薄肉ブーツの検査装置
【課題】遮光ブーツ等の薄肉ブーツに存在する欠陥を確実かつ効率的に検出することが可能な薄肉ブーツの検査装置を提供する。
【解決手段】蛇腹形状に成形された伸縮部１０２を備えた薄肉ブーツとしての遮光ブーツ１０１に存在する欠陥の有無を検査する検査装置であって、伸縮部１０２に照明光を照射する照明手段としての照明光源４１、導光ケーブル４２、光案内部材４３、プリズムブロック４４、反射板４５と、伸縮部１０１の照明光の非照射面側の画像を撮像する撮像手段としてのＣＣＤカメラ５２と、撮像した画像データに所定の処理を施して、当該画像データから前記伸縮部に存在する欠陥を抽出する画像処理手段としての画像処理装置５１とを有する。
【解決手段】蛇腹形状に成形された伸縮部１０２を備えた薄肉ブーツとしての遮光ブーツ１０１に存在する欠陥の有無を検査する検査装置であって、伸縮部１０２に照明光を照射する照明手段としての照明光源４１、導光ケーブル４２、光案内部材４３、プリズムブロック４４、反射板４５と、伸縮部１０１の照明光の非照射面側の画像を撮像する撮像手段としてのＣＣＤカメラ５２と、撮像した画像データに所定の処理を施して、当該画像データから前記伸縮部に存在する欠陥を抽出する画像処理手段としての画像処理装置５１とを有する。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、遮光ブーツ等の薄肉ブーツの検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ズーム機能をもつカメラは、一般的に、複数段の鏡筒を備えており、この鏡筒を伸縮することにより、鏡筒に設けられたレンズ群とフィルム面との距離が調整されズーム機能を発揮する。これらの鏡筒は、カメラの外装ケースから漏れ入る光をフィルム面に入射しないように遮断する機能を有する。一方、複数段の鏡筒を用いたカメラでは、一番根元の鏡筒に２番目，３段目の鏡筒を収容していくため、一番根元の鏡筒の直径が太くなりすぎ、カメラ本体が大型化するという不利益が存在する。このため、鏡筒の代わりに、ゴム材料や樹脂材料から蛇腹形状に成形した伸縮自在な遮光ブーツを用いることが提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の遮光ブーツは、遮光性能を発揮するためには、遮光ブーツにピンホール等の光を透過させる欠陥が存在しないかを、成形後に検査する必要がある。一方、遮光ブーツに存在する欠陥を検査するためには、遮光ブーツを実使用状態にして検査を行うことが好ましい。このため、蛇腹形状に成形されている遮光ブーツを伸長させてピンホール等の欠陥を検出する必要がある。しかしながら、ゴム材料や樹脂材料から蛇腹形状に成形した遮光ブーツは、薄肉であるため、遮光ブーツの剛性は非常に低い。このため、遮光ブーツを伸長させる際の外力によって遮光ブーツが容易に変形し、遮光ブーツを伸長させた状態で安定した形状にすることが難しいという不利益が存在した。また、従来においては、遮光ブーツに存在するピンホール等の欠陥の検出を目視により行っていたが、この方法によれば、検査効率が低く、また、遮光ブーツは遮光するため黒色等の材料から形成されおり、ピンホールは非常に小さい場合もあるため、欠陥の確実な検出が難しかった。
【０００４】本発明は、上述の問題に鑑みて成されたものであって、遮光ブーツ等の薄肉ブーツに存在する欠陥を確実かつ効率的に検出することが可能な薄肉ブーツの検査装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の観点に係る薄肉ブーツの検査装置は、蛇腹形状に成形された伸縮部を備えた薄肉ブーツに存在する欠陥の有無を前記伸縮部を伸長機構により伸長させた状態で検査する検査装置であって、前記伸長機構は、前記伸縮部の両端部に形成されたフランジ部の一方を吸着する吸着面を備えた第１の吸着部材と、前記フランジ部の他方を吸着する吸着面を備えた第２の吸着部材と、前記第１の吸着部材の吸着面と前記第２の吸着部材の吸着面との前記薄肉ブーツの伸縮方向の相対距離を変更する移動手段と、を有し、前記第１および第２の吸着部材の吸着面には、前記フランジ部のフランジ面の輪郭形状に沿って配列された複数の吸引孔が形成されている。
【０００６】前記第１および第２の吸着部材の少なくとも一方は、前記薄肉ブーツを吸着した状態で当該薄肉ブーツ内部の圧力を薄肉ブーツ外部の圧力に等しくさせる通気孔を備える。
【０００７】本発明の第２の観点に係る薄肉ブーツの検査装置は、蛇腹形状に成形された伸縮部を備えた薄肉ブーツに存在する欠陥の有無を前記伸縮部を伸長機構により伸長させた状態で検査する検査装置であって、前記伸長機構は、前記伸縮部の両端部に形成されたフランジ部の一方を吸着する第１の吸引口が形成された吸着面を備えた第１の吸着部材と、前記フランジ部の他方を吸着する第２の吸引口が形成された吸着面を備え、前記第１の吸着部材と前記薄肉ブーツの伸縮方向に移動自在に嵌合する第２の吸着部材と、を有し、前記第１の吸着部材は、圧縮空気が供給される第１および第２の供給口と、前記第１の供給口から供給された圧縮空気の流路と前記第１の吸引口とを連通し当該第１の吸引口に吸引力を発生させる連通路と、前記第１の供給口から供給された圧縮空気を前記第２の吸着部材に導く流路が形成された第１の嵌合部と、前記第２の供給口を通じて前記圧縮空気が供給される第２の嵌合部と、を備えており、前記第２の吸着部材は、前記第１の嵌合部に形成された流路に連通する流路が形成され、当該第１の嵌合部に移動自在に嵌合する第１の被嵌合部と、前記第１の被嵌合部に形成された流路に連通し、当該流路に供給された前記圧縮空気を外部に排出する排出口と、前記排出口に向かう前記圧縮空気の流路と前記第２の吸引口とを連通し当該第２の吸引口に吸引力を発生させる連通路と、前記第２の嵌合部に移動自在に嵌合し、当該第２の嵌合部との間に前記圧縮空気が供給される空間を形成する第２の被嵌合部と、を備えている。
【０００８】前記第１および第２の吸着部材の少なくとも一方は、前記薄肉ブーツを吸着した状態で当該薄肉ブーツ内部の圧力を薄肉ブーツ外部の圧力に等しくさせる通気孔を備える。
【０００９】本発明の第３の観点に係る薄肉ブーツの検査装置は、蛇腹形状に成形された伸縮部を備えた薄肉ブーツに存在する欠陥の有無を検査する検査装置であって、前記伸縮部に照明光を照射する照明手段と、前記伸縮部の前記照明光の非照射面側の画像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段の撮像した画像データに所定の処理を施して、当該画像データから前記伸縮部に存在する欠陥を抽出する画像処理手段とを有する。
【００１０】本発明の第３の観点に係る薄肉ブーツの検査装置は、前記伸縮部の両端部に形成されたフランジ部を吸着保持し、かつ、当該伸縮部を伸長させて伸長状態を保持する伸長機構をさらに有する。
【００１１】好適には、前記照明手段は、前記薄肉ブーツの伸縮部の内周面に前記照明光を照射し、前記撮像手段は、前記薄肉ブーツの伸縮部の外周面の画像を撮像する。
【００１２】さらに好適には、前記照明手段は、前記照明光を出力する光源と、前記光源からの照明光を前記薄肉ブーツの中心軸方向に導く導光手段と、前記導光手段によって導かれた照明光を反射して前記薄肉ブーツの伸縮部の内周面に向けて照射する反射手段とを有する。
【００１３】前記伸長機構は、伸長状態にある前記薄肉ブーツを回転させて前記撮像手段に対する被撮像領域を変更する回転手段をさらに有する。
【００１４】好適には、前記画像処理手段は、前記撮像手段によって得られた画像データの各画素の明るさに基づいて階調処理し、階調処理された画像データから設定階調値を越える画素の集まっている領域を抽出し、前記領域の各画素の階調値を加算して当該加算値を光漏れ量とし、前記光漏れ量と予め設定された設定漏れ量とを比較して前記領域が欠陥かを判別する。
【００１５】本発明の第１の観点に係る検査装置の伸縮機構では、薄肉ブーツを伸縮機構の所定の位置にセットし、第１および第２の吸着部材にそれぞれ形成されたフランジ面の輪郭形状に沿って配列された複数の吸引孔によって吸着する。この状態から、移動手段によって第１の吸着部材と第２の吸着部材との相対位置を変更して薄肉ブーツの伸縮部を伸長させる。薄肉ブーツの伸縮部が伸長した状態で当該伸長部の欠陥検査が行われる。
【００１６】本発明の第２の観点に係る検査装置の伸縮機構では、薄肉ブーツを伸縮機構の所定の位置にセットし、第１の吸着部材の第１および第２の供給口から圧縮空気を供給する。第１の供給口に供給された圧縮空気によって第１の吸引口および第２の吸引口には吸引力が発生する。これにより、薄肉ブーツのフランジ部は、第１および第２の吸着部材の吸着面にそれぞれ吸着される。一方、第２の供給口に供給された圧縮空気は、第２の嵌合部および第２の被嵌合部によって形成される空間に供給される。この空間への圧縮空気の供給によって、第１の吸着部材と第２の吸着部材は、離隔する向きに相対移動する。これにより、薄肉ブーツの伸縮部は伸長し、圧縮空気の流量および圧力を調整することにより、第１の吸着部材と第２の吸着部材との相対位置が一定位置に調整される。このように、本発明の第２の観点に係る検査装置の伸縮機構では、圧縮空気の供給により、薄肉ブーツのフランジ部の吸着保持および伸縮部の伸長動作を同時に行うことができる。
【００１７】本発明の第３の観点に係る検査装置では、照明光を薄肉ブーツに照射して、薄肉ブーツの照明光を照射していない非照射面側の画像を撮像する。好適には、薄肉ブーツの伸縮部の内周面の画像を撮像するのは、薄肉ブーツの寸法的な制約により難しいので、薄肉ブーツの伸縮部の外周面側を撮像し、薄肉ブーツの内周面を照明光で照らす。また、薄肉ブーツの伸縮部は縮んだ状態では、伸縮部に存在する欠陥を検出するのが難しい場合もあるので、薄肉ブーツの伸縮部を伸長させた状態を保持し、伸長した伸縮部の外周面を撮像する。撮像手段によって撮像されたが画像データは、伸縮部に照明光を透過させる欠陥があると、この欠陥領域の画素の明度は他の領域よりも高くなり、この明度に応じて欠陥が特定される。撮像手段の視野角は一定の範囲に限定されているため、一回の撮像によって薄肉ブーツの伸縮部の全域の画像データを取得できない場合もある。このため、回転手段によって、薄肉ブーツの伸縮部を伸長させた状態で所定角度毎に薄肉ブーツを回転させ、所定角度の回転毎に撮像することで薄肉ブーツの伸縮部の全域の画像データが取得される。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
第１実施形態図１は本発明の検査装置によって検査される本発明の薄肉ブーツとしての遮光ブーツの一例を示す側面図であり、図２は図１の遮光ブーツの一端部に形成されたフランジ部の平面図である。図１および図２に示すように、遮光ブーツ１０１は、蛇腹形状に成形された伸縮部１０２と、伸縮部１０２の両端部に形成されたフランジ部１０３および１０４とを備えている。なお、フランジ部１０３の平面形状については図示しないが、フランジ部１０４と略形状である。遮光ブーツ１０１は、ゴム材料あるいは樹脂材料から形成されており、たとえば、数十μｍ〜数百μｍ程度の薄肉に成形されている。したがって、この遮光ブーツ１０１は、外力によって容易に変形し、形状の自己復元力が比較的低い。特に、フランジ部１０３および１０４は、シート状であるので変形しやすい。また、遮光ブーツ１０１は、たとえば、黒色等の光を遮断する色を有しており、遮光機能を有する。すなわち、伸縮部１０２の外側部から伸縮部１０２の内部へ向かう光、あるいは、伸縮部１０２の内部から外部に向かう光を遮断する。フランジ部１０４は、伸縮部１０２の軸線に略垂直なフランジ面１０４ａを備えている。
