図である。図3中、図8及び図9にて使用した記号と同一記号は同一構成要素を示す。
【0029】
実施の形態1と異なるのは、センターレール1を真っ直ぐなレールに変更し、該センターレール1と対向する一対のサイドレール3の中央部をセンターレール側に撓ませるように数ミクロンの厚みのシム30をサイドレール3とテーブル4との間に配置させた点である。
【0030】
このような構成において、シム30を配置させたことにより、それぞれのサイドレール3の中央部がセンターレール側に撓むので、テーブル4の往復運動中も保持器5の中央部に配設されたローラ6に保持器5の両端部に配設されたローラより予圧が大きく係ることになり、保持器5の中央部に配設されたローラ6には留まろうとする強制力が生じ、この強制力によって保持器5は多少のずれは生じるが元の位置に戻るのである。
【0031】
このように本発明によれば、シム30を用いて一対のサイドレール3の中央部をセンターレール1側に撓ませることができるので、保持器5の中央部に配設されたローラ6が受ける予圧を保持器5の両端部に配設されたローラが受ける予圧より大きくすることができ、保持器5がレールから飛び出すような大きなずれを抑えることができる。
(実施の形態4)
本実施の形態4に係る発明は、移動側のテーブル4に固定されているサイドレール3の中央部を撓ませる別の方法として、サイドレール3の中央部を撓ませる押しネジを用いて、保持器3の中央部に配設されたローラ6が受ける予圧を大きくさせるようにしたものである。
【0032】
図4は本実施の形態4における摺動装置のレール部のV溝部を水平断面で示した平面図である。図4中、図8及び図9にて使用した記号と同一記号は同一構成要素を示す。
実施の形態3と異なるのは、センターレール1とサイドレール3との間にシムを配置させたが、該シム30を取り除き、テーブルの両側面に一定間隔の貫通穴を形成し、該貫通穴にサイドレールを押圧するレール変形用押しネジ40を配置させた点である。
【0033】
このような構成において、一対のサイドレール3をレール変形用押しネジ40で、サイドレール3の中央部を強く押圧して撓ませることができるので、テーブル4の往復運動中も保持器5の中央部に配設されたローラ6に保持器5の両端部に配設されたローラより予圧が大きく係ることになり、保持器5の中央部に配設されたローラ6には留まろうとする強制力が生じ、この強制力によって保持器5は多少のずれは生じるが元の位置に戻るのである。
【0034】
この際、テーブル4の中央部に配設されたレール変形用押しネジ40は、他の場所より予圧を基本静定格荷重の2%程度増し、レールの中央部で最も強く、中央から外側の方向に1%程度減じるような予圧勾配になるように調整する。
【0035】
このように本発明によれば、押しネジを用いて一対のサイドレール3の中央部をセンターレール1側に撓ませることができるので、保持器5の中央部に配設されたローラ6が受ける予圧を保持器5の両端部に配設されたローラが受ける予圧より大きくすることができ、保持器5がレールから飛び出すような大きなずれを抑えることができる。
(実施の形態5)
本実施の形態5に係る発明は、保持器5の中央部に配設されたローラの径を大きくして、保持器5の中央部に配設されたローラが受ける予圧を大きくさせるようにしたものである。
【0036】
図5は本実施の形態5における摺動装置のレール部のV溝部を水平断面で示した平面図である。図5中、図8及び図9にて使用した記号と同一記号は同一構成要素を示す。
【0037】
実施の形態1と異なるところは、図5に示すように、センターレール1を真っ直ぐなレールに変更し、保持器5の中央部に配設されたローラ6Lの径を中央部以外に配設されたローラ6Sの径より大きくした点にある。
【0038】
このような構成において、保持器5の中央部に配設されたローラの径が大きいため、テーブル4の往復運動中も保持器5の中央部に配設されたローラ6に保持器5の両端部に配設されたローラより予圧が大きく係ることになり、保持器5の中央部に配設されたローラ6には留まろうとする強制力が生じ、この強制力によって保持器5は多少のずれは生じるが元の位置に戻るのである。
【0039】
このように本発明によれば、保持器5の中央部に配設されたローラ6Lの径を中央部以外に配設されたローラ6Sの径より大きくしたので、テーブルが移動している状態においても保持器5の中央部に配設されたローラ6が受ける予圧を保持器5の両端部に配設されたローラが受ける予圧より大きくすることができ、保持器5がレールから飛び出すような大きなずれを抑えることができる。
(実施の形態6)
