液状体配置方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ表示装置の製造方法
【課題】液状体の配置量を適切に制御することができる液状体配置方法、および当該液状体配置方法を用いたカラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ表示装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】基板上の各区画領域に対応して所定数ａ（１６個）のドットが設定された第１のドットパターンから、所定数ｂ（４〜６個）のドットを消去して第２のドットパターンを生成する。この際、吐出異常のノズルに対応するドットや、液状体が区画領域外にはみ出す虞のある配置位置に対応するドット（禁則ドット）は、禁則ドットとして優先的に消去される。所定数ｂの設定は区画領域毎に行われ、区画領域毎にドット数単位で配置量の制御がなされる。
【解決手段】基板上の各区画領域に対応して所定数ａ（１６個）のドットが設定された第１のドットパターンから、所定数ｂ（４〜６個）のドットを消去して第２のドットパターンを生成する。この際、吐出異常のノズルに対応するドットや、液状体が区画領域外にはみ出す虞のある配置位置に対応するドット（禁則ドット）は、禁則ドットとして優先的に消去される。所定数ｂの設定は区画領域毎に行われ、区画領域毎にドット数単位で配置量の制御がなされる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出法を用いた液状体配置方法と、それを用いたカラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液滴吐出法を用いた成膜技術が注目されており、液滴吐出法を用いた液晶表示装置のカラーフィルタの製造方法が示されている。この製造方法では、基板に対して走査するノズルから色材を含む液状体（液滴）を吐出させて液状体を配置（描画）し、さらに配置された液状体を乾燥等により固化させて画素領域に対応した着色膜を形成するようになっている。
【０００３】
ところで、液状体の吐出特性（吐出量）にはわずかながらもノズル間でバラツキが存在するため、これに起因して液状体の配置量のバラツキが生じ、カラーフィルタにおける濃淡ムラを発生させることがある。このようなムラは、カラーフィルタを介して表示される画像の画質を低下させる原因となる。
【０００４】
そこで、特許文献１に掲げる方法では、あらかじめ吐出量についてノズル毎のデータを取得しておき、このデータに応じて単位画素領域に対するノズル毎の吐出回数の増減を施すことにより、配置量の補正（制御）を行うようにしている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−３３７７０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述の方法の場合では、吐出回数の増減による補正能力は、そのノズルの吐出特性自体にも大きく依存している。このため、例えば、吐出量が著しく多いノズルについては、吐出回数１回あたりの補正幅が大き過ぎて精細な補正ができず、また、吐出量が著しく少ないノズルについては、吐出回数１回あたりの補正幅が小さすぎて不足分を補償しきれないことが起こり得る。また、着弾精度が著しく異常なノズルについては、吐出回数の単純な増減で液状体の配置量の補正を行うことはできない。
【０００７】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、液状体の配置量を適切に制御することができる液状体配置方法、および当該液状体配置方法を用いたカラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ表示装置の製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、複数のノズルと基板とを相対的に走査させながら前記ノズルから液状体を吐出することにより、前記基板上に設定された複数の所定領域に対して前記液状体をそれぞれ配置する液状体配置方法であって、前記複数の所定領域のそれぞれに対応して所定数ａのドットが設定された第１のドットパターンを生成するＡステップと、前記所定領域毎に所定数ｂを設定すると共に、当該所定数ｂのドットを前記所定数ａのドットから消去して第２のドットパターンを生成するＢステップと、前記第２のドットパターンに基づいて前記液状体を吐出するＣステップと、を有し、前記Ｂステップにおいて、前記ノズルの吐出情報に基づいて判定される禁則ドットを優先的に消去することを特徴とする。
【０００９】
この発明の液状体配置方法では、所定数ａのドットから所定数ｂのドットを消去して生成された第２のドットパターンに基づいて液状体を吐出することで、所定領域毎に（所定数ａ−所定数ｂ）のドット数に相当する配置量を設定する。この方法によれば、ドットの消去の際に禁則ドットを優先的に消去することで、配置量を規定しているドットのうち大きな誤差要因となるものが排除されるため、液状体の配置量を所定領域単位で適切に制御することができる。
【００１０】
また好ましくは、前記液状体配置方法において、前記所定領域は、バンクにより区画されていることを特徴とする。
この発明の液状体配置方法によれば、バンクにより所定領域外への液状体のはみ出しが好適に防止されるので、所定領域内の配置量をより正確に規定することができる。
【００１１】
また好ましくは、前記Ｂステップにおいて、一ないし複数の前記所定領域からなるブロック毎にランダムまたは組織的に設定される段階値に基づいて、前記所定数ｂの設定を行うことを特徴とする。
この発明の液状体配置方法によれば、ランダムまたは組織的に設定された段階値に基づいて所定数ｂ（配置量）の設定を行うことで、画素領域間において適度に分散された配置量のムラを意図的に形成することができる。このようなムラが、ノズル間の特性バラツキに起因して形成されるスジ状のムラに重ねて形成されることにより、当該スジ状のムラの視認性が相対的に低減されることになり、結果としてムラを目立ちにくくすることができる。
【００１２】
また好ましくは、前記Ｂステップに先立って、ダミー基板上に設定された前記複数の所定領域に対して前記液状体の配置を行い、前記複数の所定領域における配置量の分布を計測するＤステップを有し、基板前記Ｂステップにおいて、前記Ｄステップの計測結果に基づいて前記所定数ｂを設定することを特徴とする。
この発明の液状体配置方法によれば、ダミー基板における配置量の分布の計測結果から把握される配置量の誤差に応じて、区画領域毎に適切な所定数ｂ（配置量）の設定を行うことができる。
【００１３】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、前記液状体配置方法を用いて、前記複数の所定領域のそれぞれに、色材を含む前記液状体を配置するステップと、配置された前記液状体を固化して、前記複数の所定領域をそれぞれ画素の対応領域とする着色部を形成するステップと、を有する。
この発明のカラーフィルタの製造方法によれば、上記の液状体配置方法を用いて着色部を形成しているので、高品質なカラーフィルタを製造することができる。
【００１４】
本発明の有機ＥＬ表示装置の製造方法は、前記液状体配置方法を用いて、前記複数の所定領域のそれぞれに、有機ＥＬ材料を含む前記液状体を配置するステップと、配置された前記液状体を固化して前記複数の所定領域をそれぞれ画素の対応領域とする発光素子を形成するステップと、を有する。
この発明の有機ＥＬ表示装置の製造方法によれば、上記の液状体配置方法を用いて発光素子を形成しているので、高品質な有機ＥＬ表示装置を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。また、以下の説明で参照する図では、図示の便宜上、部材ないし部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００１６】
（第１実施形態）
（カラーフィルタの構成）
まずは、図１および図２を参照して、本発明に係るカラーフィルタの構成について説明する。図１はカラーフィルタの構成を示す平面図である。図２は、カラーフィルタの構造を示す断面図である。
【００１７】
図１、図２に示すカラーフィルタ１はカラー用表示パネルに用いられるものであり、表示パネルにおけるＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色の画素に対応して形成された着色部２と、着色部２の間の領域に形成された遮光部３とを有している。尚、本実施形態の着色部２は、いわゆるストライプ型の画素構造に対応する配列ないし形状を有しているが、このような画素構造以外のもの、例えば、Ｒ，Ｇ，Ｂ以外の色要素を含むものやデルタ型構造のものに対応した構成とすることもできる。
【００１８】
カラーフィルタ１は、ガラスの透光性の基板４を備えており、基板４上にはクロム等の遮光性材料で遮光部３がパターン形成され、さらに遮光部３上には感光性樹脂等を用いてバンク５がパターン形成されている。着色部２は、バンク５で区画された区画領域６内に形成されており、また着色部２の形成面側には、表面を平滑化するためのオーバーコート層７が樹脂等で形成されている。尚、複数の区画領域６は、全て同じ形状、大きさで形成されている。
【００１９】
（液状体吐出装置の機械的構成）
次に、図３、図４を参照して、本発明の液状体配置方法に用いる液状体吐出装置の機械的構成について説明する。
図３は、液状体吐出装置の要部構成を示す斜視図である。図４は、ヘッドユニットにおけるヘッドの配置構成を示す平面図である。
【００２０】
図３に示す液状体吐出装置２００は、直線的に設けられた１対のガイドレール２０１と、ガイドレール２０１の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ（図示せず）により主走査方向に移動する主走査移動台２０３を備えている。また、ガイドレール２０１の上方においてガイドレール２０１に直交するように直線的に設けられた１対のガイドレール２０２と、ガイドレール２０２の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ（図示せず）により副走査方向に沿って移動する副走査移動台２０４を備えている。
【００２１】
主走査移動台２０３上には、吐出対象物となる基板Ｐを載置するためのステージ２０５が設けられている。ステージ２０５は基板Ｐを吸着固定できる構成となっており、また、回転機構２０７によって基板Ｐ内の基準軸を主走査方向、副走査方向に正確に合わせることができるようになっている。
【００２２】
副走査移動台２０４は、回転機構２０８を介して吊り下げ式に取り付けられたキャリッジ２０９を備えている。また、キャリッジ２０９は、複数のヘッド１１，１２（図４参照）を備えるヘッドユニット１０と、ヘッド１１，１２に液状体を供給するための液状体供給機構（図示せず）と、ヘッド１１，１２の電気的な駆動制御を行うための制御回路基板２１１（図５参照）とを備えている。
【００２３】
図４に示すように、ヘッドユニット１０は、Ｒ，Ｇ，Ｂに対応した液状体をノズル２０から吐出するヘッド１１，１２を備えており、ヘッド１１，１２における複数のノズル２０はノズル群２１Ａ，２１Ｂを構成している。ノズル群２１Ａ，２１Ｂは、それぞれ所定のピッチ（例えば１８０ＤＰＩ）のライン配列をなしており、さらに合わせて千鳥配列をなす関係となっている。また、ノズル群２１Ａ，２１Ｂの配列の方向は副走査方向に一致するようにされている。
【００２４】
ヘッド１１，１２内におけるノズル２０に連通する液室（キャビティ）は、圧電素子１６（図５参照）の駆動によって容量が可変するように構成されている。そして、圧電素子１６から電気信号（駆動信号）を供給してキャビティ内の液圧を制御することにより、ノズル２０から液状体（液滴）を吐出させることが可能となっている。
【００２５】