【００１９】また、遮光ブーツ１０１は、たとえば、成形型を用いて薄肉に成形されるため、たとえば、成形不良等により、伸縮部１０２に小さな孔（ピンホール）や、部分的な薄肉部等の光を透過する遮光欠陥が存在する場合がある。
【００２０】図３は、本発明の一実施形態に係る遮光ブーツの検査装置の構成図である。図３において、遮光ブーツの検査装置１は、伸長機構部２と、照明光源４１と、画像処理装置５１と、ＣＣＤカメラ５２と、ポンプ６１とを備える。ここで、照明光源４１は本発明の光源、画像処理装置５１は本発明の画像処理手段、ＣＣＤカメラ５２は本発明の撮像手段のそれぞれ一具体例に対応している。
【００２１】伸長機構部２は、遮光ブーツ１０１の伸縮部１０２の両端部に形成されたフランジ部１０３，１０４を吸着保持し、かつ、当該伸縮部を伸長させて伸長状態を保持する。この伸長機構部２直動装置５と、上側吸着部１１と、下側吸着部２１と、回転駆動部３１とからなる。なお、回転駆動部３１は、伸長状態にある遮光ブーツ１０１を回転させてＣＣＤカメラ５２に対する被撮像領域を変更する本発明の回転手段の一具体例に対応している。
【００２２】直動装置５は、ベース部材４上に設置され、水平方向に配置された昇降部材６と連結され、この昇降部材６を矢印Ａ１およびＡ２の鉛直方向に移動し、所望の位置に位置決めする。この直動装置５は、たとえば、図示しない駆動モータとこの駆動モータの回転運動を直動運動に変換する直動機構とを備えている。
【００２３】上側吸着部１１は、昇降部材６に固定された保持部材１５に軸受ＢＧＲを回転自在に保持された有底の筒状部材１２と、筒状部材１２に開口部から挿入固定された上側吸着部材１３と、筒状部材１２の底部に設けられたロータリ継ぎ手１４と、筒状部材１２の外周に固定されたプーリー１６とを有する。
【００２４】筒状部材１２は、プーリー１６に巻回されたベルトＢが駆動されることによって、回転する。この筒状部材１２の内周面と、筒状部材１２に挿入された上側吸着部材１３の外周面との間には隙間Ｓが形成されており、この隙間が空気の流路Ｓを構成している。
【００２５】ロータリ継ぎ手１４は、筒状部材１２の内部と連通する管路を備えており、このロータリ継ぎ手１４は筒状部材１２の回転を許容しており、筒状部材１２が回転してもロータリ継ぎ手１４は回転しない。すなわち、筒状部材１２が回転した状態で、ロータリ継ぎ手１４を通じて筒状部材１２の内部への空気の供給あるいは筒状部材１２の内部からの空気の吸引が行われる。
【００２６】上側吸着部材１３は、下端面１３ａに、遮光ブーツ１０１のフランジ部を吸着するための複数の吸着孔１３ｂが形成されており、この吸着孔１３ｂは上記の流路Ｓと連通している。なお、上側吸着部材１３の吸着面１３ａの具体的構成については後述する。
【００２７】下側吸着部２１は、ベース部材４に固定された保持部材２３と、この保持部材２３に軸受ＢＲＧを介して回転自在に保持された筒状部材２２と、筒状部材２２の上端部に固定された下側吸着部材２５と、筒状部材２２の外周に設けられたプーリー２４とを有する。
【００２８】筒状部材２２は、上記の筒状部材１２の中心軸と同心に設けられており、内部に導光ケーブル４２が導入されている。筒状部材２２は、プーリー２４に巻回されたベルトＢが駆動されることによって、回転する。また、筒状部材２２には、保持部材２３に形成された空気の流路２３ａと連通する流路２２ａが軸方向に沿って形成されており、この流路２２ａは筒状部材２２の上端まで伸びている。また、筒状部材２２の流路２２ａと保持部材２３の流路２３ａとは、筒状部材２２の外周面と保持部材２３の内周面との間に設けられたシールリングＳＲによってシーリングされている。さらに、筒状部材２２には、通気孔２２ｂが形成されており、この通気孔２２ｂは筒状部材２２は上端から下端まで伸びている。
【００２９】下側吸着部材２５は、筒状部材２２の上端側に嵌合固定されており、この下側吸着部材２５の吸着面２５ａには、遮光ブーツ１０１のフランジ部を吸着するための複数の吸着孔２５ｂが形成されており、この吸着孔２５ｂは上記の流路２２ａと連通している。なお、下側吸着部材２５の吸着面２５ａの具体的構成については後述する。
【００３０】下側吸着部材２５の中心部には、先端にプリズムブロック４４が固定された光案内部材４３が下側吸着部材２５の下面側から上面側に突出するように固定されている。プリズムブロック４４は、たとえば、透明なアクリル樹脂等の材料から形成された円柱状の部材である。プリズムブロック４４は、図４（ａ）に示すように、一方の端面４４ａが所定角度で傾斜している。このプリズムブロック４４は、端面４４ａに光案内部材４３を通じて導かれた照明光Ｌを反射し、照明光Ｌの方向を入射方向に直交する方向に変える反射板４５を備える。なお、反射板４５は、本発明の反射手段の一具体例に対応している。
【００３１】光案内部材４３は、図４（ｂ）に示すように、円筒状の部材からなり、たとえば、ステンレス等の金属材料で形成される。この光案内部材４３は、下側吸着部材２５の中央部に形成された貫通孔に挿入固定され、導光ケーブル４２から出射される照明光をプリズムブロック４４に導く。なお、筒状部材２２に形成された通気孔２２ｂは、下側吸着部材２５の中央部に形成された貫通孔を通じて下側吸着部材２５の上面側と連通している。また、プリズムブロック４４、光案内部材４３および導光ケーブル４２は本発明の導光手段を構成している。
【００３２】照明装置４１は、所定の光量の照明光を導光ケーブル４２に出力する。導光ケーブル４２は、たとえば、複数本の光ファイバーによって構成される。
【００３３】回転駆動部３１は、ベース部材４に固定部材３３を介して固定された駆動モータ３２と、駆動モータ３２とカップリング３４を介して接続された回転軸３５と、回転軸３５に固定されたプーリー３６と、回転軸３５に対して矢印Ａ１およびＡ２方向に移動自在に設けられた可動部３８と、可動部３８の回転部３８ａに連結されたプーリー３７とを有する。
【００３４】回転軸３５は、ベース部材４に軸受ＢＲＧを介して回転自在に支持されており、駆動モータ３２の回転によって回転する。
【００３５】可動部３８は、昇降部材６に連結されており、かつ、回転軸３５の軸方向に移動自在になっている。具体的には、可動部３８は、回転部３８ａを内部に回転自在に保持しており、この回転部３８ａに回転軸３５が挿入されている。また、回転軸３５にはスプラインが形成されており、回転部３８ａはこのスプラインに嵌合することによって、軸方向に移動自在であるとともに、回転軸３５の回転が伝達される。直動装置５を駆動して、昇降部材６を矢印Ａ１，Ａ２方向に移動させると、可動部３８もこれに応じて移動する。また、回転軸３５が回転すると、回転部３８ａのみが回転し、この回転部３８ａの回転がプーリー３７に伝達される。
【００３６】プーリー３６は、上記した筒状部材２２に設けられたプーリー２４とベルトＢによって連結されており、プーリー３７は、上記した筒状部材１２に設けられたプーリー１６とベルトＢによって連結されている。モータ３２が回転すると、プーリー３６、３７も同時に回転し、筒状部材２２および筒状部材１２が同期して回転する。したがって、上側吸着部材１３および下側吸着部材２５は、モータ３２を回転させることで同期回転する。
【００３７】ポンプ６１は、切換弁６２を介して上側吸着部１１の筒状部材１２に設けられたロータリ継ぎ手１４および下側吸着部２１の保持部材２３の流路２３ａに接続されている。このポンプ６１は、切換弁６２の切り換え動作に応じて、ロータリ継ぎ手１４および保持部材２３の流路２３ａに圧縮空気を供給し、あるいは、ロータリ継ぎ手１４および保持部材２３の流路２３ａから空気を吸引する。
【００３８】ＣＣＤカメラ５２は、電荷結合素子(Charge Coupled Device) を用いたカメラであり、ベース部材４上に遮光ブーツ１０１の伸縮部の画像を撮像可能に配置されている。また、ＣＣＤカメラ５２は、上記のプリズムブロック４４に設けられた反射板４５で反射された照明光の出射方向に向くように配置されている。ＣＣＤカメラ５２の撮像した画像データは、画像処理装置５１に入力される。画像処理装置５１は、ＣＣＤカメラ５２の撮像した画像データを所定のディジタル信号に変換した後、この画像データに所定の処理を施して、遮光ブーツ１０１に存在する遮光欠陥を検出する。画像処理装置５１は、たとえば、パーソナルコンピュータおよび所要のソフトウエアによって構成することができる。なお、画像処理装置５１の具体的な処理方法については後述する。
【００３９】ここで、上記構成の遮光ブーツの検査装置１の下側吸着部材２５の吸着面２５ａの構成の一例を図５に示す。図５に示すように、下側吸着部材２５の吸着面２５ａは、遮光ブーツ１０１のフランジ部１０４のフランジ面１０４ａの輪郭形状に沿って連なるように形成された複数の吸引孔２５ｂを備えている。なお、中央部の貫通孔２５ｃはプリズムブロック４４および光案内部材４３を挿入するための孔である。吸引孔２５ｂは、開口面積が非常に小さい細孔であり、フランジ部１０４のフランジ面１０４ａを下側吸着部材２５の吸着面２５ａの所定の位置にセットした状態で、すべての吸引孔２５ｂがフランジ面１０４ａの内部に位置するように形成されている。
【００４０】下側吸着部材２５の吸着面２５ａに遮光ブーツ１０１のフランジ部１０４のフランジ面１０４ａが接触した状態で、吸引孔２５ｂから空気が吸引されると、フランジ部１０４のフランジ面１０４ａは吸着面２５ａに吸着する。各吸引孔２５ｂの吸引力は小さいが、このように、多数の吸引孔２５ｂを設けることで、フランジ部１０４のフランジ面１０４ａの吸引による変形を最小限に抑えつつ、フランジ部１０４を確実に吸着することができる。なお、遮光ブーツ１０１の他方のフランジ部１０３に対向する上側吸着部材１３の吸着面１３ａの構成については図示を省略するが、下側吸着部材２５の吸着面２５ａと同様に、遮光ブーツ１０１のフランジ部１０３のフランジ面の輪郭形状に沿って連なるように形成された複数の吸引孔１３ｂを備えている。
【００４１】次に、上記構成の遮光ブーツの検査装置を用いた検査の一例について説明する。まず、図６に示すように、遮光ブーツ１０１を下側吸着部材２５の吸着面２５ａの所定の位置に載置する。この状態では、遮光ブーツ１０１のフランジ部１０４のフランジ面１０４ａと下側吸着部材２５の吸着面２５ａの複数の吸引孔２５ｂとは図５に示した位置関係となる。
【００４２】次いで、図７に示すように、直動装置５を駆動して、上側吸着部材１３を矢印Ａ２方向に下降させ、上側吸着部材１３の吸着面１３ａが遮光ブーツ１０１のフランジ部１０３に接触する位置で停止する。この状態から、ポンプ６１を駆動して、上側吸着部材１３の吸引孔１３ｂおよび下側吸着部材２５の吸引孔２５ｂから空気を吸引する。吸引孔１３ｂおよび吸引孔２５ｂから空気が吸引されると、遮光ブーツ１０１のフランジ部１０３は上側吸着部材１３の吸着面１３ａに吸着され、フランジ部１０４は下側吸着部材２５の吸着面２５ａに吸着される。
【００４３】このとき、たとえば、遮光ブーツ１０１のフランジ部１０３および１０４から上側吸着部材１３の吸引孔１３ｂ、吸着部材２５の吸引孔２５ｂの一部が外れて、遮光ブーツ１０１の内側に位置していると、遮光ブーツ１０１の内部と外部とで気圧差が発生しようとする。しかしながら、遮光ブーツ１０１の内部は、吸着部材２５の貫通孔２５ｃおよび筒状部材２２に形成された通気孔２２ｂを通じて外部と連通しているため、吸着部材２５の貫通孔２５ｃから空気が遮光ブーツ１０１の内部に導入されることから遮光ブーツ１０１の内部と外部とで気圧差が発生しない。このため、遮光ブーツ１０１には気圧差による変形が発生しない。
【００４４】遮光ブーツ１０１のフランジ部１０３および１０４が吸着された状態から、図８に示すように、直動装置５を駆動して上側吸着部材１３を矢印Ａ１方向の所定の位置まで上昇させる。これにより、遮光ブーツ１０１の伸縮部１０２は伸長した状態となる。