本実施の形態6に係る発明は、固定側のセンターレールの中央部において、センターレールとベースと間にシムを差し込んで、センターレールの中央部のV溝路を上方に撓ませ、保持器の中央部に配設されたローラが受ける予圧を大きくさせるようにしたものである。
【0040】
図6は本実施の形態6における摺動装置のレール部のV溝部を水平断面に切った平面図である。図7はセンターレールのV溝路を示す図であり、図8は図6中の線A−Aにおける断面図である。図6、図7及び図8にて使用した記号と同一記号は同一構成要素を示す。
【0041】
実施の形態1と異なるところは、図8に示すように、センターレール1を真っ直ぐなレールに変更し、該センターレール1の中央部において、センターレール1とベース2の間にシム51を配置させ、センターレール1をボルト50でベース2に固定した点にある。
【0042】
このようにすれば、センターレール1の中央部付近が上方(一対のガイドレールを含む平面に対して直交する方向)(または下方でも良い)に撓み、テーブル4の往復運動中も保持器5の中央部に配設されたローラ6に保持器5の両端部に配設されたローラより予圧が大きく係ることになり、保持器5の中央部に配設されたローラ6には留まろうとする強制力が生じ、この強制力によって保持器5は多少のずれは生じるが元の位置に戻るのである。
【0043】
このように本発明によれば、センターレール1の中央部を上方に歪ませ、センターレール1のV溝路とサイドレールのV溝部の位置関係をずらすことができたので、テーブルが移動している状態において保持器5の中央部に配設されたローラ6が受ける予圧を保持器5の両端部に配設されたローラが受ける予圧より大きくすることができ、保持器5がレールから飛び出すような大きなずれを抑えることができる。
【0044】
なお、前記実施例の形態に係る発明の構成は、全てセンターレールの全長とサイドレールの全長が重なった状態の図を使用して説明している。
【0045】
また、前記実施例ではガイドレールの間に保持器に保持されたV溝路を転動する転動体を複数のローラを挙げて説明したが、球体であっても良い。
【0046】
また、前記実施の形態以外の他の実施の形態に係る発明として、センターレールの中央部がサイドレール側に曲がった曲面形状で、サイドレールの中央部も同じ方向に曲がった曲面形状で、サイドレールの曲率がセンターレールの曲率より小さくした構成であっても良い。
【0047】
また、前記実施の形態の図面に示したレールの長さと保持器の長さとの相対比は実際の設計とは異なるものである。
【符号の説明】
【0048】
1 ベース
2 テーブル
3 保持器
4、4´ センターレール
5、13、50 ボルト
6、60 サイドレール
7 ボルト
8、9 V溝路
10、10L、10S ローラ
11 開口部
12 板体
30、51 シム
40 レール変形用押しネジ
50 ボルト
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体リソグラフィ用露光装置や走査型露光装置等の超精密加工装置や、ウエハ欠陥検査装置等の超精密測定装置に用いられる摺動装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
従来、半導体リソグラフィ用露光装置や走査型露光装置等の超精密加工装置や、ウエハ欠陥検査装置や磁場測定装置等の超精密測定装置では、対象物を精度良く移動させるために摺動装置が用いられている。
【0003】
図9は摺動装置の構成を示す一概略例である。図10は摺動装置の一部のレール部を拡大した図である。
【0004】
図9中の摺動装置は、センターレール1がベース2側に固定され、他方のサイドレール3がテーブル4側に固定され、これらのセンターレール1とサイドレール3の間に多数のローラ5が保持器6により保持されて介在されている。そのローラ5の転動により両レール(1,3)を介してテーブル4をベース2に対して円滑に直動される。テーブル4側に固定されたサイドレール3の移動に伴い、保持器5は多数のローラ5と共に同方向に移動する。
【0005】
次に図10を用いて保持器とその周辺について更に詳細に説明する。図中のサイドレール3とセンターレール1はV溝状の軌道面を有しており、それぞれ軌道面を対向させるようにして平行に配置され、複数のローラ6は、それぞれ直径寸法と軸方向長さ寸法とが等しいものであり、45°の傾斜姿勢で対向する軌道面の間に転動自在に嵌置され、保持器5は、これらのローラ6を一列に整列した状態で交互に逆の傾斜姿勢に保持するものである。保持器5の移動距離は、テーブル4の移動ストロークの半分で、保持器5がレールから外れないように、保持器5の長さは、(サイドレール3の長さ)−(テーブル4の移動ストローク半分)に選ばれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】特開2002−349561号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
