静電チャック
【課題】LCDパネルのような電気的絶縁体からなる大型のワークであっても確実に吸着支持することができ、ワークの搬送操作等に的確に使用することができる静電チャックを提供する。
【解決手段】電気的絶縁体からなるワーク２０を吸着支持する静電チャック１５であって、正負の電圧が印加されるプラス側の電極１２ａとマイナス側の電極１２ｂとが、内層に形成されたチャック本体１０を備え、前記プラス側の電極１２ａとマイナス側の電極１２ｂが、前記チャック本体１０の吸着面に対して占める面積比が６０％〜９０％に設けられていることを特徴とする。
【解決手段】電気的絶縁体からなるワーク２０を吸着支持する静電チャック１５であって、正負の電圧が印加されるプラス側の電極１２ａとマイナス側の電極１２ｂとが、内層に形成されたチャック本体１０を備え、前記プラス側の電極１２ａとマイナス側の電極１２ｂが、前記チャック本体１０の吸着面に対して占める面積比が６０％〜９０％に設けられていることを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は静電チャックに関し、より詳細にはLCDパネルに利用されるガラス基板等の電気的絶縁体からなるワークを吸着支持するための静電チャックに関する。
【背景技術】
【０００２】
静電チャックは半導体ウエハなどの処理装置においてワークを吸着支持して搬送する機構として広く用いられ、最近は液晶パネル等の絶縁体の搬送用としても用いられている。この静電チャックによりワークを吸着支持する吸着力を発生させる機構には、（１）ワークと静電チャックとの間で作用するクーロン力を利用するもの、（２）ワークと静電チャックの接触界面で生じるジョンソン・ラーベック力によるもの、（３）静電チャックにより不均一電界を発生させ、ワークとの間で生じるグラジエント力を利用するものが知られている。
【０００３】
図１０に、クーロン力（ａ）、ジョンソン・ラーベック力（ｂ）、グラジエント力（ｃ）による作用を摸式的に示した。クーロン力は、チャック本体１０を構成する誘電体層が高抵抗(体積抵抗率１０１３Ω・ｃｍ程度以上）である場合に支配的であり、ジョンソン・ラーベック力はチャック本体１０がある程度の電気伝導性（体積抵抗率１０８〜１０１２Ω・ｃｍ程度）を有している場合に支配的となる。クーロン力による作用は、チャック本体１０の電極１２とワーク２０との間で作用する長距離力であるのに対して、ジョンソン・ラーベック力は、チャック本体１０とワーク２０との接触界面で誘起される電荷による吸引力によることから、半導体ウエハなどの導体の吸着作用としてはクーロン力よりもはるかに強く作用する（たとえば、特許文献１参照）。
【０００４】
これに対して、グラジエント力による吸着方法は、吸着対象物がガラス基板のような電気的絶縁体からなるものを吸着する方法として提案された（たとえば、特許文献２、３参照）。このグラジエント力による作用は、静電チャックの表面に不均一電界を発生させてワークを吸着支持するものであり、正負の対となる電極を、パターン幅およびパターン間隔を数ｍｍ以下のファインパターンに形成し、誘電体層の表層近傍に電極１２を形成してワークにグラジエント力が作用するように形成される。
【特許文献１】特開２００５−１６６８２０号公報
【特許文献２】特開２００５−２２３１８５号公報
【特許文献３】特開２００６−４９８５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
グラジエント力を利用してワークを吸着支持する方法は、ガラス基板等の電気的絶縁体からなるワークを吸着する方法に利用されるが、グラジエント力による吸着作用はさほど大きな吸着力が得られるものではない。このため、小型のワークについてはグラジエント力の作用によってワークを吸着支持することは可能であるが、一辺が１メートルもあるLCDパネルのような大型の重いガラス基板を搬送するような場合には、吸着力が十分に得られないという問題がある。
【０００６】
グラジエント力による吸着力は、電極に印加する電圧を高電圧とすることによって大きくできるから、電極に高電圧を印加してワークを吸着するようにすることは可能である。しかしながら、LCDパネルのような基板の表面に回路が形成されているワークを取り扱う場合には、電極に高電圧を印加すると回路が絶縁破壊したり、アーク放電によってワークが損傷したりするという問題が生じる。
一方、印加電圧を下げると、グラジエント力が低下し、搬送時にワークが位置ずれして搬送エラーが生じるといった問題や、ワークの位置ずれによってガラス基板の表面に形成された回路に高電圧が発生して回路を損傷させるという問題が生じる。
【０００７】
また、大判のLCDパネル等のワークを大気中で高速搬送したような場合には、空気との接触によってワークが帯電しやすく、また、絶縁体であるガラス基板などの帯電は内部から発生する場合が多く、イオナンザーのように外部からイオンを照射して中和するような除電手段は有効でないために、帯電した状態でワークを静電チャックに搬送すると、静電チャックによる吸着力が打ち消されるように作用し、ワークが位置ずれしてワークの搬送エラーが生じるといった問題が生じる。
【０００８】
本発明は、これらの課題を解決すべくなされたものであり、LCDパネルのような電気的絶縁体からなる大型のワークであっても確実に吸着支持することができ、ワークの搬送操作等に的確に使用することができる静電チャックを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
静電チャックにより、ガラス基板等の電気的絶縁体からなるワークを吸着する際に、グラジエント力による吸着作用を利用できることについては知られているが、ガラス基板等の電気的絶縁体からなるワークに対してもクーロン力による吸着力が作用する。本発明者は、このクーロン力による吸着作用が、電極パターンの形態によって電気的絶縁体からなるワークの吸着、とくに大型のワークの吸着に有効に作用することを見出した。本発明は、このクーロン力による吸着作用を効果的に発現させることにより、電気的絶縁体からなるワークを効果的に吸着支持することができる静電チャックを提供するものである。
【００１０】
すなわち、本発明は、電気的絶縁体からなるワークを吸着支持する静電チャックであって、正負の電圧が印加されるプラス側の電極とマイナス側の電極とが、内層に形成されたチャック本体を備え、前記プラス側の電極とマイナス側の電極が、前記チャック本体の吸着面に対して占める面積比が６０％〜９０％に設けられていることを特徴とする。
