発光装置及びその製造方法、並びに、光書き込みヘッド、電気光学装置、及び画像形成装置
【課題】 ほぼ均一な膜厚の発光層を備える発光装置及びその製造方法、並びに、当該発光装置を備える光書き込みヘッド、電気光学装置、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】 発光素子アレイ２２は、画素電極２７、発光層２８、及び陰極２９を含んでなる複数の有機ＥＬ素子２４を備えており、これら有機ＥＬ素子２４はバンク２５によって囲まれている。有機ＥＬ素子２４は、バンク２５をなす撥液性バンク２５ｂと少なくとも３μｍ以上離間して形成されている。
【解決手段】 発光素子アレイ２２は、画素電極２７、発光層２８、及び陰極２９を含んでなる複数の有機ＥＬ素子２４を備えており、これら有機ＥＬ素子２４はバンク２５によって囲まれている。有機ＥＬ素子２４は、バンク２５をなす撥液性バンク２５ｂと少なくとも３μｍ以上離間して形成されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発光装置及びその製造方法、並びに、光書き込みヘッド、電気光学装置、及び画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、有機エレクトロルミネッセンス素子（以下、有機ＥＬ素子という）を使用したラインヘッド等の光書き込みヘッド、有機ＥＬディスプレイ等の電気光学装置、及び光プリンタ等の画像形成装置等の開発が盛んに行われている。有機ＥＬ素子は、対向する一対の電極間に有機ＥＬ層、即ち発光素子を備えて構成されたものであり、フルカラー表示を行う有機ＥＬ装置は、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各色に対応する発光波長帯域を有する発光素子を備えている。
【０００３】
上記の有機ＥＬ素子を備える発光装置は、有機ＥＬ素子を構成する発光材料（以下、「有機ＥＬ材料」という）が高分子系有機材料であるか、又は低分子系有機材料であるかによってその製造方法が異なる。有機ＥＬ材料が高分子系有機材料である場合には、有機ＥＬ材料を所定の溶媒に溶解又は分散させて液状組成物を形成し、この液状組成物を液滴吐出ヘッドのノズルから吐出して基板の所定の画素電極上に塗布させる、所謂液滴吐出法を使用して製造することが知られている。かかる製造方法においては、画素電極の周囲を隔壁で区画することで、塗布された有機材料液体が他の位置にある画素電極上に塗布された液状組成物と混ざり合うのを抑制することで高精細なパターニングを可能としている。
【０００４】
ところで、上記液滴吐出法では、画素電極上に塗布された液状組成物中の溶媒の蒸発は極めて速い。このため、基板上の端部（上端部、下端部、右端部、左端部）では、基板中央に塗布された液状組成物より溶媒分子分圧が低いために速く乾きはじめる。従って、基板の端部に塗布された液状組成物と中央に塗布された液状組成物とでは、その乾燥時間に差が生じる。このような液状組成物の乾燥時間の差は、画素内、画素間での有機ＥＬ素子の各層の膜厚ムラを引き起こし、輝度ムラ等の表示ムラの原因となってしまう。このため、以下の特許文献１では、基板上の端の周囲に表示には関係のないダミーの塗布領域を設けることで塗布領域を広げ、基板内の溶媒分子分圧を均一にして発光装置を形成する方法が提案されている。
【特許文献１】特開２００２−２２２６９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、近年においては、有機ＥＬ素子に流れる電流を低減するため、高輝度化のため、又は有機ＥＬ素子の膜厚ムラを低減するために、隔壁に囲まれた領域内に複数の有機ＥＬ素子を形成した構造とすることが多くなっている。かかる構造の有機ＥＬ装置は、上記の液滴吐出法と同様の方法により製造される。つまり、複数の有機ＥＬ素子が形成された隔壁によって囲まれた領域内に、液滴吐出法により液滴を配置し、これを乾燥することにより形成される。
【０００６】
しかしながら、上記の製造方法を用いて隔壁に囲まれた領域内に形成された発光層は、必ずしも均一ではなく、特に隔壁に近接する部分では大きな膜厚のムラが生じてしまっていた。発光層の膜厚にムラが生じていると、このムラが生じている近辺において輝度ムラが生ずる。この輝度ムラは、有機ＥＬ装置の場合には表示品質を低下させ、また、光書き込みヘッドを備えるプリンタの場合には印字品質を低下させてしまう。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、ほぼ均一な膜厚の発光層を備える発光装置及びその製造方法、並びに、当該発光装置を備える光書き込みヘッド、電気光学装置、及び画像形成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の発光装置は、複数の発光素子が隔壁によって囲まれてなる発光装置において、前記発光素子と前記隔壁とが少なくとも３μｍ以上離間して形成されてなることを特徴としている。
この発明によると、複数の発光素子の各々は隔壁から少なくとも３μｍ以上離間して形成されている。例えば、液滴吐出法によって発光素子を構成する発光層を形成する場合に、吐出された液状組成物は隔壁付近では溶質が端部に移動することによる膜厚の増加や、隔壁部の撥液性の影響により薄くなるなどの問題があった。そこで、本発明のように発光素子を隔壁から３μｍ以上離間させる事により、膜厚が一定にならない領域に発光素子がかからないようにした。そうすることにより全ての発光素子の発光層の膜厚をほぼ均一にすることができる。この結果として、輝度ムラ等が生じない発光装置を提供することができる。
また、本発明の発光装置は、前記発光素子と前記隔壁との間に親液性を有する絶縁体が形成されてなることを特徴としている。
この発明によると、発光素子と隔壁層との間に親液性を有する絶縁体が形成されているため、例えば液滴吐出法によって発光素子を構成する発光層を形成する場合に、吐出された液状組成物を、隔壁に囲まれた領域の中心から隔壁に至るまで広がらせることができる。これによって、隔壁に囲まれた領域の発光素子が形成される領域において液状組成物をほぼ均一に成膜することができ、膜厚がほぼ均一な発光層を形成する上で好適である。
また、本発明の発光装置は、前記発光素子が、有機材料で構成された発光層をそれぞれ備えていることを特徴としている。
また、本発明の発光装置は、前記発光素子が、前記隔壁によって囲まれた領域内で、千鳥格子状に配置されていることを特徴としている。
この発明によると、発光素子を千鳥格子状に形成しているため、発光素子を高密度に形成することができる。この結果として、輝度の高い発光素子を得ることができる。
上記課題を解決するために、本発明の発光装置の製造方法は、基板上に複数の発光素子が形成された発光装置の製造方法において、前記複数の発光素子全体を共通して囲み、前記発光素子に対して少なくとも３μｍ以上離間した隔壁を形成する隔壁形成工程と、前記隔壁によって区画された領域に、前記発光素子の少なくとも一部を構成する発光層を形成する素子形成工程とを含むことを特徴としている。
この発明によると、発光素子が形成される領域から少なくとも３μｍ以上離間した位置に隔壁が形成され、この隔壁によって区画された領域に発光素子の少なくとも一部を構成する発光層が形成される。このため、例えば液滴吐出法によって発光素子を構成する発光層を形成する場合に、吐出された液状組成物は隔壁付近では溶質が端部に移動することによる膜厚の増加や、隔壁部の撥液性の影響により薄くなるなどの問題があった。そこで、本発明のように発光素子を隔壁から３μｍ以上離間させる事により、膜厚が一定にならない領域に発光素子がかからないようにした。そうすることにより全ての発光素子の発光層の膜厚をほぼ均一にすることができる。この結果として、輝度ムラ等が生じない発光装置を提供することができる。
また、本発明の発光装置の製造方法は、前記発光素子と前記隔壁との間に親液性を有する絶縁体を形成する絶縁体形成工程を含むことを特徴としている。
この発明によると、発光素子と隔壁層との間に親液性を有する絶縁体を形成しているため、例えば液滴吐出法によって発光素子を構成する発光層を形成する場合に、吐出された液状組成物を、隔壁に囲まれた領域の中心から隔壁に至るまで広がらせることができる。これによって、隔壁に囲まれた領域の発光素子が形成される領域において溶媒分子分圧をほぼ均一にすることができ、膜厚がほぼ均一な発光層を形成する上で好適である。
また、本発明の発光装置の製造方法は、前記絶縁体形成工程が、前記隔壁形成工程の前に行われることが望ましい。
また、本発明の発光装置の製造方法は、前記素子形成工程が、前記発光層を液体プロセスで形成する工程であることを特徴としている。
この発明によると、発光素子の形成時においては、発光素子を構成する材料（例えば、発光素子の発光層を構成する発光材料）を含んだ液状組成物が、隔壁で区画された領域内に塗布される。このとき、領域内には隔壁が設けられていないため、領域内に塗布された液状組成物は隔壁の表面状態の影響を受けることない。この結果、領域内の位置に関係なく、領域内全域に亘って均一な量の液状組成物が塗布されるため、ほぼ均一の膜厚を有する発光層を形成することができる。
本発明の光書き込みヘッドは、上記の何れかに記載の発光装置、又は、上記の何れかに記載の発光装置の製造方法により製造された発光装置を備えることを特徴としている。
この発明によると、輝度ムラ等が生じない発光装置を備えているため、輝度ムラ等の表示ムラのない高解像度な描画を行うことができる。
本発明の電気光学装置は、上記の何れかに記載の発光装置、又は、上記の何れかに記載の発光装置の製造方法により製造された発光装置を備えることを特徴としている。
この発明によると、輝度ムラ等が生じない発光装置を備えているため、輝度ムラ等の表示ムラのない電気光学装置を提供することができる。
本発明の画像形成装置は、上記の何れかに記載の発光装置、又は、上記の何れかに記載の発光装置の製造方法により製造された発光装置を備えることを特徴としている。
この発明によると、輝度ムラ等が生じない発光装置を備えているため、輝度ムラ等に起因する階調ムラのない正確な画像を形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態による発光装置及びその製造方法、並びに、光書き込みヘッド、電気光学装置、及び画像形成装置について詳細に説明する。尚、以下に説明する実施形態は、本発明の一部の態様を示すものであり、本発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。
【００１０】
〔画像形成装置〕
図１は、本発明の一実施形態による画像形成装置としての光プリンタの要部を示す断面図である。図１に示す光プリンタ１は、フルカラー表示が可能なタンデム方式の光プリンタである。図１に示す通り、光プリンタ１は、光書き込みヘッドとしてのブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋ、シアン用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｃ、マゼンダ用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｍ、及びイエロ用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｙを備えている。
【００１１】
また、光プリンタ１は、各露光ヘッド２Ｋ，２Ｃ，２Ｍ，２Ｙの下方に、ブラック用感光ドラム３Ｋ、シアン用感光ドラム３Ｃ、マゼンダ用感光ドラム３Ｍ、イエロ用感光ドラム３Ｙをそれぞれ備えている。更に、光プリンタ１は、駆動ローラ４、従動ローラ５、テンションローラ６、及びテンションローラ６によりテンションを加えられて張架されながら図１中反時計周り方向へ循環駆動される中間転写ベルト７を備える。
【００１２】
上記の各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙは、中間転写ベルト７に対して所定間隔に配置されている。各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙは、中間転写ベルト７の駆動と同期して図１中時計周り方向へ回転駆動されるようになっている。そして、各露光ヘッド２Ｋ，２Ｃ，２Ｍ，２Ｙは、各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙの外周面を各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙの回転に同期して順次ライン走査することで、描画データに応じた静電潜像を対応する感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ上に形成する。また、各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙの周囲には、感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙの各外周面を一様に帯電させるコロナ帯電器８Ｋ，８Ｃ，８Ｍ，８Ｙが設けられている。
【００１３】
また、光プリンタ１は、ブラック用感光ドラム３Ｋの周囲にブラック用現像装置９Ｋを、シアン用感光ドラム３Ｃの周囲にシアン用現像装置９Ｃを、マゼンダ用感光ドラム３Ｍの周囲にマゼンダ用現像装置９Ｍを、イエロ用感光ドラム３Ｙの周囲にイエロ用現像装置９Ｙをそれぞれ備えている。これら各現像装置９Ｋ，９Ｃ，９Ｍ，９Ｙは、対応する有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋ，２Ｃ，２Ｍ，２Ｙによって各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ上に形成された静電潜像に対応する色の現像剤であるトナーを付与して可視像（トナー像）を形成するものである。例えば、シアン用現像装置９Ｃは、シアン用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｃによってシアン用感光ドラム３Ｃ上に形成された静電潜像にシアン色のトナーを付与して可視像（トナー像）を形成する。
