着色感光性樹脂組成物
【課題】従来から要望されているカラーフィルタに対する特性を付与することができるとともに、優れた感度を示す着色感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】メタアリル基を有する化合物（Ａ）、２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）、アクリロイル基及びメタアクリロイル基からなる群から選ばれる２以上の基を有する化合物（Ｃ）、光重合開始剤（Ｄ）、着色剤（Ｅ）及びアルカリ可溶性樹脂（Ｆ）を含有する着色感光性樹脂組成物。
【解決手段】メタアリル基を有する化合物（Ａ）、２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）、アクリロイル基及びメタアクリロイル基からなる群から選ばれる２以上の基を有する化合物（Ｃ）、光重合開始剤（Ｄ）、着色剤（Ｅ）及びアルカリ可溶性樹脂（Ｆ）を含有する着色感光性樹脂組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示素子や固体撮像素子に用いられるカラーフィルタを構成する着色画像の形成に好適な使用し得る着色感光性樹脂組成物等に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、カラーフィルタにおいて、その高精細化、高明度化及び／又は高コントラスト化等が望まれている。
このような要望を達成するために、従来から、アリル基を有する化合物（Ａ）、２以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）、アクリロイル基及びメタアクロイル基からなる群から選ばれる２以上の基を有する化合物（Ｃ）、光重合開始剤（Ｄ）、着色剤（Ｅ）及びアルカリ可溶性樹脂（Ｆ）を含む着色感光性樹脂組成物が提案されており、これを用いてカラーフィルタが作成されている。
しかし、このような構成の着色感光性樹脂組成物を用いた着色パターンの感度は、必ずしも十分に満足できるものではなかった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、従来から要望されているカラーフィルタに対する特性を付与することができるとともに、優れた感度を示す着色感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、メタアリル基を有する化合物（Ａ）、２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）、アクリロイル基及びメタアクリロイル基からなる群から選ばれる２以上の基を有する化合物（Ｃ）、光重合開始剤（Ｄ）、着色剤（Ｅ）及びアルカリ可溶性樹脂（Ｆ）を含有することを特徴とする。
【０００５】
このような着色感光性樹脂組成物では、メタアリル基を有する化合物（Ａ）、２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）、並びにアクリロイル基及びメタアクリロイル基からなる群から選ばれる２以上の基を有する化合物（Ｃ）の合計量に対する、メタアリル基を有する化合物（Ａ）の含有量が、５〜６０質量％であることが好ましい。
また、メタアリル基を有する化合物（Ａ）、２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）、並びにアクリロイル基及びメタアクリロイル基からなる群から選ばれる２以上の基を有する化合物（Ｃ）の合計量に対する、２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）の含有量が、１〜６０質量％であることが好ましい。
【０００６】
アルカリ可溶性樹脂（Ｆ）は、側鎖にエポキシ基又はオキセタニル基を含有する樹脂であることが好ましい。
光重合開始剤（Ｄ）がオキシム系開始剤であることが好ましい。
着色剤（Ｅ）が、染料及び／又は顔料を含む着色剤であることが好ましい。
【０００７】
また、本発明及び着色パターンは、上述した着色感光性樹脂組成物を用いて形成されることを特徴とする。
【０００８】
本発明のカラーフィルタは、上述した着色パターンを含むことを特徴とする。
本発明の液晶表示装置は、上述したカラーフィルタを具備することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、従来から要望されているカラーフィルタに対する特性を与えることができるとともに、優れた感度を示す着色感光性樹脂組成物を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、主として、メタアリル基を有する化合物（Ａ）（以下「化合物（Ａ）という場合がある、以下同じ）、２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）、アクリロイル基及びメタアクリロイル基からなる群から選ばれる２以上の基を有する化合物（Ｃ）、光重合開始剤（Ｄ）、着色剤（Ｅ）及びアルカリ可溶性樹脂（Ｆ）を含有する。
【００１１】
メタアリル基を有する化合物（Ａ）は、光及び後述する光重合開始剤（Ｄ）との作用で、後述する２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）と反応しうる化合物である。
【００１２】
化合物（Ａ）は、その分子中に１つのみのメタアリル基を有するものであればよいが、２以上のメタアリル基を有するものが好ましい。
このような化合物（Ａ）としては、メタアリルエーテル類、メタアリルエステル類、メタアリル（イソ）シアヌレート類、メタアリルカーボネート類等が挙げられる。
【００１３】
メタアリルエーテル類の具体例としては、トリメチロールプロパンジメタアリレート、ペンタエリスリトールトリメタアリレート、メタアリルグリシジルエーテルのエポキシ基を多価カルボン酸又はその酸無水物と反応させた化合物等が挙げられる。
【００１４】
メタアリルエステル類の具体例としては、ジメタアリルフタレート、ジメタアリルイソフタレート、ジメタアリルテレフタレート、ジメタアリルマレエート、ジメタアリルフマレート、ジメタアリルエンドメチレンテトラヒドロ無水フタレート、トリメタアリルトリメリテート等が挙げられる。
【００１５】
メタアリル（イソ）シアヌレート類の具体例としては、トリメタアリルイソシアヌレート、ジメタアリルモノグリシジルイソシアヌレート、モノメタアリルジグリシジルイソシアヌレート等が挙げられる。
【００１６】
メタアリルカーボネート類の具体例としては、ジエチレングリコールビスメタアリルカーボネート等が挙げられる。
【００１７】
好ましくは、ペンタエリスリトールトリメタアリレート、トリメタアリルイソシアヌレート、ジメタアリルモノグリシジルイソシアヌレート等である。
【００１８】
化合物（Ａ）は、単独でも２種以上を組み合わせて用いてもよい。その含有量は着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、２〜５１質量％であることが好ましく、より好ましくは３〜４０質量％であり、さらに好ましくは５〜３０質量％である。ここで、着色感光性樹脂組成物の固形分とは、着色感光性樹脂組成物から溶剤成分を除いた量の合計量をいう。
【００１９】
また、メタアリル基を有する化合物（Ａ）の含有量は、メタアリル基を有する化合物（Ａ）、後述する２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）並びにアクリロイル基及びメタアクリロイル基からなる群から選ばれる２以上の基を有する化合物（Ｃ）の合計量に対して、５〜６０質量％であることが適しており、好ましくは１０〜５０質量％、より好ましくは１０〜４０質量％である。
【００２０】
化合物（Ａ）の含有量が、この範囲にあると、硬化が十分におこり、現像時に露光部の膜減りが生じにくく、感度や密着性が良好になる傾向があることから好ましい。
【００２１】
２以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）としては、例えば、チオグリコール酸及び／又は（α−，β−）メルカプトプロピオン酸とポリヒドロキシ化合物とのエステル等が挙げられる。
【００２２】
具体例としては、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、ブタンジオールビスメルカプトアセテート、ブタンジオールビスメルカプトプロピオネート、ブタンジオールビスメルカプトブタノエート、トリメチロールプロパントリスチオメルカプトアセテート、トリメチロールプロパントリスメルカプトプロピオネート、トリメチロールプロパントリスメルカプトブタノエート、ペンタエリスリトールテトラキスメルカプトアセテート、ペンタエリスリトールテトラキスメルカプトプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスメルカプトブタノエート、ジペンタエリスリトールヘキサキスメルカプトアセテート、ジペンタエリスリトールヘキサキスメルカプトプロピオネート、ジペンタエリスリトールヘキサキスメルカプトブタノエート、トリスメルカプトアセテトキシエチルイソシアヌレート、トリスメルカプトプロピオニロキシエチルイソシアヌレート、トリスメルカプトブタノイロキシエチルイソシアヌレート、２−ジ−ｎ−ブチルアミノ−４，６−ジメルカプト−ｓ−トリアジン、多価ヒドロキシ化合物のメルカプトアセテート、メルカプトプロピオネート、メルカプトブタノエートなどが挙げられる。
【００２３】
好ましくは、ペンタエリスリトールテトラキスメルカプトプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスメルカプトブタノエート、ジペンタエリスリトールヘキサキスメルカプトプロピオネート及びジペンタエリスリトールヘキサキスメルカプトブタノエートなどが挙げられる。とりわけ好ましくは、ジペンタエリスリトールヘキサキスメルカプトプロピオネートが挙げられる。
【００２４】
化合物（Ｂ）は、単独でも２種以上を組み合わせて用いてもよい。その含有量は着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、２〜５１質量％であることが好ましく、より好ましくは３〜４０質量％であり、さらに好ましくは５〜３０質量％である。
【００２５】
また、２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）の含有量は、メタアリル基を有する化合物（Ａ）、２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）並びにアクリロイル基及びメタアクリロイル基からなる群から選ばれる２以上の基を有する化合物（Ｃ）の合計量に対して、１〜６０質量％ことが適しており、好ましくは１〜３０質量％、より特に好ましくは５〜３０質量％である。
【００２６】
化合物（Ｂ）の含有量が、この範囲にあると、硬化が十分におこり、現像時に露光部の膜減りが生じにくく、感度や密着性が良好になる傾向があることから好ましい。
【００２７】
アクリロイル基及びメタアクリロイル基からなる群から選ばれる２以上の基を有する化合物（Ｃ）は、光を照射されることによって、後述する光重合開始剤（Ｄ）から発生した活性ラジカル、酸などによって重合しうる化合物である。例えば、アクリロイル基及びメタアクリロイル基由来の重合性の炭素−炭素不飽和結合を有する化合物などが挙げられる。
【００２８】
このような化合物（Ｃ）としては、２官能以上の多官能の化合物であればよいが、３官能以上の多官能の化合物であることが好ましい。
３官能以上の多官能の光重合性化合物としては、例えば、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレートなどが挙げられる。これらは、単独でも２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００２９】
この化合物（Ｃ）の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、７〜６５質量％であることが好ましく、より好ましくは１３〜６０質量％であり、さらに好ましくは１７〜５５質量％である。化合物（Ｃ）の含有量が、この範囲にあると、硬化が十分におこり、現像前後での膜厚比率が向上し、パターンにアンダーカットが入りにくくなって密着性が良好になる傾向があることから好ましい。
【００３０】
光重合開始剤（Ｄ）としては、当該分野で使用されているものであれば特に限定されない。例えば、アセトフェノン系化合物、活性ラジカル発生剤、酸発生剤などが挙げられる。
前記のアセトフェノン系化合物としては、例えば、ジエトキシアセトフェノン、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕プロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（１−メチルビニル）フェニル〕プロパン−１−オンのオリゴマーなどが挙げられ、好ましくは２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンなどが挙げられる。
【００３１】
活性ラジカル発生剤は光を照射されることによって活性ラジカルを発生する。前記の活性ラジカル発生剤としては、例えば、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、トリアジン系化合物、オキシム系化合物などが挙げられる。
【００３２】
前記のベンゾイン系化合物としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。
【００３３】
前記のベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド、３，３’，４，４’−テトラ（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。
【００３４】
前記のチオキサントン系化合物としては、例えば、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
【００３５】
前記のトリアジン系化合物としては、例えば、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシナフチル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシスチリル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（フラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジンなどが挙げられる。
【００３６】
前記のオキシム系化合物としては、例えば、Ｏ−アシルオキシム系化合物が挙げられ、その具体例としては、１−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−ブタン−１，２−ジオン２−オキシム−Ｏ−ベンゾアート、１−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−オクタン−１，２−ジオン ２−オキシム−Ｏ−ベンゾアート、１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタノン １−Ｏ−アセテート、１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−（３，３−ジメチル−２，４−ジオキサシクロペンタニルメチルオキシ）ベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタノン １−Ｏ−アセテート等が挙げられる。
【００３７】
前記の例示以外の活性ラジカル発生剤として、例えば、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、１０−ブチル−２−クロロアクリドン、２−エチルアントラキノン、ベンジル、９，１０−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物などを用いることもできる。
【００３８】
前記の酸発生剤としては、例えば、４−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、４−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、４−アセトキシフェニルジメチルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、４−アセトキシフェニル・メチル・ベンジルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウムｐ−トルエンスルホナート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネートなどのオニウム塩類や、ニトロベンジルトシレート類、ベンゾイントシレート類などを挙げることができる。
【００３９】
また、前記の活性ラジカル発生剤として上記した化合物の中には、活性ラジカルと同時に酸を発生する化合物もあり、例えば、トリアジン系光重合開始剤は、酸発生剤としても使用される。
中でも、オキシム系開始剤であることが好ましい。
【００４０】
光重合開始剤（Ｄ）の含有量は、化合物（Ａ）、化合物（Ｂ）、化合物（Ｃ）及びアルカリ可溶性樹脂（Ｆ）の合計量に対して質量分率で、好ましくは０．１〜３０質量％であり、より好ましくは１〜２０質量％である。光重合開始剤の含有量が、この範囲にあると、高感度化して露光時間が短縮され生産性が向上することから好ましい。
【００４１】
本発明の着色感光性樹脂組成物には、さらに光重合開始助剤（Ｄ−１）が含まれていてもよい。光重合開始助剤（Ｄ−１）は、通常、光重合開始剤（Ｄ）と組み合わせて用いられ、光重合開始剤によって重合が開始された光重合性化合物の重合を促進するために用いられる化合物である。
光重合開始助剤（Ｄ−１）としては、アミン系化合物、アルコキシアントラセン系化合物、チオキサントン系化合物などが挙げられる。
【００４２】
前記のアミン系化合物としては、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称ミヒラーズケトン）、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（エチルメチルアミノ）ベンゾフェノンなどが挙げられる。中でも４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましい。
【００４３】
前記のアルコキシアントラセン系化合物としては、例えば、９，１０−ジメトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセン、９，１０−ジブトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジブトキシアントラセンなどが挙げられる。
【００４４】
前記のチオキサントン系化合物としては、例えば、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
【００４５】
光重合開始助剤（Ｄ−１）は、単独でも２種以上を組み合わせて用いてもよい。また、光重合開始助剤（Ｄ−１）としては、市販のものを用いることもでき、市販の光重合開始助剤（Ｄ−１）としては、例えば、商品名「ＥＡＢ−Ｆ」（保土谷化学工業（株）製）などが挙げられる。
【００４６】
本発明の着色感光性樹脂組成物における光重合開始剤（Ｄ）及び光重合開始助剤（Ｄ−１）の組合せとしては、例えば、ジエトキシアセトフェノン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、ベンジルジメチルケタール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕プロパン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（１−メチルビニル）フェニル〕プロパン−１−オンのオリゴマー／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンなどが挙げられ、好ましくは２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが挙げられる。
【００４７】
これらの光重合開始助剤（Ｄ−１）を用いる場合、その使用量は、光重合開始剤（Ｄ）１モルあたり、好ましくは０．０１〜１０モル、より好ましくは０．０１〜５モルである。
【００４８】
着色剤（Ｅ）としては、染料及び／又は顔料などが挙げられる。これらは、単独又は２種以上の着色剤を組み合わせてもよく、その場合、染料のみの組み合わせ、顔料のみの組み合わせ、染料と顔料との組み合わせのいずれであってもよい。特に、染料を含むことが好ましい。
【００４９】
染料としては、酸性染料、塩基性染料、直接染料、硫化染料、建染染料、ナフトール染料、反応染料、分散染料などが挙げられ、従来カラーフィルタ用途として公知の染料などから選択できる。
例えば、特開昭６４−９０４０３号公報、特開昭６４−９１１０２号公報、特開平１−９４３０１号公報、特開平６−１１６１４号公報、特登２５９２２０７号、米国特許第４，８０８，５０１号明細書、米国特許第５，６６７，９２０号明細書、米国特許第５，０５９，５００号明細書、特開平５−３３３２０７号公報、特開平６−３５１８３号公報、特開平６−５１１１５号公報、特開平６−１９４８２８号公報等に記載の色素が挙げられる。
【００５０】