かくして、主走査移動台２０３の移動によりノズル群２１Ａ，２１Ｂを基板Ｐに対して主走査方向に走査させると共に、ノズル２０毎の吐出のＯＮ／ＯＦＦ制御（以下、吐出制御とする）を行うことにより、基板Ｐ上におけるノズル２０の走査軌跡に沿った位置に液状体を配置することができる。尚、ヘッド１１とヘッド１２とは互いに副走査方向に位置をずらして配置され、それぞれのノズル群２１Ａ，２１Ｂが、互いに吐出可能範囲を補完して連続した定ピッチの走査軌跡を描くように構成されている。また、ノズル群２１Ａ，２１Ｂの端部の数個分のノズル２０は、その特性の特異性に鑑みて使用しないようになっている。
【００２６】
尚、液状体吐出装置の構成は上述の態様に限定されるものではない。例えば、ノズル群２１Ａ，２１Ｂの配列方向を副走査方向から傾けて、ノズル２０の走査軌跡のピッチがノズル群２１Ａ，２１Ｂ内におけるノズル２０間のピッチに対して狭くなるように構成することもできる。また、ヘッドユニット１０におけるヘッド１１，１２の数やその配置構成なども適宜変更することができる。また、ヘッド１１，１２の駆動方式として、例えば、キャビティに加熱素子を備えたいわゆるサーマル方式などを採用することもできる。
【００２７】
（吐出制御方法）
次に、図５、図６を参照して液状体吐出装置における吐出制御方法について説明する。
図５は、液状体吐出装置の電気的構成を示す図である。図６は、ドットパターンとノズルの位置との関係を示す図である。
【００２８】
図５において、液状体吐出装置２００は、装置全体の統括制御を行う制御コンピュータ２１０と、ヘッド１１，１２の電気的な駆動制御を行うための制御回路基板２１１とを備えている。制御回路基板２１１は、フレキシブルケーブル２１２を介して各ヘッド１１，１２と電気的に接続されている。また、ヘッド１１，１２は、ノズル２０（図２参照）毎に設けられた圧電素子１６に対応して、シフトレジスタ（ＳＬ）５０、ラッチ回路（ＬＡＴ）５１、レベルシフタ（ＬＳ）５２、スイッチ（ＳＷ）５３を備えている。
【００２９】
液状体吐出装置２００における吐出制御は次のように行われる。すなわち、まず制御コンピュータ２１０が基板Ｐ（図１参照）における液状体の配置パターンをデータ化したドットパターンデータ（詳しくは後述する）を制御回路基板２１１に伝送する。そして、制御回路基板２１１は、ドットパターンデータをデコードしてノズル２０毎のＯＮ／ＯＦＦ（吐出／非吐出）情報であるノズルデータを生成する。ノズルデータは、シリアル信号（ＳＩ）化されて、クロック信号（ＣＫ）に同期して各シフトレジスタ５０に伝送される。
【００３０】
シフトレジスタ５０に伝送されたノズルデータは、ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路５１に入力されるタイミングでラッチされ、さらにレベルシフタ５２でスイッチ５３用のゲート信号に変換される。すなわち、ノズルデータが「ＯＮ」の場合にはスイッチ５３が開いて圧電素子１６に駆動信号（ＣＯＭ）が供給され、ノズルデータが「ＯＦＦ」の場合にはスイッチ５３が閉じられて圧電素子１６に駆動信号（ＣＯＭ）は供給されないことになる。そして、「ＯＮ」に対応するノズル２０からは液状体が液滴化されて吐出され、吐出された液状体が基板Ｐに配置される。
【００３１】
上述したように、液状体の吐出制御はドットパターン（データ）に基づいて行われる。このドットパターンは、図６に示すように、主走査方向、副走査方向の成分を有するマトリクスＭＴにおいて、液状体の吐出（配置）位置となる区画にドットＤを配したものとして表すことができる。ドットＤは、単に吐出の有無を示すだけでなく、階調性を有するものとすることも可能であり、例えば、階調性に応じて液状体の吐出量や吐出タイミングを変化させることもできる。
【００３２】
ここで、マトリクスＭＴの主走査方向のピッチ：ｐ１は、液状体の吐出制御周期（ラッチ周期）と走査速度によって決められるようになっている。また、マトリクスＭＴの副走査方向のピッチ：ｐ２は、１走査におけるノズル２０の走査軌跡のピッチ：ｐ０の自然数分の１倍に設定することが可能である。本実施形態では、ｐ２がｐ０の３分の１に設定されており、３回に分けられた各走査間で、ノズル２０の副走査方向における位置を互いにずらすことにより、マトリクスＭＴの全てのドットＤをノズル２０に対応させて液状体を吐出するようになっている。
【００３３】
尚、図中において互いに隣接するドットｄ１，ｄ２，ｄ３は、それぞれ第１走査、第２走査、第３走査に係るものである。これらは互いに同じノズルに対応させることも可能であるが、ノズル間における特性（例えば吐出量）のばらつきを空間的に分散させるため、走査間でヘッドを大きく副走査方向に移動させて、互いに異なるノズル２０に対応させるようにすることが好ましい。複数の走査間におけるノズル２０（ヘッド）の位置のずらし方には多様な方法があり、ノズル間やヘッド間の特性ばらつきの分散やサイクルタイムなどに鑑みて適切なものを採用することができる。また、本実施形態では採用していないが、複数の走査間でノズル２０の副走査方向における位置を互いに重ねるような方法とすることで、一の列（主走査方向の並び）内におけるドットＤを複数のノズル２０に分けて対応させることも可能である。
【００３４】
（カラーフィルタの製造方法（液状体配置方法））
次に、図７〜図９を参照して、本発明に係るカラーフィルタの製造方法（液状体の配置方法）について説明する。
図７は、カラーフィルタにおける着色部の形成工程を示すフローチャートである。図８は、液状体配置を行う際の基板の状態を示す平面図である。図９は、第１のドットパターンを示す図である。
【００３５】
カラーフィルタ１（図１，２参照）の着色部２（図１，２参照）の形成は、Ｒ，Ｇ，Ｂにそれぞれ対応する色材を含む液状体を用意し、液状体吐出装置２００（図３参照）を用いて当該液状体を基板上に配置することで行われる。図８に示すように、液状体を配置するための基板Ｐには、それぞれカラーフィルタ１の個体に対応した領域である４つの個体領域８が設定されており、個体領域８毎にバンク５で区画領域６の群が形成されている。本実施形態では、区画領域６の長辺方向を副走査方向、短辺方向を主走査方向として基板Ｐをステージ２０５（図３参照）上に載置する。
【００３６】
ここで、液状体はバンク５で区画された所定領域としての区画領域６に対して配置されるが、液状体が区画領域６に合わせて正確にパターニングされるように、区画領域６内における基板Ｐの露出面に親液化処理を、バンク５の表面に撥液化処理をあらかじめ施しておくことが好ましい。このような処理は、例えば、酸素やフッ化炭素のプラズマ処理により行うことができる。尚、バンク５の形成は、液状体のパターニングを高精度に行うための好ましい実施形態であり、所定領域を設定するためにこのような物理的な区画が必ずしも必要というわけではない。
【００３７】
液状体の配置に先立ち、まずは第１のドットパターンを生成する（図７のステップＳ１）。この第１のドットパターンは、吐出制御のためのドットパターン（第２のドットパターン）を生成するための基礎となるものであり、図９に示すような構成となっている。図において、白抜きの丸は１つ１つのドットを表しており、仮想線で示す仮想区画領域ＡはマトリクスＭＴを基板Ｐ上に重ねた場合における区画領域６の対応領域を表している。また、図中のＬ１〜Ｌ１０およびＲ１〜Ｒ９は、説明の便宜のために付したマトリクスＭＴの行および列を表す記号である。すなわち、ステップＳ１は本発明のＡステップを構成している。
【００３８】
本実施形態の液状体配置では、マトリクスＭＴの各列の区画に対し、３回の走査に分けて複数のノズルが割り当てられるようになっている。図示の例では、Ｒ１，Ｒ４，Ｒ７列のドットが第１の走査に係るノズルｎ１１，ｎ１２，ｎ１３に、Ｒ２，Ｒ５，Ｒ８列のドットが第２の走査に係るノズルｎ２１，ｎ２２，ｎ２３に、Ｒ３，Ｒ６，Ｒ９列のドットが第３の走査に係るノズルｎ３１，ｎ３２，ｎ３３にそれぞれ対応する。尚、ノズルｎ１１〜ｎ３３は、それぞれ互いに異なるノズルである。
【００３９】
本実施形態における第１のドットパターンでは、１つの仮想区画領域Ａに対して、そのほぼ中央に２４個（所定数ａ）のドットが４行×６列の配列で設定されている。ここで、２４個というドットの数は、１つの区画領域６に対する液状体の適正配置量の相当数よりも多めに設定された数であり、この２４個のドットのうちいくつかのドットを消去して生成されたものが、吐出制御のための第２のドットパターンとなる。
【００４０】
詳しくは後述するが、第２のドットパターンの生成にはノズルの吐出情報に基づいた禁則ドットの判定処理が必要となる。このため第２のドットパターンの生成に先立ち、ノズルの吐出情報を取得するためのノズル検査が行われる（図７のステップＳ２）。ここで、ノズルの吐出情報には、大きく吐出異常の有無と液状体の配置位置（着弾位置）精度に関するものがある。吐出異常としては、例えば、吐出不能、吐出量の著しい多寡、ミストの飛散を伴うなどの液滴形成の異常、などの現象が挙げられる。
【００４１】
本実施形態のノズル検査は、ノズルから用紙に対して液滴を吐出させ、用紙上に形成された着弾痕を撮像、画像解析することにより行われる。すなわち、吐出異常の有無の判断情報として当該着弾痕の形状、大きさ（面積）が、配置位置精度として当該着弾痕の理想位置からのズレ量が取得されるようになっている。
【００４２】
ノズル検査（ステップＳ２）が終了したら、取得されたノズルの吐出情報に基づいて第１のドットパターンに対して処理を行い、第２のドットパターンを生成する（図７のステップＳ３）。この処理は、各仮想区画領域Ａに対応して設定された２４個のドット単位毎に行われるものであり、これにより、２４個（所定数ａ）のドットから４ないし６個（所定数ｂ）のドットが消去され、一仮想区画領域あたり１８ないし２０個のドットを有する第２のドットパターンが生成される（図１２（ａ），（ｂ）参照）。すなわち、ステップＳ３は本発明のＢステップを構成している。
【００４３】
次に、第２のドットパターンに基づいて区画領域６に対して液状体を吐出し（図７のステップＳ４）、これにより各区画領域６には、１８ないし２０個のドット（液滴）に相当する量の液状体がそれぞれ配置されることになる。すなわち、ステップＳ４は本発明のＣステップを構成している。そして配置された液状体を乾燥させることにより、着色部２（図１，２参照）を形成する（図７のステップＳ５）。詳しくは後述するが、第２のドットパターンはノズルの吐出情報に基づいて適性化された構成となっているため、各区画領域６に対応する着色部２は精度良く形成される。
【００４４】
上述の説明のように、本実施形態では、第１のドットパターンにおける初期設定時のドット数（所定数ａ）と、第２のドットパターンの生成時における消去対象のドット数（所定数ｂ）とを規定することにより、間接的に区画領域６に対する液状体の配置量の設定を行うようになっている。また、詳しくは後述するが、消去対象のドット数（所定数ｂ）は仮想区画領域Ａ毎に規定されるようになっており、これにより液状体の配置量は区画領域６毎に設定されることになる。
【００４５】
尚、ノズル検査（ステップＳ２）とその結果に基づく第２のドットパターンの生成（ステップＳ３）は、基板Ｐの個体を入れ替えるタイミングなどにおいて、定期的に行うようにすることが望ましい。ノズルの吐出情報は、後天的な事情、例えば流路内への気泡の混入やノズルメンテナンスの実行履歴等によっても変化し得るものであり、このような変化に迅速に対応するためである。
【００４６】
（第２のドットパターンの生成について）
次に、図９、図１０、図１１、図１２を参照して、第２のドットパターンの生成についての詳細な説明を行う。
図１０は、第２のドットパターン生成に係る処理を示すフローチャートである。図１１は、段階値のテンプレートを示す図である。図１２は、生成された第２のドットパターンの例を示す図である。
【００４７】
第２のドットパターンの生成の処理は、図９に示す第１のドットパターンを基礎として、各仮想区画領域Ａ毎に設定された２４個のドット単位毎に、図１０のフローチャートに沿って行われる。この処理は、実際にはコンピュータを用いて自動的に行われるものであり、コンピュータは、あらかじめ入力されていた第１のドットパターンやノズルの吐出情報等を読み出して図１０に示す処理を実行する。
【００４８】