【００１４】
詳しくは、各現像装置９Ｋ，９Ｃ，９Ｙは、例えば、トナーとして非磁性一成分トナーを用いるもので、その一成分現像剤を、例えば供給ローラで現像ローラへ搬送し、現像ローラ表面に付着したトナーの膜厚を規制ブレードで規制する。この規制により、現像ローラを各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙに接触或いは押圧させることにより、各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ上に形成された静電潜像の電位レベルに応じて現像剤を付着させて可視像（トナー像）として現像する。
【００１５】
更に、光プリンタ１は、各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙの周囲に、各現像装置９Ｋ，９Ｃ，９Ｙで現像された可視像（トナー像）を一次転写対象である中間転写ベルト７に順次転写する一次転写ローラ１０Ｋ，１０Ｃ，１０Ｍ，１０Ｙを備えている。更にまた、光プリンタ１は、各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙの周囲に、クリーニング装置１１Ｋ，１１Ｃ，１１Ｍ，１１Ｙを備えている。クリーニング装置１１Ｋ，１１Ｃ，１１Ｍ，１１Ｙは、一次転写の後に、各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙの表面に残留しているトナーを除去するためのものである。
【００１６】
このような各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ上に形成されたブラック，シアン，マゼンタ，イエロの各可視像（トナー像）は、一次転写ローラ１０Ｋ，１０Ｃ，１０Ｍ，１０Ｙによって中間転写ベルト７上に順次一次転写される。この一次転写により中間転写ベルト７上で順次重ね合わされてフルカラーとなった可視像（トナー像）は、二次転写ローラ１８によって用紙等の記録媒体Ｐ上に二次転写され、一対の定着ローラ１２を通ることで記録媒体Ｐ上に定着される。可視像（トナー像）が定着した記録媒体Ｐは、排紙ローラ１３によって案内されて光プリンタ１の上部に形成された排紙トレイ１４上へ排出される。
【００１７】
また、光プリンタ１は、多数枚の記録媒体Ｐを保持する給紙カセット１５、給紙カセット１５から記録媒体Ｐを一枚ずつ給送するピックアップローラ１６、二次転写ローラ１８の二次転写部への記録媒体Ｐの供給タイミングを規定するゲートローラ１７を備えている。更に、光プリンタ１は、中間転写ベルト７とで二次転写部を形成する二次転写ローラ１８、及び二次転写後に中間転写ベルト７の表面に残留しているトナーを除去するクリーニングブレード１９を備えている。
【００１８】
次に、有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋ，２Ｃ，２Ｍ，２Ｙの詳細について説明する。尚、ブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋ、シアン用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｃ、マゼンダ用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｍ、及びイエロ用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｙは、全て同じ構造をしているので、説明の便宜上、ブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋについて説明し、他の有機ＥＬ露光ヘッド２Ｃ，２Ｍ，２Ｙについては、その詳細な説明を省略する。
【００１９】
図２は、ブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋの斜視図である。ブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋは、一方向、即ち中間転写ベルト７の搬送方向に対して直交する方向に配設された箱体２１と、箱体２１とブラック用感光ドラム３Ｋとの間に位置するように箱体２１に支持固定された光学部材２３とを備えている。箱体２１は、ブラック用感光ドラム３Ｋ側に開口部を有しており、その開口部に向かって光が射出するように発光素子アレイ２２を固定している。次に、発光装置としての発光素子アレイ２２について説明する。
【００２０】
〔発光装置〕
図３は、発光装置としての発光素子アレイ２２を示す図であって、（ａ）は発光素子アレイ２２の上面図であり、（ｂ）は（ａ）中のＡ−Ａ線断面図である。図３（ａ）に示す通り、発光素子アレイ２２は、基板Ｓ上に発光素子としての有機エレクトロルミネッセンス素子（以下、有機ＥＬ素子という）２４を複数個配列した構成である。本実施形態の発光素子アレイ２２は、縦一列に等ピッチに配列された複数個（図３に示す例では８個）の有機ＥＬ素子２４が３列配列されている。
【００２１】
基板Ｓ上にはＩＴＯ（インジウム錫酸化物）等の透光性導電材料により形成される電極層Ｄが形成されており、この電極層Ｄの上部であって、複数の有機ＥＬ素子２４の周囲には、その複数の有機ＥＬ素子２４全体を囲むように隔壁としてのバンク２５が形成されている。本実施形態におけるバンク２５は、図３（ａ）に示す通り、複数の有機ＥＬ素子２４全体を囲むように略四角形状を成している。また、バンク２５は、全ての有機ＥＬ素子２４から少なくとも３μｍ離間するように形成されている。これは有機ＥＬ素子２４の一部をなす発光層２８（詳細は後述する）の膜厚を、全ての有機ＥＬ素子２４でほぼ均一にするためである。
【００２２】
ここで、有機ＥＬ素子２４とバンク２５との距離を３μｍよりも短い距離にすると発光層２８の膜厚ムラが大きくなってしまうため、有機ＥＬ素子２４とバンク２５との距離は少なくとも３μｍ以上に設定される。
【００２３】
図３（ｂ）に示す通り、バンク２５は、電極層Ｄ上に形成された親液性を有する絶縁体としての親液性バンク２５ａと、親液性バンク２５ａ上に形成された撥液性バンク２５ｂとから構成されている。親液性バンク２５ａの一部は、撥液性バンク２５ｂより基板Ｓ中央側に張り出すようにして形成されている。親液性バンク２５ａは、元来、親液性を備えた材料であって、例えば、酸化珪素（ＳｉＯ２）で構成される。尚、親液性を備えていないものであって、通常用いられる公知の親液化処理を施すことで表面を親液化したものであってもよい。一方、撥液性バンク２５ｂは、元来、撥液性を備えた材料、例えば、フッ素系樹脂で構成されたものであってもよい。また、撥液性を備えていないものであって、通常用いられるアクリル樹脂やポリイミド樹脂等の有機樹脂をパターン形成し、ＣＦ４プラズマ処理等により表面を撥液化したものであってもよい。
【００２４】
また、図３（ａ）に示す通り、バンク２５によって基板Ｓの中央には有機ＥＬ素子２４が配列される凹状領域２６が形成されている。凹状領域２６の底部であって、親液性バンク２５ａの開口が形成された部分の電極層Ｄは画素電極２７とされている。本実施形態の画素電極２７は平面形状が円形形状である。また、本実施形態の画素電極２７は、縦一列に等ピッチに配列された複数個（図３に示す例では８個）形成されるとともに、横方向に３列配列されている。各画素電極２７は、それぞれに独立した配線を介して図示しないデータ信号出力駆動回路に接続されている。このデータ信号出力駆動回路から出力された描画データ信号は画素電極２７に供給される。
【００２５】
また、凹状領域２６の底部には、その全面を覆うようにして発光層２８が形成されている。これにより、各画素電極２７上にも発光層２８が積層される。ここで、図３（ｂ）を参照すると、凹部領域２６に形成される発光層２８は、撥液性バンク２５ｂの近傍では盛り上がった形状であるが、それ以外の部分では、ほぼ平坦である。これは、前述した通り、撥液性バンク２５ｂが有機ＥＬ素子２４から少なくとも３μｍ以上離間するよう形成されているためである。よって、画素電極層２７上の発光層２８（この発光層２８は有機ＥＬ素子２４の一部をなす）は、膜厚がほぼ均一に形成されている。つまり、所定の画素電極２７上に形成される発光層２８の膜厚と、他の画素電極２７上に形成される発光層２８の膜厚とはほぼ均一である。
【００２６】
また、撥液性バンク２５ｂ及び発光層２８上全面に渡って陰極２９が形成されている。この陰極２９は、データ信号出力駆動回路に接続されている。更に、陰極２９上の全面には、封止部材３０が形成されている。そして、前述した画素電極２７と、画素電極２７と相対して形成した陰極２９と、画素電極２７と陰極２９との間に形成した発光層２８とで有機ＥＬ素子２４が構成される。
【００２７】
図４は、ブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋの側断面図である。図４に示す通り、ブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋに設けられる光学部材２３は、発光素子アレイ２２と対向する位置に備えられている。この光学部材２３は、内部に複数のレンズ３１を備えており、有機ＥＬ素子２４から射出された光を集光してブラック用感光ドラム３Ｋに照射（描画）する。
【００２８】
他の有機ＥＬ露光ヘッド２Ｃ，２Ｍ，２Ｙも同様に、その各発光素子アレイに設けられた有機ＥＬ素子の発光層の膜厚は、均一になっている。また、他の有機ＥＬ露光ヘッド２Ｃ，２Ｍ，２Ｙは、その光学部材２３の他端から対応する各感光ドラム３Ｃ，３Ｍ，３Ｙに向かって射出される。そして、各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ上の電位レベルが射出された光に応じて変化することでトナーの付着力が制御されて各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ上に描画データ信号に基づいた可視像（トナー像）が現像される。このとき、各有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋ，２Ｃ，２Ｍ，２Ｙに設けられた各有機ＥＬ素子２４の発光層２８の膜厚はほぼ均一であるため、各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ上に現像される可視像（トナー像）は、輝度ムラ等の表示ムラの無い可視像（トナー像）である。
【００２９】
〔発光装置の製造方法〕
次に、本発明の一実施形態による発光装置の製造方法について説明する。図５は、本発明の一実施形態による発光装置の製造方法を示す工程図である。尚、ブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋ、シアン用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｃ、マゼンダ用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｍ、及びイエロ用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｙに設けられる発光装置としての発光アレイ２２は、全て同じ方法によって製造される。従って、以下の説明では、便宜上ブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋに設けられる発光装置としての発光アレイ２２の製造方法のみを説明し、他の有機ＥＬ露光ヘッド２Ｃ，２Ｍ，２Ｙについては、その詳細な説明を省略する。
【００３０】
まず、基板Ｓ上に公知の方法によって電極層Ｄを形成し、次いで電極層Ｄ上に公知の方法によってＳｉＯ２等からなる絶縁層を形成する。ここで、基板Ｓは、例えばガラス、石英ガラス、Ｓｉウェハ、プラスチックフィルム、金属板等である。尚、これら各種の素材基板の表面に半導体膜、金属膜、誘電体膜、有機膜等を下地層として形成したものされたものであってもよい。
【００３１】
次に、基板Ｓ上の絶縁層をパターニングして親液性バンク２５ａを形成する（絶縁体形成工程）。その後、形成した親液性バンク２５ａ上に、親液性バンク２５ａの一部が基板Ｓ中央側に張り出すようにフッ素系樹脂を、例えば高さが１〜２μｍ程度になるようにパターニングして撥液性バンク２５ｂを形成する。このとき、親液性バンク２５ａが基板Ｓの中央側に少なくとも３μｍ以上張り出すように撥液性バンク２５ｂを形成する。これにより、基板Ｓ上には、複数個の画素電極２７の周囲に複数の画素電極２７全体を囲むようにバンク２５が形成される（隔壁形成工程）。この結果、画素電極２７が形成された基板Ｓ中央には凹状領域２６が形成される。
【００３２】
ここで、撥液性バンク２５ｂの形成材料としては、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、オレフィン樹脂、メラミン樹脂等の高分子材料、ポリシラザン、ポリシロキサン等を含有した有機・無機ハイブリッド材料等が用いられる。バンクＢの形成方法としては、リソグラフィ法や印刷法等、任意の方法を用いることができる。例えば、リソグラフィ法を使用する場合は、スピンコート、スプレーコート、ロールコート、ダイコート、ディップコート等所定の方法で、基板Ｓ上に撥液性バンク２５ｂの形成材料からなる層を形成した後、エッチングやアッシング等によりパターニングすることにより、所定のパターン形状のバンクが得られる。尚、基板Ｓとは別の物体上で撥液性バンク２５ｂを形成し、それを基板Ｓ上に配置してもよい。
【００３３】