具体的には、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、アリールアゾ系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、アンスラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、シアニン系、ポリメチン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、キノフタロン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、ジオキサジン系、クマリン系、スクアリリウム系、が挙げられ、好ましくはピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、アントラキノン系、アンスラピリドン系、フタロシアニン系、ジオキサジン系、キノフタロン系、キサンテン系が挙げられ、より好ましくはピラゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、フタロシアニン系、キノフタロン系、キサンテン系などが挙げられる。
【００５１】
前記の顔料としては、有機顔料及び無機顔料が挙げられ、カラーインデックス（The Society of Dyers and Colourists出版）でピグメント（Pigment）に分類されている化合物が挙げられる。
【００５２】
例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１、３、１２、１３、１４、１５、１６、１７、２０、２４、３１、５３、８３、８６、９３、９４、１０９、１１０、１１７、１２５、１２８、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５３、１５４、１６６、１７３、１９４、２１４などの黄色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１３、３１、３６、３８、４０、４２、４３、５１、５５、５９、６１、６４、６５、７１、７３などのオレンジ色の顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９、９７、１０５、１２２、１２３、１４４、１４９、１６６、１６８、１７６、１７７、１８０、１９２、２０９、２１５、２１６、２２４、２４２、２５４、２５５、２６４、２６５などの赤色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、１５：３、１５：４、１５：６、６０などの青色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、１９、２３、２９、３２、３６、３８などのバイオレット色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６などの緑色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、２５などのブラウン色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、７などの黒色顔料などが挙げられる。
【００５３】
中でも、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、１３９、１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、２０９、２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッドバイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６及びＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６から選ばれる少なくとも一つの顔料を含有していることが好ましい。これらの顔料は、これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００５４】
前記の顔料のうち有機顔料は、必要に応じて、ロジン処理、酸性基又は塩基性基が導入された顔料誘導体や顔料分散剤などを用いた表面処理、高分子化合物などによる顔料表面へのグラフト処理、硫酸微粒化法などによる微粒化処理、又は不純物を除去するための有機溶剤や水などによる洗浄処理、イオン性不純物のイオン交換法などによる除去処理などが施されていてもよい。
【００５５】
前記の顔料分散剤としては、市販の界面活性剤を用いることがでる。
このような界面活性剤としては、シリコーン系、フッ素系、エステル系、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性などの界面活性剤などが挙げられる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
具体的には、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、３級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイミン類等のほか、商品名でＫＰ（信越化学工業（株）製）、ポリフロー（共栄化学（株）製）、エフトップ（トーケムプロダクツ社製）、メガファック（ＤＩＣ（株）製）、フロラード（住友スリーエム（株）製）、アサヒガード、サーフロン（以上、旭硝子（株）製）、ソルスパース（ゼネカ（株）製）、ＥＦＫＡ（ＥＦＫＡ ＣＨＥＭＩＣＡＬＳ社製）、ＰＢ８２１（味の素（株）製）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ（ビックケミー社製）などが挙げられる。
【００５６】
着色剤（Ｅ）の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して、１〜７０質量％、好ましくは１０〜５０質量％である。着色剤（Ｅ）の含有量がこの範囲にあると、目的の分光を得ることができる。
【００５７】
アルカリ可溶性樹脂（Ｆ）としては、現像処理工程において用いられる現像液、特に好ましくはアルカリ現像液に対して可溶性を有するものであれば、特に限定されるものではない。
【００５８】
例えば、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸等の酸性官能基を有する構成単位と他の共重合可能な構成単位との共重合体が挙げられる。なかでも、カルボキシル基を有する構成単位との共重合体が好ましく挙げられる。
【００５９】
カルボキシル基を有する構成単位としては、不飽和モノカルボン酸又は不飽和ジカルボン酸などのように、分子中に単数又は複数のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸から導かれるものなどが挙げられる。
該不飽和カルボン酸として、具体的には、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、桂皮酸、コハク酸モノ〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕又はω−カルボキシポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
ここで、（メタ）アクリレートは、アクリレート及び／又はメタクリレートを表す。
酸性官能基を有する構成単位の含有量は、アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）を構成する全構成単位中、モル分率で、好ましくは１６モル％以上５０モル％以下、より好ましくは１８モル％以上４５モル％以下である。酸性官能基を有する構成単位の含有量がこの範囲にあると、現像時に、非画素部の溶解性が良好となる。また、現像後の非画素部に残渣が残りにくい傾向があり、好ましい。
【００６０】
他の共重合可能な構成単位としては、オレフィン性二重結合を有するカルボン酸エステル、オレフィン性二重結合を有するアミド化合物、重合性の炭素−炭素不飽和結合を有する芳香族化合物、シアン化ビニル化合物、Ｎ−置換マレイミド化合物、硬化性の基を有する不飽和化合物等が挙げられる。
【００６１】
他の共重合可能な構成単位の具体例としては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、アミノエチル（メタ）アクリレート、マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチルなどの不飽和カルボン酸エステル類；
酢酸ビニル又はプロピオン酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル類；
【００６２】
ジメチル（メタ）アクリルアミド、イソプロピル（メタ）アクリルアミドなどの重合性アミド類；
スチレン、α−メチルスチレン又はビニルトルエンなどの重合性芳香族類；
アクリロニトリル、メタクリロニトリル又はα−クロロ（メタ）アクリロニトリルなどのシアン化ビニル類、Ｎ−メチルマレイミド、Ｎ−エチルマレイミド、Ｎ−ブチルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミドなどのＮ−置換マレイミド類などが挙げられる。
【００６３】
また、硬化性の基を有する不飽和化合物の具体例としては、グリシジル（メタ）アクリレート、β−メチルグリシジル（メタ）アクリレート、２，３−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシトリシクロ［５．２．１．０２．６］デシル（メタ）アクリレート、ビニルベンジルグリシジルエーテル又はビニルシクロヘキセンオキサイドなどのエポキシ基含有不飽和化合物類；
【００６４】
３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン、３−メチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン、３−エチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン、３−メチル−３−［１−（メタ）アクリロキシ］メチルオキセタン、３−エチル−３−［１−（メタ）アクリロキシ］メチルオキセタン、３−メチル−３−［１−（メタ）アクリロキシ］エチルオキセタン、３−エチル−３−［１−（メタ）アクリロキシ］エチルオキセタン、２−フェニル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン、２−トリフルオロメチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン、２−ペンタフルオロエチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン、３−メチル−３−（メタ）アクリロキシエチルオキセタン、３−メチル−３−（メタ）アクリロキシエチルオキセタン、２−フェニル−３−（メタ）アクリロキシエチルオキセタン、２−トリフルオロメチル−３−（メタ）アクリロキシエチルオキセタン又は２−ペンタフルオロエチル−３−（メタ）アクリロキシエチルオキセタン、３−メタクリロキシオキセタンなどのオキセタニル基含有不飽和化合物類などが挙げられる。
中でも、側鎖にエポキシ基又はオキセタニル基を含有する樹脂であることが好ましい。
【００６５】
他の共重合可能な構成単位としては、着色感光性樹脂組成物から形成される着色パターンの信頼性が向上することから、特に、硬化性の基を有する不飽和化合物が好ましい。
【００６６】
また、上記以外の共重合可能な構成単位としては、例えば、芳香族ビニル化合物、不飽和カルボン酸エステル類、不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類、不飽和カルボン酸グリシジルエステル類、カルボン酸ビニルエステル類、不飽和エーテル類、シアン化ビニル化合物、不飽和アミド類、不飽和イミド類、脂肪族共役ジエン類、重合体分子鎖の末端にモノアクリロイル基又はモノメタクリロイル基を有するマクロモノマー類、式（ＩＩ）で表される構造単位及び式（ＩＩＩ）で表される構造単位などが挙げられる。
【００６７】
（式（ＩＩ）及び式（ＩＩＩ）中、Ｒ５３及びＲ５５は、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表す。Ｒ５４及びＲ５６は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数１〜６のアルキル基を表す。）
【００６８】
具体的には、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート共重合体、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／スチレン共重合体、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／イソボルニルメタクリレート共重合体、メタクリル酸／スチレン／ベンジルメタクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド共重合体、メタクリル酸／式（ＩＩ）で表される構成成分（ただし、ここでは、式（ＩＩ）中、Ｒ５３はメチル基を表し、Ｒ５４は水素原子を表す。）／ベンジルメタクリレート共重合体、式（ＩＩ）で表される構成成分（ただし、ここでは、式（ＩＩ）中、Ｒ５３はメチル基を表し、Ｒ５４は水素原子を表す。）／ベンジルメタクリレート共重合体、メタクリル酸／式（ＩＩＩ）で表される構成成分（ただし、ここでは、式（ＩＩＩ）中、Ｒ５５はメチル基を表し、Ｒ５６は水素原子を表す。）／スチレン共重合体／トリシクロデカニルメタクリレート共重合体などが好ましい。
【００６９】
特に、式（ＩＶ）で表されるアルカリ可溶性樹脂（Ｆ）が、硬化性、現像性の点で好ましい。
【００７０】
上述したメタクリル酸／式（ＩＩ）で表される構成成分（ただし、ここでは、式（ＩＩ）中、Ｒ５３はメチル基を表し、Ｒ５４は水素原子を表す。）／ベンジルメタクリレート共重合体は、メタクリル酸とベンジルメタクリレートとを重合させて２成分重合体を得て、得られた２成分重合体と式（Ｖ）で表される化合物（ただし、ここでは、式（Ｖ）中、Ｒ５７は水素原子を表す。）とを反応させて得ることができる。
【００７１】
（式（Ｖ）中、Ｒ５７は、水素原子又は炭素数１〜６のアルキル基を表す。）
【００７２】
メタクリル酸／式（ＩＩＩ）で表される構成成分（ただし、ここでは、式（ＩＩＩ）中、Ｒ５５はメチル基を表し、Ｒ５６は水素原子を表す。）／スチレン共重合体／トリシクロデカニルメタクリレート共重合体は、ベンジルメタクリレート、メタクリル酸、トリシクロデカン骨格のモノメタクリレート共重合体に、グリシジルメタクリレートを反応させて得ることができる。
【００７３】
共重合は、一般に、重合開始剤を用いて溶媒中で行われる。
重合開始剤としては、例えば、２，２’−アゾビスイソブチロニトリルや２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオン酸メチル）のようなアゾ化合物、過酸化ベンゾイルや過酸化−ｔｅｒｔ−ブチルのような過酸化物などが用いられる。
溶媒は、各モノマーを溶解するものであればよく、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテートのようなグリコールエーテルエステル類、後述する溶剤（Ｅ）として例示した溶剤等が用いられる。
【００７４】
反応温度は、重合開始剤の分解温度や溶剤及びモノマーの沸点などを考慮して決定すればよい。
なお、このようにして得られる共重合体の側鎖を、重合性基を有する化合物で変成して、感光性のアルカリ可溶性樹脂（Ｆ）とすることもできる。この際、樹脂に重合性基を導入するための触媒を加えてもよい。
触媒としては、例えば、トリスジメチルアミノメチルフェノール等が挙げられる。また、副反応を防ぐための添加剤を加えてもよい。添加剤としては、例えば、ハイドロキノン等が挙げられる。
【００７５】
さらに、アルカリ可溶性樹脂（Ｆ）は、例えば、以下の共重合体［Ｋ１］〜［Ｋ４］等が例示されるものであってもよい。
［Ｋ１］不飽和カルボン酸及び／又は不飽和カルボン酸無水物（Ｂ１）（以下、単に「（Ｂ１）」と記すことがある）と、炭素数２〜４の環状エーテル基を有する単量体（Ｂ２）（以下、単に「（Ｂ２）」と記すことがある）とを重合してなる共重合体。
［Ｋ２］（Ｂ１）と（Ｂ２）と単量体（Ｂ３）とを重合してなる共重合体。ここで、単量体（Ｂ３）（以下、単に「（Ｂ３）」と記すことがある）は、（Ｂ１）及び／又は（Ｂ２）と共重合可能な単量体であって、（Ｂ１）及び／又（Ｂ２）ではない単量体である。
［Ｋ３］（Ｂ１）と（Ｂ３）との共重合体において、（Ｂ１）に由来するカルボキシル基の一部を、（Ｂ２）に由来する炭素数２〜４の環状エーテル基と反応させることで得られる共重合体。
［Ｋ４］（Ｂ１）と（Ｂ３）との共重合体。
なかでも、少なくとも（Ｂ１）と（Ｂ２）とを重合してなる共重合体であることが好ましい。
【００７６】
（Ｂ１）としては、例えば、脂肪族不飽和カルボン酸及び／又は脂肪族不飽和カルボン酸無水物等が挙げられる。具体的には、
アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸等の不飽和モノカルボン酸類；
マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸等の不飽和ジカルボン酸類；及び
これら不飽和ジカルボン酸類の無水物；
こはく酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕等の２価以上の多価カルボン酸の不飽和モノ〔（メタ）アクリロイロキシアルキル〕エステル類；
α−（ヒドロキシメチル）アクリル酸等、同一分子中にヒドロキシ基及びカルボキシル基を含有する不飽和アクリレート類等が挙げられる。
なかでも、アクリル酸、メタクリル酸又は無水マレイン酸等が、共重合反応性及びアルカリ溶解性の点から好ましい。
これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。なお、本明細書においては、特に断りのない限り、例示した化合物、成分、剤等はいずれも単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００７７】
（Ｂ２）は、例えば、炭素数２〜４の環状エーテル基（例えば、エポキシ基、オキセタニル基及びテトラヒドロフリル基）からなる群から選ばれる少なくとも１種の基を有していればよく、さらに、不飽和結合を有する単量体であることが好ましい。
【００７８】
（Ｂ２）としては、例えば、エポキシ基を有する単量体、オキセタニル基を有する単量体、テトラヒドロフリル基を有する単量体等が挙げられる。
【００７９】
前記のエポキシ基を有する単量体とは、例えば、脂肪族エポキシ基及び脂環式エポキシ基からなる群から選ばれる少なくとも１種の基を有する重合性化合物をいう。
エポキシ基を有する単量体は、脂肪族エポキシ基及び脂環式エポキシ基からなる群から選ばれる少なくとも１種の基を有し、かつ不飽和結合を有する化合物であることが好ましい。
【００８０】
脂肪族エポキシ基を有する化合物としては、具体的には、グリシジル（メタ）アクリレート、β−メチルグリシジル（メタ）アクリレート、β−エチルグリシジル（メタ）アクリレート、グリシジルビニルエーテル、特開平７−２４８６２５号公報に記載の下記の式（ＶＩ）で示される化合物等が挙げられる。
（式（VI)中、Ｒ６１〜Ｒ６３は、それぞれ独立に水素原子又は炭素原子数１〜１０のアルキル基であり、ｍ１は１〜５の整数である。）。
【００８１】
ここで、アルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、１−メチル−ｎ−プロピル基、２−メチル−ｎ−プロピル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、１−メチル−ｎ−ブチル基、２−メチル−ｎ−ブチル基、３−メチル−ｎ−ブチル基、１，１−ジメチル−ｎ−プロピル基、１，２−ジメチル−ｎ−プロピル基、２，２−ジメチル−ｎ−プロピル基、ｎ−ヘキシル基、シクロヘキシル基等が例示される。
なお、いずれの化学構造式においても、炭素数によって異なるが、特に断りのない限り、置換基等の例示は、本明細書全体にわたって同様に適用することができる。また、直鎖又は分岐の双方をとることができるものは、そのいずれをも含む。
【００８２】
前記の式（VI)で示される化合物としては、例えば、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、２，３−ジグリシジルオキシメチルスチレン、２，４−ジグリシジルオキシメチルスチレン、２，５−ジグリシジルオキシメチルスチレン、２，６−ジグリシジルオキシメチルスチレン、２，３，４−トリグリシジルオキシメチルスチレン、２，３，５−トリグリシジルオキシメチルスチレン、２，３，６−トリグリシジルオキシメチルスチレン、３，４，５−トリグリシジルオキシメチルスチレン、２，４，６−トリグリシジルオキシメチルスチレン等が挙げられる。
【００８３】
脂環式エポキシ基を有する単量体としては、例えば、脂肪族単環式エポキシ基を有する単量体、脂肪族多環式エポキシ基を有する単量体等が挙げられる。脂肪族単環式エポキシ基を有する単量体とは、脂肪族単環式化合物の環上にエポキシ基を有する重合性化合物をいう。また、脂肪族多環式エポキシ基を有する単量体とは、脂肪族多環式化合物の環上にエポキシ基を有する重合性化合物をいう。これらのエポキシ基を有する単量体は、脂肪族単環式化合物及び脂肪族多環式化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種の環上にエポキシ基を有し、かつ不飽和結合を有する化合物であることが好ましい。
【００８４】
前記の脂肪族単環式化合物としては、例えば、シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロヘプタン、シクロオクタン等が挙げられる。なかでも、炭素数５〜７の化合物が好ましい。
脂肪族単環式エポキシ基を有する単量体としては、具体的には、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート（例えば、サイクロマーＡ４００；ダイセル化学工業（株）製）、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタアクリレート（例えば、サイクロマーＭ１００；ダイセル化学工業（株）製）等が挙げられる。
