湿度センサの劣化診断方法
【課題】湿度センサが元々備えている感湿素子、感温素子及び加熱手段を利用して、感湿素子に加熱クリーニングが必要な程度の劣化が生じているか自己診断する。
【解決手段】湿度計測装置は、相対湿度及び温度を計測する湿度エレメント及び温度エレメントと、湿度エレメントの加熱クリーニングを行うヒータとを備える湿度センサを２つ有する。湿度計測装置の第１の露点算出部２１が、一方の湿度センサを用いて、計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度から第１の露点温度を求める。第２の露点算出部２２が、他方の湿度センサを用いて、ヒータ加熱中の相対湿度及び温度から第２の露点温度を求める。加熱していない通常計測中の湿度センサの露点温度と加熱中の湿度センサの露点温度に差が生じる場合は湿度エレメントが計測環境雰囲気によって劣化しているからであり、劣化判定部２３が、第１の露点温度と第２の露点温度の差に基づいて通常計測中の感湿エレメントにクリーニングが必要な程度の劣化が生じているかを判定する。
【解決手段】湿度計測装置は、相対湿度及び温度を計測する湿度エレメント及び温度エレメントと、湿度エレメントの加熱クリーニングを行うヒータとを備える湿度センサを２つ有する。湿度計測装置の第１の露点算出部２１が、一方の湿度センサを用いて、計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度から第１の露点温度を求める。第２の露点算出部２２が、他方の湿度センサを用いて、ヒータ加熱中の相対湿度及び温度から第２の露点温度を求める。加熱していない通常計測中の湿度センサの露点温度と加熱中の湿度センサの露点温度に差が生じる場合は湿度エレメントが計測環境雰囲気によって劣化しているからであり、劣化判定部２３が、第１の露点温度と第２の露点温度の差に基づいて通常計測中の感湿エレメントにクリーニングが必要な程度の劣化が生じているかを判定する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、計測環境雰囲気中に設置される湿度センサの劣化を診断する湿度センサの劣化診断方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
湿度センサには、上部電極と下部電極の間に感湿層を挿入したものを感湿素子（湿度検出素子）として用い、湿度の変化に応じてその電気抵抗値が変化する抵抗変化式、湿度の変化に応じて静電容量が変化する容量変化式などがある。
【０００３】
これら何れの方式の湿度センサも、測定現場に設置されると、測定環境に直接曝されて湿度を測定するため、測定環境の雰囲気（例えば、硫化物、有機溶剤等のガス）によって感湿素子が劣化していく。ただし、感湿素子を加熱して（加熱クリーニングと呼ぶ）、感湿素子を劣化させる原因となる雰囲気の成分を除去すれば、感湿素子をこの劣化から回復させることができることが一般的に知られている。従来、この知見を利用して、定期的に加熱クリーニングを行ったり（例えば、特許文献１参照）、湿度センサの劣化の度合いを検出して加熱クリーニングの条件（加熱温度及び加熱時間）を変更したり（例えば、特許文献２参照）していた。
【０００４】
特許文献１に開示された湿度検出装置は、加熱用ヒータを備えた湿度検知素子と、ヒータに電力を加えて湿度検知素子を一定温度に保つためのヒータ制御回路と、このヒータ制御回路に接続されて一定間隔で加熱クリーニングを開始させるタイマ回路と、湿度検知素子に接続されて湿度検知素子のインピーダンス変化を測定する発振回路とを備えて、定期的に加熱クリーニングを実施していた。
また、特許文献２に開示された湿度センサの制御装置は、上記特許文献１と同様にインピーダンス変化式の感湿素子部をヒータにより加熱して、汚れ物質を除去するものであるが、加熱クリーニングを行う場合には湿度センサの劣化に応じて加熱温度を５００〜１２００℃に設定すると共に、加熱時間を数秒〜１０分程度に設定していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平５−１７２７７６号公報
【特許文献２】特開２００３−１６６９６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の湿度センサは以上のように構成されているので、感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じていない場合にも定期的な加熱クリーニングが行われてしまい、加熱クリーニングの機会が増えて感湿素子の寿命を短くしていた。
また、感湿素子を劣化させる原因となる雰囲気の成分が有機溶剤等の場合には加熱クリーニングで成分を除去可能であるが、硫化物のような潮解性物質の場合には、感湿素子を加熱するよりも洗浄した方が効果的に除去することが可能である。しかし、従来は潮解性物質に対しても一律に加熱クリーニングを行っていたため、除去効率が落ちると共に、加熱クリーニングの機会が増えて感湿素子の寿命を短くしてしまうという課題があった。
【０００７】
また、従来の湿度センサは、感湿素子の劣化原因が有機溶剤によるものか潮解性物質によるものかを判定する構成になっていないため、劣化原因を判定する場合は分析者が現場に出向いて、分析用の器具を用いて判定する必要がある。そのため、作業が煩わしいという課題があった。
【０００８】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、湿度センサが元々備えている感湿素子、感温素子及び加熱手段を利用して、感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じているか自己診断することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１の発明に係る湿度センサの劣化診断方法は、計測環境雰囲気中に設置され、感湿素子及び感温素子を２個ずつ有して、当該２個の感湿素子を交互に計測用又は非計測用に切り替えて、一方の計測用感湿素子及び感温素子は計測期間中に相対湿度及び温度を計測すると共に、他方の非計測用感湿素子及び感温素子は一方の計測用感湿素子及び感温素子の計測期間中に加熱クリーニングを行うことが可能な加熱手段を備える湿度センサの劣化診断方法であって、計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる露点温度を第１の露点温度として求める第１の露点温度算出ステップと、加熱手段による加熱中の非計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる露点温度を第２の露点温度として求める第２の露点温度算出ステップと、第１の露点温度と第２の露点温度の差に基づいて、計測用感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じているかを判定する劣化判定ステップとからなるものである。
【００１０】
請求項２の発明に係る湿度センサの劣化診断方法は、第１の露点温度算出ステップで求めた第１の露点温度と、第２の露点温度算出ステップで求めた第２の露点温度とを比較して相対的高低差を求める高低差算出ステップと、相対的高低差と第１の閾値とを比較する比較ステップとを備え、劣化判定ステップは、第１の露点温度よりも第２の露点温度の方が高く、かつ、第１の閾値よりも相対的高低差の方が大きい場合に、計測環境雰囲気中の有機溶剤により計測用感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定するようにしたものである。
【００１１】
請求項３の発明に係る湿度センサの劣化診断方法は、劣化判定ステップで、計測用感湿素子に有機溶剤によりクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定された場合に、当該計測用感湿素子を非計測用に切り替えて加熱手段によって加熱クリーニングすると共に、他方の非計測用感湿素子を計測用に切り替えて計測を続ける加熱クリーニングステップを備えるようにしたものである。
【００１２】
請求項４の発明に係る湿度センサの劣化診断方法は、第１の露点温度算出ステップで求めた第１の露点温度と、第２の露点温度算出ステップで求めた第２の露点温度とを比較して相対的高低差を求める高低差算出ステップと、相対的高低差と第２の閾値とを比較する比較ステップとを備え、劣化判定ステップは、第１の露点温度よりも第２の露点温度の方が低く、かつ、第２の閾値よりも相対的高低差の方が大きい場合に、計測環境雰囲気中の潮解性物質により計測用感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定するようにしたものである。
【００１３】
請求項５の発明に係る湿度センサの劣化診断方法は、劣化判定ステップで、計測用感湿素子に潮解性物質によりクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定された場合に、当該計測用感湿素子を非計測用に切り替えて洗浄クリーニングを実施するよう報知すると共に、他方の非計測用感湿素子を計測用に切り替えて計測を続ける洗浄報知ステップを備えるようにしたものである。
【００１４】
請求項６の発明に係る湿度センサの劣化診断方法は、計測環境雰囲気中に設置され、相対湿度及び温度を計測する計測用感湿素子及び感温素子と、計測用感湿素子及び感温素子の非計測期間中に計測用感湿素子の加熱クリーニングを行う加熱手段と、計測用感湿素子及び感温素子の非計測期間中に相対湿度及び温度を計測する非計測用感湿素子及び感温素子とを備える湿度センサの劣化診断方法であって、非計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる露点温度を第１の露点温度として求める第１の露点温度算出ステップと、加熱手段による加熱中の計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる露点温度を第２の露点温度として求める第２の露点温度算出ステップと、第１の露点温度と第２の露点温度の差に基づいて、計測用感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じているかを判定する劣化判定ステップとからなるものである。
【００１５】
請求項７の発明に係る湿度センサの劣化診断方法は、第１の露点温度算出ステップで求めた第１の露点温度と、第２の露点温度算出ステップで求めた第２の露点温度とを比較して相対的高低差を求める高低差算出ステップと、相対的高低差と第１の閾値とを比較する比較ステップとを備え、劣化判定ステップは、第１の露点温度よりも第２の露点温度の方が高く、かつ、第１の閾値よりも相対的高低差の方が大きい場合に、計測環境雰囲気中の有機溶剤により計測用感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定するようにしたものである。
【００１６】
請求項８の発明に係る湿度センサの劣化診断方法は、劣化判定ステップで、計測用感湿素子に有機溶剤によりクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定された場合に、加熱手段によって加熱クリーニングする加熱クリーニングステップを備えるようにしたものである。
【００１７】
請求項９の発明に係る湿度センサの劣化診断方法は、第１の露点温度算出ステップで求めた第１の露点温度と、第２の露点温度算出ステップで求めた第２の露点温度とを比較して相対的高低差を求める高低差算出ステップと、相対的高低差と第２の閾値とを比較する比較ステップとを備え、劣化判定ステップは、第１の露点温度よりも第２の露点温度の方が低く、かつ、第２の閾値よりも相対的高低差の方が大きい場合に、計測環境雰囲気中の潮解性物質により計測用感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定するようにしたものである。
【００１８】
請求項１０の発明に係る湿度センサの劣化診断方法は、劣化判定ステップで、計測用感湿素子に潮解性物質によりクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定された場合に、洗浄クリーニングを実施するよう報知する洗浄報知ステップを備えるようにしたものである。
【００１９】