着目する仮想区画領域Ａについて、まず最初のステップＳ１１では、その仮想区画領域Ａに対応する所定数ｂの設定を行う。例えば本実施形態では、あらかじめ用意されたテンプレート（図１１）から、仮想区画領域Ａ（区画領域）毎に割り当てられた段階値を参照することにより、所定値ｂの設定を行う。図１１に示すテンプレートでは、単色の仮想区画領域Ａの配列について、一仮想区画領域Ａを一ブロックとして０〜２の段階値がランダムに設定されており、例えば、「０」、「１」、「２」の段階値に対応する仮想区画領域Ａの処理において、それぞれ所定値ｂが「４」、「５」、「６」に設定される。
【００４９】
次のステップＳ１２では、図９に示す２４個のドット全てを対象として禁則ドットであるか否かの判定が行われ、禁則ドットに該当する場合はそのドットが消去される。ここで、禁則ドットとは、そのドットについて液状体の吐出駆動がなされた場合に不具合を生じる虞がある不適切なドットのことであり、次に示すような条件でその判定が行われる。
【００５０】
まず、吐出異常のノズルに対応するドットは、全て禁則ドットと判定される。このようなドットに基づいて吐出駆動が行われると、区画領域に対する液状体の配置量の精度が低下することになるからである。例えば、図１２（ａ）に示す例では、ノズルｎ１２に吐出異常があるため、ノズルｎ１２に対応するＲ４列のドットが禁則ドットとして消去されている（黒く塗り潰された丸印が消去されたドットを示す）。
【００５１】
また、仮想区画領域Ａの境界に近接する最外郭のドットのうち、そのドットに係るノズルの配置位置精度が当該境界の方向に大きくズレているものは、禁則ドットと判定される。このようなドットに基づいて吐出駆動が行われると、吐出された液状体が区画領域外にはみ出し、パターニングや配置量の精度低下を招く虞があるからである。例えば、ノズルｎ２３が配置位置精度について大きく右寄りの特性を有する場合、Ｒ８列のドットは全て禁則ドットと判定されることになる。但し、吐出異常の場合と異なり、ドットと仮想区画領域Ａの境界との位置関係やズレの方向が考慮されて禁則ドットか否かの判定がなされるので、ズレの方向が逆の場合には禁則ドットとは判定されない。また、他の走査において、他の仮想区画領域Ａの中央寄りの区画にこのノズルｎ２３が割り当てられるような場合にも、対応するドットが禁則ドットと判定されることはない。
【００５２】
このように、第２のドットパターンの生成では、消去対象のドットとして禁則ドットが優先的に選択され、配置量を規定しているドットのうち大きな誤差要因となるものが排除されることになるため、液状体の配置量を区画領域単位で適切に制御することが可能となる。
【００５３】
次のステップＳ１３では、消去されたドットの総数：Ｎが所定数ｂよりも大きいか否かの判定を行う。例えば、ノズルｎ３１，ｎ１２が吐出異常だとすると、ステップＳ１２ではＲ３列、Ｒ４列に係るドットが禁則ドットと判定されてＮ＝８となるが、このようにＮが所定数ｂ（最大でも６）より大きくなる場合（Ｙｅｓ）には、ステップＳ１４において警告の表示と共に処理が中断される。すなわち、この警告は、禁則ドットを消去した場合に規定どおりに第２のドットパターンを生成することができないというエラーメッセージに対応するものである。
【００５４】
ステップＳ１３においてＮが所定数ｂ以下であると判定された場合（Ｎｏ）、次のステップＳ１５においてＮが所定数ｂに達しているか否かの判定を行う。ここで、Ｎが所定数ｂに達していない場合（Ｎｏ）には、次のステップＳ１６においてさらにドットの消去を行う。このステップＳ１６において消去されるドット（消去ドット）は、例えば、残されているドットの中からランダムに選択されるようになっている。あるいは、仮想区画領域Ａ内における相対的な位置関係や吐出に係る走査順序などに鑑みた優先条件に基づいて、消去ドットの選択を行うようにすることも可能である。
【００５５】
ステップＳ１６でドットを消去したら、再びステップＳ１５においてＮが所定数ｂに達しているか否かの判定を行う。これにより、Ｎが所定数ｂに達するまでドットの消去（ステップＳ１６）が連続して行われることになり、Ｎが所定数ｂに達したところで（Ｙｅｓ）、一連の処理が終了する。
【００５６】
例えば、図１２（ａ）は、２４個のドットのうち、ノズルｎ１２に対応する４つの禁則ドットとランダムに選択された１つのドットとが消去され、仮想区画領域Ａ内に１９個のドットが設定された例を示している。また、図１２（ｂ）は、２４個のドットのうち、ランダムに選択された６つのドットが消去され、仮想区画領域Ａ内に１８個のドットが設定された例を示している。
【００５７】
上述したステップＳ１１〜Ｓ１６の処理は、複数ある仮想区画領域Ａのそれぞれについて実行され、これにより第２のドットパターンが完成する。ここで、所定数ｂを設定する際（ステップＳ１１）に参照されるテンプレート（図１１）は、一つの個体領域８（図８参照）内における区画領域６の配列単位で構成されており、複数ある個体領域８について同一のテンプレートを用いて所定数ｂの設定が行われる。これは、個体領域８毎に液状体の配置量の設定条件に差が生じないように配慮したものである。
【００５８】
尚、第２のドットパターンは、Ｒ，Ｇ，Ｂの色毎に生成されるが、この際に参照されるテンプレートは、色毎に同じものとすることも異なるものとすることも可能である。また、上述のようなテンプレートを用いずに、仮想区画領域Ａ毎にその都度乱数を発生させて、所定数ｂの設定（ステップＳ１１）を行うようにすることもできる。
【００５９】
先にも説明したように、図１１のテンプレートは、仮想区画領域Ａの配列に合わせて０〜２の段階値がランダムに設定された構成となっている。このため、段階値の参照（ステップＳ１１）を経て区画領域毎に設定されることになる液状体の配置量は、区画領域間でランダム（不均一）に設定されることになる。
【００６０】
これにより、ノズル間の特性ばらつきに起因して副走査方向に形成される配置量のムラ（スジ状のムラ）に加えて、主走査方向および副走査方向にランダム（不均一）なムラが付加され、結果として２次元的に分散されたムラが形成される。このような２次元的に分散されたムラはスジ状の（１次元的な）ムラに比べて視認性が低いため、液状体配置を経て形成された着色部２（図１、図２参照）の濃淡ムラは、相対的に目立ちにくいものとなる。
【００６１】
しかしながら、２次元的に分散されたムラの形成は、濃淡ムラを相対的に目立たなくする効果がある反面、視覚的なざらつき感をもたらすという欠点も備えており、付加するムラの程度を大きくしすぎるとかえって総合的な画質を低下させる原因にもなる。本実施形態における１区画領域あたりの吐出に係るドットは１８ないし２０ドットであるから、およそ±５％程度のムラを付加していることになるが、本願発明者の知見によれば、画質のバランスの観点では±３％程度のムラを付加する態様とすることが好ましい。もっとも、付加するムラの適正な割合はスジ状のムラの発生の程度とも関係してくることなので、実施にあたっては、ヘッドの条件（ノズル間の特性バラツキ）に合わせて適正化を図ることが好ましい。
【００６２】
尚、説明の便宜上、上述の実施形態は全体的にドット数を少なくした態様としたが、実際には、吐出する液状体（液滴）の大きさや区画領域の大きさ等に合わせて配置量の段階（変化させるドット数の段階）をより自由に設定することが可能である。
【００６３】
また、上述の実施形態では、第２のドットパターンの生成の際に消去するドット数を規定することにより配置量の設定を行うようにしたが、ドットを付加することで第２のドットパターンを生成する態様において、付加の対象となるドット数を区画領域毎に規定することで配置量の設定を行うようにすることも可能である。あるいは、ドットの付加と消去とを組み合わせた態様において、ドット数の減少、維持、増加の設定を区画領域毎に行うことで配置量の設定を行うようにすることも可能である。
【００６４】
また、上述の実施形態では、吐出に係るドット数により配置量の設定を行うようにしたが、これに代えて、吐出する液状体（液滴）の大きさ（量）に階調を持たせ、区画領域毎に階調を規定することで、配置量の設定を行うようにすることも可能である。尚、液滴の大きさを可変するための技術としては、例えば、特開平１１−２０１６５号公報に掲げるものや特開２０００−５２５７０号公報に掲げるものがある。
【００６５】
（変形例１）
次に、図１３を参照して、変形例１について、先の実施形態との相違点を中心に説明する。
図１３は、変形例１に係る段階値のテンプレートを示す図である。
【００６６】
この変形例１に係るテンプレートは、仮想区画領域Ａの配列に合わせてランダムに設定された０〜９までの段階値を有している。そして、各仮想区画領域Ａに係る所定数ｂの設定（図１０のステップＳ１１）において、「０，１，２，３，４，５」の段階値に対して「５」の所定数ｂを、「６，７」の段階値に対して「４」の所定数ｂを、「８，９」の段階値に対して「６」の所定数ｂを設定するようになっている。
【００６７】
この変形例のように、段階値と所定数ｂとの対応関係について意図的な偏りを持たせるようにすれば、付加する液状体の配置量のムラにランダム要素を取り入れながらも、その傾向をある程度制御することが可能である。また、段階値の絶対値や段階数は、液状体の設定配置量のレベルとは無関係に設定することができ、例えば、１〜１００までの１００段階の段階値や、離散的な値をとる段階値とすることもできる。
【００６８】
（変形例２）
次に、図１４を参照して、変形例２について、先の実施形態との相違点を中心に説明する。
図１４は、変形例２に係る段階値のテンプレートを示す図である。
【００６９】
この変形例２に係るテンプレートは、仮想区画領域Ａの配列に合わせて組織的に設定された０〜２の段階値を有している。このような組織的に配列された段階値に基づいて液状体の設定配置量（所定数ｂ）の設定を行えば、液状体の配置量のムラを組織的に形成することができる。ただしこの場合、段階値の配列によっては周期的なムラが模様として見えることがあるため、段階値の設定には注意が必要である。
【００７０】
（変形例３）
次に、図１５を参照して、変形例３について、先の実施形態との相違点を中心に説明する。
図１５は、変形例３に係る段階値のテンプレートを示す図である。
【００７１】
この変形例３に係るテンプレートは、２×２の４つの仮想区画領域Ａを一ブロックとし、ブロック単位でランダムに設定された０〜２の段階値を有しており、同一ブロック内における区画領域の配置量が等しく設定されるようになっている。この変形例のように、各区画領域に対する配置量の設定は、複数の区画領域からなるブロック単位（必ずしも周期的なブロック構成でなくてもよい）で配置量が不均一な分布となるように行われてもよい。
【００７２】
（変形例４）
次に、図１６を参照して、変形例４について、先の実施形態との相違点を中心に説明する。
図１６は、変形例４に係る段階値のテンプレートを示す図である。
【００７３】
この変形例４に係るテンプレートは、副走査方向における仮想区画領域Ａ間において同一の段階値が設定され、主走査方向における仮想区画領域間においてランダムな段階値が設定された構成となっている。このような段階値に基づいて液状体の設定配置量（所定数ｂ）の設定を行う場合であっても、ノズル間の特性ばらつきに起因して副走査方向に形成される配置量のムラ（スジ状のムラ）と合わさることで最終的に２次元的に分散されたムラが形成されることになるため、本発明の効果を得ることが可能である。
【００７４】
（第２実施形態）
次に、図１７、１８、１９を参照して、本発明の第２実施形態について、第１実施形態との相違点を中心に説明する。
図１７は、着色部の形成工程を示すフローチャートである。図１８は、区画領域間における色度分布の計測結果の一例を示す図である。図１９は、仮想区画領域毎の所定数ｂの設定情報を示す図である。
【００７５】
この第２実施形態では、第１実施形態と同様に第１のドットパターンの生成（図１７のステップＳ１）とノズル検査（図１７のステップＳ２）とを行った後、ダミー基板を対象として着色部の形成を行う（図１７のステップＳ２１）。
【００７６】
ダミー基板は、第１実施形態で説明した基板Ｐ（図８参照）と構成上は同じものであるが、その試験的用途に鑑みて正規の基板（正規基板）と区別した呼び方をしている。ダミー基板に対する着色部の形成は、第１実施形態におけるステップＳ３〜Ｓ５（図７参照）と同様のフローにより行われる。すなわち、第１のドットパターンから第２のドットパターンを生成し（図７のステップＳ３）、第２のドットパターンに基づいて液状体を吐出し（図７のステップＳ４）、液状体を乾燥させて（図７のステップＳ５）着色部を形成する。