【００８５】
前記の脂肪族多環式化合物としては、例えば、ジシクロペンタン、トリシクロデカン、ノルボルナン、イソノルボルナン、ビシクロオクタン、ビシクロノナン、ビシクロウンデカン、トリシクロウンデカン、ビシクロドデカン、トリシクロドデカン等が挙げられる。なかでも、炭素数８〜１２の化合物が好ましい。
【００８６】
前記の脂肪族多環式エポキシ基を有する単量体としては、例えば、３，４−エポキシノルボルニルアクリレート、３，４−エポキシノルボルニルメタクリレート、式（VII）で表される化合物及び式（VIII）で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物等が挙げられる。
式（VII）及び式（VIII）において、Ｒ71及びＲ72は、それぞれ独立に、水素原子又は水酸基で置換されていてもよい炭素数１〜４のアルキル基を表す。
Ｘ71及びＸ72は、それぞれ独立に、単結合、炭素数１〜６のアルキレン基又は−（ＣＨ２）ｓ−Ｘ'−（ＣＨ２）ｔ−、Ｘ'は硫黄原子、酸素原子又は２価のアミノ基、ｓ及びｔは、それぞれ独立に、０〜６の整数、ただしｓ＋ｔ＝６を表す。］
【００８７】
Ｒ71及びＲ72としては、具体的には、水素原子；メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基等のアルキル基；
ヒドロキシメチル基、１−ヒドロキシエチル基、２−ヒドロキシエチル基、１−ヒドロキシ−ｎ−プロピル基、２−ヒドロキシ−ｎ−プロピル基、３−ヒドロキシ−ｎ−プロピル基、１−ヒドロキシ−イソプロピル基、２−ヒドロキシ−イソプロピル基、１−ヒドロキシ−ｎ−ブチル基、２−ヒドロキシ−ｎ−ブチル基、３−ヒドロキシ−ｎ−ブチル基、４−ヒドロキシ−ｎ−ブチル基等の水酸基置換アルキル基が挙げられる。
なかでも、好ましくは水素原子、メチル基、ヒドロキシメチル基、１−ヒドロキシエチル基、２−ヒドロキシエチル基である。より好ましくは水素原子、メチル基である。
【００８８】
Ｘ71及びＸ72としては、具体的には、単結合；メチレン基、エチレン基、プロピレン基等のアルキレン基；
チオアルキレン基、オキシアルキレン基、アミノアルキレン基等のヘテロ原子含有アルキレン基が挙げられる。具体的には、オキシメチレン基、オキシエチレン基、オキシプロピレン基、チオメチレン基、チオエチレン基、チオプロピレン基、アミノメチレン基、アミノエチレン基、アミノプロピレン基等が例示される。
なかでも、好ましくは単結合、メチレン基、エチレン基、オキシメチレン基、オキシエチレン基である。より好ましくは単結合、オキシエチレン基である。
【００８９】
式（VII）で表される化合物及び式（VIII）で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物は、下記の式（VII’）で表される化合物及び式（VIII’）で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物であることが好ましい。
式（VII’）及び式（VIII’）において、Ｒ71’及びＲ72’は、それぞれ前記Ｒ71及びＲ72と同義である。
【００９０】
式（VII）で表される化合物としては、例えば、式（VII−１）〜式（VII−１５）で表される化合物等が挙げられる。好ましくは式（VII−１）、式（VII−３）、式（VII−５）、式（VII−７）、式（VII−９）、式（VII−１１）〜式（VII−１５）である。より好ましくは式（VII−１）、式（VII−７）、式（VII−９）、式（VII−１５）である。
【００９１】
【００９２】
式（VIII）で表される化合物としては、例えば、式（VIII−１）〜式（VIII−１５）で表される化合物等が挙げられる。好ましくは式（VIII−１）、式（VIII−３）、式（VIII−５）、式（VIII−７）、式（VIII−９）、式（VIII−１１）〜式（VIII−１５）である。より好ましくは式（VIII−１）、式（VIII−７）、式（VIII−９）、式（VIII−１５）である。
【００９３】
【００９４】
式（VII）で表される化合物及び式（VIII）で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物は、それぞれ単独で用いることができる。また、任意の比率で混合することができる。混合する場合、その混合比率はモル比で、好ましくは式（VII）：式（VIII）で５：９５〜９５：５、より好ましくは１０：９０〜９０：１０、さらに好ましくは２０：８０〜８０：２０である。
【００９５】
前記のオキセタニル基を有する単量体とは、例えば、脂肪族オキセタニル基及び脂環式オキセタニル基からなる群から選ばれる少なくとも１種の基を有する重合性化合物をいう。オキセタニル基を有する単量体は、脂肪族オキセタニル基及び脂環式オキセタニル基からなる群から選ばれる少なくとも１種の基を有し、かつ不飽和結合を有する化合物であることが好ましい。
【００９６】
オキセタニル基を有する単量体としては、具体的には、３−メチル−３−メタクリルオキシメチルオキセタン、３−メチル−３−アクリロキシメチルオキセタン、３−エチル−３−メタクリロキシメチルオキセタン、３−エチル−３−アクリロキシメチルオキセタン、３−メチル−３−メタクリロキシエチルオキセタン、３−メチル−３−アクリロキシエチルオキセタン、３−エチル−３−メタクリロキシエチルオキセタン又は３−エチル−３−アクリロキシエチルオキセタン等が挙げられる。
【００９７】
前記のテトラヒドロフリル基を有する単量体とは、例えば、脂肪族テトラヒドロフリル基及び脂環式テトラヒドロフリル基からなる群から選ばれる少なくとも１種の基を有する重合性化合物をいう。テトラヒドロフリル基を有する単量体は、脂肪族テトラヒドロフリル基及び脂環式テトラヒドロフリル基からなる群から選ばれる少なくとも１種の基を有し、かつ不飽和結合を有する化合物であることが好ましい。
テトラヒドロフリル基を有する単量体としては、具体的には、テトラヒドロフルフリルアクリレート（例えば、ビスコートＶ＃１５０、大阪有機化学工業（株）製）、テトラヒドロフルフリルメタクリレート等が挙げられる。
【００９８】
共重合可能な単量体（Ｂ３）としては、例えば、
メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸アルキルエステル類；
シクロヘキシル（メタ）アクリレート、２−メチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、トリシクロ［５．２．１．０２,６］デカン−８−イル（メタ）アクリレート（当該技術分野では、慣用名として、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートといわれている）、ジシクロペンタニルオキシエチル（メタ）アクリレート、イソボロニル（メタ）アクリレート、等の（メタ）アクリル酸環状アルキルエステル類；
フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸アリールエステル類；
マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等のジカルボン酸ジエステル；
２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等のヒドロキシアルキルエステル類；
【００９９】
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（２’−ヒドロキシエチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−エトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジヒドロキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジカルボキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジ（ヒドロキシメチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジ（２’−ヒドロキシエチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジメトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジエトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシ−５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシ−５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシメチル−５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−６−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−６−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジカルボキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン無水物（ハイミック酸無水物）、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シクロヘキシルオキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−フェノキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジ（ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジ（シクロヘキシルオキシカルボニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン等のビシクロ不飽和化合物類；
【０１００】
Ｎ−メチルマレイミド、Ｎ−エチルマレイミド、Ｎ−プロピルマレイミドなどのＮ−アルキルマレイミド；
Ｎ−シクロペンチルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−シクロオクチルマレイミドなどのＮ−シクロアルキルマレイミド；
Ｎ−アダマンチルマレイミド、Ｎ−ノルボルニルマレイミドなどのＮ−橋架け炭素環式基置換マレイミド；
【０１０１】
Ｎ−フェニルマレイミドなどのＮ−アリールマレイミド；
Ｎ−ベンジルマレイミドなどのＮ−アラルキルマレイミド；
Ｎ−スクシンイミジル−３−マレイミドベンゾエート、Ｎ−スクシンイミジル−４−マレイミドブチレート、Ｎ−スクシンイミジル−６−マレイミドカプロエート、Ｎ−スクシンイミジル−３−マレイミドプロピオネート、Ｎ−（９−アクリジニル）マレイミド等のジカルボニルイミド誘導体類；
スチレン、α−メチルスチレン、ｍ−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレン、ビニルトルエン、ｐ−メトキシスチレン、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、アクリルアミド、メタクリルアミド、酢酸ビニル、１，３−ブタジエン、イソプレン、２，３−ジメチル−１，３−ブタジエン等が挙げられる。
【０１０２】
なかでも、スチレン、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミド、ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン等が、共重合反応性及びアルカリ溶解性の点から好ましい。
【０１０３】
共重合体［Ｋ１］〜［Ｋ４］は、例えば、文献「高分子合成の実験法」（大津隆行著 発行所（株）化学同人 第１版第１刷 １９７２年３月１日発行）に記載された方法及び当該文献に記載された引用文献を参考にして製造することができる。
【０１０４】
具体的には、共重合体を構成する単量体（Ｂ１）及び（Ｂ２）、任意に（Ｂ３）の所定量、重合開始剤及び溶剤を反応容器中に仕込んで、窒素により酸素を置換し、酸素不存在下で、攪拌、加熱、保温することにより、重合体が得られる。仕込方法、反応温度及び時間等の重合条件は、製造設備、重合による発熱量等を考慮して、適宜調整することができる。
【０１０５】
ここで用いられる重合開始剤及び溶剤は、当該分野で通常使用されているもののいずれをも使用することができる。例えば、後述する重合開始剤及び溶剤等を用いることができる。
なお、得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体（粉体）として取り出したものを使用してもよい。
特に、この重合の際に溶剤として、後述する溶剤を使用することにより、反応後の溶液をそのまま使用することができ、製造工程を簡略化することができる。
【０１０６】
共重合体［Ｋ１］は、各単量体の比率が、共重合体［Ｋ１］を構成する単量体の合計モル数に対してモル分率で、以下の範囲にあることが好ましい。
（Ｂ１）５〜９５モル％、より好ましくは１０〜５０モル％
（Ｂ２）５〜９５モル％、より好ましくは５０〜９０モル％。
【０１０７】
また、共重合体［Ｋ２］は、各単量体の比率が、共重合体［Ｋ２］を構成する単量体の合計モル数に対してモル分率で、以下の範囲にあることが好ましい。
（Ｂ１）２〜５０モル％、より好ましくは５〜４５モル％
（Ｂ２）２〜９７モル％、より好ましくは５〜８０モル％
（Ｂ３）１〜９６モル％、より好ましくは１〜６０モル％。
【０１０８】
共重合体［Ｋ３］は、二段階の工程を経て製造することができる。
まず、（Ｂ１）及び（Ｂ３）を、上述した方法と同様に共重合させて共重合体を得る。 この場合、各単量体の比率が、樹脂を構成する単量体の合計モル数に対してモル分率で、以下の範囲にあることが好ましい。
（Ｂ１）５〜６０モル％、好ましくは１０〜５０モル％
（Ｂ３）４０〜９５モル％、好ましくは５０〜９０モル％。
【０１０９】
次に、（Ｂ１）及び（Ｂ３）の共重合体に由来する（Ｂ１）のカルボン酸及び／又はカルボン酸無水物の一部を（Ｂ２）に由来するエポキシ基、オキセタニル基又はテトラヒドロフリル基と反応させる。
そのために、引き続き、フラスコ内雰囲気を窒素から空気に置換し、（Ｂ２）、反応触媒及び重合禁止剤等をフラスコ内に入れて、例えば、６０〜１３０℃で、１〜１０時間反応を続ける。仕込方法、反応温度及び時間等の反応条件は、製造設備や重合による発熱量等を考慮して適宜調整することができる。
この場合の（Ｂ２）のモル数は、（Ｂ１）のモル数に対して、５〜８０モル％が適して降り、好ましくは１０〜７５モル％であり、より好ましくは１５〜７０モル％である。
【０１１０】
反応触媒は、例えば、カルボキシル基とエポキシ基、オキセタニル基又はテトラヒドロフリル基との反応触媒として用いられるものが適している。具体的には、トリスジメチルアミノメチルフェノール等が例示される。
反応触媒の使用量は、例えば、モノマー（Ｂ１）〜（Ｂ３）の合計量に対して質量基準で０．００１〜５％程度が例示される。
重合禁止剤は、例えば、ハイドロキノンが例示される。
重合禁止剤の使用量は、例えば、モノマー（Ｂ１）〜（Ｂ３）の合計量に対して質量基準で０．００１〜５％程度が例示される。
【０１１１】
共重合体［Ｋ４］は、各単量体の比率が、共重合体［Ｋ４］を構成する単量体の合計モル数に対してモル分率で、以下の範囲にあることが好ましい。
（Ｂ１）２〜５０モル％、より好ましくは５〜４０モル％
（Ｂ２）５０〜９８モル％、より好ましくは６０〜９５モル％。
【０１１２】
本発明で用いられるアルカリ可溶性樹脂（Ｆ）の酸価は、通常、２０〜１８０であり、好ましくは４０〜１７０、特に好ましくは５０〜１５０である。酸価が、この範囲にあると、現像液に対する溶解性が向上して未露光部が溶解しやすくなり、好ましい。ここで酸価はアクリル酸系重合体１ｇを中和するに必要な水酸化カリウムの量（ｍｇ）として測定される値であり、通常は水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。
【０１１３】
アルカリ可溶性樹脂（Ｆ）における、ポリスチレンを基準としてゲルパーミェーションクロマトグラフィーで求められる重量平均分子量は、好ましくは２，０００〜１００，０００、より好ましくは２，０００〜５０，０００、とりわけ好ましくは３，０００〜３０，０００である。重量平均分子量が前記の範囲にあると、現像時の残膜率を保持しながら高い現像速度が得られる傾向があり、好ましい。
【０１１４】
アルカリ可溶性樹脂（Ｆ）の含有量は、化合物（Ａ）、化合物（Ｂ）、化合物（Ｃ）及びアルカリ可溶性樹脂（Ｆ）の合計量に対して、３０〜８５質量％であり、好ましくは３５〜８０質量％であり、より好ましくは４５〜７５質量％である。アルカリ可溶性樹脂（Ｆ）の含有量が、この範囲にあると、パターンが形成でき、また解像度及び残膜率が向上する傾向にあり好ましい。
【０１１５】
また、アルカリ可溶性樹脂（Ｆ）の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、通常、７〜６５質量％であり、好ましくは１３〜６０質量％であり、より好ましくは１７〜５５質量％である。アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）の含有量が、前記の範囲にあると、パターンが形成でき、また解像度及び残膜率が向上する傾向にあり好ましい。
【０１１６】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、さらに、溶剤（Ｇ）を含んでいてもよい。溶剤（Ｇ）としては、例えば、エーテル類、芳香族炭化水素類、上記以外のケトン類、アルコール類、エステル類、アミド類などが挙げられる。
【０１１７】
前記のエーテル類としては、例えば、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、１，４−ジオキサン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、アニソール、フェネトール、メチルアニソールなどが挙げられる。
【０１１８】
前記の芳香族炭化水素類としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどが挙げられる。
前記のケトン類としては、例えば、アセトン、２−ブタノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン、４−ヘプタノン、４−メチル−２−ペンタノン、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン、シクロペンタノン、シクロヘキサノンなどが挙げられる。
前記のアルコール類としては、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、グリセリンなどが挙げられる。
【０１１９】
前記のエステル類としては、例えば、酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、γ−ブチロラクトンなどが挙げられる。
【０１２０】
前記のアミド類としては、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドンなどが挙げられる。
これらの溶剤は、単独でも２種類以上を組み合わせて用いてもよい。
【０１２１】
これらの中でも、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、乳酸エチル及び４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノンが好ましく、これらを併用することがより好ましい。
【０１２２】
着色感光性樹脂組成物における溶剤（Ｇ）の含有量は、着色感光性樹脂組成物に対して質量分率で、好ましくは７０〜９５質量％であり、より好ましくは７５〜９０質量％である。溶剤（Ｇ）の含有量がこの範囲にあると、塗布時の平坦性が良好になり、またカラーフィルタを形成した際に色濃度が不足しないために表示特性が良好となる傾向があるため好ましい。
【０１２３】
本発明の着色感光性樹脂組成物には、さらに、界面活性剤（Ｈ）が含まれていてもよい。界面活性剤（Ｈ）としては、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤及びフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤からなる群から選ばれる少なくとも１種が挙げられる。
【０１２４】
前記のシリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合を有する界面活性剤などが挙げられる。具体的には、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、同ＳＨ７ＰＡ、同ＤＣ１１ＰＡ、同ＳＨ２１ＰＡ、同ＳＨ２８ＰＡ、同２９ＳＨＰＡ、同ＳＨ３０ＰＡ、ポリエーテル変性シリコンオイルＳＨ８４００（商品名：トーレシリコーン（株）製）、ＫＰ３２１、ＫＰ３２２、ＫＰ３２３、ＫＰ３２４、ＫＰ３２６、ＫＰ３４０、ＫＰ３４１（信越シリコーン製）、ＴＳＦ４００、ＴＳＦ４０１、ＴＳＦ４１０、ＴＳＦ４３００、ＴＳＦ４４４０、ＴＳＦ４４４５、ＴＳＦ−４４４６、ＴＳＦ４４５２、ＴＳＦ４４６０（モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社製）などが挙げられる。
【０１２５】