請求項１１の発明に係る湿度センサの劣化診断方法は、第１の露点温度の代わりに、計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる水蒸気圧を用い、かつ、第２の露点温度の代わりに、加熱手段による加熱中の非計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる水蒸気圧を用いるようにしたものである。
【００２０】
請求項１２の発明に係る湿度センサの劣化診断方法は、第１の露点温度の代わりに、非計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる水蒸気圧を用い、かつ、第２の露点温度の代わりに、加熱手段による加熱中の計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる水蒸気圧を用いるようにしたものである。
【発明の効果】
【００２１】
請求項１及び請求項６の発明によれば、通常計測中の第１の露点温度と加熱中の第２の露点温度の差に基づいて、感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じているか自己診断することができる。また、湿度センサが元々備えている感湿素子、感温素子及び加熱手段を利用して自己診断できるので、分析者及び他の分析用の器具は不要である。
【００２２】
請求項２及び請求項７の発明によれば、感湿素子が有機溶剤により劣化すると通常計測中に比べて加熱中の湿度計測値が低い方にシフトするが、感湿素子が加熱されることにより有機溶剤の影響がなくなるので通常計測中の第１の露点温度よりも加熱中の第２の露点温度の方が高くなるという傾向を判定するようにしたので、感湿素子を劣化させる因子が計測環境雰囲気中の有機溶剤であると推定することができる。
【００２３】
請求項３及び請求項８の発明によれば、感湿素子を劣化させる因子が有機溶剤であると推定された場合に加熱手段を働かせて加熱クリーニングを行うようにしたので、適切な時期に適切なクリーニングを行うことができる。
【００２４】
請求項４及び請求項９の発明によれば、感湿素子が潮解性物質により劣化すると通常計測中に比べて加熱中の湿度計測値が高い方にシフトするが、感湿素子が加熱されることにより潮解性物質の影響がある程度抑えられるので通常計測中の第１の露点温度よりも加熱中の第２の露点温度の方が低くなるという傾向を判定するようにしたので、感湿素子を劣化させる因子が計測環境雰囲気中の潮解性物質であると推定することができる。
【００２５】
請求項５及び請求項１０の発明によれば、感湿素子を劣化させる因子が潮解性物質であると推定された場合に、加熱クリーニングよりも効果的に劣化から回復させることができる洗浄クリーニングを行うよう報知するようにしたので、適切な時期に適切なクリーニングを行うことができる。
【００２６】
請求項１１及び請求項１２の発明によれば、露点温度の代わりに水蒸気圧を用いても、感湿素子の劣化を判定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】この発明の実施の形態１に係る湿度計測装置の構成を示すブロック図である。
【図２】図１に示す湿度計測装置の具体的構成例を示し、図２（ａ），（ｂ）は湿度計測装置全体の平面図、図２（ｃ）は湿度センサの側面図である。
【図３】実施の形態１の劣化診断処理部の構成を示すブロック図である。
【図４】実施の形態１の劣化診断処理部による劣化診断処理を説明する説明図である。
【図５】実施の形態１の劣化診断処理部の動作を示すフローチャートである。
【図６】この発明の実施の形態２に係る湿度計測装置の劣化判定処理を説明する説明図である。
【図７】実施の形態２の劣化診断処理部の動作を示すフローチャートであり、図５に示すステップＳＴ７のサブルーチンである。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
実施の形態１．
図１は、この発明の実施の形態１に係る湿度計測装置の構成を示すブロック図である。図１に示す湿度計測装置は、計測環境雰囲気中に設置されて相対湿度を計測する湿度センサ１ａ，１ｂを備え、この湿度センサ１ａ，１ｂの劣化診断を行うものである。図２（ａ），（ｂ）は湿度計測装置の具体的構成例を示す平面図である。湿度計測装置は、図２（ａ）に示すように装置本体と一体に湿度センサ１ａ，１ｂを備える構成であっても、図２（ｂ）に示すように装置本体と湿度センサ１ａ，１ｂとをケーブル線で接続する構成であってもよい。なお。図２（ａ），（ｂ）では湿度センサ１ａ，１ｂがカバーで覆われている。
【００２９】
湿度センサ１ａ，１ｂは、相対湿度を計測する湿度エレメント（感湿素子）２ａ，２ｂと、温度を計測する温度エレメント（感温素子）３ａ，３ｂと、湿度エレメント２ａ，２ｂを加熱クリーニングするためのヒータ（加熱手段）４ａ，４ｂとをそれぞれ備える。図２（ｃ）は湿度センサ１ａの一例を示す側面図である。図２（ｃ）に示す湿度センサ１ａは、温度エレメント３ａ及びヒータ４ａを白金抵抗素子等を用いて一体に構成しているが、別体であってもよい。この温度エレメント３ａ及びヒータ４ａが、湿度エレメント２ａの感湿面３１とは逆側の面に接着剤等で固定されている。湿度エレメント２ａはリード線３２によって湿度入力変換部５に接続して湿度検出信号を出力する。また、温度エレメント３ａ及びヒータ４ａはリード線３３によって温度入力変換部６及びヒータ駆動部１１に接続して、温度検出信号を出力すると共にヒータ駆動のための制御信号を受ける。図示は省略するが、湿度センサ１ｂも湿度センサ１ａと同様の構成である。
【００３０】
湿度入力変換部５は、湿度エレメント２ａ，２ｂが出力する湿度検出信号を電圧信号に変換し、温度入力変換部６は、温度エレメント３ａ，３ｂが出力する温度検出信号を電圧信号に変換し、入力切替部７が何れかの電圧信号を選択的にＡ／Ｄ変換部８へ出力する。Ａ／Ｄ変換部８は、アナログ信号である電圧信号をデジタル信号に変換して、制御部９へ出力する。制御部９は、湿度及び温度のデジタル信号を用いて所定の換算を行って湿度計測値（以下、単に湿度と言う場合は相対湿度を指す）及び温度計測値を求める。なお、本実施の形態ではＡ／Ｄ変換部８を湿度入力信号及び温度入力信号で兼用するために入力切替部７で入力を切り替えるように構成したが、入力切替部７を用いずそれぞれにＡ／Ｄ変換部を備えるように構成してもよい。
【００３１】
制御部９は、湿度計測装置の湿度計測及び劣化診断の処理内容を記述したプログラムを格納したメモリと、このプログラムをメモリから読み出して実行するＣＰＵから構成される。制御部９は、Ａ／Ｄ変換部８から入力される湿度計測値及び温度計測値を表示部１２に表示すると共に、出力部１３からデータ出力を行う。また、制御部９は、スイッチ等で構成された設定入力部１４をユーザが操作して設定した設定条件に応じて、例えば湿度計測を開始及び終了させたり、加熱クリーニングを実施したり、劣化診断を実施したりする。
【００３２】
タイマ部１０は、制御部９から指示された所定時間、ヒータ駆動部１１を駆動させてヒータ４を加熱させる。
【００３３】
次に、本実施の形態１に係る湿度計測装置の劣化診断処理について説明する。なお、以下の説明において、湿度センサ１ａ，１ｂを区別する必要のないときは湿度センサ１と称する。同様に、湿度エレメント２ａ，２ｂを湿度エレメント２と称し、温度エレメント３ａ，３ｂを温度エレメント３と称し、ヒータ４ａ，４ｂをヒータ４と称する。
図３は、実施の形態１に係る湿度計測装置の劣化診断処理部２０の構成を示すブロック図である。本実施の形態１の劣化診断処理部２０は第１の露点算出部２１、第２の露点算出部２２及び劣化判定部２３で構成され、加熱制御部２４及び洗浄報知部２５は含まないものとする。なお、加熱制御部２４及び洗浄報知部２５の詳細は、後述する実施の形態２で説明する。この劣化診断処理部２０は図１に示す制御部９に相当し、後述する劣化診断の処理内容を記述したプログラムをＣＰＵが実行することによって劣化診断処理部２０内部の各部として機能する。
【００３４】
図４は、実施の形態１の劣化診断処理部２０の劣化診断処理を説明する説明図である。図４に示す空気線図において、縦軸は水蒸気圧を示し、横軸は温度を示し、空気線図中には相対湿度５％、７．９％、１０％、５０％及び１００％の飽和水蒸気圧曲線を示す。露点温度（適宜、露点とも称す）は、相対湿度と温度から求めることができ、圧力変化のない環境で加湿及び除湿が行われない場合、相対湿度又は温度が変化しても露点が一定であることは周知の通りである。例えば、図４の相対湿度５０％、温度２５℃の加熱前ポイントＡにおいては、露点は１３．９℃となる。この状態で湿度エレメント２をヒータ４で加熱し、湿度エレメント２の温度を６０℃まで上昇させたとする。このとき、湿度エレメント２の計測する湿度計測値は７．９％になり、露点演算値は湿度エレメント２を加湿する前の１３．９℃と同じ値になるはずである（加熱中ポイントＢ１）。これは、湿度エレメント２加熱前後で露点は変わっていない（即ち空気中の水分量は変化していない）ためである。
【００３５】
一般的に、湿度エレメント２は環境の影響を受けて劣化しやすく、特に有機溶剤及び潮解性物質（例えば硫化物）の付着等により湿度計測値がシフトする。よって、湿度エレメント２は温度エレメント３に比べて劣化しやすい。このことから、露点の値が加熱前後で変化している場合、原因は温度エレメント３の劣化ではなく湿度エレメント２の劣化であると推定できる。
湿度エレメント２が薬品等により劣化しており、出力が高めにシフトしている場合、加熱前後の露点は一致せず、加熱前の露点に比べて加熱中の露点が高くなる。例えば、湿度エレメント２の温度を加熱前ポイントＡの２５℃から６０℃まで上昇させると、劣化によって湿度計測値が７．９％より高い１０％にシフトしているために、加熱前ポイントＡの露点に比べて加熱中ポイントＢ２の露点が高くなる。
同様に、湿度エレメント２が薬品等により劣化しており、出力が高めにシフトしている場合、加熱前後の露点は一致せず、加熱前の露点に比べて加熱中の露点が低くなる。例えば、湿度エレメント２の温度を加熱前ポイントＡの２５℃から６０℃まで上昇させると、劣化によって湿度計測値が７．９％より低い５％にシフトしているために、加熱前ポイントＡの露点に比べて加熱中ポイントＢ３の露点が低くなる。
【００３６】
このように、加熱前の露点と加熱中の露点を比較することにより、湿度エレメント２の湿度計測値が高くなっているか低くなっているかがわかり、湿度エレメント２の劣化を判定することができる。本実施の形態では、加熱前ポイントＡ及び加熱中ポイントＢ１（又はＢ２，Ｂ３）を湿度センサ１ａ，１ｂで同時に計測する。そして、加熱前ポイントＡの露点に相当する第１の露点温度を第１の露点算出部２１が算出し、加熱中ポイントＢ１，Ｂ２，Ｂ３の露点に相当する第２の露点温度を第２の露点算出部２２が算出する。そして、劣化判定部２３が、第１の露点温度と第２の露点温度を比較して、湿度エレメント２の劣化有無を判定する。なお、劣化診断処理における加熱は、加熱クリーニングのための加熱に比べて低温で足りるため、湿度エレメント２に加熱クリーニングほどの劣化を与えない。
【００３７】
次に、劣化診断処理部２０の動作を説明する。図５は、劣化診断処理部２０の動作を示すフローチャートである。劣化診断処理は、制御部９がユーザから開始の指示を受けて開始してもよいし、制御部９が定期的に開始してもよい。劣化診断処理が開始されると、先ず、湿度センサ１ａ（計測用感湿素子及び感温素子）によって計測された計測雰囲気中の湿度計測値及び温度計測値を、第１の露点算出部２１が取得する（ステップＳＴ１）。また、制御部９がヒータ４ｂによって湿度エレメント２ｂを所定温度（例えば６０℃）に加熱し、第２の露点算出部２２が湿度センサ１ｂ（非計測用感湿素子及び感温素子）の計測した湿度計測値及び温度計測値を取得する（ステップＳＴ２）。ステップＳＴ１及びステップＳＴ２はどちらが先でもよいし、あるいは、湿度測定装置が湿度入力変換部５、温度入力変換部６、入力切替部７及びＡ／Ｄ変換部８を湿度センサ１ａ，１ｂ毎に備えている場合にはステップＳＴ１及びステップＳＴ２を同時に行ってもよい。
【００３８】
続いて、第１の露点算出部２１がステップＳＴ１で取得した湿度センサ１ａの湿度計測値及び温度計測値から第１の露点温度を算出し（ステップＳＴ４、第１の露点温度算出ステップ）、第２の露点算出部２２がステップＳＴ３で取得した加熱中の湿度センサ１ｂの湿度計測値及び温度計測値から第２の露点温度を算出する（ステップＳＴ５、第２の露点温度算出ステップ）。続いて、劣化判定部２３が、第１の露点温度と第２の露点温度を比較して（ステップＳＴ６、劣化判定ステップ）、差がなければ（ステップＳＴ６“Ｙｅｓ”）、湿度エレメント２は劣化していないと判断して劣化診断処理を終了する。なお、第１の露点温度と第２の露点温度は完全に一致した場合だけでなく略一致であってもよい。