さて、上述したような摺動装置においては、テーブル4の往復運動を繰り返すと、保持器5のローラ6が微小な滑りを起こす。所謂、ミクロスリップ現象が生じる。このミクロスリップ現象を繰り返すと徐々に保持器5がずれてくるのである。
【0008】
本発明者は、この原因をつきとめるために実験を重ねた。その結果、ガイドレール(センターレール1とサイドレール3)の仕上がり具合で保持器5のずれが多かったり少なかったりすることをつきとめ、実験したガイドレールに数μmの形状変化が存在することが解った。
【0009】
ガイドレールの形状変化によって保持器5がずれてくるメカニズムについて説明する。通常、テーブル4の移動と共に保持器5はテーブルの移動ストロークの半分の距離を移動するが、この場合、保持器がレールから外れるとはない。例えば、図11に示すように片方端部で幅が広く形成されたセンターレール1´を使用すると、レールとレールに挟まれたローラが受ける予圧がレールの全長に渡って均一ではない。即ち、この場合、センターレール1´とサイドレール3との間隔が狭いところや広いところがあり、保持器5に配設されたそれぞれのローラ6が受ける予圧が異なる。
【0010】
それぞれローラの受ける予圧が異なることで、図中のA部分のローラには矢印の方向、即ちレール間の間隔が狭い方から広い方向へとずれようとするミクロスリップ現象を起こす力が働き。そして、B部分のローラにはレール間の間隔が適当なので留まろうとする力が働く。このような状態になると、保持器5の中央部に徐々に応力が溜まり弾性変形が生じる。この保持器5の弾性変形が復元力に変わると、即ち復元力がローラ6の転動面と各々のレール(1´,3)の転動面との摩擦抵抗力より大きな力となる。すると、前記保持器5の変形が一気に開放され、図12に示すように前記保持器5が一方向に大きくずれ、前記保持器5がレール(1´,3)から外れたり、又はレール(1´,3)の両端部に設置されたストッパー(図示せず)に当たったりして、動作が不能となる。
【0011】
また、図13に示すように一対のサイドレール3´の一端部が幅広に形成された場合においても上述と同様に保持器3がレール(1,3´)から外れる等の問題が生じる。
【0012】
本発明は、このような問題を解決するためになされたもので、新規な摺動装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0013】
上記の課題を解決するため、本発明の摺動装置は、固定部材に固定され長さ方向に延びるV溝路を有する一対の第1ガイドレールと、移動部材に該一対の第1ガイドレールとそれぞれ平行になるように取り付けられると共に前記第1ガイドレールのV溝路と対向する長さ方向に延びるV溝路を有する一対の第2ガイドレールと、第1ガイドレールのV溝路と第2ガイドレールのV溝路との間で保持器に保持されV溝路を転動する複数のローラ又は球を備えた摺動装置において、第1ガイドレール及び第2ガイドレールに挟まれることによってローラ又は球が受ける予圧が、前記保持器の中央部に配設されたローラ又は球の方が前記保持器の両端部に配設されたローラ又は球より大きくなるように構成した。
【発明の効果】
【0014】
本発明によれば、中央部の形状を変えたレール、中央部を撓ませたレール、径を変えたローラ等を用いることにより、保持器に配設された中央部付近のローラには、保持器の両端部に配設されたローラが受ける予圧より大きな予圧が係るようになったので、保持器5がレールから飛び出すような大きなずれを抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【図1】本願発明の実施の形態1における摺動装置のレールのV溝部を水平に切り出し上方から見た断面図である。
【図2】本願発明の実施の形態2における摺動装置のレールのV溝部を水平に切り出し上方から見た断面図である。
【図3】本願発明の実施の形態3における摺動装置のレールのV溝部を水平に切り出し上方から見た断面図である。
【図4】本願発明の実施の形態4における摺動装置のレールのV溝部を水平に切り出し上方から見た断面図である。
【図5】本願発明の実施の形態5における摺動装置のレールのV溝部を水平に切り出し上方から見た断面図である。