続いて、凹状領域２６内に発光層２８を液体プロセスとしての液滴吐出法によって形成する（素子形成工程）。即ち、図５（ｂ）に示す通り、発光層２８を構成する組成物としての発光材料を所定の溶媒に溶解又は分散させて形成された液状組成物Ｌを吐出ヘッド４０のノズルＮから吐出させる。このとき、吐出ヘッド４０に設けられたガイドレール４１に沿って吐出ヘッド４０を基板Ｓに対して相対移動させながら液状組成物Ｌを順次吐出することで凹状領域２６内に複数回液状組成物Ｌを吐出する。これにより、凹状領域２６内全面に液状組成物Ｌを塗布させる。
【００３４】
ここで、液状組成物Ｌは、導電性微粒子を溶媒に分散させた分散液や有機銀化合物や酸化銀ナノ粒子を溶媒に分散させた溶液からなるものである。導電性微粒子としては、例えば、金、銀、銅、パラジウム、及びニッケルのうちの何れかを含有する金属微粒子の他、これらの酸化物、並びに有機銀化合物や導電性ポリマーや超電導体の微粒子等を用いることができる。これらの導電性微粒子は、分散性を向上させるために表面に有機物などをコーティングして使うこともできる。導電性微粒子の粒径は１ｎｍ以上０．１μｍ以下であることが好ましい。０．１μｍより大きいと、後述する液体吐出ヘッドのノズルに目詰まりが生じるおそれがある。また、１ｎｍより小さいと、導電性微粒子に対するコーティング剤の体積比が大きくなり、得られる膜中の有機物の割合が過多となる。
【００３５】
また、発光層の形成材料としては、蛍光或いは燐光を発光することが可能な公知の高分子発光材料である、ポリフルオレン誘導体（ＰＦ）、ポリパラフェニレンビニレン誘導体（ＰＰＶ）、ポリフェニレン誘導体（ＰＰ）、ポリパラフェニレン誘導体（ＰＰＰ）、ポリビニルカルバゾール（ＰＶＫ）、ポリチオフェン誘導体、ポリジアルキルフルオレン（ＰＤＡＦ）、ポリフルオレンベンゾチアジアゾール（ＰＦＢＴ）、ポリアルキルチオフェン（ＰＡＴ）や、ポリメチルフェニルシラン（ＰＭＰＳ）等のポリシラン系などを好適に用いることができる。また、これらの発光材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素などの高分子系材料や、ルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクリドン等の低分子材料をドープして用いることもできる。
【００３６】
液状組成物Ｌに含まれる溶媒としては、発光層２８を得るための溶質を分散できるもので、凝集を起こさないものであれば特に限定されない。例えば、水の他に、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール等のアルコール類、ｎ−ヘプタン、ｎ−オクタン、デカン、ドデカン、テトラデカン、トルエン、キシレン、シメン、デュレン、インデン、ジペンテン、テトラヒドロナフタレン、デカヒドロナフタレン、シクロヘキシルベンゼン等の炭化水素系化合物、またエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、１，２−ジメトキシエタン、ビス（２−メトキシエチル）エーテル、ｐ−ジオキサン等のエーテル系化合物、更にプロピレンカーボネート、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、シクロヘキサノン等の極性化合物を例示できる。
【００３７】
また、上記の液状組成物Ｌの表面張力は０．０２Ｎ／ｍ以上０．０７Ｎ／ｍ以下の範囲内であることが好ましい。液滴吐出法にて液体を吐出する際、表面張力が０．０２Ｎ／ｍ未満であると、インク組成物のノズル面に対する濡れ性が増大するため飛行曲りが生じやすくなり、０．０７Ｎ／ｍを超えるとノズル先端でのメニスカスの形状が安定しないため吐出量や、吐出タイミングの制御が困難になる。表面張力を調整するため、液状組成物Ｌには、基板との接触角を大きく低下させない範囲で、フッ素系、シリコーン系、ノニオン系等の表面張力調節剤を微量添加するとよい。ノニオン系表面張力調節剤は、液体の基板への濡れ性を向上させ、膜のレベリング性を改良し、膜の微細な凹凸の発生等の防止に役立つものである。上記表面張力調節剤は、必要に応じて、アルコール、エーテル、エステル、ケトン等の有機化合物を含んでもよい。
【００３８】
また、上記分散液の粘度は１ｍＰａ・ｓ以上５０ｍＰａ・ｓ以下であることが好ましい。液滴吐出法を用いて液状組成物を液滴として吐出する際、粘度が１ｍＰａ・ｓより小さい場合にはノズル周辺部がインクの流出により汚染されやすく、また粘度が５０ｍＰａ・ｓより大きい場合は、ノズル孔での目詰まり頻度が高くなり円滑な液滴の吐出が困難となる。更に、液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換式、電気熱変換方式、静電吸引方式等が挙げられる。
【００３９】
ここで、帯電制御方式は、材料に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で材料の飛翔方向を制御してノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、材料に３０ｋｇ／ｃｍ２程度の超高圧を印加してノズル先端側に材料を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には材料が直進してノズルから吐出され、制御電圧をかけると材料間に静電的な反発が起こり、材料が飛散してノズルから吐出されない。また、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって材料を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から材料を押し出してノズルから吐出させるものである。
【００４０】
電気熱変換方式は、材料を貯留した空間内に設けたヒータにより、材料を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の材料を吐出させるものである。静電吸引方式は、材料を貯留した空間内に微小圧力を加え、ノズルに材料のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから材料を引き出すものである。また、この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式等の技術も適用可能である。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を的確に配置できるという利点を有する。尚、液滴吐出法により吐出される液状材料（流動体）の一滴の量は、例えば１〜３００ナノグラムである。
【００４１】
次に、基板Ｓを、例えばホットプレート上に載置することによって加熱して液状組成物Ｌ中の溶媒を蒸発させ、凹状領域２６上全面に発光層２８を形成する（図５（ｃ）参照）。ここで、撥液性バンク２５ｂの近傍では、撥液性バンク２５ｂの持つ撥液性により、近傍において膜厚が少なくなったり、また、液状組成物が端部の蒸発速度が速い事より、溶質が端部に集まって、撥液性バンク２６ｂ近傍の膜厚が厚くなるなどといった膜厚の偏りが発生する。
【００４２】
この偏りは、本実施形態の製造方法を用いても解消することはできないが、本実施形態では親液性バンク２５ａが基板Ｓの中央側に少なくとも３μｍ張り出すように撥液性バンク２５ｂを形成しているため、画素電極２７上に形成される発光層２８の膜厚はほぼ均一にすることができる。尚、液状組成物Ｌが塗布された基板Ｓを真空容器内に配置し、真空容器内を減圧して液状組成物Ｌに含まれる溶媒を減圧乾燥により除去してもよい。その後、バンク２５及び発光層２８上に、ＬｉＦ層、Ｃａ層、Ａｌ層等を蒸着方法等により積層して陰極２９を形成する。続いて、陰極２９全面に光透過性を有する、例えば樹脂等で構成された封止部材３０を形成する（図５（ｄ）参照）。
【００４３】
図６は、有機ＥＬ素子２４に形成された発光層２８の膜厚の一例を示す図である。図６（ａ），（ｂ）は、図３（ｂ）に示す有機ＥＬ素子２４ａ，２４ｃと撥液性バンク２５ｂとの距離を３μｍにしたときの有機ＥＬ素子２４ａ，２４ｂのそれぞれに形成される発光層１８の膜厚を示す図である。また、図６（ｃ），（ｄ）は、図３（ｂ）に示す有機ＥＬ素子２４ａ，２４ｃと撥液性バンク２５ｂとの距離を１μｍにしたときの有機ＥＬ素子２４ａ，２４ｂのそれぞれに形成される発光層１８の膜厚を示す図である。
【００４４】
図３（ｂ）に示す通り、有機ＥＬ素子２４の発光層２８は画素電極２７上に形成されるため、図６に示す通り、発光層２８は有機ＥＬ素子２４（２４ａ，２４ｂ）となる部分において凹形状に形成される。図６（ａ），（ｂ）を参照すると、基板Ｓの中央部に位置する有機ＥＬ素子２４ｂに形成される発光層２８、及び撥液性バンク２５ｂに近接する有機ＥＬ素子２４ａに形成される発光層２８は、その表面がほぼ平坦であり、また膜厚がほぼ均一であることが分かる。
【００４５】
これに対し、図６（ｃ），（ｄ）を参照すると、基板Ｓの中央部に位置する有機ＥＬ素子２４ｂに形成される発光層２８は、図６（ａ），（ｂ）と同様に、その表面がほぼ平坦であり、また膜厚がほぼ均一である。しかしながら、撥液性バンク２５ｂに近接する有機ＥＬ素子２４ａに形成される発光層２８は、その表面が撥液性バンク２５ｂに近づくにつれて膜厚が厚くなっていることが分かる。これは、撥液性バンク２５ｂの近傍に形成される発光層２８の盛り上がりの部分が有機ＥＬ素子２４ａの発光層２８にも影響を及ぼすからであると考えられる。
【００４６】
有機ＥＬ素子２４ａ，２４ｃと撥液性バンク２５ｂとの距離を３μｍ以上にすると、発光層２８の盛り上がりの部分が有機ＥＬ素子２４ａと撥液性バンク２５ｂとの間における親液性バンク２５ａ上のみに形成されて、有機ＥＬ素子２４ａの発光層２８の膜厚に影響を与えない。このため、図６（ｂ）に示す通り、撥液性バンク２５ｂに近接する有機ＥＬ素子２４ａの発光層２８の膜厚もほぼ均一に形成することができる。
【００４７】
また、撥液性バンク２５ｂ近傍に形成される膜厚に偏りが発生する領域は乾燥させる条件によって長さを変える事ができる。図１１は、撥液性バンク２５ｂ付近に形成される膜厚に偏りがある領域の画素中央方向への長さと乾燥条件との関係を示す図である。ここで、乾燥は真空乾燥装置を用いて行っており、図１１では真空乾燥装置の排気口のバルブ開口度を横軸にとっている。尚、開口度が大きいほど速く乾燥させることができる。図１１に示す通り、撥液性バンク２５ｂ近傍において膜厚に偏りが発生する領域の長さは乾燥条件によって変化することが分かる。更に、図１１に示す結果から、偏りが発生する領域の長さが最短となる乾燥条件の最適値があることが分かる。図１１では、乾燥条件を最適にすると、偏りが発生する領域の長さが２.５μｍ程度になる。よって、有機ＥＬ素子２４ａ，２４ｃと撥液性バンク２５ｂとの距離を少なくとも３μｍ以上にする必要があることが分かる。
【００４８】
以上説明した通り、本実施形態においては、基板Ｓ上であって、複数個の有機ＥＬ素子２４の画素電極２７全てを囲む撥液性バンク２５ｂを、有機ＥＬ素子２４の各々から少なくとも３μｍ離間するように形成した。また、撥液性バンク２５ｂによって形成された基板Ｓ中央に形成された凹状領域２６内全域に液状組成物Ｌを塗布して発光層２８を形成した。このため、撥液性バンク２５ｂの近傍に形成される盛り上がり部分が、有機ＥＬ素子２４の発光層２８の膜厚に影響を与えることがなく、有機ＥＬ素子２４の発光層２８をほぼ均一にすることができる。この結果、バンク２５内で形成された各有機ＥＬ素子２４は、互いに輝度ムラ等の表示ムラの無い可視像（トナー像）を形成することができる。
【００４９】
また、実施形態によれば、各有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋ，２Ｃ，２Ｍ，２Ｙは、有機ＥＬ素子２４を複数個備えた発光素子アレイ２２と、発光素子アレイ２２とに対向する位置に備えられた光学部材２３とを備えている。そして、各有機ＥＬ素子２４から射出した光は、光学部材２３によって集光され、対応する各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ上に照射される。このとき、各有機ＥＬ素子２４の発光層２８は、均一な膜厚であるので、各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ上に現像されるトナー像は、輝度ムラ等の表示ムラの無い像となる。この結果、表示品位の優れた画像を印刷することのできる光プリンタ１を提供することができる。
【００５０】
更に、本実施形態によれば、液滴吐出法によって凹状領域２６内に発光層２８を形成するようにした。液滴吐出法では、発光層２８を構成する組成物としての発光材料を所定の溶媒に溶解又は分散させて形成された液状組成物Ｌを凹状領域２６に吐出して、その後、乾燥することで発光層２８を形成するので、凹状領域２６の形状に関係なく、高精細なパターニングが可能となる。
【００５１】
尚、以上説明した発光装置としての発光素子アレイ２２は、図３に示す通り、縦一列に等ピッチに８個の有機ＥＬ素子２４が形成され、横方向に３列配列されたものであったが、その縦一列に形成される有機ＥＬ素子２４の数、及び横方向の列の数は任意である。また、図３に示す発光素子アレイ２２は、縦横共に一定の間隔で配列されたものであったが、図７に示す通り、千鳥格子状に配列された構成であっても良い。図７は、発光素子アレイ２２の他の構成を示す上面図である。図７に示す発光素子アレイ２２は縦一列に等ピッチに配列された複数個（例えば、１０個）の有機ＥＬ素子２４が２列配列されており、各有機ＥＬ素子２４は、隣接する他の列の有機ＥＬ素子２４と縦方向に半ピッチだけずれるようにして配置された構成である。かかる構成にすると、有機ＥＬ素子２４を高密度に形成することができ、この結果として輝度の高い発光装置とすることができる。
【００５２】
また、上記各実施形態において、有機ＥＬ素子２４は、画素電極２７、発光層２８、及び陰極２９で構成されていた。しかしながら、画素電極２７、発光層２８、及び陰極２９以外に、例えば、画素電極２７と発光層２８との間に正孔輸送層を備えた構成にすることも可能である。かかる構成の場合には、正孔輸送層材料を溶媒に分散又は溶解して形成された液状組成物を凹状領域２６内全面に塗布することで均一な膜厚を有する正孔輸送層を形成し、更に、その上に発光層２８を形成するようにする。このようにすることで、正孔輸送層及び発光層２８の各膜厚を均一にすることができる。
