【課題】種々の炭素質膜に対応して、親水性の炭素質膜を容易に製造できるようにする。
【解決手段】親水性炭素質膜の製造装置は、炭素質膜を成膜するための炭素源となるガスのプラズマ及び酸素のプラズマを発生させるプラズマ生成部１１と、炭素源となるガスのプラズマを用いて基材２１の表面に炭素質膜を成膜し、成膜した炭素質膜へ酸素を含むプラズマを照射するためのチャンバ１２と、酸素を含むプラズマの照射中に、炭素質膜の赤外吸収を測定する赤外吸収測定部１３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でベーンポンプの吐出流量を調節する。
【解決手段】ベーンポンプ１は、吸入ポート２３と吐出ポート２４とが形成されたポンプケーシング１０と、ポンプケーシング１０内に設けられて回転駆動されるロータ３と、ポンプケーシング１０内においてロータ３の周囲に設けられ、ロータ３の回転軸Ｘに対する偏心量が調節可能に構成されたカムリング４と、ロータ３に半径方向へ進退自在に設けられ、先端がカムリング４と摺接する複数のベーン５，５，点とを備えている。吐出ポート２４は、ポンプ室１７が上死点から下死点に向かって移動していく途中に開口する位置に形成されている。吐出ポート２４の下死点側の端部２４ｂは、下死点よりも、ポンプ室１７の１つ分以上、上死点側に位置する。 （もっと読む）

【課題】被加工物２８の切断加工において加工速度及び加工精度の向上を図る。
【解決手段】ワイヤ放電加工装置１は、張設状態で走行するワイヤ電極Ｗと、ワイヤ電極Ｗが被加工物２８中を横切るように、ワイヤ電極Ｗと被加工物２８とを相対移動させる相対移動手段３０と、ワイヤ電極Ｗと被加工物２８との間に所定の加工液３４が介在している状態でワイヤ電極Ｗにパルス電圧を給電することにより、放電現象を通じて被加工物２８を切断する給電手段３６，３８と、を備える。加工液３４の比抵抗は１０^３〜１０^５Ω・ｃｍに設定する。 （もっと読む）

【課題】膜の結晶配向性及び結晶粒度を適宜に調節可能とする。
【解決手段】非平衡マグネトロンスパッタ装置１は、ターゲットＴから放出させたスパッタ粒子を基板Ｓ上に付着させて膜を形成する。非平衡マグネトロンスパッタ装置１は、処理室１１が形成された真空容器１０と、処理室１１内に配設され、基板Ｓを保持する基板保持部２と、処理室１１内に配設され、ターゲットＴを保持すると共にターゲットＴの表面側に磁界を形成するマグネトロン電極３と、基板Ｓに電圧を印加するバイポーラパルス電源１５と、マグネトロン電極３を介してターゲットＴに電圧を印加する可変直流電源１７とを備えている。バイポーラパルス電源１５は、基板Ｓに対して、負の電圧と正の電圧とを交互に印加する。 （もっと読む）

【課題】炭素質膜へのプラズマ照射による官能基の導入を効率良く行うことができるようにする。
【解決手段】炭素質膜は、基材１０１の表面に形成された炭素質膜本体１０３と、炭素質膜本体１０３の表面に導入された官能基１０５とを備えている。炭素質膜本体１０３は、少なくとも表面側の部分において炭素−炭素結合を炭素−水素結合よりも多く含む。 （もっと読む）

【課題】各種鋼板、特に、高張力鋼板等をプレス加工するのに好ましく用いられうる、高い密着力を有する硬質被膜が表面に形成された硬質被膜を有する球状化黒鉛鋳鉄材を提供することを目的とする。
【解決手段】窒化処理された球状化黒鉛鋳鉄の表面にチタン系硬質被膜が形成されており、前記表面における球状黒鉛の平均粒子径が３０μｍ以下である硬質被膜を有する球状化黒鉛鋳鉄材を得る。 （もっと読む）

【課題】中空微粒子を簡単に製造する新規な中空微粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】液体８０中において電極２０，３０間に交流電圧またはパルス状電圧を印加し、電気分解、熱分解及び相転移の少なくとも一つによって径が１ｎｍ以上１μｍ以下の気泡を発生させる工程と、気泡の気液界面に前記外殻部分を構成する材料を集合させて外殻部分を形成する工程とを含む中空微粒子の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】ワークからのウエハ（薄片）の切り出しをより効率良くかつ円滑に行う。
【解決手段】遊離砥粒が混合されたスラリを高速走行する切断用ワイヤＷに供給しながら当該切断用ワイヤＷにワーク２８を押し付けて切断するワーク切断方法において、前記スラリとして直径０．０５μｍ以上１０μｍ未満の微小気泡を含むスラリを切断用ワイヤＷに供給するようにした。 （もっと読む）

【課題】ワーク切断部間でのワイヤ張力の調整をより応答性良く行う。
【解決手段】ワイヤソーは第１、第２のワーク切断部１Ａ，１Ｂを有する。各ワーク切断部１Ａ，１Ｂの各々一対のガイドローラ１０ａ，１０ｂにはワイヤＷが巻回され、これによりワーク切断用のワイヤ群が形成されている。ワーク切断部１Ａ，１Ｂの間にはワイヤＷの張力を検出するテンションゲージ１８が設けられ、コントローラ５０は、テンションゲージ１８による検出張力に基づき、当該張力が許容値を外れている場合には、ワーク切断部１Ａ，１ＢのうちワイヤＷの走行方向下流側に位置するワーク切断部１Ａ（又は１Ｂ）のガイドローラ１０ａ，１０ｂの回転速度を所定速度だけ変更する。 （もっと読む）

【課題】内径測定用のエアを噴射させるためのノズル部材を備えたホーニングヘッドにおいて、メンテナンスの負担を軽減する。
【解決手段】ホーニングヘッド１０は、ホーニング装置の主軸１に連結されるヘッド本体１２と、その周囲に交互に並ぶ砥石１８及びガイドパッド２２と、砥石１８をヘッド本体１２の径方向に変位させる駆動軸２６等とを備える。ヘッド本体１２のうちヘッド本体１２及びガイドパッド２２よりも主軸１側の位置であって当該砥石１８等に近接する位置には、穴径測定用のエアを噴射させるための噴射口４６を備えたノズル部材４０が外嵌、装着されている。 （もっと読む）