【図6】本願発明の実施の形態6における摺動装置のレールのV溝部を水平に切り出し上方から見た断面図である。
【図7】本願発明の実施の形態6を説明するセンターレールのV溝部の断面図である。
【図8】本願発明の実施の形態6を説明する図6中A−A線断面で示した側面図である。
【図9】従来例の摺動装置の一例を示した斜視図である。
【図10】従来例の摺動装置の一部を拡大した斜視図である。
【図11】本願発明の課題を説明する図である。
【図12】本願発明の課題を説明する図である。
【図13】本願発明の課題を説明する図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【0016】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
(第1の実施形態)
本実施の形態1に係る発明は、固定側のセンターレールの中央部を幅広の形状にすることで、保持器の中央部に配設されたローラが受ける予圧を大きくさせるようにしたものである。
【0017】
図1は本実施の形態1における摺動装置のレール部のV溝部を水平に切り出した上方から見た断面図である。図1中、図9及び図10にて使用した記号と同一記号は同一構成要素を示す。
【0018】
従来の形態と異なるところは、センターレール20の中央部の幅をレール両端部より幅広に形成し、該レールの側面をなだらかな曲面形状にして、ボルト(図示せず)でベース2上に固定した点である。
【0019】
このセンターレール20の側面側には長手方向に沿ってV溝路8が形成されている。そして、前記センターレール20を挟むように一対のサイドレール3がテーブル4の内側に配置され、ボルトでテーブル4に固定されている。そして、このセンターレール20に対向するこの一対のサイドレール3には長手方向に沿ってV溝路9が形成されている。
【0020】
なお、前記一対のサイドレール3は真っ直ぐなレール、前記センターレール20のV溝路8とサイドレール3のV溝路9とで挟まれた空間には、同一形状の複数のローラ6を一列に整列され、交互に逆の傾斜姿勢になるように保持する保持器5が配置されている。
【0021】
このような構成において、負荷Fを受けてテーブル4が往復運動すると、保持器5自体がテーブル4の移動と共に多少移動しながら、センターレール20と対向するサイドレール6との間隔はレールの両端部よりレールの中央部の方が狭い状態に保たれているので、保持器5の中央部に配設されたローラ6が受ける予圧は保持器5の両端部に配設されたローラが受ける予圧より大きくなる。
すると、保持器5の中央部に配設されたローラ6は、ローラ6の転がり抵抗が増加し、センターレール20のV溝路8の転動面とサイドレール3のV溝路9の転動面に対して滑ることなくテーブル4の動きに伴って転動し、保持器5の両端部に配設されたローラ6は、センターレール20のV溝路8の転動面とサイドレール3のV溝路9の転動面に対して滑りながら転動する。
【0022】
この際、保持器5には中央部に配設されたローラ6に留まろうとする強制力が生じるので、多少のずれは生じるが元の位置に戻る。このとき、従来のように保持器5自体を大きく弾性変形させるような力は生じない。
【0023】
このように本発明によれば、固定側のセンターレール20の中央部の幅をレール両端部よりの幅より幅広に形成したことで、保持器5の中央部に配設されたローラ6が受ける予圧を保持器5の両端部に配設されたローラが受ける予圧より大きくすることができるので、保持器5がレールから飛び出すような大きなずれを抑えることができる。
(実施の形態2)
本実施の形態2に係る発明は、固定側のセンターレールではなく、移動側の一対のサイドレールの中央部の幅を幅広の形状にすることで、保持器の中央部に配設されたローラが受ける予圧を大きくさせるようにしたものである。
【0024】
図2は、本実施の形態2における摺動装置のレール部のV溝部を水平に切り出した上方から見た断面図である。図2中、図9及び図10にて使用した記号と同一記号は同一構成要素を示す。
【0025】
実施の形態1と異なるのは、サイドレール60を中央部の幅を両端部より幅広に成形し、レール側面をゆるやかな曲面形状に形成し、対向するセンターレールを真っ直ぐなレールに変更した点である。
【0026】
このような構成において、負荷Fを受けてテーブル4が往復運動すると、テーブル4の移動に伴って保持器5自体も多少移動しながら、保持器5の中央部に配設されたローラ6が受ける予圧が保持器5の両端部に配設されたローラが受ける予圧より大きくなる状態を保つので、保持器5の中央部に配設されたローラ6には留まろうとする強制力が生じ、この強制力によって保持器5は多少のずれは生じるが元の位置に戻るのである。