【００５３】
また、上記実施形態では、液体プロセスとして液滴吐出法を使用して発光層２８を形成するようにしたが、これに限定されるものではない。例えば、発光材料を含んだ液状組成物Ｌをディスペンサーを使用して凹状領域２６内全面に塗布するようにしてもよい。また、上記実施形態では、画素電極２７は、円形形状を成していたが、例えば略四角形状であってもよい。更に、上記実施形態では、発光素子として有機ＥＬ素子を使用したが、これに限定されるものではない。
【００５４】
尚、以上説明した実施形態では、光書き込みヘッドとしてのブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋ、シアン用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｃ、マゼンダ用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｍ、及びイエロ用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｙを備えた画像形成装置としての光プリンタ１について説明したが、本発明の発光装置は電気光学装置にも用いることができる。ここで、電気光学装置とは、液晶表示装置（ＬＣＤ）、有機ＥＬ装置（ＯＬＥＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、ＦＥＤ（Field Emission Display）等を総称したものである。次に、電気光学装置について、有機ＥＬ装置を例に挙げて説明する。
【００５５】
〔電気光学装置〕
図８は、電気光学装置の一種としての有機ＥＬ装置の配線構造を示す模式図である。図８に示す有機ＥＬ装置１００は、スイッチング素子として薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を用いたアクティブマトリクス方式のものであり、複数の走査線１０１と、各走査線１０１に対して直角に交差する方向に延びる複数の信号線１０２と、各信号線１０２に並列に延びる複数の電源線１０３とからなる配線構成を有し、走査線１０１と信号線１０２との各交点付近に画素領域Ｘを形成したものである。信号線１０２には、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン、及びアナログスイッチを備えるデータ線駆動回路１０４が接続されている。また、走査線１０１には、シフトレジスタ及びレベルシフタを備える走査線駆動回路１０５が接続されている。
【００５６】
画素領域Ｘの各々には、走査線１０１を介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング用ＴＦＴ１１１と、このスイッチング用ＴＦＴ１１１を介して信号線１０２から供給される画素信号を保持する保持容量１１２と、保持容量１１２によって保持された画素信号がゲート電極に供給される駆動用ＴＦＴ１１３と、この駆動用ＴＦＴ１１３を介して電源線１０３に電気的に接続したときに電源線１０３から駆動電流が流れ込む画素電極（電極）１１４と、この画素電極１１４と共通電極１１６との間に配置された複数の有機ＥＬ素子１１７，１１８，１１９とが設けられている。
【００５７】
画素電極１１４と共通電極１１６との間に配置された複数の有機ＥＬ素子１１７，１１８，１１９は直列接続されており、各々が独立して発光する発光素子である。これらの有機ＥＬ素子１１７は、図３に示す発光素子アレイ２２と同様に、バンクによって取り囲まれた構成である。各画素領域Ｘに複数の発光素子を備える構成とするのは、有機ＥＬ装置１００の大型化に伴って電源線１０３の配線長が長くなり、電圧降下の増大により生ずる各画素領域Ｘの発光輝度低下を防止するためである。尚、電源線１０３に流れる電流を低減することができるため、電源線１０３細くすることで高精細化も可能である。
【００５８】
画素領域Ｘに設けられる有機ＥＬ素子の数をｎとすると、画素領域Ｘに１つの有機ＥＬ素子が設けられている場合に比べて、電源線１０３にｎ倍の電圧が印加されている。これにより、１つの画素領域Ｘの発光輝度を殆ど変えることなく電源線１０３を流れる電流を１／ｎにすることができ、この結果として電圧降下による各画素領域Ｘの発光輝度の低下を防止することができる。
【００５９】
尚、本実施形態では、画素領域Ｘに３つの有機ＥＬ素子１１７，１１８，１１９が設けられている構成を例に挙げて説明するが、画素領域Ｘに設けられる有機ＥＬ素子の数は任意で良い。ここで、画素領域Ｘの各々に設けられる有機ＥＬ素子の数を増加させればさせる程、電源線１０３を流れる電流を低減することができるため、電圧降下による輝度低下防止の観点からは画素に設けられる有機ＥＬ素子の数は多い方が良い。しかしながら、画素の各々に設けられる有機ＥＬ素子の数を増加させればさせる程、開口率の低下を招いてしまう。このため、輝度低下の観点及び開口率の低下の観点の双方を考慮して画素内の有機ＥＬ素子の数は２個以上４個以下であることが望ましい。
【００６０】
上記構成の有機ＥＬ装置１００によれば、走査線１０１が駆動されてスイッチング用ＴＦＴ１１１がオン状態になると、そのときの信号線１０２の電位が保持容量１１２に保持され、保持容量１１２の状態に応じて、駆動用ＴＦＴ１１３のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用ＴＦＴ１１３のチャネルを介して電源線１０３から画素電極１１４に電流が流れ、更に有機ＥＬ素子１１７，１１８，１１９に電流が流れる。すると、有機ＥＬ素子１１７，１１８，１１９は、これを流れる電流量に応じて発光する。
【００６１】
図９は、有機ＥＬ装置１００の構成を模式的に示す平面図である。図９に示す通り、有機ＥＬ装置１００は、光透過性と電気絶縁性とを備える基板１２０と、図８に示すスイッチング用ＴＦＴに接続された画素電極が基板１２０上にマトリックス状に配置されてなる画素電極域（図示せず）と、画素電極域の周囲に配置されるとともに各画素電極に接続される電源線１０３（図９では図示せず）と、少なくとも画素電極域上に位置する平面視ほぼ矩形の画素部１３０（図９中一点鎖線枠内）とを備えて構成されている。尚、画素部１３０は、中央部分の実表示領域１４０（図中二点鎖線枠内）と、実表示領域１４０の周囲に配置されたダミー領域１５０（一点鎖線及び二点鎖線の間の領域）とに区画されている。
【００６２】
実表示領域１４０には、それぞれ画素電極を有する表示領域Ｒ，Ｇ，Ｂが規則的に配置されている。尚、これらの表示領域Ｒ，Ｇ，Ｂの各々は、図１に示した画素領域Ｘをなしている。また、実表示領域１４０の図９中両側には、走査線駆動回路１０５，１５０が配置されている。この走査線駆動回路１５０，１５０は、ダミー領域１５０の下層側に位置して設けられている。また、実表示領域１４０の図９中上方側には検査回路１６０が配置されており、この検査回路１６０はダミー領域１５０の下層側に配置されて設けられている。この検査回路１６０は、有機ＥＬ装置１００の作動状況を検査するための回路であって、例えば検査結果を外部に出力する検査情報出力手段（図示せず）を備え、製造途中や出荷時における表示装置の品質、欠陥の検査を行うことができるように構成されている。
【００６３】
走査線駆動回路１５０及び検査回路１６０の駆動電圧は、所定の電源部から不図示の電圧導電部を介して印加されている。また、これら走査線駆動回路１５０及び検査回路１６０への駆動制御信号及び駆動電圧は、この有機ＥＬ装置１００の作動制御を司る所定のメインドライバ等から不図示の信号導通部を介して送信及び印加されるようになっている。尚、この場合の駆動制御信号とは、走査線駆動回路１５０及び検査回路１６０が信号を出力する際の制御に関連するメインドライバ等からの指令信号である。
【００６４】
〔電子機器〕
図１０は、電子機器の一例を示す図である。図１０（ａ）は、携帯電話の一例を示す斜視図である。図１０（ａ）において５００は携帯電話機本体であり、この携帯電話機本体５００は以上説明した有機ＥＬ表示装置１００等の電気光学装置を有する表示部５０１を備えている。
【００６５】
また、図１０（ｂ）は、ワードプロセッサ、パーソナルコンピュータ等の携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図１０（ｂ）において６００は情報処理装置であり、この情報処理装置６００は、キーボード等の入力部６０１、情報処理本体６０２、及び以上説明した有機ＥＬ表示装置１００等の電気光学装置を有する表示部６０３を備えている。また、図１０（ｃ）は、腕時計型電子機器の一例を示素斜視図である。図１０（ｃ）において、７００は時計本体を示しており、この時計本体７００は、以上説明した有機ＥＬ表示装置１００等の電気光学装置を有する表示部７０１を備えている。図１０（ａ）〜図１０（ｃ）に示す電子機器は、以上説明した有機ＥＬ表示パネル等を備えているため、色むら等が低減された良好な表示を得ることができる。
【００６６】
尚、以上説明した有機ＥＬ装置１００等の電気光学装置は、図１０（ａ）〜図１０（ｃ）に例示した電子機器以外にも種々の電子機器に適用することができる。例えば、液晶プロジェクタ、マルチメディア対応のパーソナルコンピュータ（ＰＣ）及びエンジニアリング・ワークステーション（ＥＷＳ）、ページャ、テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子手帳、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置等の電子機器に適用することが可能である。
【００６７】
また、本願発明は、上述した例に限定されるものではなく、本願発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更を加え得ることはもちろんである。また、本願発明の要旨を逸脱しない範囲において上述した各例を組み合わせても良い。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の一実施形態による画像形成装置としての光プリンタの要部を示す断面図である。
【図２】ブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋの斜視図である。
【図３】発光装置としての発光素子アレイ２２を示す図である。
【図４】ブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋの側断面図である。
【図５】本発明の一実施形態による発光装置の製造方法を示す工程図である。
【図６】有機ＥＬ素子２４に形成された発光層２８の膜厚の一例を示す図である。
【図７】発光素子アレイ２２の他の構成を示す上面図である。
【図８】電気光学装置の一種としての有機ＥＬ装置の配線構造を示す模式図である。
【図９】有機ＥＬ装置１００の構成を模式的に示す平面図である。
【図１０】電子機器の一例を示す図である。
【図１１】撥液性バンク２５ｂ付近に形成される膜厚に偏りがある領域の画素中央方向への長さと乾燥条件との関係を示す図である。
【符号の説明】
【００６９】
１……光プリンタ（画像形成装置）
２Ｃ……シアン用有機ＥＬ露光ヘッド（光書き込みヘッド）
２Ｋ……ブラック用有機ＥＬ露光ヘッド（光書き込みヘッド）
２Ｍ……マゼンダ用有機ＥＬ露光ヘッド（光書き込みヘッド）
２Ｙ……イエロ用有機ＥＬ露光ヘッド（光書き込みヘッド）
２２……発光素子アレイ（発光装置）
２４……有機ＥＬ素子（発光素子）
２５ａ……親液性バンク（絶縁体）
２５ｂ……撥液性バンク（隔壁）
２８……発光層
１００……有機ＥＬ装置（電気光学装置）
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発光装置及びその製造方法、並びに、光書き込みヘッド、電気光学装置、及び画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、有機エレクトロルミネッセンス素子（以下、有機ＥＬ素子という）を使用したラインヘッド等の光書き込みヘッド、有機ＥＬディスプレイ等の電気光学装置、及び光プリンタ等の画像形成装置等の開発が盛んに行われている。有機ＥＬ素子は、対向する一対の電極間に有機ＥＬ層、即ち発光素子を備えて構成されたものであり、フルカラー表示を行う有機ＥＬ装置は、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各色に対応する発光波長帯域を有する発光素子を備えている。
【０００３】
上記の有機ＥＬ素子を備える発光装置は、有機ＥＬ素子を構成する発光材料（以下、「有機ＥＬ材料」という）が高分子系有機材料であるか、又は低分子系有機材料であるかによってその製造方法が異なる。有機ＥＬ材料が高分子系有機材料である場合には、有機ＥＬ材料を所定の溶媒に溶解又は分散させて液状組成物を形成し、この液状組成物を液滴吐出ヘッドのノズルから吐出して基板の所定の画素電極上に塗布させる、所謂液滴吐出法を使用して製造することが知られている。かかる製造方法においては、画素電極の周囲を隔壁で区画することで、塗布された有機材料液体が他の位置にある画素電極上に塗布された液状組成物と混ざり合うのを抑制することで高精細なパターニングを可能としている。
【０００４】
ところで、上記液滴吐出法では、画素電極上に塗布された液状組成物中の溶媒の蒸発は極めて速い。このため、基板上の端部（上端部、下端部、右端部、左端部）では、基板中央に塗布された液状組成物より溶媒分子分圧が低いために速く乾きはじめる。従って、基板の端部に塗布された液状組成物と中央に塗布された液状組成物とでは、その乾燥時間に差が生じる。このような液状組成物の乾燥時間の差は、画素内、画素間での有機ＥＬ素子の各層の膜厚ムラを引き起こし、輝度ムラ等の表示ムラの原因となってしまう。このため、以下の特許文献１では、基板上の端の周囲に表示には関係のないダミーの塗布領域を設けることで塗布領域を広げ、基板内の溶媒分子分圧を均一にして発光装置を形成する方法が提案されている。
