移載装置
【目的】 複数のリング状の保持部材が上下方向に配列された、例えば縦型熱処理装置に用いられるウエハボートと、収納具例えばウエハキャリアとの間で効率よく半導体ウエハを移載すること。
【構成】 独立して進退自在な複数例えば２枚のフォーク７Ａ、７Ｂを備えた移載機構を用い、キャリアＣ内に２枚のフォーク７Ａ、７Ｂを同時に進入させて２枚のウエハＷを同時にすくい上げる。そしてウエハボート４内に上側のフォーク７Ａを進入させ、突き上げ機構６によりフォーク７Ａ上のウエハを突き上げ、フォーク７Ａを後退させた後保持部材４４上に載置する。次いで下側のフォーク７Ｂを進入させ、同様にして、ウエハＷを保持部材４４上に受け渡す。ウエハボート４から移載機構５へウエハを受け渡すときには、下側のフォークから順番にウエハボート４内に進入させる。
【構成】 独立して進退自在な複数例えば２枚のフォーク７Ａ、７Ｂを備えた移載機構を用い、キャリアＣ内に２枚のフォーク７Ａ、７Ｂを同時に進入させて２枚のウエハＷを同時にすくい上げる。そしてウエハボート４内に上側のフォーク７Ａを進入させ、突き上げ機構６によりフォーク７Ａ上のウエハを突き上げ、フォーク７Ａを後退させた後保持部材４４上に載置する。次いで下側のフォーク７Ｂを進入させ、同様にして、ウエハＷを保持部材４４上に受け渡す。ウエハボート４から移載機構５へウエハを受け渡すときには、下側のフォークから順番にウエハボート４内に進入させる。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は板状体の移載装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハ（以下「ウエハという」）の製造プロセスの一つである熱処理を行う装置としては、従来の横型熱処理炉に代って縦型熱処理炉が多く使用されるようになってきている。縦型熱処理炉を用いた縦型熱処理装置においては、多数枚のウエハを上下に間隔をおいて塔載して熱処理炉に対してロード、アンロードを行うために、通常ウエハボートなど呼ばれる縦長の保持具が用いられる。
【０００３】このウエハボートは、耐熱性及び化学的安定性に優れた石英などの材質からなり、例えば４本の支柱に溝が形成され、この溝によりウエハを各々水平な状態で上下に間隔をおいて保持するように構成されている。一方ウエハは搬送用容器である樹脂等から構成されたウエハキャリアにより各処理装置に対して搬出入される。従ってウエハキャリア（以下「キャリア」という）とウエハボートとの間でウエハを移載する移載装置が必要であり、従来この種の移載装置としては、板状の保持部材であるフォ−クにより一枚づつ移載する構造、あるいは複数のフォ−クを共通の進退機構に取り付けてこれらを同時にキャリア内あるいはウエハボート内に進退させて複数枚のウエハを一括して移載する構造が採用されていた。
【０００４】ところでスループットを上げるために昇温レートを高くする工夫が行われており、その一つとしてウエハボートにおけるウエハの支持をリング状の保持部材で行うことが検討されている。このようなリング状の保持部材を用いれば、ウエハの周縁部の熱を当該保持部材を伝って逃がし、これによりウエハの周縁部と中央部との温度差を小さくできるので、昇温レートを高めても高い面内温度均一性が得られる。
【０００５】ここでこのようなウエハボートにおいては、従来の移載装置ではピンセットが保持部材と位置的に緩衝し、昇降時に保持部材に衝突するので、例えば図９R>９に示すような移載装置が検討されている。図９の移載装置は、ボート載置台１の中に、ウエハボート２のリング状の保持部材２１で囲まれた空間内を昇降し、３本のピン１０を備えた突き上げ機構１１を設け、進退自在な１枚のフォーク１２を備えた移載機１３と突き上げ機構１１とを協動させて、これらの間でウエハＷの受け渡しを行うように構成されている。従って例えばキャリアＣ内にフォーク１２を進入させて処理前のウエハＷを受け取り、次いでフォーク１２をウエハボート２の保持部材２１の間に進入させ、突き上げ１１機構の突き上げ動作及びフォーク１２の退避動作によりフォーク１２上のウエハＷが保持部材２１に受け渡される。