【００４５】この状態において、照明光源４１から照明光を出力すると、導光ケーブル４１および光案内部材４３を通じてプリズムブロック４４に照明光Ｌが入射する。プリズムブロック４４に入射した照明光Ｌは、反射板４５によって、遮光ブーツ１０１の中心軸に直交する方向に反射し、遮光ブーツ１０１の内周面を照らす。このとき、プリズムブロック４４から照射された照明光Ｌは、遮光ブーツ１０１の内周面の一部のみを照らしている。この状態で、プリズムブロック４４から照射された照明光Ｌの照射方向に遮光ブーツ１０１を介して配置されたＣＣＤカメラ５２により、遮光ブーツ１０１の伸縮部１０２の外側面の画像を撮像する。
【００４６】ＣＣＤカメラ５２により撮像される遮光ブーツ１０１の伸縮部１０２の外側面は、当該外側面の一部である。このため、上記の駆動モータ３２を所定量回転させながら、遮光ブーツ１０１の伸縮部１０２の外側面の画像を繰り返し撮像する。すなわち、駆動モータ３２を所定量回転させると、上側吸着部材１３および下側吸着部材２５が所定量回転するため、遮光ブーツ１０１も所定量回転する。一方、プリズムブロック４４およびＣＣＤカメラ５２は、遮光ブーツ１０１が回転しても固定されたままなので、遮光ブーツ１０１の全周面の撮像が可能となる。
【００４７】次いで、図９に示すように、上側吸着部材１３および下側吸着部材２５による遮光ブーツ１０１の吸着を停止する。すなわち、ポンプ６１による空気の吸引を停止する。これにより、伸長状態にあった遮光ブーツ１０１は、自己復元力により、縮んだ状態に復帰する。この遮光ブーツ１０１を伸長機構部２から取り出す。
【００４８】この状態から、切換弁６２を切り換えて、ポンプ６１から圧縮空気をロータリ継ぎ手１４および保持部材２３の流路２３ａに供給する。圧縮空気を供給すると、図１０に示すように、上側吸着部材１３の吸引孔１３ｂおよび下側吸着部材２５の吸引孔２５ｂからは、圧縮空気が吹き出す。このように、遮光ブーツ１０１の画像データの取得を完了したのちに、上側吸着部材１３の吸引孔１３ｂおよび下側吸着部材２５の吸引孔２５ｂから圧縮空気を吹き出させることにより、吸引孔１３ｂや吸引孔２５ｂがゴミ等によって目詰まりするのを防ぐことができ、安定した吸着性能を維持することができる。
【００４９】次に、画像処理装置５１におけるＣＣＤカメラ５２によって撮像された遮光ブーツ１０１の画像データから遮光ブーツ１０１に存在するピンホール等の遮光欠陥の検出方法について図１２に示すフローチャートに基づいて説明する。画像処理装置５１では、図１１に示すようなＣＣＤカメラ５２によって撮像された遮光ブーツ１０１の画像データＧを画像処理して、各画素の明るさに基づいて階調処理する（ステップＳ１）。この階調処理は、各画素にその明るさに基づいて、０（最も暗い）〜２５５（最も明るい）の各階調値を付与する。すなわち、各画素に２５６階調の値を付与する。
【００５０】次いで、図１１（ａ）に示すように、階調処理された画像データＧを所定の領域、たとえば、５ｍｍ角の分割領域ｇに分割する（ステップＳ２）。たとえば、図１１（ａ）に示したように、画像データＧのうちピンホールＰＨが存在する分割領域ｇｎの各画素の階調値は、たとえば、図１１（ｂ）のようになる。
【００５１】次いで、分割領域ｇの各画素に与えられた階調値が予め設定された設定階調値、たとえば、９０以上となる画素を探し出す（ステップＳ３）。たとえば、図１１（ｂ）に示した分割領域ｇｎについて、設定階調値９０以上となる画素は、実線で囲んだ領域Ｒである。
【００５２】次いで、図１１（ｂ）に示したような設定階調値を越える画素の各階調値を全て加算する（ステップＳ４）。この階調値の加算値を光漏れ量Ｌｋとする。
【００５３】次いで、算出した光漏れ量Ｌｋと、予め設定された設定漏れ量Ｌｋ0 とを比較し、光漏れ量Ｌｋが設定漏れ量Ｌｋ0 を越える場合には、領域Ｒにピンホールが存在すると判断する（ステップＳ５）。
【００５４】遮光ブーツ１０１について得られた全ての画像データについて上記の処理を行うことにより、ピンホール等の遮光欠陥を検出することができる。
【００５５】以上のように、本実施形態によれば、遮光ブーツ１０１の伸縮部１０２を伸長させる際に、フランジ部１０３，１０４を保持固定するために、上側吸着部材１３の吸着面１３ａに形成した吸引孔１３ｂおよび下側吸着部材２５の吸着面２５ａに形成した吸引孔２５ｂによって吸着する。フランジ部１０３，１０４は、容易に変形するシート状であり、フランジ部１０３，１０４を大きな力で吸着するとフランジ部１０３，１０４は大きく変形しやすく、安定した形状で欠陥検査を行うことが難しい。このため、本実施形態のように、細孔からなる吸引孔１３ｂ，２５ｂによって吸着すると、各吸引孔１３ｂ，２５ｂの吸引力は小さいのでフランジ部１０３，１０４が大きく変形することがない。
【００５６】また、通常、フランジ部１０３，１０４の面積は非常に狭いので、上側吸着部材１３の吸着面１３ａおよび下側吸着部材２５の吸着面２５ａに正確に位置決めしないと、一部の吸引孔１３ｂ，２５ｂがフランジ部１０３，１０４の平面内に位置しないこともある。本実施形態では、多数の吸引孔１３ｂ，２５ｂを設けて、各吸引孔１３ｂ，２５ｂの吸引力を小さくしているので、連なって配列された吸引孔１３ｂ，２５ｂの一部がフランジ部１０３，１０４の平面内に収まっていなくても、全体としての吸着力に与える影響は小さく、吸着ミスの発生が少ない。
【００５７】さらに、本実施形態では、吸引孔１３ｂ，２５ｂをフランジ部１０３，１０４の輪郭形状に沿って配列しているため、フランジ部１０３，１０４の位置決め誤差による吸着ミスも発生しにくい。
【００５８】また、本実施形態によれば、遮光ブーツ１０１の内側から照明光を当てて、遮光ブーツ１０１から漏れる光を遮光ブーツ１０１の外側で検出するため、漏れる光を検出するＣＣＤカメラ５２が寸法の制約を受けない。すなわち、遮光ブーツ１０１の外側から光を当て、遮光ブーツ１０１の内側で漏れる光を検出する構成とすると、遮光ブーツ１０１の内径は比較的小さいので、ＣＣＤカメラ５２を用いることは困難である。本実施形態によれば、ＣＣＤカメラ５２で撮像した画像データを画像処理することで、遮光ブーツ１０１に存在する遮光欠陥の検出を行うので、検出精度が高く、検出ミスを抑制することができる。また、本実施形態によれば、遮光欠陥の有無を検出するだけでなく、画像データから遮光欠陥の存在箇所も特定できるので、遮光欠陥の発生原因等を容易の把握することができる。なお、上述した実施形態では、ＣＣＤカメラ５２によって得られた画像データの各画素の明るさに基づいて階調処理し、階調処理された画像データから設定階調値を越える画素の集まっている領域を抽出し、この領域の各画素の階調値を加算して当該加算値を光漏れ量とし、光漏れ量と予め設定された設定漏れ量とを比較してこの領域が欠陥かを判別する構成としたが、本発明はこれに限定されない。たとえば、階調処理された画像データから設定階調値を越える画素数を計数し、この計数した画素数と予め設定された設定画素数とを比較することにより、遮光欠陥の存在の有無を判別する構成としてもよい。この場合には、遮光欠陥の存在場所の特定は難しいがより簡易な処理で遮光欠陥の検出が可能となる。
【００５９】第２実施形態図１３は、本発明の遮光ブーツの検査装置の第２の実施形態に係る伸長機構の構成を示す図であって、（ａ）は上側吸着部材の構造を示す断面図であり、（ｂ）は下側吸着部材の構造を示す断面図である。本実施形態に係る伸長機構は、上側吸着部材２０１と下側吸着部材２５１とで構成される。
【００６０】図１３において、上側吸着部材２０１はその下面に、第１の実施形態で説明した遮光ブーツ１０１のフランジ部を吸着する吸着面２０１ａを備えている。この吸着面２０１ａには、吸引口２０２が形成されている。この吸引口２０２は、第１の実施形態と同様に、遮光ブーツ１０１のフランジ部の輪郭形状に沿って複数形成した細孔で構成することができ、あるいは、遮光ブーツ１０１のフランジ部の輪郭形状に沿って連続する溝で構成することも可能である。吸引口２０２は、上側吸着部材２０１の内部に形成された空気の連通路２０３に連通している。
【００６１】上側吸着部材２０１の上側面２０１ｂには、圧縮空気を供給する第１の供給口２０４と、第２の供給口２０６とが形成されている。第１の供給口２０４は、空気の連通路２０３と上側吸着部材２０１の内部で連通しており、この第１の供給口２０４と連通路２０３との接続部には、ノズル２０５が設けられている。また、上側吸着部材２０１の下側面２０１ｂには、ノズル２０５と対向する位置に第１の供給口２０４の開口面積よりも大きい開口面積をもつ圧縮空気の排出口２１０が形成されており、この排出口２１０は第１の供給口２０４と連通している。上側吸着部材２０１の排出口２１０の出口には、円筒状の嵌合凹部２０７が形成されている。この嵌合凹部２０７は、第１の供給口２０４から供給される圧縮空気の流路を構成している。嵌合凹部２０７は、本発明の第１の嵌合部の一具体例に対応している。
【００６２】上側吸着部材２０１の第２の供給口２０６は、上側吸着部材２０１の上側面２０１ｂ側から下側面に貫通しており、この第２の供給口２０６の出口には円筒状の嵌合凹部２０８が形成されている。嵌合凹部２０８は本発明の第２の嵌合部の一具体例に対応している。
【００６３】下側吸着部材２５１の上側面は、遮光ブーツ１０１の他方のフランジ部を吸着する吸着面２５１ａを備えている。この吸着面２５１ａには、吸引口２５２が形成されている。この吸引口２５２は、第１の実施形態と同様に、遮光ブーツ１０１のフランジ部の輪郭形状に沿って複数形成した細孔で構成することができ、あるいは、遮光ブーツ１０１のフランジ部の輪郭形状に沿って連続する溝で構成することも可能である。吸引口２５２は、下側吸着部材２５１の内部に形成された連通路２５３と連通している。
【００６４】下側吸着部材２５１の上側面には、上側吸着部材２０１の嵌合凹部２０７と移動自在に嵌合する円柱面を有する嵌合凸部２５７が形成されており、嵌合凸部２５７の中心部には圧縮空気の流路２６０が形成されている。嵌合凸部２５７は本発明の第１の被嵌合部の一具体例に対応している。流路２６０は、下側吸着部材２５１の内部で連通路２５３と連通しており、この流路２６０と連通路２５３との接続部には、ノズル２５５が形成されている。
【００６５】さらに、下側吸着部材２５１の上側面には、上側吸着部材２０１の嵌合凹部２０８と移動自在に嵌合する円柱状の嵌合凸部２５８が形成されている。嵌合凹部２０８と嵌合凸部２５８とはシリンダを構成している。嵌合凸部２５８は、本発明の第２の被嵌合部の一具体例に対応している。
【００６６】下側吸着部材２５１の下側面には、ノズル２５５に対向する位置に圧縮空気の排出口２５４が形成されており、この排出口２５４と流路２６０とは連通している。また、下側吸着部材２５１の下側面２５１ｂから吸着面２５１ａに貫通する通気孔２５６が形成されている。この通気孔２５６は、吸着面２５１ａのうち吸引口２５２の形成領域の内側に形成されている。
【００６７】次に、上記構成の伸長機構による遮光ブーツ１０１の伸長動作の一例について説明する。まず、図１４に示すように、上側吸着部材２０１を下側吸着部材２５１の上方に離隔させた状態で、遮光ブーツ１０１を下側吸着部材２５１に対して所定の位置に装着する。遮光ブーツ１０１を下側吸着部材２５１に装着した状態では、下側吸着部材２５１の嵌合凸部２５７および嵌合凸部２５８が遮光ブーツ１０１によって囲まれた状態となり、また、遮光ブーツ１０１の下側のフランジ部１０４が吸引口２５２の形成位置に位置決めされる。
