【課題】高輝度でエネルギー幅が狭く、安定した電子線を得ることが出来る荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】 電界放射電子源、それに電界を印加する電極と、電界放射電子源のまわりの圧力を１×１０^−８Ｐａ以下に維持する真空排気部とを備え、放射させた電子線のうち、電子線中央の放射角１×１０^−２ｓｔｒ以内の電子線を用い、電子線の電流の時間に関する二階微分が負または０で、かつ電流の減少度合いが１時間当たり１０％以内となる電流を用いる構成を有する。さらに、電界放射電子源の加熱部と、電子線の電流の検出部とを備え、電界放射電子源を繰り返し加熱することで、放射される電子線の電流を所定の値以上に維持する。 （もっと読む）

【課題】計測対象が電子線照射によってシュリンクする場合であっても、パターン輪郭や寸法を高精度に求めることのできる計測方法を提供する。
【解決手段】下地の上にパターンが形成された試料に電子線を照射して計測する方法において、パターンのＳＥＭ画像や輪郭（Ｓ２０１、Ｓ２０２）、試料のパターン部および下地部の材料パラメータ（Ｓ２０３）（Ｓ２０４）、電子線を試料に照射する際のビーム条件（Ｓ２０５）を準備し、これらを用いて、電子線を照射する前のパターン形状、あるいは寸法を算出する（Ｓ２０６）。 （もっと読む）

【課題】 エミッタティップ先端の機械的振動振幅が小さく、超高分解能の試料観察像が得られ、かつ試料観察像にゆれなどをなくす荷電粒子線顕微鏡を提供する。
【解決手段】 イオンを生成するエミッタティップと、該エミッタティップを支持するエミッタベースマウントと、該エミッタティップを加熱する機構と、エミッタティップに対向して設けられた引き出し電極と、エミッタティップの近傍にガスを供給する機構と、を有するガス電界電離イオン源において、エミッタティップ加熱機構が、少なくとも２個の端子間を接続するフィラメントに通電して前記エミッタティップを加熱する機構であり、前記端子間がＶ字状のフィラメントで接続され、V字のなす角度が鈍角であり、前記フィラメントの略中央に前記エミッタティップが接続されたことを特徴とするガス電界電離イオン源を搭載する荷電粒子顕微鏡とする。 （もっと読む）

【課題】検出対象成分の流れ方向の拡がりが小さく、分析装置の分析精度を向上可能な流体混合器を実現する。
【解決手段】分岐前の流路１１５に流体が＋Ｘ軸方向に流れ、分岐流路１１６で＋Ｙ軸方向と−Ｙ軸方向の流れに分岐し、下流でＸ軸方向に流れが曲がり、その下流で＋Ｙ軸方向と−Ｙ軸方向に流れが曲がり、その下流で合流し−Ｘ軸方向に流れが曲がる。さらに、その下流で＋Ｚ軸方向に流れが曲がり、その下流で＋Ｘ軸方向に流れが曲がり、その下流で−Ｚ軸方向に流れが曲がり、その下流で＋Ｘ軸方向に流れが曲がる。流体混合器９２１内を流れる検出対象成分が流体混合器９２１内に滞留する時間は、流体混合器９２１の入口断面において検出対象成分が流入する場所によらず同等である。よって、流体混合器９２１の上流に対する流体混合器９２１の下流における検出対象成分の流れ方向の拡がりが小さくなる。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線装置の制御回路と制御対象機器との間で偏向信号及び検出信号に対するノイズが生じる。一方で、ノイズ対策のために制御回路と制御対象機器とを接続するケーブルを短くすると試料室内部のメンテナンスが困難になる。本発明の目的は、メンテナンス性を損なうことなく、ノイズの影響を低減した高画質の画像が得られる荷電粒子線装置を提供することにある。
【解決手段】荷電粒子線を試料に照射するカラムと、前記カラムの内部の機器を制御する制御ユニットと、前記制御ユニットを移動させる移動機構とを備えることを特徴とする。制御ユニットを荷電粒子線照射による画像取得時にはカラムの近傍に配置し、保守時にはカラムから離れるように移動可能にする。 （もっと読む）

【課題】製品の精度向上と製作時間の短縮が可能な、位相シフトマスクを用いた非対称パターンの形成技術、さらには回折格子、半導体装置の製造技術を提供する。
【解決手段】位相シフトマスク３０（遮光部と透過部（位相シフトがない第１の透過部、位相シフトがある第２の透過部）が周期的に配置）を用いた回折格子の製造方法において、照明光源１０から放出された光を、位相シフトマスク３０を透過させ、この位相シフトマスク３０を透過させることにより生じる０次光と＋１次光とをＳｉウエハ５０の表面で干渉させて、このＳｉウエハ５０の表面のフォトレジスト６０を露光し、Ｓｉウエハ５０上にブレーズド状の断面形状を有する回折格子を形成する。 （もっと読む）

【課題】ラジカル密度を均一化し、エッチングの均一性を向上させることのできる無電極方式のプラズマエッチング装置を提供する。
【解決手段】減圧処理室２０と、第一のガス導入機構１６と、誘電体窓２６と、プラズマ生成手段（１３、１５）と、試料２１を載置する試料台１８と、試料台１８に接続された第一の高周波電源２９とを有する無電極方式のプラズマエッチング装置において、第二のガスを供給するためのガス導入機構（３６、４０）と、試料２１の外周周辺にラジカルを発生させる高周波電力を投入するための第二の高周波電源２とを更に有する。 （もっと読む）

【課題】複数の検体容器のそれぞれに対して個別に搬送処理を行うことができる検体処理システムを提供する
【解決手段】中心軸を上下方向に向けて配置された円板形状の基部と、その上方に基部よりも小さい外径で同軸上に形成され、検体容器を立位状態で保持する検体容器保持部とを有する検体容器ホルダ１と、検体容器ホルダ１を載置して搬送するコンベヤ１９と、コンベヤ１９上の検体容器ホルダ１の基部が通過する位置よりも上方であって、少なくとも検体容器保持部が通過する位置に設けられ、中心軸を上下方向に向けた円柱形領域の外周部に沿うように設けられた保持板とを備え、保持板の周方向への移動によって、コンベヤ１９により搬送される検体容器ホルダ１の搬送の状態を制御する。 （もっと読む）

【課題】 電界放出型電子源の寿命を延長するために、拡散補給源であるジルコニアの容積あるいは、重量を増すと、拡散補給源自体やタングステン針にダメージを与えやすくなるという課題がある。更なる課題として、上記課題を避けるために拡散補給源を薄膜で形成することも考えられるが、８，０００時間を越える実用的な寿命を安定して得ることは困難である。
【解決手段】 拡散補給源の欠けや割れがなく、少量の拡散補給源の増量で寿命を延長可能な電界放出型電子源を提供し、８，０００時間を越える実用的な寿命を安定して得ることを明らかにした。 （もっと読む）

【課題】定期点検の結果や部品の使用頻度により自動分析装置の現在の状態をリアルタイムでユーザに画面で通知し、不要な部品交換や異常による自動分析装置のダウンタイムを防止する。
【解決手段】日々の運用から自動的に実施する必要のあるメンテナンス項目を抽出し、任意もしくは自動的にメンテナンスを実施する。日常の運用状況から必要なメンテナンス項目を抽出し、自動もしくは任意に分類されたリストを作成する。このリストを自動分析装置の起動時または終了時にユーザにアナウンスする。 （もっと読む）