【０００６】また特開平３−８３７３０号に記載されているように保持用アームの下方側に、３本のピンを有する突き上げ用のアームを設けた移載機構を用い、突き上げ用のアームを上昇させて保持部材あるいは保持用アーム上のウエハを突き上げる方法も検討されている。
【０００７】
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら上述の移載装置は、キャリアＣとウエハボート２との間でウエハＷを１枚づつ移載するものであるため、多数枚の例えば５０枚のウエハを保持するウエハボート２に用いる場合には、例えば５０枚のウエハの受け渡しを終了するまでに長い時間がかかっていた。このためリング状の保持部材を用いて昇温レートを早めるようにしても、ウエハの移載に長い時間がかかってしまうと、熱処理装置のスループットの向上に十分反映されないという問題があった。
【０００８】本発明は、このような事情のもとになされたものであり、その目的は、ウエハなどの板状体をリング状の保持部材で保持する保持具を用いる場合に、板状体の移載時間を短縮することのできる移載装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数の板状体の周縁部を夫々保持するための複数のリング状の保持部材が上下方向に配列された保持具と、各板状体の側縁部を保持して複数の板状体を上下方向に配列して収納する収納具と、の間で板状体を移載する装置において、前記保持具内に位置する板状体を突き上げる突き上げ機構と、上下方向に配列され、各々独立して進退自在であると共に保持具及び収納具に対して相対的に昇降自在な複数の搬送部材を備えた移載機構と、複数の搬送部材を同時に収納具内に進入させて当該搬送部材と収納具との間で板状体の受け渡しを行うと共に、複数の搬送部材を順番に保持具内に進入させ、移載機構と突き上げ機構と協働して搬送部材と保持部材との間で板状体の受け渡しを行うように制御する制御部と、を備えてなることを特徴とする。
【００１０】
【作用】移載機構の複数の搬送部材を同時に収納具内に進入させ、複数の板状体を一括して収納具から受け取る。次いで上から１番目の搬送部材を保持部材の間に進入させ、突き上げ機構により当該搬送部材上の板状体を突き上げると共に搬送部材を退壁させた後、突き上げ機構を降下させて板状体を保持部材に保持させる。このような動作を上側に位置する搬送部材から順に行い、複数の板状体を順番に保持部材上に保持させる。また保持部材から搬送部材へ受け渡すときは逆の動作が行われる。従って移載機構と保持具との間では搬送部材を順次進退させて順番に板状体を受け渡し、収納具との間では複数の板状体を一括して受け渡すようにしているため、効率よく板状体の移載を行うことができ、高いスループットを得ることができる。
【００１１】
【実施例】図１は本発明を、縦型熱処理装置におけるウエハの移載装置に適用した実施例を示す図であり、この縦型熱処理装置は、ウエハの収納具であるウエハキャリア（以下「キャリア」という）Ｃを載置するためのキャリア載置部３と、熱処理時におけるウエハの保持具であるウエハボート４と、前記キャリアＣとウエハボート４との間でウエハの移載を行う移載機構５と、ウエハボート４の載置部６１内に配設された突き上げ機構６と、縦型熱処理炉１４に対してウエハボート４を搬出入するためのボートエレベータ１５と、移載機構５及び突き上げ機構６を制御する制御部３０とを備えている。
【００１２】前記キャリアＣは、互に対向する側壁内面に図示しない溝が形成されており、この例では本発明の板状体に相当するウエハＷの側縁部を前記溝により保持して複数例えば２５枚のウエハＷを上下方向に例えば約６．３５ｍｍの間隔で配列して収納するように構成されている。
【００１３】前記ウエハボート４は、耐熱性の大きい材質例えば石英などから構成され、天板４１及びリング状の底板４２間に４本の支柱４３が垂立して設けられると共に、ウエハＷの周縁部を夫々保持するために複数例えば５０枚のリング状の保持部材４４が支柱４３に取り付けられて、上下方向に例えば約１１ｍｍの間隔で配列されている。なおこれら保持部材４４は、図１では示さないが、内縁側にウエハＷが嵌入される凹部が形成されている。