【００６８】この状態から、図１５に示すように、上側吸着部材２０１を下降させて、下側吸着部材２５１の嵌合凸部２５７および嵌合凸部２５８に上側吸着部材２０１の嵌合凹部２０７および嵌合凹部２０８をそれぞれ嵌合させ、上側吸着部材２０１を遮光ブーツ１０１上に置いた状態とする。この状態では、遮光ブーツ１０１の上側のフランジ部１０３が上側吸着部材２０１の吸引口２０２の形成位置に位置決めされる。
【００６９】次いで、図１６に示すように、第１の供給口２０４および第２の供給口２０６から圧縮空気ＣＰを同時に供給する。第１の供給口２０４の圧縮空気ＣＰが供給されると、圧縮空気ＣＰは、ノズル２０５から流路２６０に向けて噴出する。流路２６０に噴出された圧縮空気ＣＰは、ノズル２５５から噴出して排出口２５４から外部に排出される。
【００７０】このとき、圧縮空気ＣＰがノズル２０５から噴出すると、連通路２０３に点線矢印で示す方向の吸引圧力ＳＰが発生する。すなわち、連通路２０３は、吸引口２０２に吸引力を発生させる。この吸引圧力ＳＰにより、吸引口２０２には遮光ブーツ１０１の上側のフランジ部１０３を吸引する吸引力が発生し、フランジ部１０３は吸着面２０１ａに吸着される。
【００７１】また、圧縮空気ＣＰがノズル２５５から噴出したときに、連通路２５３には点線矢印で示す方向の吸引圧力ＳＰが発生する。すなわち、連通路２５３は、吸引口２５２に吸引力を発生させる。この吸引圧力ＳＰにより、吸引口２５２には遮光ブーツ１０１の下側のフランジ部１０４を吸引する吸引力が発生し、フランジ部１０４は吸着面２５１ａに吸着される。
【００７２】第２の供給口２０４の圧縮空気ＣＰが供給されると、圧縮空気ＣＰは、嵌合凸部２５８と嵌合凹部２０８とで形成される空間の圧力が上昇し、この圧力により上側吸着部材２０１を矢印Ａの鉛直方向上向きに上昇させる力として作用する。
【００７３】一方、上側吸着部材２０１が上昇すると、遮光ブーツ１０１の伸縮部１０２が伸長しようとするため、下側吸着部材２５１に形成された通気孔２５６には、点線矢印で示す向きの吸引圧力が発生し、通気孔２５６を通じて大気が流入する。通気孔２５６を通じて大気が流入すると、遮光ブーツ１０１の伸縮部１０２が伸長しても遮光ブーツ１０１の内部と外部とで圧力が等しくなり、遮光ブーツ１０１が変形することがない。
【００７４】第１の供給口２０４および第２の供給口２０６から圧縮空気ＣＰの供給を続けると、図１７に示すように、遮光ブーツ１０１の伸縮部１０２が伸長する。第１の供給口２０４および第２の供給口２０６から圧縮空気ＣＰの圧力を定説な値で一定に維持すると、上側吸着部材２０１が一定位置に上昇した状態が維持され、自然にバランスした状態が保たれる。
【００７５】この状態において、遮光ブーツ１０１の伸縮部１０２に存在する遮光欠陥を検出する。遮光欠陥を検出は、目視で行うことができるが、遮光ブーツ１０１内に光量検出器を設置し、遮光ブーツ１０１の伸縮部１０２の外周から照明光を当てて、遮光ブーツ１０１の内部に漏れた光の光量を検出することにより、遮光欠陥の有無を検出することができる。
【００７６】以上のように、本実施形態によれば、遮光ブーツ１０１を伸長させるのに、第１の供給口２０４および第２の供給口２０６から圧縮空気ＣＰを供給しただけで、遮光ブーツ１０１のフランジ部１０３，１０４の吸着保持および伸縮部１０２の伸長動作を共に行うことができる。このため、遮光ブーツ１０１を伸長させる伸長機構の構成を簡素化でき、製造コストを低減させることができる。また、本実施形態によれば、遮光ブーツ１０１の伸縮部１０２の伸長量を第１の供給口２０４および第２の供給口２０６から供給する圧縮空気ＣＰの圧力および流量を調整することで任意に設定することができる。
【００７７】なお、本発明は、上述した実施形態に限定されない。上述した第１の実施形態では、遮光ブーツ１０１を伸長させた状態で遮光欠陥の検出を行う構成としたが、遮光ブーツ１０１を伸長させない状態で行うことも可能である。また、上述した各実施形態では、本発明の薄肉ブーツとして遮光機能を有する遮光ブーツ１０１の場合について説明したが、遮光ブーツ１０１に限らず、変形しやすい薄肉ブーツの欠陥検査に適用することができる。また、上述した第２の実施形態では、ノズル２０５およびノズル２５５を設ける構成としたが、ノズル２０５およびノズル２５５を設けなくても吸引口２０２および２５２に吸引力を発生することができるが、ノズル２０５およびノズル２５５を設けたほうが吸引力を効果的に発生させることができる。
【００７８】
【発明の効果】本発明によれば、遮光ブーツ等の薄肉ブーツを伸長させた状態を安定的に保持できる。また、本発明によれば、薄肉ブーツに存在する欠陥を確実かつ効率的に検出することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の検査装置によって検査される遮光ブーツの一例を示す側面図である。
【図２】図１の遮光ブーツの一端部に形成されたフランジ部の平面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る遮光ブーツの検査装置の構成図である。
【図４】プリズムブロック４４および光導光部材４３の構造を示す図である。
【図５】遮光ブーツの検査装置１の下側吸着部材２５の吸着面２５ａの構成の一例を示す図である。
【図６】遮光ブーツの検査装置１の動作を説明するための図である。
【図７】図６に続く動作を説明するための図である。
【図８】図７に続く動作を説明するための図である。
【図９】図８に続く動作を説明するための図である。
【図１０】図９に続く動作を説明するための図である。
【図１１】画像処理装置６１における画像処理を説明するための図である。
【図１２】画像処理装置５１による遮光ブーツ１０１に存在するピンホール等の遮光欠陥の検出方法を説明するためのフローチャートである。
【図１３】本発明の第２の実施形態に係る伸長機構の構成を示す図である。
【図１４】図１３の伸長機構を用いた遮光ブーツの伸長動作を説明するための図である。
【図１５】図１４に続く動作を説明するための図である。
【図１６】図１５に続く動作を説明するための図である。
【図１７】図１６に続く動作を説明するための図である。
【符号の説明】
１…遮光ブーツの検査装置
２…伸長機構部
１１…上側吸着部
１３…上側吸着部材
２１…下側吸着部
２５…下側吸着部材
３２…駆動モータ
３５…回転軸
３８…可動部
４１…照明光源
４２…導光ケーブル
４３…光案内部材
４４…プリズムブロック
４５…反射板
５１…画像処理装置
６１…ポンプ
６２…切換弁
１０１…遮光ブーツ
２０１…上側吸着部
２０２…吸引口
２０４…第１の供給口
２０６…第２の供給口
２０７、２０８…嵌合凹部
２５１…下側吸着部
２５２…吸引口
２５３…連通路
２５４…排出口
２５６…通気孔
２５７、２５８…嵌合凸部
２６０…流路
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、遮光ブーツ等の薄肉ブーツの検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ズーム機能をもつカメラは、一般的に、複数段の鏡筒を備えており、この鏡筒を伸縮することにより、鏡筒に設けられたレンズ群とフィルム面との距離が調整されズーム機能を発揮する。これらの鏡筒は、カメラの外装ケースから漏れ入る光をフィルム面に入射しないように遮断する機能を有する。一方、複数段の鏡筒を用いたカメラでは、一番根元の鏡筒に２番目，３段目の鏡筒を収容していくため、一番根元の鏡筒の直径が太くなりすぎ、カメラ本体が大型化するという不利益が存在する。このため、鏡筒の代わりに、ゴム材料や樹脂材料から蛇腹形状に成形した伸縮自在な遮光ブーツを用いることが提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の遮光ブーツは、遮光性能を発揮するためには、遮光ブーツにピンホール等の光を透過させる欠陥が存在しないかを、成形後に検査する必要がある。一方、遮光ブーツに存在する欠陥を検査するためには、遮光ブーツを実使用状態にして検査を行うことが好ましい。このため、蛇腹形状に成形されている遮光ブーツを伸長させてピンホール等の欠陥を検出する必要がある。しかしながら、ゴム材料や樹脂材料から蛇腹形状に成形した遮光ブーツは、薄肉であるため、遮光ブーツの剛性は非常に低い。このため、遮光ブーツを伸長させる際の外力によって遮光ブーツが容易に変形し、遮光ブーツを伸長させた状態で安定した形状にすることが難しいという不利益が存在した。また、従来においては、遮光ブーツに存在するピンホール等の欠陥の検出を目視により行っていたが、この方法によれば、検査効率が低く、また、遮光ブーツは遮光するため黒色等の材料から形成されおり、ピンホールは非常に小さい場合もあるため、欠陥の確実な検出が難しかった。
【０００４】本発明は、上述の問題に鑑みて成されたものであって、遮光ブーツ等の薄肉ブーツに存在する欠陥を確実かつ効率的に検出することが可能な薄肉ブーツの検査装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の観点に係る薄肉ブーツの検査装置は、蛇腹形状に成形された伸縮部を備えた薄肉ブーツに存在する欠陥の有無を前記伸縮部を伸長機構により伸長させた状態で検査する検査装置であって、前記伸長機構は、前記伸縮部の両端部に形成されたフランジ部の一方を吸着する吸着面を備えた第１の吸着部材と、前記フランジ部の他方を吸着する吸着面を備えた第２の吸着部材と、前記第１の吸着部材の吸着面と前記第２の吸着部材の吸着面との前記薄肉ブーツの伸縮方向の相対距離を変更する移動手段と、を有し、前記第１および第２の吸着部材の吸着面には、前記フランジ部のフランジ面の輪郭形状に沿って配列された複数の吸引孔が形成されている。
【０００６】前記第１および第２の吸着部材の少なくとも一方は、前記薄肉ブーツを吸着した状態で当該薄肉ブーツ内部の圧力を薄肉ブーツ外部の圧力に等しくさせる通気孔を備える。
【０００７】本発明の第２の観点に係る薄肉ブーツの検査装置は、蛇腹形状に成形された伸縮部を備えた薄肉ブーツに存在する欠陥の有無を前記伸縮部を伸長機構により伸長させた状態で検査する検査装置であって、前記伸長機構は、前記伸縮部の両端部に形成されたフランジ部の一方を吸着する第１の吸引口が形成された吸着面を備えた第１の吸着部材と、前記フランジ部の他方を吸着する第２の吸引口が形成された吸着面を備え、前記第１の吸着部材と前記薄肉ブーツの伸縮方向に移動自在に嵌合する第２の吸着部材と、を有し、前記第１の吸着部材は、圧縮空気が供給される第１および第２の供給口と、前記第１の供給口から供給された圧縮空気の流路と前記第１の吸引口とを連通し当該第１の吸引口に吸引力を発生させる連通路と、前記第１の供給口から供給された圧縮空気を前記第２の吸着部材に導く流路が形成された第１の嵌合部と、前記第２の供給口を通じて前記圧縮空気が供給される第２の嵌合部と、を備えており、前記第２の吸着部材は、前記第１の嵌合部に形成された流路に連通する流路が形成され、当該第１の嵌合部に移動自在に嵌合する第１の被嵌合部と、前記第１の被嵌合部に形成された流路に連通し、当該流路に供給された前記圧縮空気を外部に排出する排出口と、前記排出口に向かう前記圧縮空気の流路と前記第２の吸引口とを連通し当該第２の吸引口に吸引力を発生させる連通路と、前記第２の嵌合部に移動自在に嵌合し、当該第２の嵌合部との間に前記圧縮空気が供給される空間を形成する第２の被嵌合部と、を備えている。
【０００８】前記第１および第２の吸着部材の少なくとも一方は、前記薄肉ブーツを吸着した状態で当該薄肉ブーツ内部の圧力を薄肉ブーツ外部の圧力に等しくさせる通気孔を備える。