【００３９】
他方、第１の露点温度と第２の露点温度に差があれば（ステップＳＴ６“Ｎｏ”）、劣化判定部２３がステップＳＴ７の劣化判定処理で、湿度エレメント２が劣化していることを示す判定結果を表示部１２又は出力部１３へ出力する。湿度センサ１ａ，１ｂは同じ計測環境雰囲気中に置かれているので、相対湿度及び温度が変化しても湿度センサ１ａ，１ｂの計測値も同じ様に推移するため、第１の露点温度及び第２の露点温度も同じになるはずである。しかし、湿度エレメント２ａが雰囲気中の成分により劣化した場合には、求められる第１の露点温度は真の値からずれが生じる。これに対して、湿度エレメント２ｂは加熱により劣化状態が回復しているので、求められる第２の露点温度は真の値に近く、第１の露点温度と第２の露点温度との差が加熱していない湿度エレメント２ａの劣化の程度を示すことになる。従って、加熱していない湿度エレメント２ａにクリーニングが必要な程度の劣化が生じているかを自己診断することができる。
【００４０】
なお、ステップＳＴ７の劣化判定処理において、劣化判定部２３が湿度エレメント２の湿度計測値が高い値にシフトしているか、低い値にシフトしているかを判断して、判定結果に含めてもよい。また、劣化の判定結果を受けて、制御部９がタイマ部１０及びヒータ駆動部１１を制御してヒータ４に加熱クリーニングを実施させてもよい。
【００４１】
また、加熱する湿度エレメントを、湿度エレメント２ｂから湿度エレメント２ａに切り替えて一連の劣化診断処理を行えば、湿度エレメント２ａに劣化が生じているかを自己診断することができる。また、劣化診断処理のためにどちらか一方の湿度センサの通常の計測を中断して加熱しても、他方の湿度センサは通常の計測を続行させておくことができるため、途切れることなく連続して湿度計測を実施可能である。
【００４２】
以上のように、実施の形態１によれば、計測雰囲気中に設置され、湿度エレメント２ａ，２ｂ及び温度エレメント３ａ，３ｂを有して、当該２個の湿度エレメント２ａ，２ｂを交互に計測用又は非計測用に切り替えて、一方の計測用湿度エレメント及び温度エレメントは計測期間中に相対湿度及び温度を計測すると共に、他方の非計測用湿度エレメント及び温度エレメントは前記一方の計測用湿度エレメント及び温度エレメントの計測期間中に加熱クリーニングを行うことが可能なヒータ４ａ，４ｂを備える湿度センサの劣化診断方法であって、湿度計測装置の第１の露点算出部２１が、計測用湿度エレメント及び温度エレメントの計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる露点温度を第１の露点温度として求める第１の露点温度算出ステップと、第２の露点算出部２２が、ヒータ４ａ又はヒータ４ｂによる加熱中の非計測用湿度エレメント及び温度エレメントの計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる露点温度を第２の露点温度として求める第２の露点温度算出ステップと、劣化判定部２３が、第１の露点温度と第２の露点温度の差に基づいて、計測用湿度エレメントにクリーニングが必要な程度の劣化が生じているかを判定する劣化判定ステップを行うように構成した。２個の湿度エレメント２は同一計測環境雰囲気に置かれているので、相対湿度及び温度が変化しても露点温度は同じはずであるが、計測用の湿度エレメント２は雰囲気中の成分により劣化し、求められる第１の露点温度は真の値からずれが生じるのに対し、非計測用の湿度エレメント２は加熱により劣化状態が回復しているので求められる第２の露点温度は真の値に近く、第１の露点温度と第２の露点温度との差は計測用の湿度エレメント２の劣化の程度を示しているので、計測用の湿度エレメント２にクリーニングが必要な程度の劣化が生じているかを自己診断することができる。また、湿度センサ１に元々備えられた部材である湿度エレメント２、温度エレメント３及びヒータ４を利用して、自己の劣化診断が可能であり、分析者及び他の分析用の器具は不要である。
【００４３】
実施の形態２．
本実施の形態においても、図１〜５を援用して、湿度計測装置による湿度センサ１ａ，１ｂの劣化診断方法を説明する。以下の説明においても、上記実施の形態１と同様に、湿度センサ１ａ，１ｂを区別する必要がないときは湿度センサ１と称することとし、湿度センサ１内の各部についても同様とする。
上記実施の形態１で説明した通り、湿度エレメント２は計測環境雰囲気の影響を受けて劣化しやすく、特に有機溶剤及び潮解性物質の付着等により湿度計測値がシフトする。そこで、本実施の形態２では、このシフトの性質を利用して、湿度エレメント２の劣化原因が有機溶剤か潮解性物質かを判定する。
【００４４】
加熱前の露点と比較して加熱中の露点が高くなっている場合、即ち図４に示す加熱前ポイントＡから加熱中ポイントＢ１に移行した場合、湿度エレメント２の劣化によって、湿度計測値が加熱前に低く計測されていたか、加熱中に低く計測されていたことになる。通常、加熱すると相対湿度は下がることから、加熱中の相対湿度計測は加熱前より低湿側で行われていることになる。そこで、横軸に相対的な基準湿度をとり、縦軸に加熱前後の湿度計測値のシフト量をとったグラフを図６に示す。図６に示すシフトＣ、即ち高湿側よりも低湿側のシフト量が大きくなる傾向は、有機溶剤による劣化で見られる。
同様に、加熱前の露点と比較して加熱中の露点が低くなっている場合、即ち図４に示す加熱前ポイントＡから加熱中ポイントＢ３に移行した場合、湿度エレメント２の劣化によって、湿度計測値が加熱前に高く計測されていたか、加熱中に低く計測されていたことになる。図６に示すシフトＤ、即ち高湿側より低湿側のシフト量が小さくなる傾向は、潮解性物質の付着による劣化で見られる。
【００４５】
なお、有機溶剤が劣化原因の場合は、加熱クリーニングによって湿度エレメント２を回復させることができる。一方、潮解性物質が原因の場合は、加熱クリーニングを行っても湿度エレメント２を完全に回復させることはできず、完全に回復させるためには洗浄クリーニングを行う必要がある。
【００４６】
このように、湿度エレメント２が計測環境雰囲気中の有機溶剤により劣化すると湿度計測値は低い値へシフトするが、第２の露点温度算出のために湿度エレメント２が加熱されることにより有機溶剤の影響がなくなる。従って、加熱前の湿度計測値及び温度計測値から算出した第１の露点温度よりも、加熱中の湿度計測値及び温度計測値から算出した第２の露点温度の方が高くなる。そこで、実施の形態２では、劣化診断処理部２０の劣化判定部２３がこの場合の劣化因子を有機溶剤と推定する。
他方、湿度エレメント２が計測環境雰囲気中の潮解性物質により劣化すると湿度計測値は高い値へシフトするが、湿度エレメント２が加熱されることにより、このシフトはある程度抑えられるため、第１の露点温度よりも第２の露点温度の方が低くなる。そこで、劣化判定部２３が、この場合の劣化因子を潮解性物質と推定する。
【００４７】
また、劣化診断処理部２０は、第１の露点算出部２１、第２の露点算出部２２及び劣化判定部２３に加えて、図３に示す加熱制御部２４及び洗浄報知部２５を新たに備える構成とする。この加熱制御部２４は、劣化判定部２３が出力する判定結果に従って、タイマ部１０及びヒータ駆動部１１を制御して、ヒータ４に、劣化が生じていると判定された湿度エレメント２の加熱クリーニングを実施させる。また、洗浄報知部２５は、劣化判定部２３が出力する判定結果に従って、表示部１２又は出力部１３に、劣化が生じていると判定された湿度エレメント２の洗浄クリーニングを行う必要があることを表示又は出力する。
【００４８】
次に、劣化診断処理部２０の動作を説明する。図７は、実施の形態２の劣化診断処理部２０の動作を示すフローチャートであり、図５のステップＳＴ７のサブルーチンである。湿度計測装置はステップＳＴ６までの動作を上記実施の形態１と同様に行い、ステップＳＴ６において、劣化判定部２３が第１の露点温度と第２の露点温度を比較して第１の露点温度と第２の露点温度に差があり劣化が生じていると判定した場合に、図７に示すステップＳＴ７−１〜ステップＳＴ７−８の劣化判定を行う。
【００４９】
劣化判定部２３は、第１の露点温度と第２の露点温度を比較して、相対的な高低差を求める（ステップＳＴ７−１、高低差算出ステップ）。続いて、劣化判定部２３は、第１の露点温度よりも第２の露点温度の方が高い場合には有機溶剤による劣化と判断し（ステップＳＴ７−２“Ｙｅｓ”）、この劣化が加熱クリーニングが必要な程度か否か判定するために相対的高低差と第１の閾値を比較する（ステップＳＴ７−３、比較ステップ）。そして、劣化判定部２３は、第１の露点温度よりも第２の露点温度の方が高く、かつ、第１の閾値よりも相対的高低差の方が大きい場合に、通常の計測を行っている湿度エレメント２に計測環境雰囲気中の有機溶剤によりクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定して、加熱制御部２４へ有機溶剤劣化サインを出力する（ステップＳＴ７−４、劣化判定ステップ）。
【００５０】
劣化診断処理の間、湿度エレメント２ａが通常の計測を行って、湿度エレメント２ｂが加熱中だったとする。その場合、加熱制御部２４は、有機溶剤劣化サインを受け付けると、湿度エレメント２ｂの加熱を終了して放熱した後で通常の計測用に切り替える。続いて加熱制御部２４は、通常の計測を行っている湿度エレメント２ａを非計測に切り替えて、タイマ部１０及びヒータ駆動部１１を制御して加熱クリーニングを実施する（ステップＳＴ７−５、加熱クリーニングステップ）。湿度エレメントの切り替えにより、通常の計測を連続して行いつつ、劣化診断処理及び加熱クリーニングも実施できる。
なお、ステップＳＴ７−３において相対的高低差が第１の閾値未満であった場合には、劣化判定部２３が加熱クリーニングが必要な程度の劣化ではないと判定して、一連の劣化診断処理を終了する。
【００５１】
他方、第１の露点温度よりも第２の露点温度の方が低い場合には潮解性物質による劣化と判断し（ステップＳＴ７−３“Ｎｏ”）、劣化判定部２３は続いて、この劣化が洗浄クリーニングが必要な程度か否か判定するために相対的高低差と第２の閾値を比較する（ステップＳＴ７−６、比較ステップ）。そして、劣化判定部２３は、第１の露点温度よりも第２の露点温度の方が低く、かつ、第２の閾値よりも相対的高低差の方が大きい場合に、湿度エレメント２は計測環境雰囲気中の潮解性物質によりクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定して、洗浄報知部２５へ潮解性物質劣化サインを出力する（ステップＳＴ７−７、劣化判定ステップ）。
【００５２】
劣化診断処理の間、上記同様、湿度エレメント２ａが通常の計測を行って、湿度エレメント２ｂが加熱中だったとする。その場合、洗浄報知部２５は、潮解性物質劣化サインを受け付けると、表示部１２に洗浄クリーニングを行う旨を表示させるか、出力部１３から洗浄クリーニングを行う旨のデータ出力を行わせるかして、通常の計測を行っている湿度エレメント２ａについての洗浄クリーニングの必要性を報知する（ステップＳＴ７−８、洗浄報知ステップ）。このとき、洗浄報知部２５は、湿度エレメント２ｂの加熱を終了して放熱した後で通常の計測用に切り替えると共に、通常の計測を行っている湿度エレメント２ａを非計測用に切り替えた後で、湿度エレメント２ａについての洗浄クリーニングの必要性を報知してもよい。湿度エレメントの切り替えにより、通常の計測を連続して行いつつ、劣化診断処理及び洗浄クリーニングも実施できる。
なお、ステップＳＴ７−６において相対的高低差が第２の閾値未満であった場合には、劣化判定部２３が洗浄クリーニングが必要な程度の劣化ではないと判定して、一連の劣化診断処理を終了する。
【００５３】
以上のように、実施の形態２によれば、湿度エレメント２が計測環境雰囲気中の有機溶剤により劣化すると湿度計測値は低い方にシフトするが、湿度エレメント２がヒータ４に加熱されることにより有機溶剤の影響がなくなるので、第１の露点算出部２１が算出する通常計測中の第１の露点温度よりも第２の露点算出部２２が算出する加熱中の第２の露点温度の方が高くなる。これを利用して、劣化判定部２３を、第１の露点温度よりも第２の露点温度の方が高く、かつ、第１の閾値よりも第１の露点温度と第２の露点温度の相対的高低差の方が大きい場合に、計測環境雰囲気中の有機溶剤により通常計測中の湿度エレメント２にクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定するように構成した。このため、湿度センサ１の湿度エレメント２を劣化させる因子が計測環境雰囲気中の有機溶剤であると推定することができる。