また、前記電極が、前記チャック本体の吸着面に対して占める面積比が７０％〜８０％であることがとくに有効である。
また、前記チャック本体は、吸着面の面積が、０．６ｍ２以上である場合、すなわち０．６ｍ２以上の面積を有する大型のワークを吸着する装置として効果的に利用できる。
【００１１】
また、前記チャック本体は、体積抵抗率が１０×１３Ω・ｍ以上の誘電体によって形成されていることにより、ガラス基板等の電気的絶縁体からなるワークを効果的に吸着支持することができる。
【００１２】
また、前記プラス側の電極とマイナス側の電極とが、平行パターンに形成されて櫛歯状に入り組んだ配置に設けられていることが有効である。
また、前記プラス側の電極とマイナス側の電極が、チャック本体の厚さ方向に離間した層配置に設けられていることにより、電極間の電気的短絡等の問題を回避しながら、チャック本体の吸着面における電極の面積比を容易に大きく設定することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係る静電チャックは、プラス側の電極とマイナス側の電極が、前記チャック本体の吸着面に対して占める面積比を６０％〜９０％に設けたことによって、ガラス基板等の電気的絶縁体からなるワークに効果的にクーロン力を発現させることが可能となり、これによって大型のワークであっても確実に吸着支持することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の好適な実施の形態について添付図面とともに詳細に説明する。
（電極パターンの例）
図１〜３は、静電チャックのチャック本体１０に形成した電極１２ａ、１２ｂの例を示す。図示した電極１２ａ、１２ｂは、いずれも櫛歯状に形成したもので、プラス側の電極１２ａとマイナス側の１２ｂがともに平行パターンに形成され、電極パターンを横断する方向（図のＡ−Ａ線方向）で、プラス側の電極１２ａとマイナス側の電極１２ｂが交互に配置されている。プラス側の電極１２ａは共通の接続パターン１３ａを介してプラス側の高圧電源に接続され、マイナス側の電極１２ｂは共通の接続パターン１３ｂを介してマイナス側の高圧電源に接続される。
【００１５】
図１（ｂ）、図２（ｂ）は、セラミック基板（誘電体層）によって形成されるチャック本体１０の内層に電極１２ａ、１２ｂが形成され、電極１２ａ、１２ｂがそれぞれプラス側の電源（＋Ｖ２ボルト）、マイナス側の電源（−Ｖ１ボルト）に接続され、チャック本体１０が金属からなるベースプレート１４に支持されることを示す。静電チャック１５は、チャック本体１０とベースプレート１４とからなる。
チャック本体１０は吸着対象であるワークの平面形状および大きさに合わせて形成される。図１〜３では、平面形状が正方形のワークを吸着する例として、吸着面が正方形に形成されたチャック本体１０を示す。
【００１６】
図１〜３に示す電極パターンのうち、図１に示す電極パターンが最も狭幅に形成され、図３に示す電極パターンが最も広幅に形成されている。図３に示す電極パターンは、プラス側の電極１２ａとマイナス側の電極１２ｂが縦横方向に交互に配置した例を示す。
本発明においては、チャック本体１０に形成する電極１２ａ、１２ｂがチャック本体１０の吸着面内で占める面積比が静電チャックの特性を規定する重要なパラメータとなる。図１は、電極１２ａ、１２ｂがチャック本体１０の吸着面内で占める面積の割合が５０％（パターン幅と電極間隔の比が１：１）、図２は、電極１２ａ、１２ｂが占める面積の割合が７５％（パターン幅と電極間隔の比が３：１）、図３は、電極１２ａ、１２ｂが占める面積の割合が８３％（パターン幅と電極間隔の比が５：１）の例を示す。
【００１７】
前述したように、グラジエント力によってガラス基板等のワークを吸着する力は、静電チャックの表面に不均一電界を発生させることによって生じるから、グラジエント力による作用を増大させるには、電極パターンはできるだけ微細にかつ高密度に形成するのがよい。すなわち、図１〜３に示す例では、図１に示す電極パターンとする場合が、最もグラジエント力による作用が大きくあらわれる。
一方、クーロン力は、電極パターンの面積が大きいほど、言い換えれば静電チャックの吸着面に占める電極の面積が広いほど大きくなる。図１〜３に示す電極パターンでは、図３に示す電極パターンの場合がクーロン力による作用が最も大きくあらわれる。
【００１８】
（電極の面積比率と単位面積あたりの吸着力）
図４は、静電チャックに形成する電極の吸着面に対する面積比によってガラス基板に作用する吸着力がどのように変化するかを測定した結果を示すグラフである。図４では、静電チャックにより吸着支持するガラス基板として、１辺が０．４５ｍの正方形（Ｇ１）、１辺が０．８ｍの正方形（Ｇ２）、１辺が１．２ｍの正方形（Ｇ３）の基板について示す。図４の測定結果は、プラス側の電極とマイナス側の電極間に４０００ボルトの電圧を印加した場合で、ワークの単位面積あたりに作用する吸着力を示す。
【００１９】
図４に示すグラフから、まず、電極の面積比率が５０％程度の場合には、ガラス基板Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３ともに、単位面積あたりの吸着力には大きな差がないこと、すなわち、図１に示すような、電極１２ａ、１２ｂが吸着面の５０％程度を占めるパターンとした場合は、ガラス基板の大きさには依存しない吸着力が作用することがわかる。ガラス基板に作用するグラジエント力は、単位面積あたりに一定の吸着力としてあらわれる。したがって、電極の面積比率が５０％程度の場合には、ガラス基板にはグラジエント力が支配的に作用し、ガラス基板の大きさには依存しない吸着力が作用するものと考えられる。
【００２０】
次に、電極の面積比率が６０〜８０％程度の範囲では、ガラス基板の大きさに依存して吸着力が大きく異なることが特徴的である。
すなわち、電極の面積比率が６０％程度を超えるようになると、小型のガラス基板Ｇ１については、単位面積あたりの吸着力が面積比率５０％のときよりも大きく減少する。これは、図２に示すように、電極の面積比率が６０％程度を超えるようになると、電極のパターン幅が電極間の間隔にくらべて広くなるから、本来、電極を細幅で高密度に形成することによって発現するグラジエント力を発現するパターンの形態から外れてしまい、グラジエント力が低減したものと考えられる。
【００２１】