【0027】
このように本発明によれば、移動側のサイドレールの中央部の幅を両端部よりの幅広に形成したことで、保持器5の中央部に配設されたローラ6が受ける予圧を保持器5の両端部に配設されたローラが受ける予圧より大きくすることができ、保持器5がレールから飛び出すような大きなずれを抑えることができる。
(実施の形態3)
本実施の形態3に係る発明は、移動側のテーブル4に固定されている一対のサイドレール3の中央部を撓ませ、保持器5の中央部に配設されたローラ6が受ける予圧を大きくさせるようにしたものである。
【0028】
図3は、本実施の形態3における摺動装置のレール部のV溝部を水平断面で示した平面図である。図3中、図8及び図9にて使用した記号と同一記号は同一構成要素を示す。
【0029】
実施の形態1と異なるのは、センターレール1を真っ直ぐなレールに変更し、該センターレール1と対向する一対のサイドレール3の中央部をセンターレール側に撓ませるように数ミクロンの厚みのシム30をサイドレール3とテーブル4との間に配置させた点である。
【0030】
このような構成において、シム30を配置させたことにより、それぞれのサイドレール3の中央部がセンターレール側に撓むので、テーブル4の往復運動中も保持器5の中央部に配設されたローラ6に保持器5の両端部に配設されたローラより予圧が大きく係ることになり、保持器5の中央部に配設されたローラ6には留まろうとする強制力が生じ、この強制力によって保持器5は多少のずれは生じるが元の位置に戻るのである。
【0031】
このように本発明によれば、シム30を用いて一対のサイドレール3の中央部をセンターレール1側に撓ませることができるので、保持器5の中央部に配設されたローラ6が受ける予圧を保持器5の両端部に配設されたローラが受ける予圧より大きくすることができ、保持器5がレールから飛び出すような大きなずれを抑えることができる。
(実施の形態4)
本実施の形態4に係る発明は、移動側のテーブル4に固定されているサイドレール3の中央部を撓ませる別の方法として、サイドレール3の中央部を撓ませる押しネジを用いて、保持器3の中央部に配設されたローラ6が受ける予圧を大きくさせるようにしたものである。
【0032】
図4は本実施の形態4における摺動装置のレール部のV溝部を水平断面で示した平面図である。図4中、図8及び図9にて使用した記号と同一記号は同一構成要素を示す。
実施の形態3と異なるのは、センターレール1とサイドレール3との間にシムを配置させたが、該シム30を取り除き、テーブルの両側面に一定間隔の貫通穴を形成し、該貫通穴にサイドレールを押圧するレール変形用押しネジ40を配置させた点である。
【0033】
このような構成において、一対のサイドレール3をレール変形用押しネジ40で、サイドレール3の中央部を強く押圧して撓ませることができるので、テーブル4の往復運動中も保持器5の中央部に配設されたローラ6に保持器5の両端部に配設されたローラより予圧が大きく係ることになり、保持器5の中央部に配設されたローラ6には留まろうとする強制力が生じ、この強制力によって保持器5は多少のずれは生じるが元の位置に戻るのである。
【0034】
この際、テーブル4の中央部に配設されたレール変形用押しネジ40は、他の場所より予圧を基本静定格荷重の2%程度増し、レールの中央部で最も強く、中央から外側の方向に1%程度減じるような予圧勾配になるように調整する。
【0035】
このように本発明によれば、押しネジを用いて一対のサイドレール3の中央部をセンターレール1側に撓ませることができるので、保持器5の中央部に配設されたローラ6が受ける予圧を保持器5の両端部に配設されたローラが受ける予圧より大きくすることができ、保持器5がレールから飛び出すような大きなずれを抑えることができる。
(実施の形態5)
本実施の形態5に係る発明は、保持器5の中央部に配設されたローラの径を大きくして、保持器5の中央部に配設されたローラが受ける予圧を大きくさせるようにしたものである。
【0036】
図5は本実施の形態5における摺動装置のレール部のV溝部を水平断面で示した平面図である。図5中、図8及び図9にて使用した記号と同一記号は同一構成要素を示す。
【0037】
実施の形態1と異なるところは、図5に示すように、センターレール1を真っ直ぐなレールに変更し、保持器5の中央部に配設されたローラ6Lの径を中央部以外に配設されたローラ6Sの径より大きくした点にある。
【0038】