【００５４】
また、劣化判定部２３が、通常計測中の湿度センサ１の湿度エレメント２に、計測環境雰囲気中の有機溶剤によりクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定した後に、加熱制御部２４が、劣化診断のために加熱していた湿度センサを通常の計測用に切り替え、劣化が生じていると判定された通常計測中の湿度センサをヒータ４によって加熱クリーニングさせるようにしたので、適切な時期に適切なクリーニングを行うことができる。
【００５５】
また、湿度エレメント２が計測環境雰囲気中の潮解性物質により劣化すると湿度計測値は高い方にシフトするが、湿度エレメント２がヒータ４に加熱されることにより潮解性物質の影響がある程度抑えられるので、第１の露点算出部２１が算出する通常計測中の第１の露点温度よりも第２の露点算出部２２が算出する加熱中の第２の露点温度の方が低くなる。これを利用して、劣化判定部２３を、第２の閾値よりも第１の露点温度と第２の露点温度の相対的高低差の方が大きい場合に、計測環境雰囲気中の潮解性物質により湿度エレメント２にクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定するように構成した。このため、湿度センサ１の湿度エレメント２を劣化させる因子が計測環境雰囲気中の潮解性物質であると推定することができる。
【００５６】
また、劣化判定部２３が、通常計測中の湿度センサ１の湿度エレメント２に、計測環境雰囲気中の潮解性物質によりクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定した後に、洗浄報知部２５が、劣化診断のために加熱していた湿度センサを通常の計測用に切り替えると共に、劣化が生じていると判定された通常計測中の湿度センサについて、加熱クリーニングよりも効果的に劣化から回復させることができる洗浄クリーニングを行うよう報知するようにしたので、適切な時期に適切なクリーニングを行うことができる。
【００５７】
なお、上記実施の形態１，２では、湿度センサ１ａと湿度センサ１ｂを通常計測用と劣化診断加熱用（非計測用）に切り替えるようにしたが、どちらか一方の湿度センサを通常計測専用（計測用）にし、他方を劣化診断専用（非計測用）に構成してもよい。例えば、湿度センサ１ａを通常計測専用にした場合、湿度センサ１ａは湿度エレメント２ａ、温度エレメント３ａ及びヒータ４ａを備えるように構成し、他方の劣化診断専用の湿度センサ１ｂは、湿度エレメント２ｂ及び温度エレメント３ｂのみ備えるように構成し、ヒータ４ｂは必要ない。
湿度計測装置は、劣化診断処理を開始すると、通常計測専用の湿度センサ１ａは通常計測を中断してヒータ４ａの加熱を行い、加熱中の相対湿度計測値及び温度計測値から第２の露点温度を算出する。湿度計測装置は、加熱中の湿度センサ１ａの計測値取得と略同時に劣化診断専用の湿度センサ１ｂの計測値も取得して、湿度センサ１ｂの計測値から第１の露点温度を算出する。第１の露点温度と第２の露点温度が一致しなければ、加熱されていない劣化診断専用の湿度センサ１ｂが真の値からずれていることになる。従って、湿度センサ１ｂと同一環境雰囲気中にある通常計測専用の湿度センサ１ａにも、劣化診断のために加熱したのである程度の劣化回復はしているにしろ、同様の劣化が生じていると推定できる。このため、上記実施の形態１，２と同様の方法によって、通常計測専用の湿度センサ１ａの劣化診断が可能となる。さらに、湿度計測装置を、劣化原因が有機溶剤であれば通常計測専用の湿度センサ１ａの加熱クリーニングを実施し、劣化原因が潮解性物質であれば通常計測専用の湿度センサ１ａに洗浄クリーニングが必要である旨を報知するように構成してもよい。
【００５８】
また、上記実施の形態１，２では、第１及び第２の露点温度を比較して劣化判定を行うようにしたが、露点温度に代えて第１及び第２の水蒸気圧を算出して比較することにより劣化判定を行うよう構成してもよい。これは、露点温度と水蒸気圧が１対１の関係にあるためである。この構成の場合でも、上記実施の形態１，２と同様の効果が得られる。
【符号の説明】
【００５９】
１ａ，１ｂ 湿度センサ
２ａ，２ｂ 湿度エレメント（感湿素子）
３ａ，３ｂ 温度エレメント（感温素子）
４ａ，４ｂ ヒータ（加熱手段）
５ 湿度入力変換部
６ 温度入力変換部
７ 入力切替部
８ Ａ／Ｄ変換部
９ 制御部
１０ タイマ部
１１ ヒータ駆動部
１２ 表示部
１３ 出力部
１４ 設定入力部
２０ 劣化診断処理部
２１ 第１の露点算出部
２２ 第２の露点算出部
２３ 劣化判定部
２４ 加熱制御部
２５ 洗浄報知部
３１ 感湿層
３２ リード線
３３ リード線
Ａ 加熱前ポイント
Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３ 加熱中ポイント
Ｃ，Ｄ シフト
【技術分野】
【０００１】
本発明は、計測環境雰囲気中に設置される湿度センサの劣化を診断する湿度センサの劣化診断方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
湿度センサには、上部電極と下部電極の間に感湿層を挿入したものを感湿素子（湿度検出素子）として用い、湿度の変化に応じてその電気抵抗値が変化する抵抗変化式、湿度の変化に応じて静電容量が変化する容量変化式などがある。
【０００３】
これら何れの方式の湿度センサも、測定現場に設置されると、測定環境に直接曝されて湿度を測定するため、測定環境の雰囲気（例えば、硫化物、有機溶剤等のガス）によって感湿素子が劣化していく。ただし、感湿素子を加熱して（加熱クリーニングと呼ぶ）、感湿素子を劣化させる原因となる雰囲気の成分を除去すれば、感湿素子をこの劣化から回復させることができることが一般的に知られている。従来、この知見を利用して、定期的に加熱クリーニングを行ったり（例えば、特許文献１参照）、湿度センサの劣化の度合いを検出して加熱クリーニングの条件（加熱温度及び加熱時間）を変更したり（例えば、特許文献２参照）していた。
【０００４】
特許文献１に開示された湿度検出装置は、加熱用ヒータを備えた湿度検知素子と、ヒータに電力を加えて湿度検知素子を一定温度に保つためのヒータ制御回路と、このヒータ制御回路に接続されて一定間隔で加熱クリーニングを開始させるタイマ回路と、湿度検知素子に接続されて湿度検知素子のインピーダンス変化を測定する発振回路とを備えて、定期的に加熱クリーニングを実施していた。
また、特許文献２に開示された湿度センサの制御装置は、上記特許文献１と同様にインピーダンス変化式の感湿素子部をヒータにより加熱して、汚れ物質を除去するものであるが、加熱クリーニングを行う場合には湿度センサの劣化に応じて加熱温度を５００〜１２００℃に設定すると共に、加熱時間を数秒〜１０分程度に設定していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平５−１７２７７６号公報
【特許文献２】特開２００３−１６６９６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の湿度センサは以上のように構成されているので、感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じていない場合にも定期的な加熱クリーニングが行われてしまい、加熱クリーニングの機会が増えて感湿素子の寿命を短くしていた。
また、感湿素子を劣化させる原因となる雰囲気の成分が有機溶剤等の場合には加熱クリーニングで成分を除去可能であるが、硫化物のような潮解性物質の場合には、感湿素子を加熱するよりも洗浄した方が効果的に除去することが可能である。しかし、従来は潮解性物質に対しても一律に加熱クリーニングを行っていたため、除去効率が落ちると共に、加熱クリーニングの機会が増えて感湿素子の寿命を短くしてしまうという課題があった。
【０００７】
また、従来の湿度センサは、感湿素子の劣化原因が有機溶剤によるものか潮解性物質によるものかを判定する構成になっていないため、劣化原因を判定する場合は分析者が現場に出向いて、分析用の器具を用いて判定する必要がある。そのため、作業が煩わしいという課題があった。
【０００８】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、湿度センサが元々備えている感湿素子、感温素子及び加熱手段を利用して、感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じているか自己診断することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１の発明に係る湿度センサの劣化診断方法は、計測環境雰囲気中に設置され、感湿素子及び感温素子を２個ずつ有して、当該２個の感湿素子を交互に計測用又は非計測用に切り替えて、一方の計測用感湿素子及び感温素子は計測期間中に相対湿度及び温度を計測すると共に、他方の非計測用感湿素子及び感温素子は一方の計測用感湿素子及び感温素子の計測期間中に加熱クリーニングを行うことが可能な加熱手段を備える湿度センサの劣化診断方法であって、計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる露点温度を第１の露点温度として求める第１の露点温度算出ステップと、加熱手段による加熱中の非計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる露点温度を第２の露点温度として求める第２の露点温度算出ステップと、第１の露点温度と第２の露点温度の差に基づいて、計測用感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じているかを判定する劣化判定ステップとからなるものである。
【００１０】
請求項２の発明に係る湿度センサの劣化診断方法は、第１の露点温度算出ステップで求めた第１の露点温度と、第２の露点温度算出ステップで求めた第２の露点温度とを比較して相対的高低差を求める高低差算出ステップと、相対的高低差と第１の閾値とを比較する比較ステップとを備え、劣化判定ステップは、第１の露点温度よりも第２の露点温度の方が高く、かつ、第１の閾値よりも相対的高低差の方が大きい場合に、計測環境雰囲気中の有機溶剤により計測用感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定するようにしたものである。
【００１１】
請求項３の発明に係る湿度センサの劣化診断方法は、劣化判定ステップで、計測用感湿素子に有機溶剤によりクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定された場合に、当該計測用感湿素子を非計測用に切り替えて加熱手段によって加熱クリーニングすると共に、他方の非計測用感湿素子を計測用に切り替えて計測を続ける加熱クリーニングステップを備えるようにしたものである。
【００１２】
請求項４の発明に係る湿度センサの劣化診断方法は、第１の露点温度算出ステップで求めた第１の露点温度と、第２の露点温度算出ステップで求めた第２の露点温度とを比較して相対的高低差を求める高低差算出ステップと、相対的高低差と第２の閾値とを比較する比較ステップとを備え、劣化判定ステップは、第１の露点温度よりも第２の露点温度の方が低く、かつ、第２の閾値よりも相対的高低差の方が大きい場合に、計測環境雰囲気中の潮解性物質により計測用感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定するようにしたものである。
【００１３】
請求項５の発明に係る湿度センサの劣化診断方法は、劣化判定ステップで、計測用感湿素子に潮解性物質によりクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定された場合に、当該計測用感湿素子を非計測用に切り替えて洗浄クリーニングを実施するよう報知すると共に、他方の非計測用感湿素子を計測用に切り替えて計測を続ける洗浄報知ステップを備えるようにしたものである。
【００１４】