【００７７】
ここで、第２のドットパターンの生成は、図１０に示すフローと同様の処理により行われるが、仮想区画領域毎の所定数ｂの設定（図１０のステップＳ１１）は行われず、所定数ｂは全ての仮想区画領域について固定値（例えば５）とされる。これにより、全区画領域に対して同じ設定配置量のもとで液状体の吐出（配置）がなされる。
【００７８】
ところで、ノズルからの吐出量は、製造上のバラツキやノズル間におけるクロストークの影響などに起因して必ずしも規定量通りとはなっておらず、設定上の配置量と実際の配置量との間には誤差（以下、配置量誤差とする）が存在する。そこで次の工程では、ダミー基板上に形成された着色部２（図１参照）の膜厚分布から間接的に配置量の分布を計測し、配置量誤差の情報を取得する（図１７のステップＳ２２）。すなわち、ステップＳ２１とステップＳ２２とは、本発明のＤステップを構成している。
【００７９】
本実施形態では、着色部全体の膜厚分布を測定するのではなく、副走査方向における一の着色部２（区画領域）の列（図１における縦方向の並び）について膜厚分布の計測を行うようにしている。これは、配置量誤差が主としてノズル間の吐出量のバラツキに起因するものであるため、主走査方向における膜厚のムラはそれほど問題とならないためである。ただし、着色部全体の膜厚分布を測定するような態様とすることももちろん可能である。膜厚は、白色干渉法などによって直接的に求めることもできるし、着色濃度を計測して間接的に求めることもできる。
【００８０】
ステップＳ２２によって得られた膜厚分布の計測結果の一例を図１８に示す。図示のように、膜厚は副走査方向に対してほぼ周期的な変化を示している。これは、ノズル配置の構成（図４参照）や各走査間におけるノズル群の移動量が副走査方向に対して周期的なため、配置量誤差が周期的な分布を示すからである。尚、図中に示す基準値は、配置量誤差がゼロであるとした場合における膜厚の理想値を表しており、膜厚はこの基準値を中心として概ね均等に分布している。
【００８１】
次のステップＳ２３では、ステップＳ２２の結果に基づいて、区画領域毎の液状体の配置量の設定情報の生成を行う。この設定情報は、図１９に示すように、主走査方向における仮想区画領域Ａの行（主走査方向の並び）毎に４〜６の段階値が設定されたものとして表すことができる。すなわち、副走査方向に変動する配置量誤差を補正すべく、その補正のための情報（段階値）を仮想区画領域Ａ毎に割り当てたものが、配置量の設定情報である。
【００８２】
次のステップＳ２４では、第１実施形態におけるステップＳ３〜Ｓ５（図７参照）と同様のフローにより、正規基板に対する着色部の形成が行われる。すなわち、第１のドットパターンから第２のドットパターンを生成し（図７のステップＳ３）、第２のドットパターンに基づいて液状体を吐出し（図７のステップＳ４）、液状体を乾燥させて（図７のステップＳ５）着色部を形成する。また、第２のドットパターンの生成（ステップＳ３）は、第１実施形態と同様に、図１０に示すフローチャートに沿って、仮想区画領域Ａ毎に行われる。
【００８３】
図１９に示される４〜６の段階値は、そのまま所定数ｂの値となっており、仮想区画領域Ａ毎の所定数ｂの設定（図１０のステップＳ１１）では、この段階値を所定数ｂとして設定する。これにより、第２のドットパターンの生成において、配置量誤差を補正するように区画領域毎の配置量の設定が行われることになる。
【００８４】
ここで、図１８に示す膜厚と図１９に示す段階値（４〜６）との関係について、より詳細な説明を行う。本実施形態では、膜厚が基準値±３％未満の範囲となっている位置の仮想区画領域Ａについて、段階値が「５」に設定される。また、膜厚が基準値＋３％以上となっている位置の仮想区画領域Ａについて、その段階値が「６」に設定され、膜厚が基準値−３％以下となっている位置の仮想区画領域Ａについて、その段階値が「４」に設定される。
【００８５】
これにより、膜厚が基準値±３％未満の範囲となっている位置の区画領域には１９ドット分の、膜厚が基準値＋３％以上となっている位置の区画領域には１８ドット分の、膜厚が基準値−３％以下となっている位置の区画領域には２０ドット分の液状体がそれぞれ配置される。かくして、配置量誤差が±１ドット（中心値に対して約５．３％）の単位で補正され、配置量誤差に起因した液状体の配置ムラを好適に抑えることができる。
【００８６】
（第３実施形態）
次に、図１１、図２０、図２１を参照して、本発明の第４実施形態について、先の実施形態との相違点を中心に説明する。
図２０は、仮想区画領域毎の所定数ｂの設定情報を示す図である。図２１は、仮想区画領域毎の所定数ｂの設定情報を示す図である。
【００８７】
この第３実施形態は、第２実施形態における配置量誤差の補正と第１実施形態におけるランダムなムラの付加とを組み合わせた態様となっている。すなわち、ダミー基板の計測結果に基づいて所定数ｂの設定情報を生成し、さらに図１１のテンプレートに基づいてこの情報の補正を行い、補正後の情報を参照して第２のドットパターンの生成を行う。
【００８８】
図２０において、仮想区画領域の上段に示す数値はダミー基板の計測結果に基づく最初の設定情報を、下段に示す数値はその補正情報を表している。補正情報は、図１１のテンプレートにおける段階値０に対して−１、段階値１に対して０、段階値２に対して＋１とされ、最初の設定情報の数値と補正情報の数値の総和として、図２１に示すように補正後における最終的な設定情報が得られる。
【００８９】
このような実施形態によれば、配置量誤差に起因した液状体の配置ムラを好適に抑えることができると共に、抑えきれないスジ状のムラを、ランダムなムラの付加によって目立たなくすることができる。
【００９０】
（第４実施形態）
次に、図２２を参照して、本発明の第４実施形態について、先の実施形態との相違点を中心に説明する。
図２２は、有機ＥＬ表示装置の要部構成を示す断面図である。
【００９１】
図２２に示すように、有機ＥＬ表示装置１００は、素子基板１１１と、素子基板１１１上に形成された駆動回路部１１２と、駆動回路部１１２上に形成された発光素子部１１３と、駆動回路部１１２および発光素子部１１３を封止するための封止基板１１４と、を備えている。封止基板１１４によって封止された封止空間１１５には、不活性ガスが充填されている。
【００９２】
発光素子部１１３は、バンク１２０で区画された複数の区画領域１１９を有しており、この区画領域１１９内には発光素子１２５が形成されている。発光素子１２５は、駆動回路部１１２の出力端子であるセグメント電極（陽極）１２１と、共通電極（陰極）１２４との間に、正孔輸送層１２２、有機ＥＬ材料層１２３が積層されて構成されている。また、バンク１２０と駆動回路部１１２との間には、階調要素間の干渉を防ぐための遮光膜１２６が、金属クロムやクロム酸化物等で形成されている。
【００９３】
正孔輸送層１２２は、有機ＥＬ材料層１２３に正孔を注入するための機能層であり、ポリチオフェン誘導体のドーピング体（ＰＥＤＯＴ）などの高分子導電体で形成されている。有機ＥＬ材料層１２３は、蛍光あるいは燐光を発光することが可能な公知の有機ＥＬ材料、例えば、ポリフルオレン誘導体、（ポリ）パラフェニレンビニレン誘導体、ポリフェニレン誘導体などで形成されている。正孔輸送層１２２、有機ＥＬ材料層１２３は、第１実施形態で説明した液状体配置方法を用い、所定領域としての区画領域１１９に対応する機能性材料（ＰＥＤＯＴ／有機ＥＬ材料）を含む液状体を配置して製造されたものである。
【００９４】
本発明は上述の実施形態に限定されない。
例えば、上述の液状体配置方法を用いた別の例として、例えば、プラズマディスプレイ装置における蛍光膜の形成、あるいは、電気回路における導電配線や抵抗素子の形成などが挙げられる。
また、実施形態の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略したり、図示しない他の構成と組み合わせたりすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】カラーフィルタの構成を示す平面図。
【図２】カラーフィルタの構造を示す断面図。
【図３】液状体吐出装置の要部構成を示す斜視図。
【図４】ヘッドユニットにおけるヘッドの配置構成を示す平面図。
【図５】液状体吐出装置の電気的構成を示す図。
【図６】ドットパターンとノズルの位置との関係を示す図。
【図７】カラーフィルタにおける着色部の形成工程を示すフローチャート。
【図８】液状体配置を行う際の基板の状態を示す平面図。
【図９】第１のドットパターンを示す図。
【図１０】第２のドットパターン生成に係る処理を示すフローチャート。
【図１１】段階値のテンプレートを示す図。
【図１２】（ａ），（ｂ）は、生成された第２のドットパターンの例を示す図。
【図１３】変形例１に係る段階値のテンプレートを示す図。
【図１４】変形例２に係る段階値のテンプレートを示す図。
【図１５】変形例３に係る段階値のテンプレートを示す図。
【図１６】変形例４に係る段階値のテンプレートを示す図。
【図１７】着色部の形成工程を示すフローチャート。
【図１８】区画領域間における色度分布の計測結果の一例を示す図。
【図１９】仮想区画領域毎の所定数ｂの設定情報を示す図。
【図２０】仮想区画領域毎の所定数ｂの設定情報を示す図。
【図２１】仮想区画領域毎の所定数ｂの設定情報を示す図。
【図２２】有機ＥＬ表示装置の要部構成を示す断面図。
【符号の説明】
【００９６】
１…カラーフィルタ、２…着色部、４…基板、５…バンク、６…所定領域としての区画領域、８…個体領域、２０…ノズル、１００…有機ＥＬ表示装置、１１９…所定領域としての区画領域、１２０…バンク、１２２…正孔輸送層、１２３…有機ＥＬ材料層、１２５…発光素子、２００…液状体吐出装置、ＭＴ…マトリクス、Ｐ…基板、Ａ…仮想区画領域。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出法を用いた液状体配置方法と、それを用いたカラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液滴吐出法を用いた成膜技術が注目されており、液滴吐出法を用いた液晶表示装置のカラーフィルタの製造方法が示されている。この製造方法では、基板に対して走査するノズルから色材を含む液状体（液滴）を吐出させて液状体を配置（描画）し、さらに配置された液状体を乾燥等により固化させて画素領域に対応した着色膜を形成するようになっている。
【０００３】
ところで、液状体の吐出特性（吐出量）にはわずかながらもノズル間でバラツキが存在するため、これに起因して液状体の配置量のバラツキが生じ、カラーフィルタにおける濃淡ムラを発生させることがある。このようなムラは、カラーフィルタを介して表示される画像の画質を低下させる原因となる。
【０００４】
そこで、特許文献１に掲げる方法では、あらかじめ吐出量についてノズル毎のデータを取得しておき、このデータに応じて単位画素領域に対するノズル毎の吐出回数の増減を施すことにより、配置量の補正（制御）を行うようにしている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−３３７７０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述の方法の場合では、吐出回数の増減による補正能力は、そのノズルの吐出特性自体にも大きく依存している。このため、例えば、吐出量が著しく多いノズルについては、吐出回数１回あたりの補正幅が大き過ぎて精細な補正ができず、また、吐出量が著しく少ないノズルについては、吐出回数１回あたりの補正幅が小さすぎて不足分を補償しきれないことが起こり得る。また、着弾精度が著しく異常なノズルについては、吐出回数の単純な増減で液状体の配置量の補正を行うことはできない。