このような構成において、保持器5の中央部に配設されたローラの径が大きいため、テーブル4の往復運動中も保持器5の中央部に配設されたローラ6に保持器5の両端部に配設されたローラより予圧が大きく係ることになり、保持器5の中央部に配設されたローラ6には留まろうとする強制力が生じ、この強制力によって保持器5は多少のずれは生じるが元の位置に戻るのである。
【0039】
このように本発明によれば、保持器5の中央部に配設されたローラ6Lの径を中央部以外に配設されたローラ6Sの径より大きくしたので、テーブルが移動している状態においても保持器5の中央部に配設されたローラ6が受ける予圧を保持器5の両端部に配設されたローラが受ける予圧より大きくすることができ、保持器5がレールから飛び出すような大きなずれを抑えることができる。
(実施の形態6)
本実施の形態6に係る発明は、固定側のセンターレールの中央部において、センターレールとベースと間にシムを差し込んで、センターレールの中央部のV溝路を上方に撓ませ、保持器の中央部に配設されたローラが受ける予圧を大きくさせるようにしたものである。
【0040】
図6は本実施の形態6における摺動装置のレール部のV溝部を水平断面に切った平面図である。図7はセンターレールのV溝路を示す図であり、図8は図6中の線A−Aにおける断面図である。図6、図7及び図8にて使用した記号と同一記号は同一構成要素を示す。
【0041】
実施の形態1と異なるところは、図8に示すように、センターレール1を真っ直ぐなレールに変更し、該センターレール1の中央部において、センターレール1とベース2の間にシム51を配置させ、センターレール1をボルト50でベース2に固定した点にある。
【0042】
このようにすれば、センターレール1の中央部付近が上方(一対のガイドレールを含む平面に対して直交する方向)(または下方でも良い)に撓み、テーブル4の往復運動中も保持器5の中央部に配設されたローラ6に保持器5の両端部に配設されたローラより予圧が大きく係ることになり、保持器5の中央部に配設されたローラ6には留まろうとする強制力が生じ、この強制力によって保持器5は多少のずれは生じるが元の位置に戻るのである。
【0043】
このように本発明によれば、センターレール1の中央部を上方に歪ませ、センターレール1のV溝路とサイドレールのV溝部の位置関係をずらすことができたので、テーブルが移動している状態において保持器5の中央部に配設されたローラ6が受ける予圧を保持器5の両端部に配設されたローラが受ける予圧より大きくすることができ、保持器5がレールから飛び出すような大きなずれを抑えることができる。
【0044】
なお、前記実施例の形態に係る発明の構成は、全てセンターレールの全長とサイドレールの全長が重なった状態の図を使用して説明している。
【0045】
また、前記実施例ではガイドレールの間に保持器に保持されたV溝路を転動する転動体を複数のローラを挙げて説明したが、球体であっても良い。
【0046】
また、前記実施の形態以外の他の実施の形態に係る発明として、センターレールの中央部がサイドレール側に曲がった曲面形状で、サイドレールの中央部も同じ方向に曲がった曲面形状で、サイドレールの曲率がセンターレールの曲率より小さくした構成であっても良い。
【0047】
また、前記実施の形態の図面に示したレールの長さと保持器の長さとの相対比は実際の設計とは異なるものである。
【符号の説明】
【0048】
1 ベース
2 テーブル
3 保持器
4、4´ センターレール
5、13、50 ボルト
6、60 サイドレール
7 ボルト
8、9 V溝路
10、10L、10S ローラ
11 開口部
12 板体
30、51 シム
40 レール変形用押しネジ
50 ボルト
【特許請求の範囲】
【請求項1】
固定部材に固定され長さ方向に延びるV溝路を有する一対の第1ガイドレールと、移動部材に該一対の第1ガイドレールとそれぞれ平行になるように取り付けられると共に前記第1ガイドレールのV溝路と対向する長さ方向に延びるV溝路を有する一対の第2ガイドレールと、第1ガイドレールのV溝路と第2ガイドレールのV溝路との間で保持器に保持されV溝路を転動する複数のローラ又は球を備えた摺動装置において、第1ガイドレール及び第2ガイドレールに挟まれることによってローラ又は球が受ける予圧が、前記保持器の中央部に配設されたローラ又は球の方が前記保持器の両端部に配設されたローラ又は球より大きくなるように構成したことを特徴とする摺動装置。
【請求項2】
前記第1ガイドレールと対向する前記第2ガイドレールとの間隔がレール両端部よりレール中央部の方が狭いことを特徴とする請求項1記載の摺動装置。
【請求項3】