前記のフッ素系界面活性剤としては、フルオロカーボン鎖を有する界面活性剤などが挙げられる。具体的には、フロラード（商品名）ＦＣ４３０、同ＦＣ４３１（住友スリーエム（株）製）、メガファック（商品名）Ｆ１４２Ｄ、同Ｆ１７１、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１７７、同Ｆ１８３、同Ｒ３０（ＤＩＣ（株）製）、エフトップ（商品名）ＥＦ３０１、同ＥＦ３０３、同ＥＦ３５１、同ＥＦ３５２（新秋田化成（株）製）、サーフロン（商品名）Ｓ３８１、同Ｓ３８２、同ＳＣ１０１、同ＳＣ１０５（旭硝子（株）製）、Ｅ５８４４（（株）ダイキンファインケミカル研究所製）、ＢＭ−１０００、ＢＭ−１１００（いずれも商品名：ＢＭ Ｃｈｅｍｉｅ社製）などが挙げられる。
【０１２６】
前記のフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合及びフルオロカーボン鎖を有する界面活性剤などが挙げられる。具体的には、メガファック（登録商標）Ｒ０８、同ＢＬ２０、同Ｆ４７５、同Ｆ４７７、同Ｆ４４３（ＤＩＣ（株）製）などがあげられる。
【０１２７】
これらの界面活性剤は、単独でも２種類以上を組み合わせて用いてもよい。
界面活性剤（Ｇ）の含有量は、着色感光性樹脂組成物に対し質量分率で、好ましくは０．００００１〜０．１質量％であり、より好ましくは０．００００５〜０．０１質量％である。界面活性剤（Ｈ）の含有量が、この範囲にあると、平坦性が良好になる傾向があり好ましい。
【０１２８】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、カラーフィルタ又は着色パターンを形成するために好適に利用することができ、色濃度、明度、コントラスト、感度、解像度、耐熱性等の良好な着色パターン及びカラーフィルタを得ることが可能となる。また、これらのカラーフィルタ又は着色パターンをその構成部品の一部として備える光学フィルム、アレイ基板等、さらに、これらのカラーフィルタ又は着色パターン、光学フィルム及び／又はアレイ基板等を具備する表示装置、例えば、公知の液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置、固体撮像素子等の種々の着色画像に関連する機器の全てに、公知の態様で、利用することができる。
【０１２９】
本発明の着色感光性樹脂組成物を用いてカラーフィルタ又はそのパターンを形成する方法としては、例えば、本発明の着色感光性樹脂組成物を、基板の上に塗布し、溶剤など揮発成分を除去／乾燥して着色層を形成し、フォトマスクを介して該着色層を露光して、現像する方法；フォトリソグラフィーが不要なインクジェット機器を用いる方法などが挙げられる。
ここで、基板としては、例えば、透明なガラス板、シリコンウエハ、ポリカーボネート基板、ポリエステル基板、芳香族ポリアミド基板、ポリアミドイミド基板、ポリイミド基板などの樹脂基板などが挙げられる。前記基板上には、ブラックマトリクス、別の着色感光性樹脂組成物層又は着色パターン、膜厚調整用の透明パターン、ＴＦＴなどが形成されていてもよい。
この場合の塗膜の膜厚は、特に限定されず、用いる材料、用途等によって適宜調整することができ、例えば、０．１〜３０μｍ程度、好ましくは１〜２０μｍ程度、さらに好ましくは１〜６μｍ程度が例示される。
【０１３０】
着色感光性樹脂組成物の塗布方法は、例えば、押し出しコーティング法、ダイレクトグラビアコーティング法、リバースグラビアコーティング法、ＣＡＰコーティング法、ダイコーティング法などが挙げられる。また、ディップコーター、バーコーター、スピンコーター、スリット＆スピンコーター、スリットコーター（ダイコーター、カーテンフローコーター、スピンレスコーターとも呼ばれることがある）、ローラーなどのコーターを用いて塗布してもよい。なかでも、スピンコーターを用いて塗布することが好ましい。
【０１３１】
溶媒の除去／乾燥は、例えば、自然乾燥、通風乾燥、減圧乾燥などが挙げられる。具体的な加熱温度は、３０〜１２０℃程度が適しており、６０〜１００℃程度が好ましい。加熱時間は、１０秒間〜６０分間程度が適しており、３０秒間〜３０分間程度が好ましい。減圧乾燥は、５０〜１５０Ｐａ程度の圧力下、２０〜２５℃程度の温度範囲で行うことが例示される。
【０１３２】
得られた着色感光性樹脂組成物層に、マスクを介して放射線を照射してもよい。マスクのパターンは、硬化樹脂パターンの目的とするパターンに応じて適宜選択される。放射線としては、例えば、ｇ線、ｉ線などの光線が用いられる。放射線の照射は、例えば、マスクアライナー、ステッパーなどの装置を使用するのが好ましい。
放射線の照射後、着色感光性樹脂組成物層を現像する。現像は、露光後の着色感光性樹脂組成物層を、例えば、パドル法、浸漬法、スプレー法又はシャワー法などによって行うことができる。
現像液としては、通常、アルカリ水溶液が用いられる。アルカリ水溶液としては、アルカリ性化合物の水溶液が用いられ、アルカリ性化合物は無機アルカリ性化合物であっても、有機アルカリ性化合物であってもよい。また、アルカリ現像液には、界面活性剤が含有されていてもよい。
【０１３３】
アルカリ性化合物は、無機及び有機のアルカリ性化合物のいずれでもよい。無機アルカリ性化合物の具体例としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、燐酸水素二ナトリウム、燐酸二水素ナトリウム、燐酸水素二アンモニウム、燐酸二水素アンモニウム、燐酸二水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニアなどが挙げられる。
また、有機アルカリ性化合物の具体例としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、２−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミンなどが挙げられる。これらの無機及び有機アルカリ性化合物は、それぞれ単独で又は２種以上組合せて用いることができる。アルカリ現像液中のアルカリ性化合物の濃度は、好ましくは０．０１〜１０質量％であり、より好ましくは０．０３〜５質量％である。
【０１３４】
アルカリ現像液中の界面活性剤は、ノニオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤又はカチオン系界面活性剤のいずれでもよい。
ノニオン系界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン／オキシプロピレンブロックコポリマー、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミンなどが挙げられる。
【０１３５】
アニオン系界面活性剤の具体例としては、ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウムやオレイルアルコール硫酸エステルナトリウムのような高級アルコール硫酸エステル塩類、ラウリル硫酸ナトリウムやラウリル硫酸アンモニウムのようなアルキル硫酸塩類、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムやドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウムのようなアルキルアリールスルホン酸塩類などが挙げられる。
カチオン系界面活性剤の具体例としては、ステアリルアミン塩酸塩やラウリルトリメチルアンモニウムクロライドのようなアミン塩又は第四級アンモニウム塩などが挙げられる。
これらの界面活性剤は、それぞれ単独で用いることも、また２種以上組合せて用いることもできる。
アルカリ現像液中の界面活性剤の濃度は、好ましくは０．０１〜１０質量％の範囲、より好ましくは０．０５〜８質量％、より好ましくは０．１〜５質量％である。
【０１３６】
通常、着色感光性樹脂組成物層は、現像後、水洗され、さらに必要に応じて、１５０〜２５０℃で１０〜６０分のポストベークが施され、画素が得られる。
【０１３７】
本発明の着色感光性樹脂組成物を用いて、以上のような各工程を経て、基板上に画素を形成することができる。
得られた画素においては、基板に対する画素の角度が、９０度未満であることが好ましい。該角度が前記の範囲にあると、液晶表示装置の形成時に、ＩＴＯ配線の断線が起こりにくいため、好ましい。
【０１３８】
この画素は、感度が良好であることから、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置などの表示装置に使用されるカラーフィルタに用いることができる。
【０１３９】
したがって、このようにして得られる画素を、液晶表示装置などの表示装置に組み込むことにより、優れた品質の表示装置を高い歩留りで製造することができる。
【実施例】
【０１４０】
以下、本発明の着色感光性樹脂組成物及びカラーフィルタについて詳細に説明する。なお、実施例中、含有量ないし使用量を表す％及び部は、特に断らないかぎり質量基準である。
【０１４１】
合成例１：アルカリ可溶性樹脂Ｆ１の合成
還流冷却器、滴下ロート及び攪拌機を備えた１Ｌのフラスコ内に窒素を０．０２Ｌ／分で流して窒素雰囲気とし、３−メトキシ−１−ブタノール２００部及び３−メトキシブチルアセテート１０５部を入れ、撹拌しながら７０℃まで加熱した。次いで、メタクリル酸６０部、３，４−エポキシトリシクロ［５．２．１．０２．６］デシルアクリレート（式（VII−１）で表される化合物及び式（VIII−１）で表される化合物を、モル比で、５０：５０で混合）２４０部及び３−メトキシブチルアセテート１４０部に溶解して溶液を調製し、該溶解液を、滴下ロートを用いて４時間かけて、７０℃に保温したフラスコ内に滴下した。一方、重合開始剤２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）３０部を３−メトキシ−１−ブタノール９０部及び３−メトキシブチルアセテート１３５部に溶解した溶液を、別の滴下ロートを用いて４時間かけてフラスコ内に滴下した。重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、４時間、７０℃に保持した。その後、室温まで冷却して、重量平均分子量Ｍｗは、１．３×１０４、分散度は２．５、固形分３３％、酸価３４ｍｇ−ＫＯＨ／ｇの樹脂溶液Ｆ１を得た。
【０１４２】
合成例２：アルカリ可溶性樹脂Ｆ２の合成
還流冷却器、滴下ロート及び攪拌機を備えた１Ｌのフラスコ内に窒素を０．０２Ｌ／分で流して窒素雰囲気とし、乳酸エチル３２０部を入れ、撹拌しながら９０℃まで加熱した。次いで、メタクリル酸５６部、３−エチル−３−メタクリロキシメチルオキセタン１４７部、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド１１７部及び、乳酸エチル１５０部に溶解して溶液を調製し、該溶解液を、滴下ロートを用いて４時間かけて、７０℃に保温したフラスコ内に滴下した。一方、重合開始剤アゾビスイソブチロニトリル９部を乳酸エチル２００部に溶解した溶液を、別の滴下ロートを用いて４時間かけてフラスコ内に滴下した。重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、３時間、９０℃に保持した。その後、室温まで冷却して、重量平均分子量Ｍｗは、８．０×１０３、分散度は２．０、固形分３３％、酸価３５ｍｇ−ＫＯＨ／ｇの樹脂溶液Ｆ２を得た。
【０１４３】
上記の樹脂の重量平均分子量は、ＧＰＣ法を用いて、以下の条件で測定した。
装置 ；ＨＬＣ−８１２０ＧＰＣ（東ソー（株）製）
カラム ；ＴＳＫ−ＧＥＬＧ２０００ＨＸＬ
カラム温度 ；４０℃
溶媒 ；ＴＨＦ
流速 ；１．０ｍＬ／ｍｉｎ
被検液固型分濃度；０．００１〜０．０１％
注入量 ；５０μＬ
検出器 ；ＲＩ
校正用標準物質 ；ＴＳＫ ＳＴＡＮＤＡＲＤ ＰＯＬＹＳＴＹＲＥＮＥ
Ｆ−４０、Ｆ−４、Ｆ−１、Ａ−２５００、Ａ−５００
（東ソー（株）製）
【０１４４】
実施例１
［着色感光性樹脂組成物１の調製］
（Ｅ）着色剤：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６ ３０部とアクリル系顔料分散剤の７．５部を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２２０部と混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させ、次いで、
（Ａ）メタアリル化合物：トリメタアリルイソシアヌレート（日本化成（株）製） １２部
（Ｂ）メルカプト化合物：ジペンタエリスリトールヘキサキス（３−メルカプトプロピオネート）（ＳＣ有機化学（株）製） ８部
（Ｃ）光重合性化合物：カヤラッド ＤＰＨＡ（日本化薬（株）製） ３０部
（Ｄ）光重合開始剤：ＯＸＥ−０１（チバ・ジャパン社製） １２部
（Ｆ）樹脂：樹脂溶液Ｆ１ １０２部
（Ｇ）溶剤 ：４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン ２６４部
を混合して着色感光性樹脂組成物を得た。
【０１４５】
実施例２
（Ｅ）樹脂：樹脂溶液Ｆ１に代えて、樹脂溶液Ｆ２を使用する以外は実施例１と同様に混合して着色感光性樹脂組成物を得た。
【０１４６】
実施例３
（Ａ）メルカプト化合物：ジペンタエリスリトールヘキサキス（３−メルカプトプロピオネート）（ＳＣ有機化学（株）製）に代えて、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトプロピオネート）（ＳＣ有機化学（株）製）を使用する以外は実施例１と同様に混合して着色感光性樹脂組成物を得た。
【０１４７】
実施例４
（Ｅ）着色剤：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６ ３０部とアクリル系顔料分散剤の７．５部を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２２０部と混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させ、ついで、
（Ａ）メタアリル化合物：トリメタアリルイソシアヌレート（日本化成（株）製） １６部
（Ｂ）メルカプト化合物：ジペンタエリスリトールヘキサキス（３−メルカプトプロピオネート）（ＳＣ有機化学（株）製） ４部
（Ｃ）光重合性化合物：カヤラッド ＤＰＨＡ（日本化薬（株）製） ３０部
（Ｄ）光重合開始剤：ＯＸＥ−０１（チバ・ジャパン社製） １２部
（Ｆ）樹脂：樹脂溶液Ｆ１ １０２部
（Ｇ）溶剤 ：４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン ２６４部
を混合して着色感光性樹脂組成物を得た。
【０１４８】
実施例５
（Ｅ）着色剤：Ｃ．Ｉ．Ｓｏｌｖｅｎｔ Ｒｅｄ １３０（（Ｃ）に相当；チバ・ジャパン社製） ４９部、
（Ａ）メタアリル化合物：トリメタアリルイソシアヌレート（日本化成（株）製） ３０部
（Ｂ）メルカプト化合物：ジペンタエリスリトールヘキサキスメルカプトプロピオネート（ＳＣ有機化学（株）製） ２０部
（Ｃ）光重合性化合物：カヤラッド ＤＰＨＡ（日本化薬（株）製） ５０部
（Ｄ）光重合開始剤：ＯＸＥ ０１（チバ・ジャパン社製） １５部
（Ｆ）樹脂：樹脂溶液Ｆ１ １５２部
（Ｇ）溶剤 ：４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン ２８４部
を混合して着色感光性樹脂組成物を得た。
【０１４９】
比較例１
（Ｅ）着色剤：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６ ３０部とアクリル系顔料分散剤の７．５部を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２２０部と混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させ、
アリル化合物：トリメチロールプロパントリアリレート（ダイソー（株）製） １２部
（Ｂ）メルカプト化合物：ジペンタエリスリトールヘキサキスメルカプトプロピオネート（ＳＣ有機化学（株）製）８部
（Ｃ）光重合性化合物：カヤラッド ＤＰＨＡ（日本化薬（株）製） ３０部
（Ｄ）光重合開始剤：ＯＸＥ−０１（チバ・ジャパン社製） １２部
（Ｆ）樹脂：樹脂溶液Ｆ１ １０２部
（Ｇ）溶剤 ：４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン ２６４部
を混合して着色感光性樹脂組成物を得た。
【０１５０】
＜パターン形成＞
２インチ角のガラス基板（イーグル２０００；コーニング社製）上に、着色感光性樹脂組成物をスピンコート法により塗布し、１００℃で３分間プリベークした。冷却後、この着色感光性樹脂組成物を塗布した基板と下記各評価項目に記載のパターンを有する石英ガラス製フォトマスクとの間隔を１００μｍとして、露光機（ＴＭＥ−１５０ＲＳＫ；トプコン（株）製）を用いて、大気雰囲気下、８０ｍＪ／ｃｍ２の露光量（３６５ｎｍ基準）で光照射した。
【０１５１】
光照射後、基板を、非イオン系界面活性剤０．１２％と水酸化カリウム０．０４％とを含む水系現像液に２３℃で８０秒間浸漬して現像し、水洗した。その後、オーブン中、２２０℃で２０分間ポストベークを行った。
放冷後、得られた硬化パターンの膜厚を、膜厚測定装置（ＤＥＫＴＡＫ３；日本真空技術（株）製））を用いて測定したところ、２．２μｍであった。
【０１５２】
＜塗膜形成＞
２インチ角のガラス基板（イーグル２０００；コーニング社製）上に、着色感光性樹脂組成物をスピンコート法により塗布し、１００℃で３分間プリベークした。冷却後、露光機（ＴＭＥ−１５０ＲＳＫ；トプコン（株）製）を用いて、大気雰囲気下、８０ｍＪ／ｃｍ２の露光量（３６５ｎｍ基準）で光照射した。光照射後、オーブン中、２２０℃で２０分間ポストベークを行った。放冷後、得られた塗膜の膜厚を、膜厚測定装置（ＤＥＫＴＡＫ３；日本真空技術（株）製））を用いて測定したところ、２．２μｍであった。
【０１５３】
＜感度評価＞
得られたパターン及び塗膜について、測色機（ＯＳＰ−ＳＰ−２００；オリンパス（株）製）を用いて測定した分光を、Ｃ光源を用いてＣＩＥのＸＹＺ表色系におけるｘｙ色度座標（ｘ、ｙ）と明度に換算し、パターン及び塗膜の色度からΔＥａｂ＊を計算した。ΔＥａｂ＊が１以下であれば、感度は十分であると判断した。その結果を表１に示す。
【０１５４】
＜耐熱性評価＞
塗膜について、オーブン中、２２０℃で２時間ベークを行ない、放冷後、測色機（ＯＳＰ−ＳＰ−２００；オリンパス（株）製）を用いて分光を測定し、Ｃ光源を用いてＣＩＥのＸＹＺ表色系におけるｘｙ色度座標（ｘ、ｙ）と明度に換算し、ベーク前後のΔＥａｂ＊を計算した。
ΔＥａｂ＊が３以下であれば、耐熱性は十分であると判断した。どの結果を表１に示す。
【０１５５】
＜パターン形状評価＞
得られたパターン形状を、走査型電子顕微鏡（Ｓ−４０００；（株）日立製作所社製）を用いて観察した。
パターン形状は、基板に対するパターン側壁の角度が、９０度未満のときを順テーパ、９０度以上のときを逆テーパとして判断した。順テーパである場合、表１に○で示す。順テーパであると、液晶表示装置の形成時に、ＩＴＯ配線の断線が起こりにくいので、好ましい。
【表１】
【０１５６】
表１に示す実施例１〜５の結果から、本発明の着色感光性樹脂組成物によれば、感度および耐熱性に優れたパターンを得ることができる。
また、本発明の着色感光性樹脂組成物を用いて着色パターンを形成すると、得られるパターンの形状は順テーパー形状であってカラーフィルタ用パターンとして好ましいパターン形状を示すことがわかる。
【産業上の利用可能性】
【０１５７】
本発明の着色感光性樹脂組成物によれば、感度が良好で、耐熱性に優れた塗膜及びカラーフィルタを得ることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０１５８】
【特許文献１】特開２００６−７９０１２号公報
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示素子や固体撮像素子に用いられるカラーフィルタを構成する着色画像の形成に好適な使用し得る着色感光性樹脂組成物等に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、カラーフィルタにおいて、その高精細化、高明度化及び／又は高コントラスト化等が望まれている。
このような要望を達成するために、従来から、アリル基を有する化合物（Ａ）、２以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）、アクリロイル基及びメタアクロイル基からなる群から選ばれる２以上の基を有する化合物（Ｃ）、光重合開始剤（Ｄ）、着色剤（Ｅ）及びアルカリ可溶性樹脂（Ｆ）を含む着色感光性樹脂組成物が提案されており、これを用いてカラーフィルタが作成されている。
しかし、このような構成の着色感光性樹脂組成物を用いた着色パターンの感度は、必ずしも十分に満足できるものではなかった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、従来から要望されているカラーフィルタに対する特性を付与することができるとともに、優れた感度を示す着色感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、メタアリル基を有する化合物（Ａ）、２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）、アクリロイル基及びメタアクリロイル基からなる群から選ばれる２以上の基を有する化合物（Ｃ）、光重合開始剤（Ｄ）、着色剤（Ｅ）及びアルカリ可溶性樹脂（Ｆ）を含有することを特徴とする。
【０００５】
このような着色感光性樹脂組成物では、メタアリル基を有する化合物（Ａ）、２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）、並びにアクリロイル基及びメタアクリロイル基からなる群から選ばれる２以上の基を有する化合物（Ｃ）の合計量に対する、メタアリル基を有する化合物（Ａ）の含有量が、５〜６０質量％であることが好ましい。
また、メタアリル基を有する化合物（Ａ）、２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）、並びにアクリロイル基及びメタアクリロイル基からなる群から選ばれる２以上の基を有する化合物（Ｃ）の合計量に対する、２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）の含有量が、１〜６０質量％であることが好ましい。