【００１４】前記移載機構５は、搬送基台５１の上に上下方向に複数例えば２枚のこの例では搬送部材をなすフォーク７Ａ、７Ｂを備えている。このフォーク７Ａ、７Ｂは、夫々搬送基台５１の一対の外側の溝５２Ａ及び一対の内側の溝５２Ｂを介して搬送基台５１内の図示しない進退機構に取り付けられ、各々独立して進退できるように構成されている。これらフォーク７Ａ、７Ｂには、ウエハの位置ずれを防止するために例えばガイド部（図示せず）が設けられ、フォーク７Ａ、７Ｂの先端部には、突き上げ機構６の後述のピンが上下に通過できる切り欠き５３が形成されている。
【００１５】前記搬送基台２１は、鉛直軸のまわり（θ方向）に回転するθ機構５４の上に設けられると共に、このθ機構５４は、例えばボールネジなどを用いた昇降機構５５の上に設けられており、従ってフォーク７Ａ、７Ｂは進退動作の他、上下及びθ方向に移動できることになる。そして前記キャリアＣ及びウエハボート４は円周上に配置され、搬送基台５１の回転中心は、その円の中心と一致するように設定される。
【００１６】前記突き上げ機構６は、ウエハボート４の底板４２の内方側空間を通ってリング状の保持部材４４により囲まれる空間内を昇降する昇降部材６２と、この昇降部材６２の表面にウエハを突き上げるための突き上げ部材である３本のピン６３と、前記昇降部材６２を昇降させる昇降機構、例えば載置台６１側に固定されたモータＭによりプーリＰを回転させて、これに螺合されたボールネジ６４を回転昇降させるように構成した昇降機構とを備えている。前記３本のピン６３は、例えば正三角形の頂点に配置され、２本のピン６３の間は前記フォーク７Ａ、７Ｂの横幅よりも大きく設定され、また残り１本のピン６３は前記フォーク７Ａ、７Ｂの切り欠き５３内を上下に通るように構成されている。
【００１７】前記制御部３０は、例えば所定のプログラムにもとずいて、移載機構５の２枚のフォーク７Ａ、７Ｂを同時にキャリアＣ内に進入させてキャリアＣとの間でウエハの受け渡しを行うと共に、フォーク７Ａ、７Ｂを順番にウエハボート２内に進入させ、フォーク７Ａ、７Ｂと突き上げ機構６とを協働させてフォーク７Ａ、７Ｂと保持部材４４との間でウエハの受け渡しを行うように制御する機能を有する。なお３１は信号ラインである。
【００１８】次に上述実施例の作用について述べる。先ず処理前のウエハＷを例えば２５枚収納したキャリアＣがキャリア載置部３に載置する。そして制御部３０の制御指令により移載機構５の２枚のフォーク７Ａ、７Ｂを同時にキャリアＣのウエハ間に進入させ、次いで昇降機構５５により上昇させてフォーク７Ａ、７Ｂの上に夫々ウエハＷを保持し、フォーク７Ａ、７Ｂを後退させると共にθ機構５４により回転させてウエハボート４に対向させる。
【００１９】その後上側のフォーク７Ａを図２に示すように前進させて、ウエハＷがリング状の保持部材４４の真上、つまり図３に示すように凹部４５の真上に位置させる。続いて突き上げ機構６の昇降部材６２を保持部材４４により囲まれた空間を上昇させて図４に示すように３本のピン６３により、フォーク７Ａ上のウエハＷを突き上げ、更に図５に示すようにフォーク７Ａを後退させた後、図６に示すように昇降部材６２を下降させて、ピン６３により保持されているウエハＷを保持部材４４の凹部４５内に嵌合させて当該保持部材４４に保持させる。
【００２０】そしてピン６３を、前記保持部材４４の一つ下の段の保持部材４４よりも低い位置に待機させておき、下側のフォーク７Ｂを図７に示すように、既にウエハＷが保持された保持部材４４とその一つ下の段の保持部材４４との間に進入させ、同様に突き上げ機構６と協動させて、当該フォーク７Ｂ上のウエハＷを保持部材４４上に保持させる。このようなウエハＷの移載は、最上段の保持部材４４から順に行われる。
【００２１】こうしてキャリアＣ内から２枚ずつ一括してウエハＷが抜き取られ、移載機構５からはフォーク７Ａ、７Ｂを交互に進退させて、その２枚のウエハＷが順番にウエハボート４に受け渡される。そしてウエハボート４に所定枚数例えば５０枚のウエハＷが塔載されると、図示しないボート移載機構により、当該ウエハボート４をボートエレベータ１５に移し替え、このボートエレベータ１５によりウエハボート４を縦型熱処理炉１４内に搬入して、所定の熱処理例えばＣＶＤが行われる。