【０００９】本発明の第３の観点に係る薄肉ブーツの検査装置は、蛇腹形状に成形された伸縮部を備えた薄肉ブーツに存在する欠陥の有無を検査する検査装置であって、前記伸縮部に照明光を照射する照明手段と、前記伸縮部の前記照明光の非照射面側の画像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段の撮像した画像データに所定の処理を施して、当該画像データから前記伸縮部に存在する欠陥を抽出する画像処理手段とを有する。
【００１０】本発明の第３の観点に係る薄肉ブーツの検査装置は、前記伸縮部の両端部に形成されたフランジ部を吸着保持し、かつ、当該伸縮部を伸長させて伸長状態を保持する伸長機構をさらに有する。
【００１１】好適には、前記照明手段は、前記薄肉ブーツの伸縮部の内周面に前記照明光を照射し、前記撮像手段は、前記薄肉ブーツの伸縮部の外周面の画像を撮像する。
【００１２】さらに好適には、前記照明手段は、前記照明光を出力する光源と、前記光源からの照明光を前記薄肉ブーツの中心軸方向に導く導光手段と、前記導光手段によって導かれた照明光を反射して前記薄肉ブーツの伸縮部の内周面に向けて照射する反射手段とを有する。
【００１３】前記伸長機構は、伸長状態にある前記薄肉ブーツを回転させて前記撮像手段に対する被撮像領域を変更する回転手段をさらに有する。
【００１４】好適には、前記画像処理手段は、前記撮像手段によって得られた画像データの各画素の明るさに基づいて階調処理し、階調処理された画像データから設定階調値を越える画素の集まっている領域を抽出し、前記領域の各画素の階調値を加算して当該加算値を光漏れ量とし、前記光漏れ量と予め設定された設定漏れ量とを比較して前記領域が欠陥かを判別する。
【００１５】本発明の第１の観点に係る検査装置の伸縮機構では、薄肉ブーツを伸縮機構の所定の位置にセットし、第１および第２の吸着部材にそれぞれ形成されたフランジ面の輪郭形状に沿って配列された複数の吸引孔によって吸着する。この状態から、移動手段によって第１の吸着部材と第２の吸着部材との相対位置を変更して薄肉ブーツの伸縮部を伸長させる。薄肉ブーツの伸縮部が伸長した状態で当該伸長部の欠陥検査が行われる。
【００１６】本発明の第２の観点に係る検査装置の伸縮機構では、薄肉ブーツを伸縮機構の所定の位置にセットし、第１の吸着部材の第１および第２の供給口から圧縮空気を供給する。第１の供給口に供給された圧縮空気によって第１の吸引口および第２の吸引口には吸引力が発生する。これにより、薄肉ブーツのフランジ部は、第１および第２の吸着部材の吸着面にそれぞれ吸着される。一方、第２の供給口に供給された圧縮空気は、第２の嵌合部および第２の被嵌合部によって形成される空間に供給される。この空間への圧縮空気の供給によって、第１の吸着部材と第２の吸着部材は、離隔する向きに相対移動する。これにより、薄肉ブーツの伸縮部は伸長し、圧縮空気の流量および圧力を調整することにより、第１の吸着部材と第２の吸着部材との相対位置が一定位置に調整される。このように、本発明の第２の観点に係る検査装置の伸縮機構では、圧縮空気の供給により、薄肉ブーツのフランジ部の吸着保持および伸縮部の伸長動作を同時に行うことができる。
【００１７】本発明の第３の観点に係る検査装置では、照明光を薄肉ブーツに照射して、薄肉ブーツの照明光を照射していない非照射面側の画像を撮像する。好適には、薄肉ブーツの伸縮部の内周面の画像を撮像するのは、薄肉ブーツの寸法的な制約により難しいので、薄肉ブーツの伸縮部の外周面側を撮像し、薄肉ブーツの内周面を照明光で照らす。また、薄肉ブーツの伸縮部は縮んだ状態では、伸縮部に存在する欠陥を検出するのが難しい場合もあるので、薄肉ブーツの伸縮部を伸長させた状態を保持し、伸長した伸縮部の外周面を撮像する。撮像手段によって撮像されたが画像データは、伸縮部に照明光を透過させる欠陥があると、この欠陥領域の画素の明度は他の領域よりも高くなり、この明度に応じて欠陥が特定される。撮像手段の視野角は一定の範囲に限定されているため、一回の撮像によって薄肉ブーツの伸縮部の全域の画像データを取得できない場合もある。このため、回転手段によって、薄肉ブーツの伸縮部を伸長させた状態で所定角度毎に薄肉ブーツを回転させ、所定角度の回転毎に撮像することで薄肉ブーツの伸縮部の全域の画像データが取得される。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
第１実施形態図１は本発明の検査装置によって検査される本発明の薄肉ブーツとしての遮光ブーツの一例を示す側面図であり、図２は図１の遮光ブーツの一端部に形成されたフランジ部の平面図である。図１および図２に示すように、遮光ブーツ１０１は、蛇腹形状に成形された伸縮部１０２と、伸縮部１０２の両端部に形成されたフランジ部１０３および１０４とを備えている。なお、フランジ部１０３の平面形状については図示しないが、フランジ部１０４と略形状である。遮光ブーツ１０１は、ゴム材料あるいは樹脂材料から形成されており、たとえば、数十μｍ〜数百μｍ程度の薄肉に成形されている。したがって、この遮光ブーツ１０１は、外力によって容易に変形し、形状の自己復元力が比較的低い。特に、フランジ部１０３および１０４は、シート状であるので変形しやすい。また、遮光ブーツ１０１は、たとえば、黒色等の光を遮断する色を有しており、遮光機能を有する。すなわち、伸縮部１０２の外側部から伸縮部１０２の内部へ向かう光、あるいは、伸縮部１０２の内部から外部に向かう光を遮断する。フランジ部１０４は、伸縮部１０２の軸線に略垂直なフランジ面１０４ａを備えている。
【００１９】また、遮光ブーツ１０１は、たとえば、成形型を用いて薄肉に成形されるため、たとえば、成形不良等により、伸縮部１０２に小さな孔（ピンホール）や、部分的な薄肉部等の光を透過する遮光欠陥が存在する場合がある。
【００２０】図３は、本発明の一実施形態に係る遮光ブーツの検査装置の構成図である。図３において、遮光ブーツの検査装置１は、伸長機構部２と、照明光源４１と、画像処理装置５１と、ＣＣＤカメラ５２と、ポンプ６１とを備える。ここで、照明光源４１は本発明の光源、画像処理装置５１は本発明の画像処理手段、ＣＣＤカメラ５２は本発明の撮像手段のそれぞれ一具体例に対応している。
【００２１】伸長機構部２は、遮光ブーツ１０１の伸縮部１０２の両端部に形成されたフランジ部１０３，１０４を吸着保持し、かつ、当該伸縮部を伸長させて伸長状態を保持する。この伸長機構部２直動装置５と、上側吸着部１１と、下側吸着部２１と、回転駆動部３１とからなる。なお、回転駆動部３１は、伸長状態にある遮光ブーツ１０１を回転させてＣＣＤカメラ５２に対する被撮像領域を変更する本発明の回転手段の一具体例に対応している。
【００２２】直動装置５は、ベース部材４上に設置され、水平方向に配置された昇降部材６と連結され、この昇降部材６を矢印Ａ１およびＡ２の鉛直方向に移動し、所望の位置に位置決めする。この直動装置５は、たとえば、図示しない駆動モータとこの駆動モータの回転運動を直動運動に変換する直動機構とを備えている。
【００２３】上側吸着部１１は、昇降部材６に固定された保持部材１５に軸受ＢＧＲを回転自在に保持された有底の筒状部材１２と、筒状部材１２に開口部から挿入固定された上側吸着部材１３と、筒状部材１２の底部に設けられたロータリ継ぎ手１４と、筒状部材１２の外周に固定されたプーリー１６とを有する。
【００２４】筒状部材１２は、プーリー１６に巻回されたベルトＢが駆動されることによって、回転する。この筒状部材１２の内周面と、筒状部材１２に挿入された上側吸着部材１３の外周面との間には隙間Ｓが形成されており、この隙間が空気の流路Ｓを構成している。
【００２５】ロータリ継ぎ手１４は、筒状部材１２の内部と連通する管路を備えており、このロータリ継ぎ手１４は筒状部材１２の回転を許容しており、筒状部材１２が回転してもロータリ継ぎ手１４は回転しない。すなわち、筒状部材１２が回転した状態で、ロータリ継ぎ手１４を通じて筒状部材１２の内部への空気の供給あるいは筒状部材１２の内部からの空気の吸引が行われる。
【００２６】上側吸着部材１３は、下端面１３ａに、遮光ブーツ１０１のフランジ部を吸着するための複数の吸着孔１３ｂが形成されており、この吸着孔１３ｂは上記の流路Ｓと連通している。なお、上側吸着部材１３の吸着面１３ａの具体的構成については後述する。
【００２７】下側吸着部２１は、ベース部材４に固定された保持部材２３と、この保持部材２３に軸受ＢＲＧを介して回転自在に保持された筒状部材２２と、筒状部材２２の上端部に固定された下側吸着部材２５と、筒状部材２２の外周に設けられたプーリー２４とを有する。
【００２８】筒状部材２２は、上記の筒状部材１２の中心軸と同心に設けられており、内部に導光ケーブル４２が導入されている。筒状部材２２は、プーリー２４に巻回されたベルトＢが駆動されることによって、回転する。また、筒状部材２２には、保持部材２３に形成された空気の流路２３ａと連通する流路２２ａが軸方向に沿って形成されており、この流路２２ａは筒状部材２２の上端まで伸びている。また、筒状部材２２の流路２２ａと保持部材２３の流路２３ａとは、筒状部材２２の外周面と保持部材２３の内周面との間に設けられたシールリングＳＲによってシーリングされている。さらに、筒状部材２２には、通気孔２２ｂが形成されており、この通気孔２２ｂは筒状部材２２は上端から下端まで伸びている。
【００２９】下側吸着部材２５は、筒状部材２２の上端側に嵌合固定されており、この下側吸着部材２５の吸着面２５ａには、遮光ブーツ１０１のフランジ部を吸着するための複数の吸着孔２５ｂが形成されており、この吸着孔２５ｂは上記の流路２２ａと連通している。なお、下側吸着部材２５の吸着面２５ａの具体的構成については後述する。
【００３０】下側吸着部材２５の中心部には、先端にプリズムブロック４４が固定された光案内部材４３が下側吸着部材２５の下面側から上面側に突出するように固定されている。プリズムブロック４４は、たとえば、透明なアクリル樹脂等の材料から形成された円柱状の部材である。プリズムブロック４４は、図４（ａ）に示すように、一方の端面４４ａが所定角度で傾斜している。このプリズムブロック４４は、端面４４ａに光案内部材４３を通じて導かれた照明光Ｌを反射し、照明光Ｌの方向を入射方向に直交する方向に変える反射板４５を備える。なお、反射板４５は、本発明の反射手段の一具体例に対応している。
【００３１】光案内部材４３は、図４（ｂ）に示すように、円筒状の部材からなり、たとえば、ステンレス等の金属材料で形成される。この光案内部材４３は、下側吸着部材２５の中央部に形成された貫通孔に挿入固定され、導光ケーブル４２から出射される照明光をプリズムブロック４４に導く。なお、筒状部材２２に形成された通気孔２２ｂは、下側吸着部材２５の中央部に形成された貫通孔を通じて下側吸着部材２５の上面側と連通している。また、プリズムブロック４４、光案内部材４３および導光ケーブル４２は本発明の導光手段を構成している。
【００３２】照明装置４１は、所定の光量の照明光を導光ケーブル４２に出力する。導光ケーブル４２は、たとえば、複数本の光ファイバーによって構成される。
【００３３】回転駆動部３１は、ベース部材４に固定部材３３を介して固定された駆動モータ３２と、駆動モータ３２とカップリング３４を介して接続された回転軸３５と、回転軸３５に固定されたプーリー３６と、回転軸３５に対して矢印Ａ１およびＡ２方向に移動自在に設けられた可動部３８と、可動部３８の回転部３８ａに連結されたプーリー３７とを有する。
【００３４】回転軸３５は、ベース部材４に軸受ＢＲＧを介して回転自在に支持されており、駆動モータ３２の回転によって回転する。