一方、中型のガラス基板Ｇ２と大型のガラス基板Ｇ３については、電極の面積比率が６０％〜８０％になると、急激に単位面積あたりの吸着力が大きくなり、面積比率が増大するにしたがって吸着力が大きくなる。小型のガラス基板Ｇ１についてはこの領域で吸着力が減少する傾向になることと合わせ考えると、電極のパターンが広幅になることによってクーロン力による吸着力が増大し、この電極の面積比率の領域では、ガラス基板Ｇ２、Ｇ３についてはクーロン力が支配的となると考えられる。
【００２２】
電極の面積比率が８０％を超えると、ガラス基板Ｇ１については、単位面積あたりの吸着力がさらに減少する一方、ガラス基板Ｇ２、Ｇ３については吸着力が徐々に増大する。この領域ではガラス基板Ｇ１についてみると、電極はガラス基板の大きな領域を占めるから、クーロン力が支配的になるが、ガラス基板の面積自体が他のガラス基板Ｇ２、Ｇ３と比較して小さいことから、電極自体が占める絶対的な面積が小さく、十分な吸着力が得られないものと考えられる。
【００２３】
図５は、静電チャックの吸着面内における電極の面積比率を５０％とした場合(P50）、７５％とした場合(P75）、８５％とした場合(P85）について、ガラス基板の大きさによって吸着力がどのように変化するかを測定した結果を示すグラフである。グラフの横軸は正方形のガラス基板の一辺の長さ、縦軸は、ガラス基板全体に作用する吸着力を示す。
図５から、静電チャックに形成される電極の面積比率が５０％の場合（P50）は、ガラス基板の大きさが大きくなると徐々に増大するが、これはガラス基板の吸着力がガラス基板の面積とともに増大することを示している。すなわち、単位面積あたりの吸着力が均等であることを示す。
【００２４】
一方、電極の面積比率が７５％の場合(P75）と面積比率が８５％の場合(P85）には、ガラス基板の大きさが一辺０．５ｍ程度の場合には、面積比率が５０％の場合(P50）と吸着力は同程度であるが、ガラス基板の大きさが一辺０．８ｍ（面積０．６ｍ２）程度以上になると、明らかに吸着力の差があらわれることがわかる。
【００２５】
図４および図５の結果から、一辺の大きさが０．８ｍ程度以上の正方形のガラス基板については、静電チャック１５のチャック本体１０に形成する電極の面積比を６０％〜９０％に設定することにより、ガラス基板に作用する吸着力を効果的に増大させることができ、とくに電極の面積比が７０％〜８０％の範囲では、吸着力が大きく増大することがわかる。すなわち、大判のワークについてはクーロン力による吸着力を利用して吸着する構成となるように電極パターンを形成することが有効であることがわかる。
ガラス基板に作用する吸着力を増大させることができれば、電極に印加する電圧を下げることができるから、LCDパネル等のように基板に回路が形成されているワークを吸着支持して搬送するような場合に、高電圧によってワークが損傷するといった問題を効果的に防止することができる。
【００２６】
上記実施形態では、正方形状のガラス基板を吸着支持する静電チャックについて測定した結果に基づいて説明したが、クーロン力による吸着力はワークの形状や材質に依存するものではない。正方形以外のたとえば円形のワークを吸着する静電チャックについてもまったく同様に適用することができる。すなわち、吸着対象とするワークがガラス基板のような電気的絶縁体からなるものであり、クーロン力、グラジエント力による作用によって吸着支持するワークを対象とする場合で、０．６ｍ２以上の吸着面積を備える静電チャックを構成する場合には、吸着面に対する電極の面積比率を６０％〜９０％、好ましくは７０％〜８０％とすることによって好適な吸着力を備えた静電チャックとして提供することができる。
【００２７】
（電極の他の形成例）
上述したように、本発明に係る静電チャックでは、電極が静電チャックのチャック本体の吸着面に対して占める面積比率が６０％〜９０％と大きな面積を占めている。電極の面積比率を大きくするには、図３に示すように、電極部分を広幅とし電極間の間隔を狭くするように設計すればよい。このように、一つ一つの電極領域を吸着面内で大きなブロック状とすることで、電極の面積比率を大きくすることは可能であるが、一つ一つの電極領域を極端に大きくとらないように設計する場合には、電極間の間隔を狭くしなければならない。しかしながら、電極間の間隔を狭くすると、静電チャックを作製する際に電極間で電気的に短絡するおそれがあるし、電極に高電圧を印加した際に電極間で放電するというおそれがある。
【００２８】
静電チャックに形成する電極パターンのパターン幅をあまり大きくとらないようにし、なおかつ電極の面積比率を大きくするには、図６に示すように、チャック本体１０の内層に複数層に電極１２ａ、１２ｂを形成する方法が有効である。なお、図ではベースプレートを省略している。
図６（ａ）は、プラス側の電極１２ａとマイナス側の電極１２ｂとをチャック本体１０の内層で別層に形成し、それぞれプラス電源とマイナス電源に接続した例である。図６（ｂ）は、プラス側の電極１２ａとマイナス側の電極１２ｂとを２層構造とし、チャック本体１０の平面を２つに区分（たとえば、左右に２分割）し、一半部と他半部にそれぞれ電極１２ａ、１２ｂを配置した例である。
【００２９】
このように、複数層に電極１２ａ、１２ｂを形成する構成とすると、電極の層間距離を確保することによって電極間の電気的短絡を防止することができ、チャック本体１０を平面方向から見た場合には電極間が近接して配置され、電極の面積比を実質的に大きくすることができる。図６（ｂ）の例では、プラス側の電極１２ａとマイナス側の電極１２ｂを形成する領域では、平面配置が重複するように配置してもよい。
【００３０】
チャック本体１０は、アルミナ等のセラミックグリーンシートを積層し、チャック本体１０に形成する電極のパターンにしたがってタングステンペースト等の導体ペーストを印刷し、グリーンシートを積層して平板状に焼成して形成する。したがって、適宜の形状に電極パターンを印刷したグリーンシートを積層して焼成することによって、図６に示す電極１２ａ、１２ｂが複数層に形成されたチャック本体１０を形成することができる。
なお、チャック本体１０を構成する誘電体層はワークのデチャック性等を考慮して、適当な抵抗値となるように設定される。誘電体層の抵抗値は、セラミックグリーンシートを調製する際に、主材となるセラミック材料に抵抗値を調節する材料を適宜加えることによって調整される。
【００３１】
図７は、チャック本体１０に形成する電極のさらに他の例を示す。前述したように、ガラス基板等の電気的絶縁体からなるワークを吸着する際にクーロン力をより効果的に発現させるには、電極の面積を大きくすることが有効である。図７は、チャック本体１０の内層に形成する電極１２ａ、１２ｂを端面形状が波形となるように形成した例である。このように電極１２ａ、１２ｂを平坦面とせず折曲した形状とすることにより、同一の平面領域内における電極１２ａ、１２ｂの表面積を増大させることができ、これによってクーロン力による吸着作用を向上させることができる。