【００２２】また熱処理後にウエハボート４がボート載置部６１に載置されると、上述と逆の動作で保持部材４４からフォーク７Ａ、７ＢにウエハＷが移載される。即ちフォーク７Ａ（７Ｂ）をウエハボート２内に進入させる前に突き上げ機構６により保持部材４４上のウエハＷを突き上げ、その後フォーク７Ａ、（７Ｂ）を進入させてピン６３からフォーク７Ａ（７Ｂ）にウエハＷが受け渡される。ただしこの場合には下側のフォーク７Ｂから順に進退させ、下側に位置するウエハＷから順番に移載機構５側に受け渡される。そして移載機構５からキャリアＣへのウエハＷの受け渡しは、上述の逆の動作で２枚のウエハＷが一括してキャリアＣへ受け渡される。
【００２３】このように上述実施例によれば、移載機構５をキャリアＣからウエハボート４へ（またはウエハボート４からキャリアＣへ）１回回転することにより２枚のウエハＷの移載を行うことができ、しかもキャリアＣに対しては２枚のウエハＷを一括して受け渡しすることができるので、ウエハＷの移載を効率よく行うことができ、１枚のフォークを用いていた従来の場合に比べて移載時間が短縮され、スループットが向上する。
【００２４】以上において、移載機構５においては、フォークの数が２枚に限らず３枚以上であってもよいし、フォークの相互のピッチ（上下の離間距離）が可変な構成としてもよく、ピッチを変更できる場合には、保持部材のピッチが種々のものに対して、予めフォーク間のピッチを対応させておくことにより、フォークを１枚進退させる度にフォークを昇降させるといった制御をしなくて済む。
【００２５】また本発明は、移載機構の高さを一定にしておいて、キャリアＣやウエハボート４の高さを変える場合にも適用できる。そしてウエハボート４の保持部材がリング状であるとは、円形状でなくとも、三角や多角形のリング形状も含まれ、またリングの一部が欠けている形状も含むものである。
【００２６】そしてまた移載機構は、図８に示すように複数例えば２本の多関節アーム８Ａ、８Ｂを備え、これら各アーム８Ａ、８Ｂによりキャリア内の２枚のウエハＷを一括して受け取り、更に順番にウエハボートのリング状の保持部材に受け渡すようにしてもよい。
【００２７】なお本発明の移載装置は、ＣＶＤに限らず、酸化、拡散やエッチングなどの熱処理装置に適用できるし、熱処理装置以外の場合にも適用できる。そしてまた板状体としてはウエハに限らずＬＣＤ基板やプリント基板であってもよい。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、リング状の保持部材を上下に配列した保持具に対して板状体の移載を行うにあたって、複数の搬送部材を備えた移載機構を用い、保持具との間では搬送部材を順次進退させて順番に板状体を受け渡し、収納具との間では複数の板状体を一括して受け渡すようにしているため、効率よく板状体の移載を行うことができ、高いスループットを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例の全体構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施例の要部を示す斜視図である。
【図３】半導体ウエハを移載する様子を示す説明図である。
【図４】半導体ウエハを移載する様子を示す説明図である。
【図５】半導体ウエハを移載する様子を示す説明図である。
【図６】半導体ウエハを移載する様子を示す説明図である。
【図７】半導体ウエハを移載する様子を示す説明図である。
【図８】本発明の他の実施例の要部を示す斜視図である。
【図９】従来の移載装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
２、４ ウエハボート（保持具）
２１、４４ リング状の保持部材
１１、６ 突き上げ機構
３０ 制御部
５ 移載機構
５１ 搬送基台
５２Ａ、５２Ｂ フォーク（搬送部材）
Ｃ ウエハキャリア（収納具）
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は板状体の移載装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハ（以下「ウエハという」）の製造プロセスの一つである熱処理を行う装置としては、従来の横型熱処理炉に代って縦型熱処理炉が多く使用されるようになってきている。縦型熱処理炉を用いた縦型熱処理装置においては、多数枚のウエハを上下に間隔をおいて塔載して熱処理炉に対してロード、アンロードを行うために、通常ウエハボートなど呼ばれる縦長の保持具が用いられる。