【特許文献１】特開２００２−２２２６９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、近年においては、有機ＥＬ素子に流れる電流を低減するため、高輝度化のため、又は有機ＥＬ素子の膜厚ムラを低減するために、隔壁に囲まれた領域内に複数の有機ＥＬ素子を形成した構造とすることが多くなっている。かかる構造の有機ＥＬ装置は、上記の液滴吐出法と同様の方法により製造される。つまり、複数の有機ＥＬ素子が形成された隔壁によって囲まれた領域内に、液滴吐出法により液滴を配置し、これを乾燥することにより形成される。
【０００６】
しかしながら、上記の製造方法を用いて隔壁に囲まれた領域内に形成された発光層は、必ずしも均一ではなく、特に隔壁に近接する部分では大きな膜厚のムラが生じてしまっていた。発光層の膜厚にムラが生じていると、このムラが生じている近辺において輝度ムラが生ずる。この輝度ムラは、有機ＥＬ装置の場合には表示品質を低下させ、また、光書き込みヘッドを備えるプリンタの場合には印字品質を低下させてしまう。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、ほぼ均一な膜厚の発光層を備える発光装置及びその製造方法、並びに、当該発光装置を備える光書き込みヘッド、電気光学装置、及び画像形成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の発光装置は、複数の発光素子が隔壁によって囲まれてなる発光装置において、前記発光素子と前記隔壁とが少なくとも３μｍ以上離間して形成されてなることを特徴としている。
この発明によると、複数の発光素子の各々は隔壁から少なくとも３μｍ以上離間して形成されている。例えば、液滴吐出法によって発光素子を構成する発光層を形成する場合に、吐出された液状組成物は隔壁付近では溶質が端部に移動することによる膜厚の増加や、隔壁部の撥液性の影響により薄くなるなどの問題があった。そこで、本発明のように発光素子を隔壁から３μｍ以上離間させる事により、膜厚が一定にならない領域に発光素子がかからないようにした。そうすることにより全ての発光素子の発光層の膜厚をほぼ均一にすることができる。この結果として、輝度ムラ等が生じない発光装置を提供することができる。
また、本発明の発光装置は、前記発光素子と前記隔壁との間に親液性を有する絶縁体が形成されてなることを特徴としている。
この発明によると、発光素子と隔壁層との間に親液性を有する絶縁体が形成されているため、例えば液滴吐出法によって発光素子を構成する発光層を形成する場合に、吐出された液状組成物を、隔壁に囲まれた領域の中心から隔壁に至るまで広がらせることができる。これによって、隔壁に囲まれた領域の発光素子が形成される領域において液状組成物をほぼ均一に成膜することができ、膜厚がほぼ均一な発光層を形成する上で好適である。
また、本発明の発光装置は、前記発光素子が、有機材料で構成された発光層をそれぞれ備えていることを特徴としている。
また、本発明の発光装置は、前記発光素子が、前記隔壁によって囲まれた領域内で、千鳥格子状に配置されていることを特徴としている。
この発明によると、発光素子を千鳥格子状に形成しているため、発光素子を高密度に形成することができる。この結果として、輝度の高い発光素子を得ることができる。
上記課題を解決するために、本発明の発光装置の製造方法は、基板上に複数の発光素子が形成された発光装置の製造方法において、前記複数の発光素子全体を共通して囲み、前記発光素子に対して少なくとも３μｍ以上離間した隔壁を形成する隔壁形成工程と、前記隔壁によって区画された領域に、前記発光素子の少なくとも一部を構成する発光層を形成する素子形成工程とを含むことを特徴としている。
この発明によると、発光素子が形成される領域から少なくとも３μｍ以上離間した位置に隔壁が形成され、この隔壁によって区画された領域に発光素子の少なくとも一部を構成する発光層が形成される。このため、例えば液滴吐出法によって発光素子を構成する発光層を形成する場合に、吐出された液状組成物は隔壁付近では溶質が端部に移動することによる膜厚の増加や、隔壁部の撥液性の影響により薄くなるなどの問題があった。そこで、本発明のように発光素子を隔壁から３μｍ以上離間させる事により、膜厚が一定にならない領域に発光素子がかからないようにした。そうすることにより全ての発光素子の発光層の膜厚をほぼ均一にすることができる。この結果として、輝度ムラ等が生じない発光装置を提供することができる。
また、本発明の発光装置の製造方法は、前記発光素子と前記隔壁との間に親液性を有する絶縁体を形成する絶縁体形成工程を含むことを特徴としている。
この発明によると、発光素子と隔壁層との間に親液性を有する絶縁体を形成しているため、例えば液滴吐出法によって発光素子を構成する発光層を形成する場合に、吐出された液状組成物を、隔壁に囲まれた領域の中心から隔壁に至るまで広がらせることができる。これによって、隔壁に囲まれた領域の発光素子が形成される領域において溶媒分子分圧をほぼ均一にすることができ、膜厚がほぼ均一な発光層を形成する上で好適である。
また、本発明の発光装置の製造方法は、前記絶縁体形成工程が、前記隔壁形成工程の前に行われることが望ましい。
また、本発明の発光装置の製造方法は、前記素子形成工程が、前記発光層を液体プロセスで形成する工程であることを特徴としている。
この発明によると、発光素子の形成時においては、発光素子を構成する材料（例えば、発光素子の発光層を構成する発光材料）を含んだ液状組成物が、隔壁で区画された領域内に塗布される。このとき、領域内には隔壁が設けられていないため、領域内に塗布された液状組成物は隔壁の表面状態の影響を受けることない。この結果、領域内の位置に関係なく、領域内全域に亘って均一な量の液状組成物が塗布されるため、ほぼ均一の膜厚を有する発光層を形成することができる。
本発明の光書き込みヘッドは、上記の何れかに記載の発光装置、又は、上記の何れかに記載の発光装置の製造方法により製造された発光装置を備えることを特徴としている。
この発明によると、輝度ムラ等が生じない発光装置を備えているため、輝度ムラ等の表示ムラのない高解像度な描画を行うことができる。
本発明の電気光学装置は、上記の何れかに記載の発光装置、又は、上記の何れかに記載の発光装置の製造方法により製造された発光装置を備えることを特徴としている。
この発明によると、輝度ムラ等が生じない発光装置を備えているため、輝度ムラ等の表示ムラのない電気光学装置を提供することができる。
本発明の画像形成装置は、上記の何れかに記載の発光装置、又は、上記の何れかに記載の発光装置の製造方法により製造された発光装置を備えることを特徴としている。
この発明によると、輝度ムラ等が生じない発光装置を備えているため、輝度ムラ等に起因する階調ムラのない正確な画像を形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態による発光装置及びその製造方法、並びに、光書き込みヘッド、電気光学装置、及び画像形成装置について詳細に説明する。尚、以下に説明する実施形態は、本発明の一部の態様を示すものであり、本発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。
【００１０】
〔画像形成装置〕
図１は、本発明の一実施形態による画像形成装置としての光プリンタの要部を示す断面図である。図１に示す光プリンタ１は、フルカラー表示が可能なタンデム方式の光プリンタである。図１に示す通り、光プリンタ１は、光書き込みヘッドとしてのブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋ、シアン用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｃ、マゼンダ用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｍ、及びイエロ用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｙを備えている。
【００１１】
また、光プリンタ１は、各露光ヘッド２Ｋ，２Ｃ，２Ｍ，２Ｙの下方に、ブラック用感光ドラム３Ｋ、シアン用感光ドラム３Ｃ、マゼンダ用感光ドラム３Ｍ、イエロ用感光ドラム３Ｙをそれぞれ備えている。更に、光プリンタ１は、駆動ローラ４、従動ローラ５、テンションローラ６、及びテンションローラ６によりテンションを加えられて張架されながら図１中反時計周り方向へ循環駆動される中間転写ベルト７を備える。
【００１２】
上記の各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙは、中間転写ベルト７に対して所定間隔に配置されている。各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙは、中間転写ベルト７の駆動と同期して図１中時計周り方向へ回転駆動されるようになっている。そして、各露光ヘッド２Ｋ，２Ｃ，２Ｍ，２Ｙは、各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙの外周面を各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙの回転に同期して順次ライン走査することで、描画データに応じた静電潜像を対応する感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ上に形成する。また、各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙの周囲には、感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙの各外周面を一様に帯電させるコロナ帯電器８Ｋ，８Ｃ，８Ｍ，８Ｙが設けられている。
【００１３】
また、光プリンタ１は、ブラック用感光ドラム３Ｋの周囲にブラック用現像装置９Ｋを、シアン用感光ドラム３Ｃの周囲にシアン用現像装置９Ｃを、マゼンダ用感光ドラム３Ｍの周囲にマゼンダ用現像装置９Ｍを、イエロ用感光ドラム３Ｙの周囲にイエロ用現像装置９Ｙをそれぞれ備えている。これら各現像装置９Ｋ，９Ｃ，９Ｍ，９Ｙは、対応する有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋ，２Ｃ，２Ｍ，２Ｙによって各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ上に形成された静電潜像に対応する色の現像剤であるトナーを付与して可視像（トナー像）を形成するものである。例えば、シアン用現像装置９Ｃは、シアン用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｃによってシアン用感光ドラム３Ｃ上に形成された静電潜像にシアン色のトナーを付与して可視像（トナー像）を形成する。
【００１４】
詳しくは、各現像装置９Ｋ，９Ｃ，９Ｙは、例えば、トナーとして非磁性一成分トナーを用いるもので、その一成分現像剤を、例えば供給ローラで現像ローラへ搬送し、現像ローラ表面に付着したトナーの膜厚を規制ブレードで規制する。この規制により、現像ローラを各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙに接触或いは押圧させることにより、各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ上に形成された静電潜像の電位レベルに応じて現像剤を付着させて可視像（トナー像）として現像する。
【００１５】
更に、光プリンタ１は、各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙの周囲に、各現像装置９Ｋ，９Ｃ，９Ｙで現像された可視像（トナー像）を一次転写対象である中間転写ベルト７に順次転写する一次転写ローラ１０Ｋ，１０Ｃ，１０Ｍ，１０Ｙを備えている。更にまた、光プリンタ１は、各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙの周囲に、クリーニング装置１１Ｋ，１１Ｃ，１１Ｍ，１１Ｙを備えている。クリーニング装置１１Ｋ，１１Ｃ，１１Ｍ，１１Ｙは、一次転写の後に、各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙの表面に残留しているトナーを除去するためのものである。
【００１６】
このような各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ上に形成されたブラック，シアン，マゼンタ，イエロの各可視像（トナー像）は、一次転写ローラ１０Ｋ，１０Ｃ，１０Ｍ，１０Ｙによって中間転写ベルト７上に順次一次転写される。この一次転写により中間転写ベルト７上で順次重ね合わされてフルカラーとなった可視像（トナー像）は、二次転写ローラ１８によって用紙等の記録媒体Ｐ上に二次転写され、一対の定着ローラ１２を通ることで記録媒体Ｐ上に定着される。可視像（トナー像）が定着した記録媒体Ｐは、排紙ローラ１３によって案内されて光プリンタ１の上部に形成された排紙トレイ１４上へ排出される。
【００１７】
また、光プリンタ１は、多数枚の記録媒体Ｐを保持する給紙カセット１５、給紙カセット１５から記録媒体Ｐを一枚ずつ給送するピックアップローラ１６、二次転写ローラ１８の二次転写部への記録媒体Ｐの供給タイミングを規定するゲートローラ１７を備えている。更に、光プリンタ１は、中間転写ベルト７とで二次転写部を形成する二次転写ローラ１８、及び二次転写後に中間転写ベルト７の表面に残留しているトナーを除去するクリーニングブレード１９を備えている。
【００１８】