請求項６の発明に係る湿度センサの劣化診断方法は、計測環境雰囲気中に設置され、相対湿度及び温度を計測する計測用感湿素子及び感温素子と、計測用感湿素子及び感温素子の非計測期間中に計測用感湿素子の加熱クリーニングを行う加熱手段と、計測用感湿素子及び感温素子の非計測期間中に相対湿度及び温度を計測する非計測用感湿素子及び感温素子とを備える湿度センサの劣化診断方法であって、非計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる露点温度を第１の露点温度として求める第１の露点温度算出ステップと、加熱手段による加熱中の計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる露点温度を第２の露点温度として求める第２の露点温度算出ステップと、第１の露点温度と第２の露点温度の差に基づいて、計測用感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じているかを判定する劣化判定ステップとからなるものである。
【００１５】
請求項７の発明に係る湿度センサの劣化診断方法は、第１の露点温度算出ステップで求めた第１の露点温度と、第２の露点温度算出ステップで求めた第２の露点温度とを比較して相対的高低差を求める高低差算出ステップと、相対的高低差と第１の閾値とを比較する比較ステップとを備え、劣化判定ステップは、第１の露点温度よりも第２の露点温度の方が高く、かつ、第１の閾値よりも相対的高低差の方が大きい場合に、計測環境雰囲気中の有機溶剤により計測用感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定するようにしたものである。
【００１６】
請求項８の発明に係る湿度センサの劣化診断方法は、劣化判定ステップで、計測用感湿素子に有機溶剤によりクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定された場合に、加熱手段によって加熱クリーニングする加熱クリーニングステップを備えるようにしたものである。
【００１７】
請求項９の発明に係る湿度センサの劣化診断方法は、第１の露点温度算出ステップで求めた第１の露点温度と、第２の露点温度算出ステップで求めた第２の露点温度とを比較して相対的高低差を求める高低差算出ステップと、相対的高低差と第２の閾値とを比較する比較ステップとを備え、劣化判定ステップは、第１の露点温度よりも第２の露点温度の方が低く、かつ、第２の閾値よりも相対的高低差の方が大きい場合に、計測環境雰囲気中の潮解性物質により計測用感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定するようにしたものである。
【００１８】
請求項１０の発明に係る湿度センサの劣化診断方法は、劣化判定ステップで、計測用感湿素子に潮解性物質によりクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定された場合に、洗浄クリーニングを実施するよう報知する洗浄報知ステップを備えるようにしたものである。
【００１９】
請求項１１の発明に係る湿度センサの劣化診断方法は、第１の露点温度の代わりに、計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる水蒸気圧を用い、かつ、第２の露点温度の代わりに、加熱手段による加熱中の非計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる水蒸気圧を用いるようにしたものである。
【００２０】
請求項１２の発明に係る湿度センサの劣化診断方法は、第１の露点温度の代わりに、非計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる水蒸気圧を用い、かつ、第２の露点温度の代わりに、加熱手段による加熱中の計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる水蒸気圧を用いるようにしたものである。
【発明の効果】
【００２１】
請求項１及び請求項６の発明によれば、通常計測中の第１の露点温度と加熱中の第２の露点温度の差に基づいて、感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じているか自己診断することができる。また、湿度センサが元々備えている感湿素子、感温素子及び加熱手段を利用して自己診断できるので、分析者及び他の分析用の器具は不要である。
【００２２】
請求項２及び請求項７の発明によれば、感湿素子が有機溶剤により劣化すると通常計測中に比べて加熱中の湿度計測値が低い方にシフトするが、感湿素子が加熱されることにより有機溶剤の影響がなくなるので通常計測中の第１の露点温度よりも加熱中の第２の露点温度の方が高くなるという傾向を判定するようにしたので、感湿素子を劣化させる因子が計測環境雰囲気中の有機溶剤であると推定することができる。
【００２３】
請求項３及び請求項８の発明によれば、感湿素子を劣化させる因子が有機溶剤であると推定された場合に加熱手段を働かせて加熱クリーニングを行うようにしたので、適切な時期に適切なクリーニングを行うことができる。
【００２４】
請求項４及び請求項９の発明によれば、感湿素子が潮解性物質により劣化すると通常計測中に比べて加熱中の湿度計測値が高い方にシフトするが、感湿素子が加熱されることにより潮解性物質の影響がある程度抑えられるので通常計測中の第１の露点温度よりも加熱中の第２の露点温度の方が低くなるという傾向を判定するようにしたので、感湿素子を劣化させる因子が計測環境雰囲気中の潮解性物質であると推定することができる。
【００２５】
請求項５及び請求項１０の発明によれば、感湿素子を劣化させる因子が潮解性物質であると推定された場合に、加熱クリーニングよりも効果的に劣化から回復させることができる洗浄クリーニングを行うよう報知するようにしたので、適切な時期に適切なクリーニングを行うことができる。
【００２６】
請求項１１及び請求項１２の発明によれば、露点温度の代わりに水蒸気圧を用いても、感湿素子の劣化を判定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】この発明の実施の形態１に係る湿度計測装置の構成を示すブロック図である。
【図２】図１に示す湿度計測装置の具体的構成例を示し、図２（ａ），（ｂ）は湿度計測装置全体の平面図、図２（ｃ）は湿度センサの側面図である。
【図３】実施の形態１の劣化診断処理部の構成を示すブロック図である。
【図４】実施の形態１の劣化診断処理部による劣化診断処理を説明する説明図である。
【図５】実施の形態１の劣化診断処理部の動作を示すフローチャートである。
【図６】この発明の実施の形態２に係る湿度計測装置の劣化判定処理を説明する説明図である。
【図７】実施の形態２の劣化診断処理部の動作を示すフローチャートであり、図５に示すステップＳＴ７のサブルーチンである。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
実施の形態１．
図１は、この発明の実施の形態１に係る湿度計測装置の構成を示すブロック図である。図１に示す湿度計測装置は、計測環境雰囲気中に設置されて相対湿度を計測する湿度センサ１ａ，１ｂを備え、この湿度センサ１ａ，１ｂの劣化診断を行うものである。図２（ａ），（ｂ）は湿度計測装置の具体的構成例を示す平面図である。湿度計測装置は、図２（ａ）に示すように装置本体と一体に湿度センサ１ａ，１ｂを備える構成であっても、図２（ｂ）に示すように装置本体と湿度センサ１ａ，１ｂとをケーブル線で接続する構成であってもよい。なお。図２（ａ），（ｂ）では湿度センサ１ａ，１ｂがカバーで覆われている。
【００２９】
湿度センサ１ａ，１ｂは、相対湿度を計測する湿度エレメント（感湿素子）２ａ，２ｂと、温度を計測する温度エレメント（感温素子）３ａ，３ｂと、湿度エレメント２ａ，２ｂを加熱クリーニングするためのヒータ（加熱手段）４ａ，４ｂとをそれぞれ備える。図２（ｃ）は湿度センサ１ａの一例を示す側面図である。図２（ｃ）に示す湿度センサ１ａは、温度エレメント３ａ及びヒータ４ａを白金抵抗素子等を用いて一体に構成しているが、別体であってもよい。この温度エレメント３ａ及びヒータ４ａが、湿度エレメント２ａの感湿面３１とは逆側の面に接着剤等で固定されている。湿度エレメント２ａはリード線３２によって湿度入力変換部５に接続して湿度検出信号を出力する。また、温度エレメント３ａ及びヒータ４ａはリード線３３によって温度入力変換部６及びヒータ駆動部１１に接続して、温度検出信号を出力すると共にヒータ駆動のための制御信号を受ける。図示は省略するが、湿度センサ１ｂも湿度センサ１ａと同様の構成である。
【００３０】
湿度入力変換部５は、湿度エレメント２ａ，２ｂが出力する湿度検出信号を電圧信号に変換し、温度入力変換部６は、温度エレメント３ａ，３ｂが出力する温度検出信号を電圧信号に変換し、入力切替部７が何れかの電圧信号を選択的にＡ／Ｄ変換部８へ出力する。Ａ／Ｄ変換部８は、アナログ信号である電圧信号をデジタル信号に変換して、制御部９へ出力する。制御部９は、湿度及び温度のデジタル信号を用いて所定の換算を行って湿度計測値（以下、単に湿度と言う場合は相対湿度を指す）及び温度計測値を求める。なお、本実施の形態ではＡ／Ｄ変換部８を湿度入力信号及び温度入力信号で兼用するために入力切替部７で入力を切り替えるように構成したが、入力切替部７を用いずそれぞれにＡ／Ｄ変換部を備えるように構成してもよい。
【００３１】
制御部９は、湿度計測装置の湿度計測及び劣化診断の処理内容を記述したプログラムを格納したメモリと、このプログラムをメモリから読み出して実行するＣＰＵから構成される。制御部９は、Ａ／Ｄ変換部８から入力される湿度計測値及び温度計測値を表示部１２に表示すると共に、出力部１３からデータ出力を行う。また、制御部９は、スイッチ等で構成された設定入力部１４をユーザが操作して設定した設定条件に応じて、例えば湿度計測を開始及び終了させたり、加熱クリーニングを実施したり、劣化診断を実施したりする。
【００３２】
タイマ部１０は、制御部９から指示された所定時間、ヒータ駆動部１１を駆動させてヒータ４を加熱させる。
【００３３】
次に、本実施の形態１に係る湿度計測装置の劣化診断処理について説明する。なお、以下の説明において、湿度センサ１ａ，１ｂを区別する必要のないときは湿度センサ１と称する。同様に、湿度エレメント２ａ，２ｂを湿度エレメント２と称し、温度エレメント３ａ，３ｂを温度エレメント３と称し、ヒータ４ａ，４ｂをヒータ４と称する。
図３は、実施の形態１に係る湿度計測装置の劣化診断処理部２０の構成を示すブロック図である。本実施の形態１の劣化診断処理部２０は第１の露点算出部２１、第２の露点算出部２２及び劣化判定部２３で構成され、加熱制御部２４及び洗浄報知部２５は含まないものとする。なお、加熱制御部２４及び洗浄報知部２５の詳細は、後述する実施の形態２で説明する。この劣化診断処理部２０は図１に示す制御部９に相当し、後述する劣化診断の処理内容を記述したプログラムをＣＰＵが実行することによって劣化診断処理部２０内部の各部として機能する。
【００３４】
図４は、実施の形態１の劣化診断処理部２０の劣化診断処理を説明する説明図である。図４に示す空気線図において、縦軸は水蒸気圧を示し、横軸は温度を示し、空気線図中には相対湿度５％、７．９％、１０％、５０％及び１００％の飽和水蒸気圧曲線を示す。露点温度（適宜、露点とも称す）は、相対湿度と温度から求めることができ、圧力変化のない環境で加湿及び除湿が行われない場合、相対湿度又は温度が変化しても露点が一定であることは周知の通りである。例えば、図４の相対湿度５０％、温度２５℃の加熱前ポイントＡにおいては、露点は１３．９℃となる。この状態で湿度エレメント２をヒータ４で加熱し、湿度エレメント２の温度を６０℃まで上昇させたとする。このとき、湿度エレメント２の計測する湿度計測値は７．９％になり、露点演算値は湿度エレメント２を加湿する前の１３．９℃と同じ値になるはずである（加熱中ポイントＢ１）。これは、湿度エレメント２加熱前後で露点は変わっていない（即ち空気中の水分量は変化していない）ためである。
【００３５】
一般的に、湿度エレメント２は環境の影響を受けて劣化しやすく、特に有機溶剤及び潮解性物質（例えば硫化物）の付着等により湿度計測値がシフトする。よって、湿度エレメント２は温度エレメント３に比べて劣化しやすい。このことから、露点の値が加熱前後で変化している場合、原因は温度エレメント３の劣化ではなく湿度エレメント２の劣化であると推定できる。
湿度エレメント２が薬品等により劣化しており、出力が高めにシフトしている場合、加熱前後の露点は一致せず、加熱前の露点に比べて加熱中の露点が高くなる。例えば、湿度エレメント２の温度を加熱前ポイントＡの２５℃から６０℃まで上昇させると、劣化によって湿度計測値が７．９％より高い１０％にシフトしているために、加熱前ポイントＡの露点に比べて加熱中ポイントＢ２の露点が高くなる。