【０００７】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、液状体の配置量を適切に制御することができる液状体配置方法、および当該液状体配置方法を用いたカラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ表示装置の製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、複数のノズルと基板とを相対的に走査させながら前記ノズルから液状体を吐出することにより、前記基板上に設定された複数の所定領域に対して前記液状体をそれぞれ配置する液状体配置方法であって、前記複数の所定領域のそれぞれに対応して所定数ａのドットが設定された第１のドットパターンを生成するＡステップと、前記所定領域毎に所定数ｂを設定すると共に、当該所定数ｂのドットを前記所定数ａのドットから消去して第２のドットパターンを生成するＢステップと、前記第２のドットパターンに基づいて前記液状体を吐出するＣステップと、を有し、前記Ｂステップにおいて、前記ノズルの吐出情報に基づいて判定される禁則ドットを優先的に消去することを特徴とする。
【０００９】
この発明の液状体配置方法では、所定数ａのドットから所定数ｂのドットを消去して生成された第２のドットパターンに基づいて液状体を吐出することで、所定領域毎に（所定数ａ−所定数ｂ）のドット数に相当する配置量を設定する。この方法によれば、ドットの消去の際に禁則ドットを優先的に消去することで、配置量を規定しているドットのうち大きな誤差要因となるものが排除されるため、液状体の配置量を所定領域単位で適切に制御することができる。
【００１０】
また好ましくは、前記液状体配置方法において、前記所定領域は、バンクにより区画されていることを特徴とする。
この発明の液状体配置方法によれば、バンクにより所定領域外への液状体のはみ出しが好適に防止されるので、所定領域内の配置量をより正確に規定することができる。
【００１１】
また好ましくは、前記Ｂステップにおいて、一ないし複数の前記所定領域からなるブロック毎にランダムまたは組織的に設定される段階値に基づいて、前記所定数ｂの設定を行うことを特徴とする。
この発明の液状体配置方法によれば、ランダムまたは組織的に設定された段階値に基づいて所定数ｂ（配置量）の設定を行うことで、画素領域間において適度に分散された配置量のムラを意図的に形成することができる。このようなムラが、ノズル間の特性バラツキに起因して形成されるスジ状のムラに重ねて形成されることにより、当該スジ状のムラの視認性が相対的に低減されることになり、結果としてムラを目立ちにくくすることができる。
【００１２】
また好ましくは、前記Ｂステップに先立って、ダミー基板上に設定された前記複数の所定領域に対して前記液状体の配置を行い、前記複数の所定領域における配置量の分布を計測するＤステップを有し、基板前記Ｂステップにおいて、前記Ｄステップの計測結果に基づいて前記所定数ｂを設定することを特徴とする。
この発明の液状体配置方法によれば、ダミー基板における配置量の分布の計測結果から把握される配置量の誤差に応じて、区画領域毎に適切な所定数ｂ（配置量）の設定を行うことができる。
【００１３】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、前記液状体配置方法を用いて、前記複数の所定領域のそれぞれに、色材を含む前記液状体を配置するステップと、配置された前記液状体を固化して、前記複数の所定領域をそれぞれ画素の対応領域とする着色部を形成するステップと、を有する。
この発明のカラーフィルタの製造方法によれば、上記の液状体配置方法を用いて着色部を形成しているので、高品質なカラーフィルタを製造することができる。
【００１４】
本発明の有機ＥＬ表示装置の製造方法は、前記液状体配置方法を用いて、前記複数の所定領域のそれぞれに、有機ＥＬ材料を含む前記液状体を配置するステップと、配置された前記液状体を固化して前記複数の所定領域をそれぞれ画素の対応領域とする発光素子を形成するステップと、を有する。
この発明の有機ＥＬ表示装置の製造方法によれば、上記の液状体配置方法を用いて発光素子を形成しているので、高品質な有機ＥＬ表示装置を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。また、以下の説明で参照する図では、図示の便宜上、部材ないし部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００１６】
（第１実施形態）
（カラーフィルタの構成）
まずは、図１および図２を参照して、本発明に係るカラーフィルタの構成について説明する。図１はカラーフィルタの構成を示す平面図である。図２は、カラーフィルタの構造を示す断面図である。
【００１７】
図１、図２に示すカラーフィルタ１はカラー用表示パネルに用いられるものであり、表示パネルにおけるＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色の画素に対応して形成された着色部２と、着色部２の間の領域に形成された遮光部３とを有している。尚、本実施形態の着色部２は、いわゆるストライプ型の画素構造に対応する配列ないし形状を有しているが、このような画素構造以外のもの、例えば、Ｒ，Ｇ，Ｂ以外の色要素を含むものやデルタ型構造のものに対応した構成とすることもできる。
【００１８】
カラーフィルタ１は、ガラスの透光性の基板４を備えており、基板４上にはクロム等の遮光性材料で遮光部３がパターン形成され、さらに遮光部３上には感光性樹脂等を用いてバンク５がパターン形成されている。着色部２は、バンク５で区画された区画領域６内に形成されており、また着色部２の形成面側には、表面を平滑化するためのオーバーコート層７が樹脂等で形成されている。尚、複数の区画領域６は、全て同じ形状、大きさで形成されている。
【００１９】
（液状体吐出装置の機械的構成）
次に、図３、図４を参照して、本発明の液状体配置方法に用いる液状体吐出装置の機械的構成について説明する。
図３は、液状体吐出装置の要部構成を示す斜視図である。図４は、ヘッドユニットにおけるヘッドの配置構成を示す平面図である。
【００２０】
図３に示す液状体吐出装置２００は、直線的に設けられた１対のガイドレール２０１と、ガイドレール２０１の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ（図示せず）により主走査方向に移動する主走査移動台２０３を備えている。また、ガイドレール２０１の上方においてガイドレール２０１に直交するように直線的に設けられた１対のガイドレール２０２と、ガイドレール２０２の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ（図示せず）により副走査方向に沿って移動する副走査移動台２０４を備えている。
【００２１】
主走査移動台２０３上には、吐出対象物となる基板Ｐを載置するためのステージ２０５が設けられている。ステージ２０５は基板Ｐを吸着固定できる構成となっており、また、回転機構２０７によって基板Ｐ内の基準軸を主走査方向、副走査方向に正確に合わせることができるようになっている。
【００２２】
副走査移動台２０４は、回転機構２０８を介して吊り下げ式に取り付けられたキャリッジ２０９を備えている。また、キャリッジ２０９は、複数のヘッド１１，１２（図４参照）を備えるヘッドユニット１０と、ヘッド１１，１２に液状体を供給するための液状体供給機構（図示せず）と、ヘッド１１，１２の電気的な駆動制御を行うための制御回路基板２１１（図５参照）とを備えている。
【００２３】
図４に示すように、ヘッドユニット１０は、Ｒ，Ｇ，Ｂに対応した液状体をノズル２０から吐出するヘッド１１，１２を備えており、ヘッド１１，１２における複数のノズル２０はノズル群２１Ａ，２１Ｂを構成している。ノズル群２１Ａ，２１Ｂは、それぞれ所定のピッチ（例えば１８０ＤＰＩ）のライン配列をなしており、さらに合わせて千鳥配列をなす関係となっている。また、ノズル群２１Ａ，２１Ｂの配列の方向は副走査方向に一致するようにされている。
【００２４】
ヘッド１１，１２内におけるノズル２０に連通する液室（キャビティ）は、圧電素子１６（図５参照）の駆動によって容量が可変するように構成されている。そして、圧電素子１６から電気信号（駆動信号）を供給してキャビティ内の液圧を制御することにより、ノズル２０から液状体（液滴）を吐出させることが可能となっている。
【００２５】
かくして、主走査移動台２０３の移動によりノズル群２１Ａ，２１Ｂを基板Ｐに対して主走査方向に走査させると共に、ノズル２０毎の吐出のＯＮ／ＯＦＦ制御（以下、吐出制御とする）を行うことにより、基板Ｐ上におけるノズル２０の走査軌跡に沿った位置に液状体を配置することができる。尚、ヘッド１１とヘッド１２とは互いに副走査方向に位置をずらして配置され、それぞれのノズル群２１Ａ，２１Ｂが、互いに吐出可能範囲を補完して連続した定ピッチの走査軌跡を描くように構成されている。また、ノズル群２１Ａ，２１Ｂの端部の数個分のノズル２０は、その特性の特異性に鑑みて使用しないようになっている。
【００２６】
尚、液状体吐出装置の構成は上述の態様に限定されるものではない。例えば、ノズル群２１Ａ，２１Ｂの配列方向を副走査方向から傾けて、ノズル２０の走査軌跡のピッチがノズル群２１Ａ，２１Ｂ内におけるノズル２０間のピッチに対して狭くなるように構成することもできる。また、ヘッドユニット１０におけるヘッド１１，１２の数やその配置構成なども適宜変更することができる。また、ヘッド１１，１２の駆動方式として、例えば、キャビティに加熱素子を備えたいわゆるサーマル方式などを採用することもできる。
【００２７】
（吐出制御方法）
次に、図５、図６を参照して液状体吐出装置における吐出制御方法について説明する。
図５は、液状体吐出装置の電気的構成を示す図である。図６は、ドットパターンとノズルの位置との関係を示す図である。
【００２８】
図５において、液状体吐出装置２００は、装置全体の統括制御を行う制御コンピュータ２１０と、ヘッド１１，１２の電気的な駆動制御を行うための制御回路基板２１１とを備えている。制御回路基板２１１は、フレキシブルケーブル２１２を介して各ヘッド１１，１２と電気的に接続されている。また、ヘッド１１，１２は、ノズル２０（図２参照）毎に設けられた圧電素子１６に対応して、シフトレジスタ（ＳＬ）５０、ラッチ回路（ＬＡＴ）５１、レベルシフタ（ＬＳ）５２、スイッチ（ＳＷ）５３を備えている。
【００２９】
液状体吐出装置２００における吐出制御は次のように行われる。すなわち、まず制御コンピュータ２１０が基板Ｐ（図１参照）における液状体の配置パターンをデータ化したドットパターンデータ（詳しくは後述する）を制御回路基板２１１に伝送する。そして、制御回路基板２１１は、ドットパターンデータをデコードしてノズル２０毎のＯＮ／ＯＦＦ（吐出／非吐出）情報であるノズルデータを生成する。ノズルデータは、シリアル信号（ＳＩ）化されて、クロック信号（ＣＫ）に同期して各シフトレジスタ５０に伝送される。
【００３０】
シフトレジスタ５０に伝送されたノズルデータは、ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路５１に入力されるタイミングでラッチされ、さらにレベルシフタ５２でスイッチ５３用のゲート信号に変換される。すなわち、ノズルデータが「ＯＮ」の場合にはスイッチ５３が開いて圧電素子１６に駆動信号（ＣＯＭ）が供給され、ノズルデータが「ＯＦＦ」の場合にはスイッチ５３が閉じられて圧電素子１６に駆動信号（ＣＯＭ）は供給されないことになる。そして、「ＯＮ」に対応するノズル２０からは液状体が液滴化されて吐出され、吐出された液状体が基板Ｐに配置される。
【００３１】
上述したように、液状体の吐出制御はドットパターン（データ）に基づいて行われる。このドットパターンは、図６に示すように、主走査方向、副走査方向の成分を有するマトリクスＭＴにおいて、液状体の吐出（配置）位置となる区画にドットＤを配したものとして表すことができる。ドットＤは、単に吐出の有無を示すだけでなく、階調性を有するものとすることも可能であり、例えば、階調性に応じて液状体の吐出量や吐出タイミングを変化させることもできる。
【００３２】