【００３５】可動部３８は、昇降部材６に連結されており、かつ、回転軸３５の軸方向に移動自在になっている。具体的には、可動部３８は、回転部３８ａを内部に回転自在に保持しており、この回転部３８ａに回転軸３５が挿入されている。また、回転軸３５にはスプラインが形成されており、回転部３８ａはこのスプラインに嵌合することによって、軸方向に移動自在であるとともに、回転軸３５の回転が伝達される。直動装置５を駆動して、昇降部材６を矢印Ａ１，Ａ２方向に移動させると、可動部３８もこれに応じて移動する。また、回転軸３５が回転すると、回転部３８ａのみが回転し、この回転部３８ａの回転がプーリー３７に伝達される。
【００３６】プーリー３６は、上記した筒状部材２２に設けられたプーリー２４とベルトＢによって連結されており、プーリー３７は、上記した筒状部材１２に設けられたプーリー１６とベルトＢによって連結されている。モータ３２が回転すると、プーリー３６、３７も同時に回転し、筒状部材２２および筒状部材１２が同期して回転する。したがって、上側吸着部材１３および下側吸着部材２５は、モータ３２を回転させることで同期回転する。
【００３７】ポンプ６１は、切換弁６２を介して上側吸着部１１の筒状部材１２に設けられたロータリ継ぎ手１４および下側吸着部２１の保持部材２３の流路２３ａに接続されている。このポンプ６１は、切換弁６２の切り換え動作に応じて、ロータリ継ぎ手１４および保持部材２３の流路２３ａに圧縮空気を供給し、あるいは、ロータリ継ぎ手１４および保持部材２３の流路２３ａから空気を吸引する。
【００３８】ＣＣＤカメラ５２は、電荷結合素子(Charge Coupled Device) を用いたカメラであり、ベース部材４上に遮光ブーツ１０１の伸縮部の画像を撮像可能に配置されている。また、ＣＣＤカメラ５２は、上記のプリズムブロック４４に設けられた反射板４５で反射された照明光の出射方向に向くように配置されている。ＣＣＤカメラ５２の撮像した画像データは、画像処理装置５１に入力される。画像処理装置５１は、ＣＣＤカメラ５２の撮像した画像データを所定のディジタル信号に変換した後、この画像データに所定の処理を施して、遮光ブーツ１０１に存在する遮光欠陥を検出する。画像処理装置５１は、たとえば、パーソナルコンピュータおよび所要のソフトウエアによって構成することができる。なお、画像処理装置５１の具体的な処理方法については後述する。
【００３９】ここで、上記構成の遮光ブーツの検査装置１の下側吸着部材２５の吸着面２５ａの構成の一例を図５に示す。図５に示すように、下側吸着部材２５の吸着面２５ａは、遮光ブーツ１０１のフランジ部１０４のフランジ面１０４ａの輪郭形状に沿って連なるように形成された複数の吸引孔２５ｂを備えている。なお、中央部の貫通孔２５ｃはプリズムブロック４４および光案内部材４３を挿入するための孔である。吸引孔２５ｂは、開口面積が非常に小さい細孔であり、フランジ部１０４のフランジ面１０４ａを下側吸着部材２５の吸着面２５ａの所定の位置にセットした状態で、すべての吸引孔２５ｂがフランジ面１０４ａの内部に位置するように形成されている。
【００４０】下側吸着部材２５の吸着面２５ａに遮光ブーツ１０１のフランジ部１０４のフランジ面１０４ａが接触した状態で、吸引孔２５ｂから空気が吸引されると、フランジ部１０４のフランジ面１０４ａは吸着面２５ａに吸着する。各吸引孔２５ｂの吸引力は小さいが、このように、多数の吸引孔２５ｂを設けることで、フランジ部１０４のフランジ面１０４ａの吸引による変形を最小限に抑えつつ、フランジ部１０４を確実に吸着することができる。なお、遮光ブーツ１０１の他方のフランジ部１０３に対向する上側吸着部材１３の吸着面１３ａの構成については図示を省略するが、下側吸着部材２５の吸着面２５ａと同様に、遮光ブーツ１０１のフランジ部１０３のフランジ面の輪郭形状に沿って連なるように形成された複数の吸引孔１３ｂを備えている。
【００４１】次に、上記構成の遮光ブーツの検査装置を用いた検査の一例について説明する。まず、図６に示すように、遮光ブーツ１０１を下側吸着部材２５の吸着面２５ａの所定の位置に載置する。この状態では、遮光ブーツ１０１のフランジ部１０４のフランジ面１０４ａと下側吸着部材２５の吸着面２５ａの複数の吸引孔２５ｂとは図５に示した位置関係となる。
【００４２】次いで、図７に示すように、直動装置５を駆動して、上側吸着部材１３を矢印Ａ２方向に下降させ、上側吸着部材１３の吸着面１３ａが遮光ブーツ１０１のフランジ部１０３に接触する位置で停止する。この状態から、ポンプ６１を駆動して、上側吸着部材１３の吸引孔１３ｂおよび下側吸着部材２５の吸引孔２５ｂから空気を吸引する。吸引孔１３ｂおよび吸引孔２５ｂから空気が吸引されると、遮光ブーツ１０１のフランジ部１０３は上側吸着部材１３の吸着面１３ａに吸着され、フランジ部１０４は下側吸着部材２５の吸着面２５ａに吸着される。
【００４３】このとき、たとえば、遮光ブーツ１０１のフランジ部１０３および１０４から上側吸着部材１３の吸引孔１３ｂ、吸着部材２５の吸引孔２５ｂの一部が外れて、遮光ブーツ１０１の内側に位置していると、遮光ブーツ１０１の内部と外部とで気圧差が発生しようとする。しかしながら、遮光ブーツ１０１の内部は、吸着部材２５の貫通孔２５ｃおよび筒状部材２２に形成された通気孔２２ｂを通じて外部と連通しているため、吸着部材２５の貫通孔２５ｃから空気が遮光ブーツ１０１の内部に導入されることから遮光ブーツ１０１の内部と外部とで気圧差が発生しない。このため、遮光ブーツ１０１には気圧差による変形が発生しない。
【００４４】遮光ブーツ１０１のフランジ部１０３および１０４が吸着された状態から、図８に示すように、直動装置５を駆動して上側吸着部材１３を矢印Ａ１方向の所定の位置まで上昇させる。これにより、遮光ブーツ１０１の伸縮部１０２は伸長した状態となる。
【００４５】この状態において、照明光源４１から照明光を出力すると、導光ケーブル４１および光案内部材４３を通じてプリズムブロック４４に照明光Ｌが入射する。プリズムブロック４４に入射した照明光Ｌは、反射板４５によって、遮光ブーツ１０１の中心軸に直交する方向に反射し、遮光ブーツ１０１の内周面を照らす。このとき、プリズムブロック４４から照射された照明光Ｌは、遮光ブーツ１０１の内周面の一部のみを照らしている。この状態で、プリズムブロック４４から照射された照明光Ｌの照射方向に遮光ブーツ１０１を介して配置されたＣＣＤカメラ５２により、遮光ブーツ１０１の伸縮部１０２の外側面の画像を撮像する。
【００４６】ＣＣＤカメラ５２により撮像される遮光ブーツ１０１の伸縮部１０２の外側面は、当該外側面の一部である。このため、上記の駆動モータ３２を所定量回転させながら、遮光ブーツ１０１の伸縮部１０２の外側面の画像を繰り返し撮像する。すなわち、駆動モータ３２を所定量回転させると、上側吸着部材１３および下側吸着部材２５が所定量回転するため、遮光ブーツ１０１も所定量回転する。一方、プリズムブロック４４およびＣＣＤカメラ５２は、遮光ブーツ１０１が回転しても固定されたままなので、遮光ブーツ１０１の全周面の撮像が可能となる。
【００４７】次いで、図９に示すように、上側吸着部材１３および下側吸着部材２５による遮光ブーツ１０１の吸着を停止する。すなわち、ポンプ６１による空気の吸引を停止する。これにより、伸長状態にあった遮光ブーツ１０１は、自己復元力により、縮んだ状態に復帰する。この遮光ブーツ１０１を伸長機構部２から取り出す。
【００４８】この状態から、切換弁６２を切り換えて、ポンプ６１から圧縮空気をロータリ継ぎ手１４および保持部材２３の流路２３ａに供給する。圧縮空気を供給すると、図１０に示すように、上側吸着部材１３の吸引孔１３ｂおよび下側吸着部材２５の吸引孔２５ｂからは、圧縮空気が吹き出す。このように、遮光ブーツ１０１の画像データの取得を完了したのちに、上側吸着部材１３の吸引孔１３ｂおよび下側吸着部材２５の吸引孔２５ｂから圧縮空気を吹き出させることにより、吸引孔１３ｂや吸引孔２５ｂがゴミ等によって目詰まりするのを防ぐことができ、安定した吸着性能を維持することができる。
【００４９】次に、画像処理装置５１におけるＣＣＤカメラ５２によって撮像された遮光ブーツ１０１の画像データから遮光ブーツ１０１に存在するピンホール等の遮光欠陥の検出方法について図１２に示すフローチャートに基づいて説明する。画像処理装置５１では、図１１に示すようなＣＣＤカメラ５２によって撮像された遮光ブーツ１０１の画像データＧを画像処理して、各画素の明るさに基づいて階調処理する（ステップＳ１）。この階調処理は、各画素にその明るさに基づいて、０（最も暗い）〜２５５（最も明るい）の各階調値を付与する。すなわち、各画素に２５６階調の値を付与する。
【００５０】次いで、図１１（ａ）に示すように、階調処理された画像データＧを所定の領域、たとえば、５ｍｍ角の分割領域ｇに分割する（ステップＳ２）。たとえば、図１１（ａ）に示したように、画像データＧのうちピンホールＰＨが存在する分割領域ｇｎの各画素の階調値は、たとえば、図１１（ｂ）のようになる。
【００５１】次いで、分割領域ｇの各画素に与えられた階調値が予め設定された設定階調値、たとえば、９０以上となる画素を探し出す（ステップＳ３）。たとえば、図１１（ｂ）に示した分割領域ｇｎについて、設定階調値９０以上となる画素は、実線で囲んだ領域Ｒである。
【００５２】次いで、図１１（ｂ）に示したような設定階調値を越える画素の各階調値を全て加算する（ステップＳ４）。この階調値の加算値を光漏れ量Ｌｋとする。
【００５３】次いで、算出した光漏れ量Ｌｋと、予め設定された設定漏れ量Ｌｋ0 とを比較し、光漏れ量Ｌｋが設定漏れ量Ｌｋ0 を越える場合には、領域Ｒにピンホールが存在すると判断する（ステップＳ５）。
【００５４】遮光ブーツ１０１について得られた全ての画像データについて上記の処理を行うことにより、ピンホール等の遮光欠陥を検出することができる。
【００５５】以上のように、本実施形態によれば、遮光ブーツ１０１の伸縮部１０２を伸長させる際に、フランジ部１０３，１０４を保持固定するために、上側吸着部材１３の吸着面１３ａに形成した吸引孔１３ｂおよび下側吸着部材２５の吸着面２５ａに形成した吸引孔２５ｂによって吸着する。フランジ部１０３，１０４は、容易に変形するシート状であり、フランジ部１０３，１０４を大きな力で吸着するとフランジ部１０３，１０４は大きく変形しやすく、安定した形状で欠陥検査を行うことが難しい。このため、本実施形態のように、細孔からなる吸引孔１３ｂ，２５ｂによって吸着すると、各吸引孔１３ｂ，２５ｂの吸引力は小さいのでフランジ部１０３，１０４が大きく変形することがない。
【００５６】また、通常、フランジ部１０３，１０４の面積は非常に狭いので、上側吸着部材１３の吸着面１３ａおよび下側吸着部材２５の吸着面２５ａに正確に位置決めしないと、一部の吸引孔１３ｂ，２５ｂがフランジ部１０３，１０４の平面内に位置しないこともある。本実施形態では、多数の吸引孔１３ｂ，２５ｂを設けて、各吸引孔１３ｂ，２５ｂの吸引力を小さくしているので、連なって配列された吸引孔１３ｂ，２５ｂの一部がフランジ部１０３，１０４の平面内に収まっていなくても、全体としての吸着力に与える影響は小さく、吸着ミスの発生が少ない。
【００５７】さらに、本実施形態では、吸引孔１３ｂ，２５ｂをフランジ部１０３，１０４の輪郭形状に沿って配列しているため、フランジ部１０３，１０４の位置決め誤差による吸着ミスも発生しにくい。