【００３２】
（帯電したワークを吸着支持する方法）
LCDパネルのような大判のガラス基板を処理する装置では、高速でワークを搬送した際に、ワークが空気と接触してワークが帯電することがある。また、イオンエッチング等のドライエッチングプロセスによりワークが帯電することがある。このような場合に、ワークが帯電したまま静電チャックに搬送されると、ワークの帯電が静電チャックによる静電吸着力を打ち消すように作用し、静電チャックの吸着力が弱められるという現象が生じる。
【００３３】
このような問題を解消する方法として、図８に示すように、静電チャックに形成するプラス側の電極１２ａとマイナス側の電極１２ｂのパターン幅を変えることによって解消することが可能である。
ワークがプラスに帯電する場合には、マイナス側の電極パターンをプラス側の電極パターンよりも広幅としてプラス側の電極よりも面積を大きくし、プラス側の電極１２ａとマイナス側の電極１２ｂによって生じるクーロン電荷をアンバランスさせ、ワーク２０が帯電していることによる影響を打ち消すことによって、所要の吸着力が得られるようにすることができる。
【００３４】
ワークの帯電を打ち消すようにして静電チャックにより吸着支持する他の方法として、図９に示すように、プラス側の電極が接続される電源と、マイナス側の電極が接続される電源にそれぞれ電流計Ａ２、Ａ１を設け、電流計Ａ２、Ａ１の電流ｉ２、ｉ１をモニターしながら、プラス側の電極とマイナス側の電極に印加する電源電圧＋Ｖ２、−Ｖ１を、電流ｉ２＝ｉ１となるように調節することにより、帯電したワークを安定して吸着支持することができる。帯電したワークが静電チャック上に搬送されてきた際に、電流計Ａ２、Ａ１の電流が一致するように電源電圧＋Ｖ２、−Ｖ１を調節することにより、ワークの帯電を打ち消すように電極に電荷が供給され、静電チャックによる本来の吸着力を得ることができる。
【００３５】
このように、電極の面積比率をプラス側の電極とマイナス側の電極とで変えるようにする方法、プラス側の電極とマイナス側の電極に供給する電流値が一致する（ｉ１＝ｉ２）ように制御する方法によって、帯電したワークであっても静電チャックに確実に吸着支持できるのは、ワークを吸着する吸着力がクーロン力に起因することによる。ガラス基板のような電気的絶縁体は、半導体などとくらべて帯電しやすい性質があるから、ワークの帯電を打ち消すようにして吸着支持できるようにすることは、電気的絶縁体からなるワークを吸着支持する静電チャックとして有効である。なお、ワークの帯電を防止するように電極パターンのパターン幅をプラス側の電極とマイナス側の電極で変える場合も、前述した実施形態と同様に、電極の吸着面に対する面積比を６０％〜９０％、好ましくは７０％〜８０％とするのが良い。
【００３６】
なお、上記実施形態の静電チャック１５は、ベースプレート１４に誘電体層としてセラミック基板からなるチャック本体１０を接着して形成したものであるが、チャック本体１０にクッション性をもたせるために、ベースプレート１４にシリコーンゴムを接着し、シリコーンゴムの表面に、銅パターンからなる電極を形成した電極フィルムと、ポリエステルフィルム等の絶縁フィルムからなる誘電体層とを積層するように接着して形成した静電チャックも用いられる。このような、クッション性をもたせたチャック本体を備える静電チャックは、LCDパネル等の大判のワークの吸着支持に有効であり、本発明は、このようなクッション性を有するチャック本体を備えた静電チャックについても同様に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】静電チャックに形成する電極の平面配置（ａ）と断面配置（ｂ）を示す説明図である。
【図２】静電チャックに形成する電極の平面配置（ａ）と断面配置（ｂ）を示す説明図である。
【図３】静電チャックに形成する電極の平面配置を示す説明図である。
【図４】吸着面積が異なる３種のワークについて、電極の面積比に対する単位面積あたりの吸着力を測定した結果を示すグラフである。
【図５】電極の面積比を変えた場合の、ガラス基板の大きさに対する吸着力について測定した結果を示すグラフである。
【図６】静電チャックに形成する電極の他の形成例を示す断面図である。
【図７】静電チャックに形成する電極のさらに他の形成例を示す断面図である。
【図８】帯電したワークを吸着支持する方法を示す電極の平面配置（ａ）と断面配置（ｂ）を示す説明図である。
【図９】帯電したワークを吸着支持する他の方法を示す説明図である。
【図１０】クーロン力（ａ）、ジョンソン・ラーベック力（ｂ）、グラジエント力（ｃ）によりワークを吸着支持する作用を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３８】
１０ チャック本体
１２、１２ａ、１２ｂ 電極
１３ａ、１３ｂ 接続パターン
１４ ベースプレート
１５ 静電チャック
２０ ワーク
【技術分野】
【０００１】
本発明は静電チャックに関し、より詳細にはLCDパネルに利用されるガラス基板等の電気的絶縁体からなるワークを吸着支持するための静電チャックに関する。
【背景技術】
【０００２】
静電チャックは半導体ウエハなどの処理装置においてワークを吸着支持して搬送する機構として広く用いられ、最近は液晶パネル等の絶縁体の搬送用としても用いられている。この静電チャックによりワークを吸着支持する吸着力を発生させる機構には、（１）ワークと静電チャックとの間で作用するクーロン力を利用するもの、（２）ワークと静電チャックの接触界面で生じるジョンソン・ラーベック力によるもの、（３）静電チャックにより不均一電界を発生させ、ワークとの間で生じるグラジエント力を利用するものが知られている。
【０００３】
図１０に、クーロン力（ａ）、ジョンソン・ラーベック力（ｂ）、グラジエント力（ｃ）による作用を摸式的に示した。クーロン力は、チャック本体１０を構成する誘電体層が高抵抗(体積抵抗率１０１３Ω・ｃｍ程度以上）である場合に支配的であり、ジョンソン・ラーベック力はチャック本体１０がある程度の電気伝導性（体積抵抗率１０８〜１０１２Ω・ｃｍ程度）を有している場合に支配的となる。クーロン力による作用は、チャック本体１０の電極１２とワーク２０との間で作用する長距離力であるのに対して、ジョンソン・ラーベック力は、チャック本体１０とワーク２０との接触界面で誘起される電荷による吸引力によることから、半導体ウエハなどの導体の吸着作用としてはクーロン力よりもはるかに強く作用する（たとえば、特許文献１参照）。