同様に、湿度エレメント２が薬品等により劣化しており、出力が高めにシフトしている場合、加熱前後の露点は一致せず、加熱前の露点に比べて加熱中の露点が低くなる。例えば、湿度エレメント２の温度を加熱前ポイントＡの２５℃から６０℃まで上昇させると、劣化によって湿度計測値が７．９％より低い５％にシフトしているために、加熱前ポイントＡの露点に比べて加熱中ポイントＢ３の露点が低くなる。
【００３６】
このように、加熱前の露点と加熱中の露点を比較することにより、湿度エレメント２の湿度計測値が高くなっているか低くなっているかがわかり、湿度エレメント２の劣化を判定することができる。本実施の形態では、加熱前ポイントＡ及び加熱中ポイントＢ１（又はＢ２，Ｂ３）を湿度センサ１ａ，１ｂで同時に計測する。そして、加熱前ポイントＡの露点に相当する第１の露点温度を第１の露点算出部２１が算出し、加熱中ポイントＢ１，Ｂ２，Ｂ３の露点に相当する第２の露点温度を第２の露点算出部２２が算出する。そして、劣化判定部２３が、第１の露点温度と第２の露点温度を比較して、湿度エレメント２の劣化有無を判定する。なお、劣化診断処理における加熱は、加熱クリーニングのための加熱に比べて低温で足りるため、湿度エレメント２に加熱クリーニングほどの劣化を与えない。
【００３７】
次に、劣化診断処理部２０の動作を説明する。図５は、劣化診断処理部２０の動作を示すフローチャートである。劣化診断処理は、制御部９がユーザから開始の指示を受けて開始してもよいし、制御部９が定期的に開始してもよい。劣化診断処理が開始されると、先ず、湿度センサ１ａ（計測用感湿素子及び感温素子）によって計測された計測雰囲気中の湿度計測値及び温度計測値を、第１の露点算出部２１が取得する（ステップＳＴ１）。また、制御部９がヒータ４ｂによって湿度エレメント２ｂを所定温度（例えば６０℃）に加熱し、第２の露点算出部２２が湿度センサ１ｂ（非計測用感湿素子及び感温素子）の計測した湿度計測値及び温度計測値を取得する（ステップＳＴ２）。ステップＳＴ１及びステップＳＴ２はどちらが先でもよいし、あるいは、湿度測定装置が湿度入力変換部５、温度入力変換部６、入力切替部７及びＡ／Ｄ変換部８を湿度センサ１ａ，１ｂ毎に備えている場合にはステップＳＴ１及びステップＳＴ２を同時に行ってもよい。
【００３８】
続いて、第１の露点算出部２１がステップＳＴ１で取得した湿度センサ１ａの湿度計測値及び温度計測値から第１の露点温度を算出し（ステップＳＴ４、第１の露点温度算出ステップ）、第２の露点算出部２２がステップＳＴ３で取得した加熱中の湿度センサ１ｂの湿度計測値及び温度計測値から第２の露点温度を算出する（ステップＳＴ５、第２の露点温度算出ステップ）。続いて、劣化判定部２３が、第１の露点温度と第２の露点温度を比較して（ステップＳＴ６、劣化判定ステップ）、差がなければ（ステップＳＴ６“Ｙｅｓ”）、湿度エレメント２は劣化していないと判断して劣化診断処理を終了する。なお、第１の露点温度と第２の露点温度は完全に一致した場合だけでなく略一致であってもよい。
【００３９】
他方、第１の露点温度と第２の露点温度に差があれば（ステップＳＴ６“Ｎｏ”）、劣化判定部２３がステップＳＴ７の劣化判定処理で、湿度エレメント２が劣化していることを示す判定結果を表示部１２又は出力部１３へ出力する。湿度センサ１ａ，１ｂは同じ計測環境雰囲気中に置かれているので、相対湿度及び温度が変化しても湿度センサ１ａ，１ｂの計測値も同じ様に推移するため、第１の露点温度及び第２の露点温度も同じになるはずである。しかし、湿度エレメント２ａが雰囲気中の成分により劣化した場合には、求められる第１の露点温度は真の値からずれが生じる。これに対して、湿度エレメント２ｂは加熱により劣化状態が回復しているので、求められる第２の露点温度は真の値に近く、第１の露点温度と第２の露点温度との差が加熱していない湿度エレメント２ａの劣化の程度を示すことになる。従って、加熱していない湿度エレメント２ａにクリーニングが必要な程度の劣化が生じているかを自己診断することができる。
【００４０】
なお、ステップＳＴ７の劣化判定処理において、劣化判定部２３が湿度エレメント２の湿度計測値が高い値にシフトしているか、低い値にシフトしているかを判断して、判定結果に含めてもよい。また、劣化の判定結果を受けて、制御部９がタイマ部１０及びヒータ駆動部１１を制御してヒータ４に加熱クリーニングを実施させてもよい。
【００４１】
また、加熱する湿度エレメントを、湿度エレメント２ｂから湿度エレメント２ａに切り替えて一連の劣化診断処理を行えば、湿度エレメント２ａに劣化が生じているかを自己診断することができる。また、劣化診断処理のためにどちらか一方の湿度センサの通常の計測を中断して加熱しても、他方の湿度センサは通常の計測を続行させておくことができるため、途切れることなく連続して湿度計測を実施可能である。
【００４２】
以上のように、実施の形態１によれば、計測雰囲気中に設置され、湿度エレメント２ａ，２ｂ及び温度エレメント３ａ，３ｂを有して、当該２個の湿度エレメント２ａ，２ｂを交互に計測用又は非計測用に切り替えて、一方の計測用湿度エレメント及び温度エレメントは計測期間中に相対湿度及び温度を計測すると共に、他方の非計測用湿度エレメント及び温度エレメントは前記一方の計測用湿度エレメント及び温度エレメントの計測期間中に加熱クリーニングを行うことが可能なヒータ４ａ，４ｂを備える湿度センサの劣化診断方法であって、湿度計測装置の第１の露点算出部２１が、計測用湿度エレメント及び温度エレメントの計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる露点温度を第１の露点温度として求める第１の露点温度算出ステップと、第２の露点算出部２２が、ヒータ４ａ又はヒータ４ｂによる加熱中の非計測用湿度エレメント及び温度エレメントの計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる露点温度を第２の露点温度として求める第２の露点温度算出ステップと、劣化判定部２３が、第１の露点温度と第２の露点温度の差に基づいて、計測用湿度エレメントにクリーニングが必要な程度の劣化が生じているかを判定する劣化判定ステップを行うように構成した。２個の湿度エレメント２は同一計測環境雰囲気に置かれているので、相対湿度及び温度が変化しても露点温度は同じはずであるが、計測用の湿度エレメント２は雰囲気中の成分により劣化し、求められる第１の露点温度は真の値からずれが生じるのに対し、非計測用の湿度エレメント２は加熱により劣化状態が回復しているので求められる第２の露点温度は真の値に近く、第１の露点温度と第２の露点温度との差は計測用の湿度エレメント２の劣化の程度を示しているので、計測用の湿度エレメント２にクリーニングが必要な程度の劣化が生じているかを自己診断することができる。また、湿度センサ１に元々備えられた部材である湿度エレメント２、温度エレメント３及びヒータ４を利用して、自己の劣化診断が可能であり、分析者及び他の分析用の器具は不要である。
【００４３】
実施の形態２．
本実施の形態においても、図１〜５を援用して、湿度計測装置による湿度センサ１ａ，１ｂの劣化診断方法を説明する。以下の説明においても、上記実施の形態１と同様に、湿度センサ１ａ，１ｂを区別する必要がないときは湿度センサ１と称することとし、湿度センサ１内の各部についても同様とする。
上記実施の形態１で説明した通り、湿度エレメント２は計測環境雰囲気の影響を受けて劣化しやすく、特に有機溶剤及び潮解性物質の付着等により湿度計測値がシフトする。そこで、本実施の形態２では、このシフトの性質を利用して、湿度エレメント２の劣化原因が有機溶剤か潮解性物質かを判定する。
【００４４】
加熱前の露点と比較して加熱中の露点が高くなっている場合、即ち図４に示す加熱前ポイントＡから加熱中ポイントＢ１に移行した場合、湿度エレメント２の劣化によって、湿度計測値が加熱前に低く計測されていたか、加熱中に低く計測されていたことになる。通常、加熱すると相対湿度は下がることから、加熱中の相対湿度計測は加熱前より低湿側で行われていることになる。そこで、横軸に相対的な基準湿度をとり、縦軸に加熱前後の湿度計測値のシフト量をとったグラフを図６に示す。図６に示すシフトＣ、即ち高湿側よりも低湿側のシフト量が大きくなる傾向は、有機溶剤による劣化で見られる。
同様に、加熱前の露点と比較して加熱中の露点が低くなっている場合、即ち図４に示す加熱前ポイントＡから加熱中ポイントＢ３に移行した場合、湿度エレメント２の劣化によって、湿度計測値が加熱前に高く計測されていたか、加熱中に低く計測されていたことになる。図６に示すシフトＤ、即ち高湿側より低湿側のシフト量が小さくなる傾向は、潮解性物質の付着による劣化で見られる。
【００４５】
なお、有機溶剤が劣化原因の場合は、加熱クリーニングによって湿度エレメント２を回復させることができる。一方、潮解性物質が原因の場合は、加熱クリーニングを行っても湿度エレメント２を完全に回復させることはできず、完全に回復させるためには洗浄クリーニングを行う必要がある。
【００４６】
このように、湿度エレメント２が計測環境雰囲気中の有機溶剤により劣化すると湿度計測値は低い値へシフトするが、第２の露点温度算出のために湿度エレメント２が加熱されることにより有機溶剤の影響がなくなる。従って、加熱前の湿度計測値及び温度計測値から算出した第１の露点温度よりも、加熱中の湿度計測値及び温度計測値から算出した第２の露点温度の方が高くなる。そこで、実施の形態２では、劣化診断処理部２０の劣化判定部２３がこの場合の劣化因子を有機溶剤と推定する。
他方、湿度エレメント２が計測環境雰囲気中の潮解性物質により劣化すると湿度計測値は高い値へシフトするが、湿度エレメント２が加熱されることにより、このシフトはある程度抑えられるため、第１の露点温度よりも第２の露点温度の方が低くなる。そこで、劣化判定部２３が、この場合の劣化因子を潮解性物質と推定する。
【００４７】
また、劣化診断処理部２０は、第１の露点算出部２１、第２の露点算出部２２及び劣化判定部２３に加えて、図３に示す加熱制御部２４及び洗浄報知部２５を新たに備える構成とする。この加熱制御部２４は、劣化判定部２３が出力する判定結果に従って、タイマ部１０及びヒータ駆動部１１を制御して、ヒータ４に、劣化が生じていると判定された湿度エレメント２の加熱クリーニングを実施させる。また、洗浄報知部２５は、劣化判定部２３が出力する判定結果に従って、表示部１２又は出力部１３に、劣化が生じていると判定された湿度エレメント２の洗浄クリーニングを行う必要があることを表示又は出力する。
【００４８】
次に、劣化診断処理部２０の動作を説明する。図７は、実施の形態２の劣化診断処理部２０の動作を示すフローチャートであり、図５のステップＳＴ７のサブルーチンである。湿度計測装置はステップＳＴ６までの動作を上記実施の形態１と同様に行い、ステップＳＴ６において、劣化判定部２３が第１の露点温度と第２の露点温度を比較して第１の露点温度と第２の露点温度に差があり劣化が生じていると判定した場合に、図７に示すステップＳＴ７−１〜ステップＳＴ７−８の劣化判定を行う。
【００４９】
劣化判定部２３は、第１の露点温度と第２の露点温度を比較して、相対的な高低差を求める（ステップＳＴ７−１、高低差算出ステップ）。続いて、劣化判定部２３は、第１の露点温度よりも第２の露点温度の方が高い場合には有機溶剤による劣化と判断し（ステップＳＴ７−２“Ｙｅｓ”）、この劣化が加熱クリーニングが必要な程度か否か判定するために相対的高低差と第１の閾値を比較する（ステップＳＴ７−３、比較ステップ）。そして、劣化判定部２３は、第１の露点温度よりも第２の露点温度の方が高く、かつ、第１の閾値よりも相対的高低差の方が大きい場合に、通常の計測を行っている湿度エレメント２に計測環境雰囲気中の有機溶剤によりクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定して、加熱制御部２４へ有機溶剤劣化サインを出力する（ステップＳＴ７−４、劣化判定ステップ）。
【００５０】
劣化診断処理の間、湿度エレメント２ａが通常の計測を行って、湿度エレメント２ｂが加熱中だったとする。その場合、加熱制御部２４は、有機溶剤劣化サインを受け付けると、湿度エレメント２ｂの加熱を終了して放熱した後で通常の計測用に切り替える。続いて加熱制御部２４は、通常の計測を行っている湿度エレメント２ａを非計測に切り替えて、タイマ部１０及びヒータ駆動部１１を制御して加熱クリーニングを実施する（ステップＳＴ７−５、加熱クリーニングステップ）。湿度エレメントの切り替えにより、通常の計測を連続して行いつつ、劣化診断処理及び加熱クリーニングも実施できる。