ここで、マトリクスＭＴの主走査方向のピッチ：ｐ１は、液状体の吐出制御周期（ラッチ周期）と走査速度によって決められるようになっている。また、マトリクスＭＴの副走査方向のピッチ：ｐ２は、１走査におけるノズル２０の走査軌跡のピッチ：ｐ０の自然数分の１倍に設定することが可能である。本実施形態では、ｐ２がｐ０の３分の１に設定されており、３回に分けられた各走査間で、ノズル２０の副走査方向における位置を互いにずらすことにより、マトリクスＭＴの全てのドットＤをノズル２０に対応させて液状体を吐出するようになっている。
【００３３】
尚、図中において互いに隣接するドットｄ１，ｄ２，ｄ３は、それぞれ第１走査、第２走査、第３走査に係るものである。これらは互いに同じノズルに対応させることも可能であるが、ノズル間における特性（例えば吐出量）のばらつきを空間的に分散させるため、走査間でヘッドを大きく副走査方向に移動させて、互いに異なるノズル２０に対応させるようにすることが好ましい。複数の走査間におけるノズル２０（ヘッド）の位置のずらし方には多様な方法があり、ノズル間やヘッド間の特性ばらつきの分散やサイクルタイムなどに鑑みて適切なものを採用することができる。また、本実施形態では採用していないが、複数の走査間でノズル２０の副走査方向における位置を互いに重ねるような方法とすることで、一の列（主走査方向の並び）内におけるドットＤを複数のノズル２０に分けて対応させることも可能である。
【００３４】
（カラーフィルタの製造方法（液状体配置方法））
次に、図７〜図９を参照して、本発明に係るカラーフィルタの製造方法（液状体の配置方法）について説明する。
図７は、カラーフィルタにおける着色部の形成工程を示すフローチャートである。図８は、液状体配置を行う際の基板の状態を示す平面図である。図９は、第１のドットパターンを示す図である。
【００３５】
カラーフィルタ１（図１，２参照）の着色部２（図１，２参照）の形成は、Ｒ，Ｇ，Ｂにそれぞれ対応する色材を含む液状体を用意し、液状体吐出装置２００（図３参照）を用いて当該液状体を基板上に配置することで行われる。図８に示すように、液状体を配置するための基板Ｐには、それぞれカラーフィルタ１の個体に対応した領域である４つの個体領域８が設定されており、個体領域８毎にバンク５で区画領域６の群が形成されている。本実施形態では、区画領域６の長辺方向を副走査方向、短辺方向を主走査方向として基板Ｐをステージ２０５（図３参照）上に載置する。
【００３６】
ここで、液状体はバンク５で区画された所定領域としての区画領域６に対して配置されるが、液状体が区画領域６に合わせて正確にパターニングされるように、区画領域６内における基板Ｐの露出面に親液化処理を、バンク５の表面に撥液化処理をあらかじめ施しておくことが好ましい。このような処理は、例えば、酸素やフッ化炭素のプラズマ処理により行うことができる。尚、バンク５の形成は、液状体のパターニングを高精度に行うための好ましい実施形態であり、所定領域を設定するためにこのような物理的な区画が必ずしも必要というわけではない。
【００３７】
液状体の配置に先立ち、まずは第１のドットパターンを生成する（図７のステップＳ１）。この第１のドットパターンは、吐出制御のためのドットパターン（第２のドットパターン）を生成するための基礎となるものであり、図９に示すような構成となっている。図において、白抜きの丸は１つ１つのドットを表しており、仮想線で示す仮想区画領域ＡはマトリクスＭＴを基板Ｐ上に重ねた場合における区画領域６の対応領域を表している。また、図中のＬ１〜Ｌ１０およびＲ１〜Ｒ９は、説明の便宜のために付したマトリクスＭＴの行および列を表す記号である。すなわち、ステップＳ１は本発明のＡステップを構成している。
【００３８】
本実施形態の液状体配置では、マトリクスＭＴの各列の区画に対し、３回の走査に分けて複数のノズルが割り当てられるようになっている。図示の例では、Ｒ１，Ｒ４，Ｒ７列のドットが第１の走査に係るノズルｎ１１，ｎ１２，ｎ１３に、Ｒ２，Ｒ５，Ｒ８列のドットが第２の走査に係るノズルｎ２１，ｎ２２，ｎ２３に、Ｒ３，Ｒ６，Ｒ９列のドットが第３の走査に係るノズルｎ３１，ｎ３２，ｎ３３にそれぞれ対応する。尚、ノズルｎ１１〜ｎ３３は、それぞれ互いに異なるノズルである。
【００３９】
本実施形態における第１のドットパターンでは、１つの仮想区画領域Ａに対して、そのほぼ中央に２４個（所定数ａ）のドットが４行×６列の配列で設定されている。ここで、２４個というドットの数は、１つの区画領域６に対する液状体の適正配置量の相当数よりも多めに設定された数であり、この２４個のドットのうちいくつかのドットを消去して生成されたものが、吐出制御のための第２のドットパターンとなる。
【００４０】
詳しくは後述するが、第２のドットパターンの生成にはノズルの吐出情報に基づいた禁則ドットの判定処理が必要となる。このため第２のドットパターンの生成に先立ち、ノズルの吐出情報を取得するためのノズル検査が行われる（図７のステップＳ２）。ここで、ノズルの吐出情報には、大きく吐出異常の有無と液状体の配置位置（着弾位置）精度に関するものがある。吐出異常としては、例えば、吐出不能、吐出量の著しい多寡、ミストの飛散を伴うなどの液滴形成の異常、などの現象が挙げられる。
【００４１】
本実施形態のノズル検査は、ノズルから用紙に対して液滴を吐出させ、用紙上に形成された着弾痕を撮像、画像解析することにより行われる。すなわち、吐出異常の有無の判断情報として当該着弾痕の形状、大きさ（面積）が、配置位置精度として当該着弾痕の理想位置からのズレ量が取得されるようになっている。
【００４２】
ノズル検査（ステップＳ２）が終了したら、取得されたノズルの吐出情報に基づいて第１のドットパターンに対して処理を行い、第２のドットパターンを生成する（図７のステップＳ３）。この処理は、各仮想区画領域Ａに対応して設定された２４個のドット単位毎に行われるものであり、これにより、２４個（所定数ａ）のドットから４ないし６個（所定数ｂ）のドットが消去され、一仮想区画領域あたり１８ないし２０個のドットを有する第２のドットパターンが生成される（図１２（ａ），（ｂ）参照）。すなわち、ステップＳ３は本発明のＢステップを構成している。
【００４３】
次に、第２のドットパターンに基づいて区画領域６に対して液状体を吐出し（図７のステップＳ４）、これにより各区画領域６には、１８ないし２０個のドット（液滴）に相当する量の液状体がそれぞれ配置されることになる。すなわち、ステップＳ４は本発明のＣステップを構成している。そして配置された液状体を乾燥させることにより、着色部２（図１，２参照）を形成する（図７のステップＳ５）。詳しくは後述するが、第２のドットパターンはノズルの吐出情報に基づいて適性化された構成となっているため、各区画領域６に対応する着色部２は精度良く形成される。
【００４４】
上述の説明のように、本実施形態では、第１のドットパターンにおける初期設定時のドット数（所定数ａ）と、第２のドットパターンの生成時における消去対象のドット数（所定数ｂ）とを規定することにより、間接的に区画領域６に対する液状体の配置量の設定を行うようになっている。また、詳しくは後述するが、消去対象のドット数（所定数ｂ）は仮想区画領域Ａ毎に規定されるようになっており、これにより液状体の配置量は区画領域６毎に設定されることになる。
【００４５】
尚、ノズル検査（ステップＳ２）とその結果に基づく第２のドットパターンの生成（ステップＳ３）は、基板Ｐの個体を入れ替えるタイミングなどにおいて、定期的に行うようにすることが望ましい。ノズルの吐出情報は、後天的な事情、例えば流路内への気泡の混入やノズルメンテナンスの実行履歴等によっても変化し得るものであり、このような変化に迅速に対応するためである。
【００４６】
（第２のドットパターンの生成について）
次に、図９、図１０、図１１、図１２を参照して、第２のドットパターンの生成についての詳細な説明を行う。
図１０は、第２のドットパターン生成に係る処理を示すフローチャートである。図１１は、段階値のテンプレートを示す図である。図１２は、生成された第２のドットパターンの例を示す図である。
【００４７】
第２のドットパターンの生成の処理は、図９に示す第１のドットパターンを基礎として、各仮想区画領域Ａ毎に設定された２４個のドット単位毎に、図１０のフローチャートに沿って行われる。この処理は、実際にはコンピュータを用いて自動的に行われるものであり、コンピュータは、あらかじめ入力されていた第１のドットパターンやノズルの吐出情報等を読み出して図１０に示す処理を実行する。
【００４８】
着目する仮想区画領域Ａについて、まず最初のステップＳ１１では、その仮想区画領域Ａに対応する所定数ｂの設定を行う。例えば本実施形態では、あらかじめ用意されたテンプレート（図１１）から、仮想区画領域Ａ（区画領域）毎に割り当てられた段階値を参照することにより、所定値ｂの設定を行う。図１１に示すテンプレートでは、単色の仮想区画領域Ａの配列について、一仮想区画領域Ａを一ブロックとして０〜２の段階値がランダムに設定されており、例えば、「０」、「１」、「２」の段階値に対応する仮想区画領域Ａの処理において、それぞれ所定値ｂが「４」、「５」、「６」に設定される。
【００４９】
次のステップＳ１２では、図９に示す２４個のドット全てを対象として禁則ドットであるか否かの判定が行われ、禁則ドットに該当する場合はそのドットが消去される。ここで、禁則ドットとは、そのドットについて液状体の吐出駆動がなされた場合に不具合を生じる虞がある不適切なドットのことであり、次に示すような条件でその判定が行われる。
【００５０】
まず、吐出異常のノズルに対応するドットは、全て禁則ドットと判定される。このようなドットに基づいて吐出駆動が行われると、区画領域に対する液状体の配置量の精度が低下することになるからである。例えば、図１２（ａ）に示す例では、ノズルｎ１２に吐出異常があるため、ノズルｎ１２に対応するＲ４列のドットが禁則ドットとして消去されている（黒く塗り潰された丸印が消去されたドットを示す）。
【００５１】
また、仮想区画領域Ａの境界に近接する最外郭のドットのうち、そのドットに係るノズルの配置位置精度が当該境界の方向に大きくズレているものは、禁則ドットと判定される。このようなドットに基づいて吐出駆動が行われると、吐出された液状体が区画領域外にはみ出し、パターニングや配置量の精度低下を招く虞があるからである。例えば、ノズルｎ２３が配置位置精度について大きく右寄りの特性を有する場合、Ｒ８列のドットは全て禁則ドットと判定されることになる。但し、吐出異常の場合と異なり、ドットと仮想区画領域Ａの境界との位置関係やズレの方向が考慮されて禁則ドットか否かの判定がなされるので、ズレの方向が逆の場合には禁則ドットとは判定されない。また、他の走査において、他の仮想区画領域Ａの中央寄りの区画にこのノズルｎ２３が割り当てられるような場合にも、対応するドットが禁則ドットと判定されることはない。
【００５２】
このように、第２のドットパターンの生成では、消去対象のドットとして禁則ドットが優先的に選択され、配置量を規定しているドットのうち大きな誤差要因となるものが排除されることになるため、液状体の配置量を区画領域単位で適切に制御することが可能となる。
【００５３】
次のステップＳ１３では、消去されたドットの総数：Ｎが所定数ｂよりも大きいか否かの判定を行う。例えば、ノズルｎ３１，ｎ１２が吐出異常だとすると、ステップＳ１２ではＲ３列、Ｒ４列に係るドットが禁則ドットと判定されてＮ＝８となるが、このようにＮが所定数ｂ（最大でも６）より大きくなる場合（Ｙｅｓ）には、ステップＳ１４において警告の表示と共に処理が中断される。すなわち、この警告は、禁則ドットを消去した場合に規定どおりに第２のドットパターンを生成することができないというエラーメッセージに対応するものである。
【００５４】
ステップＳ１３においてＮが所定数ｂ以下であると判定された場合（Ｎｏ）、次のステップＳ１５においてＮが所定数ｂに達しているか否かの判定を行う。ここで、Ｎが所定数ｂに達していない場合（Ｎｏ）には、次のステップＳ１６においてさらにドットの消去を行う。このステップＳ１６において消去されるドット（消去ドット）は、例えば、残されているドットの中からランダムに選択されるようになっている。あるいは、仮想区画領域Ａ内における相対的な位置関係や吐出に係る走査順序などに鑑みた優先条件に基づいて、消去ドットの選択を行うようにすることも可能である。