【０００４】
これに対して、グラジエント力による吸着方法は、吸着対象物がガラス基板のような電気的絶縁体からなるものを吸着する方法として提案された（たとえば、特許文献２、３参照）。このグラジエント力による作用は、静電チャックの表面に不均一電界を発生させてワークを吸着支持するものであり、正負の対となる電極を、パターン幅およびパターン間隔を数ｍｍ以下のファインパターンに形成し、誘電体層の表層近傍に電極１２を形成してワークにグラジエント力が作用するように形成される。
【特許文献１】特開２００５−１６６８２０号公報
【特許文献２】特開２００５−２２３１８５号公報
【特許文献３】特開２００６−４９８５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
グラジエント力を利用してワークを吸着支持する方法は、ガラス基板等の電気的絶縁体からなるワークを吸着する方法に利用されるが、グラジエント力による吸着作用はさほど大きな吸着力が得られるものではない。このため、小型のワークについてはグラジエント力の作用によってワークを吸着支持することは可能であるが、一辺が１メートルもあるLCDパネルのような大型の重いガラス基板を搬送するような場合には、吸着力が十分に得られないという問題がある。
【０００６】
グラジエント力による吸着力は、電極に印加する電圧を高電圧とすることによって大きくできるから、電極に高電圧を印加してワークを吸着するようにすることは可能である。しかしながら、LCDパネルのような基板の表面に回路が形成されているワークを取り扱う場合には、電極に高電圧を印加すると回路が絶縁破壊したり、アーク放電によってワークが損傷したりするという問題が生じる。
一方、印加電圧を下げると、グラジエント力が低下し、搬送時にワークが位置ずれして搬送エラーが生じるといった問題や、ワークの位置ずれによってガラス基板の表面に形成された回路に高電圧が発生して回路を損傷させるという問題が生じる。
【０００７】
また、大判のLCDパネル等のワークを大気中で高速搬送したような場合には、空気との接触によってワークが帯電しやすく、また、絶縁体であるガラス基板などの帯電は内部から発生する場合が多く、イオナンザーのように外部からイオンを照射して中和するような除電手段は有効でないために、帯電した状態でワークを静電チャックに搬送すると、静電チャックによる吸着力が打ち消されるように作用し、ワークが位置ずれしてワークの搬送エラーが生じるといった問題が生じる。
【０００８】
本発明は、これらの課題を解決すべくなされたものであり、LCDパネルのような電気的絶縁体からなる大型のワークであっても確実に吸着支持することができ、ワークの搬送操作等に的確に使用することができる静電チャックを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
静電チャックにより、ガラス基板等の電気的絶縁体からなるワークを吸着する際に、グラジエント力による吸着作用を利用できることについては知られているが、ガラス基板等の電気的絶縁体からなるワークに対してもクーロン力による吸着力が作用する。本発明者は、このクーロン力による吸着作用が、電極パターンの形態によって電気的絶縁体からなるワークの吸着、とくに大型のワークの吸着に有効に作用することを見出した。本発明は、このクーロン力による吸着作用を効果的に発現させることにより、電気的絶縁体からなるワークを効果的に吸着支持することができる静電チャックを提供するものである。
【００１０】
すなわち、本発明は、電気的絶縁体からなるワークを吸着支持する静電チャックであって、正負の電圧が印加されるプラス側の電極とマイナス側の電極とが、内層に形成されたチャック本体を備え、前記プラス側の電極とマイナス側の電極が、前記チャック本体の吸着面に対して占める面積比が６０％〜９０％に設けられていることを特徴とする。
また、前記電極が、前記チャック本体の吸着面に対して占める面積比が７０％〜８０％であることがとくに有効である。
また、前記チャック本体は、吸着面の面積が、０．６ｍ２以上である場合、すなわち０．６ｍ２以上の面積を有する大型のワークを吸着する装置として効果的に利用できる。
【００１１】
また、前記チャック本体は、体積抵抗率が１０×１３Ω・ｍ以上の誘電体によって形成されていることにより、ガラス基板等の電気的絶縁体からなるワークを効果的に吸着支持することができる。
【００１２】
また、前記プラス側の電極とマイナス側の電極とが、平行パターンに形成されて櫛歯状に入り組んだ配置に設けられていることが有効である。
また、前記プラス側の電極とマイナス側の電極が、チャック本体の厚さ方向に離間した層配置に設けられていることにより、電極間の電気的短絡等の問題を回避しながら、チャック本体の吸着面における電極の面積比を容易に大きく設定することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係る静電チャックは、プラス側の電極とマイナス側の電極が、前記チャック本体の吸着面に対して占める面積比を６０％〜９０％に設けたことによって、ガラス基板等の電気的絶縁体からなるワークに効果的にクーロン力を発現させることが可能となり、これによって大型のワークであっても確実に吸着支持することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の好適な実施の形態について添付図面とともに詳細に説明する。
（電極パターンの例）
図１〜３は、静電チャックのチャック本体１０に形成した電極１２ａ、１２ｂの例を示す。図示した電極１２ａ、１２ｂは、いずれも櫛歯状に形成したもので、プラス側の電極１２ａとマイナス側の１２ｂがともに平行パターンに形成され、電極パターンを横断する方向（図のＡ−Ａ線方向）で、プラス側の電極１２ａとマイナス側の電極１２ｂが交互に配置されている。プラス側の電極１２ａは共通の接続パターン１３ａを介してプラス側の高圧電源に接続され、マイナス側の電極１２ｂは共通の接続パターン１３ｂを介してマイナス側の高圧電源に接続される。
【００１５】
図１（ｂ）、図２（ｂ）は、セラミック基板（誘電体層）によって形成されるチャック本体１０の内層に電極１２ａ、１２ｂが形成され、電極１２ａ、１２ｂがそれぞれプラス側の電源（＋Ｖ２ボルト）、マイナス側の電源（−Ｖ１ボルト）に接続され、チャック本体１０が金属からなるベースプレート１４に支持されることを示す。静電チャック１５は、チャック本体１０とベースプレート１４とからなる。