一対の前記第1ガイドレールのV溝路の間隔が第1ガイドレールの両端部の方が中央部よりも狭いことを特徴とする請求項2記載の摺動装置。
【請求項4】
前記一対の第2ガイドレールのV溝路の間隔が、該第2ガイドレールの両端部の方が中央部よりも広いことを特徴とする請求項2又は3記載の摺動装置。
【請求項5】
前記第2ガイドレールの中央部を前記第1ガイドレール側に撓ませるようにしたことを特徴とする請求項4記載の摺動装置。
【請求項6】
前記第2ガイドレールと前記移動部材との間にシム材を配置し、該シム材で前記第2ガイドレールの中央部を撓ませることを特徴とする請求項5記載の摺動装置。
【請求項7】
前記移動部材に前記第2ガイドレールを前記第1ガイドレール側に押す押しネジが設けられ、該押しネジで前記第2ガイドレールの中央部を撓ませることを特徴とする請求項5記載の摺動装置。
【請求項8】
中央部に配設されているローラの径が両端部に配設されているローラの径より大きいことを特徴とする請求項1記載の摺動装置。
【請求項9】
前記一対の第1ガイドレールの中央部を一対のガイドレールを含む平面に対して直交する方向に撓ませたことを特徴とする請求項1記載の摺動装置。
【請求項10】
前記第1ガイドレールと前記固定部材の間にシム材を配置し、前記第1ガイドレールの中央部を撓ませたことを特徴とする請求項9記載の摺動装置。
【請求項1】
固定部材に固定され長さ方向に延びるV溝路を有する一対の第1ガイドレールと、移動部材に該一対の第1ガイドレールとそれぞれ平行になるように取り付けられると共に前記第1ガイドレールのV溝路と対向する長さ方向に延びるV溝路を有する一対の第2ガイドレールと、第1ガイドレールのV溝路と第2ガイドレールのV溝路との間で保持器に保持されV溝路を転動する複数のローラ又は球を備えた摺動装置において、第1ガイドレール及び第2ガイドレールに挟まれることによってローラ又は球が受ける予圧が、前記保持器の中央部に配設されたローラ又は球の方が前記保持器の両端部に配設されたローラ又は球より大きくなるように構成したことを特徴とする摺動装置。
【請求項2】
前記第1ガイドレールと対向する前記第2ガイドレールとの間隔がレール両端部よりレール中央部の方が狭いことを特徴とする請求項1記載の摺動装置。
【請求項3】
一対の前記第1ガイドレールのV溝路の間隔が第1ガイドレールの両端部の方が中央部よりも狭いことを特徴とする請求項2記載の摺動装置。
【請求項4】
前記一対の第2ガイドレールのV溝路の間隔が、該第2ガイドレールの両端部の方が中央部よりも広いことを特徴とする請求項2又は3記載の摺動装置。
【請求項5】
前記第2ガイドレールの中央部を前記第1ガイドレール側に撓ませるようにしたことを特徴とする請求項4記載の摺動装置。
【請求項6】
前記第2ガイドレールと前記移動部材との間にシム材を配置し、該シム材で前記第2ガイドレールの中央部を撓ませることを特徴とする請求項5記載の摺動装置。
【請求項7】
前記移動部材に前記第2ガイドレールを前記第1ガイドレール側に押す押しネジが設けられ、該押しネジで前記第2ガイドレールの中央部を撓ませることを特徴とする請求項5記載の摺動装置。
【請求項8】
中央部に配設されているローラの径が両端部に配設されているローラの径より大きいことを特徴とする請求項1記載の摺動装置。
【請求項9】
前記一対の第1ガイドレールの中央部を一対のガイドレールを含む平面に対して直交する方向に撓ませたことを特徴とする請求項1記載の摺動装置。
【請求項10】
前記第1ガイドレールと前記固定部材の間にシム材を配置し、前記第1ガイドレールの中央部を撓ませたことを特徴とする請求項9記載の摺動装置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【公開番号】特開2013−36528(P2013−36528A)
【公開日】平成25年2月21日(2013.2.21)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2011−172669(P2011−172669)
【出願日】平成23年8月8日(2011.8.8)
【出願人】(000004271)日本電子株式会社 (811)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成25年2月21日(2013.2.21)
【国際特許分類】
【出願日】平成23年8月8日(2011.8.8)
【出願人】(000004271)日本電子株式会社 (811)
【Fターム(参考)】
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