【０００６】
アルカリ可溶性樹脂（Ｆ）は、側鎖にエポキシ基又はオキセタニル基を含有する樹脂であることが好ましい。
光重合開始剤（Ｄ）がオキシム系開始剤であることが好ましい。
着色剤（Ｅ）が、染料及び／又は顔料を含む着色剤であることが好ましい。
【０００７】
また、本発明及び着色パターンは、上述した着色感光性樹脂組成物を用いて形成されることを特徴とする。
【０００８】
本発明のカラーフィルタは、上述した着色パターンを含むことを特徴とする。
本発明の液晶表示装置は、上述したカラーフィルタを具備することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、従来から要望されているカラーフィルタに対する特性を与えることができるとともに、優れた感度を示す着色感光性樹脂組成物を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、主として、メタアリル基を有する化合物（Ａ）（以下「化合物（Ａ）という場合がある、以下同じ）、２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）、アクリロイル基及びメタアクリロイル基からなる群から選ばれる２以上の基を有する化合物（Ｃ）、光重合開始剤（Ｄ）、着色剤（Ｅ）及びアルカリ可溶性樹脂（Ｆ）を含有する。
【００１１】
メタアリル基を有する化合物（Ａ）は、光及び後述する光重合開始剤（Ｄ）との作用で、後述する２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）と反応しうる化合物である。
【００１２】
化合物（Ａ）は、その分子中に１つのみのメタアリル基を有するものであればよいが、２以上のメタアリル基を有するものが好ましい。
このような化合物（Ａ）としては、メタアリルエーテル類、メタアリルエステル類、メタアリル（イソ）シアヌレート類、メタアリルカーボネート類等が挙げられる。
【００１３】
メタアリルエーテル類の具体例としては、トリメチロールプロパンジメタアリレート、ペンタエリスリトールトリメタアリレート、メタアリルグリシジルエーテルのエポキシ基を多価カルボン酸又はその酸無水物と反応させた化合物等が挙げられる。
【００１４】
メタアリルエステル類の具体例としては、ジメタアリルフタレート、ジメタアリルイソフタレート、ジメタアリルテレフタレート、ジメタアリルマレエート、ジメタアリルフマレート、ジメタアリルエンドメチレンテトラヒドロ無水フタレート、トリメタアリルトリメリテート等が挙げられる。
【００１５】
メタアリル（イソ）シアヌレート類の具体例としては、トリメタアリルイソシアヌレート、ジメタアリルモノグリシジルイソシアヌレート、モノメタアリルジグリシジルイソシアヌレート等が挙げられる。
【００１６】
メタアリルカーボネート類の具体例としては、ジエチレングリコールビスメタアリルカーボネート等が挙げられる。
【００１７】
好ましくは、ペンタエリスリトールトリメタアリレート、トリメタアリルイソシアヌレート、ジメタアリルモノグリシジルイソシアヌレート等である。
【００１８】
化合物（Ａ）は、単独でも２種以上を組み合わせて用いてもよい。その含有量は着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、２〜５１質量％であることが好ましく、より好ましくは３〜４０質量％であり、さらに好ましくは５〜３０質量％である。ここで、着色感光性樹脂組成物の固形分とは、着色感光性樹脂組成物から溶剤成分を除いた量の合計量をいう。
【００１９】
また、メタアリル基を有する化合物（Ａ）の含有量は、メタアリル基を有する化合物（Ａ）、後述する２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）並びにアクリロイル基及びメタアクリロイル基からなる群から選ばれる２以上の基を有する化合物（Ｃ）の合計量に対して、５〜６０質量％であることが適しており、好ましくは１０〜５０質量％、より好ましくは１０〜４０質量％である。
【００２０】
化合物（Ａ）の含有量が、この範囲にあると、硬化が十分におこり、現像時に露光部の膜減りが生じにくく、感度や密着性が良好になる傾向があることから好ましい。
【００２１】
２以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）としては、例えば、チオグリコール酸及び／又は（α−，β−）メルカプトプロピオン酸とポリヒドロキシ化合物とのエステル等が挙げられる。
【００２２】
具体例としては、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、ブタンジオールビスメルカプトアセテート、ブタンジオールビスメルカプトプロピオネート、ブタンジオールビスメルカプトブタノエート、トリメチロールプロパントリスチオメルカプトアセテート、トリメチロールプロパントリスメルカプトプロピオネート、トリメチロールプロパントリスメルカプトブタノエート、ペンタエリスリトールテトラキスメルカプトアセテート、ペンタエリスリトールテトラキスメルカプトプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスメルカプトブタノエート、ジペンタエリスリトールヘキサキスメルカプトアセテート、ジペンタエリスリトールヘキサキスメルカプトプロピオネート、ジペンタエリスリトールヘキサキスメルカプトブタノエート、トリスメルカプトアセテトキシエチルイソシアヌレート、トリスメルカプトプロピオニロキシエチルイソシアヌレート、トリスメルカプトブタノイロキシエチルイソシアヌレート、２−ジ−ｎ−ブチルアミノ−４，６−ジメルカプト−ｓ−トリアジン、多価ヒドロキシ化合物のメルカプトアセテート、メルカプトプロピオネート、メルカプトブタノエートなどが挙げられる。
【００２３】
好ましくは、ペンタエリスリトールテトラキスメルカプトプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスメルカプトブタノエート、ジペンタエリスリトールヘキサキスメルカプトプロピオネート及びジペンタエリスリトールヘキサキスメルカプトブタノエートなどが挙げられる。とりわけ好ましくは、ジペンタエリスリトールヘキサキスメルカプトプロピオネートが挙げられる。
【００２４】
化合物（Ｂ）は、単独でも２種以上を組み合わせて用いてもよい。その含有量は着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、２〜５１質量％であることが好ましく、より好ましくは３〜４０質量％であり、さらに好ましくは５〜３０質量％である。
【００２５】
また、２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）の含有量は、メタアリル基を有する化合物（Ａ）、２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）並びにアクリロイル基及びメタアクリロイル基からなる群から選ばれる２以上の基を有する化合物（Ｃ）の合計量に対して、１〜６０質量％ことが適しており、好ましくは１〜３０質量％、より特に好ましくは５〜３０質量％である。
【００２６】
化合物（Ｂ）の含有量が、この範囲にあると、硬化が十分におこり、現像時に露光部の膜減りが生じにくく、感度や密着性が良好になる傾向があることから好ましい。
【００２７】
アクリロイル基及びメタアクリロイル基からなる群から選ばれる２以上の基を有する化合物（Ｃ）は、光を照射されることによって、後述する光重合開始剤（Ｄ）から発生した活性ラジカル、酸などによって重合しうる化合物である。例えば、アクリロイル基及びメタアクリロイル基由来の重合性の炭素−炭素不飽和結合を有する化合物などが挙げられる。
【００２８】
このような化合物（Ｃ）としては、２官能以上の多官能の化合物であればよいが、３官能以上の多官能の化合物であることが好ましい。
３官能以上の多官能の光重合性化合物としては、例えば、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレートなどが挙げられる。これらは、単独でも２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００２９】
この化合物（Ｃ）の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、７〜６５質量％であることが好ましく、より好ましくは１３〜６０質量％であり、さらに好ましくは１７〜５５質量％である。化合物（Ｃ）の含有量が、この範囲にあると、硬化が十分におこり、現像前後での膜厚比率が向上し、パターンにアンダーカットが入りにくくなって密着性が良好になる傾向があることから好ましい。
【００３０】
光重合開始剤（Ｄ）としては、当該分野で使用されているものであれば特に限定されない。例えば、アセトフェノン系化合物、活性ラジカル発生剤、酸発生剤などが挙げられる。
前記のアセトフェノン系化合物としては、例えば、ジエトキシアセトフェノン、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕プロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（１−メチルビニル）フェニル〕プロパン−１−オンのオリゴマーなどが挙げられ、好ましくは２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンなどが挙げられる。
【００３１】
活性ラジカル発生剤は光を照射されることによって活性ラジカルを発生する。前記の活性ラジカル発生剤としては、例えば、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、トリアジン系化合物、オキシム系化合物などが挙げられる。
【００３２】
前記のベンゾイン系化合物としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。
【００３３】
前記のベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド、３，３’，４，４’−テトラ（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。
【００３４】
前記のチオキサントン系化合物としては、例えば、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
【００３５】
前記のトリアジン系化合物としては、例えば、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシナフチル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシスチリル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（フラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジンなどが挙げられる。
【００３６】
前記のオキシム系化合物としては、例えば、Ｏ−アシルオキシム系化合物が挙げられ、その具体例としては、１−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−ブタン−１，２−ジオン２−オキシム−Ｏ−ベンゾアート、１−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−オクタン−１，２−ジオン ２−オキシム−Ｏ−ベンゾアート、１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタノン １−Ｏ−アセテート、１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−（３，３−ジメチル−２，４−ジオキサシクロペンタニルメチルオキシ）ベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタノン １−Ｏ−アセテート等が挙げられる。
【００３７】
前記の例示以外の活性ラジカル発生剤として、例えば、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、１０−ブチル−２−クロロアクリドン、２−エチルアントラキノン、ベンジル、９，１０−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物などを用いることもできる。
【００３８】
前記の酸発生剤としては、例えば、４−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、４−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、４−アセトキシフェニルジメチルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、４−アセトキシフェニル・メチル・ベンジルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウムｐ−トルエンスルホナート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネートなどのオニウム塩類や、ニトロベンジルトシレート類、ベンゾイントシレート類などを挙げることができる。
【００３９】
また、前記の活性ラジカル発生剤として上記した化合物の中には、活性ラジカルと同時に酸を発生する化合物もあり、例えば、トリアジン系光重合開始剤は、酸発生剤としても使用される。
中でも、オキシム系開始剤であることが好ましい。
【００４０】
光重合開始剤（Ｄ）の含有量は、化合物（Ａ）、化合物（Ｂ）、化合物（Ｃ）及びアルカリ可溶性樹脂（Ｆ）の合計量に対して質量分率で、好ましくは０．１〜３０質量％であり、より好ましくは１〜２０質量％である。光重合開始剤の含有量が、この範囲にあると、高感度化して露光時間が短縮され生産性が向上することから好ましい。
【００４１】
本発明の着色感光性樹脂組成物には、さらに光重合開始助剤（Ｄ−１）が含まれていてもよい。光重合開始助剤（Ｄ−１）は、通常、光重合開始剤（Ｄ）と組み合わせて用いられ、光重合開始剤によって重合が開始された光重合性化合物の重合を促進するために用いられる化合物である。
光重合開始助剤（Ｄ−１）としては、アミン系化合物、アルコキシアントラセン系化合物、チオキサントン系化合物などが挙げられる。
【００４２】
前記のアミン系化合物としては、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称ミヒラーズケトン）、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（エチルメチルアミノ）ベンゾフェノンなどが挙げられる。中でも４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましい。
【００４３】
前記のアルコキシアントラセン系化合物としては、例えば、９，１０−ジメトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセン、９，１０−ジブトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジブトキシアントラセンなどが挙げられる。
【００４４】
前記のチオキサントン系化合物としては、例えば、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
【００４５】
光重合開始助剤（Ｄ−１）は、単独でも２種以上を組み合わせて用いてもよい。また、光重合開始助剤（Ｄ−１）としては、市販のものを用いることもでき、市販の光重合開始助剤（Ｄ−１）としては、例えば、商品名「ＥＡＢ−Ｆ」（保土谷化学工業（株）製）などが挙げられる。
【００４６】
本発明の着色感光性樹脂組成物における光重合開始剤（Ｄ）及び光重合開始助剤（Ｄ−１）の組合せとしては、例えば、ジエトキシアセトフェノン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、ベンジルジメチルケタール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕プロパン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（１−メチルビニル）フェニル〕プロパン−１−オンのオリゴマー／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンなどが挙げられ、好ましくは２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが挙げられる。
【００４７】
これらの光重合開始助剤（Ｄ−１）を用いる場合、その使用量は、光重合開始剤（Ｄ）１モルあたり、好ましくは０．０１〜１０モル、より好ましくは０．０１〜５モルである。
【００４８】
着色剤（Ｅ）としては、染料及び／又は顔料などが挙げられる。これらは、単独又は２種以上の着色剤を組み合わせてもよく、その場合、染料のみの組み合わせ、顔料のみの組み合わせ、染料と顔料との組み合わせのいずれであってもよい。特に、染料を含むことが好ましい。
【００４９】
染料としては、酸性染料、塩基性染料、直接染料、硫化染料、建染染料、ナフトール染料、反応染料、分散染料などが挙げられ、従来カラーフィルタ用途として公知の染料などから選択できる。
例えば、特開昭６４−９０４０３号公報、特開昭６４−９１１０２号公報、特開平１−９４３０１号公報、特開平６−１１６１４号公報、特登２５９２２０７号、米国特許第４，８０８，５０１号明細書、米国特許第５，６６７，９２０号明細書、米国特許第５，０５９，５００号明細書、特開平５−３３３２０７号公報、特開平６−３５１８３号公報、特開平６−５１１１５号公報、特開平６−１９４８２８号公報等に記載の色素が挙げられる。
【００５０】
具体的には、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、アリールアゾ系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、アンスラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、シアニン系、ポリメチン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、キノフタロン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、ジオキサジン系、クマリン系、スクアリリウム系、が挙げられ、好ましくはピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、アントラキノン系、アンスラピリドン系、フタロシアニン系、ジオキサジン系、キノフタロン系、キサンテン系が挙げられ、より好ましくはピラゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、フタロシアニン系、キノフタロン系、キサンテン系などが挙げられる。
【００５１】
前記の顔料としては、有機顔料及び無機顔料が挙げられ、カラーインデックス（The Society of Dyers and Colourists出版）でピグメント（Pigment）に分類されている化合物が挙げられる。
【００５２】
例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１、３、１２、１３、１４、１５、１６、１７、２０、２４、３１、５３、８３、８６、９３、９４、１０９、１１０、１１７、１２５、１２８、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５３、１５４、１６６、１７３、１９４、２１４などの黄色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１３、３１、３６、３８、４０、４２、４３、５１、５５、５９、６１、６４、６５、７１、７３などのオレンジ色の顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９、９７、１０５、１２２、１２３、１４４、１４９、１６６、１６８、１７６、１７７、１８０、１９２、２０９、２１５、２１６、２２４、２４２、２５４、２５５、２６４、２６５などの赤色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、１５：３、１５：４、１５：６、６０などの青色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、１９、２３、２９、３２、３６、３８などのバイオレット色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６などの緑色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、２５などのブラウン色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、７などの黒色顔料などが挙げられる。
【００５３】
中でも、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、１３９、１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、２０９、２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッドバイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６及びＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６から選ばれる少なくとも一つの顔料を含有していることが好ましい。これらの顔料は、これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００５４】