【０００３】このウエハボートは、耐熱性及び化学的安定性に優れた石英などの材質からなり、例えば４本の支柱に溝が形成され、この溝によりウエハを各々水平な状態で上下に間隔をおいて保持するように構成されている。一方ウエハは搬送用容器である樹脂等から構成されたウエハキャリアにより各処理装置に対して搬出入される。従ってウエハキャリア（以下「キャリア」という）とウエハボートとの間でウエハを移載する移載装置が必要であり、従来この種の移載装置としては、板状の保持部材であるフォ−クにより一枚づつ移載する構造、あるいは複数のフォ−クを共通の進退機構に取り付けてこれらを同時にキャリア内あるいはウエハボート内に進退させて複数枚のウエハを一括して移載する構造が採用されていた。
【０００４】ところでスループットを上げるために昇温レートを高くする工夫が行われており、その一つとしてウエハボートにおけるウエハの支持をリング状の保持部材で行うことが検討されている。このようなリング状の保持部材を用いれば、ウエハの周縁部の熱を当該保持部材を伝って逃がし、これによりウエハの周縁部と中央部との温度差を小さくできるので、昇温レートを高めても高い面内温度均一性が得られる。
【０００５】ここでこのようなウエハボートにおいては、従来の移載装置ではピンセットが保持部材と位置的に緩衝し、昇降時に保持部材に衝突するので、例えば図９R>９に示すような移載装置が検討されている。図９の移載装置は、ボート載置台１の中に、ウエハボート２のリング状の保持部材２１で囲まれた空間内を昇降し、３本のピン１０を備えた突き上げ機構１１を設け、進退自在な１枚のフォーク１２を備えた移載機１３と突き上げ機構１１とを協動させて、これらの間でウエハＷの受け渡しを行うように構成されている。従って例えばキャリアＣ内にフォーク１２を進入させて処理前のウエハＷを受け取り、次いでフォーク１２をウエハボート２の保持部材２１の間に進入させ、突き上げ１１機構の突き上げ動作及びフォーク１２の退避動作によりフォーク１２上のウエハＷが保持部材２１に受け渡される。
【０００６】また特開平３−８３７３０号に記載されているように保持用アームの下方側に、３本のピンを有する突き上げ用のアームを設けた移載機構を用い、突き上げ用のアームを上昇させて保持部材あるいは保持用アーム上のウエハを突き上げる方法も検討されている。
【０００７】
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら上述の移載装置は、キャリアＣとウエハボート２との間でウエハＷを１枚づつ移載するものであるため、多数枚の例えば５０枚のウエハを保持するウエハボート２に用いる場合には、例えば５０枚のウエハの受け渡しを終了するまでに長い時間がかかっていた。このためリング状の保持部材を用いて昇温レートを早めるようにしても、ウエハの移載に長い時間がかかってしまうと、熱処理装置のスループットの向上に十分反映されないという問題があった。
【０００８】本発明は、このような事情のもとになされたものであり、その目的は、ウエハなどの板状体をリング状の保持部材で保持する保持具を用いる場合に、板状体の移載時間を短縮することのできる移載装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数の板状体の周縁部を夫々保持するための複数のリング状の保持部材が上下方向に配列された保持具と、各板状体の側縁部を保持して複数の板状体を上下方向に配列して収納する収納具と、の間で板状体を移載する装置において、前記保持具内に位置する板状体を突き上げる突き上げ機構と、上下方向に配列され、各々独立して進退自在であると共に保持具及び収納具に対して相対的に昇降自在な複数の搬送部材を備えた移載機構と、複数の搬送部材を同時に収納具内に進入させて当該搬送部材と収納具との間で板状体の受け渡しを行うと共に、複数の搬送部材を順番に保持具内に進入させ、移載機構と突き上げ機構と協働して搬送部材と保持部材との間で板状体の受け渡しを行うように制御する制御部と、を備えてなることを特徴とする。