次に、有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋ，２Ｃ，２Ｍ，２Ｙの詳細について説明する。尚、ブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋ、シアン用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｃ、マゼンダ用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｍ、及びイエロ用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｙは、全て同じ構造をしているので、説明の便宜上、ブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋについて説明し、他の有機ＥＬ露光ヘッド２Ｃ，２Ｍ，２Ｙについては、その詳細な説明を省略する。
【００１９】
図２は、ブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋの斜視図である。ブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋは、一方向、即ち中間転写ベルト７の搬送方向に対して直交する方向に配設された箱体２１と、箱体２１とブラック用感光ドラム３Ｋとの間に位置するように箱体２１に支持固定された光学部材２３とを備えている。箱体２１は、ブラック用感光ドラム３Ｋ側に開口部を有しており、その開口部に向かって光が射出するように発光素子アレイ２２を固定している。次に、発光装置としての発光素子アレイ２２について説明する。
【００２０】
〔発光装置〕
図３は、発光装置としての発光素子アレイ２２を示す図であって、（ａ）は発光素子アレイ２２の上面図であり、（ｂ）は（ａ）中のＡ−Ａ線断面図である。図３（ａ）に示す通り、発光素子アレイ２２は、基板Ｓ上に発光素子としての有機エレクトロルミネッセンス素子（以下、有機ＥＬ素子という）２４を複数個配列した構成である。本実施形態の発光素子アレイ２２は、縦一列に等ピッチに配列された複数個（図３に示す例では８個）の有機ＥＬ素子２４が３列配列されている。
【００２１】
基板Ｓ上にはＩＴＯ（インジウム錫酸化物）等の透光性導電材料により形成される電極層Ｄが形成されており、この電極層Ｄの上部であって、複数の有機ＥＬ素子２４の周囲には、その複数の有機ＥＬ素子２４全体を囲むように隔壁としてのバンク２５が形成されている。本実施形態におけるバンク２５は、図３（ａ）に示す通り、複数の有機ＥＬ素子２４全体を囲むように略四角形状を成している。また、バンク２５は、全ての有機ＥＬ素子２４から少なくとも３μｍ離間するように形成されている。これは有機ＥＬ素子２４の一部をなす発光層２８（詳細は後述する）の膜厚を、全ての有機ＥＬ素子２４でほぼ均一にするためである。
【００２２】
ここで、有機ＥＬ素子２４とバンク２５との距離を３μｍよりも短い距離にすると発光層２８の膜厚ムラが大きくなってしまうため、有機ＥＬ素子２４とバンク２５との距離は少なくとも３μｍ以上に設定される。
【００２３】
図３（ｂ）に示す通り、バンク２５は、電極層Ｄ上に形成された親液性を有する絶縁体としての親液性バンク２５ａと、親液性バンク２５ａ上に形成された撥液性バンク２５ｂとから構成されている。親液性バンク２５ａの一部は、撥液性バンク２５ｂより基板Ｓ中央側に張り出すようにして形成されている。親液性バンク２５ａは、元来、親液性を備えた材料であって、例えば、酸化珪素（ＳｉＯ２）で構成される。尚、親液性を備えていないものであって、通常用いられる公知の親液化処理を施すことで表面を親液化したものであってもよい。一方、撥液性バンク２５ｂは、元来、撥液性を備えた材料、例えば、フッ素系樹脂で構成されたものであってもよい。また、撥液性を備えていないものであって、通常用いられるアクリル樹脂やポリイミド樹脂等の有機樹脂をパターン形成し、ＣＦ４プラズマ処理等により表面を撥液化したものであってもよい。
【００２４】
また、図３（ａ）に示す通り、バンク２５によって基板Ｓの中央には有機ＥＬ素子２４が配列される凹状領域２６が形成されている。凹状領域２６の底部であって、親液性バンク２５ａの開口が形成された部分の電極層Ｄは画素電極２７とされている。本実施形態の画素電極２７は平面形状が円形形状である。また、本実施形態の画素電極２７は、縦一列に等ピッチに配列された複数個（図３に示す例では８個）形成されるとともに、横方向に３列配列されている。各画素電極２７は、それぞれに独立した配線を介して図示しないデータ信号出力駆動回路に接続されている。このデータ信号出力駆動回路から出力された描画データ信号は画素電極２７に供給される。
【００２５】
また、凹状領域２６の底部には、その全面を覆うようにして発光層２８が形成されている。これにより、各画素電極２７上にも発光層２８が積層される。ここで、図３（ｂ）を参照すると、凹部領域２６に形成される発光層２８は、撥液性バンク２５ｂの近傍では盛り上がった形状であるが、それ以外の部分では、ほぼ平坦である。これは、前述した通り、撥液性バンク２５ｂが有機ＥＬ素子２４から少なくとも３μｍ以上離間するよう形成されているためである。よって、画素電極層２７上の発光層２８（この発光層２８は有機ＥＬ素子２４の一部をなす）は、膜厚がほぼ均一に形成されている。つまり、所定の画素電極２７上に形成される発光層２８の膜厚と、他の画素電極２７上に形成される発光層２８の膜厚とはほぼ均一である。
【００２６】
また、撥液性バンク２５ｂ及び発光層２８上全面に渡って陰極２９が形成されている。この陰極２９は、データ信号出力駆動回路に接続されている。更に、陰極２９上の全面には、封止部材３０が形成されている。そして、前述した画素電極２７と、画素電極２７と相対して形成した陰極２９と、画素電極２７と陰極２９との間に形成した発光層２８とで有機ＥＬ素子２４が構成される。
【００２７】
図４は、ブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋの側断面図である。図４に示す通り、ブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋに設けられる光学部材２３は、発光素子アレイ２２と対向する位置に備えられている。この光学部材２３は、内部に複数のレンズ３１を備えており、有機ＥＬ素子２４から射出された光を集光してブラック用感光ドラム３Ｋに照射（描画）する。
【００２８】
他の有機ＥＬ露光ヘッド２Ｃ，２Ｍ，２Ｙも同様に、その各発光素子アレイに設けられた有機ＥＬ素子の発光層の膜厚は、均一になっている。また、他の有機ＥＬ露光ヘッド２Ｃ，２Ｍ，２Ｙは、その光学部材２３の他端から対応する各感光ドラム３Ｃ，３Ｍ，３Ｙに向かって射出される。そして、各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ上の電位レベルが射出された光に応じて変化することでトナーの付着力が制御されて各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ上に描画データ信号に基づいた可視像（トナー像）が現像される。このとき、各有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋ，２Ｃ，２Ｍ，２Ｙに設けられた各有機ＥＬ素子２４の発光層２８の膜厚はほぼ均一であるため、各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ上に現像される可視像（トナー像）は、輝度ムラ等の表示ムラの無い可視像（トナー像）である。
【００２９】
〔発光装置の製造方法〕
次に、本発明の一実施形態による発光装置の製造方法について説明する。図５は、本発明の一実施形態による発光装置の製造方法を示す工程図である。尚、ブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋ、シアン用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｃ、マゼンダ用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｍ、及びイエロ用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｙに設けられる発光装置としての発光アレイ２２は、全て同じ方法によって製造される。従って、以下の説明では、便宜上ブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋに設けられる発光装置としての発光アレイ２２の製造方法のみを説明し、他の有機ＥＬ露光ヘッド２Ｃ，２Ｍ，２Ｙについては、その詳細な説明を省略する。
【００３０】
まず、基板Ｓ上に公知の方法によって電極層Ｄを形成し、次いで電極層Ｄ上に公知の方法によってＳｉＯ２等からなる絶縁層を形成する。ここで、基板Ｓは、例えばガラス、石英ガラス、Ｓｉウェハ、プラスチックフィルム、金属板等である。尚、これら各種の素材基板の表面に半導体膜、金属膜、誘電体膜、有機膜等を下地層として形成したものされたものであってもよい。
【００３１】
次に、基板Ｓ上の絶縁層をパターニングして親液性バンク２５ａを形成する（絶縁体形成工程）。その後、形成した親液性バンク２５ａ上に、親液性バンク２５ａの一部が基板Ｓ中央側に張り出すようにフッ素系樹脂を、例えば高さが１〜２μｍ程度になるようにパターニングして撥液性バンク２５ｂを形成する。このとき、親液性バンク２５ａが基板Ｓの中央側に少なくとも３μｍ以上張り出すように撥液性バンク２５ｂを形成する。これにより、基板Ｓ上には、複数個の画素電極２７の周囲に複数の画素電極２７全体を囲むようにバンク２５が形成される（隔壁形成工程）。この結果、画素電極２７が形成された基板Ｓ中央には凹状領域２６が形成される。
【００３２】
ここで、撥液性バンク２５ｂの形成材料としては、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、オレフィン樹脂、メラミン樹脂等の高分子材料、ポリシラザン、ポリシロキサン等を含有した有機・無機ハイブリッド材料等が用いられる。バンクＢの形成方法としては、リソグラフィ法や印刷法等、任意の方法を用いることができる。例えば、リソグラフィ法を使用する場合は、スピンコート、スプレーコート、ロールコート、ダイコート、ディップコート等所定の方法で、基板Ｓ上に撥液性バンク２５ｂの形成材料からなる層を形成した後、エッチングやアッシング等によりパターニングすることにより、所定のパターン形状のバンクが得られる。尚、基板Ｓとは別の物体上で撥液性バンク２５ｂを形成し、それを基板Ｓ上に配置してもよい。
【００３３】
続いて、凹状領域２６内に発光層２８を液体プロセスとしての液滴吐出法によって形成する（素子形成工程）。即ち、図５（ｂ）に示す通り、発光層２８を構成する組成物としての発光材料を所定の溶媒に溶解又は分散させて形成された液状組成物Ｌを吐出ヘッド４０のノズルＮから吐出させる。このとき、吐出ヘッド４０に設けられたガイドレール４１に沿って吐出ヘッド４０を基板Ｓに対して相対移動させながら液状組成物Ｌを順次吐出することで凹状領域２６内に複数回液状組成物Ｌを吐出する。これにより、凹状領域２６内全面に液状組成物Ｌを塗布させる。
【００３４】
ここで、液状組成物Ｌは、導電性微粒子を溶媒に分散させた分散液や有機銀化合物や酸化銀ナノ粒子を溶媒に分散させた溶液からなるものである。導電性微粒子としては、例えば、金、銀、銅、パラジウム、及びニッケルのうちの何れかを含有する金属微粒子の他、これらの酸化物、並びに有機銀化合物や導電性ポリマーや超電導体の微粒子等を用いることができる。これらの導電性微粒子は、分散性を向上させるために表面に有機物などをコーティングして使うこともできる。導電性微粒子の粒径は１ｎｍ以上０．１μｍ以下であることが好ましい。０．１μｍより大きいと、後述する液体吐出ヘッドのノズルに目詰まりが生じるおそれがある。また、１ｎｍより小さいと、導電性微粒子に対するコーティング剤の体積比が大きくなり、得られる膜中の有機物の割合が過多となる。
【００３５】
また、発光層の形成材料としては、蛍光或いは燐光を発光することが可能な公知の高分子発光材料である、ポリフルオレン誘導体（ＰＦ）、ポリパラフェニレンビニレン誘導体（ＰＰＶ）、ポリフェニレン誘導体（ＰＰ）、ポリパラフェニレン誘導体（ＰＰＰ）、ポリビニルカルバゾール（ＰＶＫ）、ポリチオフェン誘導体、ポリジアルキルフルオレン（ＰＤＡＦ）、ポリフルオレンベンゾチアジアゾール（ＰＦＢＴ）、ポリアルキルチオフェン（ＰＡＴ）や、ポリメチルフェニルシラン（ＰＭＰＳ）等のポリシラン系などを好適に用いることができる。また、これらの発光材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素などの高分子系材料や、ルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクリドン等の低分子材料をドープして用いることもできる。
【００３６】
液状組成物Ｌに含まれる溶媒としては、発光層２８を得るための溶質を分散できるもので、凝集を起こさないものであれば特に限定されない。例えば、水の他に、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール等のアルコール類、ｎ−ヘプタン、ｎ−オクタン、デカン、ドデカン、テトラデカン、トルエン、キシレン、シメン、デュレン、インデン、ジペンテン、テトラヒドロナフタレン、デカヒドロナフタレン、シクロヘキシルベンゼン等の炭化水素系化合物、またエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、１，２−ジメトキシエタン、ビス（２−メトキシエチル）エーテル、ｐ−ジオキサン等のエーテル系化合物、更にプロピレンカーボネート、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、シクロヘキサノン等の極性化合物を例示できる。
【００３７】
