【課題】ターゲットの使用効率を向上させる成膜源、スパッタリング装置を提供する。
【解決手段】ターゲット２１には孔２６が形成され、磁石装置２０は磁石移動装置４により、ターゲット２１の孔２６の周囲を移動する。従って、磁石装置２０により形成されるエロージョン領域は、孔２６の周囲に形成され、非エロージョン領域になるべき部分にはターゲット２１が存在しないから、ターゲット２１の使用効率が高い。孔２６の底面上には接地電極２５が配置されているから、孔２６の内部に露出する部材がスパッタリングされない。 （もっと読む）

【課題】 処理箱内に、Ｄｙ及びＴｂの少なくとも一方を含む金属蒸発材料とリング磁石とを収納し、この処理箱を真空チャンバ内に設置した後、真空雰囲気にて当該処理箱を所定温度に加熱して金属蒸発材料を蒸発させてリング磁石に付着させ、この付着したＤｙ、Ｔｂの金属原子を当該焼結磁石の結晶粒界及び／または結晶粒界相に拡散させて高性能磁石を得る場合に、１個の処理箱内に多数の焼結磁石が作業性よく収納でき、その上、高性能磁石が得られる量産性の高い永久磁石の製造方法を提供する。
【解決手段】 処理箱７に前記蒸発した金属原子の通過を許容する外挿体９を並設し、前記外挿体９で囲繞されるようにその内側に少なくとも１個のリング磁石ｓ配置する。そして、内部に金属蒸発材料ｖが充填され、前記蒸発した金属原子の通過を許容する内挿体１０を磁石の内部空間にそれぞれ設けると共に、各外挿体で区画される空間に金属蒸発材料を充填する。 （もっと読む）

【課題】より高い電流密度を得ることを可能とすることにより、プロセスの高速化を図ることが可能なイオンガン及び成膜装置を提供する。
【解決手段】本発明のイオンガン１は、スリット状の開口部１１が形成された陰極２と、開口部１１の幅方向に磁場を発生させる磁石３と、この磁場に対して略垂直方向に電界を生じさせるように陰極２の裏面から離間して配置された陽極４と、を備え、陰極２の表面の開口部１１からイオンビームＢが引き出されるもので、陽極４を構成する材料が強磁性材、または非磁性のステンレス鋼を熱処理により弱磁性材化した弱磁性材である。 （もっと読む）

【課題】省電力化を図るとともに、部品点数を増加させることなく種々のパターンに塗布されたシール材に対して光を照射することができる光照射装置を提供すること。
【解決手段】紫外線照射装置１は、基板Ｗが載置されるステージ１３と、紫外線を照射可能であるとともに個別にオンオフ可能な複数のＵＶＬＥＤが線状に配列され、外側及び内側シール材の幅と略同幅の線状の光を照射する照射部２２ａ〜２２ｄを備える。さらに、紫外線照射装置１は、照射部２２ａ〜２２ｄをＸ方向に移動させるＸ軸アクチュエータ１９と、各ＵＶＬＥＤを外側及び内側シール材のパターンに応じてオンオフさせる制御部３４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】有機材料を変質させることなく、少量ずつ蒸発させられる技術を提供する。
【解決手段】接続管４０に挿入された供給軸７１の下端に侵入防止部材７６を設け、接続管４０の下端のコンダクタンスを小さくする。タンク室６０内部に配置された粉体の有機材料６３を蒸発室２０ａの内部に移動させ、蒸発室２０ａの内部で有機材料蒸気を発生させる際に、蒸発室２０ａ内で発生した有機材料蒸気が接続管４０の内部に侵入しないようにしておく。接続管４０内に加熱したシールドガスを導入し、蒸発室２０ａの内部に噴出させると、有機材料蒸気がシールドガスによって流されるので、一層蒸気が侵入しないようになる。 （もっと読む）

【課題】有機材料を変質させることなく、少量ずつ蒸発させられる技術を提供する。
【解決手段】タンク室６０内部に配置された粉体の有機材料６３を蒸発室２０ａの内部に移動させ、蒸発室２０ａの内部で有機材料蒸気を発生させる際に、有機材料６３が通過する接続管４０内に加熱したシールドガスを導入し、有機材料をシールドガスと共に蒸発室２０ａ内に移動させる。接続管４０と蒸発室２０ａの間の接続部分を小孔４２に形成しておき、小孔４２からシールドガスを噴出させると蒸発室２０ａ内で発生した有機材料蒸気が接続管４０の内部に侵入することがない。 （もっと読む）

【課題】封着材の塗布後に室内に放出される、封着材自体の蒸発しやすい成分または封着材に含まれる水分や不純物ガス等を低減することができる封着パネルの製造方法及びそれを用いたプラズマディスプレイの製造方法を提供する。
【解決手段】背面基板における前面基板との対向面に、紫外線硬化性樹脂からなる封着材を塗布する塗布工程と、を有し、塗布工程に先立って、封着材を減圧雰囲気下で所定時間加熱する脱ガス工程を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】真空乾燥装置において、乾燥終点を容易且つ確実に確認可能にする技術を提供する。
【解決手段】本発明は、真空乾燥装置において、乾燥槽内に配置した被乾燥物を加熱するとともに乾燥槽内を真空排気してコールドトラップを行うことによって乾燥工程を行う際に、乾燥槽内の全圧を測定してその乾燥終点を確認する方法であって、測定ガスの種類による測定指示値の影響を受けない全圧測定可能な第１の真空計と、熱伝導を利用する全圧測定可能な真空計で、かつ、測定ガスの種類によって測定指示値に差が生ずる第２の真空計とを用いる。第１の真空計による乾燥槽における測定指示値と、第２の真空計による乾燥槽における測定指示値とを比較し、当該測定指示値の差が極小に収束する時点を乾燥終点確認時と判断する。 （もっと読む）

【課題】成膜速度が向上し、プラズマのエネルギによるダメージがない固体電解質薄膜の製造方法、平行平板型マグネトロンスパッタスパッタ装置、及び薄膜固体リチウムイオン２次電池の製造方法の提供。
【解決手段】スパッタリング法により、リン酸リチウム焼結体からなるターゲットを用い、希ガス及び窒素ガスを供給して、０．１〜１．０Ｐａの圧力下、固体電解質薄膜としての窒素置換リン酸リチウム薄膜を製造する。この固体電解質薄膜の製造方法を実施するための、特定の防着板を備えた平行平板型マグネトロンスパッタ装置、及びこの装置を用いて得られた固体電解質薄膜を備えた薄膜固体リチウムイオン２次電池を製造する。 （もっと読む）

【課題】 蒸発させた金属原子の被処理物への供給量が調節でき、簡単な構造を有する真空蒸気処理装置を提供する。
【解決手段】 所定圧力に保持可能な真空チャンバ１２と、この真空チャンバ内に隔絶して設けられた相互に連通する処理容器２及び蒸発容器３と、この処理容器Ｓに被処理物を配置すると共に蒸発容器に金属蒸発材料Ｖを配置した状態で処理容器及び蒸発容器の加熱を可能とする加熱手段６ａ、６ｂとを備える。そして、加熱手段によって処理容器及び蒸発容器をそれぞれ加熱して被処理物を所定温度まで昇温させつつ金属蒸発材料を蒸発させ、この蒸発した金属原子が処理容器内の被処理物表面に供給されるように構成する。 （もっと読む）