【００５５】
ステップＳ１６でドットを消去したら、再びステップＳ１５においてＮが所定数ｂに達しているか否かの判定を行う。これにより、Ｎが所定数ｂに達するまでドットの消去（ステップＳ１６）が連続して行われることになり、Ｎが所定数ｂに達したところで（Ｙｅｓ）、一連の処理が終了する。
【００５６】
例えば、図１２（ａ）は、２４個のドットのうち、ノズルｎ１２に対応する４つの禁則ドットとランダムに選択された１つのドットとが消去され、仮想区画領域Ａ内に１９個のドットが設定された例を示している。また、図１２（ｂ）は、２４個のドットのうち、ランダムに選択された６つのドットが消去され、仮想区画領域Ａ内に１８個のドットが設定された例を示している。
【００５７】
上述したステップＳ１１〜Ｓ１６の処理は、複数ある仮想区画領域Ａのそれぞれについて実行され、これにより第２のドットパターンが完成する。ここで、所定数ｂを設定する際（ステップＳ１１）に参照されるテンプレート（図１１）は、一つの個体領域８（図８参照）内における区画領域６の配列単位で構成されており、複数ある個体領域８について同一のテンプレートを用いて所定数ｂの設定が行われる。これは、個体領域８毎に液状体の配置量の設定条件に差が生じないように配慮したものである。
【００５８】
尚、第２のドットパターンは、Ｒ，Ｇ，Ｂの色毎に生成されるが、この際に参照されるテンプレートは、色毎に同じものとすることも異なるものとすることも可能である。また、上述のようなテンプレートを用いずに、仮想区画領域Ａ毎にその都度乱数を発生させて、所定数ｂの設定（ステップＳ１１）を行うようにすることもできる。
【００５９】
先にも説明したように、図１１のテンプレートは、仮想区画領域Ａの配列に合わせて０〜２の段階値がランダムに設定された構成となっている。このため、段階値の参照（ステップＳ１１）を経て区画領域毎に設定されることになる液状体の配置量は、区画領域間でランダム（不均一）に設定されることになる。
【００６０】
これにより、ノズル間の特性ばらつきに起因して副走査方向に形成される配置量のムラ（スジ状のムラ）に加えて、主走査方向および副走査方向にランダム（不均一）なムラが付加され、結果として２次元的に分散されたムラが形成される。このような２次元的に分散されたムラはスジ状の（１次元的な）ムラに比べて視認性が低いため、液状体配置を経て形成された着色部２（図１、図２参照）の濃淡ムラは、相対的に目立ちにくいものとなる。
【００６１】
しかしながら、２次元的に分散されたムラの形成は、濃淡ムラを相対的に目立たなくする効果がある反面、視覚的なざらつき感をもたらすという欠点も備えており、付加するムラの程度を大きくしすぎるとかえって総合的な画質を低下させる原因にもなる。本実施形態における１区画領域あたりの吐出に係るドットは１８ないし２０ドットであるから、およそ±５％程度のムラを付加していることになるが、本願発明者の知見によれば、画質のバランスの観点では±３％程度のムラを付加する態様とすることが好ましい。もっとも、付加するムラの適正な割合はスジ状のムラの発生の程度とも関係してくることなので、実施にあたっては、ヘッドの条件（ノズル間の特性バラツキ）に合わせて適正化を図ることが好ましい。
【００６２】
尚、説明の便宜上、上述の実施形態は全体的にドット数を少なくした態様としたが、実際には、吐出する液状体（液滴）の大きさや区画領域の大きさ等に合わせて配置量の段階（変化させるドット数の段階）をより自由に設定することが可能である。
【００６３】
また、上述の実施形態では、第２のドットパターンの生成の際に消去するドット数を規定することにより配置量の設定を行うようにしたが、ドットを付加することで第２のドットパターンを生成する態様において、付加の対象となるドット数を区画領域毎に規定することで配置量の設定を行うようにすることも可能である。あるいは、ドットの付加と消去とを組み合わせた態様において、ドット数の減少、維持、増加の設定を区画領域毎に行うことで配置量の設定を行うようにすることも可能である。
【００６４】
また、上述の実施形態では、吐出に係るドット数により配置量の設定を行うようにしたが、これに代えて、吐出する液状体（液滴）の大きさ（量）に階調を持たせ、区画領域毎に階調を規定することで、配置量の設定を行うようにすることも可能である。尚、液滴の大きさを可変するための技術としては、例えば、特開平１１−２０１６５号公報に掲げるものや特開２０００−５２５７０号公報に掲げるものがある。
【００６５】
（変形例１）
次に、図１３を参照して、変形例１について、先の実施形態との相違点を中心に説明する。
図１３は、変形例１に係る段階値のテンプレートを示す図である。
【００６６】
この変形例１に係るテンプレートは、仮想区画領域Ａの配列に合わせてランダムに設定された０〜９までの段階値を有している。そして、各仮想区画領域Ａに係る所定数ｂの設定（図１０のステップＳ１１）において、「０，１，２，３，４，５」の段階値に対して「５」の所定数ｂを、「６，７」の段階値に対して「４」の所定数ｂを、「８，９」の段階値に対して「６」の所定数ｂを設定するようになっている。
【００６７】
この変形例のように、段階値と所定数ｂとの対応関係について意図的な偏りを持たせるようにすれば、付加する液状体の配置量のムラにランダム要素を取り入れながらも、その傾向をある程度制御することが可能である。また、段階値の絶対値や段階数は、液状体の設定配置量のレベルとは無関係に設定することができ、例えば、１〜１００までの１００段階の段階値や、離散的な値をとる段階値とすることもできる。
【００６８】
（変形例２）
次に、図１４を参照して、変形例２について、先の実施形態との相違点を中心に説明する。
図１４は、変形例２に係る段階値のテンプレートを示す図である。
【００６９】
この変形例２に係るテンプレートは、仮想区画領域Ａの配列に合わせて組織的に設定された０〜２の段階値を有している。このような組織的に配列された段階値に基づいて液状体の設定配置量（所定数ｂ）の設定を行えば、液状体の配置量のムラを組織的に形成することができる。ただしこの場合、段階値の配列によっては周期的なムラが模様として見えることがあるため、段階値の設定には注意が必要である。
【００７０】
（変形例３）
次に、図１５を参照して、変形例３について、先の実施形態との相違点を中心に説明する。
図１５は、変形例３に係る段階値のテンプレートを示す図である。
【００７１】
この変形例３に係るテンプレートは、２×２の４つの仮想区画領域Ａを一ブロックとし、ブロック単位でランダムに設定された０〜２の段階値を有しており、同一ブロック内における区画領域の配置量が等しく設定されるようになっている。この変形例のように、各区画領域に対する配置量の設定は、複数の区画領域からなるブロック単位（必ずしも周期的なブロック構成でなくてもよい）で配置量が不均一な分布となるように行われてもよい。
【００７２】
（変形例４）
次に、図１６を参照して、変形例４について、先の実施形態との相違点を中心に説明する。
図１６は、変形例４に係る段階値のテンプレートを示す図である。
【００７３】
この変形例４に係るテンプレートは、副走査方向における仮想区画領域Ａ間において同一の段階値が設定され、主走査方向における仮想区画領域間においてランダムな段階値が設定された構成となっている。このような段階値に基づいて液状体の設定配置量（所定数ｂ）の設定を行う場合であっても、ノズル間の特性ばらつきに起因して副走査方向に形成される配置量のムラ（スジ状のムラ）と合わさることで最終的に２次元的に分散されたムラが形成されることになるため、本発明の効果を得ることが可能である。
【００７４】
（第２実施形態）
次に、図１７、１８、１９を参照して、本発明の第２実施形態について、第１実施形態との相違点を中心に説明する。
図１７は、着色部の形成工程を示すフローチャートである。図１８は、区画領域間における色度分布の計測結果の一例を示す図である。図１９は、仮想区画領域毎の所定数ｂの設定情報を示す図である。
【００７５】
この第２実施形態では、第１実施形態と同様に第１のドットパターンの生成（図１７のステップＳ１）とノズル検査（図１７のステップＳ２）とを行った後、ダミー基板を対象として着色部の形成を行う（図１７のステップＳ２１）。
【００７６】
ダミー基板は、第１実施形態で説明した基板Ｐ（図８参照）と構成上は同じものであるが、その試験的用途に鑑みて正規の基板（正規基板）と区別した呼び方をしている。ダミー基板に対する着色部の形成は、第１実施形態におけるステップＳ３〜Ｓ５（図７参照）と同様のフローにより行われる。すなわち、第１のドットパターンから第２のドットパターンを生成し（図７のステップＳ３）、第２のドットパターンに基づいて液状体を吐出し（図７のステップＳ４）、液状体を乾燥させて（図７のステップＳ５）着色部を形成する。
【００７７】
ここで、第２のドットパターンの生成は、図１０に示すフローと同様の処理により行われるが、仮想区画領域毎の所定数ｂの設定（図１０のステップＳ１１）は行われず、所定数ｂは全ての仮想区画領域について固定値（例えば５）とされる。これにより、全区画領域に対して同じ設定配置量のもとで液状体の吐出（配置）がなされる。
【００７８】
ところで、ノズルからの吐出量は、製造上のバラツキやノズル間におけるクロストークの影響などに起因して必ずしも規定量通りとはなっておらず、設定上の配置量と実際の配置量との間には誤差（以下、配置量誤差とする）が存在する。そこで次の工程では、ダミー基板上に形成された着色部２（図１参照）の膜厚分布から間接的に配置量の分布を計測し、配置量誤差の情報を取得する（図１７のステップＳ２２）。すなわち、ステップＳ２１とステップＳ２２とは、本発明のＤステップを構成している。
【００７９】
本実施形態では、着色部全体の膜厚分布を測定するのではなく、副走査方向における一の着色部２（区画領域）の列（図１における縦方向の並び）について膜厚分布の計測を行うようにしている。これは、配置量誤差が主としてノズル間の吐出量のバラツキに起因するものであるため、主走査方向における膜厚のムラはそれほど問題とならないためである。ただし、着色部全体の膜厚分布を測定するような態様とすることももちろん可能である。膜厚は、白色干渉法などによって直接的に求めることもできるし、着色濃度を計測して間接的に求めることもできる。
【００８０】
ステップＳ２２によって得られた膜厚分布の計測結果の一例を図１８に示す。図示のように、膜厚は副走査方向に対してほぼ周期的な変化を示している。これは、ノズル配置の構成（図４参照）や各走査間におけるノズル群の移動量が副走査方向に対して周期的なため、配置量誤差が周期的な分布を示すからである。尚、図中に示す基準値は、配置量誤差がゼロであるとした場合における膜厚の理想値を表しており、膜厚はこの基準値を中心として概ね均等に分布している。
【００８１】
次のステップＳ２３では、ステップＳ２２の結果に基づいて、区画領域毎の液状体の配置量の設定情報の生成を行う。この設定情報は、図１９に示すように、主走査方向における仮想区画領域Ａの行（主走査方向の並び）毎に４〜６の段階値が設定されたものとして表すことができる。すなわち、副走査方向に変動する配置量誤差を補正すべく、その補正のための情報（段階値）を仮想区画領域Ａ毎に割り当てたものが、配置量の設定情報である。
【００８２】
次のステップＳ２４では、第１実施形態におけるステップＳ３〜Ｓ５（図７参照）と同様のフローにより、正規基板に対する着色部の形成が行われる。すなわち、第１のドットパターンから第２のドットパターンを生成し（図７のステップＳ３）、第２のドットパターンに基づいて液状体を吐出し（図７のステップＳ４）、液状体を乾燥させて（図７のステップＳ５）着色部を形成する。また、第２のドットパターンの生成（ステップＳ３）は、第１実施形態と同様に、図１０に示すフローチャートに沿って、仮想区画領域Ａ毎に行われる。
【００８３】
図１９に示される４〜６の段階値は、そのまま所定数ｂの値となっており、仮想区画領域Ａ毎の所定数ｂの設定（図１０のステップＳ１１）では、この段階値を所定数ｂとして設定する。これにより、第２のドットパターンの生成において、配置量誤差を補正するように区画領域毎の配置量の設定が行われることになる。
【００８４】