チャック本体１０は吸着対象であるワークの平面形状および大きさに合わせて形成される。図１〜３では、平面形状が正方形のワークを吸着する例として、吸着面が正方形に形成されたチャック本体１０を示す。
【００１６】
図１〜３に示す電極パターンのうち、図１に示す電極パターンが最も狭幅に形成され、図３に示す電極パターンが最も広幅に形成されている。図３に示す電極パターンは、プラス側の電極１２ａとマイナス側の電極１２ｂが縦横方向に交互に配置した例を示す。
本発明においては、チャック本体１０に形成する電極１２ａ、１２ｂがチャック本体１０の吸着面内で占める面積比が静電チャックの特性を規定する重要なパラメータとなる。図１は、電極１２ａ、１２ｂがチャック本体１０の吸着面内で占める面積の割合が５０％（パターン幅と電極間隔の比が１：１）、図２は、電極１２ａ、１２ｂが占める面積の割合が７５％（パターン幅と電極間隔の比が３：１）、図３は、電極１２ａ、１２ｂが占める面積の割合が８３％（パターン幅と電極間隔の比が５：１）の例を示す。
【００１７】
前述したように、グラジエント力によってガラス基板等のワークを吸着する力は、静電チャックの表面に不均一電界を発生させることによって生じるから、グラジエント力による作用を増大させるには、電極パターンはできるだけ微細にかつ高密度に形成するのがよい。すなわち、図１〜３に示す例では、図１に示す電極パターンとする場合が、最もグラジエント力による作用が大きくあらわれる。
一方、クーロン力は、電極パターンの面積が大きいほど、言い換えれば静電チャックの吸着面に占める電極の面積が広いほど大きくなる。図１〜３に示す電極パターンでは、図３に示す電極パターンの場合がクーロン力による作用が最も大きくあらわれる。
【００１８】
（電極の面積比率と単位面積あたりの吸着力）
図４は、静電チャックに形成する電極の吸着面に対する面積比によってガラス基板に作用する吸着力がどのように変化するかを測定した結果を示すグラフである。図４では、静電チャックにより吸着支持するガラス基板として、１辺が０．４５ｍの正方形（Ｇ１）、１辺が０．８ｍの正方形（Ｇ２）、１辺が１．２ｍの正方形（Ｇ３）の基板について示す。図４の測定結果は、プラス側の電極とマイナス側の電極間に４０００ボルトの電圧を印加した場合で、ワークの単位面積あたりに作用する吸着力を示す。
【００１９】
図４に示すグラフから、まず、電極の面積比率が５０％程度の場合には、ガラス基板Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３ともに、単位面積あたりの吸着力には大きな差がないこと、すなわち、図１に示すような、電極１２ａ、１２ｂが吸着面の５０％程度を占めるパターンとした場合は、ガラス基板の大きさには依存しない吸着力が作用することがわかる。ガラス基板に作用するグラジエント力は、単位面積あたりに一定の吸着力としてあらわれる。したがって、電極の面積比率が５０％程度の場合には、ガラス基板にはグラジエント力が支配的に作用し、ガラス基板の大きさには依存しない吸着力が作用するものと考えられる。
【００２０】
次に、電極の面積比率が６０〜８０％程度の範囲では、ガラス基板の大きさに依存して吸着力が大きく異なることが特徴的である。
すなわち、電極の面積比率が６０％程度を超えるようになると、小型のガラス基板Ｇ１については、単位面積あたりの吸着力が面積比率５０％のときよりも大きく減少する。これは、図２に示すように、電極の面積比率が６０％程度を超えるようになると、電極のパターン幅が電極間の間隔にくらべて広くなるから、本来、電極を細幅で高密度に形成することによって発現するグラジエント力を発現するパターンの形態から外れてしまい、グラジエント力が低減したものと考えられる。
【００２１】
一方、中型のガラス基板Ｇ２と大型のガラス基板Ｇ３については、電極の面積比率が６０％〜８０％になると、急激に単位面積あたりの吸着力が大きくなり、面積比率が増大するにしたがって吸着力が大きくなる。小型のガラス基板Ｇ１についてはこの領域で吸着力が減少する傾向になることと合わせ考えると、電極のパターンが広幅になることによってクーロン力による吸着力が増大し、この電極の面積比率の領域では、ガラス基板Ｇ２、Ｇ３についてはクーロン力が支配的となると考えられる。
【００２２】
電極の面積比率が８０％を超えると、ガラス基板Ｇ１については、単位面積あたりの吸着力がさらに減少する一方、ガラス基板Ｇ２、Ｇ３については吸着力が徐々に増大する。この領域ではガラス基板Ｇ１についてみると、電極はガラス基板の大きな領域を占めるから、クーロン力が支配的になるが、ガラス基板の面積自体が他のガラス基板Ｇ２、Ｇ３と比較して小さいことから、電極自体が占める絶対的な面積が小さく、十分な吸着力が得られないものと考えられる。
【００２３】
図５は、静電チャックの吸着面内における電極の面積比率を５０％とした場合(P50）、７５％とした場合(P75）、８５％とした場合(P85）について、ガラス基板の大きさによって吸着力がどのように変化するかを測定した結果を示すグラフである。グラフの横軸は正方形のガラス基板の一辺の長さ、縦軸は、ガラス基板全体に作用する吸着力を示す。
図５から、静電チャックに形成される電極の面積比率が５０％の場合（P50）は、ガラス基板の大きさが大きくなると徐々に増大するが、これはガラス基板の吸着力がガラス基板の面積とともに増大することを示している。すなわち、単位面積あたりの吸着力が均等であることを示す。
【００２４】
一方、電極の面積比率が７５％の場合(P75）と面積比率が８５％の場合(P85）には、ガラス基板の大きさが一辺０．５ｍ程度の場合には、面積比率が５０％の場合(P50）と吸着力は同程度であるが、ガラス基板の大きさが一辺０．８ｍ（面積０．６ｍ２）程度以上になると、明らかに吸着力の差があらわれることがわかる。
【００２５】
図４および図５の結果から、一辺の大きさが０．８ｍ程度以上の正方形のガラス基板については、静電チャック１５のチャック本体１０に形成する電極の面積比を６０％〜９０％に設定することにより、ガラス基板に作用する吸着力を効果的に増大させることができ、とくに電極の面積比が７０％〜８０％の範囲では、吸着力が大きく増大することがわかる。すなわち、大判のワークについてはクーロン力による吸着力を利用して吸着する構成となるように電極パターンを形成することが有効であることがわかる。
ガラス基板に作用する吸着力を増大させることができれば、電極に印加する電圧を下げることができるから、LCDパネル等のように基板に回路が形成されているワークを吸着支持して搬送するような場合に、高電圧によってワークが損傷するといった問題を効果的に防止することができる。