なお、ステップＳＴ７−３において相対的高低差が第１の閾値未満であった場合には、劣化判定部２３が加熱クリーニングが必要な程度の劣化ではないと判定して、一連の劣化診断処理を終了する。
【００５１】
他方、第１の露点温度よりも第２の露点温度の方が低い場合には潮解性物質による劣化と判断し（ステップＳＴ７−３“Ｎｏ”）、劣化判定部２３は続いて、この劣化が洗浄クリーニングが必要な程度か否か判定するために相対的高低差と第２の閾値を比較する（ステップＳＴ７−６、比較ステップ）。そして、劣化判定部２３は、第１の露点温度よりも第２の露点温度の方が低く、かつ、第２の閾値よりも相対的高低差の方が大きい場合に、湿度エレメント２は計測環境雰囲気中の潮解性物質によりクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定して、洗浄報知部２５へ潮解性物質劣化サインを出力する（ステップＳＴ７−７、劣化判定ステップ）。
【００５２】
劣化診断処理の間、上記同様、湿度エレメント２ａが通常の計測を行って、湿度エレメント２ｂが加熱中だったとする。その場合、洗浄報知部２５は、潮解性物質劣化サインを受け付けると、表示部１２に洗浄クリーニングを行う旨を表示させるか、出力部１３から洗浄クリーニングを行う旨のデータ出力を行わせるかして、通常の計測を行っている湿度エレメント２ａについての洗浄クリーニングの必要性を報知する（ステップＳＴ７−８、洗浄報知ステップ）。このとき、洗浄報知部２５は、湿度エレメント２ｂの加熱を終了して放熱した後で通常の計測用に切り替えると共に、通常の計測を行っている湿度エレメント２ａを非計測用に切り替えた後で、湿度エレメント２ａについての洗浄クリーニングの必要性を報知してもよい。湿度エレメントの切り替えにより、通常の計測を連続して行いつつ、劣化診断処理及び洗浄クリーニングも実施できる。
なお、ステップＳＴ７−６において相対的高低差が第２の閾値未満であった場合には、劣化判定部２３が洗浄クリーニングが必要な程度の劣化ではないと判定して、一連の劣化診断処理を終了する。
【００５３】
以上のように、実施の形態２によれば、湿度エレメント２が計測環境雰囲気中の有機溶剤により劣化すると湿度計測値は低い方にシフトするが、湿度エレメント２がヒータ４に加熱されることにより有機溶剤の影響がなくなるので、第１の露点算出部２１が算出する通常計測中の第１の露点温度よりも第２の露点算出部２２が算出する加熱中の第２の露点温度の方が高くなる。これを利用して、劣化判定部２３を、第１の露点温度よりも第２の露点温度の方が高く、かつ、第１の閾値よりも第１の露点温度と第２の露点温度の相対的高低差の方が大きい場合に、計測環境雰囲気中の有機溶剤により通常計測中の湿度エレメント２にクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定するように構成した。このため、湿度センサ１の湿度エレメント２を劣化させる因子が計測環境雰囲気中の有機溶剤であると推定することができる。
【００５４】
また、劣化判定部２３が、通常計測中の湿度センサ１の湿度エレメント２に、計測環境雰囲気中の有機溶剤によりクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定した後に、加熱制御部２４が、劣化診断のために加熱していた湿度センサを通常の計測用に切り替え、劣化が生じていると判定された通常計測中の湿度センサをヒータ４によって加熱クリーニングさせるようにしたので、適切な時期に適切なクリーニングを行うことができる。
【００５５】
また、湿度エレメント２が計測環境雰囲気中の潮解性物質により劣化すると湿度計測値は高い方にシフトするが、湿度エレメント２がヒータ４に加熱されることにより潮解性物質の影響がある程度抑えられるので、第１の露点算出部２１が算出する通常計測中の第１の露点温度よりも第２の露点算出部２２が算出する加熱中の第２の露点温度の方が低くなる。これを利用して、劣化判定部２３を、第２の閾値よりも第１の露点温度と第２の露点温度の相対的高低差の方が大きい場合に、計測環境雰囲気中の潮解性物質により湿度エレメント２にクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定するように構成した。このため、湿度センサ１の湿度エレメント２を劣化させる因子が計測環境雰囲気中の潮解性物質であると推定することができる。
【００５６】
また、劣化判定部２３が、通常計測中の湿度センサ１の湿度エレメント２に、計測環境雰囲気中の潮解性物質によりクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定した後に、洗浄報知部２５が、劣化診断のために加熱していた湿度センサを通常の計測用に切り替えると共に、劣化が生じていると判定された通常計測中の湿度センサについて、加熱クリーニングよりも効果的に劣化から回復させることができる洗浄クリーニングを行うよう報知するようにしたので、適切な時期に適切なクリーニングを行うことができる。
【００５７】
なお、上記実施の形態１，２では、湿度センサ１ａと湿度センサ１ｂを通常計測用と劣化診断加熱用（非計測用）に切り替えるようにしたが、どちらか一方の湿度センサを通常計測専用（計測用）にし、他方を劣化診断専用（非計測用）に構成してもよい。例えば、湿度センサ１ａを通常計測専用にした場合、湿度センサ１ａは湿度エレメント２ａ、温度エレメント３ａ及びヒータ４ａを備えるように構成し、他方の劣化診断専用の湿度センサ１ｂは、湿度エレメント２ｂ及び温度エレメント３ｂのみ備えるように構成し、ヒータ４ｂは必要ない。
湿度計測装置は、劣化診断処理を開始すると、通常計測専用の湿度センサ１ａは通常計測を中断してヒータ４ａの加熱を行い、加熱中の相対湿度計測値及び温度計測値から第２の露点温度を算出する。湿度計測装置は、加熱中の湿度センサ１ａの計測値取得と略同時に劣化診断専用の湿度センサ１ｂの計測値も取得して、湿度センサ１ｂの計測値から第１の露点温度を算出する。第１の露点温度と第２の露点温度が一致しなければ、加熱されていない劣化診断専用の湿度センサ１ｂが真の値からずれていることになる。従って、湿度センサ１ｂと同一環境雰囲気中にある通常計測専用の湿度センサ１ａにも、劣化診断のために加熱したのである程度の劣化回復はしているにしろ、同様の劣化が生じていると推定できる。このため、上記実施の形態１，２と同様の方法によって、通常計測専用の湿度センサ１ａの劣化診断が可能となる。さらに、湿度計測装置を、劣化原因が有機溶剤であれば通常計測専用の湿度センサ１ａの加熱クリーニングを実施し、劣化原因が潮解性物質であれば通常計測専用の湿度センサ１ａに洗浄クリーニングが必要である旨を報知するように構成してもよい。
【００５８】
また、上記実施の形態１，２では、第１及び第２の露点温度を比較して劣化判定を行うようにしたが、露点温度に代えて第１及び第２の水蒸気圧を算出して比較することにより劣化判定を行うよう構成してもよい。これは、露点温度と水蒸気圧が１対１の関係にあるためである。この構成の場合でも、上記実施の形態１，２と同様の効果が得られる。
【符号の説明】
【００５９】
１ａ，１ｂ 湿度センサ
２ａ，２ｂ 湿度エレメント（感湿素子）
３ａ，３ｂ 温度エレメント（感温素子）
４ａ，４ｂ ヒータ（加熱手段）
５ 湿度入力変換部
６ 温度入力変換部
７ 入力切替部
８ Ａ／Ｄ変換部
９ 制御部
１０ タイマ部
１１ ヒータ駆動部
１２ 表示部
１３ 出力部
１４ 設定入力部
２０ 劣化診断処理部
２１ 第１の露点算出部
２２ 第２の露点算出部
２３ 劣化判定部
２４ 加熱制御部
２５ 洗浄報知部
３１ 感湿層
３２ リード線
３３ リード線
Ａ 加熱前ポイント
Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３ 加熱中ポイント
Ｃ，Ｄ シフト
【特許請求の範囲】
【請求項１】
計測環境雰囲気中に設置され、感湿素子及び感温素子を２個ずつ有して、当該２個の感湿素子を交互に計測用又は非計測用に切り替えて、一方の計測用感湿素子及び感温素子は計測期間中に相対湿度及び温度を計測すると共に、他方の非計測用感湿素子及び感温素子は前記一方の計測用感湿素子及び感温素子の計測期間中に加熱クリーニングを行うことが可能な加熱手段を備える湿度センサの劣化診断方法であって、
前記計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる露点温度を第１の露点温度として求める第１の露点温度算出ステップと、
前記加熱手段による加熱中の前記非計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる露点温度を第２の露点温度として求める第２の露点温度算出ステップと、
前記第１の露点温度と前記第２の露点温度の差に基づいて、前記計測用感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じているかを判定する劣化判定ステップとからなる湿度センサの劣化診断方法。
【請求項２】
請求項１に記載の湿度センサの劣化診断方法において、
第１の露点温度算出ステップで求めた第１の露点温度と、第２の露点温度算出ステップで求めた第２の露点温度とを比較して相対的高低差を求める高低差算出ステップと、
前記相対的高低差と第１の閾値とを比較する比較ステップとを備え、
劣化判定ステップは、前記第１の露点温度よりも前記第２の露点温度の方が高く、かつ、前記第１の閾値よりも前記相対的高低差の方が大きい場合に、計測環境雰囲気中の有機溶剤により計測用感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定することを特徴とする湿度センサの劣化診断方法。
【請求項３】
請求項２に記載の湿度センサの劣化診断方法において、
劣化判定ステップで、計測用感湿素子に有機溶剤によりクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定された場合に、当該計測用感湿素子を非計測用に切り替えて加熱手段によって加熱クリーニングすると共に、他方の非計測用感湿素子を計測用に切り替えて計測を続ける加熱クリーニングステップを備えることを特徴とする湿度センサの劣化診断方法。
【請求項４】
請求項１に記載の湿度センサの劣化診断方法において、
第１の露点温度算出ステップで求めた第１の露点温度と、第２の露点温度算出ステップで求めた第２の露点温度とを比較して相対的高低差を求める高低差算出ステップと、
前記相対的高低差と第２の閾値とを比較する比較ステップとを備え、
劣化判定ステップは、前記第１の露点温度よりも前記第２の露点温度の方が低く、かつ、前記第２の閾値よりも前記相対的高低差の方が大きい場合に、計測環境雰囲気中の潮解性物質により計測用感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定することを特徴とする湿度センサの劣化診断方法。
【請求項５】
請求項４に記載の湿度センサの劣化診断方法において、
劣化判定ステップで、計測用感湿素子に潮解性物質によりクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定された場合に、当該計測用感湿素子を非計測用に切り替えて洗浄クリーニングを実施するよう報知すると共に、他方の非計測用感湿素子を計測用に切り替えて計測を続ける洗浄報知ステップを備えることを特徴とする湿度センサの劣化診断方法。
【請求項６】
計測環境雰囲気中に設置され、
相対湿度及び温度を計測する計測用感湿素子及び感温素子と、
前記計測用感湿素子及び感温素子の非計測期間中に前記計測用感湿素子の加熱クリーニングを行う加熱手段と、
前記計測用感湿素子及び感温素子の非計測期間中に相対湿度及び温度を計測する非計測用感湿素子及び感温素子とを備える湿度センサの劣化診断方法であって、
前記非計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる露点温度を第１の露点温度として求める第１の露点温度算出ステップと、
前記加熱手段による加熱中の前記計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる露点温度を第２の露点温度として求める第２の露点温度算出ステップと、
前記第１の露点温度と前記第２の露点温度の差に基づいて、前記計測用感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じているかを判定する劣化判定ステップとからなる湿度センサの劣化診断方法。