【００５８】また、本実施形態によれば、遮光ブーツ１０１の内側から照明光を当てて、遮光ブーツ１０１から漏れる光を遮光ブーツ１０１の外側で検出するため、漏れる光を検出するＣＣＤカメラ５２が寸法の制約を受けない。すなわち、遮光ブーツ１０１の外側から光を当て、遮光ブーツ１０１の内側で漏れる光を検出する構成とすると、遮光ブーツ１０１の内径は比較的小さいので、ＣＣＤカメラ５２を用いることは困難である。本実施形態によれば、ＣＣＤカメラ５２で撮像した画像データを画像処理することで、遮光ブーツ１０１に存在する遮光欠陥の検出を行うので、検出精度が高く、検出ミスを抑制することができる。また、本実施形態によれば、遮光欠陥の有無を検出するだけでなく、画像データから遮光欠陥の存在箇所も特定できるので、遮光欠陥の発生原因等を容易の把握することができる。なお、上述した実施形態では、ＣＣＤカメラ５２によって得られた画像データの各画素の明るさに基づいて階調処理し、階調処理された画像データから設定階調値を越える画素の集まっている領域を抽出し、この領域の各画素の階調値を加算して当該加算値を光漏れ量とし、光漏れ量と予め設定された設定漏れ量とを比較してこの領域が欠陥かを判別する構成としたが、本発明はこれに限定されない。たとえば、階調処理された画像データから設定階調値を越える画素数を計数し、この計数した画素数と予め設定された設定画素数とを比較することにより、遮光欠陥の存在の有無を判別する構成としてもよい。この場合には、遮光欠陥の存在場所の特定は難しいがより簡易な処理で遮光欠陥の検出が可能となる。
【００５９】第２実施形態図１３は、本発明の遮光ブーツの検査装置の第２の実施形態に係る伸長機構の構成を示す図であって、（ａ）は上側吸着部材の構造を示す断面図であり、（ｂ）は下側吸着部材の構造を示す断面図である。本実施形態に係る伸長機構は、上側吸着部材２０１と下側吸着部材２５１とで構成される。
【００６０】図１３において、上側吸着部材２０１はその下面に、第１の実施形態で説明した遮光ブーツ１０１のフランジ部を吸着する吸着面２０１ａを備えている。この吸着面２０１ａには、吸引口２０２が形成されている。この吸引口２０２は、第１の実施形態と同様に、遮光ブーツ１０１のフランジ部の輪郭形状に沿って複数形成した細孔で構成することができ、あるいは、遮光ブーツ１０１のフランジ部の輪郭形状に沿って連続する溝で構成することも可能である。吸引口２０２は、上側吸着部材２０１の内部に形成された空気の連通路２０３に連通している。
【００６１】上側吸着部材２０１の上側面２０１ｂには、圧縮空気を供給する第１の供給口２０４と、第２の供給口２０６とが形成されている。第１の供給口２０４は、空気の連通路２０３と上側吸着部材２０１の内部で連通しており、この第１の供給口２０４と連通路２０３との接続部には、ノズル２０５が設けられている。また、上側吸着部材２０１の下側面２０１ｂには、ノズル２０５と対向する位置に第１の供給口２０４の開口面積よりも大きい開口面積をもつ圧縮空気の排出口２１０が形成されており、この排出口２１０は第１の供給口２０４と連通している。上側吸着部材２０１の排出口２１０の出口には、円筒状の嵌合凹部２０７が形成されている。この嵌合凹部２０７は、第１の供給口２０４から供給される圧縮空気の流路を構成している。嵌合凹部２０７は、本発明の第１の嵌合部の一具体例に対応している。
【００６２】上側吸着部材２０１の第２の供給口２０６は、上側吸着部材２０１の上側面２０１ｂ側から下側面に貫通しており、この第２の供給口２０６の出口には円筒状の嵌合凹部２０８が形成されている。嵌合凹部２０８は本発明の第２の嵌合部の一具体例に対応している。
【００６３】下側吸着部材２５１の上側面は、遮光ブーツ１０１の他方のフランジ部を吸着する吸着面２５１ａを備えている。この吸着面２５１ａには、吸引口２５２が形成されている。この吸引口２５２は、第１の実施形態と同様に、遮光ブーツ１０１のフランジ部の輪郭形状に沿って複数形成した細孔で構成することができ、あるいは、遮光ブーツ１０１のフランジ部の輪郭形状に沿って連続する溝で構成することも可能である。吸引口２５２は、下側吸着部材２５１の内部に形成された連通路２５３と連通している。
【００６４】下側吸着部材２５１の上側面には、上側吸着部材２０１の嵌合凹部２０７と移動自在に嵌合する円柱面を有する嵌合凸部２５７が形成されており、嵌合凸部２５７の中心部には圧縮空気の流路２６０が形成されている。嵌合凸部２５７は本発明の第１の被嵌合部の一具体例に対応している。流路２６０は、下側吸着部材２５１の内部で連通路２５３と連通しており、この流路２６０と連通路２５３との接続部には、ノズル２５５が形成されている。
【００６５】さらに、下側吸着部材２５１の上側面には、上側吸着部材２０１の嵌合凹部２０８と移動自在に嵌合する円柱状の嵌合凸部２５８が形成されている。嵌合凹部２０８と嵌合凸部２５８とはシリンダを構成している。嵌合凸部２５８は、本発明の第２の被嵌合部の一具体例に対応している。
【００６６】下側吸着部材２５１の下側面には、ノズル２５５に対向する位置に圧縮空気の排出口２５４が形成されており、この排出口２５４と流路２６０とは連通している。また、下側吸着部材２５１の下側面２５１ｂから吸着面２５１ａに貫通する通気孔２５６が形成されている。この通気孔２５６は、吸着面２５１ａのうち吸引口２５２の形成領域の内側に形成されている。
【００６７】次に、上記構成の伸長機構による遮光ブーツ１０１の伸長動作の一例について説明する。まず、図１４に示すように、上側吸着部材２０１を下側吸着部材２５１の上方に離隔させた状態で、遮光ブーツ１０１を下側吸着部材２５１に対して所定の位置に装着する。遮光ブーツ１０１を下側吸着部材２５１に装着した状態では、下側吸着部材２５１の嵌合凸部２５７および嵌合凸部２５８が遮光ブーツ１０１によって囲まれた状態となり、また、遮光ブーツ１０１の下側のフランジ部１０４が吸引口２５２の形成位置に位置決めされる。
【００６８】この状態から、図１５に示すように、上側吸着部材２０１を下降させて、下側吸着部材２５１の嵌合凸部２５７および嵌合凸部２５８に上側吸着部材２０１の嵌合凹部２０７および嵌合凹部２０８をそれぞれ嵌合させ、上側吸着部材２０１を遮光ブーツ１０１上に置いた状態とする。この状態では、遮光ブーツ１０１の上側のフランジ部１０３が上側吸着部材２０１の吸引口２０２の形成位置に位置決めされる。
【００６９】次いで、図１６に示すように、第１の供給口２０４および第２の供給口２０６から圧縮空気ＣＰを同時に供給する。第１の供給口２０４の圧縮空気ＣＰが供給されると、圧縮空気ＣＰは、ノズル２０５から流路２６０に向けて噴出する。流路２６０に噴出された圧縮空気ＣＰは、ノズル２５５から噴出して排出口２５４から外部に排出される。
【００７０】このとき、圧縮空気ＣＰがノズル２０５から噴出すると、連通路２０３に点線矢印で示す方向の吸引圧力ＳＰが発生する。すなわち、連通路２０３は、吸引口２０２に吸引力を発生させる。この吸引圧力ＳＰにより、吸引口２０２には遮光ブーツ１０１の上側のフランジ部１０３を吸引する吸引力が発生し、フランジ部１０３は吸着面２０１ａに吸着される。
【００７１】また、圧縮空気ＣＰがノズル２５５から噴出したときに、連通路２５３には点線矢印で示す方向の吸引圧力ＳＰが発生する。すなわち、連通路２５３は、吸引口２５２に吸引力を発生させる。この吸引圧力ＳＰにより、吸引口２５２には遮光ブーツ１０１の下側のフランジ部１０４を吸引する吸引力が発生し、フランジ部１０４は吸着面２５１ａに吸着される。
【００７２】第２の供給口２０４の圧縮空気ＣＰが供給されると、圧縮空気ＣＰは、嵌合凸部２５８と嵌合凹部２０８とで形成される空間の圧力が上昇し、この圧力により上側吸着部材２０１を矢印Ａの鉛直方向上向きに上昇させる力として作用する。
【００７３】一方、上側吸着部材２０１が上昇すると、遮光ブーツ１０１の伸縮部１０２が伸長しようとするため、下側吸着部材２５１に形成された通気孔２５６には、点線矢印で示す向きの吸引圧力が発生し、通気孔２５６を通じて大気が流入する。通気孔２５６を通じて大気が流入すると、遮光ブーツ１０１の伸縮部１０２が伸長しても遮光ブーツ１０１の内部と外部とで圧力が等しくなり、遮光ブーツ１０１が変形することがない。
【００７４】第１の供給口２０４および第２の供給口２０６から圧縮空気ＣＰの供給を続けると、図１７に示すように、遮光ブーツ１０１の伸縮部１０２が伸長する。第１の供給口２０４および第２の供給口２０６から圧縮空気ＣＰの圧力を定説な値で一定に維持すると、上側吸着部材２０１が一定位置に上昇した状態が維持され、自然にバランスした状態が保たれる。
【００７５】この状態において、遮光ブーツ１０１の伸縮部１０２に存在する遮光欠陥を検出する。遮光欠陥を検出は、目視で行うことができるが、遮光ブーツ１０１内に光量検出器を設置し、遮光ブーツ１０１の伸縮部１０２の外周から照明光を当てて、遮光ブーツ１０１の内部に漏れた光の光量を検出することにより、遮光欠陥の有無を検出することができる。
【００７６】以上のように、本実施形態によれば、遮光ブーツ１０１を伸長させるのに、第１の供給口２０４および第２の供給口２０６から圧縮空気ＣＰを供給しただけで、遮光ブーツ１０１のフランジ部１０３，１０４の吸着保持および伸縮部１０２の伸長動作を共に行うことができる。このため、遮光ブーツ１０１を伸長させる伸長機構の構成を簡素化でき、製造コストを低減させることができる。また、本実施形態によれば、遮光ブーツ１０１の伸縮部１０２の伸長量を第１の供給口２０４および第２の供給口２０６から供給する圧縮空気ＣＰの圧力および流量を調整することで任意に設定することができる。
【００７７】なお、本発明は、上述した実施形態に限定されない。上述した第１の実施形態では、遮光ブーツ１０１を伸長させた状態で遮光欠陥の検出を行う構成としたが、遮光ブーツ１０１を伸長させない状態で行うことも可能である。また、上述した各実施形態では、本発明の薄肉ブーツとして遮光機能を有する遮光ブーツ１０１の場合について説明したが、遮光ブーツ１０１に限らず、変形しやすい薄肉ブーツの欠陥検査に適用することができる。また、上述した第２の実施形態では、ノズル２０５およびノズル２５５を設ける構成としたが、ノズル２０５およびノズル２５５を設けなくても吸引口２０２および２５２に吸引力を発生することができるが、ノズル２０５およびノズル２５５を設けたほうが吸引力を効果的に発生させることができる。
【００７８】
【発明の効果】本発明によれば、遮光ブーツ等の薄肉ブーツを伸長させた状態を安定的に保持できる。また、本発明によれば、薄肉ブーツに存在する欠陥を確実かつ効率的に検出することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の検査装置によって検査される遮光ブーツの一例を示す側面図である。
【図２】図１の遮光ブーツの一端部に形成されたフランジ部の平面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る遮光ブーツの検査装置の構成図である。
【図４】プリズムブロック４４および光導光部材４３の構造を示す図である。
【図５】遮光ブーツの検査装置１の下側吸着部材２５の吸着面２５ａの構成の一例を示す図である。
【図６】遮光ブーツの検査装置１の動作を説明するための図である。
【図７】図６に続く動作を説明するための図である。
【図８】図７に続く動作を説明するための図である。
【図９】図８に続く動作を説明するための図である。
【図１０】図９に続く動作を説明するための図である。
【図１１】画像処理装置６１における画像処理を説明するための図である。
【図１２】画像処理装置５１による遮光ブーツ１０１に存在するピンホール等の遮光欠陥の検出方法を説明するためのフローチャートである。
【図１３】本発明の第２の実施形態に係る伸長機構の構成を示す図である。
【図１４】図１３の伸長機構を用いた遮光ブーツの伸長動作を説明するための図である。
【図１５】図１４に続く動作を説明するための図である。
【図１６】図１５に続く動作を説明するための図である。
【図１７】図１６に続く動作を説明するための図である。
【符号の説明】
１…遮光ブーツの検査装置
２…伸長機構部
１１…上側吸着部
１３…上側吸着部材
２１…下側吸着部
２５…下側吸着部材
３２…駆動モータ
３５…回転軸
３８…可動部
４１…照明光源
４２…導光ケーブル
４３…光案内部材
４４…プリズムブロック
４５…反射板
５１…画像処理装置