【００２６】
上記実施形態では、正方形状のガラス基板を吸着支持する静電チャックについて測定した結果に基づいて説明したが、クーロン力による吸着力はワークの形状や材質に依存するものではない。正方形以外のたとえば円形のワークを吸着する静電チャックについてもまったく同様に適用することができる。すなわち、吸着対象とするワークがガラス基板のような電気的絶縁体からなるものであり、クーロン力、グラジエント力による作用によって吸着支持するワークを対象とする場合で、０．６ｍ２以上の吸着面積を備える静電チャックを構成する場合には、吸着面に対する電極の面積比率を６０％〜９０％、好ましくは７０％〜８０％とすることによって好適な吸着力を備えた静電チャックとして提供することができる。
【００２７】
（電極の他の形成例）
上述したように、本発明に係る静電チャックでは、電極が静電チャックのチャック本体の吸着面に対して占める面積比率が６０％〜９０％と大きな面積を占めている。電極の面積比率を大きくするには、図３に示すように、電極部分を広幅とし電極間の間隔を狭くするように設計すればよい。このように、一つ一つの電極領域を吸着面内で大きなブロック状とすることで、電極の面積比率を大きくすることは可能であるが、一つ一つの電極領域を極端に大きくとらないように設計する場合には、電極間の間隔を狭くしなければならない。しかしながら、電極間の間隔を狭くすると、静電チャックを作製する際に電極間で電気的に短絡するおそれがあるし、電極に高電圧を印加した際に電極間で放電するというおそれがある。
【００２８】
静電チャックに形成する電極パターンのパターン幅をあまり大きくとらないようにし、なおかつ電極の面積比率を大きくするには、図６に示すように、チャック本体１０の内層に複数層に電極１２ａ、１２ｂを形成する方法が有効である。なお、図ではベースプレートを省略している。
図６（ａ）は、プラス側の電極１２ａとマイナス側の電極１２ｂとをチャック本体１０の内層で別層に形成し、それぞれプラス電源とマイナス電源に接続した例である。図６（ｂ）は、プラス側の電極１２ａとマイナス側の電極１２ｂとを２層構造とし、チャック本体１０の平面を２つに区分（たとえば、左右に２分割）し、一半部と他半部にそれぞれ電極１２ａ、１２ｂを配置した例である。
【００２９】
このように、複数層に電極１２ａ、１２ｂを形成する構成とすると、電極の層間距離を確保することによって電極間の電気的短絡を防止することができ、チャック本体１０を平面方向から見た場合には電極間が近接して配置され、電極の面積比を実質的に大きくすることができる。図６（ｂ）の例では、プラス側の電極１２ａとマイナス側の電極１２ｂを形成する領域では、平面配置が重複するように配置してもよい。
【００３０】
チャック本体１０は、アルミナ等のセラミックグリーンシートを積層し、チャック本体１０に形成する電極のパターンにしたがってタングステンペースト等の導体ペーストを印刷し、グリーンシートを積層して平板状に焼成して形成する。したがって、適宜の形状に電極パターンを印刷したグリーンシートを積層して焼成することによって、図６に示す電極１２ａ、１２ｂが複数層に形成されたチャック本体１０を形成することができる。
なお、チャック本体１０を構成する誘電体層はワークのデチャック性等を考慮して、適当な抵抗値となるように設定される。誘電体層の抵抗値は、セラミックグリーンシートを調製する際に、主材となるセラミック材料に抵抗値を調節する材料を適宜加えることによって調整される。
【００３１】
図７は、チャック本体１０に形成する電極のさらに他の例を示す。前述したように、ガラス基板等の電気的絶縁体からなるワークを吸着する際にクーロン力をより効果的に発現させるには、電極の面積を大きくすることが有効である。図７は、チャック本体１０の内層に形成する電極１２ａ、１２ｂを端面形状が波形となるように形成した例である。このように電極１２ａ、１２ｂを平坦面とせず折曲した形状とすることにより、同一の平面領域内における電極１２ａ、１２ｂの表面積を増大させることができ、これによってクーロン力による吸着作用を向上させることができる。
【００３２】
（帯電したワークを吸着支持する方法）
LCDパネルのような大判のガラス基板を処理する装置では、高速でワークを搬送した際に、ワークが空気と接触してワークが帯電することがある。また、イオンエッチング等のドライエッチングプロセスによりワークが帯電することがある。このような場合に、ワークが帯電したまま静電チャックに搬送されると、ワークの帯電が静電チャックによる静電吸着力を打ち消すように作用し、静電チャックの吸着力が弱められるという現象が生じる。
【００３３】
このような問題を解消する方法として、図８に示すように、静電チャックに形成するプラス側の電極１２ａとマイナス側の電極１２ｂのパターン幅を変えることによって解消することが可能である。
ワークがプラスに帯電する場合には、マイナス側の電極パターンをプラス側の電極パターンよりも広幅としてプラス側の電極よりも面積を大きくし、プラス側の電極１２ａとマイナス側の電極１２ｂによって生じるクーロン電荷をアンバランスさせ、ワーク２０が帯電していることによる影響を打ち消すことによって、所要の吸着力が得られるようにすることができる。
【００３４】
ワークの帯電を打ち消すようにして静電チャックにより吸着支持する他の方法として、図９に示すように、プラス側の電極が接続される電源と、マイナス側の電極が接続される電源にそれぞれ電流計Ａ２、Ａ１を設け、電流計Ａ２、Ａ１の電流ｉ２、ｉ１をモニターしながら、プラス側の電極とマイナス側の電極に印加する電源電圧＋Ｖ２、−Ｖ１を、電流ｉ２＝ｉ１となるように調節することにより、帯電したワークを安定して吸着支持することができる。帯電したワークが静電チャック上に搬送されてきた際に、電流計Ａ２、Ａ１の電流が一致するように電源電圧＋Ｖ２、−Ｖ１を調節することにより、ワークの帯電を打ち消すように電極に電荷が供給され、静電チャックによる本来の吸着力を得ることができる。
【００３５】
このように、電極の面積比率をプラス側の電極とマイナス側の電極とで変えるようにする方法、プラス側の電極とマイナス側の電極に供給する電流値が一致する（ｉ１＝ｉ２）ように制御する方法によって、帯電したワークであっても静電チャックに確実に吸着支持できるのは、ワークを吸着する吸着力がクーロン力に起因することによる。ガラス基板のような電気的絶縁体は、半導体などとくらべて帯電しやすい性質があるから、ワークの帯電を打ち消すようにして吸着支持できるようにすることは、電気的絶縁体からなるワークを吸着支持する静電チャックとして有効である。なお、ワークの帯電を防止するように電極パターンのパターン幅をプラス側の電極とマイナス側の電極で変える場合も、前述した実施形態と同様に、電極の吸着面に対する面積比を６０％〜９０％、好ましくは７０％〜８０％とするのが良い。