前記の顔料のうち有機顔料は、必要に応じて、ロジン処理、酸性基又は塩基性基が導入された顔料誘導体や顔料分散剤などを用いた表面処理、高分子化合物などによる顔料表面へのグラフト処理、硫酸微粒化法などによる微粒化処理、又は不純物を除去するための有機溶剤や水などによる洗浄処理、イオン性不純物のイオン交換法などによる除去処理などが施されていてもよい。
【００５５】
前記の顔料分散剤としては、市販の界面活性剤を用いることがでる。
このような界面活性剤としては、シリコーン系、フッ素系、エステル系、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性などの界面活性剤などが挙げられる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
具体的には、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、３級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイミン類等のほか、商品名でＫＰ（信越化学工業（株）製）、ポリフロー（共栄化学（株）製）、エフトップ（トーケムプロダクツ社製）、メガファック（ＤＩＣ（株）製）、フロラード（住友スリーエム（株）製）、アサヒガード、サーフロン（以上、旭硝子（株）製）、ソルスパース（ゼネカ（株）製）、ＥＦＫＡ（ＥＦＫＡ ＣＨＥＭＩＣＡＬＳ社製）、ＰＢ８２１（味の素（株）製）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ（ビックケミー社製）などが挙げられる。
【００５６】
着色剤（Ｅ）の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して、１〜７０質量％、好ましくは１０〜５０質量％である。着色剤（Ｅ）の含有量がこの範囲にあると、目的の分光を得ることができる。
【００５７】
アルカリ可溶性樹脂（Ｆ）としては、現像処理工程において用いられる現像液、特に好ましくはアルカリ現像液に対して可溶性を有するものであれば、特に限定されるものではない。
【００５８】
例えば、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸等の酸性官能基を有する構成単位と他の共重合可能な構成単位との共重合体が挙げられる。なかでも、カルボキシル基を有する構成単位との共重合体が好ましく挙げられる。
【００５９】
カルボキシル基を有する構成単位としては、不飽和モノカルボン酸又は不飽和ジカルボン酸などのように、分子中に単数又は複数のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸から導かれるものなどが挙げられる。
該不飽和カルボン酸として、具体的には、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、桂皮酸、コハク酸モノ〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕又はω−カルボキシポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
ここで、（メタ）アクリレートは、アクリレート及び／又はメタクリレートを表す。
酸性官能基を有する構成単位の含有量は、アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）を構成する全構成単位中、モル分率で、好ましくは１６モル％以上５０モル％以下、より好ましくは１８モル％以上４５モル％以下である。酸性官能基を有する構成単位の含有量がこの範囲にあると、現像時に、非画素部の溶解性が良好となる。また、現像後の非画素部に残渣が残りにくい傾向があり、好ましい。
【００６０】
他の共重合可能な構成単位としては、オレフィン性二重結合を有するカルボン酸エステル、オレフィン性二重結合を有するアミド化合物、重合性の炭素−炭素不飽和結合を有する芳香族化合物、シアン化ビニル化合物、Ｎ−置換マレイミド化合物、硬化性の基を有する不飽和化合物等が挙げられる。
【００６１】
他の共重合可能な構成単位の具体例としては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、アミノエチル（メタ）アクリレート、マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチルなどの不飽和カルボン酸エステル類；
酢酸ビニル又はプロピオン酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル類；
【００６２】
ジメチル（メタ）アクリルアミド、イソプロピル（メタ）アクリルアミドなどの重合性アミド類；
スチレン、α−メチルスチレン又はビニルトルエンなどの重合性芳香族類；
アクリロニトリル、メタクリロニトリル又はα−クロロ（メタ）アクリロニトリルなどのシアン化ビニル類、Ｎ−メチルマレイミド、Ｎ−エチルマレイミド、Ｎ−ブチルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミドなどのＮ−置換マレイミド類などが挙げられる。
【００６３】
また、硬化性の基を有する不飽和化合物の具体例としては、グリシジル（メタ）アクリレート、β−メチルグリシジル（メタ）アクリレート、２，３−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシトリシクロ［５．２．１．０２．６］デシル（メタ）アクリレート、ビニルベンジルグリシジルエーテル又はビニルシクロヘキセンオキサイドなどのエポキシ基含有不飽和化合物類；
【００６４】
３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン、３−メチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン、３−エチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン、３−メチル−３−［１−（メタ）アクリロキシ］メチルオキセタン、３−エチル−３−［１−（メタ）アクリロキシ］メチルオキセタン、３−メチル−３−［１−（メタ）アクリロキシ］エチルオキセタン、３−エチル−３−［１−（メタ）アクリロキシ］エチルオキセタン、２−フェニル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン、２−トリフルオロメチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン、２−ペンタフルオロエチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン、３−メチル−３−（メタ）アクリロキシエチルオキセタン、３−メチル−３−（メタ）アクリロキシエチルオキセタン、２−フェニル−３−（メタ）アクリロキシエチルオキセタン、２−トリフルオロメチル−３−（メタ）アクリロキシエチルオキセタン又は２−ペンタフルオロエチル−３−（メタ）アクリロキシエチルオキセタン、３−メタクリロキシオキセタンなどのオキセタニル基含有不飽和化合物類などが挙げられる。
中でも、側鎖にエポキシ基又はオキセタニル基を含有する樹脂であることが好ましい。
【００６５】
他の共重合可能な構成単位としては、着色感光性樹脂組成物から形成される着色パターンの信頼性が向上することから、特に、硬化性の基を有する不飽和化合物が好ましい。
【００６６】
また、上記以外の共重合可能な構成単位としては、例えば、芳香族ビニル化合物、不飽和カルボン酸エステル類、不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類、不飽和カルボン酸グリシジルエステル類、カルボン酸ビニルエステル類、不飽和エーテル類、シアン化ビニル化合物、不飽和アミド類、不飽和イミド類、脂肪族共役ジエン類、重合体分子鎖の末端にモノアクリロイル基又はモノメタクリロイル基を有するマクロモノマー類、式（ＩＩ）で表される構造単位及び式（ＩＩＩ）で表される構造単位などが挙げられる。
【００６７】
（式（ＩＩ）及び式（ＩＩＩ）中、Ｒ５３及びＲ５５は、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表す。Ｒ５４及びＲ５６は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数１〜６のアルキル基を表す。）
【００６８】
具体的には、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート共重合体、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／スチレン共重合体、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／イソボルニルメタクリレート共重合体、メタクリル酸／スチレン／ベンジルメタクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド共重合体、メタクリル酸／式（ＩＩ）で表される構成成分（ただし、ここでは、式（ＩＩ）中、Ｒ５３はメチル基を表し、Ｒ５４は水素原子を表す。）／ベンジルメタクリレート共重合体、式（ＩＩ）で表される構成成分（ただし、ここでは、式（ＩＩ）中、Ｒ５３はメチル基を表し、Ｒ５４は水素原子を表す。）／ベンジルメタクリレート共重合体、メタクリル酸／式（ＩＩＩ）で表される構成成分（ただし、ここでは、式（ＩＩＩ）中、Ｒ５５はメチル基を表し、Ｒ５６は水素原子を表す。）／スチレン共重合体／トリシクロデカニルメタクリレート共重合体などが好ましい。
【００６９】
特に、式（ＩＶ）で表されるアルカリ可溶性樹脂（Ｆ）が、硬化性、現像性の点で好ましい。
【００７０】
上述したメタクリル酸／式（ＩＩ）で表される構成成分（ただし、ここでは、式（ＩＩ）中、Ｒ５３はメチル基を表し、Ｒ５４は水素原子を表す。）／ベンジルメタクリレート共重合体は、メタクリル酸とベンジルメタクリレートとを重合させて２成分重合体を得て、得られた２成分重合体と式（Ｖ）で表される化合物（ただし、ここでは、式（Ｖ）中、Ｒ５７は水素原子を表す。）とを反応させて得ることができる。
【００７１】
（式（Ｖ）中、Ｒ５７は、水素原子又は炭素数１〜６のアルキル基を表す。）
【００７２】
メタクリル酸／式（ＩＩＩ）で表される構成成分（ただし、ここでは、式（ＩＩＩ）中、Ｒ５５はメチル基を表し、Ｒ５６は水素原子を表す。）／スチレン共重合体／トリシクロデカニルメタクリレート共重合体は、ベンジルメタクリレート、メタクリル酸、トリシクロデカン骨格のモノメタクリレート共重合体に、グリシジルメタクリレートを反応させて得ることができる。
【００７３】
共重合は、一般に、重合開始剤を用いて溶媒中で行われる。
重合開始剤としては、例えば、２，２’−アゾビスイソブチロニトリルや２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオン酸メチル）のようなアゾ化合物、過酸化ベンゾイルや過酸化−ｔｅｒｔ−ブチルのような過酸化物などが用いられる。
溶媒は、各モノマーを溶解するものであればよく、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテートのようなグリコールエーテルエステル類、後述する溶剤（Ｅ）として例示した溶剤等が用いられる。
【００７４】
反応温度は、重合開始剤の分解温度や溶剤及びモノマーの沸点などを考慮して決定すればよい。
なお、このようにして得られる共重合体の側鎖を、重合性基を有する化合物で変成して、感光性のアルカリ可溶性樹脂（Ｆ）とすることもできる。この際、樹脂に重合性基を導入するための触媒を加えてもよい。
触媒としては、例えば、トリスジメチルアミノメチルフェノール等が挙げられる。また、副反応を防ぐための添加剤を加えてもよい。添加剤としては、例えば、ハイドロキノン等が挙げられる。
【００７５】
さらに、アルカリ可溶性樹脂（Ｆ）は、例えば、以下の共重合体［Ｋ１］〜［Ｋ４］等が例示されるものであってもよい。
［Ｋ１］不飽和カルボン酸及び／又は不飽和カルボン酸無水物（Ｂ１）（以下、単に「（Ｂ１）」と記すことがある）と、炭素数２〜４の環状エーテル基を有する単量体（Ｂ２）（以下、単に「（Ｂ２）」と記すことがある）とを重合してなる共重合体。
［Ｋ２］（Ｂ１）と（Ｂ２）と単量体（Ｂ３）とを重合してなる共重合体。ここで、単量体（Ｂ３）（以下、単に「（Ｂ３）」と記すことがある）は、（Ｂ１）及び／又は（Ｂ２）と共重合可能な単量体であって、（Ｂ１）及び／又（Ｂ２）ではない単量体である。
［Ｋ３］（Ｂ１）と（Ｂ３）との共重合体において、（Ｂ１）に由来するカルボキシル基の一部を、（Ｂ２）に由来する炭素数２〜４の環状エーテル基と反応させることで得られる共重合体。
［Ｋ４］（Ｂ１）と（Ｂ３）との共重合体。
なかでも、少なくとも（Ｂ１）と（Ｂ２）とを重合してなる共重合体であることが好ましい。
【００７６】
（Ｂ１）としては、例えば、脂肪族不飽和カルボン酸及び／又は脂肪族不飽和カルボン酸無水物等が挙げられる。具体的には、
アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸等の不飽和モノカルボン酸類；
マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸等の不飽和ジカルボン酸類；及び
これら不飽和ジカルボン酸類の無水物；
こはく酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕等の２価以上の多価カルボン酸の不飽和モノ〔（メタ）アクリロイロキシアルキル〕エステル類；
α−（ヒドロキシメチル）アクリル酸等、同一分子中にヒドロキシ基及びカルボキシル基を含有する不飽和アクリレート類等が挙げられる。
なかでも、アクリル酸、メタクリル酸又は無水マレイン酸等が、共重合反応性及びアルカリ溶解性の点から好ましい。
これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。なお、本明細書においては、特に断りのない限り、例示した化合物、成分、剤等はいずれも単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００７７】
（Ｂ２）は、例えば、炭素数２〜４の環状エーテル基（例えば、エポキシ基、オキセタニル基及びテトラヒドロフリル基）からなる群から選ばれる少なくとも１種の基を有していればよく、さらに、不飽和結合を有する単量体であることが好ましい。
【００７８】
（Ｂ２）としては、例えば、エポキシ基を有する単量体、オキセタニル基を有する単量体、テトラヒドロフリル基を有する単量体等が挙げられる。
【００７９】
前記のエポキシ基を有する単量体とは、例えば、脂肪族エポキシ基及び脂環式エポキシ基からなる群から選ばれる少なくとも１種の基を有する重合性化合物をいう。
エポキシ基を有する単量体は、脂肪族エポキシ基及び脂環式エポキシ基からなる群から選ばれる少なくとも１種の基を有し、かつ不飽和結合を有する化合物であることが好ましい。
【００８０】
脂肪族エポキシ基を有する化合物としては、具体的には、グリシジル（メタ）アクリレート、β−メチルグリシジル（メタ）アクリレート、β−エチルグリシジル（メタ）アクリレート、グリシジルビニルエーテル、特開平７−２４８６２５号公報に記載の下記の式（ＶＩ）で示される化合物等が挙げられる。
（式（VI)中、Ｒ６１〜Ｒ６３は、それぞれ独立に水素原子又は炭素原子数１〜１０のアルキル基であり、ｍ１は１〜５の整数である。）。
【００８１】
ここで、アルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、１−メチル−ｎ−プロピル基、２−メチル−ｎ−プロピル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、１−メチル−ｎ−ブチル基、２−メチル−ｎ−ブチル基、３−メチル−ｎ−ブチル基、１，１−ジメチル−ｎ−プロピル基、１，２−ジメチル−ｎ−プロピル基、２，２−ジメチル−ｎ−プロピル基、ｎ−ヘキシル基、シクロヘキシル基等が例示される。
なお、いずれの化学構造式においても、炭素数によって異なるが、特に断りのない限り、置換基等の例示は、本明細書全体にわたって同様に適用することができる。また、直鎖又は分岐の双方をとることができるものは、そのいずれをも含む。
【００８２】
前記の式（VI)で示される化合物としては、例えば、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、２，３−ジグリシジルオキシメチルスチレン、２，４−ジグリシジルオキシメチルスチレン、２，５−ジグリシジルオキシメチルスチレン、２，６−ジグリシジルオキシメチルスチレン、２，３，４−トリグリシジルオキシメチルスチレン、２，３，５−トリグリシジルオキシメチルスチレン、２，３，６−トリグリシジルオキシメチルスチレン、３，４，５−トリグリシジルオキシメチルスチレン、２，４，６−トリグリシジルオキシメチルスチレン等が挙げられる。
【００８３】
脂環式エポキシ基を有する単量体としては、例えば、脂肪族単環式エポキシ基を有する単量体、脂肪族多環式エポキシ基を有する単量体等が挙げられる。脂肪族単環式エポキシ基を有する単量体とは、脂肪族単環式化合物の環上にエポキシ基を有する重合性化合物をいう。また、脂肪族多環式エポキシ基を有する単量体とは、脂肪族多環式化合物の環上にエポキシ基を有する重合性化合物をいう。これらのエポキシ基を有する単量体は、脂肪族単環式化合物及び脂肪族多環式化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種の環上にエポキシ基を有し、かつ不飽和結合を有する化合物であることが好ましい。
【００８４】
前記の脂肪族単環式化合物としては、例えば、シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロヘプタン、シクロオクタン等が挙げられる。なかでも、炭素数５〜７の化合物が好ましい。
脂肪族単環式エポキシ基を有する単量体としては、具体的には、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート（例えば、サイクロマーＡ４００；ダイセル化学工業（株）製）、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタアクリレート（例えば、サイクロマーＭ１００；ダイセル化学工業（株）製）等が挙げられる。
【００８５】
前記の脂肪族多環式化合物としては、例えば、ジシクロペンタン、トリシクロデカン、ノルボルナン、イソノルボルナン、ビシクロオクタン、ビシクロノナン、ビシクロウンデカン、トリシクロウンデカン、ビシクロドデカン、トリシクロドデカン等が挙げられる。なかでも、炭素数８〜１２の化合物が好ましい。
【００８６】
前記の脂肪族多環式エポキシ基を有する単量体としては、例えば、３，４−エポキシノルボルニルアクリレート、３，４−エポキシノルボルニルメタクリレート、式（VII）で表される化合物及び式（VIII）で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物等が挙げられる。
式（VII）及び式（VIII）において、Ｒ71及びＲ72は、それぞれ独立に、水素原子又は水酸基で置換されていてもよい炭素数１〜４のアルキル基を表す。
Ｘ71及びＸ72は、それぞれ独立に、単結合、炭素数１〜６のアルキレン基又は−（ＣＨ２）ｓ−Ｘ'−（ＣＨ２）ｔ−、Ｘ'は硫黄原子、酸素原子又は２価のアミノ基、ｓ及びｔは、それぞれ独立に、０〜６の整数、ただしｓ＋ｔ＝６を表す。］
【００８７】
Ｒ71及びＲ72としては、具体的には、水素原子；メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基等のアルキル基；
ヒドロキシメチル基、１−ヒドロキシエチル基、２−ヒドロキシエチル基、１−ヒドロキシ−ｎ−プロピル基、２−ヒドロキシ−ｎ−プロピル基、３−ヒドロキシ−ｎ−プロピル基、１−ヒドロキシ−イソプロピル基、２−ヒドロキシ−イソプロピル基、１−ヒドロキシ−ｎ−ブチル基、２−ヒドロキシ−ｎ−ブチル基、３−ヒドロキシ−ｎ−ブチル基、４−ヒドロキシ−ｎ−ブチル基等の水酸基置換アルキル基が挙げられる。
なかでも、好ましくは水素原子、メチル基、ヒドロキシメチル基、１−ヒドロキシエチル基、２−ヒドロキシエチル基である。より好ましくは水素原子、メチル基である。
【００８８】
Ｘ71及びＸ72としては、具体的には、単結合；メチレン基、エチレン基、プロピレン基等のアルキレン基；
チオアルキレン基、オキシアルキレン基、アミノアルキレン基等のヘテロ原子含有アルキレン基が挙げられる。具体的には、オキシメチレン基、オキシエチレン基、オキシプロピレン基、チオメチレン基、チオエチレン基、チオプロピレン基、アミノメチレン基、アミノエチレン基、アミノプロピレン基等が例示される。
なかでも、好ましくは単結合、メチレン基、エチレン基、オキシメチレン基、オキシエチレン基である。より好ましくは単結合、オキシエチレン基である。
【００８９】
式（VII）で表される化合物及び式（VIII）で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物は、下記の式（VII’）で表される化合物及び式（VIII’）で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物であることが好ましい。
式（VII’）及び式（VIII’）において、Ｒ71’及びＲ72’は、それぞれ前記Ｒ71及びＲ72と同義である。
【００９０】
式（VII）で表される化合物としては、例えば、式（VII−１）〜式（VII−１５）で表される化合物等が挙げられる。好ましくは式（VII−１）、式（VII−３）、式（VII−５）、式（VII−７）、式（VII−９）、式（VII−１１）〜式（VII−１５）である。より好ましくは式（VII−１）、式（VII−７）、式（VII−９）、式（VII−１５）である。