【００１０】
【作用】移載機構の複数の搬送部材を同時に収納具内に進入させ、複数の板状体を一括して収納具から受け取る。次いで上から１番目の搬送部材を保持部材の間に進入させ、突き上げ機構により当該搬送部材上の板状体を突き上げると共に搬送部材を退壁させた後、突き上げ機構を降下させて板状体を保持部材に保持させる。このような動作を上側に位置する搬送部材から順に行い、複数の板状体を順番に保持部材上に保持させる。また保持部材から搬送部材へ受け渡すときは逆の動作が行われる。従って移載機構と保持具との間では搬送部材を順次進退させて順番に板状体を受け渡し、収納具との間では複数の板状体を一括して受け渡すようにしているため、効率よく板状体の移載を行うことができ、高いスループットを得ることができる。
【００１１】
【実施例】図１は本発明を、縦型熱処理装置におけるウエハの移載装置に適用した実施例を示す図であり、この縦型熱処理装置は、ウエハの収納具であるウエハキャリア（以下「キャリア」という）Ｃを載置するためのキャリア載置部３と、熱処理時におけるウエハの保持具であるウエハボート４と、前記キャリアＣとウエハボート４との間でウエハの移載を行う移載機構５と、ウエハボート４の載置部６１内に配設された突き上げ機構６と、縦型熱処理炉１４に対してウエハボート４を搬出入するためのボートエレベータ１５と、移載機構５及び突き上げ機構６を制御する制御部３０とを備えている。
【００１２】前記キャリアＣは、互に対向する側壁内面に図示しない溝が形成されており、この例では本発明の板状体に相当するウエハＷの側縁部を前記溝により保持して複数例えば２５枚のウエハＷを上下方向に例えば約６．３５ｍｍの間隔で配列して収納するように構成されている。
【００１３】前記ウエハボート４は、耐熱性の大きい材質例えば石英などから構成され、天板４１及びリング状の底板４２間に４本の支柱４３が垂立して設けられると共に、ウエハＷの周縁部を夫々保持するために複数例えば５０枚のリング状の保持部材４４が支柱４３に取り付けられて、上下方向に例えば約１１ｍｍの間隔で配列されている。なおこれら保持部材４４は、図１では示さないが、内縁側にウエハＷが嵌入される凹部が形成されている。
【００１４】前記移載機構５は、搬送基台５１の上に上下方向に複数例えば２枚のこの例では搬送部材をなすフォーク７Ａ、７Ｂを備えている。このフォーク７Ａ、７Ｂは、夫々搬送基台５１の一対の外側の溝５２Ａ及び一対の内側の溝５２Ｂを介して搬送基台５１内の図示しない進退機構に取り付けられ、各々独立して進退できるように構成されている。これらフォーク７Ａ、７Ｂには、ウエハの位置ずれを防止するために例えばガイド部（図示せず）が設けられ、フォーク７Ａ、７Ｂの先端部には、突き上げ機構６の後述のピンが上下に通過できる切り欠き５３が形成されている。
【００１５】前記搬送基台２１は、鉛直軸のまわり（θ方向）に回転するθ機構５４の上に設けられると共に、このθ機構５４は、例えばボールネジなどを用いた昇降機構５５の上に設けられており、従ってフォーク７Ａ、７Ｂは進退動作の他、上下及びθ方向に移動できることになる。そして前記キャリアＣ及びウエハボート４は円周上に配置され、搬送基台５１の回転中心は、その円の中心と一致するように設定される。
【００１６】前記突き上げ機構６は、ウエハボート４の底板４２の内方側空間を通ってリング状の保持部材４４により囲まれる空間内を昇降する昇降部材６２と、この昇降部材６２の表面にウエハを突き上げるための突き上げ部材である３本のピン６３と、前記昇降部材６２を昇降させる昇降機構、例えば載置台６１側に固定されたモータＭによりプーリＰを回転させて、これに螺合されたボールネジ６４を回転昇降させるように構成した昇降機構とを備えている。前記３本のピン６３は、例えば正三角形の頂点に配置され、２本のピン６３の間は前記フォーク７Ａ、７Ｂの横幅よりも大きく設定され、また残り１本のピン６３は前記フォーク７Ａ、７Ｂの切り欠き５３内を上下に通るように構成されている。