また、上記の液状組成物Ｌの表面張力は０．０２Ｎ／ｍ以上０．０７Ｎ／ｍ以下の範囲内であることが好ましい。液滴吐出法にて液体を吐出する際、表面張力が０．０２Ｎ／ｍ未満であると、インク組成物のノズル面に対する濡れ性が増大するため飛行曲りが生じやすくなり、０．０７Ｎ／ｍを超えるとノズル先端でのメニスカスの形状が安定しないため吐出量や、吐出タイミングの制御が困難になる。表面張力を調整するため、液状組成物Ｌには、基板との接触角を大きく低下させない範囲で、フッ素系、シリコーン系、ノニオン系等の表面張力調節剤を微量添加するとよい。ノニオン系表面張力調節剤は、液体の基板への濡れ性を向上させ、膜のレベリング性を改良し、膜の微細な凹凸の発生等の防止に役立つものである。上記表面張力調節剤は、必要に応じて、アルコール、エーテル、エステル、ケトン等の有機化合物を含んでもよい。
【００３８】
また、上記分散液の粘度は１ｍＰａ・ｓ以上５０ｍＰａ・ｓ以下であることが好ましい。液滴吐出法を用いて液状組成物を液滴として吐出する際、粘度が１ｍＰａ・ｓより小さい場合にはノズル周辺部がインクの流出により汚染されやすく、また粘度が５０ｍＰａ・ｓより大きい場合は、ノズル孔での目詰まり頻度が高くなり円滑な液滴の吐出が困難となる。更に、液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換式、電気熱変換方式、静電吸引方式等が挙げられる。
【００３９】
ここで、帯電制御方式は、材料に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で材料の飛翔方向を制御してノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、材料に３０ｋｇ／ｃｍ２程度の超高圧を印加してノズル先端側に材料を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には材料が直進してノズルから吐出され、制御電圧をかけると材料間に静電的な反発が起こり、材料が飛散してノズルから吐出されない。また、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって材料を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から材料を押し出してノズルから吐出させるものである。
【００４０】
電気熱変換方式は、材料を貯留した空間内に設けたヒータにより、材料を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の材料を吐出させるものである。静電吸引方式は、材料を貯留した空間内に微小圧力を加え、ノズルに材料のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから材料を引き出すものである。また、この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式等の技術も適用可能である。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を的確に配置できるという利点を有する。尚、液滴吐出法により吐出される液状材料（流動体）の一滴の量は、例えば１〜３００ナノグラムである。
【００４１】
次に、基板Ｓを、例えばホットプレート上に載置することによって加熱して液状組成物Ｌ中の溶媒を蒸発させ、凹状領域２６上全面に発光層２８を形成する（図５（ｃ）参照）。ここで、撥液性バンク２５ｂの近傍では、撥液性バンク２５ｂの持つ撥液性により、近傍において膜厚が少なくなったり、また、液状組成物が端部の蒸発速度が速い事より、溶質が端部に集まって、撥液性バンク２６ｂ近傍の膜厚が厚くなるなどといった膜厚の偏りが発生する。
【００４２】
この偏りは、本実施形態の製造方法を用いても解消することはできないが、本実施形態では親液性バンク２５ａが基板Ｓの中央側に少なくとも３μｍ張り出すように撥液性バンク２５ｂを形成しているため、画素電極２７上に形成される発光層２８の膜厚はほぼ均一にすることができる。尚、液状組成物Ｌが塗布された基板Ｓを真空容器内に配置し、真空容器内を減圧して液状組成物Ｌに含まれる溶媒を減圧乾燥により除去してもよい。その後、バンク２５及び発光層２８上に、ＬｉＦ層、Ｃａ層、Ａｌ層等を蒸着方法等により積層して陰極２９を形成する。続いて、陰極２９全面に光透過性を有する、例えば樹脂等で構成された封止部材３０を形成する（図５（ｄ）参照）。
【００４３】
図６は、有機ＥＬ素子２４に形成された発光層２８の膜厚の一例を示す図である。図６（ａ），（ｂ）は、図３（ｂ）に示す有機ＥＬ素子２４ａ，２４ｃと撥液性バンク２５ｂとの距離を３μｍにしたときの有機ＥＬ素子２４ａ，２４ｂのそれぞれに形成される発光層１８の膜厚を示す図である。また、図６（ｃ），（ｄ）は、図３（ｂ）に示す有機ＥＬ素子２４ａ，２４ｃと撥液性バンク２５ｂとの距離を１μｍにしたときの有機ＥＬ素子２４ａ，２４ｂのそれぞれに形成される発光層１８の膜厚を示す図である。
【００４４】
図３（ｂ）に示す通り、有機ＥＬ素子２４の発光層２８は画素電極２７上に形成されるため、図６に示す通り、発光層２８は有機ＥＬ素子２４（２４ａ，２４ｂ）となる部分において凹形状に形成される。図６（ａ），（ｂ）を参照すると、基板Ｓの中央部に位置する有機ＥＬ素子２４ｂに形成される発光層２８、及び撥液性バンク２５ｂに近接する有機ＥＬ素子２４ａに形成される発光層２８は、その表面がほぼ平坦であり、また膜厚がほぼ均一であることが分かる。
【００４５】
これに対し、図６（ｃ），（ｄ）を参照すると、基板Ｓの中央部に位置する有機ＥＬ素子２４ｂに形成される発光層２８は、図６（ａ），（ｂ）と同様に、その表面がほぼ平坦であり、また膜厚がほぼ均一である。しかしながら、撥液性バンク２５ｂに近接する有機ＥＬ素子２４ａに形成される発光層２８は、その表面が撥液性バンク２５ｂに近づくにつれて膜厚が厚くなっていることが分かる。これは、撥液性バンク２５ｂの近傍に形成される発光層２８の盛り上がりの部分が有機ＥＬ素子２４ａの発光層２８にも影響を及ぼすからであると考えられる。
【００４６】
有機ＥＬ素子２４ａ，２４ｃと撥液性バンク２５ｂとの距離を３μｍ以上にすると、発光層２８の盛り上がりの部分が有機ＥＬ素子２４ａと撥液性バンク２５ｂとの間における親液性バンク２５ａ上のみに形成されて、有機ＥＬ素子２４ａの発光層２８の膜厚に影響を与えない。このため、図６（ｂ）に示す通り、撥液性バンク２５ｂに近接する有機ＥＬ素子２４ａの発光層２８の膜厚もほぼ均一に形成することができる。
【００４７】
また、撥液性バンク２５ｂ近傍に形成される膜厚に偏りが発生する領域は乾燥させる条件によって長さを変える事ができる。図１１は、撥液性バンク２５ｂ付近に形成される膜厚に偏りがある領域の画素中央方向への長さと乾燥条件との関係を示す図である。ここで、乾燥は真空乾燥装置を用いて行っており、図１１では真空乾燥装置の排気口のバルブ開口度を横軸にとっている。尚、開口度が大きいほど速く乾燥させることができる。図１１に示す通り、撥液性バンク２５ｂ近傍において膜厚に偏りが発生する領域の長さは乾燥条件によって変化することが分かる。更に、図１１に示す結果から、偏りが発生する領域の長さが最短となる乾燥条件の最適値があることが分かる。図１１では、乾燥条件を最適にすると、偏りが発生する領域の長さが２.５μｍ程度になる。よって、有機ＥＬ素子２４ａ，２４ｃと撥液性バンク２５ｂとの距離を少なくとも３μｍ以上にする必要があることが分かる。
【００４８】
以上説明した通り、本実施形態においては、基板Ｓ上であって、複数個の有機ＥＬ素子２４の画素電極２７全てを囲む撥液性バンク２５ｂを、有機ＥＬ素子２４の各々から少なくとも３μｍ離間するように形成した。また、撥液性バンク２５ｂによって形成された基板Ｓ中央に形成された凹状領域２６内全域に液状組成物Ｌを塗布して発光層２８を形成した。このため、撥液性バンク２５ｂの近傍に形成される盛り上がり部分が、有機ＥＬ素子２４の発光層２８の膜厚に影響を与えることがなく、有機ＥＬ素子２４の発光層２８をほぼ均一にすることができる。この結果、バンク２５内で形成された各有機ＥＬ素子２４は、互いに輝度ムラ等の表示ムラの無い可視像（トナー像）を形成することができる。
【００４９】
また、実施形態によれば、各有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋ，２Ｃ，２Ｍ，２Ｙは、有機ＥＬ素子２４を複数個備えた発光素子アレイ２２と、発光素子アレイ２２とに対向する位置に備えられた光学部材２３とを備えている。そして、各有機ＥＬ素子２４から射出した光は、光学部材２３によって集光され、対応する各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ上に照射される。このとき、各有機ＥＬ素子２４の発光層２８は、均一な膜厚であるので、各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ上に現像されるトナー像は、輝度ムラ等の表示ムラの無い像となる。この結果、表示品位の優れた画像を印刷することのできる光プリンタ１を提供することができる。
【００５０】
更に、本実施形態によれば、液滴吐出法によって凹状領域２６内に発光層２８を形成するようにした。液滴吐出法では、発光層２８を構成する組成物としての発光材料を所定の溶媒に溶解又は分散させて形成された液状組成物Ｌを凹状領域２６に吐出して、その後、乾燥することで発光層２８を形成するので、凹状領域２６の形状に関係なく、高精細なパターニングが可能となる。
【００５１】
尚、以上説明した発光装置としての発光素子アレイ２２は、図３に示す通り、縦一列に等ピッチに８個の有機ＥＬ素子２４が形成され、横方向に３列配列されたものであったが、その縦一列に形成される有機ＥＬ素子２４の数、及び横方向の列の数は任意である。また、図３に示す発光素子アレイ２２は、縦横共に一定の間隔で配列されたものであったが、図７に示す通り、千鳥格子状に配列された構成であっても良い。図７は、発光素子アレイ２２の他の構成を示す上面図である。図７に示す発光素子アレイ２２は縦一列に等ピッチに配列された複数個（例えば、１０個）の有機ＥＬ素子２４が２列配列されており、各有機ＥＬ素子２４は、隣接する他の列の有機ＥＬ素子２４と縦方向に半ピッチだけずれるようにして配置された構成である。かかる構成にすると、有機ＥＬ素子２４を高密度に形成することができ、この結果として輝度の高い発光装置とすることができる。
【００５２】
また、上記各実施形態において、有機ＥＬ素子２４は、画素電極２７、発光層２８、及び陰極２９で構成されていた。しかしながら、画素電極２７、発光層２８、及び陰極２９以外に、例えば、画素電極２７と発光層２８との間に正孔輸送層を備えた構成にすることも可能である。かかる構成の場合には、正孔輸送層材料を溶媒に分散又は溶解して形成された液状組成物を凹状領域２６内全面に塗布することで均一な膜厚を有する正孔輸送層を形成し、更に、その上に発光層２８を形成するようにする。このようにすることで、正孔輸送層及び発光層２８の各膜厚を均一にすることができる。
【００５３】
また、上記実施形態では、液体プロセスとして液滴吐出法を使用して発光層２８を形成するようにしたが、これに限定されるものではない。例えば、発光材料を含んだ液状組成物Ｌをディスペンサーを使用して凹状領域２６内全面に塗布するようにしてもよい。また、上記実施形態では、画素電極２７は、円形形状を成していたが、例えば略四角形状であってもよい。更に、上記実施形態では、発光素子として有機ＥＬ素子を使用したが、これに限定されるものではない。
【００５４】
尚、以上説明した実施形態では、光書き込みヘッドとしてのブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋ、シアン用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｃ、マゼンダ用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｍ、及びイエロ用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｙを備えた画像形成装置としての光プリンタ１について説明したが、本発明の発光装置は電気光学装置にも用いることができる。ここで、電気光学装置とは、液晶表示装置（ＬＣＤ）、有機ＥＬ装置（ＯＬＥＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、ＦＥＤ（Field Emission Display）等を総称したものである。次に、電気光学装置について、有機ＥＬ装置を例に挙げて説明する。
【００５５】
〔電気光学装置〕
図８は、電気光学装置の一種としての有機ＥＬ装置の配線構造を示す模式図である。図８に示す有機ＥＬ装置１００は、スイッチング素子として薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を用いたアクティブマトリクス方式のものであり、複数の走査線１０１と、各走査線１０１に対して直角に交差する方向に延びる複数の信号線１０２と、各信号線１０２に並列に延びる複数の電源線１０３とからなる配線構成を有し、走査線１０１と信号線１０２との各交点付近に画素領域Ｘを形成したものである。信号線１０２には、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン、及びアナログスイッチを備えるデータ線駆動回路１０４が接続されている。また、走査線１０１には、シフトレジスタ及びレベルシフタを備える走査線駆動回路１０５が接続されている。
【００５６】
画素領域Ｘの各々には、走査線１０１を介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング用ＴＦＴ１１１と、このスイッチング用ＴＦＴ１１１を介して信号線１０２から供給される画素信号を保持する保持容量１１２と、保持容量１１２によって保持された画素信号がゲート電極に供給される駆動用ＴＦＴ１１３と、この駆動用ＴＦＴ１１３を介して電源線１０３に電気的に接続したときに電源線１０３から駆動電流が流れ込む画素電極（電極）１１４と、この画素電極１１４と共通電極１１６との間に配置された複数の有機ＥＬ素子１１７，１１８，１１９とが設けられている。