【００９１】
【００９２】
式（VIII）で表される化合物としては、例えば、式（VIII−１）〜式（VIII−１５）で表される化合物等が挙げられる。好ましくは式（VIII−１）、式（VIII−３）、式（VIII−５）、式（VIII−７）、式（VIII−９）、式（VIII−１１）〜式（VIII−１５）である。より好ましくは式（VIII−１）、式（VIII−７）、式（VIII−９）、式（VIII−１５）である。
【００９３】
【００９４】
式（VII）で表される化合物及び式（VIII）で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物は、それぞれ単独で用いることができる。また、任意の比率で混合することができる。混合する場合、その混合比率はモル比で、好ましくは式（VII）：式（VIII）で５：９５〜９５：５、より好ましくは１０：９０〜９０：１０、さらに好ましくは２０：８０〜８０：２０である。
【００９５】
前記のオキセタニル基を有する単量体とは、例えば、脂肪族オキセタニル基及び脂環式オキセタニル基からなる群から選ばれる少なくとも１種の基を有する重合性化合物をいう。オキセタニル基を有する単量体は、脂肪族オキセタニル基及び脂環式オキセタニル基からなる群から選ばれる少なくとも１種の基を有し、かつ不飽和結合を有する化合物であることが好ましい。
【００９６】
オキセタニル基を有する単量体としては、具体的には、３−メチル−３−メタクリルオキシメチルオキセタン、３−メチル−３−アクリロキシメチルオキセタン、３−エチル−３−メタクリロキシメチルオキセタン、３−エチル−３−アクリロキシメチルオキセタン、３−メチル−３−メタクリロキシエチルオキセタン、３−メチル−３−アクリロキシエチルオキセタン、３−エチル−３−メタクリロキシエチルオキセタン又は３−エチル−３−アクリロキシエチルオキセタン等が挙げられる。
【００９７】
前記のテトラヒドロフリル基を有する単量体とは、例えば、脂肪族テトラヒドロフリル基及び脂環式テトラヒドロフリル基からなる群から選ばれる少なくとも１種の基を有する重合性化合物をいう。テトラヒドロフリル基を有する単量体は、脂肪族テトラヒドロフリル基及び脂環式テトラヒドロフリル基からなる群から選ばれる少なくとも１種の基を有し、かつ不飽和結合を有する化合物であることが好ましい。
テトラヒドロフリル基を有する単量体としては、具体的には、テトラヒドロフルフリルアクリレート（例えば、ビスコートＶ＃１５０、大阪有機化学工業（株）製）、テトラヒドロフルフリルメタクリレート等が挙げられる。
【００９８】
共重合可能な単量体（Ｂ３）としては、例えば、
メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸アルキルエステル類；
シクロヘキシル（メタ）アクリレート、２−メチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、トリシクロ［５．２．１．０２,６］デカン−８−イル（メタ）アクリレート（当該技術分野では、慣用名として、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートといわれている）、ジシクロペンタニルオキシエチル（メタ）アクリレート、イソボロニル（メタ）アクリレート、等の（メタ）アクリル酸環状アルキルエステル類；
フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸アリールエステル類；
マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等のジカルボン酸ジエステル；
２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等のヒドロキシアルキルエステル類；
【００９９】
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（２’−ヒドロキシエチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−エトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジヒドロキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジカルボキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジ（ヒドロキシメチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジ（２’−ヒドロキシエチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジメトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジエトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシ−５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシ−５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシメチル−５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−６−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−６−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジカルボキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン無水物（ハイミック酸無水物）、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シクロヘキシルオキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−フェノキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジ（ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジ（シクロヘキシルオキシカルボニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン等のビシクロ不飽和化合物類；
【０１００】
Ｎ−メチルマレイミド、Ｎ−エチルマレイミド、Ｎ−プロピルマレイミドなどのＮ−アルキルマレイミド；
Ｎ−シクロペンチルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−シクロオクチルマレイミドなどのＮ−シクロアルキルマレイミド；
Ｎ−アダマンチルマレイミド、Ｎ−ノルボルニルマレイミドなどのＮ−橋架け炭素環式基置換マレイミド；
【０１０１】
Ｎ−フェニルマレイミドなどのＮ−アリールマレイミド；
Ｎ−ベンジルマレイミドなどのＮ−アラルキルマレイミド；
Ｎ−スクシンイミジル−３−マレイミドベンゾエート、Ｎ−スクシンイミジル−４−マレイミドブチレート、Ｎ−スクシンイミジル−６−マレイミドカプロエート、Ｎ−スクシンイミジル−３−マレイミドプロピオネート、Ｎ−（９−アクリジニル）マレイミド等のジカルボニルイミド誘導体類；
スチレン、α−メチルスチレン、ｍ−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレン、ビニルトルエン、ｐ−メトキシスチレン、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、アクリルアミド、メタクリルアミド、酢酸ビニル、１，３−ブタジエン、イソプレン、２，３−ジメチル−１，３−ブタジエン等が挙げられる。
【０１０２】
なかでも、スチレン、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミド、ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン等が、共重合反応性及びアルカリ溶解性の点から好ましい。
【０１０３】
共重合体［Ｋ１］〜［Ｋ４］は、例えば、文献「高分子合成の実験法」（大津隆行著 発行所（株）化学同人 第１版第１刷 １９７２年３月１日発行）に記載された方法及び当該文献に記載された引用文献を参考にして製造することができる。
【０１０４】
具体的には、共重合体を構成する単量体（Ｂ１）及び（Ｂ２）、任意に（Ｂ３）の所定量、重合開始剤及び溶剤を反応容器中に仕込んで、窒素により酸素を置換し、酸素不存在下で、攪拌、加熱、保温することにより、重合体が得られる。仕込方法、反応温度及び時間等の重合条件は、製造設備、重合による発熱量等を考慮して、適宜調整することができる。
【０１０５】
ここで用いられる重合開始剤及び溶剤は、当該分野で通常使用されているもののいずれをも使用することができる。例えば、後述する重合開始剤及び溶剤等を用いることができる。
なお、得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体（粉体）として取り出したものを使用してもよい。
特に、この重合の際に溶剤として、後述する溶剤を使用することにより、反応後の溶液をそのまま使用することができ、製造工程を簡略化することができる。
【０１０６】
共重合体［Ｋ１］は、各単量体の比率が、共重合体［Ｋ１］を構成する単量体の合計モル数に対してモル分率で、以下の範囲にあることが好ましい。
（Ｂ１）５〜９５モル％、より好ましくは１０〜５０モル％
（Ｂ２）５〜９５モル％、より好ましくは５０〜９０モル％。
【０１０７】
また、共重合体［Ｋ２］は、各単量体の比率が、共重合体［Ｋ２］を構成する単量体の合計モル数に対してモル分率で、以下の範囲にあることが好ましい。
（Ｂ１）２〜５０モル％、より好ましくは５〜４５モル％
（Ｂ２）２〜９７モル％、より好ましくは５〜８０モル％
（Ｂ３）１〜９６モル％、より好ましくは１〜６０モル％。
【０１０８】
共重合体［Ｋ３］は、二段階の工程を経て製造することができる。
まず、（Ｂ１）及び（Ｂ３）を、上述した方法と同様に共重合させて共重合体を得る。 この場合、各単量体の比率が、樹脂を構成する単量体の合計モル数に対してモル分率で、以下の範囲にあることが好ましい。
（Ｂ１）５〜６０モル％、好ましくは１０〜５０モル％
（Ｂ３）４０〜９５モル％、好ましくは５０〜９０モル％。
【０１０９】
次に、（Ｂ１）及び（Ｂ３）の共重合体に由来する（Ｂ１）のカルボン酸及び／又はカルボン酸無水物の一部を（Ｂ２）に由来するエポキシ基、オキセタニル基又はテトラヒドロフリル基と反応させる。
そのために、引き続き、フラスコ内雰囲気を窒素から空気に置換し、（Ｂ２）、反応触媒及び重合禁止剤等をフラスコ内に入れて、例えば、６０〜１３０℃で、１〜１０時間反応を続ける。仕込方法、反応温度及び時間等の反応条件は、製造設備や重合による発熱量等を考慮して適宜調整することができる。
この場合の（Ｂ２）のモル数は、（Ｂ１）のモル数に対して、５〜８０モル％が適して降り、好ましくは１０〜７５モル％であり、より好ましくは１５〜７０モル％である。
【０１１０】
反応触媒は、例えば、カルボキシル基とエポキシ基、オキセタニル基又はテトラヒドロフリル基との反応触媒として用いられるものが適している。具体的には、トリスジメチルアミノメチルフェノール等が例示される。
反応触媒の使用量は、例えば、モノマー（Ｂ１）〜（Ｂ３）の合計量に対して質量基準で０．００１〜５％程度が例示される。
重合禁止剤は、例えば、ハイドロキノンが例示される。
重合禁止剤の使用量は、例えば、モノマー（Ｂ１）〜（Ｂ３）の合計量に対して質量基準で０．００１〜５％程度が例示される。
【０１１１】
共重合体［Ｋ４］は、各単量体の比率が、共重合体［Ｋ４］を構成する単量体の合計モル数に対してモル分率で、以下の範囲にあることが好ましい。
（Ｂ１）２〜５０モル％、より好ましくは５〜４０モル％
（Ｂ２）５０〜９８モル％、より好ましくは６０〜９５モル％。
【０１１２】
本発明で用いられるアルカリ可溶性樹脂（Ｆ）の酸価は、通常、２０〜１８０であり、好ましくは４０〜１７０、特に好ましくは５０〜１５０である。酸価が、この範囲にあると、現像液に対する溶解性が向上して未露光部が溶解しやすくなり、好ましい。ここで酸価はアクリル酸系重合体１ｇを中和するに必要な水酸化カリウムの量（ｍｇ）として測定される値であり、通常は水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。
【０１１３】
アルカリ可溶性樹脂（Ｆ）における、ポリスチレンを基準としてゲルパーミェーションクロマトグラフィーで求められる重量平均分子量は、好ましくは２，０００〜１００，０００、より好ましくは２，０００〜５０，０００、とりわけ好ましくは３，０００〜３０，０００である。重量平均分子量が前記の範囲にあると、現像時の残膜率を保持しながら高い現像速度が得られる傾向があり、好ましい。
【０１１４】
アルカリ可溶性樹脂（Ｆ）の含有量は、化合物（Ａ）、化合物（Ｂ）、化合物（Ｃ）及びアルカリ可溶性樹脂（Ｆ）の合計量に対して、３０〜８５質量％であり、好ましくは３５〜８０質量％であり、より好ましくは４５〜７５質量％である。アルカリ可溶性樹脂（Ｆ）の含有量が、この範囲にあると、パターンが形成でき、また解像度及び残膜率が向上する傾向にあり好ましい。
【０１１５】
また、アルカリ可溶性樹脂（Ｆ）の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、通常、７〜６５質量％であり、好ましくは１３〜６０質量％であり、より好ましくは１７〜５５質量％である。アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）の含有量が、前記の範囲にあると、パターンが形成でき、また解像度及び残膜率が向上する傾向にあり好ましい。
【０１１６】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、さらに、溶剤（Ｇ）を含んでいてもよい。溶剤（Ｇ）としては、例えば、エーテル類、芳香族炭化水素類、上記以外のケトン類、アルコール類、エステル類、アミド類などが挙げられる。
【０１１７】
前記のエーテル類としては、例えば、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、１，４−ジオキサン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、アニソール、フェネトール、メチルアニソールなどが挙げられる。
【０１１８】
前記の芳香族炭化水素類としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどが挙げられる。
前記のケトン類としては、例えば、アセトン、２−ブタノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン、４−ヘプタノン、４−メチル−２−ペンタノン、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン、シクロペンタノン、シクロヘキサノンなどが挙げられる。
前記のアルコール類としては、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、グリセリンなどが挙げられる。
【０１１９】
前記のエステル類としては、例えば、酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、γ−ブチロラクトンなどが挙げられる。
【０１２０】
前記のアミド類としては、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドンなどが挙げられる。
これらの溶剤は、単独でも２種類以上を組み合わせて用いてもよい。
【０１２１】
これらの中でも、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、乳酸エチル及び４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノンが好ましく、これらを併用することがより好ましい。
【０１２２】
着色感光性樹脂組成物における溶剤（Ｇ）の含有量は、着色感光性樹脂組成物に対して質量分率で、好ましくは７０〜９５質量％であり、より好ましくは７５〜９０質量％である。溶剤（Ｇ）の含有量がこの範囲にあると、塗布時の平坦性が良好になり、またカラーフィルタを形成した際に色濃度が不足しないために表示特性が良好となる傾向があるため好ましい。
【０１２３】
本発明の着色感光性樹脂組成物には、さらに、界面活性剤（Ｈ）が含まれていてもよい。界面活性剤（Ｈ）としては、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤及びフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤からなる群から選ばれる少なくとも１種が挙げられる。
【０１２４】
前記のシリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合を有する界面活性剤などが挙げられる。具体的には、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、同ＳＨ７ＰＡ、同ＤＣ１１ＰＡ、同ＳＨ２１ＰＡ、同ＳＨ２８ＰＡ、同２９ＳＨＰＡ、同ＳＨ３０ＰＡ、ポリエーテル変性シリコンオイルＳＨ８４００（商品名：トーレシリコーン（株）製）、ＫＰ３２１、ＫＰ３２２、ＫＰ３２３、ＫＰ３２４、ＫＰ３２６、ＫＰ３４０、ＫＰ３４１（信越シリコーン製）、ＴＳＦ４００、ＴＳＦ４０１、ＴＳＦ４１０、ＴＳＦ４３００、ＴＳＦ４４４０、ＴＳＦ４４４５、ＴＳＦ−４４４６、ＴＳＦ４４５２、ＴＳＦ４４６０（モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社製）などが挙げられる。
【０１２５】
前記のフッ素系界面活性剤としては、フルオロカーボン鎖を有する界面活性剤などが挙げられる。具体的には、フロラード（商品名）ＦＣ４３０、同ＦＣ４３１（住友スリーエム（株）製）、メガファック（商品名）Ｆ１４２Ｄ、同Ｆ１７１、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１７７、同Ｆ１８３、同Ｒ３０（ＤＩＣ（株）製）、エフトップ（商品名）ＥＦ３０１、同ＥＦ３０３、同ＥＦ３５１、同ＥＦ３５２（新秋田化成（株）製）、サーフロン（商品名）Ｓ３８１、同Ｓ３８２、同ＳＣ１０１、同ＳＣ１０５（旭硝子（株）製）、Ｅ５８４４（（株）ダイキンファインケミカル研究所製）、ＢＭ−１０００、ＢＭ−１１００（いずれも商品名：ＢＭ Ｃｈｅｍｉｅ社製）などが挙げられる。
【０１２６】
前記のフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合及びフルオロカーボン鎖を有する界面活性剤などが挙げられる。具体的には、メガファック（登録商標）Ｒ０８、同ＢＬ２０、同Ｆ４７５、同Ｆ４７７、同Ｆ４４３（ＤＩＣ（株）製）などがあげられる。
【０１２７】
これらの界面活性剤は、単独でも２種類以上を組み合わせて用いてもよい。
界面活性剤（Ｇ）の含有量は、着色感光性樹脂組成物に対し質量分率で、好ましくは０．００００１〜０．１質量％であり、より好ましくは０．００００５〜０．０１質量％である。界面活性剤（Ｈ）の含有量が、この範囲にあると、平坦性が良好になる傾向があり好ましい。
【０１２８】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、カラーフィルタ又は着色パターンを形成するために好適に利用することができ、色濃度、明度、コントラスト、感度、解像度、耐熱性等の良好な着色パターン及びカラーフィルタを得ることが可能となる。また、これらのカラーフィルタ又は着色パターンをその構成部品の一部として備える光学フィルム、アレイ基板等、さらに、これらのカラーフィルタ又は着色パターン、光学フィルム及び／又はアレイ基板等を具備する表示装置、例えば、公知の液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置、固体撮像素子等の種々の着色画像に関連する機器の全てに、公知の態様で、利用することができる。
【０１２９】
本発明の着色感光性樹脂組成物を用いてカラーフィルタ又はそのパターンを形成する方法としては、例えば、本発明の着色感光性樹脂組成物を、基板の上に塗布し、溶剤など揮発成分を除去／乾燥して着色層を形成し、フォトマスクを介して該着色層を露光して、現像する方法；フォトリソグラフィーが不要なインクジェット機器を用いる方法などが挙げられる。
ここで、基板としては、例えば、透明なガラス板、シリコンウエハ、ポリカーボネート基板、ポリエステル基板、芳香族ポリアミド基板、ポリアミドイミド基板、ポリイミド基板などの樹脂基板などが挙げられる。前記基板上には、ブラックマトリクス、別の着色感光性樹脂組成物層又は着色パターン、膜厚調整用の透明パターン、ＴＦＴなどが形成されていてもよい。
この場合の塗膜の膜厚は、特に限定されず、用いる材料、用途等によって適宜調整することができ、例えば、０．１〜３０μｍ程度、好ましくは１〜２０μｍ程度、さらに好ましくは１〜６μｍ程度が例示される。
【０１３０】
着色感光性樹脂組成物の塗布方法は、例えば、押し出しコーティング法、ダイレクトグラビアコーティング法、リバースグラビアコーティング法、ＣＡＰコーティング法、ダイコーティング法などが挙げられる。また、ディップコーター、バーコーター、スピンコーター、スリット＆スピンコーター、スリットコーター（ダイコーター、カーテンフローコーター、スピンレスコーターとも呼ばれることがある）、ローラーなどのコーターを用いて塗布してもよい。なかでも、スピンコーターを用いて塗布することが好ましい。
【０１３１】