６１…ポンプ
６２…切換弁
１０１…遮光ブーツ
２０１…上側吸着部
２０２…吸引口
２０４…第１の供給口
２０６…第２の供給口
２０７、２０８…嵌合凹部
２５１…下側吸着部
２５２…吸引口
２５３…連通路
２５４…排出口
２５６…通気孔
２５７、２５８…嵌合凸部
２６０…流路
【特許請求の範囲】
【請求項１】蛇腹形状に成形された伸縮部を備えた薄肉ブーツに存在する欠陥の有無を前記伸縮部を伸長機構により伸長させた状態で検査する検査装置であって、前記伸長機構は、前記伸縮部の両端部に形成されたフランジ部の一方を吸着する吸着面を備えた第１の吸着部材と、前記フランジ部の他方を吸着する吸着面を備えた第２の吸着部材と、前記第１の吸着部材の吸着面と前記第２の吸着部材の吸着面との前記薄肉ブーツの伸縮方向の相対距離を変更する移動手段と、を有し、前記第１および第２の吸着部材の吸着面には、前記フランジ部のフランジ面の輪郭形状に沿って配列された複数の吸引孔が形成されている薄肉ブーツの検査装置。
【請求項２】前記第１および第２の吸着部材の少なくとも一方は、前記薄肉ブーツを吸着した状態で当該薄肉ブーツ内部の圧力を薄肉ブーツ外部の圧力に等しくさせる通気孔を備える請求項１に記載の薄肉ブーツの検査装置。
【請求項３】蛇腹形状に成形された伸縮部を備えた薄肉ブーツに存在する欠陥の有無を前記伸縮部を伸長機構により伸長させた状態で検査する検査装置であって、前記伸長機構は、前記伸縮部の両端部に形成されたフランジ部の一方を吸着する第１の吸引口が形成された吸着面を備えた第１の吸着部材と、前記フランジ部の他方を吸着する第２の吸引口が形成された吸着面を備え、前記第１の吸着部材と前記薄肉ブーツの伸縮方向に移動自在に嵌合する第２の吸着部材と、を有し、前記第１の吸着部材は、圧縮空気が供給される第１および第２の供給口と、前記第１の供給口から供給された圧縮空気の流路と前記第１の吸引口とを連通し当該第１の吸引口に吸引力を発生させる連通路と、前記第１の供給口から供給された圧縮空気を前記第２の吸着部材に導く流路が形成された第１の嵌合部と、前記第２の供給口を通じて前記圧縮空気が供給される第２の嵌合部と、を備えており、前記第２の吸着部材は、前記第１の嵌合部に形成された流路に連通する流路が形成され、当該第１の嵌合部に移動自在に嵌合する第１の被嵌合部と、前記第１の被嵌合部に形成された流路に連通し、当該流路に供給された前記圧縮空気を外部に排出する排出口と、前記排出口に向かう前記圧縮空気の流路と前記第２の吸引口とを連通し当該第２の吸引口に吸引力を発生させる連通路と、前記第２の嵌合部に移動自在に嵌合し、当該第２の嵌合部との間に前記圧縮空気が供給される空間を形成する第２の被嵌合部と、を備えている薄肉ブーツの検査装置。
【請求項４】前記第１および第２の吸着部材の少なくとも一方は、前記薄肉ブーツを吸着した状態で当該薄肉ブーツ内部の圧力を薄肉ブーツ外部の圧力に等しくさせる通気孔を備える請求項３に記載の薄肉ブーツの検査装置。
【請求項５】蛇腹形状に成形された伸縮部を備えた薄肉ブーツに存在する欠陥の有無を検査する検査装置であって、前記伸縮部に照明光を照射する照明手段と、前記伸縮部の前記照明光の非照射面側の画像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段の撮像した画像データに所定の処理を施して、当該画像データから前記伸縮部に存在する欠陥を抽出する画像処理手段とを有する薄肉ブーツの検査装置。
【請求項６】前記伸縮部の両端部に形成されたフランジ部を吸着保持し、かつ、当該伸縮部を伸長させて伸長状態を保持する伸長機構をさらに有する請求項５に記載の薄肉ブーツの検査装置。
【請求項７】前記照明手段は、前記薄肉ブーツの伸縮部の内周面に前記照明光を照射し、前記撮像手段は、前記薄肉ブーツの伸縮部の外周面の画像を撮像する請求項５または６に記載の薄肉ブーツの検査装置。
【請求項８】前記照明手段は、前記照明光を出力する光源と、前記光源からの照明光を前記薄肉ブーツの中心軸方向に導く導光手段と、前記導光手段によって導かれた照明光を反射して前記薄肉ブーツの伸縮部の内周面に向けて照射する反射手段とを有する請求項７に記載の薄肉ブーツの検査装置。
【請求項９】前記伸長機構は、伸長状態にある前記薄肉ブーツを回転させて前記撮像手段に対する被撮像領域を変更する回転手段をさらに有する請求項７または８に記載の薄肉ブーツの検査装置。
【請求項１０】前記画像処理手段は、前記撮像手段によって得られた画像データの各画素の明るさに基づいて階調処理し、階調処理された画像データから設定階調値を越える画素の集まっている領域を抽出し、前記領域の各画素の階調値を加算して当該加算値を光漏れ量とし、前記光漏れ量と予め設定された設定漏れ量とを比較して前記領域が欠陥かを判別する請求項５〜９のいずれかに記載の薄肉ブーツの検査装置。
【請求項１１】前記伸長機構は、前記フランジ部の一方を吸着する吸着面を備えた第１の吸着部材と、前記フランジ部の他方を吸着する吸着面を備えた第２の吸着部材と、前記第１の吸着部材の吸着面と前記第２の吸着部材の吸着面との前記薄肉ブーツの伸縮方向の相対距離を変更する移動手段と、を有し、前記第１および第２の吸着部材の吸着面には、前記フランジ部のフランジ面の輪郭形状に沿って配列された複数の吸引孔が形成されている請求項６〜１０のいずれかに記載の薄肉ブーツの検査装置。
【請求項１】蛇腹形状に成形された伸縮部を備えた薄肉ブーツに存在する欠陥の有無を前記伸縮部を伸長機構により伸長させた状態で検査する検査装置であって、前記伸長機構は、前記伸縮部の両端部に形成されたフランジ部の一方を吸着する吸着面を備えた第１の吸着部材と、前記フランジ部の他方を吸着する吸着面を備えた第２の吸着部材と、前記第１の吸着部材の吸着面と前記第２の吸着部材の吸着面との前記薄肉ブーツの伸縮方向の相対距離を変更する移動手段と、を有し、前記第１および第２の吸着部材の吸着面には、前記フランジ部のフランジ面の輪郭形状に沿って配列された複数の吸引孔が形成されている薄肉ブーツの検査装置。
【請求項２】前記第１および第２の吸着部材の少なくとも一方は、前記薄肉ブーツを吸着した状態で当該薄肉ブーツ内部の圧力を薄肉ブーツ外部の圧力に等しくさせる通気孔を備える請求項１に記載の薄肉ブーツの検査装置。
【請求項３】蛇腹形状に成形された伸縮部を備えた薄肉ブーツに存在する欠陥の有無を前記伸縮部を伸長機構により伸長させた状態で検査する検査装置であって、前記伸長機構は、前記伸縮部の両端部に形成されたフランジ部の一方を吸着する第１の吸引口が形成された吸着面を備えた第１の吸着部材と、前記フランジ部の他方を吸着する第２の吸引口が形成された吸着面を備え、前記第１の吸着部材と前記薄肉ブーツの伸縮方向に移動自在に嵌合する第２の吸着部材と、を有し、前記第１の吸着部材は、圧縮空気が供給される第１および第２の供給口と、前記第１の供給口から供給された圧縮空気の流路と前記第１の吸引口とを連通し当該第１の吸引口に吸引力を発生させる連通路と、前記第１の供給口から供給された圧縮空気を前記第２の吸着部材に導く流路が形成された第１の嵌合部と、前記第２の供給口を通じて前記圧縮空気が供給される第２の嵌合部と、を備えており、前記第２の吸着部材は、前記第１の嵌合部に形成された流路に連通する流路が形成され、当該第１の嵌合部に移動自在に嵌合する第１の被嵌合部と、前記第１の被嵌合部に形成された流路に連通し、当該流路に供給された前記圧縮空気を外部に排出する排出口と、前記排出口に向かう前記圧縮空気の流路と前記第２の吸引口とを連通し当該第２の吸引口に吸引力を発生させる連通路と、前記第２の嵌合部に移動自在に嵌合し、当該第２の嵌合部との間に前記圧縮空気が供給される空間を形成する第２の被嵌合部と、を備えている薄肉ブーツの検査装置。
【請求項４】前記第１および第２の吸着部材の少なくとも一方は、前記薄肉ブーツを吸着した状態で当該薄肉ブーツ内部の圧力を薄肉ブーツ外部の圧力に等しくさせる通気孔を備える請求項３に記載の薄肉ブーツの検査装置。
【請求項５】蛇腹形状に成形された伸縮部を備えた薄肉ブーツに存在する欠陥の有無を検査する検査装置であって、前記伸縮部に照明光を照射する照明手段と、前記伸縮部の前記照明光の非照射面側の画像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段の撮像した画像データに所定の処理を施して、当該画像データから前記伸縮部に存在する欠陥を抽出する画像処理手段とを有する薄肉ブーツの検査装置。
【請求項６】前記伸縮部の両端部に形成されたフランジ部を吸着保持し、かつ、当該伸縮部を伸長させて伸長状態を保持する伸長機構をさらに有する請求項５に記載の薄肉ブーツの検査装置。
【請求項７】前記照明手段は、前記薄肉ブーツの伸縮部の内周面に前記照明光を照射し、前記撮像手段は、前記薄肉ブーツの伸縮部の外周面の画像を撮像する請求項５または６に記載の薄肉ブーツの検査装置。
【請求項８】前記照明手段は、前記照明光を出力する光源と、前記光源からの照明光を前記薄肉ブーツの中心軸方向に導く導光手段と、前記導光手段によって導かれた照明光を反射して前記薄肉ブーツの伸縮部の内周面に向けて照射する反射手段とを有する請求項７に記載の薄肉ブーツの検査装置。
【請求項９】前記伸長機構は、伸長状態にある前記薄肉ブーツを回転させて前記撮像手段に対する被撮像領域を変更する回転手段をさらに有する請求項７または８に記載の薄肉ブーツの検査装置。
【請求項１０】前記画像処理手段は、前記撮像手段によって得られた画像データの各画素の明るさに基づいて階調処理し、階調処理された画像データから設定階調値を越える画素の集まっている領域を抽出し、前記領域の各画素の階調値を加算して当該加算値を光漏れ量とし、前記光漏れ量と予め設定された設定漏れ量とを比較して前記領域が欠陥かを判別する請求項５〜９のいずれかに記載の薄肉ブーツの検査装置。
【請求項１１】前記伸長機構は、前記フランジ部の一方を吸着する吸着面を備えた第１の吸着部材と、前記フランジ部の他方を吸着する吸着面を備えた第２の吸着部材と、前記第１の吸着部材の吸着面と前記第２の吸着部材の吸着面との前記薄肉ブーツの伸縮方向の相対距離を変更する移動手段と、を有し、前記第１および第２の吸着部材の吸着面には、前記フランジ部のフランジ面の輪郭形状に沿って配列された複数の吸引孔が形成されている請求項６〜１０のいずれかに記載の薄肉ブーツの検査装置。
【図１】
【図１０】
【図１５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１６】
【図１７】
【図１０】
【図１５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１１】
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【図１３】
【図１４】
【図１６】
【図１７】
【公開番号】特開２００１−３０５０６８（Ｐ２００１−３０５０６８Ａ）
【公開日】平成１３年１０月３１日（２００１．１０．３１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０００−１２６２５０（Ｐ２０００−１２６２５０）
【出願日】平成１２年４月２０日（２０００．４．２０）
【出願人】（０００００４３８５）エヌオーケー株式会社 (1,527)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１３年１０月３１日（２００１．１０．３１）
【国際特許分類】
【出願日】平成１２年４月２０日（２０００．４．２０）
【出願人】（０００００４３８５）エヌオーケー株式会社 (1,527)
【Ｆターム（参考）】
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