【００５７】
画素電極１１４と共通電極１１６との間に配置された複数の有機ＥＬ素子１１７，１１８，１１９は直列接続されており、各々が独立して発光する発光素子である。これらの有機ＥＬ素子１１７は、図３に示す発光素子アレイ２２と同様に、バンクによって取り囲まれた構成である。各画素領域Ｘに複数の発光素子を備える構成とするのは、有機ＥＬ装置１００の大型化に伴って電源線１０３の配線長が長くなり、電圧降下の増大により生ずる各画素領域Ｘの発光輝度低下を防止するためである。尚、電源線１０３に流れる電流を低減することができるため、電源線１０３細くすることで高精細化も可能である。
【００５８】
画素領域Ｘに設けられる有機ＥＬ素子の数をｎとすると、画素領域Ｘに１つの有機ＥＬ素子が設けられている場合に比べて、電源線１０３にｎ倍の電圧が印加されている。これにより、１つの画素領域Ｘの発光輝度を殆ど変えることなく電源線１０３を流れる電流を１／ｎにすることができ、この結果として電圧降下による各画素領域Ｘの発光輝度の低下を防止することができる。
【００５９】
尚、本実施形態では、画素領域Ｘに３つの有機ＥＬ素子１１７，１１８，１１９が設けられている構成を例に挙げて説明するが、画素領域Ｘに設けられる有機ＥＬ素子の数は任意で良い。ここで、画素領域Ｘの各々に設けられる有機ＥＬ素子の数を増加させればさせる程、電源線１０３を流れる電流を低減することができるため、電圧降下による輝度低下防止の観点からは画素に設けられる有機ＥＬ素子の数は多い方が良い。しかしながら、画素の各々に設けられる有機ＥＬ素子の数を増加させればさせる程、開口率の低下を招いてしまう。このため、輝度低下の観点及び開口率の低下の観点の双方を考慮して画素内の有機ＥＬ素子の数は２個以上４個以下であることが望ましい。
【００６０】
上記構成の有機ＥＬ装置１００によれば、走査線１０１が駆動されてスイッチング用ＴＦＴ１１１がオン状態になると、そのときの信号線１０２の電位が保持容量１１２に保持され、保持容量１１２の状態に応じて、駆動用ＴＦＴ１１３のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用ＴＦＴ１１３のチャネルを介して電源線１０３から画素電極１１４に電流が流れ、更に有機ＥＬ素子１１７，１１８，１１９に電流が流れる。すると、有機ＥＬ素子１１７，１１８，１１９は、これを流れる電流量に応じて発光する。
【００６１】
図９は、有機ＥＬ装置１００の構成を模式的に示す平面図である。図９に示す通り、有機ＥＬ装置１００は、光透過性と電気絶縁性とを備える基板１２０と、図８に示すスイッチング用ＴＦＴに接続された画素電極が基板１２０上にマトリックス状に配置されてなる画素電極域（図示せず）と、画素電極域の周囲に配置されるとともに各画素電極に接続される電源線１０３（図９では図示せず）と、少なくとも画素電極域上に位置する平面視ほぼ矩形の画素部１３０（図９中一点鎖線枠内）とを備えて構成されている。尚、画素部１３０は、中央部分の実表示領域１４０（図中二点鎖線枠内）と、実表示領域１４０の周囲に配置されたダミー領域１５０（一点鎖線及び二点鎖線の間の領域）とに区画されている。
【００６２】
実表示領域１４０には、それぞれ画素電極を有する表示領域Ｒ，Ｇ，Ｂが規則的に配置されている。尚、これらの表示領域Ｒ，Ｇ，Ｂの各々は、図１に示した画素領域Ｘをなしている。また、実表示領域１４０の図９中両側には、走査線駆動回路１０５，１５０が配置されている。この走査線駆動回路１５０，１５０は、ダミー領域１５０の下層側に位置して設けられている。また、実表示領域１４０の図９中上方側には検査回路１６０が配置されており、この検査回路１６０はダミー領域１５０の下層側に配置されて設けられている。この検査回路１６０は、有機ＥＬ装置１００の作動状況を検査するための回路であって、例えば検査結果を外部に出力する検査情報出力手段（図示せず）を備え、製造途中や出荷時における表示装置の品質、欠陥の検査を行うことができるように構成されている。
【００６３】
走査線駆動回路１５０及び検査回路１６０の駆動電圧は、所定の電源部から不図示の電圧導電部を介して印加されている。また、これら走査線駆動回路１５０及び検査回路１６０への駆動制御信号及び駆動電圧は、この有機ＥＬ装置１００の作動制御を司る所定のメインドライバ等から不図示の信号導通部を介して送信及び印加されるようになっている。尚、この場合の駆動制御信号とは、走査線駆動回路１５０及び検査回路１６０が信号を出力する際の制御に関連するメインドライバ等からの指令信号である。
【００６４】
〔電子機器〕
図１０は、電子機器の一例を示す図である。図１０（ａ）は、携帯電話の一例を示す斜視図である。図１０（ａ）において５００は携帯電話機本体であり、この携帯電話機本体５００は以上説明した有機ＥＬ表示装置１００等の電気光学装置を有する表示部５０１を備えている。
【００６５】
また、図１０（ｂ）は、ワードプロセッサ、パーソナルコンピュータ等の携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図１０（ｂ）において６００は情報処理装置であり、この情報処理装置６００は、キーボード等の入力部６０１、情報処理本体６０２、及び以上説明した有機ＥＬ表示装置１００等の電気光学装置を有する表示部６０３を備えている。また、図１０（ｃ）は、腕時計型電子機器の一例を示素斜視図である。図１０（ｃ）において、７００は時計本体を示しており、この時計本体７００は、以上説明した有機ＥＬ表示装置１００等の電気光学装置を有する表示部７０１を備えている。図１０（ａ）〜図１０（ｃ）に示す電子機器は、以上説明した有機ＥＬ表示パネル等を備えているため、色むら等が低減された良好な表示を得ることができる。
【００６６】
尚、以上説明した有機ＥＬ装置１００等の電気光学装置は、図１０（ａ）〜図１０（ｃ）に例示した電子機器以外にも種々の電子機器に適用することができる。例えば、液晶プロジェクタ、マルチメディア対応のパーソナルコンピュータ（ＰＣ）及びエンジニアリング・ワークステーション（ＥＷＳ）、ページャ、テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子手帳、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置等の電子機器に適用することが可能である。
【００６７】
また、本願発明は、上述した例に限定されるものではなく、本願発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更を加え得ることはもちろんである。また、本願発明の要旨を逸脱しない範囲において上述した各例を組み合わせても良い。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の一実施形態による画像形成装置としての光プリンタの要部を示す断面図である。
【図２】ブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋの斜視図である。
【図３】発光装置としての発光素子アレイ２２を示す図である。
【図４】ブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋの側断面図である。
【図５】本発明の一実施形態による発光装置の製造方法を示す工程図である。
【図６】有機ＥＬ素子２４に形成された発光層２８の膜厚の一例を示す図である。
【図７】発光素子アレイ２２の他の構成を示す上面図である。
【図８】電気光学装置の一種としての有機ＥＬ装置の配線構造を示す模式図である。
【図９】有機ＥＬ装置１００の構成を模式的に示す平面図である。
【図１０】電子機器の一例を示す図である。
【図１１】撥液性バンク２５ｂ付近に形成される膜厚に偏りがある領域の画素中央方向への長さと乾燥条件との関係を示す図である。
【符号の説明】
【００６９】
１……光プリンタ（画像形成装置）
２Ｃ……シアン用有機ＥＬ露光ヘッド（光書き込みヘッド）
２Ｋ……ブラック用有機ＥＬ露光ヘッド（光書き込みヘッド）
２Ｍ……マゼンダ用有機ＥＬ露光ヘッド（光書き込みヘッド）
２Ｙ……イエロ用有機ＥＬ露光ヘッド（光書き込みヘッド）
２２……発光素子アレイ（発光装置）
２４……有機ＥＬ素子（発光素子）
２５ａ……親液性バンク（絶縁体）
２５ｂ……撥液性バンク（隔壁）
２８……発光層
１００……有機ＥＬ装置（電気光学装置）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の発光素子が隔壁によって囲まれてなる発光装置において、
前記発光素子と前記隔壁とが少なくとも３μｍ以上離間して形成されてなることを特徴とする発光装置。
【請求項２】
前記発光素子と前記隔壁との間に親液性を有する絶縁体が形成されてなることを特徴とする請求項１記載の発光装置。
【請求項３】
前記発光素子は、有機材料で構成された発光層をそれぞれ備えていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の発光装置。
【請求項４】
前記発光素子は、前記隔壁によって囲まれた領域内で、千鳥格子状に配置されていることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の発光装置。
【請求項５】
基板上に複数の発光素子が形成された発光装置の製造方法において、
前記複数の発光素子全体を共通して囲み、前記発光素子に対して少なくとも３μｍ以上離間した隔壁を形成する隔壁形成工程と、
前記隔壁によって区画された領域に、前記発光素子の少なくとも一部を構成する発光層を形成する素子形成工程と
を含むことを特徴とする発光装置の製造方法。
【請求項６】
前記発光素子と前記隔壁との間に親液性を有する絶縁体を形成する絶縁体形成工程を含むことを特徴とする請求項５記載の発光装置の製造方法。
【請求項７】
前記絶縁体形成工程は、前記隔壁形成工程の前に行われることを特徴とする請求項６記載の発光装置の製造方法。
【請求項８】
前記素子形成工程は、前記発光層を液体プロセスで形成する工程であることを特徴とする請求項５から請求項７の何れか一項に記載の発光装置の製造方法。
【請求項９】
請求項１から請求項４の何れか一項に記載の発光装置、又は、請求項５から請求項８の何れか一項に記載の発光装置の製造方法により製造された発光装置を備えることを特徴とする光書き込みヘッド。
【請求項１０】
請求項１から請求項４の何れか一項に記載の発光装置、又は、請求項５から請求項８の何れか一項に記載の発光装置の製造方法により製造された発光装置を備えることを特徴とする電気光学装置。
【請求項１１】
請求項１から請求項４の何れか一項に記載の発光装置、又は、請求項５から請求項８の何れか一項に記載の発光装置の製造方法により製造された発光装置を備えることを特徴とする画像形成装置。
【請求項１】
複数の発光素子が隔壁によって囲まれてなる発光装置において、
前記発光素子と前記隔壁とが少なくとも３μｍ以上離間して形成されてなることを特徴とする発光装置。
【請求項２】
前記発光素子と前記隔壁との間に親液性を有する絶縁体が形成されてなることを特徴とする請求項１記載の発光装置。
【請求項３】
前記発光素子は、有機材料で構成された発光層をそれぞれ備えていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の発光装置。
【請求項４】
前記発光素子は、前記隔壁によって囲まれた領域内で、千鳥格子状に配置されていることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の発光装置。
【請求項５】
基板上に複数の発光素子が形成された発光装置の製造方法において、
前記複数の発光素子全体を共通して囲み、前記発光素子に対して少なくとも３μｍ以上離間した隔壁を形成する隔壁形成工程と、
前記隔壁によって区画された領域に、前記発光素子の少なくとも一部を構成する発光層を形成する素子形成工程と
を含むことを特徴とする発光装置の製造方法。
【請求項６】
前記発光素子と前記隔壁との間に親液性を有する絶縁体を形成する絶縁体形成工程を含むことを特徴とする請求項５記載の発光装置の製造方法。
【請求項７】
前記絶縁体形成工程は、前記隔壁形成工程の前に行われることを特徴とする請求項６記載の発光装置の製造方法。
【請求項８】
前記素子形成工程は、前記発光層を液体プロセスで形成する工程であることを特徴とする請求項５から請求項７の何れか一項に記載の発光装置の製造方法。
【請求項９】
請求項１から請求項４の何れか一項に記載の発光装置、又は、請求項５から請求項８の何れか一項に記載の発光装置の製造方法により製造された発光装置を備えることを特徴とする光書き込みヘッド。
【請求項１０】
請求項１から請求項４の何れか一項に記載の発光装置、又は、請求項５から請求項８の何れか一項に記載の発光装置の製造方法により製造された発光装置を備えることを特徴とする電気光学装置。
【請求項１１】
請求項１から請求項４の何れか一項に記載の発光装置、又は、請求項５から請求項８の何れか一項に記載の発光装置の製造方法により製造された発光装置を備えることを特徴とする画像形成装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２００７−８７６９３（Ｐ２００７−８７６９３Ａ）
【公開日】平成１９年４月５日（２００７．４．５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−２７３４０７（Ｐ２００５−２７３４０７）
【出願日】平成１７年９月２１日（２００５．９．２１）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年４月５日（２００７．４．５）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年９月２１日（２００５．９．２１）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]