【００１７】前記制御部３０は、例えば所定のプログラムにもとずいて、移載機構５の２枚のフォーク７Ａ、７Ｂを同時にキャリアＣ内に進入させてキャリアＣとの間でウエハの受け渡しを行うと共に、フォーク７Ａ、７Ｂを順番にウエハボート２内に進入させ、フォーク７Ａ、７Ｂと突き上げ機構６とを協働させてフォーク７Ａ、７Ｂと保持部材４４との間でウエハの受け渡しを行うように制御する機能を有する。なお３１は信号ラインである。
【００１８】次に上述実施例の作用について述べる。先ず処理前のウエハＷを例えば２５枚収納したキャリアＣがキャリア載置部３に載置する。そして制御部３０の制御指令により移載機構５の２枚のフォーク７Ａ、７Ｂを同時にキャリアＣのウエハ間に進入させ、次いで昇降機構５５により上昇させてフォーク７Ａ、７Ｂの上に夫々ウエハＷを保持し、フォーク７Ａ、７Ｂを後退させると共にθ機構５４により回転させてウエハボート４に対向させる。
【００１９】その後上側のフォーク７Ａを図２に示すように前進させて、ウエハＷがリング状の保持部材４４の真上、つまり図３に示すように凹部４５の真上に位置させる。続いて突き上げ機構６の昇降部材６２を保持部材４４により囲まれた空間を上昇させて図４に示すように３本のピン６３により、フォーク７Ａ上のウエハＷを突き上げ、更に図５に示すようにフォーク７Ａを後退させた後、図６に示すように昇降部材６２を下降させて、ピン６３により保持されているウエハＷを保持部材４４の凹部４５内に嵌合させて当該保持部材４４に保持させる。
【００２０】そしてピン６３を、前記保持部材４４の一つ下の段の保持部材４４よりも低い位置に待機させておき、下側のフォーク７Ｂを図７に示すように、既にウエハＷが保持された保持部材４４とその一つ下の段の保持部材４４との間に進入させ、同様に突き上げ機構６と協動させて、当該フォーク７Ｂ上のウエハＷを保持部材４４上に保持させる。このようなウエハＷの移載は、最上段の保持部材４４から順に行われる。
【００２１】こうしてキャリアＣ内から２枚ずつ一括してウエハＷが抜き取られ、移載機構５からはフォーク７Ａ、７Ｂを交互に進退させて、その２枚のウエハＷが順番にウエハボート４に受け渡される。そしてウエハボート４に所定枚数例えば５０枚のウエハＷが塔載されると、図示しないボート移載機構により、当該ウエハボート４をボートエレベータ１５に移し替え、このボートエレベータ１５によりウエハボート４を縦型熱処理炉１４内に搬入して、所定の熱処理例えばＣＶＤが行われる。
【００２２】また熱処理後にウエハボート４がボート載置部６１に載置されると、上述と逆の動作で保持部材４４からフォーク７Ａ、７ＢにウエハＷが移載される。即ちフォーク７Ａ（７Ｂ）をウエハボート２内に進入させる前に突き上げ機構６により保持部材４４上のウエハＷを突き上げ、その後フォーク７Ａ、（７Ｂ）を進入させてピン６３からフォーク７Ａ（７Ｂ）にウエハＷが受け渡される。ただしこの場合には下側のフォーク７Ｂから順に進退させ、下側に位置するウエハＷから順番に移載機構５側に受け渡される。そして移載機構５からキャリアＣへのウエハＷの受け渡しは、上述の逆の動作で２枚のウエハＷが一括してキャリアＣへ受け渡される。
【００２３】このように上述実施例によれば、移載機構５をキャリアＣからウエハボート４へ（またはウエハボート４からキャリアＣへ）１回回転することにより２枚のウエハＷの移載を行うことができ、しかもキャリアＣに対しては２枚のウエハＷを一括して受け渡しすることができるので、ウエハＷの移載を効率よく行うことができ、１枚のフォークを用いていた従来の場合に比べて移載時間が短縮され、スループットが向上する。
【００２４】以上において、移載機構５においては、フォークの数が２枚に限らず３枚以上であってもよいし、フォークの相互のピッチ（上下の離間距離）が可変な構成としてもよく、ピッチを変更できる場合には、保持部材のピッチが種々のものに対して、予めフォーク間のピッチを対応させておくことにより、フォークを１枚進退させる度にフォークを昇降させるといった制御をしなくて済む。
【００２５】また本発明は、移載機構の高さを一定にしておいて、キャリアＣやウエハボート４の高さを変える場合にも適用できる。そしてウエハボート４の保持部材がリング状であるとは、円形状でなくとも、三角や多角形のリング形状も含まれ、またリングの一部が欠けている形状も含むものである。