【００３６】
なお、上記実施形態の静電チャック１５は、ベースプレート１４に誘電体層としてセラミック基板からなるチャック本体１０を接着して形成したものであるが、チャック本体１０にクッション性をもたせるために、ベースプレート１４にシリコーンゴムを接着し、シリコーンゴムの表面に、銅パターンからなる電極を形成した電極フィルムと、ポリエステルフィルム等の絶縁フィルムからなる誘電体層とを積層するように接着して形成した静電チャックも用いられる。このような、クッション性をもたせたチャック本体を備える静電チャックは、LCDパネル等の大判のワークの吸着支持に有効であり、本発明は、このようなクッション性を有するチャック本体を備えた静電チャックについても同様に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】静電チャックに形成する電極の平面配置（ａ）と断面配置（ｂ）を示す説明図である。
【図２】静電チャックに形成する電極の平面配置（ａ）と断面配置（ｂ）を示す説明図である。
【図３】静電チャックに形成する電極の平面配置を示す説明図である。
【図４】吸着面積が異なる３種のワークについて、電極の面積比に対する単位面積あたりの吸着力を測定した結果を示すグラフである。
【図５】電極の面積比を変えた場合の、ガラス基板の大きさに対する吸着力について測定した結果を示すグラフである。
【図６】静電チャックに形成する電極の他の形成例を示す断面図である。
【図７】静電チャックに形成する電極のさらに他の形成例を示す断面図である。
【図８】帯電したワークを吸着支持する方法を示す電極の平面配置（ａ）と断面配置（ｂ）を示す説明図である。
【図９】帯電したワークを吸着支持する他の方法を示す説明図である。
【図１０】クーロン力（ａ）、ジョンソン・ラーベック力（ｂ）、グラジエント力（ｃ）によりワークを吸着支持する作用を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３８】
１０ チャック本体
１２、１２ａ、１２ｂ 電極
１３ａ、１３ｂ 接続パターン
１４ ベースプレート
１５ 静電チャック
２０ ワーク
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気的絶縁体からなるワークを吸着支持する静電チャックであって、
正負の電圧が印加されるプラス側の電極とマイナス側の電極とが、内層に形成されたチャック本体を備え、
前記プラス側の電極とマイナス側の電極が、前記チャック本体の吸着面に対して占める面積比が６０％〜９０％に設けられていることを特徴とする静電チャック。
【請求項２】
前記電極が、前記チャック本体の吸着面に対して占める面積比が７０％〜８０％であることを特徴とする請求項１記載の静電チャック。
【請求項３】
前記チャック本体は、吸着面の面積が、０．６ｍ２以上であることを特徴とする請求項１または２記載の静電チャック。
【請求項４】
前記チャック本体は、体積抵抗率が１０×１３Ω・ｍ以上の誘電体によって形成されていることを特徴とする請求項１または２記載の静電チャック。
【請求項５】
前記プラス側の電極とマイナス側の電極とが、平行パターンに形成されて櫛歯状に入り組んだ配置に設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項記載の静電チャック。
【請求項６】
前記プラス側の電極とマイナス側の電極が、チャック本体の厚さ方向に離間した層配置に設けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項記載の静電チャック。
【請求項１】
電気的絶縁体からなるワークを吸着支持する静電チャックであって、
正負の電圧が印加されるプラス側の電極とマイナス側の電極とが、内層に形成されたチャック本体を備え、
前記プラス側の電極とマイナス側の電極が、前記チャック本体の吸着面に対して占める面積比が６０％〜９０％に設けられていることを特徴とする静電チャック。
【請求項２】
前記電極が、前記チャック本体の吸着面に対して占める面積比が７０％〜８０％であることを特徴とする請求項１記載の静電チャック。
【請求項３】
前記チャック本体は、吸着面の面積が、０．６ｍ２以上であることを特徴とする請求項１または２記載の静電チャック。
【請求項４】
前記チャック本体は、体積抵抗率が１０×１３Ω・ｍ以上の誘電体によって形成されていることを特徴とする請求項１または２記載の静電チャック。
【請求項５】
前記プラス側の電極とマイナス側の電極とが、平行パターンに形成されて櫛歯状に入り組んだ配置に設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項記載の静電チャック。
【請求項６】
前記プラス側の電極とマイナス側の電極が、チャック本体の厚さ方向に離間した層配置に設けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項記載の静電チャック。
【図３】
【図１】
【図２】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１】
【図２】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２００８−４１９９３（Ｐ２００８−４１９９３Ａ）
【公開日】平成２０年２月２１日（２００８．２．２１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−２１５６３１（Ｐ２００６−２１５６３１）
【出願日】平成１８年８月８日（２００６．８．８）
【出願人】（０００１９０６８８）新光電気工業株式会社 (1,516)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年２月２１日（２００８．２．２１）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年８月８日（２００６．８．８）
【出願人】（０００１９０６８８）新光電気工業株式会社 (1,516)
【Ｆターム（参考）】
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