溶媒の除去／乾燥は、例えば、自然乾燥、通風乾燥、減圧乾燥などが挙げられる。具体的な加熱温度は、３０〜１２０℃程度が適しており、６０〜１００℃程度が好ましい。加熱時間は、１０秒間〜６０分間程度が適しており、３０秒間〜３０分間程度が好ましい。減圧乾燥は、５０〜１５０Ｐａ程度の圧力下、２０〜２５℃程度の温度範囲で行うことが例示される。
【０１３２】
得られた着色感光性樹脂組成物層に、マスクを介して放射線を照射してもよい。マスクのパターンは、硬化樹脂パターンの目的とするパターンに応じて適宜選択される。放射線としては、例えば、ｇ線、ｉ線などの光線が用いられる。放射線の照射は、例えば、マスクアライナー、ステッパーなどの装置を使用するのが好ましい。
放射線の照射後、着色感光性樹脂組成物層を現像する。現像は、露光後の着色感光性樹脂組成物層を、例えば、パドル法、浸漬法、スプレー法又はシャワー法などによって行うことができる。
現像液としては、通常、アルカリ水溶液が用いられる。アルカリ水溶液としては、アルカリ性化合物の水溶液が用いられ、アルカリ性化合物は無機アルカリ性化合物であっても、有機アルカリ性化合物であってもよい。また、アルカリ現像液には、界面活性剤が含有されていてもよい。
【０１３３】
アルカリ性化合物は、無機及び有機のアルカリ性化合物のいずれでもよい。無機アルカリ性化合物の具体例としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、燐酸水素二ナトリウム、燐酸二水素ナトリウム、燐酸水素二アンモニウム、燐酸二水素アンモニウム、燐酸二水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニアなどが挙げられる。
また、有機アルカリ性化合物の具体例としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、２−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミンなどが挙げられる。これらの無機及び有機アルカリ性化合物は、それぞれ単独で又は２種以上組合せて用いることができる。アルカリ現像液中のアルカリ性化合物の濃度は、好ましくは０．０１〜１０質量％であり、より好ましくは０．０３〜５質量％である。
【０１３４】
アルカリ現像液中の界面活性剤は、ノニオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤又はカチオン系界面活性剤のいずれでもよい。
ノニオン系界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン／オキシプロピレンブロックコポリマー、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミンなどが挙げられる。
【０１３５】
アニオン系界面活性剤の具体例としては、ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウムやオレイルアルコール硫酸エステルナトリウムのような高級アルコール硫酸エステル塩類、ラウリル硫酸ナトリウムやラウリル硫酸アンモニウムのようなアルキル硫酸塩類、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムやドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウムのようなアルキルアリールスルホン酸塩類などが挙げられる。
カチオン系界面活性剤の具体例としては、ステアリルアミン塩酸塩やラウリルトリメチルアンモニウムクロライドのようなアミン塩又は第四級アンモニウム塩などが挙げられる。
これらの界面活性剤は、それぞれ単独で用いることも、また２種以上組合せて用いることもできる。
アルカリ現像液中の界面活性剤の濃度は、好ましくは０．０１〜１０質量％の範囲、より好ましくは０．０５〜８質量％、より好ましくは０．１〜５質量％である。
【０１３６】
通常、着色感光性樹脂組成物層は、現像後、水洗され、さらに必要に応じて、１５０〜２５０℃で１０〜６０分のポストベークが施され、画素が得られる。
【０１３７】
本発明の着色感光性樹脂組成物を用いて、以上のような各工程を経て、基板上に画素を形成することができる。
得られた画素においては、基板に対する画素の角度が、９０度未満であることが好ましい。該角度が前記の範囲にあると、液晶表示装置の形成時に、ＩＴＯ配線の断線が起こりにくいため、好ましい。
【０１３８】
この画素は、感度が良好であることから、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置などの表示装置に使用されるカラーフィルタに用いることができる。
【０１３９】
したがって、このようにして得られる画素を、液晶表示装置などの表示装置に組み込むことにより、優れた品質の表示装置を高い歩留りで製造することができる。
【実施例】
【０１４０】
以下、本発明の着色感光性樹脂組成物及びカラーフィルタについて詳細に説明する。なお、実施例中、含有量ないし使用量を表す％及び部は、特に断らないかぎり質量基準である。
【０１４１】
合成例１：アルカリ可溶性樹脂Ｆ１の合成
還流冷却器、滴下ロート及び攪拌機を備えた１Ｌのフラスコ内に窒素を０．０２Ｌ／分で流して窒素雰囲気とし、３−メトキシ−１−ブタノール２００部及び３−メトキシブチルアセテート１０５部を入れ、撹拌しながら７０℃まで加熱した。次いで、メタクリル酸６０部、３，４−エポキシトリシクロ［５．２．１．０２．６］デシルアクリレート（式（VII−１）で表される化合物及び式（VIII−１）で表される化合物を、モル比で、５０：５０で混合）２４０部及び３−メトキシブチルアセテート１４０部に溶解して溶液を調製し、該溶解液を、滴下ロートを用いて４時間かけて、７０℃に保温したフラスコ内に滴下した。一方、重合開始剤２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）３０部を３−メトキシ−１−ブタノール９０部及び３−メトキシブチルアセテート１３５部に溶解した溶液を、別の滴下ロートを用いて４時間かけてフラスコ内に滴下した。重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、４時間、７０℃に保持した。その後、室温まで冷却して、重量平均分子量Ｍｗは、１．３×１０４、分散度は２．５、固形分３３％、酸価３４ｍｇ−ＫＯＨ／ｇの樹脂溶液Ｆ１を得た。
【０１４２】
合成例２：アルカリ可溶性樹脂Ｆ２の合成
還流冷却器、滴下ロート及び攪拌機を備えた１Ｌのフラスコ内に窒素を０．０２Ｌ／分で流して窒素雰囲気とし、乳酸エチル３２０部を入れ、撹拌しながら９０℃まで加熱した。次いで、メタクリル酸５６部、３−エチル−３−メタクリロキシメチルオキセタン１４７部、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド１１７部及び、乳酸エチル１５０部に溶解して溶液を調製し、該溶解液を、滴下ロートを用いて４時間かけて、７０℃に保温したフラスコ内に滴下した。一方、重合開始剤アゾビスイソブチロニトリル９部を乳酸エチル２００部に溶解した溶液を、別の滴下ロートを用いて４時間かけてフラスコ内に滴下した。重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、３時間、９０℃に保持した。その後、室温まで冷却して、重量平均分子量Ｍｗは、８．０×１０３、分散度は２．０、固形分３３％、酸価３５ｍｇ−ＫＯＨ／ｇの樹脂溶液Ｆ２を得た。
【０１４３】
上記の樹脂の重量平均分子量は、ＧＰＣ法を用いて、以下の条件で測定した。
装置 ；ＨＬＣ−８１２０ＧＰＣ（東ソー（株）製）
カラム ；ＴＳＫ−ＧＥＬＧ２０００ＨＸＬ
カラム温度 ；４０℃
溶媒 ；ＴＨＦ
流速 ；１．０ｍＬ／ｍｉｎ
被検液固型分濃度；０．００１〜０．０１％
注入量 ；５０μＬ
検出器 ；ＲＩ
校正用標準物質 ；ＴＳＫ ＳＴＡＮＤＡＲＤ ＰＯＬＹＳＴＹＲＥＮＥ
Ｆ−４０、Ｆ−４、Ｆ−１、Ａ−２５００、Ａ−５００
（東ソー（株）製）
【０１４４】
実施例１
［着色感光性樹脂組成物１の調製］
（Ｅ）着色剤：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６ ３０部とアクリル系顔料分散剤の７．５部を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２２０部と混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させ、次いで、
（Ａ）メタアリル化合物：トリメタアリルイソシアヌレート（日本化成（株）製） １２部
（Ｂ）メルカプト化合物：ジペンタエリスリトールヘキサキス（３−メルカプトプロピオネート）（ＳＣ有機化学（株）製） ８部
（Ｃ）光重合性化合物：カヤラッド ＤＰＨＡ（日本化薬（株）製） ３０部
（Ｄ）光重合開始剤：ＯＸＥ−０１（チバ・ジャパン社製） １２部
（Ｆ）樹脂：樹脂溶液Ｆ１ １０２部
（Ｇ）溶剤 ：４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン ２６４部
を混合して着色感光性樹脂組成物を得た。
【０１４５】
実施例２
（Ｅ）樹脂：樹脂溶液Ｆ１に代えて、樹脂溶液Ｆ２を使用する以外は実施例１と同様に混合して着色感光性樹脂組成物を得た。
【０１４６】
実施例３
（Ａ）メルカプト化合物：ジペンタエリスリトールヘキサキス（３−メルカプトプロピオネート）（ＳＣ有機化学（株）製）に代えて、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトプロピオネート）（ＳＣ有機化学（株）製）を使用する以外は実施例１と同様に混合して着色感光性樹脂組成物を得た。
【０１４７】
実施例４
（Ｅ）着色剤：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６ ３０部とアクリル系顔料分散剤の７．５部を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２２０部と混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させ、ついで、
（Ａ）メタアリル化合物：トリメタアリルイソシアヌレート（日本化成（株）製） １６部
（Ｂ）メルカプト化合物：ジペンタエリスリトールヘキサキス（３−メルカプトプロピオネート）（ＳＣ有機化学（株）製） ４部
（Ｃ）光重合性化合物：カヤラッド ＤＰＨＡ（日本化薬（株）製） ３０部
（Ｄ）光重合開始剤：ＯＸＥ−０１（チバ・ジャパン社製） １２部
（Ｆ）樹脂：樹脂溶液Ｆ１ １０２部
（Ｇ）溶剤 ：４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン ２６４部
を混合して着色感光性樹脂組成物を得た。
【０１４８】
実施例５
（Ｅ）着色剤：Ｃ．Ｉ．Ｓｏｌｖｅｎｔ Ｒｅｄ １３０（（Ｃ）に相当；チバ・ジャパン社製） ４９部、
（Ａ）メタアリル化合物：トリメタアリルイソシアヌレート（日本化成（株）製） ３０部
（Ｂ）メルカプト化合物：ジペンタエリスリトールヘキサキスメルカプトプロピオネート（ＳＣ有機化学（株）製） ２０部
（Ｃ）光重合性化合物：カヤラッド ＤＰＨＡ（日本化薬（株）製） ５０部
（Ｄ）光重合開始剤：ＯＸＥ ０１（チバ・ジャパン社製） １５部
（Ｆ）樹脂：樹脂溶液Ｆ１ １５２部
（Ｇ）溶剤 ：４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン ２８４部
を混合して着色感光性樹脂組成物を得た。
【０１４９】
比較例１
（Ｅ）着色剤：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６ ３０部とアクリル系顔料分散剤の７．５部を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２２０部と混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させ、
アリル化合物：トリメチロールプロパントリアリレート（ダイソー（株）製） １２部
（Ｂ）メルカプト化合物：ジペンタエリスリトールヘキサキスメルカプトプロピオネート（ＳＣ有機化学（株）製）８部
（Ｃ）光重合性化合物：カヤラッド ＤＰＨＡ（日本化薬（株）製） ３０部
（Ｄ）光重合開始剤：ＯＸＥ−０１（チバ・ジャパン社製） １２部
（Ｆ）樹脂：樹脂溶液Ｆ１ １０２部
（Ｇ）溶剤 ：４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン ２６４部
を混合して着色感光性樹脂組成物を得た。
【０１５０】
＜パターン形成＞
２インチ角のガラス基板（イーグル２０００；コーニング社製）上に、着色感光性樹脂組成物をスピンコート法により塗布し、１００℃で３分間プリベークした。冷却後、この着色感光性樹脂組成物を塗布した基板と下記各評価項目に記載のパターンを有する石英ガラス製フォトマスクとの間隔を１００μｍとして、露光機（ＴＭＥ−１５０ＲＳＫ；トプコン（株）製）を用いて、大気雰囲気下、８０ｍＪ／ｃｍ２の露光量（３６５ｎｍ基準）で光照射した。
【０１５１】
光照射後、基板を、非イオン系界面活性剤０．１２％と水酸化カリウム０．０４％とを含む水系現像液に２３℃で８０秒間浸漬して現像し、水洗した。その後、オーブン中、２２０℃で２０分間ポストベークを行った。
放冷後、得られた硬化パターンの膜厚を、膜厚測定装置（ＤＥＫＴＡＫ３；日本真空技術（株）製））を用いて測定したところ、２．２μｍであった。
【０１５２】
＜塗膜形成＞
２インチ角のガラス基板（イーグル２０００；コーニング社製）上に、着色感光性樹脂組成物をスピンコート法により塗布し、１００℃で３分間プリベークした。冷却後、露光機（ＴＭＥ−１５０ＲＳＫ；トプコン（株）製）を用いて、大気雰囲気下、８０ｍＪ／ｃｍ２の露光量（３６５ｎｍ基準）で光照射した。光照射後、オーブン中、２２０℃で２０分間ポストベークを行った。放冷後、得られた塗膜の膜厚を、膜厚測定装置（ＤＥＫＴＡＫ３；日本真空技術（株）製））を用いて測定したところ、２．２μｍであった。
【０１５３】
＜感度評価＞
得られたパターン及び塗膜について、測色機（ＯＳＰ−ＳＰ−２００；オリンパス（株）製）を用いて測定した分光を、Ｃ光源を用いてＣＩＥのＸＹＺ表色系におけるｘｙ色度座標（ｘ、ｙ）と明度に換算し、パターン及び塗膜の色度からΔＥａｂ＊を計算した。ΔＥａｂ＊が１以下であれば、感度は十分であると判断した。その結果を表１に示す。
【０１５４】
＜耐熱性評価＞
塗膜について、オーブン中、２２０℃で２時間ベークを行ない、放冷後、測色機（ＯＳＰ−ＳＰ−２００；オリンパス（株）製）を用いて分光を測定し、Ｃ光源を用いてＣＩＥのＸＹＺ表色系におけるｘｙ色度座標（ｘ、ｙ）と明度に換算し、ベーク前後のΔＥａｂ＊を計算した。
ΔＥａｂ＊が３以下であれば、耐熱性は十分であると判断した。どの結果を表１に示す。
【０１５５】
＜パターン形状評価＞
得られたパターン形状を、走査型電子顕微鏡（Ｓ−４０００；（株）日立製作所社製）を用いて観察した。
パターン形状は、基板に対するパターン側壁の角度が、９０度未満のときを順テーパ、９０度以上のときを逆テーパとして判断した。順テーパである場合、表１に○で示す。順テーパであると、液晶表示装置の形成時に、ＩＴＯ配線の断線が起こりにくいので、好ましい。
【表１】
【０１５６】
表１に示す実施例１〜５の結果から、本発明の着色感光性樹脂組成物によれば、感度および耐熱性に優れたパターンを得ることができる。
また、本発明の着色感光性樹脂組成物を用いて着色パターンを形成すると、得られるパターンの形状は順テーパー形状であってカラーフィルタ用パターンとして好ましいパターン形状を示すことがわかる。
【産業上の利用可能性】
【０１５７】
本発明の着色感光性樹脂組成物によれば、感度が良好で、耐熱性に優れた塗膜及びカラーフィルタを得ることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０１５８】
【特許文献１】特開２００６−７９０１２号公報
【特許請求の範囲】
【請求項１】
メタアリル基を有する化合物（Ａ）、２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）、アクリロイル基及びメタアクリロイル基からなる群から選ばれる２以上の基を有する化合物（Ｃ）、光重合開始剤（Ｄ）、着色剤（Ｅ）及びアルカリ可溶性樹脂（Ｆ）を含有する着色感光性樹脂組成物。
【請求項２】
メタアリル基を有する化合物（Ａ）、２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）、並びにアクリロイル基及びメタアクリロイル基からなる群から選ばれる２以上の基を有する化合物（Ｃ）の合計量に対する、メタアリル基を有する化合物（Ａ）の含有量が、５〜６０質量％である請求項１に記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項３】
メタアリル基を有する化合物（Ａ）、２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）、並びにアクリロイル基及びメタアクリロイル基からなる群から選ばれる２以上の基を有する化合物（Ｃ）の合計量に対する、２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）の含有量が、１〜６０質量％である請求項１又は２に記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項４】
アルカリ可溶性樹脂（Ｆ）が、側鎖にエポキシ基又はオキセタニル基を含有する樹脂である請求項１〜３のいずれか１つに記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項５】
光重合開始剤（Ｄ）がオキシム系開始剤である請求項１〜４のいずれか１つに記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項６】
着色剤（Ｅ）が、染料を含む着色剤である請求項１〜５のいずれか１つに記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項７】
着色剤（Ｅ）が、顔料を含む着色剤である請求項１〜６のいずれか１つに記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか記載の着色感光性樹脂組成物を用いて形成される着色パターン。
【請求項９】
請求項８記載の着色パターンを含むカラーフィルタ。
【請求項１０】
請求項９記載のカラーフィルタを具備する液晶表示装置。
【請求項１】
メタアリル基を有する化合物（Ａ）、２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）、アクリロイル基及びメタアクリロイル基からなる群から選ばれる２以上の基を有する化合物（Ｃ）、光重合開始剤（Ｄ）、着色剤（Ｅ）及びアルカリ可溶性樹脂（Ｆ）を含有する着色感光性樹脂組成物。
【請求項２】
メタアリル基を有する化合物（Ａ）、２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）、並びにアクリロイル基及びメタアクリロイル基からなる群から選ばれる２以上の基を有する化合物（Ｃ）の合計量に対する、メタアリル基を有する化合物（Ａ）の含有量が、５〜６０質量％である請求項１に記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項３】
メタアリル基を有する化合物（Ａ）、２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）、並びにアクリロイル基及びメタアクリロイル基からなる群から選ばれる２以上の基を有する化合物（Ｃ）の合計量に対する、２個以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）の含有量が、１〜６０質量％である請求項１又は２に記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項４】
アルカリ可溶性樹脂（Ｆ）が、側鎖にエポキシ基又はオキセタニル基を含有する樹脂である請求項１〜３のいずれか１つに記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項５】
光重合開始剤（Ｄ）がオキシム系開始剤である請求項１〜４のいずれか１つに記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項６】
着色剤（Ｅ）が、染料を含む着色剤である請求項１〜５のいずれか１つに記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項７】
着色剤（Ｅ）が、顔料を含む着色剤である請求項１〜６のいずれか１つに記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか記載の着色感光性樹脂組成物を用いて形成される着色パターン。
【請求項９】
請求項８記載の着色パターンを含むカラーフィルタ。
【請求項１０】
請求項９記載のカラーフィルタを具備する液晶表示装置。
【公開番号】特開２０１０−２２４２０４（Ｐ２０１０−２２４２０４Ａ）
【公開日】平成２２年１０月７日（２０１０．１０．７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−７１２４８（Ｐ２００９−７１２４８）
【出願日】平成２１年３月２４日（２００９．３．２４）
【出願人】（０００００２０９３）住友化学株式会社 (8,981)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１０月７日（２０１０．１０．７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年３月２４日（２００９．３．２４）
【出願人】（０００００２０９３）住友化学株式会社 (8,981)
【Ｆターム（参考）】
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