【請求項７】
請求項６に記載の湿度センサの劣化診断方法において、
第１の露点温度算出ステップで求めた第１の露点温度と、第２の露点温度算出ステップで求めた第２の露点温度とを比較して相対的高低差を求める高低差算出ステップと、
前記相対的高低差と第１の閾値とを比較する比較ステップとを備え、
劣化判定ステップは、前記第１の露点温度よりも前記第２の露点温度の方が高く、かつ、前記第１の閾値よりも前記相対的高低差の方が大きい場合に、計測環境雰囲気中の有機溶剤により計測用感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定することを特徴とする湿度センサの劣化診断方法。
【請求項８】
請求項７に記載の湿度センサの劣化診断方法において、
劣化判定ステップで、計測用感湿素子に有機溶剤によりクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定された場合に、加熱手段によって加熱クリーニングする加熱クリーニングステップを備えることを特徴とする湿度センサの劣化診断方法。
【請求項９】
請求項６に記載の湿度センサの劣化診断方法において、
第１の露点温度算出ステップで求めた第１の露点温度と、第２の露点温度算出ステップで求めた第２の露点温度とを比較して相対的高低差を求める高低差算出ステップと、
前記相対的高低差と第２の閾値とを比較する比較ステップとを備え、
劣化判定ステップは、前記第１の露点温度よりも前記第２の露点温度の方が低く、かつ、前記第２の閾値よりも前記相対的高低差の方が大きい場合に、計測環境雰囲気中の潮解性物質により計測用感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定することを特徴とする湿度センサの劣化診断方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の湿度センサの劣化診断方法において、
劣化判定ステップで、計測用感湿素子に潮解性物質によりクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定された場合に、洗浄クリーニングを実施するよう報知する洗浄報知ステップを備えることを特徴とする湿度センサの劣化診断方法。
【請求項１１】
請求項１から請求項５のうちのいずれか１項記載の湿度センサの劣化診断方法において、
第１の露点温度の代わりに、計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる水蒸気圧を用い、かつ、第２の露点温度の代わりに、加熱手段による加熱中の非計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる水蒸気圧を用いることを特徴とする湿度センサの劣化診断方法。
【請求項１２】
請求項６から請求項１０のうちのいずれか１項記載の湿度センサの劣化診断方法において、
第１の露点温度の代わりに、非計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる水蒸気圧を用い、かつ、第２の露点温度の代わりに、加熱手段による加熱中の計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる水蒸気圧を用いることを特徴とする湿度センサの劣化診断方法。
【請求項１】
計測環境雰囲気中に設置され、感湿素子及び感温素子を２個ずつ有して、当該２個の感湿素子を交互に計測用又は非計測用に切り替えて、一方の計測用感湿素子及び感温素子は計測期間中に相対湿度及び温度を計測すると共に、他方の非計測用感湿素子及び感温素子は前記一方の計測用感湿素子及び感温素子の計測期間中に加熱クリーニングを行うことが可能な加熱手段を備える湿度センサの劣化診断方法であって、
前記計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる露点温度を第１の露点温度として求める第１の露点温度算出ステップと、
前記加熱手段による加熱中の前記非計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる露点温度を第２の露点温度として求める第２の露点温度算出ステップと、
前記第１の露点温度と前記第２の露点温度の差に基づいて、前記計測用感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じているかを判定する劣化判定ステップとからなる湿度センサの劣化診断方法。
【請求項２】
請求項１に記載の湿度センサの劣化診断方法において、
第１の露点温度算出ステップで求めた第１の露点温度と、第２の露点温度算出ステップで求めた第２の露点温度とを比較して相対的高低差を求める高低差算出ステップと、
前記相対的高低差と第１の閾値とを比較する比較ステップとを備え、
劣化判定ステップは、前記第１の露点温度よりも前記第２の露点温度の方が高く、かつ、前記第１の閾値よりも前記相対的高低差の方が大きい場合に、計測環境雰囲気中の有機溶剤により計測用感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定することを特徴とする湿度センサの劣化診断方法。
【請求項３】
請求項２に記載の湿度センサの劣化診断方法において、
劣化判定ステップで、計測用感湿素子に有機溶剤によりクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定された場合に、当該計測用感湿素子を非計測用に切り替えて加熱手段によって加熱クリーニングすると共に、他方の非計測用感湿素子を計測用に切り替えて計測を続ける加熱クリーニングステップを備えることを特徴とする湿度センサの劣化診断方法。
【請求項４】
請求項１に記載の湿度センサの劣化診断方法において、
第１の露点温度算出ステップで求めた第１の露点温度と、第２の露点温度算出ステップで求めた第２の露点温度とを比較して相対的高低差を求める高低差算出ステップと、
前記相対的高低差と第２の閾値とを比較する比較ステップとを備え、
劣化判定ステップは、前記第１の露点温度よりも前記第２の露点温度の方が低く、かつ、前記第２の閾値よりも前記相対的高低差の方が大きい場合に、計測環境雰囲気中の潮解性物質により計測用感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定することを特徴とする湿度センサの劣化診断方法。
【請求項５】
請求項４に記載の湿度センサの劣化診断方法において、
劣化判定ステップで、計測用感湿素子に潮解性物質によりクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定された場合に、当該計測用感湿素子を非計測用に切り替えて洗浄クリーニングを実施するよう報知すると共に、他方の非計測用感湿素子を計測用に切り替えて計測を続ける洗浄報知ステップを備えることを特徴とする湿度センサの劣化診断方法。
【請求項６】
計測環境雰囲気中に設置され、
相対湿度及び温度を計測する計測用感湿素子及び感温素子と、
前記計測用感湿素子及び感温素子の非計測期間中に前記計測用感湿素子の加熱クリーニングを行う加熱手段と、
前記計測用感湿素子及び感温素子の非計測期間中に相対湿度及び温度を計測する非計測用感湿素子及び感温素子とを備える湿度センサの劣化診断方法であって、
前記非計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる露点温度を第１の露点温度として求める第１の露点温度算出ステップと、
前記加熱手段による加熱中の前記計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる露点温度を第２の露点温度として求める第２の露点温度算出ステップと、
前記第１の露点温度と前記第２の露点温度の差に基づいて、前記計測用感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じているかを判定する劣化判定ステップとからなる湿度センサの劣化診断方法。
【請求項７】
請求項６に記載の湿度センサの劣化診断方法において、
第１の露点温度算出ステップで求めた第１の露点温度と、第２の露点温度算出ステップで求めた第２の露点温度とを比較して相対的高低差を求める高低差算出ステップと、
前記相対的高低差と第１の閾値とを比較する比較ステップとを備え、
劣化判定ステップは、前記第１の露点温度よりも前記第２の露点温度の方が高く、かつ、前記第１の閾値よりも前記相対的高低差の方が大きい場合に、計測環境雰囲気中の有機溶剤により計測用感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定することを特徴とする湿度センサの劣化診断方法。
【請求項８】
請求項７に記載の湿度センサの劣化診断方法において、
劣化判定ステップで、計測用感湿素子に有機溶剤によりクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定された場合に、加熱手段によって加熱クリーニングする加熱クリーニングステップを備えることを特徴とする湿度センサの劣化診断方法。
【請求項９】
請求項６に記載の湿度センサの劣化診断方法において、
第１の露点温度算出ステップで求めた第１の露点温度と、第２の露点温度算出ステップで求めた第２の露点温度とを比較して相対的高低差を求める高低差算出ステップと、
前記相対的高低差と第２の閾値とを比較する比較ステップとを備え、
劣化判定ステップは、前記第１の露点温度よりも前記第２の露点温度の方が低く、かつ、前記第２の閾値よりも前記相対的高低差の方が大きい場合に、計測環境雰囲気中の潮解性物質により計測用感湿素子にクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定することを特徴とする湿度センサの劣化診断方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の湿度センサの劣化診断方法において、
劣化判定ステップで、計測用感湿素子に潮解性物質によりクリーニングが必要な程度の劣化が生じていると判定された場合に、洗浄クリーニングを実施するよう報知する洗浄報知ステップを備えることを特徴とする湿度センサの劣化診断方法。
【請求項１１】
請求項１から請求項５のうちのいずれか１項記載の湿度センサの劣化診断方法において、
第１の露点温度の代わりに、計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる水蒸気圧を用い、かつ、第２の露点温度の代わりに、加熱手段による加熱中の非計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる水蒸気圧を用いることを特徴とする湿度センサの劣化診断方法。
【請求項１２】
請求項６から請求項１０のうちのいずれか１項記載の湿度センサの劣化診断方法において、
第１の露点温度の代わりに、非計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる水蒸気圧を用い、かつ、第２の露点温度の代わりに、加熱手段による加熱中の計測用感湿素子及び感温素子の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度の計測値に基づき得られる水蒸気圧を用いることを特徴とする湿度センサの劣化診断方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１０−２３７１３０（Ｐ２０１０−２３７１３０Ａ）
【公開日】平成２２年１０月２１日（２０１０．１０．２１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−８７２０２（Ｐ２００９−８７２０２）
【出願日】平成２１年３月３１日（２００９．３．３１）
【出願人】（０００００６６６６）株式会社山武 (1,808)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１０月２１日（２０１０．１０．２１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年３月３１日（２００９．３．３１）
【出願人】（０００００６６６６）株式会社山武 (1,808)
【Ｆターム（参考）】
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