【課題】アクチュエータを設けることなく、基板を確実に保持できる有機ＥＬデバイス製造装置を提供する。
【解決手段】基板ホルダー９１と、基板搬送機から基板６を受取るための基板受けピン６６と、基板ホルダー昇降機構６８と、基板ホルダー９１の端部に設けられ、基板クランプ６１とクランプ支持金具６２とクランプ付勢バネからなる基板保持機構と、基板６を基板クランプ６１から解放するためのクランプ開閉ピン６７とを備え、クランプ支持金具６２は縦方向に回転し第１の腕６２ａ
と第２の腕６２ｃを有し、第１の腕６２ａの端には基板クランプ６１の一端が固定され、第２の腕６２ｃの端には縦方向に回転する回転部が設けられ、基板クランプ６１が基板６を基板ホルダー９１に押圧するよう、有機ＥＬデバイス製造装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ビーム走査によって得られる検出信号を積算して画像を形成する装置において、取得画像のＳ／Ｎの向上と、シュリンクの低減の両立の実現を目的とするものである。
【解決手段】上記目的を達成するために本発明によれば、画像データを積算して、画像を形成する荷電粒子線装置において、設定される走査線方向の大きさごとに、走査線方向とは垂直な方向に、異なる大きさであって、異なる走査線数を持つ複数の走査パターンによる走査が可能な偏向器と、１フレーム内にて、前記走査線方向とは垂直な方向の大きさに比例する数の走査線位置への走査によって得られる検出信号を１の走査位置の検出信号として、積算する演算装置を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】部品の余寿命を監視する監視装置において、フィールドで発生した故障実績データを迅速かつ、容易に反映させ、監視装置の信頼性を向上。
【解決手段】部品寿命監視装置は、保守管理業者との間に接続された通信回路網１１９を通じて、フィールドの故障実績を踏まえた新たな部品信頼性データを受信する。前記部品寿命監視装置はデータの受信を確認すると、当該データと使用環境データから自動的に部品余寿命の修正を行う。 （もっと読む）

【課題】ウェハエッジ部の幅広い位置変化にも追従することができる光学式検査装置及びエッジ検査装置を提供する。
【解決手段】ウェハ１００の表面の欠陥を検査する表面検査装置３００と、この表面検査装置３００に対するウェハ１００の搬送路に設けたウェハステージ２１０と、このウェハステージ２１０上のウェハ１００のエッジ部を検査するエッジ検査部５３０と、このエッジ検査部５３０を当該エッジ検査部５３０の光軸に沿って移動させる移動装置６５０とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】より良いＳ／Ｎ比で測定するためにはセル長を長くすることが良いことが分かったが、セル長を長くすると、長いセル中を進行する光の散乱について考慮しなければならない。本発明は、上記課題に鑑み、より良いＳ／Ｎ比で測定するための試料セル構造及び分光光度計を提供する。
【解決手段】上記目的を達成するために、本発明は、細管状に形成され内部を流体が通過するチューブと、チューブの外壁面の一部に接触した状態で該キャピラリチューブの周囲を覆う構造体を備えることを特徴とする試料セル及び当該試料セルを用いた分光光度計を提供する。 （もっと読む）

【課題】任意の放出角度の反射電子を検出することのできる走査電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】試料からの電子を検出することによって像を得る走査電子顕微鏡において、試料１９からの二次電子と反射電子とを弁別する制御電極１８と、反射電子の衝突によって二次電子を発生させる二次電子変換電極１３とその二次電子を引き上げる電極１２と、引き上げられた二次電子と試料１９からの反射電子を弁別するエネルギーフィルタ１１と、二次電子変換電極１３と引き上げ電極１２とエネルギーフィルタ１１への印加電圧の組み合わせを選択する制御演算手段３６とを有する。 （もっと読む）

【課題】コンタミネーションの発生を抑制することができ、液状物質における気泡等の液面状態の検出具合の正確性を増大させることができる液面状態検出装置および自動分析装置、液面状態検出方法を提供する。
【解決手段】液状物質１０１０が収納された容器１０１および液状物質１０１０の液面に対して光を照射する光照射部１０２と、光照射部１０２が照射した容器１０１および液状物質１０１０からの光の色情報を少なくとも有する映像を取得する撮影部１０３と、撮影部１０３で撮影した映像の中の色情報を用いて液面の状態を検出する検出部１０４とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、組織メンバのコミュニケーション状態の改善する組織コミュニケーション表示システム及び処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数のセンサ端末と、前記センサ端末から送信されるデータを処理するサーバとを有する組織分析システムであって、前記複数のセンサ端末は、他のセンサ端末との対面データを取得する赤外線センサと、前記対面データを前記サーバに送信する無線処理部とを備え、前記サーバは、前記対面データに基づいて前記センサ端末を携帯するメンバ間のコミュニケーション状態を分析し、前記メンバのそれぞれに対応付けられる座席におけるコミュニケーション量を分析する分析処理部と、前記座席におけるコミュニケーション量を表示させる表示処理部とを備えることを特徴とする、組織分析システム。 （もっと読む）

【課題】本発明は、低マイクロ波電力から高マイクロ波電力の広範囲において、安定的なプロセス領域を確保できるプラズマ処理方法及びプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】本発明は、連続放電によるプラズマの生成が困難になる領域にて、プラズマの生成を容易にするとともに前記容易に発生させられたプラズマにより被処理物をプラズマ処理するプラズマ処理方法において、オンとオフを繰り返すパルス放電により前記プラズマを容易に生成し、前記パルス放電を生成する高周波電力のオン期間の電力は、前記連続放電によるプラズマの生成が容易になる電力とし、前記パルス放電のデューティー比は、前記高周波電力の一周期あたりの平均電力が前記連続放電によるプラズマの生成が困難になる領域の電力となるように制御されることを特徴とするプラズマ処理方法である。 （もっと読む）

【課題】支え部材によってＰＣＢ及び搭載部材を傷つけないようにすることができるＰＣＢ接続装置及びＦＰＤモジュール組立装置を提供する。
【解決手段】ＰＣＢ接続装置７０は、基板保持部９４と、本圧着部７６と、ＰＣＢ支持部９５とを備える。基板保持部９４は表示基板１０１を保持し、本圧着部７６は基板保持部９４に保持された表示基板１０１に搭載されている搭載部材１０２にＰＣＢ１０３を接続する。ＰＣＢ支持部９５は、基板保持部９４に設けられており、搭載部材１０２に接続されたＰＣＢ１０３を支える支え部材９７と、支え部材を移動させる移動機構９８とを有する。そして、移動機構９８は、支え部材９７がＰＣＢ１０３の下面に当接する支持位置と、支持位置の下方に設けられた待機位置との間で支え部材９７を移動させる。 （もっと読む）