ここで、図１８に示す膜厚と図１９に示す段階値（４〜６）との関係について、より詳細な説明を行う。本実施形態では、膜厚が基準値±３％未満の範囲となっている位置の仮想区画領域Ａについて、段階値が「５」に設定される。また、膜厚が基準値＋３％以上となっている位置の仮想区画領域Ａについて、その段階値が「６」に設定され、膜厚が基準値−３％以下となっている位置の仮想区画領域Ａについて、その段階値が「４」に設定される。
【００８５】
これにより、膜厚が基準値±３％未満の範囲となっている位置の区画領域には１９ドット分の、膜厚が基準値＋３％以上となっている位置の区画領域には１８ドット分の、膜厚が基準値−３％以下となっている位置の区画領域には２０ドット分の液状体がそれぞれ配置される。かくして、配置量誤差が±１ドット（中心値に対して約５．３％）の単位で補正され、配置量誤差に起因した液状体の配置ムラを好適に抑えることができる。
【００８６】
（第３実施形態）
次に、図１１、図２０、図２１を参照して、本発明の第４実施形態について、先の実施形態との相違点を中心に説明する。
図２０は、仮想区画領域毎の所定数ｂの設定情報を示す図である。図２１は、仮想区画領域毎の所定数ｂの設定情報を示す図である。
【００８７】
この第３実施形態は、第２実施形態における配置量誤差の補正と第１実施形態におけるランダムなムラの付加とを組み合わせた態様となっている。すなわち、ダミー基板の計測結果に基づいて所定数ｂの設定情報を生成し、さらに図１１のテンプレートに基づいてこの情報の補正を行い、補正後の情報を参照して第２のドットパターンの生成を行う。
【００８８】
図２０において、仮想区画領域の上段に示す数値はダミー基板の計測結果に基づく最初の設定情報を、下段に示す数値はその補正情報を表している。補正情報は、図１１のテンプレートにおける段階値０に対して−１、段階値１に対して０、段階値２に対して＋１とされ、最初の設定情報の数値と補正情報の数値の総和として、図２１に示すように補正後における最終的な設定情報が得られる。
【００８９】
このような実施形態によれば、配置量誤差に起因した液状体の配置ムラを好適に抑えることができると共に、抑えきれないスジ状のムラを、ランダムなムラの付加によって目立たなくすることができる。
【００９０】
（第４実施形態）
次に、図２２を参照して、本発明の第４実施形態について、先の実施形態との相違点を中心に説明する。
図２２は、有機ＥＬ表示装置の要部構成を示す断面図である。
【００９１】
図２２に示すように、有機ＥＬ表示装置１００は、素子基板１１１と、素子基板１１１上に形成された駆動回路部１１２と、駆動回路部１１２上に形成された発光素子部１１３と、駆動回路部１１２および発光素子部１１３を封止するための封止基板１１４と、を備えている。封止基板１１４によって封止された封止空間１１５には、不活性ガスが充填されている。
【００９２】
発光素子部１１３は、バンク１２０で区画された複数の区画領域１１９を有しており、この区画領域１１９内には発光素子１２５が形成されている。発光素子１２５は、駆動回路部１１２の出力端子であるセグメント電極（陽極）１２１と、共通電極（陰極）１２４との間に、正孔輸送層１２２、有機ＥＬ材料層１２３が積層されて構成されている。また、バンク１２０と駆動回路部１１２との間には、階調要素間の干渉を防ぐための遮光膜１２６が、金属クロムやクロム酸化物等で形成されている。
【００９３】
正孔輸送層１２２は、有機ＥＬ材料層１２３に正孔を注入するための機能層であり、ポリチオフェン誘導体のドーピング体（ＰＥＤＯＴ）などの高分子導電体で形成されている。有機ＥＬ材料層１２３は、蛍光あるいは燐光を発光することが可能な公知の有機ＥＬ材料、例えば、ポリフルオレン誘導体、（ポリ）パラフェニレンビニレン誘導体、ポリフェニレン誘導体などで形成されている。正孔輸送層１２２、有機ＥＬ材料層１２３は、第１実施形態で説明した液状体配置方法を用い、所定領域としての区画領域１１９に対応する機能性材料（ＰＥＤＯＴ／有機ＥＬ材料）を含む液状体を配置して製造されたものである。
【００９４】
本発明は上述の実施形態に限定されない。
例えば、上述の液状体配置方法を用いた別の例として、例えば、プラズマディスプレイ装置における蛍光膜の形成、あるいは、電気回路における導電配線や抵抗素子の形成などが挙げられる。
また、実施形態の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略したり、図示しない他の構成と組み合わせたりすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】カラーフィルタの構成を示す平面図。
【図２】カラーフィルタの構造を示す断面図。
【図３】液状体吐出装置の要部構成を示す斜視図。
【図４】ヘッドユニットにおけるヘッドの配置構成を示す平面図。
【図５】液状体吐出装置の電気的構成を示す図。
【図６】ドットパターンとノズルの位置との関係を示す図。
【図７】カラーフィルタにおける着色部の形成工程を示すフローチャート。
【図８】液状体配置を行う際の基板の状態を示す平面図。
【図９】第１のドットパターンを示す図。
【図１０】第２のドットパターン生成に係る処理を示すフローチャート。
【図１１】段階値のテンプレートを示す図。
【図１２】（ａ），（ｂ）は、生成された第２のドットパターンの例を示す図。
【図１３】変形例１に係る段階値のテンプレートを示す図。
【図１４】変形例２に係る段階値のテンプレートを示す図。
【図１５】変形例３に係る段階値のテンプレートを示す図。
【図１６】変形例４に係る段階値のテンプレートを示す図。
【図１７】着色部の形成工程を示すフローチャート。
【図１８】区画領域間における色度分布の計測結果の一例を示す図。
【図１９】仮想区画領域毎の所定数ｂの設定情報を示す図。
【図２０】仮想区画領域毎の所定数ｂの設定情報を示す図。
【図２１】仮想区画領域毎の所定数ｂの設定情報を示す図。
【図２２】有機ＥＬ表示装置の要部構成を示す断面図。
【符号の説明】
【００９６】
１…カラーフィルタ、２…着色部、４…基板、５…バンク、６…所定領域としての区画領域、８…個体領域、２０…ノズル、１００…有機ＥＬ表示装置、１１９…所定領域としての区画領域、１２０…バンク、１２２…正孔輸送層、１２３…有機ＥＬ材料層、１２５…発光素子、２００…液状体吐出装置、ＭＴ…マトリクス、Ｐ…基板、Ａ…仮想区画領域。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルと基板とを相対的に走査させながら前記ノズルから液状体を吐出することにより、前記基板上に設定された複数の所定領域に対して前記液状体をそれぞれ配置する液状体配置方法であって、
前記複数の所定領域のそれぞれに対応して所定数ａのドットが設定された第１のドットパターンを生成するＡステップと、
前記所定領域毎に所定数ｂを設定すると共に、当該所定数ｂのドットを前記所定数ａのドットから消去して第２のドットパターンを生成するＢステップと、
前記第２のドットパターンに基づいて前記液状体を吐出するＣステップと、を有し、
前記Ｂステップにおいて、前記ノズルの吐出情報に基づいて判定される禁則ドットを優先的に消去することを特徴とする液状体配置方法。
【請求項２】
前記所定領域は、バンクにより区画されていることを特徴とする請求項１に記載の液状体配置方法。
【請求項３】
前記Ｂステップにおいて、一ないし複数の前記所定領域からなるブロック毎にランダムまたは組織的に設定される段階値に基づいて、前記所定数ｂの設定を行うことを特徴とする請求項１または２に記載の液状体配置方法。
【請求項４】
前記Ｂステップに先立って、ダミー基板上に設定された前記複数の所定領域に対して前記液状体の配置を行い、前記複数の所定領域における配置量の分布を計測するＤステップを有し、
基板前記Ｂステップにおいて、前記Ｄステップの計測結果に基づいて前記所定数ｂを設定することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の液状体配置方法。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の液状体配置方法を用いて、前記複数の所定領域のそれぞれに、色材を含む前記液状体を配置するステップと、
配置された前記液状体を固化して、前記複数の所定領域をそれぞれ画素の対応領域とする着色部を形成するステップと、を有するカラーフィルタの製造方法。
【請求項６】
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の液状体配置方法を用いて、前記複数の所定領域のそれぞれに、有機ＥＬ材料を含む前記液状体を配置するステップと、
配置された前記液状体を固化して前記複数の所定領域をそれぞれ画素の対応領域とする発光素子を形成するステップと、を有する有機ＥＬ表示装置の製造方法。
【請求項１】
複数のノズルと基板とを相対的に走査させながら前記ノズルから液状体を吐出することにより、前記基板上に設定された複数の所定領域に対して前記液状体をそれぞれ配置する液状体配置方法であって、
前記複数の所定領域のそれぞれに対応して所定数ａのドットが設定された第１のドットパターンを生成するＡステップと、
前記所定領域毎に所定数ｂを設定すると共に、当該所定数ｂのドットを前記所定数ａのドットから消去して第２のドットパターンを生成するＢステップと、
前記第２のドットパターンに基づいて前記液状体を吐出するＣステップと、を有し、
前記Ｂステップにおいて、前記ノズルの吐出情報に基づいて判定される禁則ドットを優先的に消去することを特徴とする液状体配置方法。
【請求項２】
前記所定領域は、バンクにより区画されていることを特徴とする請求項１に記載の液状体配置方法。
【請求項３】
前記Ｂステップにおいて、一ないし複数の前記所定領域からなるブロック毎にランダムまたは組織的に設定される段階値に基づいて、前記所定数ｂの設定を行うことを特徴とする請求項１または２に記載の液状体配置方法。
【請求項４】
前記Ｂステップに先立って、ダミー基板上に設定された前記複数の所定領域に対して前記液状体の配置を行い、前記複数の所定領域における配置量の分布を計測するＤステップを有し、
基板前記Ｂステップにおいて、前記Ｄステップの計測結果に基づいて前記所定数ｂを設定することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の液状体配置方法。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の液状体配置方法を用いて、前記複数の所定領域のそれぞれに、色材を含む前記液状体を配置するステップと、
配置された前記液状体を固化して、前記複数の所定領域をそれぞれ画素の対応領域とする着色部を形成するステップと、を有するカラーフィルタの製造方法。
【請求項６】
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の液状体配置方法を用いて、前記複数の所定領域のそれぞれに、有機ＥＬ材料を含む前記液状体を配置するステップと、
配置された前記液状体を固化して前記複数の所定領域をそれぞれ画素の対応領域とする発光素子を形成するステップと、を有する有機ＥＬ表示装置の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【公開番号】特開２００８−８０２０７（Ｐ２００８−８０２０７Ａ）
【公開日】平成２０年４月１０日（２００８．４．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−２６１１４９（Ｐ２００６−２６１１４９）
【出願日】平成１８年９月２６日（２００６．９．２６）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年４月１０日（２００８．４．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年９月２６日（２００６．９．２６）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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