【００２６】そしてまた移載機構は、図８に示すように複数例えば２本の多関節アーム８Ａ、８Ｂを備え、これら各アーム８Ａ、８Ｂによりキャリア内の２枚のウエハＷを一括して受け取り、更に順番にウエハボートのリング状の保持部材に受け渡すようにしてもよい。
【００２７】なお本発明の移載装置は、ＣＶＤに限らず、酸化、拡散やエッチングなどの熱処理装置に適用できるし、熱処理装置以外の場合にも適用できる。そしてまた板状体としてはウエハに限らずＬＣＤ基板やプリント基板であってもよい。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、リング状の保持部材を上下に配列した保持具に対して板状体の移載を行うにあたって、複数の搬送部材を備えた移載機構を用い、保持具との間では搬送部材を順次進退させて順番に板状体を受け渡し、収納具との間では複数の板状体を一括して受け渡すようにしているため、効率よく板状体の移載を行うことができ、高いスループットを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例の全体構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施例の要部を示す斜視図である。
【図３】半導体ウエハを移載する様子を示す説明図である。
【図４】半導体ウエハを移載する様子を示す説明図である。
【図５】半導体ウエハを移載する様子を示す説明図である。
【図６】半導体ウエハを移載する様子を示す説明図である。
【図７】半導体ウエハを移載する様子を示す説明図である。
【図８】本発明の他の実施例の要部を示す斜視図である。
【図９】従来の移載装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
２、４ ウエハボート（保持具）
２１、４４ リング状の保持部材
１１、６ 突き上げ機構
３０ 制御部
５ 移載機構
５１ 搬送基台
５２Ａ、５２Ｂ フォーク（搬送部材）
Ｃ ウエハキャリア（収納具）
【特許請求の範囲】
【請求項１】 複数の板状体の周縁部を夫々保持するための複数のリング状の保持部材が上下方向に配列された保持具と、各板状体の側縁部を保持して複数の板状体を上下方向に配列して収納する収納具と、の間で板状体を移載する装置において、前記保持具内に位置する板状体を突き上げる突き上げ機構と、上下方向に配列され、各々独立して進退自在であると共に保持具及び収納具に対して相対的に昇降自在な複数の搬送部材を備えた移載機構と、前記複数の搬送部材を同時に収納具内に進入させて当該搬送部材と収納具との間で板状体の受け渡しを行うと共に、複数の搬送部材を順番に保持具内に進入させ、前記移載機構と突き上げ機構と協働して搬送部材と保持部材との間で板状体の受け渡しを行うように制御する制御部と、を備えてなることを特徴とする移載装置。
【請求項１】 複数の板状体の周縁部を夫々保持するための複数のリング状の保持部材が上下方向に配列された保持具と、各板状体の側縁部を保持して複数の板状体を上下方向に配列して収納する収納具と、の間で板状体を移載する装置において、前記保持具内に位置する板状体を突き上げる突き上げ機構と、上下方向に配列され、各々独立して進退自在であると共に保持具及び収納具に対して相対的に昇降自在な複数の搬送部材を備えた移載機構と、前記複数の搬送部材を同時に収納具内に進入させて当該搬送部材と収納具との間で板状体の受け渡しを行うと共に、複数の搬送部材を順番に保持具内に進入させ、前記移載機構と突き上げ機構と協働して搬送部材と保持部材との間で板状体の受け渡しを行うように制御する制御部と、を備えてなることを特徴とする移載装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開平６−２７１００９
【公開日】平成６年（１９９４）９月２７日
【国際特許分類】
【出願番号】特願平５−８５７５４
【出願日】平成５年（１９９３）３月１８日
【出願人】（０００１０９５７６）東京エレクトロン東北株式会社 (3)
【公開日】平成６年（１９９４）９月２７日
【国際特許分類】
【出願日】平成５年（１９９３）３月１８日
【出願人】（０００１０９５７６）東京エレクトロン東北株式会社 (3)
[ Back to top ]